KR101543677B1 - 기판 고정 장치, 기판 작업 장치 및 기판 고정 방법 - Google Patents

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Abstract

(과제) 한 쌍의 반송 부재에 의해 하방으로부터 지지되면서 반송로를 따라 반송되는 필름 형상의 기판을 작업 위치에서 지지하여 고정할 때에 기판의 외주부의 휨을 양호하게 교정한다.
(해결수단) 백업 부재(41) 및 기판 프레싱 부재(431, 432) 중 적어도 한 쪽을 승강시키는 승강 구동부르 구비하고 있고, 승강 구동부는 백업 부재(41)를 상승시키고, 및/또는 기판 프레싱 부재(431, 432)를 한 쌍의 컨베이어(225, 226)와 함께 하강시킴으로써 백업 부재(41)에 의해 기판(FB)을 하방으로부터 지지하면서 한 쌍의 컨베이어(225, 226)로부터 상방으로 이간함과 아울러 기판 프레싱 부재(431, 432)에 의해 기판(FB)의 외주부 표면을 하방으로 압박한다.

Description

기판 고정 장치, 기판 작업 장치 및 기판 고정 방법{SUBSTRATE FIXING APPARATUS, SUBSTRATE WORKING APPARATUS, AND SUBSTRATE FIXING METHOD}
이 발명은 필름 형상의 기판을 작업 위치에서 백업 부재에 의해 지지하여 고정하는 기판 고정 기술 및 상기 기판 고정 기술을 이용해서 작업 위치에 고정된 기판에 대하여 부품 실장, 검사, 도포액 도포, 페이스트 인쇄 등의 기판 작업을 행하는 기판 작업 장치에 관한 것이다.
플렉시블 기판 등 필름 형상의 기판(이하에서는 단지 「기판」이라고 한다)은 비교적 얇아 휨 변형이 생기기 쉽다. 그래서 기판에 대하여 부품 실장 등의 작업을 행하는 위치, 즉 작업 위치에 있어서 기판의 휨을 교정하는 기술이 수많이 제안되고 있다. 예를 들면 일본 특허 공개 2004-296632호 공보에 기재된 발명에서는 하측 수용 부재의 하측 수용면 상에 기판이 배치된 후 압박 부재가 강하하여 상기 기판을 상방으로부터 면 형상으로 프레싱하여 하측 수용면에 압박된다. 이것에 의해 기판의 휨 변형이 교정된다. 그리고 이 상태에서 진공 흡인 수단이 작동함으로써 기판이 하측 수용면에 진공 흡착되어 고정된다.
그런데 일본 특허 공개 2004-296632호 공보에 기재된 발명은 기판의 부품 탑재 부위에 부품을 실장하는 장치이며, 상기 부품 탑재 부위에서의 기판의 휨을 방지하는 것을 목적으로 하고 있다. 즉, 압박 부재는 기판의 부품 탑재 부위의 범위를 전면적으로 커버하는 크기의 압박면을 갖고 있어 기판 표면 중 부품 탑재 부위만을 프레싱하여 휨 교정을 행함과 아울러 진공 흡인 수단에 접속된 흡착 홈에 의해 기판을 흡착하도록 하고 있다. 이 후 압박 부재를 기판으로부터 퇴피시켜 부품 실장을 행하도록 하고 있다. 따라서 기판 표면에 기판 프레싱 부재를 압박하여 휨을 교정했더라도 기판 프레싱 부재를 기판 표면으로부터 퇴피시키면 기판의 외주부에 휨이 생기고, 게다가 그 휨에 의해 기판 주변 가까이에서의 흡인력이 저하하여 휨을 더욱 확대시켜 버린다. 즉, 부품 탑재 부위의 주변 영역, 즉, 기판의 외주부에서의 휨에 대해서는 전혀 고려되고 있지 않다.
이 때문에 하면으로부터 접촉하는 흡착 홈의 외측이 되는 기판 주변 부분의 기판 상면에 피두셜 마크가 위치하는 경우 그 부분의 휨 때문에 올바른 인식을 할 수 없어 기판 위치나 기판의 방향을 올바르게 검출할 수 없고, 실장기에서는 올바른 위치에 부품 탑재를 할 수 없는 경우가 있었다. 또한 일본 특허 공개 2004-296632호 공보에 기재된 기판 고정 장치를 인쇄기나 기판 검사기에 탑재하는 경우에는 인쇄기에서는 올바른 위치에 인쇄할 수 없는 것이나 기판 검사기에서는 올바른 기판 검사를 할 수 없는 것이 고려된다. 특히 한 쌍의 컨베이어 등의 반송 부재를 기판의 폭 방향으로 이간하여 배치하고, 기판의 폭 방향의 하면 단부를 각각 지지하면서 작업 위치로 반송하는 기판 작업 장치에서는 기판의 외주부에서의 휨 변형이 커지는 경향이 있어 피두셜 마크의 인식 시에 이것을 교정하는 것이 큰 기술 과제가 되고 있다.
이 발명은 상기 과제를 감안하여 이루어진 것이며, 한 쌍의 반송 부재에 의해 하방으로부터 지지되면서 반송로를 따라 반송되는 필름 형상의 기판을 작업 위치에서 지지하여 흡인 고정할 때에 기판의 외주부의 휨을 양호하게 교정하는 기술, 및 상기 기술을 이용하여 기판 작업을 행하는 기판 작업 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
이 발명에 의한 기판 고정 장치는 서로 이간되어 배치되는 한 쌍의 반송 부재에 의해 하방으로부터 지지되면서 반송로를 따라 반송되는 필름 형상의 기판을 반송로의 도중의 작업 위치에서 지지하여 고정하는 기판 고정 장치로서, 상방으로부터의 평면시로 한 쌍의 반송 부재 사이에 위치함과 아울러 작업 위치로 반송된 기판의 하방에 위치하는 백업 부재와, 작업 위치로 반송된 기판의 외주부 표면의 상방에 위치하는 기판 프레싱 부재와, 백업 부재 및 기판 프레싱 부재 중 적어도 한쪽을 승강시키는 승강 구동부를 구비하고, 승강 구동부는 백업 부재를 상승시키고, 및/또는 기판 프레싱 부재를 한 쌍의 반송 부재와 함께 하강시킴으로써 백업 부재에 의해 기판을 하방으로부터 지지하면서 상기 한 쌍의 반송 부재로부터 상방으로 이간함과 아울러 기판 프레싱 부재에 의해 기판의 외주부 표면을 하방으로 압박하여 기판의 외주부의 휨을 교정하는 것을 특징으로 하고 있다.
또한 이 발명에 의한 기판 작업 장치는 서로 이간되어 배치되는 한 쌍의 반송 부재에 의해 필름 형상의 기판을 하방으로부터 지지하면서 반송로를 따라 반송하는 기판 반송부와, 상기 기판 고정 장치와 동일한 구성을 갖고, 기판 반송부에 의해 반송로의 도중의 작업 위치로 반송된 기판을 지지하여 고정하는 기판 고정부와, 기판 고정부에 의해 고정된 기판의 표면 중 기판 프레싱 부재로 압박된 영역을 제외한 표면 영역에 대하여 소정의 작업을 실시하는 기판 작업부를 구비하는 것을 특징으로 하고 있다.
또한 이 발명에 의한 기판 고정 방법은 서로 이간되어 배치되는 한 쌍의 반송 부재에 의해 하방으로부터 지지되면서 반송로를 따라 반송되는 필름 형상의 기판을 반송로의 도중의 작업 위치에서 지지하여 고정하는 기판 고정 방법으로서, 작업 위치로 반송된 기판을 한 쌍의 반송 부재를 대신하여 기판이 상기 한 쌍의 반송 부재로부터 상방으로 이간된 상태에서 작업 위치에서의 상방으로부터의 평면시로 한 쌍의 반송 부재 사이에 위치하는 백업 부재에 의해 하방으로부터 지지하는 지지 공정과, 백업 부재로 지지되는 기판의 외주부 표면을 기판 프레싱 부재에 의해 하방으로 압박하여 기판의 외주부의 휨을 교정하는 교정 공정을 구비하는 것을 특징으로 하고 있다.
도 1은 본 발명에 의한 기판 고정 장치의 제 1 실시형태인 기판 고정부를 장비한 기판 작업 장치의 개략 구성을 나타내는 평면도이다.
도 2는 기판 작업 장치에서의 기판 반송부 및 기판 고정부의 구성을 나타내는 부분 사시도이다.
도 3A, 3B 및 3C는 기판 고정부의 동작을 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 4A, 4B 및 4C는 본 발명에 의한 기판 고정 장치의 제 2 실시형태를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명에 의한 기판 고정 장치의 제 3 실시형태인 기판 고정부를 장비한 기판 작업 장치를 나타내는 도면이다.
도 6A, 6B, 6C 및 6D는 제 3 실시형태에 있어서의 기판 고정부의 동작을 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 1은 본 발명에 의한 기판 고정 장치의 제 1 실시형태인 기판 고정부를 장비한 기판 작업 장치의 개략 구성을 나타내는 평면도이다. 또한 도 2는 기판 작업 장치에서의 기판 반송부 및 기판 고정부의 구성을 나타내는 부분 사시도이다. 또한 도 3A, 3B 및 3C는 기판 고정부의 동작을 모식적으로 나타내는 도면이다. 또한 이들 도면 및 후에 설명하는 각 도면에서는 각 도면의 방향 관계를 명확하게 하기 위해 XYZ 직각 좌표축이 나타내어져 있다.
