KR20060133448A - 반송 시스템 - Google Patents

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KR20060133448A
KR20060133448A KR1020060008778A KR20060008778A KR20060133448A KR 20060133448 A KR20060133448 A KR 20060133448A KR 1020060008778 A KR1020060008778 A KR 1020060008778A KR 20060008778 A KR20060008778 A KR 20060008778A KR 20060133448 A KR20060133448 A KR 20060133448A
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KR1020060008778A
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요이치 모토오리
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무라타 기카이 가부시키가이샤
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Abstract

한번에 대량의 판형상 부재를 반송하면서, 단시간에 또한 공간절약적으로 그 판형상 부재를 목적의 수납 순서로 바꾸어 넣을 수 있는 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
액정유리(2)를 적재한 수납용기(20)가 반송되는 반송 시스템(1)에 있어서, 상기 수납용기(20)는 액정유리(2)가 한장 적재되어 적층된 상태에서 반송되고, 적층된 수납용기(20)의 적층순서를 교체하는 교체장치(4)가 설치되며, 상기 교체장치(4)는 적층된 수납용기(20)로부터 목적의 수납용기(20)를 분리하는 분리장치(5)와, 목적의 수납용기(20)를 일시 대피시키는 대피장치(6)와, 상기 분리장치(5)로부터 상기 대피장치(6)에 목적의 수납용기(20)를 반출하는 컨베이어(50·50)와, 목적의 수납용기(20)를 상기 분리장치(5)와는 다른 적층순서로 되도록 목적의 수납용기(20)를 반입하기 위한 공간을 형성하는 공간형성장치(7)와, 상기 대피장치(6)로부터 상기 공간형성장치(7)로 반입하는 컨베이어(60)를 구비했다.

Description

반송 시스템{TRANSPORTATION SYSTEM}
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 반송 시스템의 전체적인 구성을 나타낸 평면도.
도 2는 수납용기의 사시도.
도 3은 적층체의 사시도.
도 4는 제1실시예의 교체장치의 평면도.
도 5는 동 제1실시예의 교체장치의 사시도.
도 6은 제2실시예의 교체장치의 사시도.
도 7은 제3실시예의 교체장치의 평면도.
도 8은 동 제3실시예의 교체장치의 사시도.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
1 : 반송 시스템 2 : 액정유리(판형상 부재)
3 : 반송경로 4, 8 : 교체장치
5 : 분리장치(분리수단) 6, 9 : 대피장치(대피장소)
7 : 공간형성장치(공간형성수단) 20 : 수납용기
50, 80 : 컨베이어(반출수단) 60, 90 : 컨베이어(반입수단)
100 : 적층체
본 발명은 반송 시스템에 관한 것이고, 보다 상세하게는 판형상 부재의 수납 순서를 교체하는 교체장치를 구비한 반송 시스템에 관한 것이다.
액정 디스플레이, 플라즈마 디스플레이, 및 유기EL(Electro Luminescence) 등의 전자 디스플레이에는, 액정유리 등의 판형상 부재가 사용된다. 이 전자 디스플레이의 반송 시스템에 있어서는, 판형상 부재가 수납용기에 적재 혹은 수납되어서, 이 수납용기가 반송경로를 따라 순차적으로 반송된다. 그리고, 검사용의 샘플링이나 품질의 등급 분리 등으로, 수납용기로부터 판형상 부재를 랜덤하게 빼내어, 별도의 수납용기에 옮겨 가는 운용이 요청된다.
종래, 판형상 부재를 한장씩 적재해서 반송하는 수납용기를 사용한 반송 시스템이 이미 알려져 있다. 이러한 반송 시스템에 있어서, 예를 들면 특허문헌1에는, 선단부에 판형상 부재의 적재용의 포크가 부설된 수평 다관절식의 로봇 암을 구비한 이송장치에 의해, 적층 유지된 각 수납용기로부터 이송장치에 의해 소정의 판형상 부재만을 빼내어, 소정의 수납용기에 판형상 부재를 주고받는 구성이 개시되어 있다(특허문헌1참조).
[특허문헌1] 일본 특허공개2004-168483호 공보
그러나, 상기 특허문헌1에 개시되는 바와 같이, 판형상 부재를 한장씩 적재해서 반송하는 수납용기를 사용한 반송 시스템에서는, 판형상 부재의 수납 순서의 교체나 랜덤 액세스는 용이하지만, 판형상 부재의 대형화에 따라 수납용기 내의 수납 피치를 증가시킬 필요가 있어, 대형화한 판형상 부재의 수납 효율이 나빴다. 또한 적층 보관된 수납용기에 판형상 부재를 반입/반출하기 위한 이송장치의 구성이 복잡해서, 장치 구성의 대형화에 따라 제조비용이 증대되고 있었다.
한편, 한번에 복수의 판형상 부재를 수납·반송할 수 있는 카세트형의 수납용기를 사용한 반송 시스템도 이미 알려져 있다. 이 카세트형의 수납용기를 사용한 반송 시스템에 있어서는, 판형상 부재의 대형화에의 대응은 용이하며, 한번에 다량의 판형상 부재를 반송할 수 있기 때문에 반송 효율이 높다고 하는 이점을 갖고 있다.
그러나, 이 카세트형의 수납용기를 사용한 반송 시스템에서는, 통상, 수납용기를 하강시키면서 반송 롤러에 의해 판형상 부재를 한장씩 순서대로 빼내는 구성이기 때문에, 최초에 반입한 판형상 부재를 최후에 반출할 수 밖에 없고(선반입, 후반출), 랜점 액세스를 할 수 없었다. 그 때문에 수납용기 내의 판형상 부재를 분류하기 위해서는, 모든 판형상 부재를 반입한 순서로 꺼내지 않으면 안되어, 시간이 걸림과 아울러 큰 장치 스페이스가 필요했다.
그래서, 본 발명은 반송 시스템에 관하여, 상기 종래의 과제를 해결하는 것으로, 한번에 대량의 판형상 부재를 반송하면서, 단시간이고 또한 공간절약적으로 그 판형상 부재를 목적의 수납 순서로 바꾸어 넣을 수 있는 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상과 같으며, 다음에 이 과제를 해결하기 위한 수단을 설명한다.
