KR101211965B1 - 플레이트 정렬 장치 - Google Patents

플레이트 정렬 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101211965B1
KR101211965B1 KR1020120062756A KR20120062756A KR101211965B1 KR 101211965 B1 KR101211965 B1 KR 101211965B1 KR 1020120062756 A KR1020120062756 A KR 1020120062756A KR 20120062756 A KR20120062756 A KR 20120062756A KR 101211965 B1 KR101211965 B1 KR 101211965B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
axis direction
support
guide
plate
support unit
Prior art date
Application number
KR1020120062756A
Other languages
English (en)
Inventor
최영규
Original Assignee
주식회사 일원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 일원 filed Critical 주식회사 일원
Application granted granted Critical
Publication of KR101211965B1 publication Critical patent/KR101211965B1/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q3/00Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine
    • B23Q3/18Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine for positioning only
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/04Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
    • H01L31/042PV modules or arrays of single PV cells
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

개시된 본 발명에 의한 플레이트 정렬 장치는, 베이스에 위치고정되게 설치되어 플레이트를 지지하는 제1지지유닛과, 제1지지유닛을 따라 y축 방향으로 왕복 이동 가능하도록 설치되며 플레이트를 지지하는 제2지지유닛과, 플레이트를 지지한 채 x축 방향으로 위치 조정 가능하도록 베이스 상에 설치되는 제3지지유닛 및, 플레이트를 지지한 채 제3지지유닛 상에서 y축 방향으로 왕복 이동 가능하게 설치되며 제1지지유닛과 일체로 y축 방향으로 이동되며 x축 방향으로는 독립적으로 이동되는 제4지지유닛을 포함한다. 이에 의하면, 구동원의 개수를 줄임으로써 제조비용을 저감시킬 수 있을 뿐만 아니라 구동원으로의 배선작업도 간단해 질 수 있어 전체 장치의 구조를 최소화할 수 있는 효과를 가질 수 있다.