도 1에 나타내는 기판 작업 장치는 필름 형상의 기판(FB)에 부품을 실장하는 표면 실장기(1)이다. 표면 실장기(1)에서는 기대(11) 상에 기판 반송부(2)가 배치되어 있고, 기판(FB)을 반송 방향(X)으로 반송가능하게 되어 있다. 본 실시형태의 기판 반송부(2)에서는 반송 방향(X)의 상류측(도 1, 도 2의 왼쪽측)으로부터 하류측(도 1, 도 2의 오른쪽측)을 향해 반입 기구(21), 메인 반송 기구(22) 및 반출 기구(23)가 줄지어 배치되어 기판(FB)을 도 1 및 도 2의 왼쪽측에서 오른쪽측으로 반송로(TP)를 따라 반송가능하게 되어 있다. 이들 반입 기구(21), 메인 반송 기구(22) 및 반출 기구(23)의 각각에는 구동 모터(도시 생략)가 연결되어 있고, 표면 실장기(1) 전체를 제어하는 컨트롤러(3)에 의해 구동 제어된다. 이것에 의해 도 2에 나타낸 바와 같이 반입 기구(21)의 기판 정지 위치(P1)에서 정지되어 있는 기판(FB)이 작업 위치(P2)를 향해 반송로(TP)를 따라 반송된다. 이 작업 위치(P2)에서는 기판 고정부(4)가 설치되어 있고, 반송되어온 기판(FB)을 지지하여 고정한다. 그리고 부품 수용부(5)에 수용되어 있는 부품 헤드 유닛(6)에 의해 상기 기판(FB)에 실장된다. 기판(FB)에의 부품 실장이 완료되면 기판 고정부(41)에 의한 기판(FB)의 고정이 해제되어 메인 반송 기구(22) 및 반출 기구(23)에 의해 부품 실장된 기판(FB)이 반출된다. 또한 본 명세서에서는 기판(FB)의 선단 위치를 기준으로 하여 기판(FB)의 위치를 특정하고 있다. 또한 기판 반송부(2) 및 기판 고정부(4)의 구성 및 동작에 대해서는 후에 설명한다.
기판 반송부(2)의 Y축 방향의 양측에는 상기한 부품 수용부(5)가 배치되어 있고, 이들 부품 수용부(5)에 대하여 1개 또는 복수의 테이프 피더(51)를 장착가능하게 구성되어 있다. 또한 부품 수용부(5)에서는 각 피더(51)에 대응하여 전자부품을 일정 피치로 수납·유지한 테이프를 권회한 릴(도시 생략)이 배치되어 있고, 각 피더(51)에 의해 전자부품의 공급이 가능해지고 있다.
헤드 유닛(6)은 기대(11)의 소정 범위에 걸쳐 기대(11) 상방에 있어서 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동가능하게 구성되어 있다. 또한 본 실시형태에서는 헤드 유닛(6)에 있어서 연직방향(Z)으로 연장된 도시하지 않은 실장용 헤드가 8개, X축 방향(기판 반송부(2)에 의한 기판(FB)의 반송방향)으로 등간격으로 줄지어 배치되어 각 실장용 헤드의 선단부에 흡착 노즐(61)이 장착되어 있다. 각 실장 헤드는 헤드 유닛(6)에 대하여 Z축 모터(도시 생략)를 구동원으로 하는 노즐 승강 구동 기구에 의해 승강(Z축 방향의 이동)가능하고, 또한 R축 모터(도시 생략)를 구동원으로 하는 노즐 회전 구동 기구에 의해 노즐 중심축 둘레로 회전가능하게 되어 있다. 이들 구동 기구 중 노즐 승강 구동 기구는 흡착 또는 장착을 행할 때의 하강 위치와, 반송이나 촬상을 행할 때의 상승 위치 사이에서 실장 헤드를 승강시키는 것이다. 한편 노즐 회전 구동 기구는 부품 흡착 노즐을 전자부품의 실장 방향으로의 합치를 위해서나 R축 방향의 흡착 어긋남의 보정을 위해서 등 필요에 따라 회전시키기 위한 구성이고, 회전 구동에 의해 전자부품을 실장 시에 있어서의 소정의 R축 방향에 위치시키는 것이 가능해지고 있다.
이렇게 구성된 헤드 유닛(6)은 부품 수용부(5)의 상방 위치로 이동한 후 흡착 노즐(61)에 의해 피더(51)로부터 공급되는 전자부품을 흡착 유지한다. 또한 상기 헤드 유닛(6)의 이동에 의해 흡착 노즐(61)로 흡착된 전자부품은 부품 수용부(5)의 상방 위치로부터 기판(FB)의 상방 위치로 반송되어 기판(FB)에 실장된다.
또한 반송 도중에 있어서 반송로(TP)의 측방의 2개의 부품 수용부(5)의 X축방향 중간에 배치되는 부품 인식 카메라(C1)의 상방을 헤드 유닛(6)이 통과한다. 이 때에 부품 인식 카메라(C1)가 각 흡착 노즐(61)에 흡착된 전자부품을 하방으로부터 촬상한다. 그리고 촬상 결과로부터 각 흡착 노즐(61)에 있어서의 흡착 어긋남이 검출되고, 각 전자부품을 기판(FB)에 실장할 때에 흡착 어긋남에 알맞은 위치 보정이 된다.
또한 헤드 유닛(6)의 X축 방향의 양 측부에는 기판 인식 카메라(C2)가 각각 고정되어 있고, 헤드 유닛(6)이 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동함으로써 임의의 위치에서 기판(FB)의 상방으로부터 촬상가능해지고 있다. 이 때문에 각 기판 인식 카메라(C2)는 부품 실장에 앞서 작업 위치 상에 있는 기판(FB)의 외주부에 달린 복수의 피두셜 마크를 촬영하여 기판 위치, 기판 방향을 화상 인식한다. 기판(FB)에의 부품 실장에 있어서는 화상 인식된 기판 위치 및 기판 방향에 의거하여 미리 기판(FB) 상에 설정된 부품 탑재 위치가 보정되고, 이것에 의해 올바른 위치에 실장이 가능해진다.
이어서 기판 반송부(2) 및 기판 고정부(4)의 구성에 대해서 도 1 내지 도 3을 참조하면서 상세히 서술한다. 기판 반송부(2)를 구성하는 3개의 기구 중 반입 기구(21) 및 반출 기구(23)는 동일 구성을 갖고 있다. 여기서는 반입 기구(21)의 구성을 설명하고, 반출 기구(23)의 구성에 대해서는 상당 부호를 달아 구성 설명을 생략한다.
반입 기구(21)에서는 기대(11)의 상방 위치에서 반송 방향(X)으로 연장된 2개의 컨베이어 프레임(211, 212)이 반송로(TP)를 사이에 두고 기판(FB)의 Y축 방향의 치수(즉, 기판 폭)보다 약간 넓은 간격이 되도록 서로 이간되어 배치되어 있다. 그리고 (+Y)측의 컨베이어 프레임(211)이 기대(11)의 상면에 스탠딩된 2개의 지지 부재(213, 213)의 상단부에서 지지됨과 아울러 (-Y)측의 컨베이어 프레임(212)이 기대(11)의 상면에 스탠딩된 2개의 지지 부재(214, 214)의 상단부에서 지지된다. 이렇게 컨베이어 프레임(211, 212)은 기대(11)로부터 소정 높이만큼 상방(+Z)으로 떨어진 위치에서 고정 배치되어 있다. 또한 도 2에 나타낸 바와 같이 컨베이어 프레임(211, 212)의 각 상단에는 각각 컨베이어(215)측, 컨베이어(216)측으로 돌출되는 차양 형상 부재(21la, 212a)가 설치되어 있다.
도 2에 나타낸 바와 같이 (-Y)측의 컨베이어 프레임(212)의 (+Y)측의 측면에는 (-Y)측 컨베이어(216)가 부착되어 있다. 이 컨베이어(216)는 반송 방향(X)으로 배열된 복수개의 풀리에 스트레칭된 엔들레스 형상의 컨베이어 벨트로 구성되어 있고, 기판(FB) 하면 중 (-Y)측 단부를 지지 가능하게 되어 있다. 또한 (+Y)측의 컨베이어 프레임(211)의 (-Y)측면에도 (-Y)측 컨베이어(216)와 동일하게 구성된 (+Y)측 컨베이어(215)가 부착되어 있어 기판(FB)의 하면 중 (+Y)측 단부를 지지 가능하게 되어 있다. 이렇게 한 쌍의 컨베이어(215, 216)에 의해 기판(FB)은 소위 양측 지지 상태로 지지되어 있다.
이들 컨베이어(215, 216)의 컨베이어 벨트는 각각 구동 전달용 풀리(217)와 결합되어 있다. 그리고 컨베이어 구동 모터(218)에서 발생된 회전 구동력을 상기 구동 전달용 풀리(217)에 전달시키면 양 컨베이어 벨트가 동기되어 주회 동작한다. 이것에 의해 기대(11)로부터 일정한 높이 위치에서 컨베이어(215, 216)의 컨베이어 벨트는 기판(FB)을 하방으로부터 지지하면서 반송로(TP)를 따라 반송한다.
