TW201409023A

TW201409023A - 基板檢查裝置

Info

Publication number: TW201409023A
Application number: TW102122888A
Authority: TW
Inventors: Takashi Kinoshita; Yoshihide Ota
Original assignee: Omron Tateisi Electronics Co
Priority date: 2012-06-29
Filing date: 2013-06-27
Publication date: 2014-03-01
Also published as: JP2014010082A; CN103529048A; DE102013212346B4; JP5870863B2; CN103529048B; DE102013212346A1

Abstract

[課題]本發明提供一種與上游裝置或下游裝置的連接容易，而且可使檢查節拍時間(tact)最佳化的基板檢查裝置。[解決手段]基板檢查裝置包括：搬運手段，係將基板從裝置之上游側向下游側搬運；相機，係用以拍攝該搬運手段上之基板；及移動機構，係使該相機移動至該基板上之攝影位置。在將基板之搬運方向設為X方向、並將在水平面內與X方向正交之方向設為Y方向的情況，該搬運手段係由配置成排列於Y方向而且各自可獨立地搬運基板之複數條搬運路徑所構成；該複數條搬運路徑之全部的路徑的Y方向位置係可變更的。

Description

基板檢査裝置

本發明係有關於一種基板檢查裝置，該基板檢查裝置係以相機拍攝基板，並解析所得之影像，藉此，進行各種檢查。

電子基板之表面組裝生產線係由將焊膏印刷於印刷電路板之表面的步驟、將電子元件安裝於印刷電路板的步驟、及藉回流焊爐使焊料熔化並固著電子元件的步驟所構成。在進行自動化之生產線，將基板檢查裝置配置於各個步驟之間，進行印刷不良、安裝不良及焊接不良等之自動檢查。其中尤其，以相機拍攝基板，並解析所得之影像，藉此進行各種檢查之型式的基板外觀檢查裝置係因為能以非接觸進行高速且高精度之檢查，所以廣為利用於各種的檢查。

以前，表面組裝生產線一般是在一條路徑從上游步驟至下游步驟依序搬運基板之生產線構成，可是，最近的趨勢是，為了提高生產力，使生產線進行複數條路徑化。例如，藉由設置2條平行之搬運基板的路徑(雙路徑化)，可將面積生產力單純地提高約2倍。

雖不是關於使用相機之基板外觀檢查裝置的先行技術，但是專利文獻1揭示具有2條路徑之基板檢查裝置的例子作為參考。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2012-117956號公報

使用第9圖，說明在以往之基板檢查裝置的雙路徑構造。第9圖係在模式上表示從上方觀察基板檢查裝置內部之搬運路徑的狀況。在本裝置中，設置第1路徑91與第2路徑92之2條搬運路徑，各搬運路徑係由2條軌道(911與912、921與922)所構成。在第1路徑91，2條軌道911、912分別一面支撐基板931之寬度方向兩端部，一面藉未圖示之搬運皮帶將基板931從上游側(例如第9圖之左側)往下游側(右側)搬運。第2路徑92的構造亦相同，可藉2條搬運路徑獨立地搬運2片基板931、932。

可是，印刷電路板之尺寸並非固定，可依各製品採用各種的大小。因此，在以往之基板檢查裝置，有具有可配合作為檢查對象之基板的寬度調整路徑之寬度的機構者。在第9圖之例子，第1路徑91之軌道912被固定，而軌道911在寬度方向可動。一樣地，在第2路徑92亦為，軌道922成為固定軌道，而軌道921成為可動軌道。藉此，藉由配合被搬入各搬送軌道之基板931、932的寬度來調整可動軌道911、921之位置，可因應任意之尺寸的基板。此外，固定一方之軌道的理由係因為在硬體上以固定軌道為基準規定基板之寬度方向位置，而在使檢查頭(相機)移至基板上之檢查位置時之位置精度的確保，進而檢查精度的確保變得容易的緣故。

可是，在如上述所示之複數條路徑構造的基板檢查裝置中，有時發生如下所示之問題。在表面組裝生產線所利用之裝置(印刷裝置、安裝裝置及回流焊裝置等)中，在依各機型、各廠商、或者各使用者，路徑之數目或配置(路徑之間隔)等有各式各樣，並未統一。因此，在基板檢查裝置與設置於其下游側的裝置(稱為下游裝置)之間，在路徑之間隔相異的情況，如第10圖所示，必須將用以進行基板之接遞的移車台103設置於基板檢查裝置101與下游裝置102之間。因為這種移車台103的設置係引起生產線之大型化及設備費用之增大，而且藉移車台103所進行之基板的接遞時間使檢查節拍時間增加而導致整體之生產力降低，所以不佳。一樣的問題亦產生於上游裝置與基板檢查裝置之間之路徑的間隔相異的情況。

