CN103529048A - 基板检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种上游装置和下游装置的连接容易且能够实现检查节拍的最优化的基板检查装置。基板检查装置具有：搬运单元，其从装置的上游侧向下游侧搬运基板；照相机，其用于拍摄上述搬运单元上的基板；移动机构，其使上述照相机移动至上述基板上的拍摄位置。在将基板的搬运方向设为X方向且将在水平面内与X方向垂直的方向设为Y方向的情况下，上述搬运单元沿着Y方向排列配置，且由分别能够独立搬运基板的多条搬运路形成，能够变更上述多条搬运路的各Y方向位置。

Description

基板检查装置

技术领域

本发明涉及通过用照相机拍摄基板并分析所获得的图像来进行各种检查的基板检查装置。

背景技术

电子基板的表面安装生产线包括如下等工序：在印刷基板的表面上印刷焊锡膏的工序；在印刷基板上装配电子部件的工序；通过回流炉熔化焊锡来固定电子部件的工序。在促进自动化的生产线中，有时在各工序之间配置基板检查装置，来进行印刷不良、装配不良、锡焊不良等的自动检查。尤其，在用照相机拍摄基板并分析所获得的图像来进行检查的类型的基板外观检查装置中，能够非接触地进行高速且高精度的检查，因此广泛利用于各种检查中。

就表面安装生产线而言，以前通常采用用一条路以从上游工序到下游工序的顺序搬运基板的生产线结构，但是最近为了提高生产能力，趋于使生产线具有多条路。例如，平行地设置两条用于搬运基板的路（双路化），从而能够将面积生产能力简单地提高大约2倍。

虽然不是与利用照相机的基板外观检查装置有关的现有技术，但是作为参考，在专利文献1中公开有具有两条路的基板检查装置的例子。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-117956号公报

利用图9，对以往的基板检查装置中的双路结构进行说明。图9示意性地示出从上方观察基板检查装置内部的搬运路的样子。在该装置中设置有第一路91和第二路92这两条搬运路，且各搬运路由两条导轨（911和912、921和922）构成。在第一路91中，两条导轨911、912一边分别支撑基板931的宽度方向两端部，一边通过未图示的搬运传动带将基板931从上游侧（例如图9的左侧）搬运至下游侧（右侧）。第二路92的结构也相同，并且能够通过两条搬运路独立地搬运两个基板931、932。

但是，印刷基板的尺寸并不是恒定的，而能够针对每个产品采用各种大小。因此，在以往的基板检查装置中，具有能够按照作为检查对象的基板的宽度来调整路的宽度的机构。在图9的例子中，第一路91的导轨912被固定，而导轨911能够在宽度方向上移动。在第二路92中也同样地，导轨922为固定导轨，而导轨921为能够移动的导轨。由此，能够按照被搬运至各搬运路的基板931、932的宽度来调整移动导轨911、921的位置，从而能够应对任意尺寸的基板。此外，固定一个导轨是因为，以固定导轨为基准，通过硬件的方式来规定基板的宽度方向位置，因此能够容易确保使检查头（照相机）移动至基板上的检查位置时的位置精度，进而能够容易确保检查精度。

但是，在上述那样的多条路结构的基板检查装置中，可能产生下面那样的问题。在表面安装生产线所利用的装置（印刷装置、装配装置、回流装置等）中，根据设备型号、厂家或者用户不同，路的数量和配置（路的间隔）等也各种各样，而并没统一。因此，在基板检查装置和设置于其下游侧的装置（称为下游装置）之间的路的间隔不同的情况下，如图10所示，需要在基板检查装置101和下游装置102之间设置用于交接基板的移载台（traverser）103。这样的移载台103的设置，导致生产线的大型化以及设备成本增加，并且通过移载台103进行的基板的交接时间使检查节拍增加，从而使整体生产能力降低，因此并不优选。在上游装置和基板检查装置之间的路的间隔不同的情况下，也产生同样的问题。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于，提供一种与上游装置和下游装置的连接容易且能够实现检查节拍的最优化的基板检查装置。

为了达到上述目的，在本发明中采用如下的结构。即，一种基板检查装置，通过利用照相机拍摄基板并分析所获得的图像来检查上述基板，其特征在于，具有：搬运单元，其从装置的上游侧向下游侧搬运基板，照相机，其用于拍摄上述搬运单元上的基板，移动机构，其使上述照相机移动至上述基板上的拍摄位置；在将基板的搬运方向设为X方向且将在水平面内与X方向垂直的方向设为Y方向的情况下，上述搬运单元沿着Y方向排列配置，且由分别能够独立搬运基板的多条搬运路形成；能够变更上述多条搬运路的各Y方向位置。

