KR100796020B1 - 카세트 정렬장치 - Google Patents

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Abstract

LCD 제조 공정에서 기판 등의 패널 등을 공정 이동시킬 때에 사용되는 카세트를 정해진 위치에 자동으로 정렬시켜 주는 카세트 정렬장치에 관한 것으로, 기판 또는 패널이 적재되는 카세트가 로딩되는 포트의 일면에 미리 정해진 높이로 설치된 포지션 바; 및 상기 카세트가 로딩되면, 상기 카세트를 수평 및 하향 이동시키면서 상기 포지션 바의 위로 이동시켜 주는 정렬수단으로 구성된다.
기판 또는 패널이 수납된 카세트를 포트에 로딩할 때에 로딩과 정렬을 동시에 가능하게 하여 공정 소요 시간을 절감시켜 주는 효과를 제공한다.
LCD, 기판, 포트, 로딩, 정렬

Description

카세트 정렬장치{Apparatus for Aligning Cassette}
도 1은 종래기술에 따른 카세트 정렬 전후의 상태를 나타낸 정면도.
도 2는 종래의 카세트 정렬장치의 구성을 설명하기 위한 평면도.
도 3은 종래의 다른 카세트 정렬장치의 구성을 설명하기 위한 사시도.
도 4는 본 발명에 따른 카세트 정렬장치를 이용한 정렬 전의 상태를 설명하기 위한 정면도.
도 5는 본 발명에 따른 카세트 정렬장치를 이용한 정렬 후의 상태를 설명하기 위한 정면도.
도 6은 도 4의 A부분을 상세하게 나타낸 상세도.
도 7은 본 발명에서 안내판 및 슬라이더의 결합된 상태를 설명하기 위해 도 6의 단면 A-A를 나타낸 단면도.
도 8은 본 발명의 안내판의 상세 구조를 설명하기 위한 사시도.
도 9는 본 발명에서 안착부의 다른 실시예를 설명하기 위한 사시도.
도 10은 도 9의 단면 B-B를 나타낸 단면도.
도 11은 본 발명에서 안내판 및 슬라이더의 다른 실시예를 설명하기 위한 단면도.
도 12는 본 발명에서 안내판 및 슬라이더의 또 다른 실시예를 설명하기 위한 단면도.
도 13은 본 발명에서 안착부의 또 다른 실시예를 설명하기 위한 사시도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
40 : 카세트 50 : 정렬부
52 : 안내판 52a : 안내홈
52b : 안내홈 하단부 53 : 슬라이더
53a : 결합부 54 : 지지부
55 : 안착부 55a : 안착대
55b : 스토퍼 55c : 롤러
56 : 스프링 57 : 스프링 포스트
58a : 안착부 58b : 슬라이더
58c : 슬라이더 자석 58d : 안내판
58e : 고정 자석 59a : 안착부
59b : 슬라이더 59c : 리니어 가이드
60 : 베이스 70 : 포지션 바
80 : 안착부 82 : 안착대
84 : 스토퍼 86 : 볼 롤러
본 발명은 카세트 정렬장치에 관한 것으로, 특히 LCD 제조 공정에서 기판 등의 패널 등을 공정 이동시킬 때에 사용되는 카세트를 정해진 위치에 자동으로 정렬시켜 주는 카세트 정렬장치에 관한 것이다.
일반적으로, 액정표시장치(LCD)는 TFT어레이 기판과 컬러 필터 기판을 합착시키고, 그 사이에 액정을 주입하여 LCD 패널을 제조한다.
그리고, 상기 LCD 패널을 구동시키기 위해 구동신호를 인가하는 구동유닛 및 백라이트 어셈블리를 설치하여 LCD 모듈을 완성한다.
상기와 같은 공정을 통하여 LCD 모듈을 제조하기 위해서는 각 공정별로 기판이나 패널을 이송시켜 주어야 한다.
그런데, 상기와 같은 공정 및 공정 간의 기판 이송은 자동으로 처리되기 때문에 기판의 이송 과정에서 카세트의 정위치 제어는 매우 중요하다.