本發明係鑑於上述之實況而開發者，其目的在於提供一種與上游裝置或下游裝置的連接容易，而且可使檢查節拍時間(tact)最佳化的基板檢查裝置。

為了達成該目的，在本發明採用以下的構成。即，係以相機拍攝基板，並解析所得之影像，藉此檢查該基板的基板檢查裝置，其特徵為：包括：搬運手段，係將基板從裝置之上游側搬送到下游側；相機，係用以拍攝該搬運手段上之基板；及移動機構，係使該相機移動至該基板上之攝影位置；在將基板之搬運方向設為X方向、並將在水平面內與X方向正交之方向設為Y方向的情況，該搬運手段係由配置成排列於Y方向而且各自可獨立地搬運基板之複數條搬運路徑所構成；該複數條搬運路徑之全部的路徑的Y方向位置係可變更。

依據本構成，因為可配合連接基板檢查裝置之其他裝置(上游裝置或下游裝置)之路徑間隔等，自由地調整基板檢查裝置之各搬運路徑的Y方向位置，所以即使沒有像移車台那樣的裝置介於其中，亦可在基板檢查裝置與其他裝置之間直接接遞基板。藉此，可縮短基板之接遞所需的時間，而可使檢查節拍時間最佳化，進而提高整體的生產力。

該搬運路徑係具有分別支撐基板之Y方向兩端部並搬運基板的2條軌道；構成該複數條搬運路徑之全部之軌道的Y方向位置係可變更較佳。

依據本構成，因為不僅路徑之間隔，連各路徑的寬度亦可分別自由地調整，所以可將任意之尺寸的基板(當然有物理性極限)作為檢查對象。又，亦可在各路徑檢查尺寸相異的基板。藉此，可提高基板檢查裝置之彈性及適應性，並提高裝置本身的附加價值。

較佳為，該移動機構係藉由對於所設定之基準座標的相對位置控制，將該相機之位置對準於該基板上的攝影位置；該基板檢查裝置係更具有基準座標設定手段，該手段係在已變更搬運路徑之Y方向位置的情況，將基準座標設定用構件配置於該搬運路徑上之檢查時的位置，並使用以該相機拍攝該基準座標設定用構件所得之影像，設定因應於該搬運路徑之Y方向位置的基準座標。

在以往裝置的情況，因為固定軌道存在，所以能以該固定軌道之座標為基準，進行相機與基板之位置對準。可是，因為在本發明可變更全部之路徑的Y方向位置，所以無法預設固定之基準位置，而需要配合各路徑的Y方向位置，設定基準座標(亦稱為原點校正)。在此，如上述所示，若與實際之檢查時一樣地配置基準座標設定用構件，並使用以相機所拍攝之影像對其進行原點校正，則可簡單且正確地設定基準座標。又，因為是利用檢查用之相機本身，所以亦具有不必為了原點校正而追加特殊之硬體的優點。進而，因為僅從相機與基準座標設定用構件之實際的位置關係決定基準座標，所以具有即使搬運路徑之位置精度稍差，亦不會影響基準座標之精度的優點。換言之，因為對搬運路徑之驅動機構不要求高的位置精度，所以可降低該部分的成本。

作為具體之設定方法，例如，該基準座標設定手段係設定該基準座標設定用構件上之既定基準點的XY座標，作為基準座標；使該相機移動成在視角包含基準座標設定用構件上之該基準點並拍攝，再從該基準點之影像中的座標、與該相機之XY座標，計算該基準座標的XY座標較佳。

最好該移動機構係進行進行如下的控制：使該相機在起始位置待機，直到基板被搬運至該搬運路徑上之檢查時的位置為止；該基板檢查裝置更具有起始位置設定手段，該手段係在已變更搬運路徑之Y方向位置的情況，因應於該搬運路徑之Y方向位置，變更該相機之起始位置。

