KR101374670B1 - 카세트 이송 장치 - Google Patents

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김영종
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Abstract

카세트 이송 장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 이송 장치는 카세트가 스토커(Stocker)측으로 이송되도록 카세트를 가이드하되, 서로 상이한 폭을 가지는 카세트가 각각 이송될 수 있도록 카세트의 폭에 대응하여 너비의 조절이 가능한 카세트이송가이드유닛; 및 카세트이송가이드유닛에 연결되어 카세트이송가이드유닛을 지지하는 프레임을 포함한다.
이에 의해, 서로 상이한 폭을 가지는 카세트를 하나의 이송장치에서 처리할 수 있는 효과가 있다.

Description

카세트 이송 장치{APPARATUS FOR TRANSFERRING CASSETTE}
본 발명은, 카세트 이송 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 서로 상이한 폭을 가지는 카세트의 이송이 가능할 뿐만 아니라 자동반송대차(AGV)로부터 운반되어진 카세트와 수동반송대차(MGV)로부터 운송되어진 카세트 모두 스토커(Stocker)측으로 이송할 수 있는 카세트 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로, LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등과 같은 평판표시장치에서 글래스 기판 또는 마스크(Mask)의 역할과 기능은 갈수록 중요한 과제로 대두되고 있는데, 이는 기판에 형성되는 다수의 회로 소자의 기능에 따라 평판디스플레이 패널의 전체적인 품질이 많은 영향을 받기 때문이다.
생산 현장에서는 작업 효율을 최대화하고 청정도를 높이기 위해, 여러 공정을 거쳐 완성된 다수개의 기판 , 글래스 기판 또는 마스크(Mask)가 로봇을 통해 카세트(Cassette)에 수납된 후 이송과정을 거쳐 스토커(Stocker)에 저장된다.
즉, 기판, 글래스 기판 또는 마스크(Mask)를 각각 수납한 카세트는 자동제어방식에 의한 자동반송대차(AGV : Automatically Guided Vehicle), 또는, 작업자가 직접 끌고 이송하는 수동반송대차(MGV : Manual Guided Vehicle)에 의해 이송장치로 운반된 후 스토커측으로 이송되어 카세트 자체 또는 카세트에 적재된 개별 물품이 스토커에 마련된 선반에 적재되거나 역과정을 거쳐 반출된다.
여기서, LCD 또는 OLED 제조 설비에서 해당 공정이 완료된 후, 다음 LCD 또는 OLED 제조 공정으로 바로 이송되지 않고 카세트 자체 또는 카세트에 적재된 개별 물품을 스토커에 일시 저장하는 이유는, 각 LCD 또는 OLED 제조 공정에서의 글래스 기판 또는 마스크의 처리 능력이나, 처리 시간의 차이에 의해 발생하는 버퍼링(buffering) 문제를 해소하기 위함이다.
하지만, 종래 기술에서 카세트에 적재된 물품의 폭이 상이한 경우, 카세트의 폭도 상이하게 되는데, 이러한 상이한 폭을 가지는 각각의 카세트는 하나의 이송장치에서 처리되는 것이 아니라 대응되는 폭에 따라 이송장치가 각각 개별적으로 설치되므로, 제한된 공간 내에 설치된 다수의 이송장치로 인해 스토커를 설치할 수 있는 공간이 상대적으로 감소하게 되며, 이로 인해, 카세트 자체 또는 카세트에 적재된 개별 물품의 보관량이 감소되는 문제점이 있었다.
또한, 종래 기술에서 카세트 자체 또는 카세트에 적재된 개별 물품을 스토커에 마련된 선반에 저장하는 경우, 자동반송대차(AGV)를 통한 이송장치와 수동반송대차(MGV)를 통한 이송장치가 각각 개별적으로 설치되므로, 스토커 설치공간의 감소에 따른 카세트 자체 또는 카세트에 적재된 개별 물품의 보관량이 감소되는 문제점이 있었다.
없음
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 서로 상이한 폭을 가지는 카세트를 하나의 이송장치에서 처리할 수 있으며, 또한, 자동반송대차(AGV) 뿐만 아니라 수동반송대차(MGV)를 통해 운반되는 카세트 자체 또는 카세트에 적재된 개별 물품을 하나의 이송장치에서 처리할 수 있는 카세트 이송 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 카세트가 스토커(Stocker)측으로 이송되도록 상기 카세트를 가이드하되, 서로 상이한 폭을 가지는 카세트가 각각 이송될 수 있도록 카세트의 폭에 대응하여 너비의 조절이 가능한 카세트이송가이드유닛; 및 상기 카세트이송가이드유닛을 지지하는 프레임을 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 이송 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 카세트이송가이드유닛은, 상기 카세트가 안착될 수 있는 가이드본체; 및 상기 가이드본체에 연결되며, 상기 가이드본체의 너비를 선택적으로 조절하기 위해 상기 가이드본체를 구동시키는 이송가이드구동유닛을 포함할 수 있다.
그리고, 상기 이송가이드구동유닛은 공압으로 동작되는 공압실린더로 마련될 수 있다.
또한, 상기 가이드본체에는 상기 카세트를 센터링하기 위한 카세트센터링유닛이 포함될 수 있다.