또한 컨베이어(215, 216)의 (+X)측 하방 위치에는 도시를 생략하지만 반송되어온 기판(FB)을 검출하기 위한 센서가 고정 배치되어 있다. 이 센서는 컨베이어(215, 216)에 의해 반송 방향(X)으로 반송되는 기판(FB)을 검출하면 기판 검출 신호를 컨트롤러(3)에 출력한다. 그리고 컨트롤러(3)는 상기 센서에 의해 기판(FB)을 검출한 후에 반입 컨베이어(215, 216)용의 구동 모터를 제어하고, 기판(FB)을 일정 거리만큼 반송하여 도 1에 나타낸 바와 같이 상기 센서로부터 반송 방향(X)으로 소정 거리만큼 진행한 기판 정지 위치(P1)에 정지시킨다.
한편 메인 반송 기구(22)도 반입 기구(21) 및 반출 기구(23)와 마찬가지로 2개의 컨베이어 프레임(221, 222)을 갖고, (+Y)측 컨베이어 프레임(221)에 컨베이어(225)가 부착됨과 아울러 (-Y)측 컨베이어 프레임(222)에 컨베이어(226)가 부착되어 있다. 단, 메인 반송 기구(22)에서는 이어서 설명하는 바와 같이 컨베이어 프레임(221, 222) 및 컨베이어(225, 226)를 일체로 하여 상하 방향(Z)으로 승강가능하게 되어 있다. 그 때문에 이하에 있어서는 상이점을 중심으로 설명하고, 반입 기구(21)와 동일 구성에 대해서는 상당 부호를 달아 구성 설명을 생략한다.
메인 반송 기구(22)에서는 기대(11)의 상면에 대하여 반입 기구(21)의 (+Y)측 지지 부재(213)와 반출 기구(23)의 (+Y)측 지지 부재(233)로 샌드위칭되도록 2개의 원통 형상 가이드의 슬리브(SL)가 줄지어 고정됨과 아울러 반입 기구(21)의 (-Y)측 지지 부재(214)와 반출 기구(23)의 (-Y)측 지지 부재(234)로 샌드위칭되도록 2개의 슬리브(SL)(도 2에서는 1개만이 도시되어 있다)가 줄지어 고정된다. 또한 도 2에 나타낸 바와 같이 (+Y)측 슬리브(SL, SL)의 각각을 관통하여 샤프트(SF)가 스탠딩되고, 각 샤프트(SF)의 상단부에 대하여 (+Y)측 컨베이어 프레임(221)이 고정되어 있다. (-Y)측에 대해서도 마찬가지로 구성되어 있고, 합계 4개의 샤프트(SF)가 각 슬리브(SL)에 대하여 슬라이딩하면서 컨베이어 프레임(221, 222) 및 컨베이어(225, 226)를 일체적으로 Z축 방향(상하 방향)으로 안내한다. 또한 이들 컨베이어 프레임(221, 222) 및 컨베이어(225, 226)를 일체적으로 승강시키기 위한 구동원으로서 실린더(CY)가 기대(11)의 상면에 고정 배치되어 있다. 즉, 이어서 설명하는 기판 고정부(4)의 백업 부재(41)로부터 하방(-Z)측으로 이간되어 연결 부재(도시 생략)가 배치되어 컨베이어 프레임(221, 222)을 서로 연결한다. 또한 연결 부재는 실린더(CY)의 피스톤 선단부와 접속되어 있다. 이 때문에 컨트롤러(3)로부터의 신장 지령에 따라 실린더(CY)가 피스톤을 상방(+Z)으로 전진시키면 그 전진 동작에 따라 컨베이어 프레임(221, 222)이 상승하고, 컨베이어(225, 226)가 반입 기구측의 컨베이어(215, 216) 및 반출 기구측의 컨베이어(235, 236)와 동일 높이 위치(백업 부재(41)의 상면(기판 흡착면)(411)보다 높은 위치)에 위치 결정된다. 반대로 수축 지령에 따라 실린더(CY)가 피스톤을 하방(-Z)으로 후퇴시키면 그 후퇴 동작에 따라 컨베이어 프레임(221, 222)이 하강하고, 컨베이어(225, 226)가 백업 부재(41)의 상면(기판 흡착면)(411)보다 낮은 위치에 위치 결정된다.
이어서 기판 고정부(4)의 구성에 대하여 설명한 후에 표면 실장기(1)의 동작에 대하여 설명한다. 이 기판 고정부(4)는 백업 부재(41), 상기 백업 부재(41)를 지지하는 4개의 지주(42) 및 2개의 기판 프레싱 부재(431, 432)를 갖고 있다. 백업 부재(41)는 상면에 복수의 흡인 구멍(41a)이 뚫린 흡착 플레이트로 구성되어 있다. 이 백업 부재(41)의 상면은 직사각형 형상이며, 그 X축 방향의 길이는 기판(FB)과 거의 동등한 것에 대해 Y축 방향의 길이(플레이트 폭)(Wbu)는 도 3A에 나타낸 바와 같이 컨베이어(225, 226)의 안치수(Wcv)보다 약간 좁다. 그리고 백업 부재(41)는 작업 위치(P2)에서 상방으로부터의 평면시로 한 쌍의 컨베이어(225, 226) 사이에 위치하도록 배치되어 있다. 또한 백업 부재(41)의 상류(+X)측 단면 및 하류(-X)측 단면의 각각에 대하여 기대(11)의 상면으로부터 스탠딩된 2개의 지주(42)의 상단부가 접속된다. 이렇게 합계 4개의 지주(42)에 의해 백업 부재(41)는 상면(흡착면)(411)을 기판 반송부(2)에 의해 기판(FB)을 반송하는 반송로(TP)보다 낮은 위치에 위치시킨 상태로 기대(11)에 고정되어 있다.
또한 백업 부재(41)의 하류(-X)측 단면에는 복수의 흡인 구멍(41a)과 백업 부재(41)의 내부에서 관통하는 부압 도입 플러그(41b)가 설치되고, 이 부압 도입 플러그(41b)에 부압 공급 배관(7)의 일방단이 접속되어 있다. 이 부압 공급 배관(7)의 타방단은 도시를 생략하는 진공 펌프 등의 부압 공급원과 접속되어 있다. 그리고 컨트롤러(3)가 백업 부재(41)의 복수의 흡인 구멍(41a)에의 부압의 공급 및 공급 정지를 제어함으로써 백업 부재(41)에 의한 기판(FB)의 흡착 고정 및 흡착 해제가 실행된다.
복수의 흡인 구멍(41a)의 Y방향 양단의 흡인 구멍(41a)의 내측의 Y축 방향의 거리를 Wva1, Y방향 양단의 흡인 구멍(41a)의 외측의 Y축 방향의 거리를 Wva2로 정의하면 다음의 것을 알 수 있다. 즉, 복수의 흡인 구멍(41a)에 부압이 공급되어 기판(FB)을 백업 부재(41)에 흡착 고정한 상태에 있어서도 Y방향 양단의 흡인 구멍(41a)의 외측의 Y축 방향의 거리 Wva2의 영역의 외측이 되는 기판(FB)의 외주는 물론이고, Y방향 양단의 흡인 구멍(41a)의 내측의 Y축 방향의 거리 Wva1의 영역의 외측이 되는 기판(FB)의 외주에 있어서 휨은 교정할 수 없다.
본 실시형태에서는 기판(FB)의 Y방향 단부의 휨을 교정하기 위해서 기판 고정부(4)는 2개의 기판 프레싱 부재(431, 432)를 갖고 있다. 이들 중 (+Y)측의 기판 프레싱 부재(431)는 도 3에 나타낸 바와 같이 컨베이어 프레임(221)의 정부의 차양 형상 부재(221a)로부터 백업 부재(41)의 (+Y)측 단부의 상방 공간을 향해 돌출되도록 고정되어 있다. 이 때문에 기판 프레싱 부재(431)와 (+Y)측 컨베이어(225) 사이에 클리어런스(CL)가 형성되어 있다. 본 실시형태에서는 후술한 바와 같이 기판(FB)의 외주부의 휨을 교정하기 위해서 상기 클리어런스(CL)가 기판(FB)의 두께와 휨량의 합계값을 초과하도록 설정되어 있다. 또한 「기판(FB)의 휨량」에 대해서는 기판(FB)에 있어서 상정되는 휨량의 최대값으로 설정하는 것이 바람직하다.
한편, 즉 (-Y)측 기판 프레싱 부재(432)에 대해서는 백업 부재(41)를 사이에 두고 (+Y)측 기판 프레싱 부재(431)와 대칭으로 구성되어 있다. 즉, 기판 프레싱 부재(432)는 컨베이어 프레임(222)의 정부의 차양 형상 부재(222a)로부터 백업 부재(41)의 (-Y)측 단부의 상방 공간을 향하여 돌출되도록 고정되어 있다. 또한 기판 프레싱 부재(432)와 (-Y)측 컨베이어(226) 사이의 클리어런스(CL)도 (+Y)측과 동일값으로 설정되는 것이 바람직하다.
이어서 상기한 바와 같이 구성된 표면 실장기(1)의 동작에 도 2, 도 3A, 도 3B, 및 도 3C를 참조하면서 설명한다. 표면 실장기(1)에서는 컨트롤러(3)는 도 2에 나타낸 바와 같이 미처리의 기판(FB)을 기판 정지 위치(P1)에서 정지시킨 상태에서 상기 기판(FB)에의 부품 실장의 개시 준비가 완료되기를 기다린다. 그리고 대기 중인 기판(FB)에 대한 부품 실장이 가능해지면 컨트롤러(3)는 실장 프로그램에 따라 반입 기구(21) 및 메인 반송 기구(22)를 제어하여 기판(FB)을 작업 위치(P2)로 반송해서 위치 결정한다. 이 때 도 3A에 나타내는 바와 같이 컨베이어 프레임(221, 222)은 최상방 위치까지 상승되고, 이것에 의해 컨베이어 프레임(221, 222)에 부착된 컨베이어(225, 226)가 반입 기구측의 컨베이어(215, 216) 및 반출 기구측의 컨베이어(235, 236)와 동일 높이 위치에 위치결정되고, 컨베이어(225, 226)의 상면, 즉, 기판(FB)을 지지하는 지지면은 반송로(TP)와 일치한다. 또한 이 때 각 기판 프레싱 부재(432, 432)는 반송로(TP)로부터 소정의 클리어런스(CL)만큼 상방으로 떨어져 위치하고 있다. 이 때문에 기판(FB)의 Y축 방향측의 외주부가 휘어져 있었다고 해도 상기 기판(FB)을 반입 기구(21)로부터 메인 반송 기구(22)로 스무스하게 반송하는 것이 가능해지고 있다.