Description

플레이트 정렬 장치 {APPARATUS FOR ALIGNING A PLATE}
본 발명은 플레이트 정렬 장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 글래스 기판, 패널 또는 기판 등과 같이 직사각형 모양을 가지는 플레이트(plate)를 정렬(aligning) 또는 센터링(centering)하는 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조 공정, 디스플레이 제조 공정 또는 유리 가공 공정 등과 같이 직사각형 모양의 원판을 가공하기 위해서는 해당 원판을 센터링 또는 정렬시킨 후 이를 가공공정 단계로 이송시켜 가공이 이루어진다.
이러한 원판을 센터링하기 위한 다양한 기술이 제시되고 있으며 가장 일반적인 것이 원판의 모서리가 각각 지지되는 지지부가 구비되고, 이들 지지부 각각이 x축 및 y축을 따라 이동가능한 가이드레일이 구비되고, 지지부의 이동을 구동시키도록 각각 구동부가 마련된다.
그러나 이와 같이 구성되는 종래의 플레이트 정렬 장치는 지지부 각각을 구동시키기 위한 구동원이 마련되어야 하고 각각의 가이드레일이 구비되어야 함으로써 전체 장치의 생산비용이 증가되는 문제가 있었다.
또한, 각각의 가이드레일간 간섭이 되지 않도록, 즉, 각 지지부의 이동시 상호간 간섭되지 않도록 복잡한 설계가 필요하여 제조공정 시간이 길어지는 문제가 있었다.
또한, 각각의 구동원으로 전원을 공급하기 위한 배선작업이 복잡하였으며, 이들을 배치하기 위하여 불필요한 부품이 필요하다는 등의 문제가 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 극복하기 위하여 도출된 것으로서, 간단한 구조에 의하여 x축 및 y축 방향 정렬을 용이하게 할 수 있는 플레이트 정렬 장치를 제공하는데 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 플레이트 정렬 장치는, 베이스에 위치고정되게 설치되어 플레이트를 지지하는 제1지지유닛과; 상기 제1지지유닛을 따라 y축 방향으로 왕복 이동 가능하도록 설치되며, 상기 플레이트를 지지하는 제2지지유닛과; 상기 플레이트를 지지한 채 x축 방향으로 위치 조정 가능하도록 상기 베이스 상에 설치되는 제3지지유닛; 및 상기 플레이트를 지지한 채 상기 제3지지유닛 상에서 y축 방향으로 왕복 이동 가능하게 설치되며, 상기 제1지지유닛과 일체로 y축 방향으로 이동되며, x축 방향으로는 독립적으로 이동되는 제4지지유닛;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 제1지지유닛은, 상기 베이스 상으로 돌출되도록 설치되어 상기 플레이트를 지지하는 제1 지지부와, 상기 제1지지부의 하부에서 상기 y축 방향으로 연장형성되어 상기 제2지지유닛의 y축 방향으로의 이동을 가이드하는 제1 가이드부를 가지며,
상기 제2지지유닛은, 상기 제1 가이드부에 슬라이딩 이동가능하게 설치되는 제1 슬라이딩부, 상기 제1 슬라이딩부에 고정설치되어 상기 플레이트를 지지하는 제2 지지부, 상기 제1 슬라이딩부에 x축 방향으로 연장형성되는 제2 가이드부를 가지며,
상기 제3지지유닛은, 상기 플레이트를 지지하는 제3 지지부, 상기 제3 지지부가 고정설치되어 x축 방향으로 슬라이딩 이동가능한 제2 슬라이딩부, 상기 제2 슬라이딩부를 x축 방향으로 가이드 하도록 상기 베이스에 설치되는 제3 가이드부, 상기 제2 슬라이딩부에 고정되어 y축 방향으로 연장형성되어 상기 제4지지유닛의 y축 방향으로의 이동을 가이드하는 제4 가이드부를 가지는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제4지지유닛은, 상기 제4 가이드부를 따라 y축 방향으로 이동가능하게 설치되는 제3 슬라이딩부; 상기 제3 슬라이딩부에 고정되어 상기 플레이트를 지지하는 제4 지지부; 및 상기 제3슬라이딩부에 회전 가능하게 설치되며, 상기 제2 가이드부에 자유회전 가능하게 마그네틱 결합되는 가이드롤을 포함하며, 상기 가이드롤과 상기 제2 가이드부의 마그네틱 결합에 의해 상기 제2 및 제4지지유닛이 y축 방향으로 동시에 이동 가능하며, 상기 가이드롤의 자유회전에 의해 상기 제2지지유닛과는 독립적으로 x축 방향으로 이동 가능한 것이 좋다.
