KR102178615B1 - 센터링 장치 - Google Patents

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정광구
장용배
강주현
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시너스텍 주식회사
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Abstract

본 발명에 따른 센터링 장치는 카세트의 네 모서리 각각에 설치되어 상기 카세트를 정위치로 정렬시키는 센터링 장치로서, 상기 카세트가 안착됨에 따라 상기 카세트의 센터링 방향으로 회전하고, 상기 카세트를 지지하는 복수의 롤러를 포함하는 안착부; 상기 안착부의 하측에 연결되고, 상기 안착부의 회전에 따라 상하로 이동하는 쐐기부를 포함하는 가동부; 및 상기 가동부의 하측에 배치되고, 상기 쐐기부에 대응하도록 형성되어 상기 쐐기부의 상하 이동을 안내하는 쐐기 홈이 구비된 가이드부를 포함하며, 상기 쐐기부가 상기 쐐기 홈에 삽입되어 정위치로 조정됨에 따라, 상기 쐐기부와 연결된 상기 안착부도 정위치로 조정되어 상기 카세트를 정렬시키는 것을 특징으로 한다.
이러한 센터링 장치는 카세트 정렬에 소요되는 시간을 효과적으로 줄일 수 있다. 이에 따라, 기판을 이송하는 카세트를 선반에 일정한 위치로 정렬시킬 수 있어 다음 공정 장비 내로 정확하게 로딩/언로딩이 이루어질 수 있다.

Description

센터링 장치{CENTERING APPARATUS}
본 발명은 센터링 장치에 관한 것으로, 구체적으로는 카세트 정렬에 소요되는 시간을 효과적으로 줄일 수 있는 센터링 장치에 관한 것이다.
일반적으로 액정표시장치(LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP), 유기 EL(OLED) 및 웨이퍼 등의 기판은 대량 생산이 필수적이고, 다음 공정까지는 일시적으로 적재용 카세트에 적재되어 보관 또는 이송된다.
기판이 적재된 카세트는 이송된 후 필요한 위치에 정확히 위치 고정되어야 로봇이 적재된 기판을 로딩하여 다음 공정을 수행하는 장치로 정확히 이송할 수 있게 된다.
따라서, 로봇이 카세트에 적재된 제품을 정확히 취출하기 위해서는 카세트를 위치 결정하는 즉, 센터링 장치가 필요하다.
종래의 센터링 장치의 경우, 카세트를 정렬시키기 위해 별도의 동력장치가 필요하며, 특히 공압 실린더 방식의 경우에는 에어를 공급하는 장치가 없는 곳에서는 사용이 불가하며 설치 시간이 오래 걸리는 단점이 있다.
따라서, 전술한 문제점을 개선한 카세트 센터링 장치의 개발이 요구되고 있는 실정이다.
등록특허공보 제10-1374670호(2014.03.10.)
본 발명은 전술한 종래의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 카세트 정렬에 소요되는 시간을 효과적으로 줄일 수 있고, 별도의 동력없이 기계적인 메커니즘만으로 카세트를 정렬시킬 수 있는 센터링 장치를 제공하는 데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 카세트의 네 모서리 각각에 설치되어 상기 카세트를 정위치로 정렬시키는 센터링 장치로서, 상기 카세트가 안착됨에 따라 상기 카세트의 센터링 방향으로 회전하고, 상기 카세트를 지지하는 복수의 롤러를 포함하는 안착부; 상기 안착부의 하측에 연결되고, 상기 안착부의 회전에 따라 상하로 이동하는 쐐기부를 포함하는 가동부; 및 상기 가동부의 하측에 배치되고, 상기 쐐기부에 대응하도록 형성되어 상기 쐐기부의 상하 이동을 안내하는 쐐기 홈이 구비된 가이드부를 포함하며, 상기 쐐기부가 상기 쐐기 홈에 삽입되어 정위치로 조정됨에 따라, 상기 쐐기부와 연결된 상기 안착부도 정위치로 조정되어 상기 카세트를 정렬시키는 것을 특징으로 하는 센터링 장치를 제공한다.