작업 위치(P2)로 반송된 기판(FB)은 백업 부재(41)의 바로위 위치에 위치하고 있고, 이 상태에서 컨트롤러(3)는 백업 부재(41)로의 부압 공급을 개시한다. 이것과 동시 또는 이것에 계속하여 컨트롤러(3)는 실린더(CY)의 피스톤을 하방(-Z)으로 후퇴시켜 컨베이어 프레임(221, 222) 및 기판 프레싱 부재(431, 432)를 일체적으로 하강시킨다. 이 하강 동작 중에 도 3B에 나타낸 바와 같이 기판(FB)의 일부가 백업 부재(41)의 상면(411)에 접촉하여 흡착된 후 더욱 하강 동작에 따라 흡착 유지되는 영역이 상면(411) 전체로 넓어져 간다. 또한 도 3C에 나타낸 바와 같이 컨베이어(225, 226)가 백업 부재(41)의 상면(기판 흡착면)(411)보다 낮은 위치로 이동하면 컨베이어(225, 226)가 기판(FB)보다 하방으로 유리(즉, 기판(FB)이 한 쌍의 컨베이어(225, 226)로부터 상방으로 이간)된다. 이 때 기판(FB) 중 부품 실장을 행하는 실장 영역(MR)의 하면 전체가 백업 부재(41)의 상면(411)에 흡착되어 고정된다.
또한 실장 영역(MR)의 흡착 유지를 실행하고 있는 사이에 기판(FB) 중 실장 영역(MR)을 제외한 비실장 영역(NMR)에 생겨 있는 휨은 기판 프레싱 부재(431, 432)에 의해 교정된다. 즉, (+Y)측 기판 프레싱 부재(431)는 컨베이어 프레임(221)과 함께 하강하고 있는 사이에 상방으로 휘어 올라간 (+Y)측 비실장 영역(NMR)과 접촉한 후 하방으로 더 압박한다. 이것에 의해 기판 프레싱 부재(431, 432)에 의한 프레싱력의 전체가 기판(FB)을 통해 백업 부재로 전해짐으로써 도 3C에 나타낸 바와 같이 (+Y)측 비실장 영역(NMR)에서 생겨 있던 휨이 교정된다. 또한 (-Y)측 기판 프레싱 부재(432)도 (+Y)측 기판 프레싱 부재(431)와 동일하게 해서 (-Y)측 비실장 영역(NMR)에서 생겨 있던 휨을 교정한다.
기판(FB)의 고정 및 교정이 완료되면 기판 프레싱 부재(431, 432)에 의해 비실장 영역(NMR)을 압박하여 휨을 교정한 상태 그대로 컨트롤러(3)는 장치 각 부를 제어한다. 보다 구체적으로는 표면 실장기(1)는 Y방향 양단의 흡인 구멍(41a)의 내측의 Y축 방향의 거리(Wva1)의 영역의 외측이 되는 기판(FB)의 외주에 부여된 피두셜 마크의 화상 인식을 행하고, 실장 영역(MR)의 표면에 Y방향 양단의 흡인 구멍(41a)의 내측의 Y축 방향의 거리(Wva1)의 영역의 외측이 되는 기판(FB)의 외주를 포함하여 부품을 실장한다. 또한 부품 실장이 완료되면 컨트롤러(3)는 백업 부재(41)로의 부압 공급을 정지함과 아울러 백업 부재(41)의 흡인 구멍(41a)으로의 부압 공급로를 대기 개방한다. 그 후 컨트롤러(3)는 실린더(CY)의 피스톤을 상방(+Z)으로 전진시켜 컨베이어 프레임(221, 222) 및 기판 프레싱 부재(431, 432)를 일체적으로 상승시킨다. 이것에 의해 비실장 영역(NMR)을 압박하고 있던 기판 프레싱 부재(431, 432)는 서서히 비실장 영역(NMR)으로부터 상방으로 멀어져 감과 아울러 부품 실장된 기판(FB)이 백업 부재(41)로부터 컨베이어(225, 226) 상으로 이동된다.
백업 부재(41)로부터 컨베이어(225, 226)로의 기판 이동이 완료되면 컨트롤러(3)는 메인 반송 기구(22) 및 반출 기구(23)를 제어하여 기판(FB)을 표면 실장기(1)로부터 반출한다.
이상과 같이 본 실시형태에 의하면 작업 위치(P2)에서 백업 부재(41)에 의해 기판(FB)을 하방으로부터 지지된 상태에서 기판 프레싱 부재(431, 432)에 의해 기판(FB)의 비실장 영역(NMR)의 표면을 하방으로 압박하고 있기 때문에 백업 부재(41)에 의한 기판(FB)의 고정과 함께 기판(FB)의 비실장 영역(NMR)의 휨을 양호하게 교정할 수 있다. 또한 본 실시형태에서는 흡인력에 의해 기판(FB)의 실장 영역(MR)보다 내측이 되는 Y방향 양단의 흡인 구멍(41a)의 외측의 Y축 방향의 거리(Wva2)의 영역의 하면을 흡착 유지하고 있고, Y방향 양단의 흡인 구멍(41a)의 내측의 Y축 방향의 거리(Wva1)의 영역의 외측이 되는 실장 영역(MR), 및 실장 영역(MR)의 외측에 위치하는 비실장 영역(NMR)의 휨은 흡인력의 저하를 초래하는 주요인이 된다. 그러나 본 실시형태에서는 상기한 바와 같이 기판 고정부(4)는 2개의 기판 프레싱 부재(431, 432)를 갖고 있고, Y방향 양단의 흡인 구멍(41a)의 내측의 Y축 방향의 거리(Wva1)의 영역의 외측이나 비실장 영역(NMR)의 휨을 확실히 교정할 수 있기 때문에 백업 부재(41)에 의해 기판(FB)을 확실하고, 또한 안정하게 고정할 수 있다. 또한 기판(FB)의 외주부에 달린 복수의 피두셜 마크가 Y방향 양단의 흡인 구멍(41a)의 내측의 Y축 방향의 거리(Wva1)의 영역의 외측에 부여되어 있는 경우에 있어서도 기판 프레싱 부재(431, 432)에 의한 교정 처리를 실행한 채 복수의 피두셜 마크를 촬영하여 기판 위치 및 기판 방향을 화상 인식에 의해 검출한다. 기판(FB)에의 부품 실장 시에는 검출된 기판 위치 및 기판 방향에 의거하여 미리 기판(FB) 상에 설정된 부품 탑재 위치가 보정되고, 이것에 의해 올바른 위치에 실장이 가능해진다.
또한 실장 영역(MR) 중 Y방향 양단의 흡인 구멍(41a)의 내측의 Y축 방향의 거리(Wva1)의 영역의 외측에 부품 실장하는 경우에 있어서도 기판 프레싱 부재(431, 432)에 의한 교정 처리를 실행하여 휨이 없는 평탄한 기판(FB)에 대하여 부품 실장이 행해지므로 미리 기판(FB) 상에 설정된 부품 탑재 위치에 올바르게 부품 실장할 수 있다.
또한 백업 부재(41)의 Y방향 바깥쪽에 (+Y)측 슬리브(SL), 샤프트(SF) 및 실린더(CY)가 배치되어 있어 백업 부재(41)가 장해가 될 일 없고, (+Y)측으로부터 (+Y)측 슬리브(SL), 샤프트(SF) 및 실린더(CY)의 점검이 하기 쉬워 보수 관리가 용이해진다. 마찬가지로 백업 부재(41)의 Y방향 바깥쪽에 (-Y)측 슬리브(SL), 및 샤프트(SF)가 배치되어 있어 백업 부재(41)가 장해가 될 일 없고, (-Y)측으로부터 (-Y)측 슬리브(SL), 및 샤프트(SF)의 점검이 하기 쉬워 보수 관리가 용이해진다. 또한 복수의 슬리브(SL), 샤프트(SF) 및 실린더(CY)는 본 발명의 「승강 구동부」의 일례에 상당하고 있다.
도 4A, 도 4B 및 도 4C는 본 발명에 의한 기판 고정 장치의 제 2 실시형태를 나타내는 도면이다. 이 제 2 실시형태가 제 1 실시형태와 상이한 점은 충격 완충 부재를 추가한 점이고, 그 외 구성은 제 1 실시형태와 동일하다. 그래서 이하에 있어서는 상이점을 중심으로 설명하고, 동일 구성에 대해서는 동일 부호를 달아 구성 설명을 생략한다.