또한, 상기 제1슬라이딩부를 y축 방향으로 이동시키는 제1 구동유닛; 및 상기 제2 슬라이딩부를 x축 방향으로 이동시키는 제2 구동유닛;을 더 포함하는 것이 좋다
이로써, 제4 지지부는 제2 슬라이딩부가 x축 방향을 따라 이동시 제2 가이드부에 마그네틱 결합된 가이드롤이 회전하면서 x축 방향으로 이동되고, 제1 슬라이딩부가 y축 방향을 따라 이동시 제2 가이드부의 가압력에 의하여 제3 슬라이딩부가 y축 방향을 따라 슬라이딩 이동됨으로써, 간단한 구성에 의하여 플레이트를 센터링 또는 정렬시킬 수 있게 된다.
또한, 상기 제2지지유닛의 y축 방향으로의 이동을 제한하기 위한 제1 리미트센서; 및 상기 제3지지유닛의 x축 방향으로의 이동을 제한하기 위한 제2 리미트센서;를 더 포함하는 것이 좋다.
본 발명의 바람직한 실시예에 의한 플레이트 정렬 장치에 의하면, 구동원의 개수를 줄임으로써 제조비용을 절감시킬 수 있을 뿐만 아니라 구동원으로의 배선작업도 간단해 질 수 있어 전체 장치의 구조를 최소화할 수 있는 효과를 가질 수 있다.
또한, 지지부의 이동을 가이드하는 가이드레일의 구조도 간단화시킬 수 있어 제조시간 및 제조비용을 현저하게 낮출 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 의한 플레이트 정렬 장치를 나타낸 사시도이다.
도 2 내지 도 4는 도 1에 도시된 플레이트 정렬장치의 동작을 설명하기 위한 평면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 플레이트 정렬장치의 요부를 설명하기 위한 정면도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 플레이트 정렬장치를 설명하기 위한 블록 구성도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 의한 플레이트 정렬 장치에 대하여 설명한다.
도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 의한 플레이트 정렬 장치(100)는, 제1 지지유닛(110), 제2 지지유닛(120), 제3 지지유닛(130), 제4 지지유닛(140), 제1 구동유닛(150) 및 제2 구동유닛(160)을 포함한다.
상기 제1 지지유닛(110)은, 플레이트의 센터링 또는 정렬의 원점이 되도록 베이스(10)에 고정설치되어 플레이트를 지지하는 제1 지지부(111) 및 y축 방향(도 1 참조)으로 연장형성되는 제1 가이드부(113)를 포함한다. 제1 지지부(111)는 베이스(10)로부터 소정 높이로 직립되게 설치되며, 위치 고정되어 플레이트의 네 모서리 중에서 하나의 모서리부분을 지지한다.
상기 제2 지지유닛(120)은, 제1 가이드부(113)에 슬라이딩 이동가능하게 설치되는 제1 슬라이딩부(125)와, 제1 슬라이딩부(125)에 고정설치되어 플레이트를 지지하는 제2 지지부(121) 및 제1 슬라이딩부(125)에 고정되며 x축 방향으로 연장형성되는 제2 가이드부(123)를 포함한다.
여기서, 제1 슬라이딩부(125)는 제1 구동유닛(150)의 구동원(151)과 동력연결된 구동벨트(153)에 고정되어 구동원(151)의 회전운동이 구동벨트(153)의 직선운동으로 변환되고 구동벨트(153)의 회전에 의하여 y축 방향으로 이동되면서 제2 지지부(121)가 y축 방향으로 이동되면서 플레이트가 y축 방향으로 정렬 또는 센터링되게 한다. 제2 지지부(121)는 제1 지지부(111)와 동일한 높이로 y축 방향으로 이격되게 위치되며, y축 방향으로 위치 이동되면서 플레이트를 정렬시키게 된다.