즉, 청구항1에 있어서는, 판형상 부재를 한장 적재한 수납용기가 적층된 상태에서 반송되는 반송 시스템에 있어서, 상기 적층된 수납용기의 적층순서를 교체하는 교체장치를 구비하고, 상기 교체장치는, 상기 적층된 수납용기로부터 수납용기를 분리하는 분리수단과, 분리한 수납용기를 일시 대피시키는 대피장소와, 상기 분리수단으로부터 상기 대피장소로 상기 분리한 수납용기를 반출하는 반출수단과, 상기 분리한 수납용기를 상기 분리수단과는 다른 목적의 적층순서가 되도록, 이미 적층되어 있는 수납용기의 사이 또는 제일 위의 수납용기의 상방 또는 제일 아래의 수납용기의 하방에, 상기 분리한 수납용기를 적층하기 위한 공간을 형성하는 공간형성수단과, 상기 대피장소로부터 상기 공간형성수단이 형성된 공간에 상기 분리한 수납용기를 반입하는 반입수단을 구비한 것이다.
청구항 2에 있어서는, 판형상 부재를 한장 적재한 수납용기가 적층된 상태에서 반송되는 반송 시스템에 있어서, 상기 적층된 수납용기의 적층순서를 교체하는 교체장치를 구비하고, 상기 교체장치는, 상기 적층된 수납용기로부터 적층했을 때에 목적의 적층순서로 되도록 목적의 수납용기를 분리하는 분리수단과, 상기 목적의 수납용기를 일시 대피시키는 대피장소와, 상기 분리수단으로부터 상기 대피장소로 상기 목적의 수납용기를 반출하는 반출수단과, 상기 목적의 수납용기를 반송되어 온 순서로 적층하는 적층수단과, 상기 대피장소로부터 상기 적층수단에 상기 목 적의 수납용기를 반입하는 반입수단을 구비한 것이다.
청구항 3에 있어서는, 판형상 부재를 한장 적재한 수납용기가 적층된 상태에서 반송되는 반송 시스템에 있어서, 상기 적층된 수납용기의 적층순서를 교체하는 교체장치를 구비하고, 상기 교체장치는, 상기 적층된 수납용기로부터 적층했을 때에 목적의 수납용기를 분리하는 분리수단과, 상기 목적의 수납용기를 일시 대피시키는 대피장소와, 상기 분리수단으로부터 상기 대피장소로 상기 목적의 수납용기를 반출하는 반출수단과, 상기 목적의 수납용기를 상기 분리수단과는 다른 목적의 적층순서로 되도록, 이미 적층되어 있는 수납용기의 사이 또는 제일 위의 수납용기의 상방 또는 제일 아래의 수납용기의 하방에, 상기 분리한 수납용기를 적층하기 위한 공간을 형성하는 공간형성수단과, 상기 대피장소로부터 상기 공간형성수단이 형성된 공간에 상기 목적의 수납용기를 반입하는 반입수단을 구비한 것이다.
청구항 4에 있어서는, 상기 공간형성수단은, 상기 목적의 적층위치가 적층된 수납용기의 상하의 수납용기 사이에 있을 경우에, 상기 적층된 수납용기를 상기 목적의 적층위치보다 위에 있는 수납용기와 아래에 있는 수납용기로 상하방향으로 분리하고, 상기 분리한 수납용기를 반입할 때에 간섭하지 않는 위치에서 지지하는 지지수단을 구비하는 것이다.
청구항 5에 있어서는, 상기 분리수단은, 분리하는 수납용기의 위치가 상기 적층된 수납용기의 상하의 수납용기 사이에 있을 경우에, 상기 적층된 수납용기를 상기 목적의 수납용기보다 위에 있는 수납용기와 아래에 있는 수납용기로 상하방향으로 분리하고, 상기 목적의 수납용기를 반출할 때에 간섭하지 않는 위치에서 지지 하는 지지수단을 구비하는 것이다.
청구항 6에 있어서는, 상기 분리수단은 상기 공간형성수단을 겸하는 것이다.
다음에 발명을 실시하기 위한 최량의 형태를 설명한다. 도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 반송 시스템의 전체적인 구성을 나타낸 평면도, 도 2는 수납용기의 사시도, 도 3은 적층체의 사시도, 도 4는 제1실시예의 교체장치의 평면도, 도 5는 동 제1실시예의 교체장치의 사시도, 도 6은 제2실시예의 교체장치의 사시도, 도 7은 제3실시예의 교체장치의 평면도, 도 8은 동 제3실시예의 교체장치의 사시도이다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 본 실시예에 따른 반송 시스템은 액정유리(2)를 한장씩 적재한 수납용기(20)를 상하방향으로 적층한 적층체(100)를, 반송경로(3)를 따라 반송하도록 구성되어 있다. 이 적층체(100)는 적층체(100)를 구성하는 수납용기(20)의 개수와 같은 매수만큼, 액정유리(2)를 수용가능하다. 수납용기(20)를 적층해서 적층체(100)를 형성하는 것에 대해서는 후술한다.
이 반송경로(3)에는, 반송방향(도 1에 있어서 X방향)에 대하여 대략 수직방향으로 소정의 처리장치(도시생략)가 설치되고, 반송경로(3) 상의 적층체(100)와 처리장치 사이에서 액정유리(2)를 반송하는 연락경로(31)가 설치되어 있다. 반송경로(3)의 중도부에, 적층체(100)로부터 액정유리(2)를 꺼내는 스테이션(32)과, 액정유리(2)를 적재하지 않는 상태의 빈 적층체(100)에 액정유리(2)를 적재하는 스테이션(33)이 설치되어 있다.
그리고, 반송방향 하류측에는, 적층체(100)의 수납용기(20)의 적층순서를 바 꾸어 넣어서 재적층하고, 적층체(100)에 있어서의 액정유리(2)의 수납순서를 교체하는 교체장치(4)가 설치된다. 이 교체장치(4)의 옆쪽에는, 스태커 크레인·궤도대차·무인운반차(AGV) 등이 설치되어, 재적층된 적층체(100)가 스태커 크레인 등에 의해 별도의 반송 시스템이나 자동창고 등에 공급된다.