根据该结构，能够按照与基板检查装置相连接的其它装置（上游装置或者下游装置）的路间隔等来自由地调整基板检查装置的各搬运路的Y方向位置，因此即使不安装移载台那样的装置，也能够在基板检查装置和其它装置之间直接地交接基板。由此，能够缩短交接基板所需的时间，而且能够实现检查节拍的最优化，进而能够提高整体生产能力。

优选上述搬运路具有分别支撑基板的Y方向两端部来搬运基板的两条导轨，能够变更构成上述多条搬运路的所有的导轨的Y方向位置。

根据该结构，不仅能够调整路的间隔，而且还能够分别自由地调整各路的宽度，因此能够将任意的尺寸的基板（当然存在物理的限度）作为检查的对象。另外，能够在各路上分别检查不同的尺寸的基板。由此，能够提高基板检查装置的灵活性以及适应性，从而能够提高装置的附加价值。

上述移动机构通过相对于所设定的基准坐标的相对位置控制，将上述照相机对位在上述基板上的拍摄位置上；上述基板检查装置还具有基准坐标设定单元，该基准坐标设定单元在搬运路的Y方向位置被变更的情况下，将基准坐标设定用构件配置于上述搬运路上的检查时的位置上，并利用通过上述照相机拍摄上述基准坐标设定用构件而获得的图像，根据上述搬运路的Y方向位置来设定基准坐标。

在以往装置的情况下，存在固定导轨，因此能够以固定导轨的坐标为基准来进行照相机和基板的对位。但是，在本发明中，由于能够变更所有的路的Y方向位置，因此不能预先设定固定的基准位置，需要按照各路的Y方向位置来设定基准坐标（也称为原点校准）。在此如上述那样，与实际的检查时一样地配置基准坐标设定用构件，并利用通过照相机拍摄基准坐标设定用构件而获得的图像来进行原点校准，就能够简单且正确地设定基准坐标。另外，由于利用检查用的照相机本身，因此还具有不必另设用于校准原点的特别的硬件的优点。而且，仅根据照相机和基准坐标设定用构件的现实的位置关系来决定基准坐标，因此具有如下的优点，即，即使搬运路的位置精度有些不理想，也不会对基准坐标的精度有影响。换而言之，不对搬运路的驱动机构要求高的位置精度，因此能够降低那部分的成本。

作为具体的设定方法，例如，优选地，上述基准坐标设定单元将上述基准坐标设定用构件上的规定的基准点的XY坐标设定为基准坐标；以使上述基准坐标设定用构件上的上述基准点包含在视场角的方式使上述照相机移动来进行拍摄，根据上述基准点在图像中的坐标和上述照相机的XY坐标来计算上述基准坐标的XY坐标。

优选地，上述移动机构进行控制，以使上述照相机在初始位置上待机，直到基板被搬运至上述搬运路上的检查时的位置为止；上述基板检查装置还具有初始位置设定单元，在搬运路的Y方向位置被变更的情况下，上述初始位置设定单元根据上述搬运路的Y方向位置来变更上述照相机的初始位置。

在以往装置中，照相机的初始位置（待机位置）是固定的（例如，固定导轨的附近）。但是，若在本发明的结构中固定照相机的初始位置，则在搬运路的Y方向位置离照相机的初始位置近的情况和远的情况下，照相机的移动距离不同。换而言之，在搬运路配置于离照相机的初始位置远的位置的情况下，照相机的无意的移动变多，从而使检查节拍（处理时间）增加。因此，如上述结构那样，通过按照搬运路的Y方向位置来适当地变更照相机的初始位置，能够抑制照相机的无意的移动，并进一步缩短检查节拍，进而能够进一步提高生产能力。

作为具体的设定方法，例如，优选上述搬运单元由第一搬运路和第二搬运路这两条搬运路形成；上述初始位置设定单元决定上述照相机的Y方向的初始位置，使该初始位置在上述第一搬运路的Y方向位置和上述第二搬运路的Y方向位置的中间点。由此，无论在检查第一搬运路上的基板的情况和检查第二搬运路上的基板的情况中的任一种情况下，都能够极力缩短照相机的移动距离，从而能够缩短检查节拍。