제 1 실시형태에서는 기판 프레싱 부재(431, 432)는 각각 직접 컨베이어 프레임(221, 222)에 부착되어 있지만 제 2 실시형태에서는 각각 충격 완화 부재(441, 442)를 통해 컨베이어 프레임(221, 222)에 부착되어 있다. 즉, (+Y)측 컨베이어 프레임(221)에는 (+Y)측의 충격 완화 부재(441)를 삽입하기 위한 오목부가 (+Z)방향으로 개구되어 설치되어 있다. 이 충격 완화 부재(441)는 압축 코일 스프링(451)과 샤프트(461)로 구성되어 있다. 샤프트(461)의 하단에는 스프링 수용부(461a)가 설치되고, 상단부는 스프링이 형성되어 있다. 그리고 압축 코일 스프링(451)을 스프링 수용부(461a)에서 수용한 상태로 압축 코일 스프링(451) 및 샤프트(461)는 상기 개구로부터 오목부의 내부에 삽입됨과 아울러 샤프트(461)의 상단부가 프레임(221)의 차양 형상 부재(221a)에 나사로 조여져 연결되어 있다. 이것에 의해 샤프트(461)의 상단부는 (+Y)측 기판 프레싱 부재(431)와 접속되어 있다. 이 때문에 (+Y)측 기판 프레싱 부재(431)는 압축 코일 스프링(451)의 바이어싱력을 받으면서 컨베이어 프레임(221)에 대하여 상하 방향(Z)으로 이동가능하게 연결되어 있다. 또한 오목부의 (-Z)방향의 개구는 커버 부재로 커버된다.
한편 (-Y)측의 충격 완화 부재(442)도 (+Y)측 충격 완화 부재(441)와 동일하게 구성되어 있다. 즉, 압축 코일 스프링(452)을 스프링 수용부(462a)에서 수용한 상태에서 (-Y)측 컨베이어 프레임(222)에 설치된 오목부에 대하여 압축 코일 스프링(452) 및 샤프트(462)가 삽입되고, 또한 샤프트(462)의 상단부가 프레임(222)의 차양 형상 부재(222a)에 나사로 조여져 (-Y)측 기판 프레싱 부재(432)와 접속되어 있다. 이 때문에 (-Y)측 기판 프레싱 부재(432)는 압축 코일 스프링(452)의 바이어싱력을 받으면서 컨베이어 프레임(222)에 대하여 상하 방향(Z)으로 이동가능하게 연결되어 있다.
이렇게 구성된 제 2 실시형태에 있어서도 제 1 실시형태와 동일하게 하여 기판 프레싱 부재(431, 432)에 의한 비실장 영역(NMR)을 압박, 압박 해제가 실행되지만 충격 완화 부재(441, 442)를 추가한 점에서 다음 작용 효과가 얻어진다. 즉, 교정 처리를 행할 때 비실장 영역(NMR)에 인가되는 압박력은 비실장 영역(NMR)에 대한 기판 프레싱 부재(431, 432)의 접촉 초기 단계에서 완만하게 상승한 후에 일정값으로 유지되어 휨의 교정 처리가 실행된다. 반대로 부품 실장 후에 기판 프레싱 부재(431, 432)를 비실장 영역(NMR)으로부터 이간시킬 때 상기 압박력은 완만하게 감소해 간다. 이 때문에 휨의 교정 시에 발휘되는 압박력을 안정화할 수 있다. 또한 기판 프레싱 부재(431, 432)를 기판(FB)의 비실장 영역(NMR)으로부터 이간시킬 때에도 상기 압박력이 급격하게 변동하는 것을 억제할 수 있고, 상기 이간 시에 있어서 기판(FB)에 작용하는 충격을 완화할 수 있고, 그 결과 실장 부품의 위치 어긋남을 보다 효과적으로 방지할 수 있다.
도 5는 본 발명에 의한 기판 고정 장치의 제 3 실시형태인 기판 고정부를 장비한 기판 작업 장치를 나타내는 도면이며, 상기 기판 작업 장치에 있어서의 기판 고정부 및 기판 반송부의 부분 사시도이다. 또한 도 6A, 도 6B, 도 6C 및 도 6D는 기판 고정부의 동작을 모식적으로 나타내는 도면이다. 또한 이들 도면에서는 각 도면의 방향 관계를 명확히 하기 위해 XYZ 직각 좌표축이 나타내어져 있다.
도 5에 나타내는 기판 작업 장치는 도 1에 나타내는 기판 작업 장치와 마찬가지로 기판(FB)의 실장 영역(MR)(도 6D)에 부품을 실장하는 표면 실장기(1)이며, 기판 고정부를 제외하고 제 1 실시형태와 기본적으로 동일 구성을 갖고 있다. 따라서 이하에 있어서는 상이점을 중심으로 설명하고, 동일 구성에 대해서는 동일 부호를 달아 구성 설명을 생략한다.
본 실시형태에 의한 기판 고정부(4)는 백업 부재(41), 상기 백업 부재(41)를 지지하는 4개의 지주(42), 2개의 기판 프레싱 부재(433, 434), 2개의 가동 부재(471, 472) 및 스위칭 구동부(도시 생략)를 갖고 있다. 백업 부재(41)는 그 X축 방향의 길이가 기판(FB)의 X축 방향의 길이(소위 기판 길이)보다 약간 짧은 점을 제외하고 제 1 실시형태와 동일하게 구성되어 있다. 즉, 백업 부재(41)는 상면에 복수의 흡인 구멍(41a)이 뚫린 흡착 플레이트로 구성되어 있고, 작업 위치(P2)에서 상방으로부터의 평면시로 한 쌍의 컨베이어(225, 226)의 사이에 위치하도록 배치되어 있다. 또한 이 백업 부재(41)는 4개의 지주(42)에 의해 상면(흡착면)(411)을 기판 반송부(2)에 의해 기판(FB)을 반송하는 반송로(TP)보다 낮은 위치에 위치시킨 상태로 기대(11)에 대하여 고정되어 있다. 백업 부재(41)의 하류(-X)측 단면에는 부압 공급 배관(7)의 일방단이 접속되어 있다. 이 부압 공급 배관(7)의 타방단은 도시를 생략하는 진공 펌프 등의 부압 공급원과 접속되어 있다. 그리고 컨트롤러(3)가 백업 부재(41)로의 부압의 공급 및 공급 정지를 제어함으로써 백업 부재(41)에 의한 기판(FB)의 흡착 고정 및 흡착 해제를 실행한다.
제 3 실시형태에 있어서도 2개의 기판 프레싱 부재(433, 434)에 의해 기판(FB)의 휨을 교정하지만 후술한 바와 같이 기판 프레싱 부재(433, 434)가 각각 기판(FB)의 (+X)측 단부 및 (-X)측 단부를 프레싱하여 교정 처리를 행하기 위해서 다음과 같이 구성되어 있다. 백업 부재(41)의 상류측, 즉 (+X)측에서는 Y축 방향으로 연장되는 가동 부재(471)가 컨베이어 프레임(221, 222) 사이에서 백업 부재(41)에 인접하여 배치되어 있다. 이 가동 부재(471)는 도 6A에 나타낸 바와 같이 지면(XZ 평면)에 있어서 대략 L자 단면을 갖고, 그 일방단부(471a)가 컨베이어 프레임(221, 222)에 양단이 고착된 지지축(473)에 축 지지되어 회전가능하게 지지되어 있다. 그리고 가동 부재(471)는 도시를 생략하는 실린더나 모터 등의 스위칭 구동부로부터 부여되는 구동력에 의해 가동 부재(471)는 회전하여 타방단부(471b)의 위치를 컨베이어(225, 226)보다 낮은 위치(도 6A 참조) 및 높은 위치(도 6B, 도 6C 및 도 6D 참조) 사이에서 스위칭한다.
가동 부재(471)의 타방단부(471b)에는 기판 프레싱 부재(433)가 부착되어 있다. 그리고 스위칭 구동부에 의해 가동 부재(471)의 타방단부(471b)가 컨베이어(225, 226)보다 낮은 위치로 스위칭되면 도 6A에 나타낸 바와 같이 기판 프레싱 부재(433)는 가동 부재(471)와 함께 반송로(TP)보다 낮고, 기판(FB)과의 간섭이 발생하지 않는 퇴피 위치에 위치 결정된다. 한편 스위칭 구동부에 의해 가동 부재(471)의 타방단부(471b)가 컨베이어(225, 226)보다 높은 위치로 스위칭되면 도 6B에 나타낸 바와 같이 기판 프레싱 부재(433)는 가동 부재(471)와 함께 컨베이어(225, 226)보다 높고, 가동 부재(471)로부터 백업 부재(41)의 (+Y)측 단부의 상방 공간을 향해 돌출되도록 위치 결정된다.
한편 백업 부재(41)의 하류측, 즉 (-X)측에 있어서는 백업 부재(41)를 사이에 두고 가동 부재(471) 및 기판 프레싱 부재(433)와 대칭적으로 가동 부재(472) 및 기판 프레싱 부재(434)가 배치되어 있다. 즉, XZ 평면에서 대략 L자 단면을 갖는 가동 부재(472)가 컨베이어 프레임(221, 222) 사이에서 백업 부재(41)의 (-X)측에 인접하고, 컨베이어 프레임(221, 222)에 양단이 고착된 지지축(474)에 축 지지되어서 회전가능하게 설치되어 있다. 그리고 상기 스위칭 구동부로부터 부여되는 구동력에 의해 가동 부재(472)는 회동가능하여 타방단부(472b)의 위치를 컨베이어(225, 226)보다 낮은 위치(도 6A 참조) 및 높은 위치(도 6B, 도 6C 및 도 6D 참조) 사이에서 스위칭한다. 또한 가동 부재(472)의 타방단부(472b)에는 기판 프레싱 부재(434)가 부착되어 있고, (+X)측의 가동 부재(471)와 마찬가지로 반송로(TP)로부터 떨어진 퇴피 위치와 컨베이어(225, 226)의 상방 위치로 스위칭된다.
