KR101666803B1 - 정렬장치 및 이를 구비한 카세트 공급시스템 - Google Patents

정렬장치 및 이를 구비한 카세트 공급시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR101666803B1
KR101666803B1 KR1020140195709A KR20140195709A KR101666803B1 KR 101666803 B1 KR101666803 B1 KR 101666803B1 KR 1020140195709 A KR1020140195709 A KR 1020140195709A KR 20140195709 A KR20140195709 A KR 20140195709A KR 101666803 B1 KR101666803 B1 KR 101666803B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cassette
unit
fork
pressing
mask frame
Prior art date
Application number
KR1020140195709A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20160082177A (ko
Inventor
이종태
전현수
유장원
Original Assignee
주식회사 에스에프에이
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 에스에프에이 filed Critical 주식회사 에스에프에이
Priority to KR1020140195709A priority Critical patent/KR101666803B1/ko
Publication of KR20160082177A publication Critical patent/KR20160082177A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101666803B1 publication Critical patent/KR101666803B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

정렬장치 및 이를 구비한 카세트 공급시스템이 개시된다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 정렬장치는, 대상물이 이동가능하게 적재되는 적재부를 구비하며, 적재부의 상부에 대상물이 적재되는 카세트가 이동가능하게 안착되는 프레임부; 및 프레임부에 마련되되, 대상물의 외측부와 카세트의 외측부를 동시에 접촉 가압하여 대상물과 카세트를 상호 정렬하는 정렬유닛을 포함한다.