根据本发明，能够提供一种与上游装置和下游装置的连接容易且能够实现检查节拍的最优化的基板检查装置。

附图说明

图1是本发明的实施方式的基板检查装置的俯视图。

图2A是本发明的实施方式的基板检查装置的主视图，图2B是本发明的实施方式的基板检查装置的侧视图。

图3是本发明的实施方式的基板检查装置的框图。

图4是本发明的实施方式的基板检查装置的检查流程。

图5是用于说明使所有的导轨都能够移动时的优点的图。

图6是示出基准坐标的设定处理的步骤的流程。

图7是用于说明基准坐标的设定处理的图。

图8A、图8B、图8C是用于说明照相机的初始位置（待机位置）的图。

图9是用于说明以往的基板检查装置的双路结构的图。

图10是用于说明从基板检查装置向下游装置交接基板时的问题的图。

具体实施方式

下面，参照附图，对本发明的优选的实施方式进行说明。

（装置结构）

在图1以及图2A、图2B中示意性地示出本发明的实施方式的基板检查装置的结构。图1是装置的俯视图，图2A是装置的主视图，图2B是装置的侧视图。此外，在图1以及图2A、图2B中，为了便于说明而透过示出了装置内部的结构，但是实际的装置被框体覆盖，从而不能从外侧观察装置内部的结构，或者（由于安全方面的限制）不能容易地接入装置内部。

该基板检查装置1是如下的外观基板检查装置，即，用照相机拍摄作为检查对象的基板，并通过分析所获得的图像来进行基板的各种检查。例如，用于在表面安装生产线的印刷工序和装配（mount）工序之间检查焊锡膏的印刷不良，或者在装配工序和回流工序之间检查部件的装配不良，或者在回流工序的下游检测锡焊不良。

如图1以及图2A、图2B所示，在基板检查装置1中，在由主体支架10构成的水平桌的上面设置有搬运单元，该搬运单元由第一搬运路11和第二搬运路12这两条搬运路形成。下面，将基板的搬运方向称为X方向，将在水平面内与X方向垂直的方向称为Y方向，将铅垂方向称为Z方向。第一搬运路11由两条导轨11a、11b构成。在各导轨11a、11b上卷绕有未图示的搬运传动带，并且第一搬运路11具有如下的功能，即，一边利用两个导轨11a、11b支撑从上游装置搬入的基板K1的Y方向两端部，一边向X方向下游侧搬运基板K1。另外，第二搬运路12也同样地由两条导轨12a、12b构成，并且第二搬运路12具有如下的功能，即，一边支撑从上游装置搬入的基板K2的Y方向两端部，一边向X方向下游侧搬运基板K2。

在设置有搬运路11、12的水平桌的上方配置有检查头13。检查头13具有用于在拍摄时照射基板的照明13a、光学系统13b、照相机13c。检查头13的结构只要根据检查的种类和目的适当地设计即可。例如，在进行称为所谓彩色高亮度方式（color high light）的检查的情况下，只要利用由RGB的3色的环状光源形成的照明13a、能够拍摄彩色的照相机13c即可。检查头13安装在能够进行X方向和Y方向这两轴控制的移动机构31上。

在本实施方式中，利用视场角为大约37mm×大约30mm的检查头13。作为检查对象的基板的尺寸为大约50mm×大约50mm～大约500mm×大约600mm，较大，另外经常在一个基板内存在多处的检查对象部位（部件），因此在检查时移动机构31进行控制，来使检查头13移动至能够使检查对象部位容纳于视场角内的拍摄位置。按照每个基板的种类预先设定各拍摄位置的坐标信息。此外，本实施方式的基板检查装置l由两条路、一个照相机构成，因此使一个检查头13在两条搬运路11、12之间往复移动，来检查两个基板K1、K2。当然，装置结构并不限定于此，可以针对每条路设置检查头，也可以设置3条以上的搬运路。

图3是基板检查装置l的框图。搬运导轨轴1～4（30a～30d）分别是用于改变导轨11a、11b、12a、12b的Y方向位置的机构，例如能够由滚珠螺杆等促动器（actuator）构成。X轴31a、Y轴31b是构成用于使检查头13向X方向、Y方向移动的移动机构31的促动器，也同样能够由滚珠螺杆等构成。基板搬运轴1（32a）是用于使卷绕在第一搬运路11的导轨11a、11b上的传动带转动的机构，基板搬运轴2（32b）是用于使卷绕在第二搬运路12的导轨12a、12b上的传动带转动的机构。控制部33是用于统一控制基板检查装置1的各部的微处理器单元，并且该控制部33具有如下功能：作为用于控制上述的各机构（促动器）的驱动的轴控制部33a的功能；作为用于控制检查头13的照明13a以及照相机13c的驱动的拍摄/照明点亮控制部33b的功能。在用户向基板检查装置l输入操作指示或者进行各种设定时，利用计算机34以及操作监视器35。计算机34以及操作监视器35可以是与基板检查装置1一体形成的，也可以由与基板检查装置l不同的另外的个人计算机（例如移动式计算机、石板型终端、智能手机等）构成。