이어서 상기한 바와 같이 구성된 표면 실장기(1)의 동작을 도 5, 도 6A, 도 6B, 도 6C 및 도 6D를 참조하면서 설명한다. 표면 실장기(1)에서는 제 1 실시형태와 마찬가지로 도 5에 나타낸 바와 같이 기판 정지 위치(P1)에서 대기 중인 기판(FB)에 대한 부품 실장이 가능해지면 컨트롤러(3)는 실장 프로그램에 따라 반입 기구(21) 및 메인 반송 기구(22)를 제어하여 기판(FB)을 작업 위치(P2)로 반송하여 위치 결정한다. 이 제 3 실시형태에서는 작업 위치(P2)에 위치 결정된 기판(FB)은 도 6A에 나타낸 바와 같이 기판(FB)의 (+X)측 단부가 백업 부재(41)보다 (+X)측에 위치함과 아울러 (-X)측 단부가 백업 부재(41)보다 (-X)측에 위치하도록 작업 위치(P2)에 위치 결정된다. 이렇게 작업 위치(P2)로 기판(FB)을 반송하고 있는 사이 가동 부재(471, 472) 및 기판 프레싱 부재(433, 434)는 반송로(TP)로부터 떨어진 퇴피 위치로 퇴피되어 있어 기판(FB)과의 간섭이 회피되어 있다.
그것에 계속하여 도시를 생략하는 스위칭 구동부가 작동하고, 가동 부재(471, 472)를 도 6B의 지면에 있어서 각각 시계방향 및 반시계 방향으로 회전시킨다. 이것에 의해 기판(FB)의 (+X)측에서 기판 프레싱 부재(433)가 컨베이어(225, 226)로부터 소정의 클리어런스(CL)만큼 상방으로 떨어져 위치함과 아울러 기판(FB)의 (-X)측에서 기판 프레싱 부재(434)도 컨베이어(225, 226)로부터 소정의 클리어런스(CL)만큼 상방으로 떨어져서 위치한다.
이것에 계속하여 컨트롤러(3)는 백업 부재(41)로의 부압 공급을 개시한다. 이것과 동시 또는 그 후에 컨트롤러(3)는 실린더(CY)의 피스톤을 하방으로 후퇴시켜 컨베이어 프레임(221, 222) 및 기판 프레싱 부재(433, 434)를 일체적으로 하강시킨다. 이 하강 동작 중에 도 6C에 나타낸 바와 같이 기판(FB)의 일부가 백업 부재(41)의 상면(411)에 접촉하여 흡착된 후 더욱 하강 동작에 따라 흡착 유지되는 영역이 상면(411) 전체로 넓어져 간다. 그리고 도 6D에 나타낸 바와 같이 컨베이어(225, 226)가 백업 부재(41)의 상면(기판 흡착면)(411)보다 낮은 위치로 이동하면 컨베이어(225, 226)가 기판(FB)보다 하방으로 유리(즉, 기판이 한 쌍의 컨베이어(225, 226)로부터 상방으로 이간)되어 기판(FB) 중 부품 실장을 행하는 실장 영역(MR)의 하면 전체가 백업 부재(41)의 상면(411)에 흡착되어 고정된다.
또한 실장 영역(MR)의 흡착 유지를 실행하고 있는 사이에 기판(FB) 중 실장 영역(MR)을 제외한 비실장 영역(NMR)에 발생되어 있는 휨은 기판 프레싱 부재(433, 434)에 의해 교정된다. 즉, (+X)측 기판 프레싱 부재(433)는 컨베이어 프레임(221)과 함께 하강하고 있는 사이에 상방으로 휘어 올라간 (+X)측 비실장 영역(NMR)과 접촉한 후 하방으로 더 압박된다. 이것에 의해 기판 프레싱 부재(433)에 의한 프레싱력의 전체가 기판(FB)을 통해 백업 부재(41)에 전해지고, (+X)측 비실장 영역(NMR)에서 발생되어 있었던 휨이 교정된다. 또한 (-X)측 기판 프레싱 부재(434)도 (+X)측 기판 프레싱 부재(433)와 동일하게 하여 (-X)측 비실장 영역(NMR)에서 발생되어 있었던 휨을 교정한다.
기판(FB)의 고정 및 교정이 완료되면 기판 프레싱 부재(433, 434)에 의해 비실장 영역(NMR)을 압박하여 휨을 교정한 상태 그대로 컨트롤러(3)는 장치 각 부를 제어하여 실장 영역(MR)의 표면에 부품을 실장한다. 또한 부품 실장이 완료된면 컨트롤러(3)는 백업 부재(41)으로의 부압 공급을 정지함과 아울러 백업 부재(41)의 흡인 구멍(41a)을 대기 개방한다. 또한 컨트롤러(3)는 실린더(CY)의 피스톤을 상방으로 전진시켜 컨베이어 프레임(221, 222), 가동 부재(471, 472) 및 기판 프레싱 부재(433, 434)를 일체적으로 상승시킨다. 이것에 의해 비실장 영역(NMR)을 압박한 기판 프레싱 부재(433, 434)는 서서히 비실장 영역(NMR)으로부터 상방으로 멀어져감과 아울러 부품 실장된 기판(FB)이 백업 부재(41)로부터 컨베이어(225, 226) 상으로 이동된다.
백업 부재(41)로부터 컨베이어(225, 226)로의 기판 이동이 완료되면 컨트롤러(3)는 스위칭 구동부를 제어하여 가동 부재(471, 472)를 도 6D의 지면에 있어서 각각 반시계 방향 및 시계방향으로 회전시킨다. 이것에 의해 기판 프레싱 부재(433, 434)는 퇴피 위치에 위치 결정된다. 그리고 컨트롤러(3)는 메인 반송 기구(22) 및 반출 기구(23)를 제어하여 기판(FB)을 표면 실장기(1)로부터 반출한다.
이상과 같이 본 실시형태에 있어서는 기판(FB)을 반송로(TP)를 따라 반송할 때에 가동 부재(471, 472) 및 기판 프레싱 부재(433, 434)를 반송로(TP)로부터 떨어진 위치로 퇴피시키지만 제 1 실시형태와 동일하게 하여 작업 위치(P2)에 위치 결정된 기판(FB)의 외주부의 휨을 교정하고 있다. 이 때문에 제 1 실시형태와 동일한 작용이 얻어진다.
또한 상기 실시형태에 있어서는 백업 부재(41)는 상면에 복수의 흡인 구멍(41a)이 뚫린 흡착 플레이트로 구성되어 있고, 복수의 흡인 구멍(41a)에 부압을 공급함으로써 기판(FB)을 백업 부재(41) 상면에 고정하도록 하고 있다. 그러나 상면에 복수의 흡인 구멍(41a)을 뚫지 않은 백업 부재(41)로 기판(FB)을 지지하는 표면 실장기(1)나 인쇄기, 기판 검사 장치 등의 기판 작업 장치에 있어서 기판(FB)의 유지 고정은 기판 프레싱 부재(431~434)에 의한 기판 프레싱력을 한 쌍의 컨베이어(225, 226)로부터 상방으로 이간하는 기판(FB)을 통해 백업 부재(41)에 작용시킴으로써 기판(FB)의 외주부의 휨의 교정을 겸하여 실시하도록 해도 좋다.
이렇게 상기 실시형태에서는 컨베이어 프레임(221, 222)이 각각 본 발명의 「제 1 반송 프레임」 및 「제 2 반송 프레임」의 일례에 상당하고 있다. 또한 한 쌍의 컨베이어(225, 226)가 본 발명의 「한 쌍의 반송 부재」로서 기능하고, 필름 형상의 기판(FB)을 작업 위치(P2)로 반송한다. 또한 기판 프레싱 부재(431~434)가 각각 본 발명의 「제 1 기판 프레싱 부재」, 「제 2 기판 프레싱 부재」, 「제 3 기판 프레싱 부재」 및 「제 4 기판 프레싱 부재」의 일례에 상당하고 있다. 또한 충격 완화 부재(441, 442)가 각각 본 발명의 「제 1 기판 프레싱 부재」 및 「제 2 기판 프레싱 부재」의 일례에 상당하고 있다. 또한 가동 부재(471, 472)가 각각 본 발명의 「제 1 가동 부재」 및 「제 2 가동 부재」의 일례에 상당하고 있다. 또한 헤드 유닛(6)이 본 발명의 「기판 작업부」로서 기능하고 있다.
또한 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 그 취지를 일탈하지 않는 한에 있어서 상술한 것에 대하여 여러가지 변경을 가하는 것이 가능하다. 예를 들면 상기 제 3 실시형태에서는 가동 부재(471, 472)에 대하여 기판 프레싱 부재(433, 434)를 각각 직접 부착하고 있지만 제 2 실시형태와 마찬가지로 충격 완충 부재를 통해 부착해도 좋다.
즉, 지지축(473, 474)의 양단을 직접 컨베이어 프레임(221, 222)에 고착하는 것은 아니고 제 2 실시형태의 샤프트(461, 462) 상당의 상단부에 각각 지지축(473, 474)을 연결 고정하도록 하고, 지지축(473, 474) 및 가동 부재(471, 472)를 통해 기판 프레싱 부재(433, 434)에 각각 압축 코일 스프링(451, 452) 상당의 바이어싱력을 작용시키도록 하고, 기판 프레싱 부재(433, 434)는 각각 압축 코일 스프링(451, 452) 상당의 바이어싱력을 받으면서 컨베이어 프레임(221, 222)에 대하여 각각 상하 방향(Z)으로 이동가능하게 하는 구성으로 할 수 있다.