수납용기(20)에 적재되어서 반송되는 판형상 부재로서, 예를 들면 액정 디스플레이, 플라즈마 디스플레이, 및 유기EL(Electro Luminescence) 등의 전자 디스플레이에 사용되는 유리기판 등을 들 수 있다. 본 실시예에서는, 판형상 부재로서 액정유리(2)를 사용할 경우에 대하여 설명하지만, 판형상 부재로서는 특별히 이것에 한정되는 것은 아니다. 액정유리(2)는, 유리기판 단체나, 유리기판을 어레이화하는 어레이 제조공정 및 유리기판 상에 컬라필터를 적층시키는 컬러필터 제조공정 등에 있어서의 각 유리기판이나, 이들을 조합시킨 유리기판 등의 총칭을 말한다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 반송경로(3)에는 적층체(100)를 적재해서 일정 방향으로 연속 반송하는 좌우 한쌍의 컨베이어(30·30)가 설치되어 있다. 본 실시예에 있어서의 컨베이어(30·30)는 롤러 컨베이어로서, 모터 등의 구동장치(도시생략)에 의해 일방향으로 회전 구동되어, 적층체(100)가 일방향으로 반송되도록 구성되어 있다. 컨베이어(30·30)는 롤러 컨베이어 이외에, 벨트 컨베이어나 체인 컨베이어 등을 사용할 수 있다.
도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 수납용기(20)는 상면이 개방되어서 평면에서 보아 대략 직사각형으로 형성되어 액정유리(2)가 한장씩 적재되는 적재부(21)와, 적재부(21)의 외측에 형성되는 4개의 측벽(22)과, 대향하는 위치에 형성되 어 컨베이어(30·30)상의 적재부가 되는 가이드 프레임(23·23)과, 대향하는 위치에 형성되어 도시하지 않는 적층장치에 의해 척되는 사이드 프레임(24·24)과, 적재부(21)의 하방이며 측벽(22) 사이를 연결하는 지지 프레임(25) 등으로 구성되어 있다. 상기 한쌍의 가이드 프레임(23·23)은 대향하는 한쌍의 측벽(22·22)의 외측면에 형성된다. 상기 사이드 프레임(24·24)은 가이드 프레임(23·23)이 설치된 측벽과 다른, 대향하는 한쌍의 측벽(22·22)의 외측면에 형성되어 있다.
적재부(21)는 측벽(22)의 대향하는 한변(본 실시예에서는 사이드 프레임(24·24)이 형성되는 측의 변) 사이에, 복수의 선조 부재(26)가 각각 대략 평행하게 되도록 팽팽히 설치되어, 대략 평활면이 형성된다. 선조 부재(26)에 의해 형성된 적재부(21)의 상면에 액정유리(2)가 수평상태로 적재된다. 선조 부재(26)로서는, 단면이 원형인 것이 사용되고, 예를 들면 와이어 등이 사용된다.
측벽(22)은 적재부(21)의 외주를 둘러싸도록 형성되고, 본 실시예에서는 상단이 적재부(21)의 수평면보다 상방에 위치하도록 형성되어 있다. 이와 같이, 측벽(22)은 적재부(21)에 적재된 액정유리(2)가 수평방향으로 어긋나서 수납용기(20)로부터 탈락하는 것을 방지하는 탈락 방지벽으로서의 역할도 담당하고 있다. 측벽(22)의 상단에는, 돌기(28·28 …)가 형성되어 있고, 하단에는 돌기(28·28 …)에 대응하는 위치에 끼워맞춤구멍(도시생략)이 뚫려져 있다. 수납용기(20)는 이 돌기(28·28 …)를 끼워맞춤구멍에 끼워맞춤으로써 상하에 적층되어서 적층체(100)가 형성된다. 각 돌기(28·28 …)가 끼워맞춤구멍에 끼워맞춰지므로 각 수납용기(20)가 수평방향으로 어긋나는 것을 방지할 수 있다.
측벽(22)의 대향하는 한변은, 측벽(22)의 상단이 이 부분에서 낮아지도록 형성되어, 액정유리(2)가 수평상태로 통과할 수 있는 이송구(27)가 개구되어 있다. 본 실시예에서는, 이송구(27)는 가이드 프레임(23·23)이 형성되는 측의 측벽(22)에 개구된다. 그 때문에 반송경로(3)를 반송되는 수납용기(20)에 있어서, 반송경로(3)에 대하여 직교하는 방향으로부터 액정유리(2)가 반입/반출된다. 단, 이송구(27)의 개구 위치는 이것에 한정되지 않는다. 또한 이 이송구(27)는 수납용기(20)가 적층된 상태에 있어서 액정유리(2)가 통과 가능하게 형성되어, 이송구(27)의 상하방향 높이, 즉 측벽(22)과 상단에 적층된 측벽(22) 사이의 간극이, 적어도 액정유리(2)의 반입/반출을 방해하지 않을 정도로 확보되어 있다.
가이드 프레임(23·23)은, 측벽(22)의 외주면으로부터 돌출된 플랜지상 부재이며, 돌출부가 평탄하게 되도록 측벽(22)의 외주면으로부터 대략 수평방향으로 돌출되어 있다. 가이드 프레임(23·23)을 평활면으로 함으로써 상술한 바와 같이, 액정유리(2)를 이송구(27)에 용이하게 통과시킬 수 있다. 그 때문에, 액정유리(2)에 상처가 나는 것을 방지할 수 있음과 아울러, 수납용기(20)를 컨베이어(30)를 따라 안정되게 반송시킬 수 있다. 가이드 프레임(23·23)은 수납용기(20)가 반송경로(3) 상에 적재될 때에, 좌우의 컨베이어(30·30)에 각각 상방으로부터 접촉된다. 단, 가이드 프레임(23·23)은 측벽(22)과 일체로 형성되어도 좋다.
사이드 프레임(24·24)은 측벽(22)의 외주면에서 옆쪽을 향해서 개구되도록 측면에서 볼 때 대략 ㄷ자 형상으로 돌출되어, 적층체(100)의 단(段)적층시 혹은 단(段)분해시에는, 도시하지 않는 적층장치의 척장치에 의해 척된다. 사이드 프레 임(24·24)은 수납용기(20)의 코너부 근방에 상당하는 위치에만 형성되어도 좋고, 또한 측벽(22)과 일체로 형성되고, 또한, 수납용기(20)의 코너부 근방에 상당하는 개소에 오목부가 형성되어서, 이 오목부가 척되도록 하여도 좋다. 사이드 프레임(24)과 가이드 프레임(23)이 각각 겸용되도록 형성되어도 좋다. 이와 같이, 사이드 프레임(24·24)을 설치해 둠으로써 수납용기(20)를 용이하게 적층하거나 분리하거나 할 수 있다.