（检查流程）

图4中示出检查流程的一例。当开始检查时，控制部33驱动基板搬运轴1（32a），将基板Kl搬入至第一搬运路11（S41）。然后，当基板Kl被搬运至检查时的位置时，控制部33停止驱动基板搬运轴1（32a）（S42）。对于基板是否到达检查时的位置即X方向上的定位来说，例如可以通过传感器来检测基板的前端，也可以使用物理学上的挡止件挡住基板的前端来进行定位。接着，控制部33驱动移动机构31的X轴31a和Y轴31b，来使检查头13移动至基板K1上的规定的拍摄位置（S43）。然后，点亮照明13a并用照相机13c拍摄，将图像数据读入计算机34中，并在计算机34中分析图像数据，从而检查基板Kl的良∕不良（S44）。当结束检查时，控制部33驱动基板搬运轴1（32a），来搬出基板Kl（S45）。在两条搬运路11、12上交替检查的情况下，只要对第二搬运路12上的基板K2也进行S41至S45的处理即可。更优选为，利用检查一条搬运路的基板（S43～S44的处理）的时间，来搬运另一条搬运路的基板（S41～S42、S45的处理）。这样并行地进行处理，能够缩短每个基板的平均检查节拍（处理时间）。

（搬运路的结构）

本实施方式的基板检查装置1具有一个特征：能够自由地变更构成搬运单元的所有搬运路的导轨的Y方向位置。由此，用户能够按照应用基板检查装置1的生产线的结构来自由地调整路设定，例如，变更各搬运路11、12的配置，或者调整两条搬运路11、12的间隔，或者按照基板K1、K2的尺寸来调整各搬运路11、12的导轨的间隔。

通过驱动图3所示的搬运导轨轴1（30a）～搬运导轨轴4（30d），来调整各导轨11a、11b、12a、12b的Y方向位置。例如，当用户操作计算机34来指示各导轨的Y方向位置时，控制部33的轴控制部33a驱动对应的搬运导轨轴，使导轨向Y方向移动。指示Y方向位置的指示方法可以是任何形式。例如，可以指示导轨的Y坐标（绝对坐标），可以指示与其它导轨之间的间隔（相对坐标），也可以指示导轨在Y方向上的移动量。另外，也可以手动使导轨向Y方向滑动，而不是像本装置那样通过促动器使导轨移动。

图5表示使所有导轨的Y方向位置能够移动时的优点。在以往的具有固定导轨的装置的情况下，根据下游装置的路结构不同，需要如图10所示地在基板检查装置和下游装置之间安装移载台。相对于此，在本实施方式的基板检查装置l的情况下，如图5所示，由于能够根据下游装置50的路的配置以及宽度，自由地调整各导轨11a、11b、12a、12b的Y方向位置，因此无在基板检查装置和下游装置之间安装移载台而能够直接地与下游装置50相连接。由此，能够节省生产线的空间并降低成本。

（设定基准坐标）

如在图9中说明那样，在以往装置中，以固定导轨的位置为基准规定基板的宽度方向位置，因此比较容易确保使检查头（照相机）移动至基板上的拍摄位置时的位置精度。但是，在本实施方式的基板检查装置l中，由于所有的搬运路的所有的导轨都能够移动，因此不能规定以往装置那样的固定的基准位置。因此，在本实施方式中，在使各搬运路11、12的Y方向位置变更的情况下，利用下面那样的方法，来设定基准坐标（也称为原点校准）。

图6是示出基准坐标的设定处理的步骤的流程，图7是用于说明基准坐标的设定处理的图。

当用户起动计算机34内的基准坐标设定程序时，在操作监视器35上显示基准坐标设定画面70（参照图7）。基准坐标设定画面70包括：窗口71，其显示从照相机13c读入的图像；移动按钮72，其用于变更照相机13c（检查头13）的位置；文本框73，其用于示出照相机13c的XY坐标；搬入按钮74；基准坐标设定按钮75。