以往的裝置中，相機之起始位置(待機位置)係固定(例如，固定軌道之附近)。可是，在本發明的構成中，使相機之起始位置固定時，在搬運路徑之Y方向位置接近相機之起始位置的情況與遠離的情況下，相機之移動距離產生差異。換言之，在搬運路徑配置於遠離相機之起始位置的情況，相機之無益的移動變多，而導致檢查節拍時間(處理時間)的增大。因此，如該構成所示，藉由作成因應於搬運路徑之Y方向位置適應地變更相機之起始位置，可抑制相機之無益之移動的發生，進一步縮短檢查節拍時間，進而更提高生產力。

作為具體之設定方法，例如，該搬運手段係由第1搬運路徑與第2搬運路徑之2條搬運路徑所構成；該起始位置設定手段係將該相機之Y方向的起始位置決定成位於該第1搬運路徑之Y方向位置與該第2搬運路徑之Y方向位置的中間點較佳。藉此，不論在檢查第1搬運路徑上之基板的情況或是在檢查第2搬運路徑上之基板的情況，都可儘量縮短相機之移動距離，而可縮短檢查節拍時間。

若依據本發明，可提供一種與上游裝置或下游裝置的連接容易，而且可使檢查節拍時間最佳化的基板檢查裝置。

1‧‧‧基板檢查裝置

10‧‧‧本體機架

11‧‧‧第1搬運路徑

11a、11b‧‧‧軌道

12‧‧‧第2搬運路徑

12a、12b‧‧‧軌道

13‧‧‧檢查頭

13a‧‧‧照明

13b‧‧‧光學系統

13c‧‧‧相機

31‧‧‧移動機構

50‧‧‧下游裝置

70‧‧‧基準座標設定畫面

71‧‧‧窗

71a‧‧‧引導線

72‧‧‧移動按鈕

73‧‧‧本文框

74‧‧‧搬入按鈕

75‧‧‧基準座標設定按鈕

76‧‧‧基準座標設定用構件

K1、K2‧‧‧基板

第1圖係本發明之實施形態之基板檢查裝置的上視圖。

第2圖(a)、(b)係本發明之實施形態之基板檢查裝置的正視圖與側視圖。

第3圖係本發明之實施形態之基板檢查裝置的方塊圖。

第4圖係本發明之實施形態之基板檢查裝置的檢查流程。

第5圖係說明將全部的軌道作成可動之優點的圖。

第6圖係表示基準座標之設定處理之步驟的流程圖。

第7圖係用以說明基準座標之設定處理的圖。

第8圖(a)~(c)係用以說明相機之起始位置(待機位置)的圖。

第9圖係用以說明以往之基板檢查裝置之雙路徑構造的圖。

第10圖係用以說明從基板檢查裝置向下游裝置接遞基板時之問題的圖。

[實施發明之形態]

以下，參照圖面，說明本發明之較佳實施形態。

(裝置的構成)

在第1圖及第2圖，模式地表示本發明之實施形態之基板檢查裝置的構成。第1圖係裝置的上視圖，第2圖(a)係裝置的正視圖，第2圖(b)係裝置的側視圖。此外，在第1圖及第2圖，為了便於說明，透視地表示裝置內部的構成，實際之裝置係被框體所覆蓋，從外側無法看到裝置內部的構造，或無法簡單地進入裝置內部(由於安全上的限制)。

本基板檢查裝置1係以相機拍攝成為檢查對象之基板，並解析所得之影像，藉此，進行基板之各種檢查的外觀基板檢查裝置。例如，可用於在表面組裝生產線之印刷步驟與安裝步驟之間檢查焊膏的印刷不良、或在安裝步驟與回流焊步驟之間檢查零件之安裝不良、或者在回流焊步驟之下游檢查焊接不良的目的。

如第1圖及第2圖所示，基板檢查裝置1係具有將由第1搬運路徑11與第2搬運路徑12之2條搬運路徑所構成的搬運手段設置於由本體機架10所構成之水平工作台上的構成。以下，將基板之搬運方向稱為X方向，將在水平面內與X方向正交之方向稱為Y方向，將鉛垂方向稱為Z方向。第1搬運路徑11係由2條軌道11a、11b所構成。各個軌道11a、11b係被捲繞有未圖示之搬運皮帶的構成，並具有一面以2條軌道11a、11b支撐從上游裝置所搬入之基板K1的Y方向兩端部，一面向X方向下游側搬運基板K1的功能。又，第2搬運路徑12亦相同，由2條軌道12a、12b所構成，並具有一面支撐從上游裝置所搬入之基板 K2的Y方向兩端部，一面向X方向下游側搬運基板K2的功能。

