JP6126694B2 - 基板搬送装置 - Google Patents
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Description
まず、図1〜図3を参照して、本発明の第1実施形態による基板搬送装置100の構造について説明する。
次に、図1〜3、図5および図6を参照して、本発明の第2実施形態による基板搬送装置200について説明する。第2実施形態では、エンコーダ41の出力値に基づいて所定量Cだけ可動レール2を移動させることにより、レール間隔を第2間隔D2に変更するように構成した上記第1実施形態とは異なり、モータの電流値に基づいてレール間隔を第2間隔D2に変更する制御を行う基板搬送装置の例について説明する。なお、第2実施形態において、装置構成は上記第1実施形態と同様であるので、同一の符号を用いるとともに説明を省略する。
次に、図7〜図9を参照して、本発明の第3実施形態による基板搬送装置300について説明する。第3実施形態では、モータ4の電流値が第1閾値Th1以上か否かに基づいて可動レール2の移動を停止させることにより、レール間隔を第2間隔D2にするように構成した上記第2実施形態とは異なり、レール間隔を第2間隔D2にした後、さらに可動レール2と固定レール3とによって基板CBの固定(クランプ)を行う制御を行う基板搬送装置の例について説明する。なお、第3実施形態において、上記第1実施形態と同様の構成については、同一の符号を用いるとともに説明を省略する。
次に、図10を参照して、本発明の第4実施形態による基板搬送装置400について説明する。第4実施形態では、モータの電流値に基づき可動レール2を駆動することによって、可動レール2と固定レール3とによる基板CBの固定(クランプ)を行う制御を行うように構成した上記第3実施形態に加えて、さらに圧力検出部の検出値にも基づいて基板CBの固定(クランプ)を行う制御を行う基板搬送装置の例について説明する。なお、第4実施形態において、上記第3実施形態と同様の構成については、同一の符号を用いるとともに説明を省略する。
次に、図11〜図13を参照して、本発明の第5実施形態による基板搬送装置500について説明する。第5実施形態では、直線状のガイドレール(可動レール2および固定レール3)を設けた上記第1実施形態とは異なり、基板幅方向Yの内側に突出する突出部をガイドレールに設けた例について説明する。なお、第5実施形態において、上記第1実施形態と同様の構成については、同一の符号を用いるとともに説明を省略する。
次に、図14を参照して、本発明の第6実施形態による基板搬送装置600について説明する。第6実施形態では、ガイドレール(可動レール402および固定レール403)に突出部410を設けることにより傾き矯正および基板固定中にも基板の搬入出を行えるように構成した上記第5実施形態とは異なり、可動レールおよび固定レールを分割することにより、傾き矯正および基板固定中の基板搬入出を可能にした例について説明する。なお、第6実施形態において、上記第1実施形態と同様の構成については、同一の符号を用いるとともに説明を省略する。
次に、図15を参照して、本発明の第7実施形態による外観検査装置700について説明する。第7実施形態では、基板搬送装置の適用例として、基板CBの検査を行う基板検査装置の一種である外観検査装置700の基板搬送部として、上記第1実施形態による基板搬送装置100を設けた例について説明する。なお、第7実施形態において、上記第1実施形態と同様の構成については、同一の符号を用いるとともに説明を省略する。
2、402、502 可動レール(第1ガイドレール)
3、403、503 固定レール(第2ガイドレール)
4、541、542、543 モータ
6、106、206、306、406、506 制御部
41 エンコーダ
100、200、300、400、500、600 基板搬送装置
310 圧力検出部
410 突出部
521 作業レール部
522 搬入レール部
523 搬出レール部
A 作業領域
CB 基板
D1 第1間隔
D2 第2間隔
En 搬入領域