그리고, 상기 카세트센터링유닛은, 상기 가이드본체에 대해 상하방향으로 이동가능하게 상기 가이드본체에 결합되며, 상기 카세트가 올려지는 카세트받침부; 및 상기 가이드본체에 결합되며, 상기 카세트가 상기 카세트받침부에 올려진 후 상기 카세트의 측면을 가압하여 상기 카세트의 폭방향의 중심을 맞추는 카세트측면가압부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 카세트센터링유닛은, 상기 가이드본체에 결합되어 상기 카세트의 길이방향의 중심을 맞추는 카세트밀착부를 더 포함할 수 있다.
그리고, 상기 카세트밀착부는, 상기 가이드본체에 회동가능하게 결합되어 상기 카세트를 후측 방향으로 가압하는 전면가압부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 카세트밀착부는, 상기 가이드본체의 후단부에 결합되어 상기 카세트의 이송을 멈추게하는 카세트스토퍼를 더 포함하며, 상대적으로 큰 길이를 가지는 카세트는 상기 카세트스토퍼와, 상기 카세트스토퍼로부터 이격 배치되는 전면가압부에 의해 길이방향의 중심이 맞추어지도록 마련될 수 있다.
그리고, 상기 카세트밀착부는, 상기 전면가압부로부터 미리 결정된 거리만큼 이격되어 상기 가이드본체에 회동가능하게 결합되는 후면가압부를 더 포함하며, 상대적으로 작은 길이를 가지는 카세트는 상기 전면가압부와, 상기 전면가압부로부터 소정 간격 이격되어 배치되는 후면가압부에 의해 길이방향의 중심이 맞추어지도록 마련될 수 있다.
또한, 자동반송대차(AGV)에 의해 상기 카세트가 운반되는 경우, 상기 자동반송대차(AGV)로부터 운반된 카세트가 별도로 마련되는 로봇암에 의해 상기 카세트받침부에 올려진 후 상기 카세트의 중심이 맞추어져 이송될 수 있다.
그리고, 수동반송대차(MGV)에 의해 상기 카세트가 운반되는 경우, 최초에 상기 카세트받침부는 하강된 상태로 대기하며, 수동반송대차(MGV)로부터 운반되어진 카세트가 상기 가이드본체에 설치된 롤러로 옮겨져 이동하여 상기 카세트받침부의 상부에 위치하게 되면, 상기 카세트받침부가 상승 후 상기 카세트의 중심을 맞추도록 마련될 수 있다.
또한, 상기 카세트에 적재된 물품은 증착공정에 사용되는 마스크(Mask)로 마련될 수 있다.
그리고, 상기 카세트에 적재된 상기 마스크의 위치를 보정하기 위해, 상기 카세트이송가이드유닛의 상측에서 상기 프레임에 결합되는 마스크위치보정유닛을 더 포함할 수 있다.
또한, 서로 상이한 폭 또는 상이한 길이를 가지는 카세트에 각각 적재된 마스크의 위치를 보정하기 위해, 상기 마스크위치보정유닛은 상기 카세트의 개수에 대응되는 개수로 마련될 수 있다.
그리고, 상기 마스크위치보정유닛은, 상기 프레임에 연결되는 골격부; 상기 골격부에 결합되되, 상기 골격부에 대해 상하방향으로 배치되는 로드부; 상기 로드부에 연결되는 압박롤러; 및 상기 골격부에 연결되어 상기 골격부를 상하로 구동시키는 이송실린더를 포함할 수 있다.
또한, 상기 압박롤러는 상기 마스크의 개수에 대응되는 개수로 마련될 수 있다.
본 발명의 실시예들은, 서로 상이한 폭을 가지는 카세트를 하나의 이송장치에서 처리할 수 있으며, 또한, 자동반송대차(AGV) 뿐만 아니라 수동반송대차(MGV)를 통해 운반되는 카세트 자체 또는 카세트에 적재된 개별 물품을 하나의 이송장치에서 처리할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 카세트 이송 장치의 전체 사시도이다.
도 2 내지 도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 카세트 이송 장치에서 카세트가 이송되는 측면에서의 작동도이다.
도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 카세트 이송 장치의 정면도이다.
도 6은 본 발명의 제1실시예에 따른 카세트 이송 장치에서 카세트이송가이드유닛을 도시한 도면이다.
도 7 내지 도 8은 본 발명의 제1실시예에 따른 카세트 이송 장치에서 카세트센터링유닛에 의해 카세트가 센터링되는 것을 도시한 도면이다.
도 9 내지 도 10은 본 발명의 제1실시예에 따른 카세트 이송 장치에서 마스크위치보정유닛의 사시도이다.
도 11 내지 도 12는 본 발명의 제1실시예에 따른 카세트 이송 장치에서 마스크위치보정유닛의 측면도이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 카세트 이송 장치의 전체 사시도이고, 도 2 내지 도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 카세트 이송 장치에서 카세트가 이송되는 측면에서의 작동도이며, 도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 카세트 이송 장치의 정면도이고, 도 6은 본 발명의 제1실시예에 따른 카세트 이송 장치에서 카세트이송가이드유닛을 도시한 도면이며, 도 7 내지 도 8은 본 발명의 제1실시예에 따른 카세트 이송 장치에서 카세트센터링유닛에 의해 카세트가 센터링되는 것을 도시한 도면이고, 도 9 내지 도 10은 본 발명의 제1실시예에 따른 카세트 이송 장치에서 마스크위치보정유닛의 사시도이며, 도 11 내지 도 12는 본 발명의 제1실시예에 따른 카세트 이송 장치에서 마스크위치보정유닛의 측면도이다.