즉, 카세트에 에 기판을 적재하거나 하역하는 과정, 카세트를 대차에 적재 또는 하역하는 과정, 그리고 공정 장치에 대한 투입은 로봇에 의해 이루어지기 때문에 정확한 처리를 위해서는 카세트가 정해진 위치에 정확하게 설정되어야 한다.
이를 위해, 종래에는 기판 등이 적재된 카세트(10)를 무인반송차(AGV; Automated Guided Vehicle)로 포트에 로딩시키는 과정에서 상기 포트에 설치되어 있는 정렬바(14)를 이용하였다.
즉, 도 1의 (A)에 나타낸 바와 같이, 정렬바(14)가 설치된 포트에 상기 카세트(10)를 상기 AGV로 이동시켜서 로딩한다.
따라서, 상기 포트에 대한 상기 카세트(10)의 정확한 정렬을 위해서는 도 1 의 (B)에 나타낸 바와 같이, 상기 AGV로 상기 카세트(10)를 상기 정렬바(14)에 일치되게 로딩해야 한다.
다시 말하면, 상기와 같은 종래의 로딩 과정은 상기 카세트(10)의 하단에 설치되어 있는 받침대(12)를 에어 실린더 방식으로 구성하고, 정해진 높이를 유지하기 위해 상기 에어 실린더를 구동시켜서 상기 정렬바(14)를 기준으로 하여 상기 카세트(10)의 높이를 정해진 높이로 설정해야 한다.
그런데, 상기와 같은 정렬 방식을 이용하면, 상기 카세트(10)의 하단에 설치되어 있는 에어 실린더 방식의 받침대(12)에 따른 장치의 복잡성으로 인하여 장치 비용이 상승되는 문제점이 있다.
또한, 상기 설명과 같이 상기 받침대(12)의 에어 실린더를 구동시켜서 상기 카세트(10)의 높이를 조정해 주어야 하는 후속 공정이 반드시 필요하기 때문에 공정 소요 시간이 길어져 생산성을 저해하는 문제점이 있었다.
한편, 도 2에 나타낸 카세트 포트는 2005년 6월 29일에 특허공개번호 제 10-2005-64177호로 공개된 종래기술로, 카세트 포트(25)의 스테이지(28)에 제 1클램프(27a) 및 제 2클램프(27b)를 통하여 정렬 고정된 카세트(26)에 적재되어 있는 기판을 로봇(29)으로 검사장비(20)에 이송시켜서 검사하는 장치이다.
상기 특허공개번호 제 10-2005-64177호에 개시되어 있는 종래의 카세트 포트는 정해진 위치에 설치되어 있는 상기 제 1클램프(27a) 및 제 2클램프(27b)를 이용하여 상기 카세트(26)의 위치를 정렬하지만, 정렬하는 과정에서 상기 제 1클램프(27a) 및 제 2클램프(27b)에 대한 조정 과정이 필요하기 때문에 공정 소요 시간이 길어지는 문제점을 안고 있다.
또한, 도 3에 나타낸 카세트 이송 장치는 2003년 10월 1일에 특허공개번호 10-2003-77097호로 공개된 종래기술로, 에이징 오븐기(30)의 내부에 설치된 지지돌기(31)에 대한 카세트의 정확한 이송을 목적으로 하는 기술이다.
즉, 상기 카세트 이송 장치는 이동이 가능한 이송장치(35)에서 구동부(36)에 의해 구동되는 반송 플레이트(37)의 결합 돌기(38)에 장착되어 있는 카세트를 상기 에이징 오븐기(30)의 내부에 있는 상기 지지돌기(31)에 이송시키기 위해, 상기 이송장치(35)의 전면 하단에 설치되어 있는 결합 수단(도시 생략)을 상기 에이징 오븐기(30)의 전면 하단의 고정된 위치에 설치되어 있는 베이스 블록(31)의 위에 설치되어 있는 고정 블록(32) 및 가이드 블록(33)에 결합시켜서 서로간의 위치를 정렬하는 장치이다.