首先，用户将基准坐标设定用构件76载置于第一搬运路11中，并按压搬入按钮74。由此，驱动第一搬运路11，将基准坐标设定用构件76搬运至检查时的位置（X方向位置）（S61）。利用与上述的检查流程的情况相同的方法，对基准坐标设定用构件76的X方向位置进行定位。此外，作为基准坐标设定用构件76，可以利用成为检查对象的基板本身，也可以利用具有与该基板相同的尺寸的专用构件（规尺（jig））。

当基准坐标设定用构件76停止在检查时的位置时，接着，用户通过按压移动按钮72或者在文本框73中输入坐标值来使照相机13c移动，以使基准坐标设定用构件76上的基准点到达视场角的中心（S62）。此外，在本实施方式中，将基准坐标设定用构件76的前端的右侧的角（在图中为右下角）用作基准点，但是并不限定于此，也可以将其它部分用作基准点。在基准坐标设定画面70的窗口71中显示有十字的引导线71a，因此只要调整照相机13c的位置，来使该引导线71a与基准坐标设定用构件76的边缘一致即可。

在大致调整照相机13c的位置之后，按压基准坐标设定按钮75（S63）。那样，基准坐标设定程序进行图像识别处理，根据图像识别基准坐标设定用构件76的基准点，并计算出该基准点在图像内的坐标值（S64）。此时，只要在引导线71a的附近（图像的中心部分）进行边缘搜索即可，因此能够通过比较简单的处理高精度地求出边缘的坐标。然后，基准坐标设定程序根据照相机13c的当前的XY坐标和在S64中求出的基准点在图像中的坐标，来计算出基准点的XY坐标（S65）。例如，在照相机13c的XY坐标表示图像的左上方的原点的坐标的情况下，将在S64中求出的基准点的图像坐标换算为XY坐标系的距离，并将该距离和照相机13c的XY坐标相加而得的值成为基准点的XY坐标。在这里求出的基准点的XY坐标被发送至控制部33，并登记在未图示的存储装置中（S66）。

当结束第一搬运路11的基准坐标（基准点的XY坐标）的设定时，对于第二搬运路12也反复相同的步骤，从而也设定第二搬运路12的基准坐标。这样，结束基准坐标的设定处理（原点校准）。当结束该设定时，能够利用变更后的路配置来进行检查。

（设定照相机的初始位置）

移动机构31进行控制来使照相机13c（检查头13）在初始位置（也称为待机位置或者原位置）上待机，直到作为检查对象的基板被搬运至搬运路上的检查时的位置为止。在以往装置中，由于以固定导轨为基准，因此例如将固定导轨的附近等的特定的位置设定为照相机的初始位置。但是，在本实施方式的基板检查装置l中，若固定照相机13c的初始位置，则在搬运路11、12的Y方向位置离照相机13c的初始位置近的情况和远的情况下，照相机13c的移动距离不同。例如，图8A、图8B、图8C是将最上游侧的右端（图中为左下角）作为照相机13c的初始位置的例子，但是在图8A那样搬运路11、12离初始位置近的情况下，从初始位置移动至检查时的拍摄位置的距离短，而在图8B那样搬运路11、12离初始位置远的情况下，与图8A相比，发生照相机13c的无意的移动。这样的无意的移动使检查节拍（检查的处理时间）增加，因此并不理想。因此，在变更各搬运路11、12的Y方向位置的情况下，优选与此同时也变更照相机13c的初始位置。

图8C是将第一搬运路11的Y方向位置和第二搬运路12的Y方向位置的中间点设定为照相机13c的Y方向的初始位置的例子。具体地，通过下式求出初始位置的Y坐标Yi。

Yi=（Yl+（Y2+W2））/2

在此，Yl是第一搬运路11的基准坐标（Y坐标），Y2是第二搬运路12的基准坐标（Y坐标），W2是在第二搬运路12上被搬运的基板K2的宽度。此外，就初始位置的X坐标而言，可以设定为之前检查的基板Kl的中心坐标或者基板Kl上的最初的拍摄位置的X坐标。

如上述那样，通过设定照相机13c的初始位置，能够尽量减少照相机13c的无意的移动。

（本装置的优点）

根据上面叙述的本实施方式的装置结构，能够根据与基板检查装置1相连接的其它装置（上游装置或者下游装置）的路间隔等，来自由地调整基板检查装置l的各搬运路11、12的Y方向位置，因此即使不安装移载台那样的装置，也能够在基板检查装置l和其它装置之间直接地交接基板K1、K2。由此，能够缩短交接基板K1、K2所需的时间，能够实现检查节拍的最优化、进而能够提高整体生产能力。