여기서, 상기 안착부는, 상기 카세트의 모서리를 감싸도록 형성된 상측부 및 상기 상측부에 대하여 직각으로 배치된 하측부를 포함하는 브라켓; 상기 브라켓의 상측부에 회전 가능하게 결합되고, 서로 직각을 이루도록 배치되며, 상기 카세트의 모서리 부분을 지지하는 센터링 롤러부; 및 상기 브라켓의 하측부에 회전 가능하게 결합되고, 상기 카세트의 하중을 지지하는 안착 롤러부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 가동부는, 상기 쐐기부가 관통하는 관통홀이 형성된 가동 플레이트; 상기 가동 플레이트에 구비되고, 상기 안착부의 회전축 양단이 힌지 결합되는 한 쌍의 축 고정 블록; 및 상기 가동 플레이트에 구비되고, 상기 안착부의 회전을 제한하는 스토퍼를 포함하고, 상기 쐐기부는 상단부가 상기 브라켓의 저면에 형성된 삽입홈에 삽입되고, 하단부는 쐐기 형상으로 테이퍼지게 형성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 가이드부는, 상기 가동 플레이트에 연결되고, 상기 쐐기부의 상하 이동에 따라 상기 카세트의 모서리에 대하여 전후 방향 및 좌우 방향으로 이동하는 복수의 엘엠가이드가 교차하여 설치된 엘엠가이드부; 상기 엘엠가이드부가 설치되고, 상기 쐐기 홈이 형성된 삽입 블록이 구비된 가이드 플레이트; 및 하단부가 상기 삽입 블록에 설치되고, 상단부가 상기 쐐기부의 내측에 삽입되어 상기 카세트의 하중 제거 시 상기 쐐기부를 원래 위치로 복귀시키는 스프링을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 센터링 장치는 카세트 정렬에 소요되는 시간을 효과적으로 줄일 수 있다. 이에 따라, 기판을 이송하는 카세트를 선반에 일정한 위치로 정렬시킬 수 있어 다음 공정 장비 내로 정확하게 로딩(loading)/언로딩(unloding)이 이루어질 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 센터링 장치는 별도의 구동수단 없이 단순 조립/해체 방식이 가능한 구조로써 기계적으로만 카세트를 센터링할 수 있기 때문에 별도의 공압 장치(Air Cylinder, Regulator 등), 제어 장치 및 동작 로직(Logic) 구성이 불필요하며, 현장 설치 및 셋팅(Setting) 작업을 최소화할 수 있고, 유지 보수가 용이하다는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 센터링 장치의 설치모습을 도시한 평면도 및 정면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 센터링 장치의 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 센터링 장치에서 안착부, 가동부 및 가이드부가 분리된 상태를 나타낸 평면측 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 센터링 장치에서 안착부, 가동부 및 가이드부가 분리된 상태를 나타낸 저면측 사시도이다.
도 5는 도 2의 A-A선 단면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 센터링 장치에서 가이드부가 분리된 상태를 나타낸 평면측 사시도이다.
도 7은 본 발명에 따른 센터링 장치의 동작 상태도이다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세하게 설명한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 첨가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. 또한, 이하에서 본 발명의 실시예를 설명할 것이나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정하거나 제한되지 않고 당업자에 의해 실시될 수 있음은 물론이다.
도 1은 본 발명에 따른 센터링 장치의 설치모습을 도시한 평면도 및 정면도이고, 도 2는 본 발명에 따른 센터링 장치의 사시도이며, 도 3은 본 발명에 따른 센터링 장치에서 안착부, 가동부 및 가이드부가 분리된 상태를 나타낸 평면측 사시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 센터링 장치에서 안착부, 가동부 및 가이드부가 분리된 상태를 나타낸 저면측 사시도이며, 도 5는 도 2의 A-A선 단면도이고, 도 6은 본 발명에 따른 센터링 장치에서 가이드부가 분리된 상태를 나타낸 평면측 사시도이며, 도 7은 본 발명에 따른 센터링 장치의 동작 상태도이다.