그런데, 상기 특허공개번호 10-2003-77097호에 개시되어 있는 종래의 이송 장치는 상기 이송장치(35)를 수동으로 이송시켜서 에이징 오븐기(30) 앞에 정렬시키면서 서로의 정렬 수단을 통하여 결합시켜야 하기 때문에 자동화 공정 장비로 적합하지 않은 문제점을 안고 있다.
본 발명의 목적은 기판 또는 패널이 수납된 카세트를 포트에 로딩할 때에 로딩과 정렬을 동시에 가능하게 해 주는 카세트 정렬장치를 제공하는데 있다.
그리고, 본 발명의 다른 목적은 카세트를 포트에 정렬하기 위한 별도의 정렬 수단과 카세트 높이 조절 장치를 제거하여 제조 및 운용 비용을 절감시켜 주는 카세트 정렬장치를 제공하는데 있다.
본 발명은 상기와 같은 목적을 달성하기 위해, 기판 또는 패널이 적재되는 카세트가 로딩되는 포트의 일면에 미리 정해진 높이로 설치된 포지션 바; 및 상기 카세트가 로딩되면, 상기 카세트를 수평 및 하향 이동시키면서 상기 포지션 바의 위로 이동시켜 주는 정렬수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 정렬장치를 제공한다.
상기 정렬 수단은 상기 카세트의 측단 하부면에 접촉되는 안착 수단, 상기 안착 수단의 일측에 미리 설정된 각도로 결합되는 슬라이더, 및 상기 슬라이더가 미끄러지게 결합되는 안내 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 안착 수단은 상기 카세트의 측단 하부면에 접촉되는 안착대, 상기 안착대의 일측에 형성되어 상기 카세트의 측단을 지지해 주는 스토퍼로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기 안착 수단은 상기 카세트의 하부면에 접촉되어 회전하는 다수의 회전 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 회전 수단은 평 롤러와 볼 롤러 중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 한다.
상기 안착 수단은 상기 안착대의 하부면을 상기 슬라이더의 일측면에 결합시켜 주는 지지부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 정렬 수단은 카세트가 부재 중일 때에 대기 위치로 복귀시켜 주는 복귀 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 복귀 수단은 스프링으로 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 복귀 수단은 서로 자극이 대향 배치된 한 쌍의 자력 발생 수단으로 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 복귀 수단은 리니어 가이드로 구성되는 것을 특징으로 한다.
(실시예)
본 발명에 따른 카세트 정렬장치에 대하여 본 발명의 바람직한 실시예를 나타낸 첨부도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
첨부한 도면, 도 4는 본 발명에 따른 카세트 정렬장치를 이용한 정렬 전의 상태를 설명하기 위한 정면도, 도 5는 본 발명에 따른 카세트 정렬장치를 이용한 정렬 후의 상태를 설명하기 위한 정면도, 도 6은 도 4의 A부분을 상세하게 나타낸 상세도, 도 7은 본 발명에서 안내판 및 슬라이더의 결합된 상태를 설명하기 위해 도 6의 단면 A-A를 나타낸 단면도, 도 8은 본 발명의 안내판의 상세 구조를 설명하기 위한 사시도, 도 9는 본 발명에서 안착부의 다른 실시예를 설명하기 위한 사시도, 도 10은 도 9의 단면 B-B를 나타낸 단면도, 도 11은 본 발명에서 안내판 및 슬라이더의 다른 실시예를 설명하기 위한 단면도, 도 12는 본 발명에서 안내판 및 슬라이더의 또 다른 실시예를 설명하기 위한 단면도, 도 13은 본 발명에서 안착부의 또 다른 실시예를 설명하기 위한 사시도이다.
본 발명에 따른 카세트 정렬장치는 LCD 제조 공정 중에 패널의 이송을 비롯한 다른 기판 등의 이송에 사용되는 카세트를 정해진 위치에 정렬시켜 주기 위해 카세트 포트에 설치되는 것이다.
본 발명에 따른 카세트 정렬장치는 카세트(40)가 로딩되는 포트에 설치되어 정렬시켜 주는 역할을 한다.