이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 카세트 이송 장치(100)는 카세트(600)가 스토커(Stocker)측으로 이송되도록 카세트(600)를 가이드하되, 서로 상이한 폭을 가지는 카세트(600)가 각각 이송될 수 있도록 카세트(600)의 폭에 대응하여 너비(A)의 조절이 가능한 카세트이송가이드유닛(200)과, 카세트이송가이드유닛(200)에 연결되어 카세트이송가이드유닛(200)을 지지하는 프레임(400)을 포함한다.
한편, 본 실시예에서 카세트(600)에 적재되는 물품은 기판, 글래스 기판 또는 마스크(Mask)(610)일 수 있으며, 다만, 설명의 편의를 위해 증착공정에 사용되는 마스크(Mask)(610)에 한정하여 설명하기로 한다.
그리고, 본 명세서에서 사용되는 센터링의 의미는 대상물의 중심을 맞추는 경우뿐만 아니라 대상물을 미리 설정된 위치에 맞게 위치조정 내지 위치보정하는 경우까지 포함하는 개념임을 밝혀 둔다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 카세트이송가이드유닛(200)은 카세트이송가이드유닛(200)을 지지하는 프레임(400)에 연결되어 있으며, 카세트(600)가 스토커(Stocker)측으로 이송되도록 카세트(600)를 가이드한다.
즉, 자동반송대차(AGV) 또는 수동반송대차(MGV)를 통해 운반되는 카세트(600)가 카세트이송가이드유닛(200)의 일측을 통해 카세트이송가이드유닛(200)에 올려진 후, 자동반송대차(AGV) 또는 수동반송대차(MGV)의 대향되는 측에 배치된 스토크측으로 이송된다.
여기서, 카세트이송가이드유닛(200)은 서로 상이한 폭을 가지는 카세트(600)가 각각 이송될 수 있도록, 카세트(600)의 폭에 대응하여 너비(A)의 조절이 가능하게 마련된다(도 6 참조).
즉, 도 5 내지 도 6을 참조하면, 카세트이송가이드유닛(200)은 카세트가 안착될 수 있는 가이드본체(210)와, 가이드본체(210)에 연결되는 이송가이드구동유닛(220)을 포함하며, 가이드본체(210)에 연결된 이송가이드구동유닛(220)의 작동에 따라 가이드본체(210)의 너비(A)를 조절할 수 있다.
여기서, 가이드본체(210)에 연결된 이송가이드구동유닛(220)은 공기의 압력에 의해 동작되는 공압실린더로 마련될 수 있다.
그리고, 공압실린더의 작동에 따라 가이드본체(210)의 너비(A)가 선택적으로 조절될 수 있다. 여기서, 도 6을 참조하면, 공압실린더는 한 쌍으로 마련되어 가이드본체(210)에 각각 연결되어 작동될 수 있다.
한편, 카세트이송가이드유닛(200)의 작동을 설명하면, 상대적으로 큰 폭을 가지는 카세트(600)가 카세트이송가이드유닛(200) 중 가이드본체(210)로 인입되는 경우, 가이드본체(210)에 결합된 이송가이드구동유닛(220)이 가이드본체(210)를 외측으로 밀게 되는데, 이에 의해, 가이드본체(210)의 너비(A)가 상대적으로 증가하게 되므로, 상대적으로 큰 폭을 가지는 카세트(600)가 가이드본체(210)에 인입될 수 있게 된다.
그리고, 상대적으로 작은 폭을 가지는 카세트(600)가 카세트이송가이드유닛(200) 중 가이드본체(210)로 인입되는 경우, 가이드본체(210)에 결합된 이송가이드구동유닛(220)이 가이드본체(210)를 내측으로 당기게 되는데, 이에 의해, 가이드본체(210)의 너비(A)가 상대적으로 감소하게 되므로, 상대적으로 작은 폭을 가지는 카세트(600)가 가이드본체(210)에 인입될 수 있게 된다.
전술한 바와 같은 가이드본체(210) 및 이송가이드구동유닛(220)의 작동에 의해, 서로 상이한 폭을 가지는 카세트(600)를 하나의 이송장치를 통해 스토커측으로 이송가능하며, 이로부터, 각각의 카세트(600)에 적재된 마스크(610)가 선반에 적재될 수 있는 효과가 있다.
도 6을 참조하면, 가이드본체(210)에는 카세트(600)를 센터링하기 위한 카세트센터링유닛(300)을 포함할 수 있다.
즉, 로봇암이 카세트(600)에 적재된 마스크(610)를 스토커에 정확히 인입하기 위해서는 카세트(600)를 센터링하는 카세트센터링유닛(300)이 필요하게 된다.
여기서, 카세트센터링유닛(300)은 카세트받침부(310)와, 카세트측면가압부(320)를 포함할 수 있으며, 또한, 카세트밀착부(330)를 더 포함할 수 있다.
도 6을 참조하면, 가이드본체(210)에는 카세트받침부(310)와, 카세트측면가압부(320) 및 카세트밀착부(330)가 결합되어 배치될 수 있다.
그리고, 도 6을 참조하면, 카세트받침부(310)는 가이드본체(210)에 대해 상하방향으로 이동가능하게 가이드본체(210)에 결합되는데, 카세트받침부(310)가 상하방향으로 이동가능한 이유는 자동반송대차(AGV)를 통해 운반되는 카세트(600) 뿐만 아니라 수동반송대차(MGV)를 통해 운반되는 카세트(600)도 센터링하기 위함이다. 이에 대한 자세한 설명은 후술하기로 한다.