Ex 搬出領域
Claims (9)
- 基板を搬送方向に搬送するコンベア部と、
前記搬送方向と直交する基板幅方向に間隔を隔てて互いに平行に設けられた第1ガイドレールおよび第2ガイドレールと、
前記基板幅方向に、前記第1ガイドレールを前記第2ガイドレールに対して相対的に平行移動させるモータと、
前記第1ガイドレールと前記第2ガイドレールとの間のレール間隔を前記基板の幅よりも大きい第1間隔にして所定の作業が行われる作業位置まで前記コンベア部により基板搬送を行うとともに、前記作業位置での作業の際に、前記モータの検出値に基づいて、前記レール間隔を前記第1間隔よりも小さい第2間隔にして前記基板の傾きを矯正するように、前記第1ガイドレールを前記第2ガイドレールに対して相対移動させる制御を行うように構成された制御部とを備え、
前記第1ガイドレールおよび前記第2ガイドレールの少なくとも一方は、前記搬送方向の所定の作業領域における前記レール間隔が前記作業領域以外における前記レール間隔よりも小さくなるように、前記作業領域において前記基板幅方向内側に突出する突出部を有する、基板搬送装置。 - 前記モータは、エンコーダを含むサーボモータであり、
前記制御部は、前記サーボモータの前記エンコーダの出力値に基づいて、前記基板の幅寸法と前記第1間隔との差分量だけ前記第1ガイドレールを前記第2ガイドレールに近づけるように相対移動させることにより、前記レール間隔を前記第2間隔にするように構成されている、請求項1に記載の基板搬送装置。 - 前記制御部は、前記第1ガイドレールを前記第2ガイドレールに近づけるように相対移動させ、前記モータの電流値が第1閾値以上か否かに基づいて前記第1ガイドレールの相対移動を停止させることにより、前記レール間隔を前記第2間隔にするように構成されている、請求項1に記載の基板搬送装置。
- 前記制御部は、前記第1ガイドレールを前記第2ガイドレールに近づけるように相対移動させ、前記モータの電流値を、前記第1ガイドレールと前記第2ガイドレールとにより前記基板を所定圧力で押圧するための第2閾値近傍に維持することにより、前記基板を固定する制御を行うように構成されている、請求項1に記載の基板搬送装置。
- 前記第1ガイドレールおよび前記第2ガイドレールの少なくとも一方に設けられ、前記基板との接触圧力を検出する圧力検出部をさらに備え、
前記制御部は、前記第1ガイドレールを前記第2ガイドレールに近づけるように相対移動させ、前記モータの検出値および前記圧力検出部の検出値に基づいて、前記第1ガイドレールと前記第2ガイドレールとにより前記基板を所定圧力で押圧して固定する制御を行うように構成されている、請求項1に記載の基板搬送装置。 - 前記基板の搬入位置から前記作業領域までの搬入領域と、前記作業領域から前記基板の搬出位置までの搬出領域とにおけるレール間隔は、前記突出部を有する前記作業領域における前記レール間隔よりも大きい、請求項1に記載の基板搬送装置。
- 前記突出部は、前記突出部以外の部分との境界が滑らかに連続するように形成されている、請求項1に記載の基板搬送装置。
- 前記第1ガイドレールは、前記搬送方向の所定の作業領域を含むとともに、前記作業領域以外の部分とは別個に設けられた作業レール部を有し、
前記モータは、前記作業レール部と前記作業レール部以外の部分とにそれぞれ設けられるとともに、前記作業レール部と前記作業レール部以外の部分とを前記基板幅方向に個別に移動させるように構成されている、請求項1に記載の基板搬送装置。 - 前記第1ガイドレールは、前記基板の搬入位置から前記作業領域までの搬入領域を含む搬入レール部と、前記作業領域から前記基板の搬出位置までの搬出領域を含む搬出レール部とをさらに有し、
前記モータは、前記作業レール部と、前記搬入レール部と、前記搬出レール部とにそれぞれ設けられるとともに、前記作業レール部と、前記搬入レール部と、前記搬出レール部とを前記基板幅方向に個別に移動させるように構成されている、請求項8に記載の基板搬送装置。
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