在設置搬運路徑11、12之水平工作台的上方，配置檢查頭13。檢查頭13係由在攝影時用以照射基板的照明13a、光學系統13b及相機13c所構成。檢查頭13的構成係根據檢查之種類或目的適當地設計即可。例如，在進行稱為所謂的彩色高亮度方式之檢查的情況，使用由RGB之3色的環狀光源所構成之照明13a、與可進行彩色攝影之相機13c即可。檢查頭13係安裝於可控制X方向與Y方向之雙軸的移動機構31。

在本實施形態，使用視角為約37mm×約30mm的檢查頭13。因為成為檢查對象之基板的尺寸係為較大之約50mm×約50mm~約500mm×約600mm，又在一片基板內有複數處檢查對象部位(元件)的情況多，所以在檢查時進行如下之控制：移動機構31使檢查頭13移動，直到檢查對象部位位於視角內之攝影位置為止。各攝影位置的座標資訊係按各基板的種類而預設。此外，因為本實施形態之基板檢查裝置1係2路徑、1相機的構成，所以使一個檢查頭13在2條搬運路徑11、12之間往復，檢查2片基板K1、K2。當然裝置構成係未限定於此，亦可依各路徑設置檢查頭，亦可設置3條以上的搬運路徑。

第3圖係基板檢查裝置1的方塊圖。搬運軌道軸1~4(30a~30d)係分別用以變更軌道11a、11b、12a、12b之Y方向位置的機構，例如可藉滾珠螺桿等之致動器構成。X軸31a、Y軸31b分別係構成使檢查頭13在X方向、Y 方向移動之移動機構31的致動器，這亦可藉滾珠螺桿等構成。基板搬運軸1(32a)係用以使捲繞於第1搬運路徑11之軌道11a、11b的皮帶轉動的機構，基板搬運軸2(32b)係用以使捲繞於第2搬運路徑12之軌道12a、12b的皮帶轉動的機構。控制部33係用以統籌控制基板檢查裝置1之各部的微處理器單元，並具有作為用以控制上述之各機構(致動器)的驅動之軸控制部33a的功能、與作為用以控制檢查頭13之照明13a及相機13c的驅動之攝像、照明點燈控制部33b的功能。PC34及操作監視器35係為了讓使用者對基板檢查裝置1輸入操作指示、進行各種設定而使用者。PC34及操作監視器35係亦可與基板檢查裝置1一體地構成，亦可由與基板檢查裝置1分開之個人電腦(例如可移動式PC、平板型終端機、智慧型手機等)構成。

(檢查流程)

在第4圖，表示檢查流程之一例。開始檢查時，控制部33驅動基板搬運軸1(32a)，將基板K1搬入第1搬運路徑11(S41)。然後，基板K1被搬至檢查時之位置後，控制部33停止驅動基板搬運軸1(32a)(S42)。基板是否到達檢查時之位置，即關於X方向之定位，係例如亦可藉感測器偵測基板的前端，亦可藉由基板的前端物理性地碰到止動器而定位。接著，控制部33驅動移動機構31之X軸31a與Y軸31b，使檢查頭13移至基板K1上之既定攝影位置(S43)。然後，照明13a點燈，藉相機13c拍攝，並將影像資料取入PC34，再在PC34解析影像資料，檢查基板K之良/不良(S44)。檢查結束時，控制部33驅動基板搬運軸1(32a) ，搬出基板K1(S45)。在以2條搬運路徑11、12交互地檢查的情況，只要對第2搬運路徑12上之基板K2亦執行從S41至S45之處理即可。更佳為，利用對一方之搬運路徑的基板進行檢查(S43~S44之處理)的時間，來搬運另一方之搬運路徑的基板(S41~S42、S45之處理)。藉由依此方式並行處理，可縮短平均一片基板之檢查節拍時間(處理時間)。

(搬運路徑的構成)

本實施形態之基板檢查裝置1的特徵之一為：在可自由地變更構成搬運手段之全部的搬運路徑之軌道的Y方向位置。藉此，以變更各個搬運路徑11、12之配置、或調整2條搬運路徑11、12之間隔、或配合基板K1、K2之尺寸調整各軌道12a、12b之軌道間隔的方式，配合應用基板檢查裝置1之生產線的構成，使用者可自由地調整路徑設定。