여기서, 카세트받침부(310)는 원기둥형상으로 형성될 수 있으며, 상측에는 카세트(600)가 올려질 수 있도록 편평하게 마련된다. 다만, 카세트받침부(310)의 형상이 이에 한정되는 것은 아니다.
그리고, 카세트받침부(310)는 복수로 마련되어 미리 설정된 간격으로 이격되어 배치되며, 복수의 카세트받침부(310)가 카세트(600) 하측의 각 부분을 지지하게 된다.
한편, 카세트받침부(310)의 상측은 편평하게 마련되므로, 카세트(600)가 카세트받침부(310)에 올려지면 카세트받침부(310)의 상측에서 다양한 방향으로 움직일 수 있게 된다,
즉, 카세트(600)의 중심이 맞지 않는 경우 카세트측면가압부(320)가 카세트(600)의 측면을 가압하게 되면, 카세트(600)는 카세트받침부(310)에서 움직이게 되며, 이를 통해, 카세트(600)의 센터링이 가능해진다.
도 6을 참조하면, 카세트측면가압부(320)는 카세트받침부(310)의 상측에서 가이드본체(210)에 결합될 수 있다. 그리고, 카세트(600)가 카세트받침부(310)에 올려지면 카세트(600)의 측면을 가압하게 된다.
여기서, 카세트측면가압부(320)는 실린더 등의 구동장치에 연결되어 작동되며, 복수로 마련될 수 있다. 즉, 카세트(600)가 센터링이 되지 않은 상태에서 카세트받침부(310)에 올려지면, 카세트측면가압부(320)에 연결된 구동장치가 작동하게 된다.
그리고, 카세트측면가압부(320)는 카세트(600)의 측면에 접촉하여 카세트(600)의 측면을 가압하게 되는데, 여기서, 카세트측면가압부(320)는 복수로 마련되어 상호 대향되는 위치에 배치될 수 있으므로, 카세트(600)의 양 측면을 모두 가압하게 되며, 이를 통해, 카세트(600)의 폭방향 중심을 맞출 수 있게 된다.
한편, 카세트밀착부(330)는 가이드본체(210)에 결합되며, 카세트(600)의 길이방향의 중심을 맞추도록 마련된다. 여기서, 카세트밀착부(330)는 전면가압부(331), 카세트스토퍼(332) 및 후면가압부(333) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
도 6을 참조하면, 전면가압부(331)는 가이드본체(210) 중 자동반송대차(AGV) 또는 수동반송대차(MGV)가 카세트(600)를 인입하는 위치측에 배치된다. 그리고, 카세트스토퍼(332) 및 후면가압부(333)는 전면가압부(331)가 배치된 위치와 대향되는 위치에 전면가압부(331)로부터 소정 간격 이격되어 배치된다.
여기서, 전면가압부(331)는 가이드본체(210)에 회동가능하게 결합되는데, 전면가압부(331)의 단부가 실린더와 같은 구동장치에 연결되어 소정 방향으로 회동하게 된다. 그리고, 후면가압부(333) 역시 전면가압부(331)와 마찬가지로 가이드본체(210)에 회동가능하게 결합된다.
카세트밀착부(330)가 전면가압부(331), 카세트스토퍼(332) 및 후면가압부(333)를 포함하는 이유는 서로 상이한 길이를 가지는 카세트(600) 각각에 대해 길이방향의 중심을 맞추기 위해서다.
즉, 도 7을 참조하면, 상대적으로 큰 길이를 가지는 카세트(600)는 카세트스토퍼(332)와, 카세트스토퍼(332)로부터 이격 배치되는 전면가압부(331)에 의해 길이방향의 중심이 맞추어질 수 있다.
그리고, 도 8을 참조하면, 상대적으로 작은 폭을 가지는 카세트(600)는 전면가압부(331)와, 전면가압부(331)로부터 소정 간격 이격되어 배치되는 후면가압부(333)에 의해 길이방향의 중심이 맞추어질 수 있다.
이에 대해 상세히 설명하면, 상대적으로 큰 길이를 가지는 카세트(600)가 카세트이송가이드유닛(200)으로 인입되는 경우, 도 6을 참조하면, 전면가압부(331)와 후면가압부(333)(실선 참조)는 상측방향을 향하도록 배치된다.
여기서, 전면가압부(331)와 후면가압부(333)(실선 참조)가 상측방향을 향하고 있으므로, 카세트(600)는 이송 중에 전면가압부(331)와 후면가압부(333)에 걸리지 않으면서 카세트스토퍼(332)까지 이송될 수 있으며, 카세트(600)가 카세트스토퍼(332)까지 이송되면 카세트스토퍼(332)에 의해 카세트(600)의 이송이 멈추게 된다.
그리고, 도 7을 참조하면, 카세트(600)의 일측이 카세트스토퍼(332)에 접촉되어 이송이 멈춘 후, 상측방향을 향하고 있던 전면가압부(331)가 카세트(600)측을 향해 회전하게 된다.
이에 의해, 카세트(600)의 전면은 전면가압부(331)에 접촉되어 전면가압부(331)가 카세트(600)를 후측 방향으로 가압하고 카세트(600)의 후면은 카세트스토퍼(332)에 접촉되므로, 카세트(600)는 전면가압부(331)와 카세트스토퍼(332) 사이에서 정지하게 되어 길이방향의 중심을 맞출 수 있게 된다.