이를 위해, 상기 카세트 정렬장치는 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 상기 포트에 설치되는 베이스(60)와, 상기 베이스(60)의 양단 내측에 설치되어 상기 카세트(40)를 정렬시켜 주는 정렬부(50), 그리고 미리 설정된 높이로 이루어져 상기 카세트(40)가 로딩되는 포지션 바(70)로 구성된다.
여기서, 상기 포지션 바(70)는 상기 카세트(40)의 로딩 높이만을 결정시켜 주는 것이고, 상기 카세트(40)의 수평 방향 위치는 상기 정렬부(50)에 의해 결정된다.
상기 정렬부(50)는 도 4의 A부분을 상세하게 나타낸 도 6에 나타낸 바와 같이, 상기 베이스(60)의 양단의 내측에 30~60도의 경사로 장착되는 안내판(52)과, 상기 안내판(52)에 미끄러지게 결합되어 상기 안내판(52)의 일면 상에서 상하 이동이 가능한 슬라이더(53)와, 상기 슬라이더(53)의 일면에 그 측단이 결합되는 지지부(54), 그리고 상기 지지부(54)의 일면에 결합되어 상기 카세트(40)의 측단 하부면이 면접촉되는 안착부(55)로 구성된다.
또한, 상기 정렬부(50)의 상기 슬라이더(53)를 비롯한 상기 지지부(54) 및 안착부(55)를 상기 안내판(52)의 상단부(이하, 대기 위치라 한다)로 복귀시켜 주는 복귀 수단인 스프링(56)이 상기 베이스(60)의 일단에 설치된 스프링 포스트(57)와 상기 안착부(55) 사이에 연결된다. 이때, 상기 스프링(56)은 상기 안착부(55)를 위로 당겨주어야 하기 때문에 인장 스프링으로 구성되는 것이 바람직하며, 상기 안내판(52)에 대하여 상기 슬라이더(53) 등을 상기 대기위치로 복귀시켜 줄 수 있는 수단, 예를 들어 자기적 반발력 발생 수단 등으로 구현되는 것도 가능하다.
상기 안내판(52)과 상기 슬라이더(53)는, 도 6의 단면 A-A를 나타낸 도 7에 나타낸 바와 같이, 가이드 결합되어 있다. 이는 상기 슬라이더(53)가 상기 안내판(52) 상에서 상하 이동하면서 횡방향으로 어긋나는 것을 방지하기 위한 것이다.
이를 위해, 상기 안내판(52)은 도 8에 나타낸 바와 같이, 그 일면에 상하 종방향으로 2개의 안내홈(52a)이 형성되어 있고, 상기 슬라이더(53)의 이면에는 상기 안내홈(52a)에 결합되는 결합부(53a)가 형성되어 있다.
그리고, 상기 안내홈(52a)의 하단부(52b)는 상기 안내판(52)의 하단까지 형성된 것이 아니라 상기 슬라이더(53)의 하향 이동을 정지시켜 주기 위해 하단으로부터 약간 거리를 두고 형성된다.
또한, 상기 슬라이더(53)의 결합부(53a)가 상기 안내홈(52a)으로부터 이탈되는 것을 방지하기 위해, 상기 결합부(53)의 일단부에 상기 안내홈(52a)의 폭보다 넓게 형성된 이탈 방지편(53b)을 형성한다.
그리고, 상기와 같이 형성된 상기 슬라이더(53)의 결합부(53a)를 상기 안내판(52)의 안내홈(52a)에 결합시키기 위해서는 상기 안내홈(52a)의 상단부를 개방 구조로 형성한 다음, 상기 슬라이더(53)를 결합시키고, 별도의 안내판 스토퍼(52c) 를 상기 안내판(52)의 상단면에 결합시켜서 상기 슬라이더(53)가 상기 스프링(56)의 인장력에 의해 상기 안내판(52)으로부터 이탈되는 것을 방지하였다.
또한, 상기 안내판(52)의 설치 각도를 30도 근방의 각도로 하면 너무 급한 경사이고, 60도 근방의 각도는 너무 완만한 각도이므로, 약 45도 정도로 하는 것이 좋다.