상기 제3 지지유닛(130)은, 제1 지지유닛(110)과 x축 방향으로 대향되도록 이격되게 설치되는 것으로서, 플레이트를 지지하는 제3 지지부(131), 제3 지지부(131)가 고정설치되며 x축 방향으로 슬라이딩 이동가능한 제2 슬라이딩부(135), 제2 슬라이딩부(135)를 x축 방향으로 슬라이딩 이동 가이드하는 제3 가이드부(137), 제2 슬라이딩부(135)에 고정되어 y축 방향으로 연장형성되는 제4 가이드부(133)를 포함한다. 제3 지지부(131)는 제1 및 제2 지지부(111,121)와 동일한 높이로 설치되며, 제1 지지부(111)와는 x축 방향으로 이격되고, 제2 지지부(121)와는 대각선 방향으로 이격되게 위치된다.
제2 슬라이딩부(135)는 제2 구동유닛(160)의 구동원(161)에 의하여 제3 가이드부(137)를 따라 x축으로 슬라이딩이동되면서 제3 지지부(131)가 x축 방향으로 이동되고, 이러한 제3 지지부(131)에 의하여 플레이트가 x축 방향으로 정렬 또는 센터링되게 한다. 제3 가이드부(137)는 베이스(10)에 고정 설치된다.
여기서 상기 제2 구동유닛(160)은 도 5에 도시된 바와 같이, 구동원(161)과, 구동원(161)의 구동에 의해 회전되는 리드스크류(162)를 구비할 수 있다. 상기 리드스크류(162)가 제2 슬라이딩부(135)에 나사 연결됨으로써, 리드스크류(162)의 회전방향에 따라서 제2 슬라이딩부(135)가 x축 방향으로 이동 가능하게 된다. 물론, 제2 구동유닛(160)은 도 5와 같은 실시예 이외에도, 다양한 구성이 가능하며, 예를 들어 제1 구동유닛(150)과 같은 구성도 가능함은 당연하다.
상기 제4 지지유닛(140)은, 제4 가이드부(133)에 y축 방향으로 슬라이딩 이동가능하게 설치되는 제3 슬라이딩부(145), 제3 슬라이딩부(145)에 고정설치되어 플레이트를 지지하는 제4 지지부(141), 제3 슬라이딩부(145)에 자유회전가능하게 설치되며 제2 지지유닛(120)의 제2 가이드부(123)에 마그네틱 결합되는 가이드롤(143)을 포함한다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 가이드롤(143)은 제2 가이드(123)에 마그네틱 결합되는 마그네틱 재질로 형성되며, 제2 슬라이딩부(135)가 x축 방향으로 이동되면 그에 따라 제4 가이드부(133)가 연동되어 x축 방향으로 이동되고 제4 가이드부(133)에 설치된 제3 슬라이딩부(145)가 연동되어 x축 방향으로 이동되면, 가이드롤(143)은 제2 가이드부(123)와 마그네틱 결합이 분리되지 않은 채 자유회전하면서 이동되면서 제4 지지부(141)가 x축 방향으로 이동됨으로써 플레이트의 x축 방향으로 정렬 또는 센터링이 된다.
한편, 제1 슬라이딩부(125)가 y축 방향으로 이동되면 제1 슬라이딩부(125)에 고정된 제2 가이드부(123)가 제1 지지부(111) 쪽으로 근접되도록 y축 방향으로 이동되고, 이때 제2 가이드부(123)에 마그네틱 결합된 가이드롤(143)이 y축 방향으로 가압되면서 가이드롤(143)이 고정설치된 제3 슬라이딩부(145)가 제4 가이드부(133)를 따라 가이드되면서 y축 방향으로 이동됨으로써 플레이트의 y축 방향으로 정렬 또는 센터링이 된다.
또한, 이와 반대방향으로 제1 슬라이딩부(125)가 제1 지지유닛(110)과 멀어지는 y축 방향으로 이동되면 제2 가이드부(123)가 이와 연동되어 y축 방향으로 이동되고, 제2 가이드부(123)에 마그네틱 결합된 가이드롤(143)이 제2 가이드부(123)에 끌려 y축 방향으로 이동되면서 제3 슬라이딩부(145)가 이동되어 결국에는 제4 지지부(141)가 y축 방향으로 이동되면서 플레이트가 y축 방향으로 정렬 또는 센터링이 된다.
이와 같이, 플레이트의 각 모서리를 지지하는 총 네 개의 지지부 각각을 구동하기 위한 구동원을 설치하지 않고도 두 개의 구동원(151,161)을 사용하면서도 플레이트를 센터링 또는 정렬할 수 있게 된다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 의한 플레이트 정렬 장치(100)의 작용효과를 자세히 설명한다.