이하, 도 1 내지 도 7을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 센터링 장치(1)를 설명한다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 센터링 장치(1)는 카세트(C)가 정렬되는 프레임(미도시)의 상부에 설치될 수 있고, 카세트(C)의 네 모서리 각각에 설치되어 카세트(C)의 네 모서리를 밀어줌으로써 카세트(C)를 정위치로 정렬시킬 수 있다.
이때, 4개의 센터링 장치(1)는 센터링하는 방향이 다를 뿐 그 구조 및 형상은 동일하게 구성된다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 센터링 장치(1)는 안착부(100), 가동부(200) 및 가이드부(300)를 포함하여 구성된다.
안착부(100)는 카세트(C)가 안착됨에 따라 카세트(C)의 센터링 방향으로 회전하는 것으로, 브라켓(110), 센터링 롤러부(120) 및 안착 롤러부(130)를 포함하여 구성될 수 있다.
여기서, 브라켓(110)은 카세트(C)의 모서리를 감싸도록 형성된 상측부(111) 및 상기 상측부(111)에 대하여 직각으로 배치된 하측부(112)를 포함하여 구성될 수 있다.
이때, 센터링 롤러부(120)는 브라켓(110)의 상측부(111)에 회전 가능하게 결합되고, 서로 직각을 이루도록 배치될 수 있다. 이러한 센터링 롤러부(120)는 카세트(C)의 모서리 부분을 지지할 수 있다.
또한, 안착 롤러부(130)는 브라켓(110)의 하측부(112)에 회전 가능하게 결합되고, 카세트(C)의 저면에 접하면서 카세트(C)의 하중을 지지할 수 있다.
여기서, 센터링 롤러부(120) 및 안착 롤러부(130)는 카세트(C)를 안정적으로 지지할 수 있도록 고무 및 우레탄 등의 소재가 사용될 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다.
이와 같이, 본 발명의 센터링 장치는 카세트(C)를 센터링할 때 브라켓(110)에 결합된 센터링 롤러부(120) 및 안착 롤러부(130)가 함께 회전하여 카세트(C)를 정렬시킬 수 있다.
즉, 카세트(C)의 안착과 동시에 안착부(100)가 센터링 방향으로 회전하면서 카세트(C)의 위치가 조정될 수 있어 택트 타임(tact time)이 감소할 수 있고, 기구적 완전 구속으로 인해 카세트(C)의 밀림 현상이 개선될 수 있다.
또한, 카세트(C)의 장 변, 단 변에 구애되지 않고, 카세트(C)의 하중이 가해짐에 따라 정렬이 이루어지기 때문에 카세트(C)의 정렬 시에 소요되는 작업 시간을 단축시킬 수 있다.
한편, 가동부(200)는 안착부(100)의 하측에 연결되고, 가동 플레이트(210), 한 쌍의 축 고정 블록(220), 스토퍼(230), 쐐기부(240)를 포함하여 구성될 수 있다.
가동 플레이트(210)는 후술할 쐐기부(240)가 관통하는 관통홀(211)이 형성될 수 있다.
또한, 가동 플레이트(210)는 한 쌍의 축 고정 블록(220)이 구비되어 안착부(100)의 회전축 양단이 힌지 결합될 수 있다. 즉, 도 5에 도시된 바와 같이 안착부(100)는 카세트(C)가 안착됨에 따라 카세트(C)의 센터링 방향으로 회동할 수 있다.
스토퍼(230)는 가동 플레이트(210)에 구비되고, 안착부(100)의 회전을 제한할 수 있다. 일예로, 안착부(100)의 회전 각도(α)는 0° 내지 20°일 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다.
또한, 가동부(200)는 안착부(100)의 회전에 따라 상하로 이동하는 쐐기부(240)를 포함하여 구성될 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 쐐기부(240)의 상단부는 안착부(100)의 브라켓(110) 저면에 형성된 삽입홈(113)에 삽입되고, 하단부는 쐐기 형상으로 테이퍼지게 형성될 수 있다.