이후, 전술한 바와 같이, 카세트(600)는 카세트측면가압부(320)에 의해 폭방향의 중심이 맞추어지는데, 카세트(600)의 길이방향과 폭방향의 중심이 모두 맞게 되면, 카세트(600)는 카세트이송가이드유닛(200)에 연결된 타이밍벨트에 의해 다음 위치로 이송된다.
한편, 도 6을 참조하면, 상대적으로 작은 길이를 가지는 카세트(600)가 카세트이송가이드유닛(200)으로 인입되는 경우, 전면가압부(331)는 상측방향을 향하도록 배치되지만, 후면가압부(333)(점선 참조)는 전면가압부(331)의 수직한 방향으로 회동하게 된다.
여기서, 카세트(600)가 카세트이송가이드유닛(200)으로 인입되어 이송되면, 카세트(600)의 후면은 후면가압부(333)(점선 참조)에 걸려서 더이상 이송되지 못하게 되어 이송이 멈추게 된다.
도 8을 참조하면, 카세트(600)의 후면이 후면가압부(333)에 걸려 이송이 중지되는 경우, 상측방향을 향하고 있던 전면가압부(331)가 카세트(600)측을 향해 회전하게 되는데, 이에 의해, 카세트(600)의 전면은 전면가압부(331)에 접촉되고 카세트(600)의 후면은 후면가압부(333)에 접촉되므로, 카세트(600)는 전면가압부(331)와 후면가압부(333) 사이에서 정지하게 되어 길이방향의 중심을 맞출 수 있게 된다.
이후 과정은, 상대적으로 큰 길이를 가지는 카세트(600)의 경우와 마찬가지로 카세트이송가이드유닛(200)에 연결된 타이밍벨트에 의해 카세트(600)가 다음 위치로 이송된다.
한편, 본 발명의 제1실시예에 따른 카세트 이송 장치(100)는 자동반송대차(AGV)를 통해 운반되는 카세트(600) 뿐만 아니라 수동반송대차(MGV)를 통해 운반되는 카세트(600)도 센터링을 통해 중심이 맞추어져 스토커측으로 이송가능하도록 마련될 수 있다.
우선, 자동반송대차(AGV)에 의해 카세트(600)가 운반되는 경우를 고려하면, 자동반송대차(AGV)에 의해 카세트(600) 운반시, 자동반송대차(AGV)로부터 운반된 카세트(600)가 별도로 마련되는 로봇암에 의해 카세트받침부(310)에 올려진 후 카세트(600)의 중심이 맞추어져 이송된다.
여기서, 도 6을 참조하면, 가이드본체(210)에는 롤러(211)가 설치될 수 있는데, 롤러(211)가 설치되는 이유는 후술하는 바와 같이, 수동반송대차(MGV)를 통해 운반되는 카세트(600)가 카세트이송가이드유닛(200) 중 가이드본체(210)로 인입될 수 있도록 하기 위함이다.
그리고, 자동반송대차(AGV)에 의해 카세트(600)가 운반되는 경우, 가이드본체(210)에 대해 상하방향으로 이동가능하게 마련되는 카세트받침부(310)는 가이드본체(210)에 설치된 롤러(211)보다 상대적으로 높이 올라와서 위치하게 된다.
즉, 로봇암이 가이드본체(210) 내부로 들어와서 카세트(600)를 내려놓게 되면, 카세트받침부(310)보다 상대적으로 낮게 위치하고 있는 롤러(211)에는 접촉되지 않으면서, 롤러(211)보다 상대적으로 높은 위치의 카세트받침부(310)에 바로 올려놓을 수 있게 된다.
여기서, 카세트(600)가 카세트받침부(310)에 올려지면 전술한 바와 같은 과정을 통해 카세트(600)의 센터링이 가능해지며, 센터링 완료 후, 카세트이송가이드유닛(200)에 연결된 타이밍벨트를 통해 카세트(600)가 다음 위치로 이송된다.
다음, 수동반송대차(MGV)에 의해 카세트(600)가 운반되는 경우를 고려하면, 수동반송대차(MGV)에 의해 카세트(600) 운반시, 최초, 카세트받침부(310)는 하강된 상태, 즉, 가이드본체(210)에 설치된 롤러(211)보다 상대적으로 낮은 위치에서 대기하게 된다.
여기서, 수동반송대차(MGV)로부터 운반되어진 카세트(600)는 작업자의 작동에 의해 가이드본체(210)에 설치된 롤러(211)로 옮겨져 롤러(211)를 통해 이동하는데, 카세트(600)가 카세트받침부(310)의 상부에 위치하게 되면 카세트(600)의 이동을 중단하게 된다.
그리고, 카세트받침부(310)가 롤러(211)보다 상대적으로 높은 위치로 상승하게 되는데, 이렇게 되면, 카세트(600)는 롤러(211)와의 접촉이 해제되면서 카세트받침부(310)에 올려진다.
이후, 자동반송대차(AGV)에 의해 운반되어 카세트받침부(310)에 올려진 카세트(600)와 동일한 과정을 거쳐서 카세트(600)의 센터링이 가능해지며, 센터링 완료 후, 카세트(600)는 다음 위치로 이송된다.
한편, 마스크(610)가 카세트(600)에 적재되는 경우, 작업에 필요한 위치 또는 설정위치를 벗어나 적재될 수 있는데, 이러한 경우에는 카세트(600) 내부에 적재된 마스크(610)에 대해 위치를 보정할 필요가 있다.