글라스 기판, 반도체 기판 또는 디스플레이 패널과 같은 플레이트가 상기 네 개의 지지부(111)(121)(131)(141)에 가안착되고, 제1 구동유닛(150)이 구동되어 제1 슬라이딩부(125)가 y축 방향으로 이동되면서 가이드롤(143)을 y축 방향으로 밀거나 또는 끌어당겨 제3 슬라이딩부(145)의 제3 지지부(143)가 y축 방향으로 이동되어 플레이트를 y축 방향으로 센터링 또는 정렬시킨다. 그리고 제2 구동유닛(160)이 구동되어 제2 슬라이딩부(135)가 x축 방향으로 이동되면서 제3 슬라이딩부(145)를 x축 방향으로 이동시키게 되어 제3 지지부(131)와 함께 제4 지지부(141)가 x축 방향으로 이동되면서 플레이트를 x축 방향으로 센터링 또는 정렬시키게 된다.
이때, 제1 구동유닛(150) 및 제2 구동유닛(160)이 동시에 구동되어 제4 지지부(141)가 x축 및 y축으로 동시에 이동되면서 정렬시키는 것도 가능하다.
한편, 도 6을 참조하면, 제2 슬라이딩부(135) 및 제1 슬라이딩부(125)가 각각 x축 및 y축 방향으로 이동을 제한하도록 제1 및 제2 리미트 센서(171,172)가 더 설치되는 것이 바람직하다. 제1 및 제2 리미트 센서(171,172) 각각은 접촉센서, 비접촉센서, 스위칭센서 모두 가능하며, 제2 슬라이딩부(135) 및 제1 슬라이딩부(125) 각각의 이동범위 내에 설치된다. 따라서 제1 및 제2 리미트 센서(171,172)는 제2 슬라이딩부(135) 및 제1 슬라이딩부(125)를 리미트위치에서 감지시, 감지신호를 제어부(190)로 전달하고, 제어부(190)는 제1 및 제2구동유닛(150,160) 각각을 제어하여 구동을 멈추도록 할 수 있다.
또한, 입력부(180)를 통해 플레이트의 사이즈에 대한 정보가 입력될 수 있으며, 이 경우 제어부(190)는 입력된 사이즈에 대한 정보를 근거로 제2 슬라이딩부(135) 및 제1 슬라이딩부(125)의 x축 및 y축으로의 이동거리에 대한 신호를 산출하여 그에 따라 제1 구동유닛(150) 및 제2 구동유닛(160)이 구동되게 하는 것이 바람직하다.
또한, 이와 달리 제어부(190)는 플레이트의 사이즈에 따라 직접 제1 구동유닛(150) 및 제2 구동유닛(160)의 구동을 제어할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
한편, 제1 구동유닛(150) 및 제2 구동유닛(160)의 작동 없이 사용자가 수작업으로도 제1 슬라이딩부(125) 및 제2 슬라이딩부(135)를 이동시키면서 플레이트의 정렬 또는 센터링 작업을 수행할 수 있게 하는 것도 가능하다.
이상, 본 발명을 본 발명의 원리를 예시하기 위한 바람직한 실시예와 관련하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 그와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용으로 한정되는 것이 아니다. 오히려 첨부된 특허청구범위의 사상 및 범위를 일탈함이 없이 본 발명에 대한 다수의 변경 및 수정이 가능함을 당업자들은 잘 이해할 수 있을 것이다.
100 : 플레이트 정렬 장치 110 : 제1 지지유닛
111 : 제1 지지부 120 : 제2 지지유닛
121 : 제2 지지부 123 : 제2 가이드부
127 : 제1 가이드부 125 : 제1 슬라이딩부
130 : 제3 지지유닛 131 : 제3 지지부
133 : 제2 가이드부 135 : 제2 슬라이딩부
137 : 제3 가이드부 140 : 제4 지지유닛
141 : 제4 지지부 143 : 가이드롤
145 : 제3 슬라이딩부 150 : 제1 구동유닛
151 : 제1 구동부 153 : 벨트부
160 : 제2 구동유닛 171 : 제1 리미트센서
172 : 제2 리미트 센서 180 : 입력부
190 : 제어부