各軌道11a、11b、12a、12b之Y方向位置的調整係藉由驅動第3圖所示之搬運軌道軸1(30a)~搬運軌道軸4(30d)所進行。例如，使用者操作PC34，指示各軌道之Y方向位置時，控制部33之軸控制部33a驅動對應之搬運軌道軸，使軌道在Y方向移動。Y方向位置之指示方法係任何形式都可。例如，亦可指示軌道之Y座標(絕對座標)，亦可指示與其他的軌道的間隔(相對座標)，亦可指示軌道之Y方向移動量。又，亦可不是如本裝置般以致動器使軌道移動者，而是作成以手動使軌道在Y方向滑動。

在5圖，表示將全部之軌道的Y方向位置設成可動之優點。在具有固定軌道之以往之裝置的情況，根據下游裝置之路徑構成，如第10圖所示，需要使移車台介於基板檢查裝置與下游裝置之間。相對地，在本實施形態之基板檢查裝置1的情況，如第5圖所示，因為可配合下游裝置50之路徑的配置及寬度，自由地調整各軌道11a、11b、12a、12b的Y方向位置，所以不必經由移車台，就可直接與下游裝置50連接。藉此，可實現生產線之省空間化及降低成本。

(基準座標的設定)

如第9圖之說明所示，在以往裝置中，因為是以固定軌道之位置為基準，規定基板之寬度方向位置，所以使檢查頭(相機)移至基板上之攝影位置時之位置精度的確保係比較容易。可是，在本實施形態之基板檢查裝置1中，因為全部之搬運路徑之全部的軌道係可動，所以無法決定如以往裝置之固定的基準位置。因此，在本實施形態，在變更了各搬運路徑11、12之Y方向位置的情況，使用如以下所示之方法，設定基準座標(亦稱為原點校正)。

第6圖係表示基準座標之設定處理之步驟的流程圖，第7圖係用以說明基準座標之設定處理的圖。

使用者在PC34中起動基準座標設定程式時，將基準座標設定畫面70(參照第7圖)顯示於操作監視器35。基準座標設定畫面70具有：窗71，係顯示從相機13c所取入之影像；移動按鈕72，係用以變更相機13c(檢查頭13)之位置；本文框73，係表示相機13c之XY座標；搬入按鈕74；及基準座標設定按鈕75。

首先，使用者將基準座標設定用構件76載置於第1搬運路徑11，並按下搬入按鈕74。藉此，第1搬運路徑11驅動，將基準座標設定用構件76搬運至檢查時之位置(X方向位置)(S61)。基準座標設定用構件76之X方向位置係以與上述檢查流程的情況相同的方法被定位。此外，作為基準座標設定用構件76，亦可使用成為檢查對象之基板本身，亦可使用具有與該基板相同尺寸的專用構件(治具)。

基準座標設定用構件76停在檢查時之位置後，接著，使用者按下移動按鈕72，或藉由將座標值輸入至本文框73，而使相機13c移動成基準座標設定用構件76上之基準點來到視角的中心(S62)。此外，在本實施形態，將基準座標設定用構件76之前端的右側角(在圖上為右下角)用作基準點，但是未限定於此，亦可將其他的部分用作基準點。因為在基準座標設定畫面70的窗71，顯示十字之引導線71a，所以只要將相機13c之位置調整成使該引導線71a對準基準座標設定用構件76的邊緣即可。

大致調整相機13c的位置後，按下基準座標設定按鈕75(S63)。於是，基準座標設定程式進行影像識別處理，從影像識別基準座標設定用構件76的基準點，並計算該基準點之在影像內的座標值(S64)。在此時，因為只要對引導線71a之附近(影像之中心部分)進行邊緣搜尋即可，所以能以比較簡單之處理調精度地求得邊緣的座標。然後，基準座標設定程式係從相機13c之現在的XY 座標、與在S64所求得之基準點之影像中的座標，計算基準點的XY座標(S65)。例如，在相機13c之XY座標表示影像之左上的原點之座標的情況，將在S64所求得之基準點的影像座標換算成XY座標系統的距離，該距離與相機13c之XY座標相加後所得的值成為基準點的XY座標。在此，所求得之基準點的XY座標被送至控制部33，並登錄於未圖示的記憶裝置(S66)。

第1搬運路徑11之基準座標(基準點的XY座標)的設定結束後，對第2搬運路徑12亦重複進行相同的步驟，亦設定第2搬運路徑12的基準座標。以上，基準座標之設定處理(原點校正)結束。若該設定結束，可進行按照變更後之路徑配置的檢查。