Description

정렬장치 및 이를 구비한 카세트 공급시스템{APPARATUS FOR ALINGING MASK AND CASSETTE AND CASSETTE SUPPLYING SYSTEM HAVING THEREOF}
본 발명은, 정렬장치 및 이를 구비한 카세트 공급시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 카세트와 카세트에 적재되는 대상물을 상호 정렬하는 정렬장치 및 이를 구비한 카세트 공급시스템에 관한 것이다.
평면디스플레이는 개인 휴대단말기를 비롯하여 TV나 컴퓨터의 모니터 등으로 널리 채용된다. 이러한 평면디스플레이는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등으로 그 종류가 다양하다.
이러한 평면디스플레이 중에서 특히 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display)는 유기물의 자체 발광에 의해 컬러 화상을 구현하는 초경박형 표시장치로서, 그 구조가 간단하면서 광효율이 높다는 점에서 차세대의 유망 평면디스플레이로서 주목받고 있다.
이러한 유기전계발광표시장치(OLED)는 애노드와 캐소드 그리고, 애노드와 캐소드 사이에 개재된 유기막들을 포함하고 있다. 여기서 유기막들은 최소한 발광층을 포함하며, 발광층 이외에도 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 수송층, 전자 주입층을 더 포함할 수 있다.
또한, 유기전계발광표시장치(OLED)는 유기물의 자체 발광에 의해 컬러 화상을 구현하는 초경박형 표시장치로서, 그 구조가 간단하면서 광효율이 높다는 점에서 차세대의 유망 평면디스플레이로서 주목받고 있다.
유기전계발광표시장치(OLED)는 유기막 특히, 발광층을 이루는 물질에 따라서 고분자 유기 발광소자와 저분자 유기 발광소자로 나뉘어질 수 있으며, 풀 칼라를 구현하기 위해서는 발광층을 패터닝해야 하는데, 대형 OLED를 제작하는 방식으로는 FMM(fine metal mask)를 이용한 직접 패터닝 방식과 LITI(laser induced thermal imaging) 공법을 적용한 방식, 컬러 필터(color filter)를 이용하는 방식 등이 있다.
FMM(fine metal mask)를 이용한 직접 패터닝 방식은, 마스크 방식이라고 하는데, 패터닝(patterning)된 얇은 금속 마스크를 이용하여 기판에 물질을 증착하는 방식이다.
이러한 마스크는 소정의 슬롯이 패터닝된 얇은 플레이트 형상을 갖는다. 슬롯은 다양한 형태로 마련될 수 있다.
또한, 기판과 같이, 마스크 및 마스크 프레임도 생산된 후 바로 다음 유기전계발광표시장치(OLED) 제조 설비로 이송되는 것이 아니라, 각 유기전계발광표시장치(OLED) 제조 설비들의 처리 능력 및 처리 시간의 차이에 의해 발생하는 버퍼링(buffering) 문제를 해소하기 위하여, 적재유닛에 임시로 보관되며, 필요에 따라 해당공정을 수행하는 OLED 제조 설비로 이송된다.
한편, 마스크 프레임을 OLED 제조 설비로 이송함에 있어서, 적재유닛에 보관된 마스크 프레임은 카세트(cassette)에 적재된 후 이송대차에 의해 해당 OLED 제조 설비로 이송된다.
마스크 프레임을 카세트에 적재함에 있어 카세트 내의 마스크 프레임이 안착되는 마스크 가이드와 적재되는 마스크 프레임간의 오차로 인해, 마스크 가이드와 마스크 프레임 간의 마찰이 발생될 수 있다.
그리고, 마스크 가이드와 마스크 프레임 간의 마찰로 인해 파티클이 발생되고 파티클로 인해 마스크 프레임이 오염되면 증착공정에 악영향을 미쳐 기판의 수율을 저하시키는 문제점이 있다. 또한, 마찰로 인해 마스크 프레임이 마모되면 마스크 프레임의 외곽 치수가 변화게 되므로 폐기해야 하므로, 공정비용이 많이 소요되는 문제점이 있다.
따라서, 마스크 프레임과 카세트 간의 정렬오차를 방지할 수 있는 시스템이 고려되어야 한다.
대한민국 공개특허 특2002-0095075(2002.12.20. 공개)
따라서 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 카세트와 카세트에 적재되는 대상물을 상호 정렬하여 파티클 발생을 억제하고 수율을 향상시킬 수 있는 정렬장치 및 이를 구비한 카세트 공급시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 대상물이 이동가능하게 적재되는 적재부를 구비하며, 상기 적재부의 상부에 상기 대상물이 적재되는 카세트가 이동가능하게 안착되는 프레임부; 및 상기 프레임부에 마련되되, 상기 대상물의 외측부와 상기 카세트의 외측부를 동시에 접촉 가압하여 상기 대상물과 상기 카세트를 상호 정렬하는 정렬유닛을 포함하는 정렬장치가 제공될 수 있다
상기 정렬유닛은, 상기 대상물 및 상기 카세트의 모서리에 상호 대향되게 배치되며, 상기 대상물 및 상기 카세트의 모서리를 이루는 양측 외측부를 동시에 접촉 가압하는 한 쌍의 단위 가압모듈; 및 상기 한 쌍의 단위 가압모듈에 각각 연결되며, 상기 한 쌍의 단위 가압모듈이 상기 대상물 및 상기 카세트의 외측부를 동시에 가압하도록 구동시키는 한 쌍의 가압 구동모듈을 포함할 수 있다.
상기 단위 가압모듈은, 상기 대상물 및 상기 카세트의 모서리를 이루는 일측 외측부를 동시에 접촉 가압하는 제1 가압부; 및 상기 대상물 및 상기 카세트의 모서리를 이루는 타측 외측부를 동시에 접촉 가압하는 제2 가압부를 포함할 수 있다.
상기 가압 구동모듈은, 상기 제1 가압부에 연결되며, 상기 제1 가압부를 상기 대상물 및 상기 카세트의 상기 일측 외측부에 접근 및 이격되게 왕복운동시키는 제1 가압 구동부; 및 상기 제2 가압부에 연결되며, 상기 제2 가압부를 상기 대상물 및 상기 카세트의 상기 타측 외측부에 접근 및 이격되게 왕복운동시키는 제2 가압 구동부를 포함할 수 있다.
상기 제1 가압부는, 상기 제1 가압 구동부에 연결되어 상기 대상물 및 상기 카세트의 상기 일측 외측부 방향으로 왕복운동하는 제1 브라켓; 및 상기 제1 브라켓에 연결되며, 상기 대상물 및 상기 카세트의 상기 일측 외측부를 각각 접촉 가압하는 제1 및 제2 가압부재를 포함하며, 상기 제2 가압부는, 상기 제2 가압 구동부에 연결되어 상기 대상물 및 상기 카세트의 상기 타측 외측부 방향으로 왕복운동하는 제2 브라켓; 및 상기 제2 브라켓에 연결되며, 상기 대상물 및 상기 카세트의 상기 타측 외측부를 각각 가압하는 제3 및 제4 가압부재를 포함할 수 있다.
상기 적재부에 마련되되, 상기 정렬유닛의 가압에 의해 상기 대상물이 수평방향으로 이동가능하도록 상기 대상물의 저면을 지지하는 복수의 제1 지지부재; 및 상기 프레임부의 상기 카세트의 모서리에 대응되는 위치에 각각 마련되되, 상기 정렬유닛이 결합되며, 상기 정렬유닛의 가압에 의해 상기 카세트가 수평방향으로 이동가능하도록 상기 카세트의 저면을 지지하는 복수의 제2 지지부재를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 대상물이 적재되는 적재유닛; 상기 적재유닛에 인접하게 마련되는 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 따른 정렬장치; 및 상기 적재유닛을 따라 이동가능하게 마련되며, 상기 정렬장치의 적재부에 상기 대상물을 적재하고 상기 정렬장치에 의해 상기 대상물과 상기 카세트가 상호 정렬된 경우에 상기 적재부에 적재된 상기 대상물을 상기 카세트에 적재하는 스토커를 포함하는 카세트 공급시스템이 제공될 수 있다.
상기 스토커는, 상기 적재유닛 및 상기 정렬장치에 인접하여 주행가능하게 설치되는 스토커 본체; 상기 스토커 본체에 높이방향으로 설치되는 한 쌍의 수직프레임; 및 상기 한 쌍의 수직프레임에 승강가능하게 연결되며, 상기 적재유닛과 상기 정렬장치 사이에서 상기 대상물을 핸들링하는 포크유닛을 포함할 수 있다.
상기 포크유닛은, 상기 대상물의 저면을 지지하는 포크부; 상기 포크부에 결합되어 상기 포크부를 전후진 가능하게 하는 한 쌍의 포크암; 및 상기 한 쌍의 포크암을 지지하되, 상기 한 쌍의 수직프레임에 결합되어 승강되는 포크지지부를 포함할 수 있다.
상기 포크부는, 상기 한 쌍의 포크암의 일단부가 결합되는 포크몸체; 상기 포크몸체의 일측에 결합되며 상기 대상물이 안착되는 안착부; 및 상기 안착부의 길이방향 양측에 각각 배치되되, 상기 대상물의 내측면에 접촉되며, 상기 대상물이 상기 안착부에 안착되는 경우에 상기 대상물의 안착을 가이드하는 복수의 가이드부재를 포함할 수 있다.
상기 가이드부재는, 상기 대상물의 내측면이 접촉되도록 절곡된 형상으로 형성될 수 있다.
상기 포크부는, 상기 안착부에 마련되되, 상기 복수의 가이드부재에 인접하게 배치되며, 상기 대상물의 저면에 접촉되어 상기 대상물의 미끄러짐을 방지하는 미끄럼 방지패드를 더 포함할 수 있다.