而且，不仅能够调整搬运路11、12的间隔，而且还能够分别自由地调整各路的宽度，因此能够将任意的尺寸的基板（当然存在物理的限度）作为检查的对象。另外，还能够在各路上检查不同的尺寸的基板。由此，能够提高基板检查装置1的灵活性以及适应性，并能够提高装置本身的附加价值。

另外，由于与实际检查时一样地配置基准坐标设定用构件76，并利用通过照相机13c拍摄基准坐标设定用构件76而获得的图像来进行原点校准，因此能够简单且正确地设定基准坐标。另外，由于利用检查用的照相机13c其本身，因此还具有不必为了原点校准而另设特别的硬件的优点。而且，仅根据照相机13c和基准坐标设定用构件76的现实的位置关系决定基准坐标，因此具有如下的优点，即，即使搬运路11、12的位置精度有些不理想，也不会对基准坐标的精度有影响。换而言之，不对搬运路11、12的驱动机构（搬运导轨轴1～4）要求高的位置精度，因此能够降低那部分的成本。

另外，能够根据搬运路11、12的Y方向位置来适当地变更照相机13c的初始位置，从而能够抑制产生照相机13c的无意的移动，能够进一步缩短检查节拍，进而能够进一步提高生产能力。

（变形例）

上面叙述的结构仅仅示出了本发明的一个具体例，而并不是将本发明的范围仅限定于上述结构的宗旨性的结构。例如，在上述实施方式中设置了两条搬运导轨，但是也可以设置3条以上的搬运导轨。另外，在上述实施方式中利用照相机的图像来设定基准坐标，但是也可以通过另设用于检测各导轨的位置的传感器来设定基准坐标。或者，在搬运导轨轴1～4的位置精度充分高的情况下，也可以基于搬运导轨轴1～4的值来求出基准坐标。另外，变更照相机的初始位置的动作并不是必须的，而可以根据需要来进行。

Claims (6)

1.一种基板检查装置，通过利用照相机拍摄基板并分析所获得的图像来检查上述基板，其特征在于，

具有：

搬运单元，其从装置的上游侧向下游侧搬运基板，

照相机，其用于拍摄上述搬运单元上的基板，

移动机构，其使上述照相机移动至上述基板上的拍摄位置；

在将基板的搬运方向设为X方向且将在水平面内与X方向垂直的方向设为Y方向的情况下，

上述搬运单元沿着Y方向排列配置，且由分别能够独立搬运基板的多条搬运路形成，

能够变更上述多条搬运路的各Y方向位置。

2.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

上述搬运路具有分别支撑基板的Y方向两端部来搬运基板的两条导轨，能够变更构成上述多条搬运路的所有的导轨的Y方向位置。

3.根据权利要求1或2所述的基板检查装置，其特征在于，

上述移动机构通过相对于所设定的基准坐标的相对位置控制，将上述照相机对位在上述基板上的拍摄位置上，

上述基板检查装置还具有基准坐标设定单元，该基准坐标设定单元在搬运路的Y方向位置被变更的情况下，将基准坐标设定用构件配置于上述搬运路上的检查时的位置上，并利用通过上述照相机拍摄上述基准坐标设定用构件而获得的图像，根据上述搬运路的Y方向位置来设定基准坐标。

4.根据权利要求3所述的基板检查装置，其特征在于，

上述基准坐标设定单元将上述基准坐标设定用构件上的规定的基准点的XY坐标设定为基准坐标，

以使上述基准坐标设定用构件上的上述基准点包含在视场角的方式使上述照相机移动来进行拍摄，根据上述基准点在图像中的坐标和上述照相机的XY坐标来计算上述基准坐标的XY坐标。

5.根据权利要求1或2所述的基板检查装置，其特征在于，

上述移动机构进行控制，以使上述照相机在初始位置上待机，直到基板被搬运至上述搬运路上的检查时的位置为止，

上述基板检查装置还具有初始位置设定单元，在搬运路的Y方向位置被变更的情况下，上述初始位置设定单元根据上述搬运路的Y方向位置来变更上述照相机的初始位置。

6.根据权利要求5所述的基板检查装置，其特征在于，

上述搬运单元由第一搬运路和第二搬运路这两条搬运路形成，

上述初始位置设定单元决定上述照相机的Y方向的初始位置，使该初始位置在上述第一搬运路的Y方向位置和上述第二搬运路的Y方向位置的中间点。

Images