또한 상기 실시형태에서는 백업 부재(41)를 고정 배치하는 반면 메인 반송 기구(22)의 구성 부품(컨베이어 프레임, 컨베이어, 기판 프레싱 부재 등)을 승강시켜 기판(FB)의 이동 및 휨 교정 처리를 실행하고 있지만 메인 반송 기구(22)를 고정 배치하는 반면에 백업 부재(41)를 승강시켜 기판 이재 및 휨 교정을 행하도록 구성해도 좋다. 이 경우 반입 기구(21), 메인 반송 기구(22) 및 반출 기구(23)를 일체화하고, 즉, 한 쌍의 컨베이어만으로 작업 위치(P2)로 기판(FB)을 반송하도록 기판 반송부(2)를 구성한 표면 실장기에 대하여 본 발명을 적용해도 좋다.
또한 상기 실시형태에서는 메인 반송 기구(22)의 내측에 양 컨베이어 프레임(221, 222)의 중간에 위치하는 백업 부재(41)를 고정 배치하는 반면 백업 부재(41)의 외측이 되는 메인 반송 기구(22)의 구성 부품(컨베이어 프레임, 컨베이어, 기판 프레싱 부재 등)을 승강시켜 기판(FB)의 이재 및 휨 교정 처리를 실행하므로 실린더(CY), 샤프트(SF), 슬리브(SL) 등으로 이루어지는 승강 구동부의 점검을 하기 쉬워 보수 관리가 용이해진다.
또한 제 1 실시형태 및 제 2 실시형태에서는 기판 프레싱 부재(431, 432)에 의해 기판(FB)의 Y축 방향측의 단부에서 발생하는 휨을 교정하고, 제 3 실시형태에서는 기판 프레싱 부재(433, 434)에 의해 기판(FB)의 X축 방향측의 단부에서 발생하는 휨을 교정하고 있지만 기판 프레싱 부재의 개수나 배치 위치는 이것에 한정되는 것은 아니고, 임의로 예를 들면 기판 프레싱 부재(431~434)로 기판(FB)의 외주부 전체를 프레싱하여 휨을 교정해도 좋다.
또한 상기 실시형태에서는 본 발명에 의한 기판 고정 기술을 표면 실장기(1)에 적용하고 있지만, 상기 기판 고정 기술의 적용 대상은 이것에 한정되는 것은 아니고, 기판에 실장된 부품을 검사하는 검사 장치, 기판에 접착제 등을 기판에 도포 하는 디스펜서, 또는 기판을 고정하면서 마스크측을 이동하여 위치 맞춤해서 기판 표면에 크림 땜납을 인쇄하는 인쇄 장치 등에도 적용할 수 있다.
상기한 바와 같이 구성된 발명에서는 기판이 작업 위치에서 한 쌍의 반송 부재로부터 상방으로 이간되면서 백업 부재에 의해 하방으로부터 지지된 상태에서 기판 프레싱 부재가 상기 기판의 외주부 표면을 하방으로 압박한다. 이것에 의해 기판 프레싱 부재에 의한 프레싱력 전체가 기판을 통해 백업 부재에 전해짐으로써 기판 프레싱 부재와 백업 부재에 의해 기판이 고정됨과 아울러 기판의 외주부의 휨이 양호하게 교정된다. 또한 이러한 기판 고정 기술을 이용함으로써 기판의 외주부의 휨을 교정한 상태 그대로 기판 프레싱 부재로 압박한 영역을 제외한 기판의 표면 영역에 대하여 소정의 작업을 행하는 것이 가능해져 상기 작업을 양호하게 행할 수 있다. 특히 기판의 외주부 상면에 피두셜 마크가 위치하는 경우이어도 그 부분의 휨을 교정한 상태로 인식할 수 있어 올바른 기판 위치, 기판 방향을 검출할 수 있고, 그 후의 기판의 표면 영역에 대해서의 소정의 작업에 있어서 상기 작업을 양호하게 행할 수 있다.
여기서 백업 부재가 상면에 흡인 구멍을 갖고, 작업 위치로 반송된 기판의 하면을 상면에서 지지하면서 흡착하여 고정하도록 구성해도 좋다. 이렇게 기판을 백업 부재의 상면에서 흡착하는 경우 예를 들면 일본 특허 공개 2004-296632호 공보에 기재된 발명과 같이 기판 표면에 기판 프레싱 부재를 압박하여 휨을 교정했다고 해도 기판 프레싱 부재를 기판 표면으로부터 퇴피시키면 기판의 외주부에 휨이 생기고, 게다가 그 휨에 의해 기판 주변 가까이에서의 흡인력이 저하하여 휨을 더 확대시켜 버린다. 이것에 대하여 본 발명에서는 기판 프레싱 부재가 상기 기판의 외주부 표면을 하방으로 압박하여 휨을 교정하고 있기 때문에 기판 주변 가까이에 있어서도 흡인력이 저하되는 일 없이 백업 부재에 의해 기판을 확실하고 또한 안정되게 고정할 수 있다.
여기서 승강 구동부는 백업 부재의 바깥쪽에 있어서 기판 프레싱 부재를 한 쌍의 반송 부재와 함께 승강시키도록 구성해도 좋다. 이것에 의해 승강 구동부는 백업 부재의 바깥쪽에 위치함으로써 점검을 하기 쉬워 보수 관리가 용이해진다.
또한 기판 프레싱 부재를 한 쌍의 반송 부재와 함께 하강시키기 위해서 예를 들면 한 쌍의 반송 부재의 한 쪽을 지지하는 제 1 반송 프레임 및 다른 쪽을 지지하는 제 2 반송 프레임 중 적어도 한 쪽에 기판 프레싱 부재를 부착해도 좋다. 이 경우 기판 반송 및 기판 교정을 양립시키기 위해서는 기판의 두께 및 휨량을 가산한 값보다 큰 거리만큼 기판 프레싱 부재를 한 쌍의 반송 부재로부터 상방으로 이간시키는 것이 바람직하다.
또한 기판 프레싱 부재로서 반송로와 평행하게 각각 연장되는 제 1 기판 프레싱 부재와 제 2 프레싱 부재를 이용할 수 있고, 예를 들면 제 1 기판 프레싱 부재를 제 1 반송 프레임에 부착함과 아울러 제 2 기판 프레싱 부재를 제 2 반송 프레임에 부착해도 좋다. 이러한 구성을 채용함으로써 반송 방향과 직교하는 기판 폭 방향에 있어서의 기판의 양단부가 각각 제 1 기판 프레싱 부재 및 제 2 프레싱 부제로 하방으로 압박되어 휨이 교정된다.
또한 제 1 기판 프레싱 부재는 제 1 충격 완화 부재를 통해 제 1 반송 프레임에 부착되고, 제 2 기판 프레싱 부재는 제 2 충격 완화 부재를 통해 제 2 반송 프레임에 부착되도록 구성해도 좋다. 이렇게 충격 완화 부재를 삽입함으로써 기판 프레싱 부재가 기판의 외주부 표면에 부여하는 압박력을 안정화시킬 수 있다. 또한 기판 프레싱 부재를 기판의 외주부 표면으로부터 이간시킬 때에도 상기 압박력이 급격하게 변동하는 것을 억제하고, 상기 이간 시에 있어서 기판에 작용되는 충격을 완화할 수 있다.
또한 기판 프레싱 부재로서 반송 방향과 직교하는 기판 폭 방향으로 연장되는 제 3 기판 프레싱 부재와 제 4 기판 프레싱 부재를 이용해도 좋다. 즉, 기판을 반송하는 반송 방향에 있어서의 백업 부재의 상류측에서 제 1 반송 프레임 및 제 2 반송 프레임에 대하여 이동가능하게 지지되는 제 1 가동 부재와, 반송 방향에 있어서의 백업 부재의 하류측에서 제 1 반송 프레임 및 제 2 반송 프레임에 대하여 이동가능하게 지지되는 제 2 가동 부재와, 제 1 가동 부재 및 제 2 가동 부재를 이동시키는 이동부를 설치하고, 제 3 기판 프레싱 부재가 제 1 가동 부재에 부착됨과 아울러 제 4 기판 프레싱 부재가 제 2 가동 부재에 부착되고, 이동부가 제 1 가동 부재의 이동에 의해 제 3 기판 프레싱 부재를 백업 부재의 상류측에서 작업 위치로 반송된 기판의 외주부 표면의 상방 위치와 반송로로부터 떨어진 제 1 퇴피 위치로 이동시키고, 제 2 가동 부재의 이동에 의해 제 4 기판 프레싱 부재를 백업 부재의 하류측에서 작업 위치로 반송된 기판의 외주부 표면의 상방 위치와 반송로로부터 떨어진 제 2 퇴피 위치로 이동시키도록 구성해도 좋다. 이러한 구성을 채용함으로써 반송 방향에 있어서의 기판의 양단부가 각각 제 3 기판 프레싱 부재 및 제 4 기판 프레싱 부재로 하방으로 압박되어 휨이 교정된다.
또한 제 3 기판 프레싱 부재가 제 3 충격 완화 부재를 통해 제 1 가동 부재에 부착되고, 제 4 기판 프레싱 부재가 제 4 충격 완화 부재를 통해 제 2 가동 부재에 부착되도록 구성해도 좋고, 이것에 의해 제 1 충격 완화 부재 및 제 2 충격 완화 부재를 설치한 경우와 동일한 작용 효과가 얻어진다.