이와 같이, 쐐기부(240)는 테이퍼진 삼각뿔 형상일 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 쐐기부(240)는 센터링 대상물이 하강함에 따라 홈에 삽입되어 위치가 고정될 수 있는 다른 형태로 형성될 수도 있다.
한편, 도 3 및 도 6에 도시된 바와 같이, 가이드부(300)는 가동부(200)의 하측에 배치되고, 엘엠가이드부(310), 가이드 플레이트(320) 및 스프링(330)을 포함하여 구성될 수 있다.
엘엠가이드부(310)는 가동부(200)의 가동 플레이트(210)에 연결되고, 쐐기부(240)의 상하 이동에 따라 카세트(C)의 모서리에 대하여 전후 방향 및 좌우 방향으로 이동하는 복수의 엘엠가이드(311)가 교차하여 설치될 수 있다. 이때, 복수의 엘엠가이드(311)는 연결 플레이트(312)를 사이에 두고 서로 교차하도록 설치될 수 있다.
한편, 본 발명의 가이드부(300)는 가동 플레이트(210)가 자유롭게 이동할 수 있도록 엘엠가이드부(310)를 포함하여 구성되나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 비록 도시되지는 않았으나, 가이드부(300)는 가동 플레이트(210)의 이동이 가능하도록 스러스트 베어링, 볼, 평행방향 스프링 등을 포함하여 구성될 수도 있다.
가이드 플레이트(320)는 상기 엘엠가이드부(310)가 설치되고, 쐐기 홈(321a)이 형성된 삽입 블록(321)이 구비될 수 있다.
스프링(330)은 하단부가 상기 삽입 블록(321)에 설치되고, 상단부가 쐐기부(240)의 내측에 삽입되어 카세트(C)의 하중 제거 시 쐐기부(240)를 원래 위치로 복귀시킬 수 있다. 즉, 카세트(C)의 하중으로 인해 하측으로 이동한 쐐기부(240)를 스프링(330)의 탄성력을 이용하여 복귀시킬 수 있기 때문에 별도의 동력 없이도 카세트(C)의 하중이 제거되었을 때 초기의 상태로 복귀가 가능하다는 장점이 있다.
상기 구성을 갖는 본 발명의 센터링 장치(1)의 동작을 설명하면 다음과 같다.
도 7을 참조하면, (a)의 초기 상태에서, (b) 및 (c)와 같이 카세트(C)가 안착부(100)의 안착 롤러부(130)를 향하여 하강하면, 센터링 롤러부(120)는 카세트의 모서리 부분을 2점 지지할 수 있다.
이후에, (d) 및 (e)와 같이 안착 롤러부(130)에 카세트(C)가 안착되면, 카세트(C)의 하중에 의해 안착부(100)가 카세트(C)의 센터링 방향으로 회전한다.
이때, 안착부(100)가 회전함에 따라 쐐기부(240)는 쐐기 홈(321a)으로 하강하여 쐐기 홈(321a)에 삽입될 수 있고, 여기서 쐐기부(240)의 하단부는 쐐기 형상으로 테이퍼지게 형성되기 때문에 쐐기 홈(321a)에 의해 가이드되면서 안정적으로 삽입될 수 있다.
또한, 쐐기부(240)는 가동 플레이트(210)의 관통홀(211)을 관통하여 삽입된 상태이기 때문에 쐐기부(240)가 삽입될 때 가동 플레이트(210)의 위치가 조정될 수 있다.
즉, 상술한 바와 같이 가동 플레이트(210)는 엘엠가이드부(310)에 연결된 상태이기 때문에, 쐐기부(240)의 하강에 따라 가동 플레이트(210)는 전후 방향, 좌우 방향으로 수평 이동하면서 위치가 조정될 수 있다.
또한, 안착부(100)는 가동부(200)의 가동 플레이트(210)에 결합된 상태이기 때문에, 쐐기부(240)의 하강에 의해 가동 플레이트(210)의 위치가 조정됨에 따라 가동 플레이트(210)에 결합된 안착부(100) 또한 정위치로 조정될 수 있다.