한편, 상기 슬라이더(53)에 상기 안착부(55)를 결합시키기 위해 별도의 지지부(54)를 이용하였으나, 상기 안착부(55)의 윗면이 수평하게 이루어진다면 상기 안착부(55)와 상기 지지부(54)를 일체화시켜도 무방하다. 물론, 경우에 따라서는 상기 슬라이더(53)까지 일체화하여도 무방하다.
상기 안착부(55)는 상기 카세트(40)의 하부면이 접촉되게 지면에 대하여 수평을 유지하는 안착대(55a)와, 상기 안착대(55a)의 일측 즉, 상기 스프링(56) 방향 위치에 상기 카세트(40)가 밀려 나가는 것을 방지하기 위해 상향으로 돌출되어 형성된 스토퍼(55b)로 구성된다.
그리고, 상기 안착부(55)의 상기 안착대(55a)에 놓인 상기 카세트(40)의 하부면이 미끄러지면서 상기 스토퍼(55b)까지 이동하게 평평한 구조로 한다.
단, 상기 안착대(55a) 상에서 상기 카세트(40)가 보다 원활하게 이동할 수 있게 본 발명에서는 도 9 및 도 10에 나타낸 바와 같이, 상기 안착부(55)의 안착대(55a)에 다수의 롤러 수용부를 형성하고, 상기 롤러 수용부에 다수의 롤러(55c)를 설치하여, 상기 카세트(40)의 하단이 상기 안착대(55a) 상에서 원활하게 이동할 수 있게 하였다.
이때, 상기 롤러(55c)의 외주면의 상단부는 상기 안착대(55a)의 상부면보다 약간 돌출되게 설치되어야 한다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 작용을 도 4 및 도 5를 참조하여 설명한다.
먼저, 상기 카세트(40)를 상기 정렬부(50) 위에 올려놓기 전에는 상기 안착부(55)가 상기 스프링(56)에 의해 상기 안내판(52)의 상단부 즉, 대기 위치에 놓여 있다.
그리고, AGV를 이용하여 상기 카세트(40)를 상기 정렬부(50)의 안착대(55a)에 올려놓으면, 상기 슬라이더(53)가 상기 안내판(52) 상에서 아래로 미끄러지면서 이동하여, 상기 안착대(55a) 상의 상기 카세트(40)의 측단 하단부가 상기 스토퍼(55b) 쪽으로 이동된다.
상기와 같은 과정을 통하여 상기 슬라이더(53)가 밑으로 내려오면, 상기 포지션 바(70)에 의해 정지되면서 상기 카세트(40)의 높이 및 수평 방향 위치에 대한 정렬이 완성된다.
상기 실시예 설명에서는 상기 정렬부(50)의 설치 개수에 대하여 언급하지 않았으나, 통상적으로 상기 카세트(40)의 하부면이 사각형 구조로 이루어져 있기 때문에 상기 정렬부(50) 및 포지션 바(70)는 상기 베이스(60)의 사각 위치에 설치되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 포지션 바(70)는 로딩되는 카세트(40)의 특성에 따라 높이 조절이 가능한 것이 좋으며, 상기 베이스(60)도 상기 정렬부(50)가 설치된 양단간의 간 격 조절이 가능한 것이 바람직하다.
한편, 상기 실시예에서는 상기 슬라이더(53)와 안내판(52)간의 결합 구조, 복귀를 위해 상기 스프링(56)을 사용하는 것을 예로 들어 설명하였으나, 다음과 같은 변형 실시예도 가능하다.
도 11에 나타낸 실시예는 안착부(58a)의 일측에 장착된 슬라이더(58b)가 안내판(58d)으로부터 이탈되지 않게 결합된 상태에서 상기 슬라이더(58b)의 하부면에 연장되어 상기 안내판(58d)의 내부에 수용된 부분에 슬라이더 자석(58c)을 부착하고, 상기 베이스(60)의 일측에 경사지게 설치되어 상기 슬라이더(58b)가 미끄러지는 안내판(58d)의 내부 하단 쪽에 상기 슬라이더 자석(58c)의 자극과 대향되어 척력을 발생시키는 고정 자석(58e)을 설치하여, 상기 안착부(58c)에 상기 카세트(40)를 올려놓으면, 상기 카세트(40)의 하중에 의해 상기 슬라이더(58b)에 장착된 슬라이더 자석(58c)와 상기 고정 자석(58e)간의 척력을 극복하여 상기 안내판(58d)의 하단으로 내려오는데, 상기 안착부(58a)의 하단이 상기 포지션 바(70)에 의해 정지될 때까지 내려온다(도 11의 (B) 참조).