상기 미끄럼 방지패드는, 불코란(vulkollan) 재질로 형성될 수 있다.
상기 스토커는, 상기 안착부의 저면에 마련되되, 상기 안착부에 상기 대상물을 적재하는 경우에 상기 안착부에 대한 상기 대상물의 적재위치를 감지하는 제1 감지센서를 더 포함할 수 있다.
상기 스토커는, 상기 포크몸체의 양측부에 마련되되, 상기 카세트에 상기 대상물을 적재하는 경우에 상기 카세트의 내측면에 대한 상기 포크몸체의 상대위치를 감지하는 제2 감지센서를 더 포함할 수 있다.
상기 적재유닛 및 상기 정렬장치의 주변에 마련된 주행경로를 따라 주행하며, 상기 카세트를 이송하는 이송대차; 및 상기 이송대차와 상기 정렬장치 사이에 마련되며, 상기 이송대차와 상기 정렬장치 간에 상기 카세트를 전달하는 반송유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 반송유닛은, 상기 카세트를 핸들링하는 핸들링로봇; 및 상기 이송대차와 상기 정렬장치 사이에 마련되어 상기 핸들링로봇을 지지하는 지지플랫폼을 포함할 수 있다.
상기 핸들링로봇은, 로봇본체; 상기 로봇본체에 결합되어 상기 카세트를 상기 정렬장치에서 상기 이송대차로 전달하도록 상기 카세트를 핸들링하는 로봇암; 및 상기 로봇암을 지지하되, 상기 로봇암이 상기 이송대차 및 상기 정렬장치에 대향되도록 상기 로봇암을 상기 로봇본체에 대해 상대회전시키는 턴테이블을 더 포함할 수 있다.
상기 반송유닛에 인접하게 마련되며, 상기 반송유닛 및 상기 이송대차에 의해 이송되는 상기 카세트를 임시보관하는 입출고용 포트를 더 포함할 수 있다.
상기 대상물은 마스크 프레임, 마스크, 기판 중 어느 하나일 수 있다.
본 발명의 실시예들은, 대상물을 카세트에 적재하기 전에 대상물과 카세트의 외측부를 동시에 접촉 가압하여 마스크와 카세트를 상호 정렬함으로써, 카세트와 대상물의 정렬오차로 인해 발생되는 파티클을 억제하고 수율을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 카세트 공급시스템을 나타내는 구조도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커를 나타내는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커를 나타내는 정면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 포크부를 나타내는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 정렬장치를 나타내는 측면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 정렬장치를 나타내는 배면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 정렬유닛을 나타내는 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트에 마스크 프레임이 적재되는 동작을 나타내는 동작상태도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 반송유닛, 입출고용 포트 및 이송대차를 나타내는 평면도이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
본 실시예에서 대상물은 마스크 프레임, 마스크, 마스크가 결합된 마스크 프레임, 기판 등을 포함하며, 이하에서는 마스크 프레임을 예를 들어 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 카세트 공급시스템을 나타내는 구조도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커를 나타내는 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커를 나타내는 정면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 포크부를 나타내는 사시도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 정렬장치를 나타내는 측면도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 정렬장치를 나타내는 배면도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 정렬유닛을 나타내는 사시도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트에 마스크 프레임이 적재되는 동작을 나타내는 동작상태도이고, 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 반송유닛, 입출고용 포트 및 이송대차를 나타내는 평면도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 공급시스템(100)은, 마스크 프레임(M)이 적재되는 적어도 하나의 적재유닛(200)과, 적재유닛(200)에 인접하게 마련되며 마스크 프레임(M)과 카세트(C)를 상호 정렬하는 정렬장치(400)와, 적재유닛(200)과 정렬장치(400)를 따라 이동가능하게 마련되며 적재유닛(200) 또는 정렬장치(400)에 마스크 프레임(M)을 전달하는 스토커(300)와, 적재유닛(200) 및 정렬장치(400)의 주변에 마련된 주행경로를 따라 주행하며 카세트(C)를 이송하는 이송대차(600)와, 이송대차(600)와 정렬장치(400) 사이에 마련되며 이송대차(600)와 정렬장치(400) 간에 카세트(C)를 전달하는 반송유닛(500)과, 반송유닛(500)에 인접하게 마련되며 반송유닛(500) 및 이송대차(600)에 의해 이송되는 카세트(C)를 임시보관하는 입출고용 포트(700)를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 공급시스템(100)에서, 적재유닛(200)에 적재된 낱장의 마스크 프레임(M)을 반출하는 과정을 살펴보면, 적재유닛(200)에 적재된 마스크 프레임(M)은 스토커(300)에 의해 정렬장치(400)로 전달된다.
정렬장치(400)는 마스크 프레임(M)과 마스크 프레임(M)이 적재될 카세트(C)를 상호 정렬한다. 그리고, 정렬장치(400)에 의해 카세트(C)에 대해 정렬된 마스크 프레임(M)은 스토커(300)에 의해 카세트(C)의 내부에 적재된다.
그리고, 마스크 프레임(M)이 적재된 카세트(C)는 반송유닛(500)에 의해 이송대차(600)로 전달되며, 이송대차(600)는 카세트(C)를 해당공정이 수행되는 OLED 제조설비로 이송한다.
한편, 마스크 프레임(M)이 적재된 카세트(C)는 반송유닛(500)에 의해 입출고용 포트(700)에 전달되어 임시 보관된 후 이송대차(600)로 전달될 수도 있다.
반대로, 이송대차(600)에 의해 이송된 카세트(C)에서 마스크 프레임(M)을 적재유닛(200)에 적재하는 과정은, 적재유닛(200)에 적재된 낱쟁의 마스크 프레임(M)을 반출하는 과정을 역으로 수행하여 달성할 수 있다.
이하에서는, 적재유닛(200)에 적재된 마스크 프레임(M)(M)을 반출하는 과정을 따라 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 공급시스템(100)에 대해 상세하게 설명하기로 한다.
본 실시예에 따른 적재유닛(200)은 마스크 프레임(M)이 적재되는 복수의 적재공간(미도시)이 형성된 적재선반(미도시)을 포함하며, 도 1에서 도시한 바와 같이 적재선반은 스토커(300)의 이동방향을 따라 나란하게 양측에 배치된다.
본 실시예에서 마스크 프레임(M)은 복수의 적재공간 각각에 하나씩 적재된다.
본 실시예에서 적재선반이 스토커(300)의 이동방향에 나란하게 2열로 배치되게 도시되었지만, 본 발명의 권리범위가 이에 한정되지 않으며 적재선반이 1열로 배치될 수도 있다.
한편, 도 1 내지 도 3을 참조하면, 스토커(300)는 적재유닛(200)에 적재된 마스크 프레임을 정렬장치(400)에 공급하고 정렬장치(400)에 의해 정렬된 마스크 프레임(M)을 상승시켜 카세트(C)에 적재하는 역할을 한다.
스토커(300)는 적재유닛(200)과 정렬장치(400) 사이에서 마스크 프레임(M)을 전달하는 동안, 적재유닛(200) 및 정렬장치(400)를 따라 수평방향으로 주행운동하고, 적재유닛(200)에 적재된 마스크 프레임(M)의 높이에 대응되는 높이로 상승운동하거나 정렬장치(400)에 적재된 마스크 프레임(M)을 상부에 배치된 카세트(C)에 적재하도록 상승운동을 하며, 적재유닛(200)과 정렬장치(400)에 대향되게 회전운동을 한다.