따라서, 도 7(e)에 도시된 바와 같이 카세트(C)가 최종적으로 안착되었을 때, 쐐기부(240)의 상단부는 브라켓(110) 저면에 형성된 삽입홈(113)에 삽입되고, 하단부는 쐐기 홈(321a)에 삽입된 상태로 위치가 조정될 수 있다.
이와 같이 안착부(100)의 위치가 조정됨에 따라, 센터링 롤러부(120) 및 안착 롤러부(130)는 카세트(C)의 모서리 부분 및 저면을 지지하면서 카세트(C)를 정렬시킬 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 센터링 장치(1)는 카세트(C)의 네 모서리 각각에 설치됨으로써 카세트(C)가 정위치에 위치하도록 밀어주는 센터링 장치(1) 상호 간의 보완 작용에 의하여 단 한번의 작동으로도 카세트(C)를 정위치에 위치시킬 수 있다는 장점이 있다. 즉, 본 발명에 따른 센터링 장치(1)는 기판을 이송하는 카세트(C)를 정위치로 정렬시킬 수 있어 다음 공정 장비 내로 정확하게 로딩/언로딩이 이루어질 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 센터링 장치(1)는 별도의 구동수단 없이 단순 조립/해체 방식이 가능한 구조로써 기계적으로만 카세트(C)를 센터링할 수 있기 때문에 별도의 공압 장치(Air Cylinder, Regulator 등), 제어 장치 및 동작 로직 구성이 불필요하며, 현장 설치 및 셋팅 작업을 최소화할 수 있고, 유지 보수가 용이하다는 효과가 있다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 기술적 범위는 전술한 실시예에 한정되지 않고 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 이때, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 고려해야 할 것이다.
1 : 센터링 장치 100 : 안착부
110 : 브라켓 111 : 브라켓의 상측부
112 : 브라켓의 하측부 113 : 삽입홈
120 : 센터링 롤러부 130 : 안착 롤러부
200 : 가동부 210 : 가동 플레이트
211 : 관통홀 220 : 한 쌍의 축 고정 블록
230 : 스토퍼 240 : 쐐기부
300 : 가이드부 310 : 엘엠가이드부
311 : 복수의 엘엠가이드 312 : 연결 플레이트
320 : 가이드 플레이트 321 : 삽입 블록
321a : 쐐기 홈 330 : 스프링

Claims (4)

  1. 카세트의 네 모서리 각각에 설치되어 상기 카세트를 정위치로 정렬시키는 센터링 장치로서,
    상기 카세트가 안착됨에 따라 상기 카세트의 센터링 방향으로 회전하는 브라켓과, 상기 브라켓의 상측부에 회전 가능하게 결합되고, 서로 직각을 이루도록 배치되며, 상기 카세트의 모서리 부분을 지지하는 센터링 롤러부와, 상기 브라켓의 하측부에 회전 가능하게 결합되고, 상기 카세트의 하중을 지지하는 안착 롤러부를 포함하는 안착부;
    상기 안착부의 하측에 연결되고, 상기 안착부의 회전에 따라 상하로 이동하는 쐐기부를 포함하는 가동부; 및
    상기 가동부의 하측에 배치되고, 상기 쐐기부에 대응하도록 형성되어 상기 쐐기부의 상하 이동을 안내하는 쐐기 홈이 구비된 가이드부를 포함하며,
    상기 쐐기부가 상기 쐐기 홈에 삽입되어 정위치로 조정됨에 따라, 상기 쐐기부와 연결된 상기 안착부도 정위치로 조정되어 상기 카세트를 정렬시키는 것을 특징으로 하는 센터링 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 가동부는,
    상기 쐐기부가 관통하는 관통홀이 형성된 가동 플레이트;
    상기 가동 플레이트에 구비되고, 상기 안착부의 회전축 양단이 힌지 결합되는 한 쌍의 축 고정 블록; 및
    상기 가동 플레이트에 구비되고, 상기 안착부의 회전을 제한하는 스토퍼를 포함하고,
    상기 쐐기부는 상단부가 상기 브라켓의 저면에 형성된 삽입홈에 삽입되고, 하단부는 쐐기 형상으로 테이퍼지게 형성된 것을 특징으로 하는 센터링 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 가이드부는,
    상기 가동 플레이트에 연결되고, 상기 쐐기부의 상하 이동에 따라 상기 카세트의 모서리에 대하여 전후 방향 및 좌우 방향으로 이동하는 복수의 엘엠가이드가 교차하여 설치된 엘엠가이드부;
    상기 엘엠가이드부가 설치되고, 상기 쐐기 홈이 형성된 삽입 블록이 구비된 가이드 플레이트; 및
    하단부가 상기 삽입 블록에 설치되고, 상단부가 상기 쐐기부의 내측에 삽입되어 상기 카세트의 하중 제거 시 상기 쐐기부를 원래 위치로 복귀시키는 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 센터링 장치.