지지 프레임(25)은 막대형상의 부재가 대략 평행 및 대략 직각으로 교차되어 있고, 측벽(22)의 대향하는 한변의 사이(본 실시예에서는 가이드 프레임(23·23)이 형성되는 측의 변과, 사이드 프레임(24·24)이 형성되는 측의 변의 사이)에 설치되어 있다. 이와 같이, 지지 프레임(25)을 설치함으로써 수납용기(20)가 측벽(22)과 선조 부재(26)에 의해서 형성되었을 경우에 강성을 향상시킬 수 있다. 특히, 복수의 수납용기(20)가 적층되었을 때라도, 최하위에 위치된 수납용기(20)의 변형 등을 방지하고, 또한 수납용기(20)의 하면을 지지해서 상하방향으로 승강시킬 때에도 측벽(22) 등이 삐뚤어져서 변형되는 것을 방지할 수 있다. 단, 이 지지 프레임(25)은 반드시 설치하지 않아도 좋다.
이상과 같이 구성되는 수납용기(20)를 사용함으로써 간이한 구성으로 수납용기(20)에의 액정유리(2)의 반입/반출을 실현할 수 있다. 또한 본 실시예에서는, 수납용기(20)가 상하로 적층 가능하게 구성되는 점에서, 반송경로(3) 중에 수납용기(20)를 소정의 순서로 단적층해서 적층체(100)를 구성하거나, 또는 적층체(100)를 단분해해서 소정의 수납용기(20)를 꺼내는 적층장치(도시생략)가 설치된다. 이 적 층장치는 공지의 구성의 것을 채용할 수 있다. 그리고, 적층체(100)로 함으로써 한번에 대량의 액정유리(2)를 반송할 수 있어, 반송 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 적재부(21)를 선조 부재(26)로 형성함으로써 수납용기(20)의 높이방향을 짧게 구성할 수 있고, 적층체(100)의 액정유리(2)의 수납 매수를 보다 증대하여, 반송 효율을 향상시킬 수 있다. 또한 적재부(21)를 선조 부재(26)로 형성함으로써 액정유리(2)를 균일하게 지지해서 휨 등을 방지할 수 있고, 액정유리(2)의 대형화에도 대응할 수 있다.
다음에 교체장치(4)의 제1실시예에 대해서 이하에 설명한다. 도 1, 도 4 및 도 5에 나타내는 바와 같이, 교체장치(4)는 적층체(100)의 수납용기(20)의 적층순서를 바꾸어 넣어서 재적층시키는 장치로서, 적층체(100)로부터 하나의 수납용기(20)를 꺼내는 분리수단으로서의 분리장치(5)와, 목적의 수납용기(20)를 일시 대피시켜서 지지하는 대피장소로서의 대피장치(6)와, 분리장치(5)로부터 대피장치(6) 로 목적의 수납용기(20)를 반출하는 반출수단으로서의 컨베이어(50)와, 목적의 수납용기(20)를 분리장치(5)와는 다른 적층순서가 되도록 수납용기(20)를 반입하기 위한 공간을 형성하는 공간형성장치(7)와, 대피장치(6)로부터 목적의 수납용기(20)를 공간형성장치(7)에 반입하는 반입수단으로서의 컨베이어(60) 등으로 구성되어 있다.
또, 제1실시예에 있어서의 분리장치(5) 및 공간형성장치(7)는 동일한 구성이지만, 분리장치(5)는 적층체(100)로부터 수납용기(20)를 임의의 순서로 꺼낼 수 있는 장치로서 이용되고, 공간형성장치(7)는 분리장치(5)로부터 반출된 순서대로 수 납용기(20)를 적층하는 장치로서 이용되고 있다. 단, 공간형성장치(7)로서는 반입순서로만 적층이 가능한 단순한 단적층장치이어도 된다.
분리장치(5)는 좌우 한쌍의 컨베이어(50·50)와, 컨베이어를 대피시키는 실린더(51)와, 적층체(100)(수납용기(20))를 지지하는 척(52)과, 적층체(100)(수납용기(20))의 승강을 행하는 리프터(53) 등으로 구성되어 있다. 컨베이어(50·50)는 롤러 컨베이어가 사용된다. 컨베이어(50·50)는 실린더(51)에 의해 반송경로(3)의 폭방향(반송방향에 직각인 방향)으로 이동시켜서 대피할 수 있게 구성되어, 수납용기(20)의 가이드 프레임(23)을 지지하는 상태(반송상태)와, 수납용기(20)에 간섭하지 않는 위치까지 대피되는 상태(대피상태)로 전환된다.
지주(54)가 수납용기(20)의 네 코너에 근접하는 위치에 배치되고, 지주(54)에 척 구동부(55)가 설치된다. 또, 척 구동부(55)는 지주(54)에 승강 가능하여도, 높이 위치가 고정되어도 좋다. 이하, 주로 척 구동부(55)는 높이 위치가 고정된 구성에 대하여 설명하지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 척(52)은, 척 구동부(55)에 의해 수평면 내에서 회동 가능하게 되어, 수납용기(20)의 사이드 프레임(24·24)을 지지한 상태와 지지하지 않는 상태 사이에서 전환 가능하게 구성되어 있다. 리프터(53)는 컨베이어(50·50)보다 하방에서 대기되어서, 수납용기(20)를 상하 승강시키도록 구성되어 있다.
이 분리장치(5)는 반송경로(3)를 따라 반송되어 온 적층체(100)로부터 목적으로 하는 수납용기(20)를 임의로 꺼낼 수 있게 구성되어 있다. 즉, 적층체(100) 중, 목적으로 하는 수납용기(20)보다 상방에 있는 상부 적층체(110)(수납용기(20)) 를 척(52)에 의해 지지함과 아울러, 하방에 있는 하부 적층체(120)(수납용기(20))를 리프터(53)에 의해 지지하고, 분리장치(5)로부터 목적으로 하는 수납용기(20)를 반출할 때에, 상부 적층체(110) 및 하부 적층체(120)를 각각 간섭하지 않는 위치에서 지지하도록 구성되어 있다(도 5 참조).