본 실시예에 따른 스토커(300)는, 적재유닛(200) 및 정렬장치(400)에 인접하게 배치된 레일(110)을 따라 주행가능하게 설치되는 스토커 본체(310)와, 스토커 본체(310)에 높이방향으로 설치되는 한 쌍의 수직프레임(330)과, 한 쌍의 수직프레임(330)에 승강 가능하게 연결되며 적재유닛(200)과 정렬장치(400) 사이에서 마스크 프레임(M)을 전달할 수 있도록 마스크 프레임(M)을 핸들링하는 포크유닛(350)을 포함한다.
스토커 본체(310)는 적재유닛(200)에 인접하게 배치된 레일(110)을 따라 이동된다. 따라서, 본 실시예에서 스토커(300)는 스토커 본체(310)가 레일(110)을 따라 주행가능하도록 스토커 본체(310)에 설치되어 스토커 본체(310)를 레일(110)을 따라 주행시키는 주행구동부(370)를 더 포함한다.
그리고, 포크유닛(350)이 상승된 후 적재유닛(200)에 적재된 마스크 프레임(M)을 반출하거나 후술할 정렬장치(400)에 의해 정렬된 마스크 프레임(M)을 상부에 배치된 카세트(C)에 적재할 수 있도록, 스토커 본체(310)에 높이방향으로 한 쌍의 수직프레임(330)이 설치된다.
한 쌍의 수직프레임(330)은 스토커 본체(310)의 상단부에서 높이방향으로 직립되게 마련되어 포크유닛(350)을 지지하며, 포크유닛(350)은 한 쌍의 수직프레임(330)을 따라 승강된다.
따라서, 본 실시예에서 스토커(300)는 스토커 본체(310) 및 한 쌍의 수직프레임(330)에 설치되어 포크유닛(350)을 한 쌍의 수직프레임(330)을 따라 승강시키는 승강구동부(390)를 더 포함한다.
승강구동부(390)는 포크유닛(350)이 결합되는 제1 엘엠블록(LM block,391)과, 한 쌍의 수직프레임(330)에 각각 마련되어 제1 엘엠블록(391)의 승강을 가이드하는 제1 엘엠가이드(LM guide,393)와, 제1 엘엠블록(391)을 승강시키는 구동모터(미도시)를 포함한다.
이러한 승강구동부(390)는 한 쌍의 수직프레임(330) 각각에 마련되므로, 제1 엘엠블록(391)은 포크유닛(350)의 양측에 각각 결합된다. 따라서, 한 쌍의 수직프레임(330)은 포크유닛(350)을 안정적으로 승강시킬 수 있으며, 승강이 완료된 후에도 포크유닛(350)을 안정적으로 지지할 수 있다.
그리고, 포크유닛(350)은 스토커 본체(310)에 장착되며 적재유닛(200)에 적재된 마스크 프레임(M)을 반출하거나 정렬장치(400)에 적재된 마스크 프레임(M)을 반출하기 위해 마스크 프레임(M)을 핸들링하는 역할을 한다.
도 2 및 도 4를 참조하면, 본 실시예에 따른 포크유닛(350)은, 마스크 프레임(M)의 저면을 지지하는 제1 포크부(351)와, 제1 포크부(351)에 결합되어 제1 포크부(351)를 전후진 가능하게 하는 한 쌍의 제1 포크암(353)과, 한 쌍의 제1 포크암(353)을 지지하되 제1 포크부(351)가 적재유닛(200) 및 정렬장치(400)에 대향되도록 한 쌍의 제1 포크암(353)을 스토커 본체(310)에 대해 상대 회전시키는 제1 턴테이블(355)과, 제1 턴테이블(355) 및 한 쌍의 제1 포크암(353)을 지지하되 한 쌍의 수직프레임(330)에 결합되어 승강되는 포크지지부(357)를 포함한다.
본 실시예에서 적재유닛(200) 및 정렬장치(400)는 스토커(300)의 주행방향에 대해 나란하게 배치되므로, 제1 포크부(351)는 마스크 프레임(M)의 저면을 지지한 상태에서 적재유닛(200)으로부터 마스크 프레임(M)을 반출하거나 정렬장치(400)에 마스크 프레임(M)을 적재하기 위해 스토커(300)의 주행방향에 교차하는 방향으로 전후진 이동된다.
따라서, 본 실시예에서는 제1 포크부(351)를 전후진시키는 한 쌍의 제1 포크암(353)이 구비된다.
한 쌍의 제1 포크암(353)은 하부에 마련된 제1 턴테이블(355)에 의해 지지되며, 적재유닛(200) 및 정렬장치(400)에 대향되는 방향으로 신장 및 수축되어 제1 포크부(351)로 하여금 적재유닛(200)으로부터 마스크 프레임(M)을 반출하거나 정렬장치(400)에 마스크 프레임(M)을 적재할 수 있도록 한다.
한 쌍의 제1 포크암(353) 각각은 일측이 제1 턴테이블(355)에 회동가능하게 결합된 제1 링크(353a)와, 제1 링크(353a)의 타측에 회동가능하게 결합된 제2 링크(353b)를 포함한다. 그리고, 제1 링크(353a)와 제2 링크(353b)는 상호 대칭되게 한 쌍으로 마련된다.
한 쌍의 제1 포크암(353)은 한 쌍의 제1 링크(353a)의 일측이 제1 턴테이블(355)에 회동가능하게 링크결합되고, 한 쌍의 제2 링크(353b)의 일측이 한 쌍의 제1 링크(353a)의 타측에 회동가능하게 결합된다. 그리고, 한 쌍의 제2 링크(353b)의 타측은 제1 포크부(351)에 회동가능하게 결합된다.
한 쌍의 제1 포크암(353)의 동작을 간단히 살펴보면, 한 쌍의 제1 링크(353a)의 일측이 상호간 근접되게 회전되면, 이에 링크된 한 쌍의 제2 링크(353b)는 한 쌍의 제1 링크(353a)에 연동되어 상호 근접되면서 제1 포크부(351)를 전진시킨다. 반대로, 한 쌍의 제1 링크(353a)의 일측이 상호간 이격되게 회전되면 제1 포크부(351)는 후진된다.
한편, 본 실시예에서 스토커(300)는 양측에 배치된 적재유닛(200)들 사이 또는 적재유닛(200)과 정렬장치(400) 사이에서 주행운동하므로, 제1 턴테이블(355)은 한 쌍의 제1 포크암(353)을 양측에 배치된 적재유닛(200) 및 정렬장치(400)에 대향되게 180도 회전시킬 수 있는 구조로 마련된다.
즉, 제1 턴테이블(355)이 한 쌍의 수직프레임(330)에 결합된 포크지지부(357) 상에서 상대 회전되어 한 쌍의 제1 포크암(353) 및 제1 포크부(351)를 적재유닛(200) 및 정렬장치(400)에 대향되게 회전시킨다.
이로써, 제1 포크부(351)는 레일(110)에 교차되게 배치된 적재유닛(200)로부터 마스크 프레임(M)을 반출하거나 정렬장치(400)에 마스크 프레임(M)을 적재할 수 있다.
그리고, 포크유닛(350)은 제1 턴테이블(355)을 포크지지부(357) 상에서 상대회전가능하게 하는 회전모터(미도시)를 더 포함한다.
또한, 포크유닛(350)이 한 쌍의 수직프레임(330)을 따라 높이방향으로 승강되도록, 포크지지부(357)의 양단부는 승강구동부(390)의 제1 엘엠블록(391)에 결합된다. 따라서, 제1 엘엠블록(391)이 제1 엘엠가이드(393)를 따라 승강됨에 따라 포크지지부(357) 및 제1 포크부(351)는 한 쌍의 수직프레임(330)을 따라 승강된다.
한편, 제1 포크부(351)는 적재유닛(200)으로부터 마스크 프레임(M)을 반출하거나 정렬장치(400)에 마스크 프레임(M)을 적재함에 있어서, 마스크 프레임(M)을 지지하는 역할을 한다.
즉, 마스크 프레임(M)이 제1 포크부(351)에 안착된 상태에서 한 쌍의 제1 포크암(353)의 전후진에 따라 마스크 프레임(M)을 반출하거나 마스크 프레임(M)을 적재한다.
본 실시예에 따른 제1 포크부(351)는, 한 쌍의 제1 포크암(353)의 일단부가 결합되는 제1 포크몸체(351a)와, 제1 포크몸체(351a)의 일측에 결합되며 마스크 프레임(M)이 안착되는 제1 안착부(351b)와, 제1 안착부의 길이방향 양측에 각각 배치되되 마스크 프레임(M)의 내측면에 접촉되며 마스크 프레임(M)이 제1 안착부(351b)에 안착된 경우에 마스크 프레임(M)의 안착을 가이드하는 복수의 가이드부재(351c)를 포함한다.
제1 안착부(351b)의 상면에 마스크 프레임(M)이 안착되며, 복수의 가이드부재(351c)는 제1 안착부(351b)에 안착되는 마스크 프레임(M)을 가이드하는 역할을 한다.
또한, 도 4에서 도시한 바와 같이, 가이드부재(351c)는 제1 안착부(351b)의 길이방향 양측에 각각 2개씩 배치되고 마스크 프레임(M)의 내측면에 접촉되도록 배치된다.
가이드부재(351c)는 제1 안착부(351b)에 결합되고, 마스크 프레임(M)의 내측면이 접촉되도록 절곡된 형상으로 형성될 수도 있다.
이처럼, 복수의 가이드부재(351c)는 마스크 프레임(M)의 내측면을 접촉지지하여 제1 안착부(351b)의 상면에 안착되는 마스크 프레임(M)의 위치를 결정한다.
또한, 복수의 가이드부재(351c)는 마스크 프레임(M)의 내측면을 접촉지지하므로 마스크 프레임(M)이 제1 안착부(351b)에 안착되는 경우에 마스크 프레임(M)이 제1 안착부(351b)에서 이탈되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 제1 포크부(351)는 제1 안착부(351b)에 마련되되 복수의 가이드부재(351c)에 인접하게 배치되며 마스크 프레임(M)의 저면에 접촉되어 마스크 프레임(M)의 미끄러짐을 방지하는 미끄럼 방지패드(351d)를 더 포함한다.
본 실시예에 따른 미끄럼 방지패드(351d)는 불코란(vulkollan) 재질로 형성되어 마스크 프레임(M)의 미끄러짐을 효율적으로 방지한다.