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Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060074582A (ko) * 2004-12-27 2006-07-03 동부일렉트로닉스 주식회사 반도체 소자의 제조공정에 사용되는 카세트 인덱스
KR20100136682A (ko) * 2009-06-19 2010-12-29 크린팩토메이션 주식회사 기계식 센터링 유닛 및 그를 이용한 센터링 장치
KR20110083296A (ko) * 2010-01-14 2011-07-20 주식회사 에스에프에이 카세트 센터링 장치
KR20110083297A (ko) * 2010-01-14 2011-07-20 주식회사 에스에프에이 카세트 센터링 장치
KR20120025258A (ko) * 2010-09-07 2012-03-15 한국에스엠씨공압(주) 센터링 유닛
KR101374670B1 (ko) 2012-10-25 2014-03-17 주식회사 에스에프에이 카세트 이송 장치
KR101394318B1 (ko) * 2012-11-20 2014-05-13 주식회사 신성에프에이 카세트 센터링 장치
KR101825193B1 (ko) * 2017-09-05 2018-03-22 박한서 카세트 정위치 자동 정렬장치
KR20190024039A (ko) * 2017-08-31 2019-03-08 주식회사 신성에프에이 카세트 센터링 장치

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07171722A (ja) * 1993-12-20 1995-07-11 Fuji Electric Co Ltd センタリング式４方チャック機構
US6743296B2 (en) * 2001-10-12 2004-06-01 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Apparatus and method for self-centering a wafer in a sputter chamber
KR100796020B1 (ko) * 2005-12-29 2008-01-21 주식회사 탑 엔지니어링 카세트 정렬장치
JP2009155000A (ja) * 2007-12-25 2009-07-16 Hitachi Plant Technologies Ltd カセットの位置決めガイド装置
KR101212889B1 (ko) * 2010-10-01 2012-12-14 하이디스 테크놀로지 주식회사 기판 적재용 카세트
JP2016063058A (ja) * 2014-09-18 2016-04-25 株式会社ダイヘン センタリング装置

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060074582A (ko) * 2004-12-27 2006-07-03 동부일렉트로닉스 주식회사 반도체 소자의 제조공정에 사용되는 카세트 인덱스
KR20100136682A (ko) * 2009-06-19 2010-12-29 크린팩토메이션 주식회사 기계식 센터링 유닛 및 그를 이용한 센터링 장치
KR20110083296A (ko) * 2010-01-14 2011-07-20 주식회사 에스에프에이 카세트 센터링 장치
KR20110083297A (ko) * 2010-01-14 2011-07-20 주식회사 에스에프에이 카세트 센터링 장치
KR20120025258A (ko) * 2010-09-07 2012-03-15 한국에스엠씨공압(주) 센터링 유닛
KR101374670B1 (ko) 2012-10-25 2014-03-17 주식회사 에스에프에이 카세트 이송 장치
KR101394318B1 (ko) * 2012-11-20 2014-05-13 주식회사 신성에프에이 카세트 센터링 장치
KR20190024039A (ko) * 2017-08-31 2019-03-08 주식회사 신성에프에이 카세트 센터링 장치
KR101825193B1 (ko) * 2017-09-05 2018-03-22 박한서 카세트 정위치 자동 정렬장치

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