구체적으로는, 분리장치(5)는 컨베이어(30) 및 컨베이어(50)에 의해 적층체(100)가 반송되어서 정지되면, 우선, 컨베이어(50)가 실린더(51)에 의하여 대피됨과 아울러 리프터(53)에 의해 적층체(100)가 지지된다. 이어서, 리프터(53)가 적층체(100)를 상방으로 들어 올리면서 상승된다. 이 리프터(53)에 의해 적층체(100) 중 목적으로 하는 수납용기(20)의 1단 위의 수납용기(20)가, 척(52)에 의해 지지가능한 위치까지 상승된다. 그리고, 척(52)에 의해 목적으로 하는 수납용기(20)의 1단 위의 수납용기(20)가 지지된다. 즉, 척(52)에 의해 상부 적층체(110)가 지지된다. 그 후에 리프터(53)가 하강되어, 목적으로 하는 수납용기(20)의 가이드 프레임(23·23)이 컨베이어(50·50)의 반송면보다 약간 높은 위치에서 하강이 정지되고, 실린더(51)에 의해 컨베이어(50)가 반송 위치(반송가능한 위치)로 전진된다. 이 때, 리프터(53)에는 하부 적층체(120)가 지지되어 있다. 리프터(53)가 다시 하강됨으로써 목적의 수납용기(20)만이 컨베이어(50)에 적재되어, 컨베이어(50)가 구동되어서, 목적으로 하는 수납용기(20)만이 분리장치(5)로부터 반출된다.
또한 척(52)에 의해 지지된 상부 적층체(110) 중에서 목적의 수납용기(20)를 꺼낼 경우에는, 리프터(53)를 상승시킴과 아울러 척(52)을 대피시켜서, 하부 적층체(120)와 상부 적층체(110)를 합체시킨다. 이어서, 목적으로 하는 수납용기(20)의 1단 위의 수납용기가 척(52)에 의해 다시 지지된 후에, 리프터(53)를 하강시켜서 목적의 수납용기(20)를 컨베이어(50)에 적재시키면 된다. 또, 리프터(53)에 의해 지지된 하부 적층체(120)로부터 목적의 수납용기(20)를 꺼낼 경우도, 한번 리프터(53)를 상승시켜서 상부 적층체(110)와 하부 적층체(120)를 합체시켜서 임의의 수납용기(20)가 꺼내어진다.
도 4 및 도 5에 나타내는 바와 같이, 대피장치(6)는 분리장치(5)와 공간형성장치(7)를 연결하고, 대피장치(6)로부터 공간형성장치(7)로 수납용기(20)를 반입하는 반입수단으로서의 컨베이어(60·60) 등으로 구성되어, 분리장치(5)로부터 반출된 수납용기(20)를 대피시키면서, 공간형성장치(7)까지 연락해서 반송하도록 구성되어 있다. 이 컨베이어(60·60)는 롤러 컨베이어가 사용되고, 분리장치(5)의 컨베이어(50·50) 및 후술하는 바와 같이 공간형성장치(7)의 컨베이어(70·70)와 대략 동일 평면에 위치되어, 수납용기(20)의 가이드 프레임(23)을 지지해서 분리장치(5)로부터 공간형성장치(7)에까지 구동 반송하도록 구성되어 있다.
도 4 및 도 5에 나타내는 바와 같이, 공간형성장치(7)는 좌우 한쌍의 컨베이어(70·70)와, 컨베이어를 대피시키는 실린더(71)와, 수납용기(20)를 지지하는 척(72)과, 수납용기(20)의 승강을 행하는 리프터(73) 등으로 구성되어 있다. 컨베이어(70·70)는 롤러 컨베이어가 사용되고, 실린더(71)에 의해 폭방향(반송방향에 직각인 방향)으로 이동시켜서 대피할 수 있게 구성되고, 수납용기(20)의 가이드 프레임(23)을 지지하는 상태와, 수납용기(20)에 간섭하지 않는 위치까지 대피되는 상태로 전환된다.
지주(74)가 수납용기(20)의 네 코너에 근접하는 위치에 배치되어, 지주(74)에 척 구동부(75)가 설치된다. 또, 척 구동부(75)는 지주(74)에 승강 가능하여도, 높이 위치가 고정되어도 좋다. 이하, 주로 척 구동부(75)는 높이 위치가 고정된 구성에 대하여 설명한다. 척(72)은 척 구동부(75)에 의해 수평면 내에서 회동 가능하게 되어, 수납용기(20)의 사이드 프레임(24·24)을 지지한 상태와 지지하지 않는 상태 사이에서 전환 가능하게 구성되어 있다. 리프터(73)는 컨베이어(70·70)보다 하방에서 대기되어서, 수납용기(20)를 상하 승강시키도록 구성되어 있다.
이 공간형성장치(7)는 대피장치(6)에 의해 반입된 수납용기(20)를, 반입된 순서로 재적층시키도록 구성되어 있다. 즉, 공간형성장치(7)는 컨베이어(60) 및 컨베이어(70)에 의해 수납용기(20)가 반송되어서 정지되면, 우선, 리프터(73)가 상승되어서 수납용기(20)가 지지된 후, 컨베이어(70)가 실린더(71)에 의해 대피되고, 리프터(73)가 수납용기(20)를 상방으로 들어 올리면서 상승된다. 이 리프터(73)에 의해 수납용기(20)가 척(72)에 지지되는 위치까지 상승되고, 수납용기(20)가 척된후에 리프터(73)가 하강된다.
그리고, 이 상태에서, 또한 공간형성장치(7)에 수납용기(20)가 반입되면, 척(72)에 의해 지지된 수납용기(20)의 최하단에, 반송된 수납용기(20)가 추가된다. 이 경우, 컨베이어(70)가 실린더(71)에 의해 대피되면서, 리프터(73)가 수납용기(20)를 상방으로 들어 올리면서 상승되어, 척(72)에 의해 지지된 수납용기(20)의 적층체의 최하단의 수납용기(20)의 저면을, 리프터(73)에 의해 상승중의 수납용기(20)의 상면에서 지지한다. 척(72)에 의해 지지된 수납용기(20)가 리프터(73)에 의 해 지지되면, 척(72)이 대피되어서 리프터(73)에 의해 수납용기(20)의 1단만큼 상승된다. 그리고, 척(72)으로 수납용기(20)의 적층체가 지지되어, 리프터(73)가 하강된다.