(設定相機之起始位置)

移動機構31進行將成為檢查對象之基板搬運至搬運路徑上之檢查時的位置，並使相機13c(檢查頭13)在起始位置(亦稱為待機位置或起始位置)待機的控制。在以往裝置，因為固定軌道成為基準，所以例如固定軌道之附近等之固定的位置被設定成相機13c的起始位置。可是，在本實施形態之基板檢查裝置1，使相機13c之起始位置固定時，在搬運路徑11、12之Y方向位置位於接近相機13c之起始位置的情況與位於遠離起始位置的情況下，相機13c之移動距離產生差異。例如，第8圖係將最上游側之右端(在第8圖為左下角)設為相機13c之起始位置的例子，得知如第8圖(a)所示當搬運路徑11、12接近起始位置時，從起始位置移至檢查時之攝影位置的距離短，相對地，如第8圖(b)所示當搬運路徑11、12遠離起始位置時，與第8圖(a)相比，發生相機13c之無益的移動。這種無益的移動因為會導致檢查節拍時間(檢查之處理時間)增大，故不佳。因此，在變更了各搬運路徑11、12之Y方向位置的情況，較佳為，亦配合地變更相機13c之起始位置。

第8圖(c)係將第1搬運路徑11之Y方向位置與第2搬運路徑12之Y方向位置的中間點設定為相機13c之Y方向之起始位置的例子。具體而言，根據如下之數學式，求得起始位置之Y座標Yi。

Yi=(Y1+(Y2+W2))/2

在此，Y1係第1搬運路徑11之基準座標(Y座標)，Y2係第2搬運路徑12之基準座標(Y座標)，W2係以第2搬運路徑12所搬運之基板K2的寬度。此外，關於起始位置之X座標，採用先檢查之基板K1的中心座標，或基板K1上之最初的攝影位置之X座標即可。

藉由如以上所示設定相機13c的起始位置，可儘量減少相機13c之無益的移動。

(本裝置之優點)

若依據如以上所述之本實施形態的裝置構成，因為可配合連接基板檢查裝置1之其他的裝置(上游裝置或下游裝置)之路徑間隔等，自由地調整基板檢查裝置1之各搬運路徑11、12的Y方向位置，所以即使無如移車台之裝置介入，亦可在基板檢查裝置1與其他的裝置之間直接接遞基板K1、K2。藉此，可縮短基板K1、K2之接遞所需的時間，而可使檢查節拍時間最佳化，進而提高整體的生產力。

而且，因為不僅搬運路徑11、12之間隔，連各路徑的寬度亦可分別自由地調整，所以可將任意尺寸之基板(當然有物理性極限)作為檢查對象。又，亦可在各路徑檢查尺寸相異的基板。藉此，可提高基板檢查裝置1之彈性及適應性，並提高裝置本身的附加價值。

又，因為與實際之檢查時一樣地配置基準座標設定用構件76，並使用以相機13c所拍攝之影像對其進行原點校正，所以可簡單且正確地設定基準座標。又，因為是利用檢查用之相機13c本身，所以亦具有不必為了原點校正而追加特殊之硬體的優點。進而，因為僅從相機13c與基準座標設定用構件76之實際的位置關係決定基準座標，所以具有即使搬運路徑11、12之位置精度稍差，亦不會影響基準座標之精度的優點。換言之，因為對搬運路徑11、12之驅動機構(搬運軌道軸1~4)不要求高的位置精度，所以可降低該部分的成本。

又，藉由作成因應於搬運路徑11、12之Y方向位置適應地變更相機13c的起始位置，所以可抑制相機13c之無益的移動的發生、更縮短檢查節拍時間，進而更提高生產力。

(變形例)

如以上所述的構成只不過是本發明之一具體例，其主旨不是將本發明之範圍限定為僅那些構成。例如，在該實施形態中，雖設置兩條搬送路徑，但亦可設置三條以上的搬送路徑。此外，上述實施型態中，雖使用相機的影像，設定基準座標，但是亦可藉由追加地設置檢測出各路徑之位置的感測器來設定基準座標。或者，在搬運軌道軸1~4之位置精度充分高的情況，亦可根據那些位置精度的值求得基準座標。又，相機之起始位置的變更係不是必需，可因應於需要進行。