본 실시예에서 불코란 재질의 미끄럼 방지패드(351d)는 제1 포크몸체(351a)에 인접한 제1 안착부(351b)에 복수 개 설치될 수 있으나, 이에 한정되지 않고 제1 안착부(351b)의 길이방향 양측에 각각 설치될 수도 있다.
한편, 본 실시예에 따른 스토커(300)는 적재유닛(200)으로부터 마스크 프레임(M)을 반출하여 정렬장치(400)에 적재하므로, 정렬장치(400)에 적재되는 마스크 프레임(M)의 오차 발생을 방지하기 위해 제1 안착부(351b)에 안착되는 마스크 프레임(M)의 적재위치를 검출하여야 한다.
따라서, 본 실시예에 따른 스토커(300)는, 제1 안착부(351b)의 저면에 마련되되 제1 안착부(351b)에 마스크 프레임(M)을 적재하는 경우에 제1 안착부(351b)에 대한 마스크 프레임(M)의 적재위치를 감지하는 제1 감지센서(360)를 더 포함한다.
도 4를 참조하면, 제1 감지센서(360b)는 제1 안착부(351b)에 마스크 프레임(M)이 안착되는 경우, 마스크 프레임(M)에 의해 간섭되지 않도록 제1 안착부(351b)의 저면에 설치된다.
그리고, 제1 감지센서(360)는 마스크 프레임(M)의 대향되는 내측면과 제1 안착부(351b) 간의 거리를 측정하여 제1 안착부(351b)에 대한 마스크 프레임(M)의 적재위치를 감지하는 거리센서로 구성될 수 있다.
또한, 본 실시예에 따른 스토커(300)는 정렬장치(400)의 적재부(411)에 마스크 프레임(M)을 적재하고 마스크 프레임(M)과 카세트(C)를 상호 정렬한 후, 정렬장치(400)에 적재된 마스크 프레임(M)을 카세트(C)에 적재한다.
이때, 마스크 프레임(M)은 제1 안착부(351b)에 안착된 상태에서 카세트(C)에 삽입되어 적재되므로, 카세트(C)에 적재되는 마스크 프레임(M)의 오차 발생을 방지하기 위해 카세트(C)의 내측면에 대한 제1 안착부(351b) 또는 제1 포크몸체(351a)의 상대위치를 검출하여야 한다.
따라서, 본 실시예에 따른 스토커(300)는, 제1 포크몸체(351a)의 양측부에 마련되되 카세트(C)에 마스크 프레임(M)을 적재하는 경우에 카세트(C)의 내측면에 대한 제1 포크몸체(351a)의 상대위치를 감지하는 제2 감지센서(365)를 더 포함한다.
도 4를 참조하면, 제2 감지센서(365)는 제1 포크몸체(351a)의 양측부에 설치되어 제1 포크몸체(351a)의 측부와 카세트(C)의 내측면 간의 거리를 측정하여 카세트(C)의 내측면에 대한 제1 포크몸체(351a)의 상대 위치를 감지하는 거리센서로 구성될 수 있다.
한편, 도 5 및 도 6에서 도시한 바와 같이, 적재유닛(200)에 적재된 마스크 프레임(M)은 스토커(300)에 의해 정렬장치(400)에 적재된 후 카세트(C)와 상호 정렬된다.
본 실시예에 따른 정렬장치(400)는, 마스크 프레임(M)과 마스크 프레임(M)이 적재될 카세트(C)를 상호 정렬하는 역할을 한다.
도 5 내지 도 7을 참조하면, 본 실시예에 따른 정렬장치(400)는, 마스크 프레임(M)이 이동가능하게 적재되는 적재부(411)를 구비하며 적재부(411)의 상부에 마스크 프레임(M)이 적재되는 카세트(C)가 이동가능하게 안착되는 프레임부(410)와, 프레임부(410)에 마련되되 마스크 프레임(M)의 외측부와 카세트(C)의 외측부를 동시에 접촉 가압하여 마스크 프레임(M)과 카세트(C)를 상호 정렬하는 정렬유닛(430)을 포함한다.
프레임부(410)는 적재유닛(200)에 인접하게 마련된다. 그리고, 상호 정렬되는 마스크 프레임(M)과 카세트(C)는 프레임부(410)의 높이방향으로 배치된다.
그리고, 적재유닛(200)으로부터 반출된 마스크 프레임(M)은 스토커(300)에 의해 운반되어 프레임부(410)의 내부에 마련된 적재부(411)에 적재된다.
마스크 프레임(M)은 후술할 정렬유닛(430)에 의해 수평방향으로 이동될 수 있도록 적재부(411)에 수평방향으로 이동가능하게 적재된다.
이를 위해, 본 실시예에 따른 정렬장치(400)는, 적재부(411)에 마련되되 정렬유닛(430)의 가압에 의해 마스크 프레임(M)이 수평방향으로 이동가능하도록 마스크 프레임(M)의 저면을 지지하는 복수의 제1 지지부재(450)를 더 포함한다.
또한, 마스크 프레임(M)이 적재되는 카세트(C)는 정렬유닛(430)에 의해 수평방향으로 이동될 수 있도록 적재부(411)의 상부, 구체적으로 프레임부(410)의 상부에 카세트(C)가 안착된다.
이를 위해, 본 실시예에 따른 정렬장치(400)는, 프레임부(410)의 카세트(C)의 모서리에 대응되는 위치에 각각 카세트(C)의 저면을 지지하는 복수의 제2 지지부재(470)를 더 포함한다.
복수의 제2 지지부재(470)는, 정렬유닛(430)의 가압에 의해 카세트(C)가 수평방향으로 이동가능하도록 카세트(C)의 저면을 지지한다.
그리고, 본 실시예에 따른 정렬유닛(430)은, 프레임부(410)에 마련되어 마스크 프레임(M) 및 카세트(C)의 외측부를 동시에 접촉 가압하여 마스크 프레임(M)과 카세트(C)를 상호 정렬하는 역할을 한다.
특히, 정렬유닛(430)은 마스크 프레임(M) 및 카세트(C)의 모서리에 상호 대향되게 배치된다.
구체적으로, 정렬유닛(430)은, 마스크 프레임(M) 및 카세트(C)의 모서리에 상호 대향되게 배치되며 마스크 프레임(M) 및 카세트(C)의 모서리를 이루는 양측 외측부를 동시에 접촉 가압하는 한 쌍의 단위 가압모듈(431)과, 한 쌍의 단위 가압모듈(431)에 각각 연결되며 한 쌍의 단위 가압모듈(431)이 마스크 프레임(M) 및 카세트(C)의 외측부를 동시에 가압하도록 구동시키는 한 쌍의 가압 구동모듈(435)을 포함한다.
단위 가압모듈(431)은 마스크 프레임(M) 및 카세트(C)의 모서리에 상호 대향되게 한 쌍으로 구비되며, 마스크 프레임(M) 및 카세트(C)의 모서리를 접촉 가압하여 마스크 프레임(M)과 카세트(C)를 상호 정렬한다.
이러한, 단위 가압모듈(431)은, 마스크 프레임(M) 및 카세트(C)의 모서리를 이루는 일측 외측부를 동시에 접촉 가압하는 제1 가압부(432)와, 마스크 프레임(M) 및 카세트(C)의 모서리를 이루는 타측 외측부를 동시에 접촉 가압하는 제2 가압부(433)를 포함한다.
마스크 프레임(M) 및 카세트(C)의 모서리를 이루는 일측 외측부와 타측 외측부를 동시에 가압하도록 제1 가압부(432)와 제2 가압부(433)는 하나의 가압 구동모듈(435)에 연동되어 동작한다.
구체적으로, 제1 가압부(432)는 하나의 가압 구동모듈(435)에 연결되어 마스크 프레임(M) 및 카세트(C)의 일측 외측부 방향으로 왕복운동하는 제1 브라켓(432a)과, 제1 브라켓(432a)에 연결되며 마스크 프레임(M) 및 카세트(C)의 일측 외측부를 각각 접촉 가압하는 제1 가압부재(432b) 및 제2 가압부재(432c)를 포함한다.
그리고, 제2 가압부(433)는 다른 하나의 가압 구동모듈(435)에 연결되어 마스크 프레임(M) 및 카세트(C)의 타측 외측부 방향으로 왕복운동하는 제2 브라켓(433a)과, 제2 브라켓(433a)에 연결되며 마스크 프레임(M) 및 카세트(C)의 타측 외측부를 각각 가압하는 제3 가압부재(433b) 및 제4 가압부재(433c)를 포함한다.
여기서, 가압 구동모듈(435)은 제1 가압부(432)에 연결되며 제1 가압부(432)를 마스크 프레임(M) 및 카세트(C)의 일측 외측부에 접근 및 이격되게 왕복운동시키는 제1 가압 구동부(436)와, 제2 가압부(433)에 연결되며 제2 가압부(433)를 마스크 프레임(M) 및 카세트(C)의 타측 외측부에 접근 및 이격되게 왕복운동시키는 제2 가압 구동부(437)를 포함한다.
본 실시예에서 제1 가압 구동부(436) 및 제2 가압 구동부(437)는 공압 실린더, LM 가이드 등 다양하게 구성될 수 있다.
단위 가압모듈(431) 및 가압 구동모듈(435)에 의한 마스크 프레임(M)과 카세트(C)를 상호 정렬하는 동작을 살펴보면 다음과 같다.
도 5 및 도 6에서 도시한 바와 같이, 스토커(300)에 의해 마스크 프레임(M)이 적재부(411)에 적재된다.
마스크 프레임(M)이 적재부(411)에 적재된 경우, 제1 가압 구동부(436) 및 제2 가압 구동부(437)는 제1 가압부(432) 및 제2 가압부(433)가 마스크 프레임(M) 및 카세트(C)의 외측부에 접촉되도록 구동된다.
이때, 제1 가압부(432)는 제1 브라켓(432a)에 의해 제1 가압 구동부(436)에 결합되고 제1 브라켓(432a)에는 마스크 프레임(M) 및 카세트(C)의 일측 외측부를 접촉 가압하는 제1 가압부재(432b)와 제2 가압부재(432c)가 높이 방향으로 결합된다.
따라서, 제1 가압 구동부(436)에 의해 제1 브라켓(432a)이 마스크 프레임(M) 및 카세트(C)의 일측 외측부 방향으로 이동되면 제1 가압부재(432b)와 제2 가압부재(432c)가 각각 마스크 프레임(M) 및 카세트(C)의 일측 외측부를 접촉가압한다.