이와 같이, 분리장치(5), 대피장치(6), 및 공간형성장치(7)로 구성되는 교체장치(4)에 의해, 적층체(100)를 구성하는 수납용기(20)의 적층순서를 교체하여 재적층시킴으로써 공간절약적이고 또한 단시간에 적층체(100)에 수납되는 액정유리(2)를 목적의 순서로 교체할 수 있다. 또한 수납용기(20)에는, 액정유리(2)가 한장씩 적재되어 있고, 이 수납용기(20)를 적층체(100)로서 반송함으로써 한번에 대량의 액정유리(2)를 반송할 수 있음과 아울러, 수납용기(20)를 교체함으로써 액정유리(2)의 수납순서를 용이하게 바꾸어 넣을 수 있다.
특히, 분리장치(5)에 있어서 적층체(100)로부터 임의의 수납용기(20)를 분리해서 꺼낼 수 있기(랜덤 액세스할 수 있기) 때문에, 이 분리장치(5)에 의해 꺼내진 수납용기(20)를, 공간형성장치(7)에 있어서 분리해서 반송된 순서로 적층시키면, 액정유리(2)의 수납순서의 교체가 가능하다. 또한 분리장치(5)에 있어서, 척(52) 및 리프터(53)가 목적의 수납용기(20)보다 위에 있는 수납용기(20)(상부 적층체(110))와 아래에 있는 수납용기(20)(하부 적층체(120))로 상하방향으로 분리하고, 목적의 수납용기(20)를 반출할 때에 간섭하지 않는 위치에서 각각 지지하기 때문에, 분리장치(5)를 컴팩트에 형성할 수 있고, 공간절약적으로 교체장치(4)를 구성할 수 있다.
또한 대피장치(6)를 설치함으로써, 적층체(100)로부터 반송된 수납용기(20) 를, 분리장치(5) 및 공간형성장치(7)에 있어서의 분리·재적층의 공정을 방해하지 않는 위치에서 대피시킴과 아울러, 분리장치(5) 및 공간형성장치(7) 사이에서 수납용기(20)를 반입하는 반입수단으로서의 컨베이어(60)를 배치할 수 있기 때문에, 교체장치(4)의 공간절약화를 꾀할 수 있다.
다음에 교체장치(4)의 제2실시예에 대해서 이하에 설명한다. 도 6에 나타내는 바와 같이, 본 실시예에 있어서의 교체장치(4)는 분리장치(5)가 적층체(100)로부터 수납용기(20)가 적층된 순서대로에 꺼내지도록 구성되어, 공간형성장치(7)가 적층체(100)로부터 꺼내진 수납용기(20)를 임의의 순서로 적층 가능하게 구성되어 있는 점이, 제1실시예와 상위하다.
또, 제2실시예에 있어서의 분리장치(5) 및 공간형성장치(7)는, 제1실시예에 있어서의 분리장치(5) 및 공간형성장치(7)와 동일한 구성이다. 분리장치(5)는 적층체(100)로부터 수납용기(20)가 적층된 순서대로 꺼내는 장치로서 이용되고, 공간형성장치(7)는 적층체(100)로부터 꺼내진 수납용기(20)를 임의의 순서로 적층가능한장치로서 이용되고 있다. 분리장치(5)로서는 적층된 순서대로에 꺼내는 단순한 단분해장치라도 된다.
분리장치(5)는 반송된 적층체(100)에 있어서, 최하단의 수납용기(20)로부터 순차적으로 공간형성장치(7)로 반출하도록 구성되어 있다. 즉, 분리장치(5)는 적층체(100)가 분리장치(5)에 반송되어서 정지되면, 우선, 리프터(53)가 상승되어서 적층체(100)가 지지된 후, 컨베이어(50)가 실린더(51)에 의해 대피되고, 리프터(53)가 적층체(100)를 상방으로 들어 올리면서 상승된다. 이어서, 이 리프터(53)에 의 해, 적층체(100)의 최하단보다 1단 위의 수납용기(20)가, 척(52)에 의해 지지가능한 위치까지 상승된다. 그리고, 척(52)에 의해 최하단보다 1단 위의 수납용기(20)가 지지된다. 그 후에 리프터(53)가 다시 하강됨으로써 목적의 최하단의 수납용기(20)만이 컨베이어(50)에 적재되고, 컨베이어(50)가 구동되어서 목적으로 하는 수납용기(20)만이 꺼내어진다.
그리고, 이 상태에서 수납용기(20)를 더 꺼낼 경우에는, 컨베이어(50)가 대피되고나서 리프터(53)가 상승되어, 척(52)에 의해 지지된 적층체(100)의 최하단의 하면에 리프터(53)가 접촉하면, 척(52)이 대피된다. 그리고, 리프터(53)에 의해 적층체(100)가 지지되면서 1단분 만큼 하강된다. 그리고, 목적으로 하는 수납용기(20)의 1단 위의 수납용기가 척(52)에 의해 지지된 후에, 리프터(53)가 하강되어 최하단의 수납용기(20)만이 리프터(53)에 의해 컨베이어(50)에 적재되어서 꺼내어진다. 이러한 동작이 반복되어서 최하단의 수납용기(20)로부터 순차적으로 꺼내어진다.
한편, 공간형성장치(7)는 분리장치(5)로부터 대피장치(6)를 통해서 반입된 수납용기(20)를 반입하기 위한 공간을 형성하고, 임의의 순서로 재적층시키도록 구성되어 있다. 공간형성장치(7)에 있어서는, 반송된 수납용기(20)는 척(72) 및 리프터(73)에 의해 각각 상부 적층체(110) 및 하부 적층체(120)로서 지지된다. 예를 들면 척(72)에 의해 지지된 상부 적층체(110) 중에, 반송된 수납용기(20)를 적층시킬 경우에는, 우선, 반송된 수납용기(20)는 대피장치(6)의 컨베이어(60) 상에 일시 정지됨과 아울러 리프터(73)가 상승되어서, 척(72)에 지지된 상부 적층체(110)와, 리 프터(73)에 지지된 하부 적층체(120)가 합체된다. 이어서, 척(72)이 대피되어 목적의 적층 위치보다 위에 있는 적층체(100)가 척(72)에 지지되는 위치까지 리프터(73)가 승강된다. 척(72)에 의해 임의의 수납용기(20)(상부 적층체(110))가 지지되어서 분리되면, 리프터(73)는 하부 적층체(120)가 컨베이어(70)의 하방에 위치할 때까지 하강된다. 이 상태에서, 컨베이어(60·70)가 전진되어서 대피장치(6)로부터 컨베이어(70)에 수납용기(20)가 반입된다. 그리고, 컨베이어(70)가 대피되면서 리프터(73)가 상승됨으로써 목적의 수납용기(20)가 상부 적층체(110) 및 하부 적층체(120)와 합체되어서, 목적의 적층순서가 되도록 수납용기(20)가 적층된 적층체(100)가 형성된다.