그리고, 상기 안착부(58a)에 올려져 있는 상기 카세트(40)가 언로딩되면 상기 슬라이더 자석(58c)과 상기 고정자석(58e)간의 척력에 의해 상기 안착부(58a)가 상기 안내판(58d)의 상단으로 이동된다(도 11의 (A) 참조).
여기서, 도 11에 상기 슬라이더 자석(58c)과 상기 고정 자석(58e)를 상기 안내판(58d)의 내부에 설치하였으나, 경우에 따라서는 상기 슬라이더(58b)의 하단에 상기 슬라이더 자석(58c)를 부착하고, 상기 안내판(58d)의 윗면 하단에 상기 고정 자석(58e)을 설치할 수도 있다. 그러나 이와 같이 상기 슬라이더 자석(58c)와ㅏ 상기 고정 자석(58e)를 외부에 설치하는 경우에 그 사이에 자기장을 차단하거나 감쇄시키는 다른 물질이 끼어 들 경우에 정상적인 동작이 이루어지지 않을 수도 있으므로 도 11과 같이 내부에 설치되는 것이 바람직하다.
도 12에 나타낸 실시예는 선형 모터(Linear Motor)인 리니어 가이드를 이용한 것으로, 리니어 가이드(59c)를 상기 베이스(60)의 일측에 경사지게 설치하고, 상기 리니어 가이드(59c)의 가동자에 슬라이더(59b)를 연결하여, 상기 슬라이더(59b)에 안착부(59a)를 장착한다.
그리고, 상기 안착부(59a)에 대한 상기 카세트(40)의 적재 여부에 따라 상기 리니어 가이드(59c)의 동작을 제어할 필요가 있다.
이를 위해서, 본 발명에서는 리니어 가이드(59c)의 상단과 하단에 각각 상한 센서(도시 생략)와 하한 센서(도시 생략)를 설치하고, 상기 상한 센서와 상기 하한 센서를 통하여 상기 리니어 가이드(59c)를 제어하는 제어부(도시생략)를 부가 구성한다.
그리고, 상기 가동자가 상향 이동(복귀)할 때에는 상한 센서를 통해 상기 가동자가 상한 위치를 통과하면 상기 제어부에 의해 상기 리니어 가이드(59c)의 구동을 정지시키고, 상기 안착부(59a)에 카세트(40)가 로딩되어 하중에 의해 하강되면서 상기 하한 센서를 상기 가동자가 통과하면 상기 리니어 가이드(59c)의 구동을 정지시킨다.
이때, 상기 안착부(59a)에 상기 카세트(40)가 로딩되어 하강할 때에는 상기 리니어 가이드(59c)를 구동시키지 않아도 무방하나, 상기 카세트(40)의 하중에 의한 힘보다 작은 힘을 발생시키는 토크를 상기 리니어 가이드(59c)가 발생하도록 하여 상기 안착부(59a)가 빠르게 하강하는 것을 방지해 주어야 한다.
여기서, 상기 도 11 및 도 12에 나타낸 안착부(58a, 59a)에는 도 6과 도 9 및 도 10에 나타낸 바와 같은 구조로 이루어진 안착부(55)와, 도 13에 나타낸 구조의 안착부(80)로 구성될 수도 있다.
도 13에 나타낸 안착부(80)는 도 6과 도 9 및 도 10에 나타낸 구조의 안착부(55)의 구조와 달리 상기 카세트(40)의 하부면에 대한 마찰을 방향에 관계없이 상쇄시키기 위한 구조이다.