제2 가압부(433)의 제3 가압부재(433b)와 제4 가압부재(433c)는 상기한 제1 가압부재(432b)와 제2 가압부재(432c)와 같은 구동방식으로 마스크 프레임(M) 및 카세트(C)의 타측 외측부를 접촉 가압한다.
이처럼, 마스크 프레임(M) 및 카세트(C)의 외측부를 동시에 가압하여 마스크 프레임(M)과 카세트(C)를 동시에 상호 정렬한다.
상기와 같이, 마스크 프레임(M) 및 카세트(C)를 상호 정렬한 경우, 도 8에서 도시한 바와 같이, 제1 안착부(351b)는 적재부(411)에 적재된 마스크 프레임(M) 방향으로 전진하여, 마스크 프레임(M)을 적재부(411)로부터 반출한다.
그리고, 승강구동부(390)의 동작에 의해 마스크 프레임(M)이 안착된 상태에서 제1 안착부(351b)는 높이방향으로 상승되고, 카세트(C)의 내부로 삽입된다.
그리고, 제1 안착부(351b)는 카세트(C)의 내부에 마스크 프레임(M)을 적재한다.
상기와 같이, 먼저 정렬장치(400)로 마스크 프레임(M)과 카세트(C)를 정렬하고, 제1 안착부(351b)를 전후진 및 상승동작만으로 카세트(C)에 마스크 프레임(M)을 적재함으로써, 마스크 프레임(M)을 카세트(C)에 적재하는 과정에서 발생될 수 있는 정렬오차를 최소화할 수 있다.
전술한 바와 같이, 마스크 프레임(M)과 카세트(C)를 상호 정렬하고 마스크 프레임(M)을 카세트(C)에 적재한 경우, 반송유닛(500)은 정렬장치(400)에 안착된 카세트(C)를 이송대차(600)로 전달한다.
즉, 도 9에서 도시한 바와 같이, 반송유닛(500)은 정렬장치(400)와 이송대차(600) 간에 카세트(C)를 전달하는 역할을 한다.
반송유닛(500)은, 마스크 프레임(M)이 적재된 카세트(C)를 핸들링하는 핸들링로봇(510)과, 이송대차(600)와 정렬장치(400) 사이에 마련되어 핸들링로봇(510)을 지지하는 지지플랫폼(530)을 포함한다.
핸들링로봇(510)은 지지플랫폼(530)의 상부에 마련되며, 정렬장치(400)에 안착된 카세트를 이송대차(600)에 전달하기 위해 카세트(C)를 핸들링하는 역할을 한다.
본 실시예에 따른 핸들링로봇(510)은, 로봇본체(511)와, 로봇본체(511)에 결합되어 카세트(C)를 정렬장치(400)에서 이송대차(600)로 전달하도록 마스크 프레임(M)을 핸들링하는 로봇암(513)와, 로봇암(513)를 지지하되 로봇암(513)이 이송대차(600) 및 정렬장치(400)에 대향되도록 로봇암(513)를 로봇본체(511)에 대해 상대회전시키는 제2 턴테이블(517)을 포함한다.
로봇암(513)는, 카세트(C)의 저면을 지지하는 제2 포크부(514)와, 일측이 제2 턴테이블(517)에 결합되고 타측이 제2 포크부(514)에 결합되어 제2 포크부(514)를 전후진 가능하게 하는 한 쌍의 제2 포크암(515)을 포함한다.
본 실시예에서 제2 포크부(514)는 카세트(C)를 지지한 상태에서 카세트(C)를 정렬장치(400) 및 이송대차(600)에 적재하거나 정렬장치(400) 및 이송대차(600)에서 반출하기 위해 전후진 이동된다.
이를 위해 본 실시예에서는 제2 포크부(514)에 결합되어 제2 포크부(514)를 전후진되게 하는 한 쌍의 제2 포크암(515)이 마련된다.
한 쌍의 제2 포크암(515)은 하부에 마련된 제2 턴테이블(517)에 의해 지지되며, 정렬장치(400) 또는 이송대차(600) 방향으로 신장 및 수축되어 제2 포크부(514)를 전후진 동작되게 한다.
한 쌍의 제2 포크암(515) 각각은 일측이 제2 턴테이블(517)에 회동가능하게 결합된 제3 링크(515a)와, 제3 링크(515a)의 타측에 회동가능하게 결합된 제4 링크(515b)를 포함한다. 그리고, 제3 링크(515a)와 제4 링크(515b)는 상호 대칭되게 한 쌍으로 마련된다.
한 쌍의 제2 포크암(515)은 한 쌍의 제3 링크(515a)의 일측이 제2 턴테이블(517)에 회동가능하게 링크결합되고, 한 쌍의 제4 링크(515b)의 일측이 한 쌍의 제3 링크(515a)의 타측에 회동가능하게 결합된다. 그리고, 한 쌍의 제4 링크(515b)의 타측은 제2 포크부(514)에 회동가능하게 결합된다.
한 쌍의 제2 포크암(515)의 동작을 간단히 살펴보면, 한 쌍의 제3 링크(515a)의 일측이 상호간 근접되게 회전되면, 이에 링크된 한 쌍의 제4 링크(515b)는 한 쌍의 제3 링크(515a)에 연동되어 상호 근접되면서 제2 포크부(514)를 전진시킨다. 반대로, 한 쌍의 제3 링크(515a)의 일측이 상호간 이격되게 회전되면 제2 포크부(514)는 후진된다.
한편, 도 9에서 도시한 바와 같이, 본 실시예에서 정렬장치(400)와 이송대차(600)는 반송유닛(500)을 기준으로 직각되게 배치되므로, 제2 턴테이블(517)은 한 쌍의 제2 포크암(515)을 직각되게 90도 회전시킬 수 있는 구조로 마련된다.
즉, 제2 턴테이블(517)은 한 쌍의 제2 포크암(515)을 정렬장치(400) 및 이송대차(600)에 대향되게 회전시킨다. 이때, 반송유닛(500)은 제2 턴테이블(517)을 회전시키는 회전모터(미도시)를 더 포함한다.
한편, 제2 포크부(514)는 이송대차(600)에 카세트(C)를 적재하거나 이송대차(600)로부터 카세트(C)를 반출함에 있어서, 카세트(C)를 지지하는 역할을 한다. 즉, 카세트(C)가 제2 포크부(514)에 안착된 상태에서 한 쌍의 제2 포크암(515)의 전후진에 따라 카세트(C)를 적재하거나 카세트(C)를 반출한다.
본 실시예에 따른 제2 포크부(514)는, 한 쌍의 제2 포크암(515)의 일단부가 결합되는 제2 포크몸체(514a)와, 제2 포크몸체(514a)의 일측에 결합되어 카세트(C)의 저면을 지지하는 제2 안착부(514b)를 포함한다.
여기서, 제2 안착부(514b)는 카세트(C)가 정렬장치(400)에 안착된 경우에 카세트(C)의 저면을 지지한다.
한편, 도 9에서 도시한 바와 같이, 이송대차(600)는 적재유닛(200) 및 정렬장치(400)의 주변에 마련된 주행경로를 따라 주행하면서 마스크 프레임(M)이 적재된 카세트(C)를 해당 공정을 수행하는 OLED 설비로 이송한다.
그리고, 도 9에서 도시한 바와 같이, 입출고용 포트(700)은 반송유닛(500)에 인접하게 마련되어 반송유닛(500) 및 이송대차(600)에 의해 이송되는 카세트(C)를 임시보관하는 역할을 한다.
카세트(C)를 반출하고자 하는 경우에 반송유닛(500)은 정렬장치(400)에 안착된 카세트(C)를 입출고용 포트(700)에 전달하거나, 이송대차(600)에 의해 이송된 카세트(C)를 입출고용 포트(700)에 전달한다.
이처럼, 입출고용 포트(700)는 카세트(C)를 임시 보관하는 버퍼역할을 한다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 공급시스템(100)을 이용하여 적재유닛(200)에 적재된 마스크 프레임(M)을 반출하는 동작을 설명하면 다음과 같다.
도 1을 참조하면, 적재유닛(200)에 적재된 마스크 프레임(M)은 제1 포크부(351)에 의해 반출된다.
그리고, 스토커(300)는 정렬장치(400) 방향으로 레일(110)을 따라 주행하고, 제1 포크부(351)는 정렬장치(400)를 향하여 전진한 후 마스크 프레임(M)을 정렬장치(400)의 적재부(411)에 적재한다.
그리고, 정렬장치(400)는 적재부(411)에 적재된 마스크 프레임(M)과 적재부의 상부에 배치된 카세트(C)의 외측부를 동시에 가압하여 마스크 프레임(M)과 카세트(C)를 상호 정렬한다.
그리고, 제1 포크부(351)가 적재부(411)로부터 마스크 프레임(M)을 반출하여 카세트(C)에 적재한다.
그리고, 반송유닛(500)은 정렬장치(400)에 안착된 카세트(C)를 향하여 제2 포크부(514)를 전진한 후 카세트(C)의 저면을 지지한다.
그리고, 제2 포크부(514)에 카세트(C)가 지지된 상태에서 제2 턴테이블(517)의 회전에 의해 제2 포크부(514)는 이송대차(600)에 대향되게 위치한다.
그리고, 제2 포크부(514)는 이송대차(600)를 향하여 전진한 후 카세트(C)를 이송대차(600)에 전달한다.
반대로, 이송대차(600)에 의해 이송되는 카세트(C)를 적재유닛(200)에 적재하는 동작은 전술한 적재유닛(200)에 적재된 카세트(C)를 이송대차(600)에 전달하는 동작을 역으로 수행하여 달성할 수 있다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정 예 또는 변형 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100: 카세트 공급시스템 200: 적재유닛
300: 스토커 350: 포크유닛
400: 정렬장치 410: 프레임부
430: 정렬유닛 500: 반송유닛
600: 이송대차 700: 입출고용 포트