상술한 제1실시예 및 제2실시예에 나타내는 바와 같이, 분리장치(5) 및 공간형성장치(7) 중 적어도 어느 한쪽이, 임의의 수납용기(20)를 반입/반출 가능하게 구성됨으로써 적층체(100)의 수납용기(20)의 적층순서를 교체하는 것이 가능하다. 이 결과, 장치구성의 간이화 및 교체시간의 단축화를 꾀할 수 있다. 단, 분리장치(5) 및 공간형성장치(7)의 어느 것이나, 임의의 수납용기(20)를 반입/반출 가능하게 구성되어도 좋다. 그렇게 구성함으로써 작업 도중에 특급품 등의 적층해야 할 수납용기를 추가할 필요가 생기거나 해도, 용이하게 대응할 수 있다.
다음에 교체장치(8)의 제3실시예에 대해서 이하에 설명한다. 도 7 및 도 8에 나타내는 바와 같이, 본 실시예에 있어서의 교체장치(8)는 상술한 분리장치(5)(공간형성장치(7))가 공간형성장치(7)(분리장치(5))를 겸하도록 구성되어 있는 점이, 상술한 제1실시예 및 제2실시예와 상위하다.
즉, 교체장치(8)는 수납용기(20)의 반출수단으로서의 컨베이어(80·80)와, 컨베이어(80)를 대피시키는 실린더(81)와, 수납용기(20)를 지지하는 척(82)과, 수납용기(20)의 승강을 행하는 리프터(83) 등으로 구성되어 있다. 컨베이어(80·80)는 롤러 컨베이어가 사용된다. 컨베이어(80·80)는 실린더(81)에 의해 폭방향(반송방향에 직각인 방향)으로 이동시켜서 대피할 수 있게 구성되어, 수납용기(20)의 가이드 프레임(23)을 지지하는 상태(반송상태)와, 수납용기(20)에 간섭하지 않는 위치까지 대피되는 상태(대피상태)로 전환된다. 또한 이 컨베이어(80·80)는 수납용기(20)의 반송방향을 바꿀수 있게 구성된다.
또한 교체장치(8)에는 대피장치(9)가 접속되고, 이 대피장치(9)는 수납용기(20)의 반입수단으로서의 좌우 한쌍의 컨베이어(90·90) 등으로 구성되고, 교체장치(8)로부터 반출된 수납용기(20)를 대피시키면서 다시 교체장치(8)에 반입되도록 구성되어 있다. 이 컨베이어(90·90)는 롤러 컨베이어가 사용되고, 교체장치(8)의 컨베이어(80·80)와 대략 동일평면에 위치되어, 수납용기(20)의 가이드 프레임(23)을 지지해서 교체장치(8)에 수납용기(20)를 반입/반출하도록 구성되어 있다.
본 실시예의 교체장치(8)에서는, 예를 들면 적층체(100)로부터 임의의 수납용기(20)를 꺼낸다. 그리고, 이 수납용기(20)를 일단 대피장치(9)로 대피시킨 후, 교체장치(8)에 반입되어 있는 수납용기(20)의 최하단으로부터 순차적으로 재적층 시키도록 구성함으로써 수납용기(20)의 적층순서를 바꾸어 넣도록 구성된다. 즉, 이 교체장치(8)에서는 척(82) 및 리프터(83) 등이, 상술한 분리수단 및 공간형성수단을 겸하여, 적층체(100)를 상하로 분리하는 스페이스와, 대피장치(9)만큼의 스페 이스를 확보하면 되어, 장치의 공간절약화를 꾀할 수 있다. 또, 각 척(82) 및 리프터(83) 등의 지지수단의 구성에 대해서는, 상술한 실시예의 구성과 대략 같기 때문에 설명을 생략한다.
또, 상술한 제1실시예 내지 제3실시예에 있어서, 수납용기(20)를 지지하는 지지수단으로서는, 상술한 구성에 한정되지 않고, 예를 들면 척(52·72·82)에 있어서 척 구동부(55·75·85)가 각각 승강가능하게 부착되어도 좋다. 또한 척(52·72·82) 혹은 리프터(53·73·83) 중 어느 하나를 사용하지 않고, 수납용기(20)를 분리 지지하도록 구성하는 것도 가능하다.
이상과 같은 교체장치(4·8)는, 예를 들면 자동창고 내에 설치함으로써 공간절약적으로 적층체(100)에 수납된 액정유리(2)의 수납순서를 바꾸어 넣을 수 있다. 그 때에, 교체장치(4·8)에 적층체(100)를 건네주는 것이나, 공간형성장치(7)로부터 적층체(100)를 꺼내는 것은 컨베이어가 아니라 자동창고에 설치되어 있는 스태커 크레인으로 직접 행해도 좋다. 또한 수납용기(20)를 적층체(100)로서 적층시킴으로써 수납용기(20)의 보관 및 반송이 용이하고, 또한 자동창고 내의 이송장치 등을 사용함으로써 교체장치(4)로부터 직접 액정유리(2)의 수납순서가 교체된 적층체(100)를 반출할 수 있어, 자동창고의 컴팩트화를 실현할 수 있다.
본 발명의 효과로서, 이하에 나타내는 바와 같은 효과를 갖는다.
청구항 1에 나타내는 구성으로 했으므로, 수납용기를 적층해서 반송함으로써 한번에 대량의 판형상 부재를 반송할 수 있다. 또한 적층한 수납용기의 적층순서를 바꾸어 넣음으로써 판형상 부재의 수납순서를 용이하게 교체할 수 있음과 아울러, 공간절약적이고 또한 단시간에 판형상 부재를 목적의 순서로 바꾸어 넣을 수 있다. 그 때에, 하류측에 있는 공간형성수단으로 목적의 적층순서가 되도록 수납용기를 적층하기 때문에, 상류측의 수납용기의 분리에 관계없이 목적의 적층순서로 적층할 수 있다.