도 1을 참조하면, 마스크위치보정유닛(500)은 카세트이송가이드유닛(200)의 상측에서 프레임(400)에 결합되어 상하로 이동가능하도록 마련될 수 있으며, 서로 상이한 폭 또는 상이한 길이를 가지는 카세트(600)에 각각 적재된 마스크(610)의 위치를 보정하기 위해, 마스크위치보정유닛(500)은 카세트(600)의 개수에 대응되는 개수로 마련될 수 있다.
즉, 카세트(600)의 센터링이 완료되어 이동된 카세트(600)는 폭 또는 길이에 대응되도록 마련된 각각의 마스크위치보정유닛(500)이 배치된 곳의 하측에서 이송이 정지되고, 상측에 배치된 마스크위치보정유닛(500)이 하측으로 내려와 카세트(600)에 적재된 마스크(610)의 위치를 보정하게 된다.
보다 상세히 설명하면, 도 2에 도시된 바와 같이, 상대적으로 작은 폭 또는 작은 길이를 가지는 카세트(600)가 가이드본체(210)에 인입시, 제1위치(P1)에서 카세트센터링유닛(300)에 의해 폭방향 내지 길이방향의 센터링이 이루어진다.
다음, 카세트(600)가 이송되며, 상대적으로 작은 폭 또는 작은 길이를 가지는 카세트(600)에 대응되는 마스크위치보정유닛(500)의 하측에 해당되는 도 3의 제2위치(P2)에 카세트(600)가 정지하게 되면, 전술한 바와 같이, 마스크위치보정유닛(500)이 하측으로 내려와 카세트(600)에 적재된 마스크(610)의 위치를 보정하게 된다.
이후, 카세트(600)는 도 3의 제4위치(P4)로 이동하여 스토커의 선반에 마스크(610)를 적재하게 된다.
그리고, 도 4에 도시된 바와 같이, 상대적으로 큰 폭 또는 큰 길이를 가지는 카세트(600)가 가이드본체(210)로 인입시, 제1위치(P1)에서 카세트센터링유닛(300)에 의해 폭방향 내지 길이방향의 센터링이 이루어진다.
다음, 카세트(600)가 이송되며, 상대적으로 큰 폭 또는 큰 길이를 가지는 카세트(600)에 대응되는 마스크위치보정유닛(500)의 하측에 해당되는 도 4의 제3위치(P3)에 카세트(600)가 정지하게 되면, 전술한 바와 같이, 마스크위치보정유닛(500)이 하측으로 내려와 카세트(600)에 적재된 마스크(610)의 위치를 보정하게 된다.
이후, 카세트(600)는 이동하여 스토커의 선반에 마스크(610)를 적재하게 된다.
여기서, 도 2 내지 도 5를 참조하면, 마스크위치보정유닛(500)은 골격부(510), 로드부(520), 압박롤러(530) 및 이송실린더(540)를 포함할 수 있다.
도 9 내지 도 12를 참조하면, 골격부(510)는 로드부(520)가 결합되어 로드부(520)를 지지하는 구조물로서, 프레임(400)에 연결되어 있다. 그리고, 골격부(510)는 이송실린더(540)에 연결되어 상하로 구동가능하게 마련된다.
또한, 로드부(520)는 골격부(510)에 대해 상하방향으로 배치되어 골격부(510)에 결합되며, 로드부(520)에는 마스크(610)의 개수에 대응되는 개수로 마련되는 압박롤러(530)가 연결되어 있다.
그리고, 로드부(520)는 마스크(610)의 4면 모두에 접촉될 수 있도록 복수로 마련될 수 있고, 또한, 로드부(520)는 구동장치에 연결되어 있어서, 구동장치의 작동에 의해 이동가능하게 마련된다.
여기서, 로드부(520)는 골격부(510)가 하강되기 전, 로드부(520)에 연결된 구동장치의 작동에 의해 외측으로 이동되어 있으므로, 골격부(510)가 하강하게 되면, 로드부(520)는 카세트(600)의 외측에 배열될 수 있다.
한편, 카세트(600)가 마스크위치보정유닛(500)의 하측에 정지하게 되면, 이송실린더(540)의 작동에 의해 골격부(510)가 하강하게 되는데, 여기서, 도 11 내지 도 12를 참조하면, 골격부(510)는 로드부(520)에 연결된 압박롤러(530)가 카세트(600)에 적재된 마스크(610)의 위치와 대응되는 높이에 위치할 때까지 하강하게 된다.
이후, 로드부(520)에 연결된 구동장치의 작동에 의해 로드부(520)가 마스크(610)측으로 이동하게 되며, 도 11 내지 도 12에 도시된 바와 같이, 로드부(520)에 연결된 압박롤러(530)가 마스크(610)에 접촉되어 마스크(610)의 내측을 향해 마스크(610)의 4면을 압박하게 된다.
이에 의해, 작업에 필요한 위치 또는 설정위치를 벗어나 적재된 마스크(610)의 위치를 보정할 수 있게 된다.
그리고, 카세트(600)가 자동반송대차(AGV) 또는 수동반송대차(MGV)로부터 카세트이송가이드유닛(200)에 인입된 후 스토커측으로 이송되는 과정에서 마스크(610)의 위치가 보정될 수도 있고, 또는, 카세트(600)가 스토커로부터 자동반송대차(AGV) 또는 수동반송대차(MGV)측으로 이동되는 과정에서 마스크(610)의 위치가 보정될 수도 있다.