Claims (20)

  1. 대상물이 이동가능하게 적재되는 적재부를 구비하며, 상기 적재부의 상부에 상기 대상물이 적재되는 카세트가 이동가능하게 안착되는 프레임부;
    상기 프레임부에 마련되되, 상기 대상물의 외측부와 상기 카세트의 외측부를 동시에 접촉 가압하여 상기 대상물과 상기 카세트를 상호 정렬하는 정렬유닛;
    상기 적재부에 마련되되, 상기 정렬유닛의 가압에 의해 상기 대상물이 수평방향으로 이동가능하도록 상기 대상물의 저면을 지지하는 복수의 제1 지지부재; 및
    상기 제1 지지부재들의 상부에 배치되고, 상기 프레임부의 상기 카세트의 모서리에 대응되는 위치에 각각 마련되되, 상기 정렬유닛이 결합되며, 상기 정렬유닛의 가압에 의해 상기 카세트가 수평방향으로 이동가능하도록 상기 카세트의 저면을 지지하는 복수의 제2 지지부재를 더 포함하며,
    상기 정렬유닛은,
    상기 대상물 및 상기 카세트의 모서리에 상호 대향되게 배치되며, 상기 대상물 및 상기 카세트의 모서리를 이루는 양측 외측부를 동시에 접촉 가압하는 한 쌍의 단위 가압모듈; 및
    상기 한 쌍의 단위 가압모듈에 각각 연결되며, 상기 한 쌍의 단위 가압모듈이 상기 대상물 및 상기 카세트의 외측부를 동시에 가압하도록 구동시키는 한 쌍의 가압 구동모듈을 포함하고,
    상기 단위 가압모듈은,
    상기 대상물 및 상기 카세트의 모서리를 이루는 일측 외측부를 동시에 접촉 가압하는 제1 가압부; 및
    상기 대상물 및 상기 카세트의 모서리를 이루는 타측 외측부를 동시에 접촉 가압하는 제2 가압부를 포함하는 정렬장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 가압 구동모듈은,
    상기 제1 가압부에 연결되며, 상기 제1 가압부를 상기 대상물 및 상기 카세트의 상기 일측 외측부에 접근 및 이격되게 왕복운동시키는 제1 가압 구동부; 및
    상기 제2 가압부에 연결되며, 상기 제2 가압부를 상기 대상물 및 상기 카세트의 상기 타측 외측부에 접근 및 이격되게 왕복운동시키는 제2 가압 구동부를 포함하는 정렬장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1 가압부는,
    상기 제1 가압 구동부에 연결되어 상기 대상물 및 상기 카세트의 상기 일측 외측부 방향으로 왕복운동하는 제1 브라켓; 및
    상기 제1 브라켓에 연결되며, 상기 대상물 및 상기 카세트의 상기 일측 외측부를 각각 접촉 가압하는 제1 및 제2 가압부재를 포함하며,
    상기 제2 가압부는,
    상기 제2 가압 구동부에 연결되어 상기 대상물 및 상기 카세트의 상기 타측 외측부 방향으로 왕복운동하는 제2 브라켓; 및
    상기 제2 브라켓에 연결되며, 상기 대상물 및 상기 카세트의 상기 타측 외측부를 각각 가압하는 제3 및 제4 가압부재를 포함하는 정렬장치.
  6. 삭제
  7. 대상물이 적재되는 적재유닛;
    상기 적재유닛에 인접하게 마련되는 제1항, 제4항 또는 제5항 중 어느 한 항에 따른 정렬장치; 및
    상기 적재유닛을 따라 이동가능하게 마련되며, 상기 정렬장치의 적재부에 상기 대상물을 적재하고 상기 정렬장치에 의해 상기 대상물과 상기 카세트가 상호 정렬된 경우에 상기 적재부에 적재된 상기 대상물을 상기 카세트에 적재하는 스토커를 포함하는 카세트 공급시스템.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 스토커는,
    상기 적재유닛 및 상기 정렬장치에 인접하여 주행가능하게 설치되는 스토커 본체;
    상기 스토커 본체에 높이방향으로 설치되는 한 쌍의 수직프레임; 및
    상기 한 쌍의 수직프레임에 승강가능하게 연결되며, 상기 적재유닛과 상기 정렬장치 사이에서 상기 대상물을 핸들링하는 포크유닛을 포함하는 카세트 공급시스템.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 포크유닛은,
    상기 대상물의 저면을 지지하는 포크부;
    상기 포크부에 결합되어 상기 포크부를 전후진 가능하게 하는 한 쌍의 포크암; 및
    상기 한 쌍의 포크암을 지지하되, 상기 한 쌍의 수직프레임에 결합되어 승강되는 포크지지부를 포함하는 카세트 공급시스템.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 포크부는,
    상기 한 쌍의 포크암의 일단부가 결합되는 포크몸체;
    상기 포크몸체의 일측에 결합되며 상기 대상물이 안착되는 안착부; 및
    상기 안착부의 길이방향 양측에 각각 배치되되, 상기 대상물의 내측면에 접촉되며, 상기 대상물이 상기 안착부에 안착되는 경우에 상기 대상물의 안착을 가이드하는 복수의 가이드부재를 포함하는 카세트 공급시스템.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 가이드부재는,
    상기 대상물의 내측면이 접촉되도록 절곡된 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 카세트 공급시스템.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 포크부는,
    상기 안착부에 마련되되, 상기 복수의 가이드부재에 인접하게 배치되며, 상기 대상물의 저면에 접촉되어 상기 대상물의 미끄러짐을 방지하는 미끄럼 방지패드를 더 포함하는 카세트 공급시스템.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 미끄럼 방지패드는,
    불코란(vulkollan) 재질로 형성되는 카세트 공급시스템.
  14. 제10항에 있어서,
    상기 스토커는,
    상기 안착부의 저면에 마련되되, 상기 안착부에 상기 대상물을 적재하는 경우에 상기 안착부에 대한 상기 대상물의 적재위치를 감지하는 제1 감지센서를 더 포함하는 카세트 공급시스템.
  15. 제10항에 있어서,
    상기 스토커는,
    상기 포크몸체의 양측부에 마련되되, 상기 카세트에 상기 대상물을 적재하는 경우에 상기 카세트의 내측면에 대한 상기 포크몸체의 상대위치를 감지하는 제2 감지센서를 더 포함하는 카세트 공급시스템.
  16. 제7항에 있어서,
    상기 적재유닛 및 상기 정렬장치의 주변에 마련된 주행경로를 따라 주행하며, 상기 카세트를 이송하는 이송대차; 및
    상기 이송대차와 상기 정렬장치 사이에 마련되며, 상기 이송대차와 상기 정렬장치 간에 상기 카세트를 전달하는 반송유닛을 더 포함하는 카세트 공급시스템.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 반송유닛은,
    상기 카세트를 핸들링하는 핸들링로봇; 및
    상기 이송대차와 상기 정렬장치 사이에 마련되어 상기 핸들링로봇을 지지하는 지지플랫폼을 포함하는 카세트 공급시스템.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 핸들링로봇은,
    로봇본체;
    상기 로봇본체에 결합되어 상기 카세트를 상기 정렬장치에서 상기 이송대차로 전달하도록 상기 카세트를 핸들링하는 로봇암; 및
    상기 로봇암을 지지하되, 상기 로봇암이 상기 이송대차 및 상기 정렬장치에 대향되도록 상기 로봇암을 상기 로봇본체에 대해 상대회전시키는 턴테이블을 더 포함하는 카세트 공급시스템.
  19. 제16항에 있어서,
    상기 반송유닛에 인접하게 마련되며, 상기 반송유닛 및 상기 이송대차에 의해 이송되는 상기 카세트를 임시보관하는 입출고용 포트를 더 포함하는 카세트 공급시스템.
  20. 삭제
KR1020140195709A 2014-12-31 2014-12-31 정렬장치 및 이를 구비한 카세트 공급시스템 KR101666803B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140195709A KR101666803B1 (ko) 2014-12-31 2014-12-31 정렬장치 및 이를 구비한 카세트 공급시스템