청구항 2에 나타내는 구성으로 했으므로, 수납용기를 적층해서 반송함으로써 한번에 대량의 판형상 부재를 반송할 수 있다. 또한 적층한 수납용기의 적층순서를 바꾸어 넣음으로써 판형상 부재의 수납순서를 용이하게 교체할 수 있음과 아울러, 공간절약이고 또한 단시간에 판형상 부재를 목적의 순서로 바꾸어 넣을 수 있다. 그 때에, 상류측에 있는 분리수단으로 목적의 수납용기를 적층하는 순서에 맞춰서 분리하기 때문에, 복수의 적층한 수납용기로부터 목적의 수납용기만을 분리하고, 그들을 조합시켜서 새로운 적층한 수납용기를 만들 수 있다.
청구항 3에 나타내는 구성으로 했으므로, 수납용기를 적층해서 반송함으로써 한번에 대량의 판형상 부재를 반송할 수 있다. 또한 적층한 수납용기의 적층순서를 바꾸어 넣음으로써 판형상 부재의 수납순서를 용이하게 교체할 수 있음과 아울러, 공간절약적이고 또한 단시간에 판형상 부재를 목적의 순서로 바꾸어 넣을 수 있다. 그 때에, 상류측에 있는 분리수단으로 목적의 수납용기를 분리함과 아울러, 하류측의 공간형성수단으로 목적의 적층순서로 되도록 공간을 형성하기 때문에, 작업 도중에 수납용기를 추가할 필요가 생겨도, 용이하게 대응할 수 있다.
청구항 4에 나타내는 구성으로 했으므로, 분리수단에 있어서 수납용기를 상 하로 분리해서 임의의 수납용기를 꺼내기 때문에, 교체장치를 컴팩트하게 구성할 수 있다.
청구항 5에 나타내는 구성으로 했으므로, 공간형성수단에 있어서, 수납용기를 상하로 분리해서 임의로 수납용기를 재적층하기 때문에, 교체장치를 컴팩트하게 구성할 수 있다.
청구항 6에 나타내는 구성으로 했으므로, 적층된 수납용기를 상하로 분리하는 스페이스와, 대피장소의 스페이스를 확보하면 되어, 공간절약화를 꾀할 수 있다.

Claims (6)

  1. 판형상 부재를 한장 적재한 수납용기가 적층된 상태에서 반송되는 반송 시스템에 있어서, 상기 적층된 수납용기의 적층순서를 교체하는 교체장치를 구비하고,
    상기 교체장치는, 상기 적층된 수납용기로부터 수납용기를 분리하는 분리수단;
    분리한 수납용기를 일시 대피시키는 대피장소;
    상기 분리수단으로부터 상기 대피장소로 상기 분리한 수납용기를 반출하는 반출수단;
    상기 분리한 수납용기를 상기 분리수단과는 다른 목적의 적층순서가 되도록, 이미 적층되어 있는 수납용기의 사이 또는 제일 위의 수납용기의 상방 또는 제일 아래의 수납용기의 하방에, 상기 분리한 수납용기를 적층하기 위한 공간을 형성하는 공간형성수단; 및
    상기 대피장소로부터 상기 공간형성수단이 형성된 공간에 상기 분리한 수납용기를 반입하는 반입수단을 구비한 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  2. 판형상 부재를 한장 적재한 수납용기가 적층된 상태에서 반송되는 반송 시스템에 있어서, 상기 적층된 수납용기의 적층순서를 교체하는 교체장치를 구비하고,
    상기 교체장치는, 상기 적층된 수납용기로부터 적층했을 때에 목적의 적층순서로 되도록 목적의 수납용기를 분리하는 분리수단;
    상기 목적의 수납용기를 일시 대피시키는 대피장소;
    상기 분리수단으로부터 상기 대피장소로 상기 목적의 수납용기를 반출하는 반출수단;
    상기 목적의 수납용기를 반송되어 온 순서로 적층하는 적층수단; 및
    상기 대피장소로부터 상기 적층수단에 상기 목적의 수납용기를 반입하는 반입수단을 구비한 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  3. 판형상 부재를 한장 적재한 수납용기가 적층된 상태에서 반송되는 반송 시스템에 있어서, 상기 적층된 수납용기의 적층순서를 교체하는 교체장치를 구비하고,
    상기 교체장치는, 상기 적층된 수납용기로부터 적층했을 때에 목적의 수납용기를 분리하는 분리수단;
    상기 목적의 수납용기를 일시 대피시키는 대피장소;
    상기 분리수단으로부터 상기 대피장소로 상기 목적의 수납용기를 반출하는 반출수단;
    상기 목적의 수납용기를 상기 분리수단과는 다른 목적의 적층순서로 되도록, 이미 적층되어 있는 수납용기의 사이 또는 제일 위의 수납용기의 상방 또는 제일 아래의 수납용기의 하방에, 상기 분리한 수납용기를 적층하기 위한 공간을 형성하는 공간형성수단; 및
    상기 대피장소로부터 상기 공간형성수단이 형성된 공간에 상기 목적의 수납용기를 반입하는 반입수단을 구비한 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  4. 제1항에 있어서, 상기 공간형성수단은, 상기 목적의 적층위치가 적층된 수납용기의 상하의 수납용기 사이에 있을 경우에, 상기 적층된 수납용기를 상기 목적의 적층위치보다 위에 있는 수납용기와 아래에 있는 수납용기로 상하방향으로 분리하고, 상기 분리한 수납용기를 반입할 때에 간섭하지 않는 위치에서 지지하는 지지수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  5. 제2항에 있어서, 상기 분리수단은, 분리하는 수납용기의 위치가 상기 적층된 수납용기의 상하의 수납용기 사이에 있을 경우에, 상기 적층된 수납용기를 상기 목적의 수납용기보다 위에 있는 수납용기와 아래에 있는 수납용기로 상하방향으로 분리하고, 상기 목적의 수납용기를 반출할 때에 간섭하지 않는 위치에서 지지하는 지지수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  6. 제3항에 있어서, 상기 분리수단은 상기 공간형성수단을 겸하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
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