한편, 로드부(520)에 연결된 압박롤러(530)는 마스크(610)의 개수에 대응되는 개수로 마련되어 마스크(610) 각각에 대해 압박롤러(530)가 접촉되므로, 로드부(520)를 한 번 작동하게 되면 복수의 마스크(610)의 위치를 모두 보정할 수 있게 된다.
예를 들어, 도 11을 참조하면, 카세트(600)에는 6개의 마스크(610)가 적재되어 있는데, 로드부(520)에 연결된 압박롤러(530)도 6개이고, 6개의 압박롤러(530)는 6개의 마스크(610)에 각각 접촉되므로, 로드부(520)가 하나의 마스크(610)의 4면에서 내측을 향해 마스크(610)를 압박하게 되면, 6개의 마스크(610) 모두에 대해 한 번에 위치를 보정할 수 있게 된다.
여기서, 마스크위치보정유닛(500)은 서로 상이한 폭을 가지는 카세트(600)에 각각 적재된 마스크(610)의 위치를 보정하기 위해, 카세트(600)의 개수에 대응되는 개수로 마련될 수 있다.
즉, 도 1, 도 9 및 도 10을 참조하여 예를 들면, 두 종류의 카세트(600), 즉, 상대적으로 큰 폭을 가지는 카세트(600)와 상대적으로 작은 폭을 가지는 카세트(600)가 카세트이송가이드유닛(200)으로 인입되는 경우라면, 마스크위치보정유닛(500)도 두 종류로 마련될 수 있다.
이 경우, 도 2 내지 도 4를 참조하면, 두 종류의 마스크위치보정유닛(500)은 상호 이격되어 프레임(400)에 연결될 수 있다.
다만, 카세트(600)는 두 종류 이상일 수 있으며, 이 경우, 마스크위치보정유닛(500)의 개수도 달라질 수 있다.
이하, 본 발명의 제1실시예에 따른 카세트 이송 장치(100)에 관한 작용 및 효과를 설명한다.
우선, 본 발명의 제1실시예에 따른 카세트 이송 장치(100)는 상대적으로 상이한 폭을 가지는 각각의 카세트(600)에 대해 각각 스토커측으로 이송가능하도록 마련된다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 상대적으로 폭이 큰 카세트(600)가 카세트이송가이드유닛(200)을 통해 인입되는 경우, 가이드본체(210)에 연결된 이송가이드구동유닛(220)에 의해 가이드본체(210)의 너비(A)가 증가하게 되어 폭이 큰 카세트(600)가 카세트이송가이드유닛(200) 중 가이드본체(210)에 인입될 수 있게 된다.
또한, 도 6 및 도 8을 참조하면, `상대적으로 폭이 작은 카세트(600)가 카세트이송가이드유닛(200)을 통해 인입되는 경우, 가이드본체(210)에 연결된 이송가이드구동유닛(220)에 의해 가이드본체(210)의 너비(A)가 감소하게 되어 폭이 작은 카세트(600)가 카세트이송가이드유닛(200) 중 가이드본체(210)에 인입될 수 있게 된다.
그리고, 카세트이송가이드유닛(200)에 인입된 카세트(600)는 카세트센터링유닛(300)에 의해 폭방향 및 길이방향 중 적어도 하나의 중심이 맞추어지게 되며, 중심이 맞춰진 카세트(600)는 카세트이송가이드유닛(200)에 연결된 타이밍벨트에 의해 다음 위치로 이송된다.
여기서, 이송되는 카세트(600)는 마스크위치보정유닛(500)의 하측에서 정지하게 되고, 마스크위치보정유닛(500)이 하강하여 마스크(610)의 위치를 보정하게 된다.
이 때, 마스크위치보정유닛(500)은 서로 상이한 폭을 가지는 카세트(600)에 각각 적재된 마스크(610)의 위치를 보정하기 위해 카세트(600)의 개수에 대응되는 개수로 마련되어 배치되므로, 카세트(600)는 폭 또는 길이에 대응되는 크기를 가지는 마스크위치보정유닛(500)의 하측에서 정지하게 된다.
한편, 자동반송대차(AGV)를 통해 카세트(600)가 카세트이송가이드유닛(200)에 인입되는 경우, 카세트(600)는 로봇암에 의해 롤러(211)보다 상대적으로 높이 올라와서 위치되어 있는 카세트받침부(310)에 올려진 후, 카세트센터링유닛(300)에 의해 폭방향 및 길이방향 중 적어도 하나의 중심이 맞추어지게 된다.
그리고, 수동반송대차(MGV)를 통해 카세트(600)가 카세트이송가이드유닛(200)에 인입되는 경우, 카세트받침부(310)는 가이드본체(210)에 설치된 롤러(211)보다 상대적으로 낮은 위치에서 대기하게 되므로, 작업자가 수동반송대차(MGV)로부터 운반되어진 카세트(600)를 이동시켜도 카세트(600)가 카세트받침부(310)에 닿지 않으면서 롤러(211)를 통해 카세트(600)의 이동이 가능해진다.
이후, 카세트(600)가 카세트받침부(310)의 상부에 위치하게 되면 카세트(600)의 이동을 중단하며, 카세트받침부(310)가 롤러(211)보다 상대적으로 높은 위치로 상승하여 카세트(600)가 카세트받침부(310)에 올려진 후, 카세트센터링유닛(300)에 의해 폭방향 및 길이방향 중 적어도 하나의 중심이 맞추어지게 된다.
이를 통해, 자동반송대차(AGV) 뿐만 아니라 수동반송대차(MGV)를 통해서도 카세트(600)이 센터링이 가능해지는 효과가 있다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100 : 카세트 이송 장치 200 : 카세트이송가이드유닛
210 : 가이드본체 211 : 롤러
220 : 이송가이드구동유닛 300 : 카세트센터링유닛
310 : 카세트받침부 320 : 카세트측면가압부
330 : 카세트밀착부 331 : 전면가압부
332 : 카세트스토퍼 333 : 후면가압부
400 : 프레임 500 : 마스크위치보정유닛
510 : 골격부 520 : 로드부
530 : 압박롤러 540 : 이송실린더
600 : 카세트 610 : 마스크

Claims (16)

  1. 카세트가 스토커(Stocker)측으로 이송되도록 상기 카세트를 가이드하되, 서로 상이한 폭을 가지는 카세트가 각각 이송될 수 있도록 카세트의 폭에 대응하여 너비의 조절이 가능한 카세트이송가이드유닛; 및
    상기 카세트이송가이드유닛을 지지하는 프레임을 포함하고,
    상기 카세트이송가이드유닛은,
    상기 카세트가 안착될 수 있는 가이드본체; 및
    상기 가이드본체에 연결되며, 상기 가이드본체의 너비를 선택적으로 조절하기 위해 상기 가이드본체를 구동시키는 이송가이드구동유닛을 포함하며,
    상기 가이드본체에는 상기 카세트를 센터링하기 위한 카세트센터링유닛이 포함되되,
    상기 카세트센터링유닛은,
    상기 가이드본체에 대해 상하방향으로 이동가능하게 상기 가이드본체에 결합되며, 상기 카세트가 올려지는 카세트받침부; 및
    상기 가이드본체에 결합되며, 상기 카세트가 상기 카세트받침부에 올려진 후 상기 카세트의 측면을 가압하여 상기 카세트의 폭방향의 중심을 맞추는 카세트측면가압부를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 이송 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 이송가이드구동유닛은 공압으로 동작되는 공압실린더로 마련되는 것을 특징으로 하는 카세트 이송 장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 카세트센터링유닛은, 상기 가이드본체에 결합되어 상기 카세트의 길이방향의 중심을 맞추는 카세트밀착부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 이송 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 카세트밀착부는,
    상기 가이드본체에 회동가능하게 결합되어 상기 카세트를 후측 방향으로 가압하는 전면가압부를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 이송 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 카세트밀착부는,
    상기 가이드본체의 후단부에 결합되어 상기 카세트의 이송을 멈추게하는 카세트스토퍼를 더 포함하며,
    서로 상이한 길이를 가지는 복수의 카세트 중에서 상대적으로 큰 길이를 가지는 카세트는, 상기 카세트스토퍼와, 상기 카세트스토퍼로부터 이격 배치되는 전면가압부에 의해 길이방향의 중심이 맞추어지는 것을 특징으로 하는 카세트 이송 장치.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 카세트밀착부는,
    상기 전면가압부로부터 미리 결정된 거리만큼 이격되어 상기 가이드본체에 회동가능하게 결합되는 후면가압부를 더 포함하며,
    서로 상이한 길이를 가지는 복수의 카세트 중에서 상대적으로 작은 길이를 가지는 카세트는, 상기 전면가압부와, 상기 전면가압부로부터 소정 간격 이격되어 배치되는 후면가압부에 의해 길이방향의 중심이 맞추어지는 것을 특징으로 하는 카세트 이송 장치.
  10. 제6항에 있어서,
    자동반송대차(AGV)에 의해 상기 카세트가 운반되는 경우, 상기 자동반송대차(AGV)로부터 운반된 카세트가 별도로 마련되는 로봇암에 의해 상기 카세트받침부에 올려진 후 상기 카세트의 중심이 맞추어져 이송되는 것을 특징으로 하는 카세트 이송 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    수동반송대차(MGV)에 의해 상기 카세트가 운반되는 경우, 최초에 상기 카세트받침부는 하강된 상태로 대기하며,
    수동반송대차(MGV)로부터 운반되어진 카세트가 상기 가이드본체에 설치된 롤러로 옮겨져 이동하여 상기 카세트받침부의 상부에 위치하게 되면, 상기 카세트받침부가 상승 후 상기 카세트의 중심을 맞추는 것을 특징으로 하는 카세트 이송 장치.
  12. 제1항, 제3항, 제6항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 카세트에 적재된 물품은 증착공정에 사용되는 마스크(Mask)인 것을 특징으로 하는 카세트 이송 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 카세트에 적재된 상기 마스크의 위치를 보정하기 위해, 상기 카세트이송가이드유닛의 상측에서 상기 프레임에 결합되는 마스크위치보정유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 이송 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    서로 상이한 폭 또는 상이한 길이를 가지는 카세트에 각각 적재된 마스크의 위치를 보정하기 위해, 상기 마스크위치보정유닛은 상기 카세트의 개수에 대응되는 개수로 마련되는 것을 특징으로 하는 카세트 이송 장치.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 마스크위치보정유닛은,
    상기 프레임에 연결되는 골격부;
    상기 골격부에 결합되되, 상기 골격부에 대해 상하방향으로 배치되는 로드부;
    상기 로드부에 연결되는 압박롤러; 및
    상기 골격부에 연결되어 상기 골격부를 상하로 구동시키는 이송실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 이송 장치.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 압박롤러는 상기 마스크의 개수에 대응되는 개수로 마련되는 것을 특징으로 하는 카세트 이송 장치.
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