즉, 가장자리의 일부에 상기 카세트(40)의 이동을 정지시켜 주는 스토퍼(84)가 형성된 상기 안착부(80)의 바닥면인 안착대(82)에 다수의 볼 롤러(86; 일명 볼 캐스터)를 설치하여 상기 안착부(80)에 대하여 어느 방향으로 상기 카세트(40)가 이동되더라도 원활한 이동이 가능하게 하였다.
그리고, 도 13에 나타낸 구조의 안착부(80)는 상기 베이스(60)의 양측에 설치되어 이용될 수도 있지만, 도 13에 나타낸 바와 같이 4각 배치하여 상기 카세트(40)를 4점 지지하여 보다 안정적인 로딩이 이루어지게 할 수 있다.
상기와 같이 이루어지는 본 발명은 기판 또는 패널이 수납된 카세트를 포트에 로딩할 때에 로딩과 정렬을 동시에 가능하게 하여 공정 소요 시간을 절감시켜 주는 효과를 제공한다.
그리고, 본 발명은 카세트에 설치되는 별도의 정렬 보조수단을 필요 없게 하여 비용을 절감시켜 주는 효과를 제공한다.

Claims (10)

  1. 기판 또는 패널이 적재되는 카세트가 로딩되는 포트의 일면에 미리 정해진 높이로 설치된 포지션 바; 및
    상기 카세트가 로딩되면, 상기 카세트를 수평 및 하향 이동시키면서 상기 포지션 바의 위로 이동시켜 주는 정렬수단;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 정렬장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 정렬 수단은 상기 카세트의 측단 하부면에 접촉되는 안착 수단, 상기 안착 수단의 일측에 미리 설정된 각도로 결합되는 슬라이더, 및 상기 슬라이더가 미끄러지게 결합되는 안내 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 정렬장치.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 안착 수단은 상기 카세트의 측단 하부면에 접촉되는 안착대, 상기 안착대의 일측에 형성되어 상기 카세트의 측단을 지지해 주는 스토퍼로 이루어지는 것을 특징으로 하는 카세트 정렬장치.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 안착 수단은 상기 카세트의 하부면에 접촉되어 회전하는 다수의 회전 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 정렬장치.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 회전 수단은 평 롤러와 볼 롤러 중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 카세트 정렬장치.
  6. 제 3항에 있어서, 상기 안착 수단은 상기 안착대의 하부면을 상기 슬라이더의 일측면에 결합시켜 주는 지지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 정렬장치.
  7. 제 2항에 있어서, 상기 정렬 수단은 카세트가 부재 중일 때에 대기 위치로 복귀시켜 주는 복귀 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 정렬장치.
  8. 제 7항에 있어서, 상기 복귀 수단은 스프링으로 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 정렬장치.
  9. 제 7항에 있어서, 상기 복귀 수단은 서로 자극이 대향 배치된 한 쌍의 자력 발생 수단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 정렬장치.
  10. 제 7항에 있어서, 상기 복귀 수단은 리니어 가이드로 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 정렬장치.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101157198B1 (ko) 2010-01-14 2012-06-20 주식회사 에스에프에이 카세트 센터링 장치
KR102042445B1 (ko) * 2018-05-08 2019-11-08 주식회사 에스에프에이 반송물 센터링 장치
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100902003B1 (ko) * 2007-08-31 2009-06-11 세메스 주식회사 카세트 이송부를 구비한 기판 처리 장치
CN101954651B (zh) * 2009-07-17 2013-09-18 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 对准装置
KR102178615B1 (ko) * 2020-03-06 2020-11-13 시너스텍 주식회사 센터링 장치

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990048952A (ko) * 1997-12-11 1999-07-05 김영환 액정 셀 및 카세트 정렬 장치

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990048952A (ko) * 1997-12-11 1999-07-05 김영환 액정 셀 및 카세트 정렬 장치

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101157198B1 (ko) 2010-01-14 2012-06-20 주식회사 에스에프에이 카세트 센터링 장치
KR102042445B1 (ko) * 2018-05-08 2019-11-08 주식회사 에스에프에이 반송물 센터링 장치
KR102192871B1 (ko) 2019-08-23 2020-12-18 주식회사 해동 카세트 이송 장치 및 이를 이용한 카세트 이송 방법

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