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140195709A KR101666803B1 (ko) 2014-12-31 2014-12-31 정렬장치 및 이를 구비한 카세트 공급시스템

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20160082177A KR20160082177A (ko) 2016-07-08
KR101666803B1 true KR101666803B1 (ko) 2016-10-17

Family

ID=56504176

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140195709A KR101666803B1 (ko) 2014-12-31 2014-12-31 정렬장치 및 이를 구비한 카세트 공급시스템

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101666803B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11258015B2 (en) 2018-11-13 2022-02-22 Samsung Display Co., Ltd. Mask cassette alignment device and method of aligning mask cassette

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3734432B2 (ja) 2001-06-07 2006-01-11 三星電子株式会社 マスク搬送装置、マスク搬送システム及びマスク搬送方法
KR100751277B1 (ko) * 2005-12-07 2007-08-23 코닉시스템 주식회사 로드락 챔버의 기판 정렬 장치
KR101117122B1 (ko) * 2009-10-08 2012-02-27 주식회사 에스에프에이 스토커 시스템
KR101341425B1 (ko) * 2011-11-02 2013-12-13 주식회사 에스에프에이 스토커 시스템

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11258015B2 (en) 2018-11-13 2022-02-22 Samsung Display Co., Ltd. Mask cassette alignment device and method of aligning mask cassette

Also Published As

Publication number Publication date
KR20160082177A (ko) 2016-07-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI732253B (zh) 搬送系統
JP4967318B2 (ja) ストッカ
KR101511963B1 (ko) 카세트 공급시스템
JP4200387B2 (ja) 搬送システム
JP6566051B2 (ja) 保管装置及び搬送システム
KR101297380B1 (ko) 스토커
JP4614807B2 (ja) 容器溝へのガラス板の挿入方法および装置
KR20060133447A (ko) 반송 시스템
KR101666803B1 (ko) 정렬장치 및 이를 구비한 카세트 공급시스템
JP2006347753A (ja) 搬送システム
KR101374670B1 (ko) 카세트 이송 장치
JP4896606B2 (ja) 移載機
JP5427099B2 (ja) 板状物の搬送システム
KR101341425B1 (ko) 스토커 시스템
JP2005136294A (ja) 移載装置
KR101658056B1 (ko) 대상물 공급시스템
JP2011051748A (ja) ローダアンローダと搬送車と装置間のロードアンロード方法
KR101658057B1 (ko) 카세트 공급시스템
JP2007039158A (ja) 搬送装置および真空処理装置
JP4216029B2 (ja) 薄板搬送装置
JP2010159118A (ja) 自動倉庫
JP2009035414A (ja) 別階層工程間搬送システム
KR102670087B1 (ko) 증착 시스템
KR102171686B1 (ko) 선반 클리닝장치 및 이를 구비하는 반송물 이적재 시스템
JP2007076919A (ja) 移載システムおよびそれを備える保管設備

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190930

Year of fee payment: 4