이 발명에 의하면 기판이 한 쌍의 반송 부재로부터 상방으로 이간되면서 백업 부재에 의해 하방으로부터 지지된 상태에서 기판 프레싱 부재가 상기 기판의 외주부 표면을 하방으로 압박한다. 이것에 의해 기판 프레싱 부재에 의한 프레싱력 전체가 기판을 통해 백업 부재에 전해지므로 상기 기판의 외주부에 생겨 있는 휨 변형을 양호하게 교정할 수 있다. 또한 기판의 외주부를 기판 프레싱 부재로 프레싱된 상태에서 기판 프레싱 부재로 프레싱된 영역을 제외한 표면 영역에 대하여 소정의 작업을 실시하는 것이 가능하고, 휨의 영향을 받을 일 없어 상기 작업을 양호하게 행할 수 있다.
1 표면 실장기(기판 작업 장치) 2 기판 반송부
4 기판 고정부 6 헤드 유닛(기판 작업부)
22 메인 반송 기구 41 백업 부재
221, 222 컨베이어 프레임(반송 프레임)
225, 226 컨베이어(반송 부재)
431~434 기판 프레싱 부재 441, 442 충격 완화 부재
471, 472 가동 부재 CL 클리어런스
CY 실린더(승강 구동부) FB 기판
P2 작업 위치 TP 반송로
X 반송 방향

Claims (14)

  1. 서로 이간되어 배치되는 한 쌍의 반송 부재에 의해 하방으로부터 지지되면서 반송로를 따라 반송되는 필름 형상의 기판을 상기 반송로의 도중의 작업 위치에서 지지하여 고정하는 기판 고정 장치로서,
    상방으로부터의 평면시로 상기 한 쌍의 반송 부재 사이에 위치함과 아울러 상기 작업 위치로 반송된 기판의 하방에 위치하는 백업 부재와,
    상기 기판의 두께 및 휨량을 가산한 값보다 큰 거리만큼 상기 한 쌍의 반송 부재로부터 상방으로 이간된 상태에서, 상기 한 쌍의 반송 부재의 일방을 지지하는 제 1 반송 프레임 및 타방을 지지하는 제 2 반송 프레임 중 적어도 한 쪽에 부착되어, 상기 작업 위치로 반송된 기판의 외주 표면의 상방에 위치하는 기판 프레싱 부재와,
    상기 백업 부재 및 상기 기판 프레싱 부재 중 적어도 한 쪽을 승강시키는 승강 구동부와,
    상기 기판을 반송하는 반송 방향에 있어서의 상기 백업 부재의 상류측에서 상기 제 1 반송 프레임 및 제 2 반송 프레임에 대하여 이동 가능하게 지지되는 제 1 가동 부재와,
    상기 반송 방향에 있어서의 상기 백업 부재의 하류측에서 상기 제 1 반송 프레임 및 상기 제 2 반송 프레임에 대하여 이동 가능하게 지지되는 제 2 가동 부재와,
    상기 제 1 가동 부재 및 상기 제 2 가동 부재를 이동시켜 상기 제 1 가동 부재 및 상기 제 2 가동 부재의 위치를 스위칭하는 스위칭 구동부를 구비하고,
    상기 승강 구동부는, 상기 백업 부재를 상승시키거나, 상기 기판 프레싱 부재를 상기 한 쌍의 반송 부재와 함께 하강시키거나, 상기 백업 부재를 상승시킴과 아울러 상기 기판 프레싱 부재를 상기 한 쌍의 반송 부재와 함께 하강시킴으로써, 상기 백업 부재에 의해 상기 기판을 하방으로부터 지지하면서 상기 한 쌍의 반송 부재로부터 상방으로 이간함과 아울러 상기 기판 프레싱 부재에 의해 상기 기판의 외주부 표면을 하방으로 압박하여 상기 기판의 외주부의 휨을 교정하고,
    상기 기판 프레싱 부재로서 상기 반송 방향과 직교하는 기판 폭 방향으로 연장되는 제 3 기판 프레싱 부재와 제 4 기판 프레싱 부재를 갖고 있고,
    상기 제 3 기판 프레싱 부재는 상기 제 1 가동 부재에 부착됨과 아울러, 상기 제 4 기판 프레싱 부재는 상기 제 2 가동 부재에 부착되고,
    상기 스위칭 구동부는 상기 제 1 가동 부재의 이동에 의해 상기 제 3 기판 프레싱 부재를 상기 백업 부재의 상류측에서 상기 작업 위치로 반송된 기판의 외주부 표면의 상방 위치와 상기 반송로로부터 떨어진 제 1 퇴피 위치로 이동시키고, 상기 제 2 가동 부재의 이동에 의해 상기 제 4 기판 프레싱 부재를 상기 백업 부재의 하류측에서 작업 위치로 반송된 기판의 외주부 표면의 상방 위치와 상기 반송로로부터 떨어진 제 2 퇴피 위치로 이동시키는 것을 특징으로 하는 기판 고정 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 백업 부재는 상면에 흡인 구멍을 갖고, 상기 작업 위치로 반송된 기판의 하면을 상기 상면에서 지지하면서 흡착하여 고정하는 것을 특징으로 하는 기판 고정 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 승강 구동부는 상기 백업 부재의 바깥쪽에 있어서 상기 기판 프레싱 부재를 상기 한 쌍의 반송 부재와 함께 승강시키도록 한 것을 특징으로 하는 기판 고정 장치.
  4. 삭제
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 기판 프레싱 부재로서 상기 반송로와 평행하게 각각 연장되는 제 1 기판 프레싱 부재와 제 2 프레싱 부재를 갖고 있고,
    상기 제 1 기판 프레싱 부재는 상기 제 1 반송 프레임에 부착됨과 아울러 상기 제 2 기판 프레싱 부재는 상기 제 2 반송 프레임에 부착되는 것을 특징으로 하는 기판 고정 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 1 기판 프레싱 부재는 제 1 충격 완화 부재를 통해 상기 제 1 반송 프레임에 부착되고, 상기 제 2 기판 프레싱 부재는 제 2 충격 완화 부재를 통해 상기 제 2 반송 프레임에 부착되는 것을 특징으로 하는 기판 고정 장치.
  7. 삭제
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 3 기판 프레싱 부재는 제 3 충격 완화 부재를 통해 상기 제 1 가동 부재에 부착되고, 상기 제 4 기판 프레싱 부재는 제 4 충격 완화 부재를 통해 상기 제 2 가동 부재에 부착되는 것을 특징으로 하는 기판 고정 장치.
  9. 서로 이간되어 배치되는 한 쌍의 반송 부재에 의해 필름 형상의 기판을 하방으로부터 지지하면서 반송로를 따라 반송하는 기판 반송부와,
    제 1 항에 기재된 기판 고정 장치와 동일 구성을 갖고, 상기 기판 반송부에 의해 상기 반송로의 도중의 작업 위치로 반송된 기판을 지지하여 고정하는 기판 고정부와,
    상기 기판 고정부에 의해 고정된 기판의 표면 중 상기 기판 프레싱 부재로 압박된 영역을 제외한 표면 영역에 대하여 소정의 작업을 시행하는 기판 작업부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 작업 장치.
  10. 서로 이간되어 배치되는 한 쌍의 반송 부재에 의해 하방으로부터 지지되면서 반송로를 따라 반송되는 필름 형상의 기판을 상기 반송로의 도중의 작업 위치에서 지지하여 고정하는 기판 고정 방법으로서,
    상기 작업 위치로 반송된 기판을 상기 한 쌍의 반송 부재를 대신하여 상기 작업 위치에서의 상방으로부터의 평면시로 상기 한 쌍의 반송 부재 사이에 위치하는 백업 부재로 하방으로부터 지지하는 지지 공정과,
    상기 백업 부재로 지지되는 상기 기판의 외주부 표면을 기판 프레싱 부재에 의해 하방으로 압박하여 상기 기판의 외주부의 휨을 교정하는 교정 공정을 구비하고,
    상기 기판 프레싱 부재로서 상기 기판의 반송 방향과 직교하는 기판 폭 방향으로 연장되는 제 3 기판 프레싱 부재와 제 4 기판 프레싱 부재가 설치되어 있고,
    상기 제 3 기판 프레싱 부재는 상기 백업 부재의 상기 반송 방향의 상류측에서 상기 작업 위치로 반송된 상기 기판의 외주부 표면의 상방 위치와 상기 반송로로부터 떨어진 제 1 퇴피 위치로 이동 가능하고,
    상기 제 4 기판 프레싱 부재는 상기 백업 부재의 상기 반송 방향의 하류측에서 상기 작업 위치로 반송된 상기 기판의 외주부 표면의 상방 위치와 상기 반송로로부터 떨어진 제 2 퇴피 위치로 이동 가능하고,
    상기 교정 공정에서는, 상기 기판의 외주부 표면의 상방 위치에 위치하는 상기 제 3 기판 프레싱 부재 및 상기 제 4 기판 프레싱 부재에 의해 상기 기판의 외주부 표면을 하방으로 압박하는 것을 특징으로 하는 기판 고정 방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 지지 공정은 상기 작업 위치로 반송된 기판의 하면을 상기 백업 부재의 상면에서 흡착하여 유지하는 것을 특징으로 하는 기판 고정 방법.
  12. 삭제
  13. 삭제
  14. 삭제
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