Claims (5)

  1. 베이스에 위치고정되게 설치되어 플레이트를 지지하는 제1지지유닛과;
    상기 제1지지유닛을 따라 y축 방향으로 왕복 이동 가능하도록 설치되며, 상기 플레이트를 지지하는 제2지지유닛과;
    상기 플레이트를 지지한 채 x축 방향으로 위치 조정 가능하도록 상기 베이스 상에 설치되는 제3지지유닛; 및
    상기 플레이트를 지지한 채 상기 제3지지유닛 상에서 y축 방향으로 왕복 이동 가능하게 설치되며, 상기 제2지지유닛과 일체로 y축 방향으로 이동되며, x축 방향으로는 독립적으로 이동되는 제4지지유닛;을 포함하며,
    상기 제1지지유닛은,
    상기 베이스상으로 돌출되도록 설치되어 상기 플레이트를 지지하는 제1 지지부와, 상기 제1지지부의 하부에서 상기 y축 방향으로 연장형성되어 상기 제2지지유닛의 y축 방향으로의 이동을 가이드하는 제1 가이드부를 가지며,
    상기 제2지지유닛은,
    상기 제1 가이드부에 슬라이딩 이동가능하게 설치되는 제1 슬라이딩부, 상기 제1 슬라이딩부에 고정설치되어 상기 플레이트를 지지하는 제2 지지부, 상기 제1 슬라이딩부에 x축 방향으로 연장형성되는 제2 가이드부를 가지며,
    상기 제3지지유닛은,
    상기 플레이트를 지지하는 제3 지지부, 상기 제3 지지부가 고정설치되어 x축 방향으로 슬라이딩 이동가능한 제2 슬라이딩부, 상기 제2 슬라이딩부를 x축 방향으로 가이드하도록 상기 베이스에 설치되는 제3 가이드부, 상기 제2 슬라이딩부에 고정되어 y축 방향으로 연장형성되어 상기 제4지지유닛의 y축 방향으로의 이동을 가이드하는 제4 가이드부를 가지며,
    상기 제4지지유닛은,
    상기 제4 가이드부를 따라 y축 방향으로 이동가능하게 설치되는 제3 슬라이딩부; 상기 제3 슬라이딩부에 고정되어 상기 플레이트를 지지하는 제4 지지부; 및 상기 제3슬라이딩부에 회전 가능하게 설치되며, 상기 제2 가이드부에 자유회전 가능하게 마그네틱 결합되는 가이드롤을 포함하며,
    상기 가이드롤과 상기 제2 가이드부의 마그네틱 결합에 의해 상기 제2 및 제4지지유닛이 y축 방향으로 동시에 이동 가능하며, 상기 가이드롤의 자유회전에 의해 상기 제2지지유닛과는 독립적으로 x축 방향으로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 플레이트 정렬 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1슬라이딩부를 y축 방향으로 이동시키는 제1 구동유닛; 및
    상기 제2 슬라이딩부를 x축 방향으로 이동시키는 제2 구동유닛;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플레이트 정렬 장치.
  5. 제1항 또는 제4항에 있어서,
    상기 제2지지유닛의 y축 방향으로의 이동을 제한하기 위한 제1 리미트센서; 및
    상기 제3지지유닛의 x축 방향으로의 이동을 제한하기 위한 제2 리미트센서;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플레이트 정렬장치.
KR1020120062756A 2012-04-06 2012-06-12 플레이트 정렬 장치 KR101211965B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20120036073 2012-04-06
KR1020120036073 2012-04-06

