JP2014154627A - 基板固定装置、基板作業装置および基板固定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】バックアップ部材41および基板押さえ部材431、432のうちの少なくとも一方を昇降させる昇降駆動部を備えており、昇降駆動部は、バックアップ部材41を上昇させる、および/または基板押さえ部材431、432を一対のコンベア225、226とともに下降させることで、バックアップ部材41により基板FBを下方から支持しつつ一対のコンベア225、226から上方に離間するとともに基板押さえ部材431、432により基板FBの外周部表面を下方に押さえ付ける。
【選択図】図3
Description
複数の吸引孔41aのY方向両端の吸引孔41aの内側のY軸方向の距離をWva1、Y方向両端の吸引孔41aの外側のY軸方向の距離をWva2とする時、複数の吸引孔41aへ負圧が供給されて基板FBをバックアップ部材41に吸着固定した状態においても、Y方向両端の吸引孔41aの外側のY軸方向の距離Wva2の領域の外側となる基板FBの外周は勿論のこと、Y方向両端の吸引孔41aの内側のY軸方向の距離Wva1の領域の外側となる基板FBの外周において、反りは矯正することはできない。
2…基板搬送部
4…基板固定部
6…ヘッドユニット(基板作業部)
22…メイン搬送機構
41…バックアップ部材
221、222…コンベアフレーム(搬送フレーム)
225、226…コンベア(搬送部材)
431〜434…基板押さえ部材
441、442…衝撃緩和部材
471、472…可動部材
CL…クリアランス
CY…シリンダ(昇降駆動部)
FB…基板
P2…作業位置
TP…搬送路
X…搬送方向
Claims (11)
- 互いに離間して配置される一対の搬送部材により下方から支持されながら搬送路に沿って搬送されるフィルム状の基板を前記搬送路の途中の作業位置で支持して固定する基板固定装置であって、
上方からの平面視で前記一対の搬送部材の間に位置するとともに前記作業位置に搬送された基板の下方に位置するバックアップ部材と、
前記作業位置に搬送された基板の外周部表面の上方に位置する基板押さえ部材と、
前記バックアップ部材および前記基板押さえ部材のうちの少なくとも一方を昇降させる昇降駆動部とを備え、
前記昇降駆動部は、前記バックアップ部材を上昇させる、および/または前記基板押さえ部材を前記一対の搬送部材とともに下降させることで、前記バックアップ部材により前記基板を下方から支持しつつ前記一対の搬送部材から上方に離間するとともに前記基板押さえ部材により前記基板の外周部表面を下方に押さえ付けて前記基板の外周部の反りを矯正することを特徴とする基板固定装置。 - 請求項1に記載の基板固定装置であって、
前記バックアップ部材は上面に吸引孔を有し、前記作業位置に搬送された基板の下面を前記上面で支持しながら吸着して固定する基板固定装置。 - 請求項1または2に記載の基板固定装置であって、
前記昇降駆動部は、前記バックアップ部材の外方において前記基板押さえ部材を前記一対の搬送部材とともに昇降させるようにした基板固定装置。 - 請求項1ないし3のいずれか一項に記載の基板固定装置であって、
前記基板押さえ部材は、前記基板の厚みおよび反り量を加算した値よりも大きな距離だけ前記一対の搬送部材から上方に離間した状態で、前記一対の搬送部材の一方を支持する第1搬送フレームおよび他方を支持する第2搬送フレームのうち少なくとも一方に取り付けられる基板固定装置。 - 請求項4に記載の基板固定装置であって、
前記基板押さえ部材として、前記搬送路と平行にそれぞれ延設される第1基板押さえ部材と第2押さえ部材を有しており、
前記第1基板押さえ部材は前記第1搬送フレームに取り付けられるとともに前記第2基板押さえ部材は前記第2搬送フレームに取り付けられる基板固定装置。 - 請求項5に記載の基板固定装置であって、
前記第1基板押さえ部材は第1衝撃緩和部材を介して前記第1搬送フレームに取り付けられ、前記第2基板押さえ部材は第2衝撃緩和部材を介して前記第2搬送フレームに取り付けられる基板固定装置。 - 請求項4ないし6のいずれか一項に記載の基板固定装置であって、
前記基板を搬送する搬送方向における前記バックアップ部材の上流側で前記第1搬送フレームおよび前記第2搬送フレームに対して移動自在に支持される第1可動部材と、
前記搬送方向における前記バックアップ部材の下流側で前記第1搬送フレームおよび前記第2搬送フレームに対して移動自在に支持される第2可動部材と、
前記第1可動部材および前記第2可動部材を移動させて前記第1可動部材および前記第2可動部材の位置を切り替える切替駆動部とを備え、
前記基板押さえ部材として、前記搬送方向と直交する基板幅方向に延設される第3基板押さえ部材と第4基板押さえ部材を有しており、
前記第3基板押さえ部材は前記第1可動部材に取り付けられるとともに、前記第4基板押さえ部材は前記第2可動部材に取り付けられ、
前記切替駆動部は、前記第1可動部材の移動によって前記第3基板押さえ部材を前記バックアップ部材の上流側で前記作業位置に搬送された基板の外周部表面の上方位置と前記搬送路から離れた第1退避位置とに移動させ、前記第2可動部材の移動によって前記第4基板押さえ部材を前記バックアップ部材の下流側で前記作業位置に搬送された基板の外周部表面の上方位置と前記搬送路から離れた第2退避位置とに移動させる基板固定装置。 - 請求項7に記載の基板固定装置であって、
前記第3基板押さえ部材は第3衝撃緩和部材を介して前記第1可動部材に取り付けられ、前記第4基板押さえ部材は第4衝撃緩和部材を介して前記第2可動部材に取り付けられる基板固定装置。 - 互いに離間して配置される一対の搬送部材によりフィルム状の基板を下方から支持しながら搬送路に沿って搬送する基板搬送部と、
請求項1ないし8のいずれか一項の基板固定装置と同一の構成を有し、前記基板搬送部により前記搬送路の途中の作業位置に搬送された基板を支持して固定する基板固定部と、
前記基板固定部により固定された基板の表面のうち前記基板押さえ部材で押さえ付けられた領域を除く表面領域に対して所定の作業を施す基板作業部と
を備えることを特徴とする基板作業装置。 - 互いに離間して配置される一対の搬送部材により下方から支持されながら搬送路に沿って搬送されるフィルム状の基板を前記搬送路の途中の作業位置で支持して固定する基板固定方法であって、
前記作業位置に搬送された基板を、前記一対の搬送部材に代わって、前記作業位置での上方からの平面視で前記一対の搬送部材の間に位置するバックアップ部材で下方から支持する支持工程と、
前記バックアップ部材で支持される前記基板の外周部表面を基板押さえ部材により下方に押さえ付けて前記基板の外周部の反りを矯正する矯正工程と
を備えることを特徴とする基板固定方法。 - 請求項10に記載の基板固定方法であって、
前記支持工程は、前記作業位置に搬送された基板の下面を前記バックアップ部材の上面で吸着して保持する基板固定方法。
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