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101211965B1 true KR101211965B1 (ko) 2012-12-12

Family

ID=47907589

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120062756A KR101211965B1 (ko) 2012-04-06 2012-06-12 플레이트 정렬 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101211965B1 (ko)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102086297B1 (ko) * 2019-09-27 2020-03-06 한국남동발전 주식회사 작업용 로봇을 구비한 수배전반
KR102086969B1 (ko) * 2019-09-27 2020-03-11 한국남동발전 주식회사 전장 패널에서의 작업용 로봇 융합형 수배전반
KR20220108962A (ko) * 2021-01-28 2022-08-04 송과모빌리티이노베이션 주식회사 조립식 패널의 측면 프레임 제조를 위한 용접용 지그 장치
KR20220108963A (ko) * 2021-01-28 2022-08-04 송과모빌리티이노베이션 주식회사 벽체용 조립식 패널의 측면 프레임 제조를 위한 용접용 지그 장치
KR20220123922A (ko) * 2021-03-02 2022-09-13 주식회사 에스에프에이 하향식 기판 레이저 에칭 장치

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004253809A (ja) 2003-02-20 2004-09-09 Applied Materials Inc 支持ステージに対して基板を位置決めする方法および装置
KR100627261B1 (ko) 2003-10-24 2006-09-22 삼성에스디아이 주식회사 플라즈마 디스플레이 장치 제조용 얼라인 장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004253809A (ja) 2003-02-20 2004-09-09 Applied Materials Inc 支持ステージに対して基板を位置決めする方法および装置
KR100627261B1 (ko) 2003-10-24 2006-09-22 삼성에스디아이 주식회사 플라즈마 디스플레이 장치 제조용 얼라인 장치

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102086297B1 (ko) * 2019-09-27 2020-03-06 한국남동발전 주식회사 작업용 로봇을 구비한 수배전반
KR102086969B1 (ko) * 2019-09-27 2020-03-11 한국남동발전 주식회사 전장 패널에서의 작업용 로봇 융합형 수배전반
KR20220108962A (ko) * 2021-01-28 2022-08-04 송과모빌리티이노베이션 주식회사 조립식 패널의 측면 프레임 제조를 위한 용접용 지그 장치
KR20220108963A (ko) * 2021-01-28 2022-08-04 송과모빌리티이노베이션 주식회사 벽체용 조립식 패널의 측면 프레임 제조를 위한 용접용 지그 장치
KR102459870B1 (ko) 2021-01-28 2022-10-28 송과모빌리티이노베이션 주식회사 조립식 패널의 측면 프레임 제조를 위한 용접용 지그 장치
KR102459869B1 (ko) * 2021-01-28 2022-10-28 송과모빌리티이노베이션 주식회사 벽체용 조립식 패널의 측면 프레임 제조를 위한 용접용 지그 장치
KR20220123922A (ko) * 2021-03-02 2022-09-13 주식회사 에스에프에이 하향식 기판 레이저 에칭 장치
KR102514154B1 (ko) * 2021-03-02 2023-03-27 주식회사 에스에프에이 하향식 기판 레이저 에칭 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101211965B1 (ko) 플레이트 정렬 장치
CN106814550B (zh) 工件台基板交接装置与预对准方法
CN100373578C (zh) 台架设备及其控制方法
CN205607329U (zh) 手机屏尺寸的自动检测设备
CN203665357U (zh) 一种自动定位物料夹具
TW201437624A (zh) 鍵盤測試機
CN205785090U (zh) 手机前壳与手机屏的组装间隙的检测设备
CN104209750A (zh) 传动线自动顶升对位平台装置及其自动对位方法
CN204248338U (zh) 一种可调式双龙门边框定位机构
CN105445972A (zh) 探针移动装置
CN103529048A (zh) 基板检查装置
CN102620651A (zh) 影像测量仪
CN103293867A (zh) 一种方形基板预对准装置及方法
KR20070072294A (ko) 카세트 정렬장치
CN203894506U (zh) 视觉对位真空全自动贴合机对位结构
CN202192834U (zh) 触控面板贴合机的对位机构
CN213444546U (zh) 一种基板轨道自动调节装置
KR100780095B1 (ko) 엘시디 패널 이동 적하장치의 지능형 핸들러
CN204893907U (zh) 一种载具机构
CN208419929U (zh) 一种厚度检测设备
CN103723539B (zh) 面板对位装置
KR101742595B1 (ko) 소형 터치스크린 패널의 라미네이팅 장치
TW202015149A (zh) 一種低接觸晶圓翻轉系統
CN208902050U (zh) 一种玻璃屏幕与外壳间隙检测装置
CN211554542U (zh) 一种自动可调居中式玻璃定位机构

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
X701 Decision to grant (after re-examination)
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160114

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161004

Year of fee payment: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee