JP6629876B2 - 移送ユニット、移載装置及び移載方法 - Google Patents

Description

本発明は、歪んだ板材の搬送を行うと共に歪んだ板材を水平に矯正しつつ位置を規定し移載を行う移送ユニット、移載装置及び移載方法に関する。

従来、歪んだ（又は撓んだ）矩形状の板材（例えば、樹脂製基板）の搬送を行う際には、歪んで湾曲した板材を水平（平板又は真直）に矯正して移載を行う場合がある。矩形状の板材としては、例えば、電子部品が装着される電子基板がある。製造工程において、このような電子基板は部品と基板との接続を行うため半田処理等の熱処理工程に移送される。熱処理工程を経た基板は、熱の影響を受け、基板の面方向へ反ったり、歪んだりして変形することがある。そして、このように変形した基板は、移送装置（例えばコンベア）によって異なる他の工程へ移送され、更なる処理が行われる。他の工程への移送においては、基板自体が直接支持されて移送されたり、基板が収容部材に収容されて移送されたりする。移送先の処理工程等において所定の処理を行うために、基板は再び専用の処理装置へ移載されたり、異なる移送路に移載されたりする。このような移載作業において、基板が歪んだままであると、移載装置が基板を保持することが難しいため、基板の歪みを矯正して保持しやすい状態にしている。

基板の歪みとしては、いろいろな歪み方があるが、例えば矩形状の基板の場合、対向する一対の辺が近づいて全長が短くなるように面方向へ湾曲して歪むことがある。この様な歪みによって、例えば作業者が基板を不用意に取り扱うことで過大な応力が基板に付与されたり、基板に装着した部品の重量によって基板がさらに変形したりすることがある。また、基板に対して熱処理を行ったあと冷却時に基板の面の放熱による速度の違いから面方向への歪みが発生することがある（特許文献１参照）。

また、このように変形した基板を確実に保持し、移載装置によって移載する場合は、変形した基板の歪みを矯正しつつ、移載装置による基板の取出位置に基板を位置づける必要がある。このような装置としては、例えば移載装置の保持部が、変形した基板の上方から基板に接近し、完全に押し付けが完了しない位置で一旦停止し、変形した基板の一方を基準となる基準部材に当接させるものがある。具体的には、変形した基板の他方から付勢機能を含む移動部材が、基板に当接することで基板を基準部材側に移動し、基板の一方を基準部材に当接させる。その後、移載装置の保持部が、変形した基板の上方から更に基板を下方に押し付けることで、基板の一方から他方側に徐々に、移動部材の付勢機構により基板の伸長分が吸収されて矯正される。そして保持部が基板を吸着保持する（特許文献２参照）。

特開平０９−１９９８４８号公報 特許３４２１７１３号公報

ところで、変形した基板の矯正後、矯正した状態で基板を保持して移載するが、移載する装置全体としては、作業効率を向上させるため、効率の良い移載動作が必要となる。また、移載先に基板を載置する際に、高い移載精度が必要なことがある。

特許文献１に記載の装置は、変形した基板を元の状態（変形の無い状態）に変化させる（戻す）ため、特定の処理（冷却処理）を行うようにしている。しかし、その処理工程の時間とその処理工程への移載時間が必要になり、装置全体の作業効率が低下する虞がある。また特許文献２に記載の装置は、位置決め機構と保持ユニットとの段階的な協働作業により変形基板の矯正をおこなっており、それぞれの作業を数回確認しながら行う時間が必要になる。また保持ユニットが矯正した基板を保持した後、基板を移載するためには、位置決め機構の位置決めの解除が完了してからでないと行うことができない。このため、移載作業全体の作業効率が低下する虞がある。

従って、本発明の目的は、歪んだ基板を所定の位置に位置付けすると共に矯正し、基板の移載効率を向上させることにある。

本発明は、基板を移送すると共に位置決め可能な移送ユニットであって、前記基板を取出し位置に移送する移送機構と、前記基板を前記取出し位置に位置決めする位置決め機構と、を備え、前記位置決め機構は、前記基板の対向する端面に当接可能に設けられた少なくとも二対の規定部を含む規定部材と、少なくとも二対の前記規定部のそれぞれにおいて一方の規定部を他方の規定部に向かう方向であって、前記基板の搬送面と平行な方向に移動させる当接移動機構と、前記規定部材を前記基板の搬送面と垂直な方向に移動可能な規定移動機構と、を備え、前記規定部材は、前記基板の移送方向と直交する幅方向における両側面と対向して当接可能な側面規定部材を含み、前記当接移動機構は、前記側面規定部材を前記幅方向に移動させる側面移動機構を備え、前記移送機構は、前記基板の下面を支持して、前記基板を搬送する搬送機構と、前記搬送機構を支持する搬送支持部材と、を備え、前記規定移動機構は、前記側面規定部材を付勢支持する付勢部材と、付勢部材を支持する共に前記搬送支持部材に取り付けられた付勢支持部材と、前記側面規定部材の付勢方向の移動をガイドするガイド機構と、を備えることを特徴とする。

また本発明は、湾曲した基板を移送すると共に位置決めし、前記基板の基板面を押圧して基板を真直に矯正し、その矯正基板を移載する移載方法であって、前記湾曲前の真直状態時の前記基板の輪郭を基に基板に対する作業範囲を、前記基板の対向する端面に当接可能に設けられた少なくとも二対の規定部で設定する設定工程と、前記少なくとも二対の規定部によって設定された前記作業範囲内の前記基板の基板面に押圧部材を押し付け、基板を真直に矯正する矯正工程と、前記基板の基板面に前記押圧部材を押し付けた状態で、前記少なくとも二対の規定部のそれぞれにおいて一方の規定部を他方の規定部に向かう方向に移動させることにより、矯正後の前記矯正基板の位置決めを行う位置決め工程と、位置決めされた前記矯正基板を吸着保持する吸着保持工程と、吸着保持された前記矯正基板を移載する移載工程と、を備えたことを特徴とする。

本発明によれば、歪んだ基板を所定の位置に位置付けすると共に矯正し、基板の移載効率を向上させることができる。

本発明の一実施形態における移載装置の斜視図。 保持部材の斜視図。 トレイＴの斜視図 移送ユニットの斜視図。 移送ユニットの斜視図。 図２の移送ユニットにおける側部規定部材の斜視図。 図４の側部規定部材の移送機構の斜視図。 図４の側部規定部材から、移送機構を除いた斜視図。 図２の移送ユニットにおける端部規定部材及び規定移動機構の一部断面とした斜視図。 制御ユニットのブロック図 状態ＳＴ１の移載装置の動作を示す説明図。 状態ＳＴ１の移載装置の動作を示す説明図。 状態ＳＴ２の移載装置の動作を示す説明図。 状態ＳＴ２の移載装置の動作を示す説明図。 状態ＳＴ３の移載装置の動作を示す説明図。 状態ＳＴ３の移載装置の動作を示す説明図。 状態ＳＴ４の移載装置の動作を示す説明図。 状態ＳＴ４の移載装置の動作を示す説明図。 状態ＳＴ５の移載装置の動作を示す説明図。 状態ＳＴ５の移載装置の動作を示す説明図。 状態ＳＴ６の移載装置の動作を示す説明図。 状態ＳＴ６の移載装置の動作を示す説明図。 状態ＳＴ７の移載装置の動作を示す説明図。 状態ＳＴ７の移載装置の動作を示す説明図。 状態ＳＴ８の移載装置の動作を示す説明図。 状態ＳＴ８の移載装置の動作を示す説明図。

以下、本発明の例示的な実施形態について、図面を参照して説明する。なお、各図において、同じ参照符号は、同様の要素を示し、紙面に対する上下左右方向を、本実施形態における装置または部材の上下左右方向として、本文中の説明に用いることとする。また図１から図７、図９Ａから図９Ｐにおいて、矢印Ｚは上下方向（垂直方向）を示し、矢印Ｘ及びＹは互いに直交する水平方向を示す。

図１Ａは、本発明の一実施形態に係る移載装置Ａの斜視図である。移載装置Ａは、Ｙ方向の上流側Ｙ１（図１Ａ中左上側）から搬送されてきた基板ＷをＹ方向の下流側Ｙ２（図１Ａ中右下側）へ搬送する。基板Ｗは、例えばＦＰＣ（フレキシブルプリント基板）に代表される可撓性を有するフィルム状基板、或いは、可撓性を有する膜体、可撓性を有するシート体、及び可撓性を有する箔体などが挙げられる。本実施形態における基板Ｗは、平面視長方形状の薄板部材であり、後述する理由により移載装置Ａに搬入される前は長手方向の端部が上面方向に反った基板Ｗ１とし、移載装置Ａから搬出される際は平板状に矯正された基板Ｗ２とする。

移載装置Ａは、ベースＢに固定された第一コンベア１０と第二コンベア２０と移載ユニット３０とを備える。基板Ｗを搬送する第一コンベア１０と第二コンベア２０とは、基板Ｗの搬送方向（図中Ｙ方向）に対して互いに平行であって、離間して配置される。第一コンベア１０及び第二コンベア２０のそれぞれは、基板ＷをＹ方向上流側から下流側へと搬送する。

＜移載ユニット３０＞
移載ユニット３０は、第一コンベア１０と第二コンベア２０とを跨ぐ門型の基部３１と、基部３１の水平部分３１ａに移動可能に構成された移動部３２と、移動部３２に取り付けられた保持ユニット４０とを備える。水平部分３１ａは、ベースＢに設けられた両脚部上に支持されている。なお、図１Ａにおいて基部３１の水平部分３１ａは、第一コンベア１０の説明のために一部を省略して図示している。移動部３２は、不図示の駆動機構によって基部３１（水平部分３１ａ）に対して水平方向（Ｘ方向）及び垂直方（Ｚ方向）に移動可能である。駆動機構としては、公知の機構を採用でき、例えば、モータ等の駆動源と、駆動源の駆動力を伝達する伝達機構（例えば、ベルト伝達機構、ボールネジ機構、ラック−ピニオン機構等）とから構成することができる。移動部３２に取り付けられた保持ユニット４０は、移動部３２によって水平方向（Ｘ方向）及び垂直方向（Ｚ方向）に移動可能である。

図１Ｂに保持ユニット４０をＺ方向下方から見た斜視図を示す。保持ユニット４０は、Ｚ方向下面に平坦な下側面（押圧部材）４０ａと、下側面４０ａの所定箇所に複数の吸着部４１（本実施形態では８個）を備える。吸着部４１は、矩形状の下側面４０ａの長手方向両端部近傍に４個ずつ配置される。吸着部４１は、矩形状の少なくとも４か所の角部に配置されるから、基板Ｗを吸着保持した際に水平方向に安定した姿勢のまま吸着保持することができる。各吸着部４１は、保持ユニット４０の上側面に配置された正圧・負圧制御部４２に接続される。正圧・負圧制御部４２は、工場や設備に設けられた図示しないコンプレッサ、真空ポンプ、圧縮空気タンク等、正圧・負圧発生源に接続され、各吸着部４１から空気をブローしたり、各吸着部４１の内部を負圧にしたりして制御することができる。

後述するように各吸着部４１は、反り上がった基板Ｗ１に近づく際には空気をブローして、上に反った基板Ｗ１の被吸着部に空気を吹き付けて、吸着部４１と反った基板Ｗ１とが接触した際の抵抗を低減し、反った基板Ｗ１と接触後は内部を負圧として反った基板Ｗ１を吸着する。例えば吸着部４１は、下方に向かって開口部が広がる漏斗状の可撓性部材を例示することができる。各吸着部４１は、反った基板Ｗ１と接触しやすいように、保持ユニット４０の下側面４０ａから一部が突出して配置され、反った基板Ｗ１に吸着した後に下側面４０ａから保持ユニット４０内部に移動する（引き込まれる）ように構成されてもよい。こうすることで、後述する保持ユニット４０の下側面４０ａが反った基板Ｗ１の面と当接することで反った基板Ｗ１の変形を矯正することができる。また、吸着部４１に保持された反った基板Ｗ１の面を下側面４０ａの面に当接させた状態で保持することができる。

＜移載装置Ａの動作の概略＞
以下に図１Ａを参照して、移載装置Ａが基板Ｗを搬送する際の概略について説明する。本実施形態において、移載装置Ａの図中Ｙ方向の上流側（図中左上方向）には、図示しない基板供給装置が配置される。基板供給装置としては、例えば基板を洗浄後、加熱処理（乾燥）を行う装置が例示される。したがって、例えば基板供給装置から供給される基板は、加熱処理により基板の長手方向にわたって、対向する一対の辺がそれぞれ上方に変形した形状の反った基板Ｗ１を例示できる。なお反った基板Ｗ１は、加熱処理による反った基板に限定されず、化学的処理による歪み等、所定の処理によって真直ではなくなった湾曲した基板等であればいずれの形態を採用してもよい。

反った基板Ｗ１は、基板供給装置から矢印Ｙ１方向に第一コンベア１０へ移送されてくる。本実施形態において第一コンベア１０は、上流側のコンベアユニットＣＵ１１と下流側の移送ユニット１１とを備える。反った基板Ｗ１が第一コンベア１０へ供給されると、コンベアユニットＣＵ１１は、その下流側に接続された移送ユニット１１へ基板Ｗ１を移送する。移送ユニット１１に移送された反った基板Ｗ１は、後述する処理により所定の取り出し位置に位置付けされ、位置決めされる。

移送ユニット１１で位置付けされた反った基板Ｗ１は、上方より降下してきた保持ユニット４０によって矢印Ｚ１方向下方へ押圧され、移送ユニット１１によって位置決めされると共に、保持ユニット４０の吸着部４１によって吸着保持される。保持ユニット４０によって押圧されることで、反った基板Ｗ１は、その反りが矯正されて、水平な平面を備える矯正された基板Ｗ２となる。次いで、位置決めされ、矯正された基板Ｗ２は、保持ユニット４０に矯正された状態で保持されたまま上方（矢印Ｚ２方向）へ移動され、移動部３２の移動に伴って第二コンベア２０側（矢印Ｘ１方向下流側）及び下方（矢印Ｚ３方向）へ移動され、第二コンベア２０上に待機するトレイＴの載置部Ｔ０に載置保持される。

図１Ｃに示すようにトレイＴは、矯正された基板Ｗ２を面受けして載置する載置部Ｔ０が設けられ、載置部Ｔ０には、矯正された基板Ｗ２を矯正した状態のまま保持する保持機構Ｔ１０を備える。保持機構Ｔ１０は、本実施例の場合、矯正された基板Ｗ２の短手方向の一方の辺を当接させ、載置部Ｔ０における矯正された基板Ｗ２の載置位置の基準を規定する規定部材と、対向する他方の辺に当接し矯正された基板Ｗ２を基準部材側に付勢させつつ保持する付勢機構を備える。更に、矯正された基板Ｗ２の載置面と反対側の面（保持ユニット４０側の面）に不図示の板状のカバー部材を被せることで矯正された基板Ｗ２が真直ぐのまま保持される。

第二コンベア２０は、第一コンベア１０が備えるコンベアユニットＣＵ１１と同じ構成で幅が異なるコンベアユニットＣＵ２１およびコンベアユニットＣＵ２２を直列に接続したものであり、その下流側（矢印Ｙ２方向下流側）は図示しない基板収容装置に接続されている。第二コンベア２０は、矯正された基板Ｗ２を載置するトレイＴを矢印Ｙ２方向へ搬送して、図示しない基板収容装置に供給する。以上のように本実施形態の移載装置Ａは、反った基板Ｗ１を移送ユニット１１で所定の位置に位置付けすると共に矯正し、移載ユニット３０及び第二コンベア２０を介して矯正された基板Ｗ２をトレイＴに載置保持し搬送する。以下、移載装置Ａの第一コンベア１０及び移送ユニット１１について詳細に説明する。

＜第一コンベア１０＞
第一コンベア１０は、基板Ｗの搬送方向上流側に配置されたコンベアユニットＣＵ１１と下流側に配置された移送ユニット１１とを備える。本実施形態において第一コンベア１０は、コンベアユニットＣＵ１１を一つ備えているが、これに限定されるものではなく、移載装置Ａの大きさに応じて適宜その数を増減するようにしてもよい。また、第一コンベア１０は、コンベアユニットＣＵ１１を備えずに、基板供給装置から直接移送ユニット１１へ基板Ｗを搬送してもよい。

＜コンベアユニットＣＵ１１＞
コンベアユニットＣＵ１１は、その上流側（矢印Ｙ１方向上流側）に配置される図示しない基板供給装置から反った基板Ｗ１を受け取り、移送ユニット１１へ（矢印Ｙ１方向下流側へ）と搬送する。コンベアユニットＣＵ１１は、一対の互いに離間して配置された無端ベルトＥＢと、それぞれの無端ベルトＥＢに架け渡される二対のプーリＰと、無端ベルトＥＢに駆動力を与える駆動源２１１ａ、２１１ｂ（図２を参照）とを備える。一対の無端ベルトＥＢは、基板Ｗの幅に対応した間隔で互いに離間して配置される。つまり、一対の無端ベルトＥＢは、それぞれが基板Ｗの幅方向（短手方向）のそれぞれの端辺部を支持するように配置される。

一方の一対のプーリＰは、基板Ｗの搬送方向（Ｙ方向）に対して互いに離間して配置される。この一対のプーリＰに架け回された無端ベルトＥＢは、反った基板Ｗ１の搬送方向に延びる直線部分がプーリＰの回転に伴って移動することで、無端ベルトＥＢに載置された反った基板Ｗ１を搬送方向へ搬送する。なお、本実施形態において無端ベルトＥＢは、断面が円形状で無端の丸ベルトを採用するがこれに限定されず、例えば断面が矩形状の無端ベルト、プーリに巻回された無端ベルトの内周面側に突起や溝が形成された溝付きベルト（例えば、樹脂製）、樹脂製または金属製のチェーン等を採用してもよい。またプーリＰは、無端ベルトＥＢが丸ベルトの際には、円弧状の溝が形成されたプーリを採用してもよい。

＜移送ユニット１１＞
移送ユニット１１は、コンベアユニットＣＵ１１の下流側に接続され、搬送されてきた反った基板Ｗ１を所定の取り出し位置に位置付けすると共に、保持ユニット４０と協働して反った基板Ｗ１を真直ぐに矯正する。取出し位置とは、保持ユニット４０が基板Ｗを移送ユニット１１から取り出す際の移送ユニット１１における位置である。取り出し位置に反った基板Ｗ１を位置づけし、保持ユニット４０と協働して反った基板Ｗ１の変形を矯正し、矯正した基板Ｗ２として位置決めし、保持ユニット４０で保持することで、保持ユニット４０を介して移載された矯正された基板Ｗ２を第二コンベア２０に待機するトレイＴの載置部Ｔ０に精度よく載置される。図２から図７を参照して、移送ユニット１１の詳細について説明する。

図２に示すように、移送ユニット１１は、反った基板Ｗ１を取出し位置に位置決めする位置決め機構１００と、反った基板Ｗ１を取出し位置に移送する移送機構２００とを備える。なお、図２に示す移送ユニット１１は、図１Ａに示す移送ユニット１１の外側を覆うカバー１１ａを外した状態を示している。

＜位置決め機構１００＞
位置決め機構１００は、側面規定部材１１０及び端面規定部材１２０を含む規定部材を備える。側面規定部材１１０及び端面規定部材１２０は、それぞれ反った基板Ｗ１の対向する側面および端面に当接可能に設けられた後述する一対の規定部を含む。したがって本実施形態において規定部材は、二対の規定部を含む。また、位置決め機構１００は、側面規定部材１１０及び端面規定部材１２０のそれぞれに対応して、規定部を基板Ｗが押圧される方向に移動可能な後述する規定移動機構１３０と、一方の規定部を他方の規定部に向かう方向に移動させる後述する当接移動機構１４０とを備える。

＜側面規定部材１１０＞
側面規定部材１１０は、反った基板Ｗ１の移送方向と直交する幅方向（Ｘ方向）における両側面と対向して、これと当接可能に配置され、反った基板Ｗ１の一方の側面側（Ｘ方向一方側、図２中では右上側）に配置される第一規定部１１０ａと他方の側面側（Ｘ方向他方側、図２中では左下側）に配置される第二規定部１１０ｂとを備える。また側面規定部材１１０は、第二規定部１１０ｂを第一規定部１１０ａに向かう方向に移動させる側面移動機構（当接移動機構）１４１を備える。また、第一規定部１１０ａ及び第二規定部１１０ｂのそれぞれには、第一移送機構２００ａ及び第二移送機構２００ｂが隣接して配置される。第一移送機構２００ａ及び第二移送機構２００ｂは、側面規定部材１１０における移送機構をそれぞれ構成する。さらに第一規定部１１０ａ及び第二規定部１１０ｂのそれぞれには、第一規定移動機構１３０ａ及び第二規定移動機構１３０ｂが隣接して配置される。第一規定移動機構１３０ａ及び第二規定移動機構１３０ｂは、側面規定部材１１０における規定移動機構を構成する。

＜第一規定部１１０ａ＞
図３に示すように第一規定部１１０ａは反った基板Ｗ１の搬送方向Ｙ１の上流側から見て向かって左側に配置され、固定部材ＦＭを介してベースＢに固定される。ここで図４から図６を参照して第一規定部１１０ａの詳細について説明する。図４は第一規定部１１０ａを第二規定部１１０ｂ側から見た斜視図である。図４に示す第一規定部１１０ａは、第一移送機構２００ａ及び第一規定移動機構１３０ａを備え、その一部が図中鎖線で示す基板Ｗの搬送面ＴＳよりも上方に突出可能に配置される。そして、第一規定部１１０ａの突出部分によって、反った基板Ｗ１は、その一方の側面が規定される。

＜第一移送機構２００ａ＞
第一移送機構２００ａは、反った基板Ｗ１の下面を支持して、反った基板Ｗ１を搬送する搬送機構２１０ａと、搬送機構２１０ａを支持する搬送支持部材２２０ａとを備える。搬送機構２１０ａは、無端ベルトＥＢと、サーボモータ等の駆動源２１１ａに接続された駆動部材２１２ａと、複数の従動部材２１３ａ−１、２１３ａ−２、２１３ａ−３、２１３ａ−４（本実施形態では四つ）とを備える。本実施形態において無端ベルトＥＢは、断面が円形状で無端の丸ベルトを採用するがこれに限定されず、例えば断面が矩形状の無端ベルト、無端ベルトの内周面に突起や溝が形成された樹脂製ベルト、樹脂製または金属製のチェーン等を採用してもよい。また、駆動部材２１２ａ及び従動部材２１３ａは、無端ベルトＥＢが丸ベルトの際には、円弧状の溝が形成されたプーリを採用してもよい。

図５に第一規定部１１０ａ及び第一規定移動機構１３０ａを省略し、固定部材ＦＭに取り付けられた状態の第一移送機構２００ａの斜視図を示す。図５に示すように、反った基板Ｗ１の側部下面を搬送方向（Ｙ１方向）に亘って支持する無端ベルトＥＢは、反った基板Ｗ１を支持する直線部が最も離れて配置された一対の従動部材２１３ａ−１、２１３ａ−２の間に形成されるように架け回される。このとき無端ベルトＥＢの長手方向中央部の内周側であって、上下方向における下側の無端ベルトＥＢの内周面には、駆動部材２１２ａが摺接して配置される。そして環状の無端ベルトＥＢの下方の外側から、駆動部材２１２ａを挟むように隣接して一対の従動部材２１３ａ−３、２１３ａ−４が配置される。

駆動部材２１２ａの中心は、隣接する一対の従動部材２１３ａ−３、２１３ａ−４の中心に対して、図中上下方向の下方向にオフセットされている。こうすることで、無端ベルトＥＢは、駆動部材２１２ａと従動部材２１３ａとの両方に張力がかかった状態で巻回される。したがって、駆動源２１１ａによって駆動された駆動部材２１２ａは、図中矢印Ｒ１方向（反時計方向）へ回転され、無端ベルトＥＢは、その上側の直線部分が図中Ｙ１方向へ移動される。なお、駆動源２１１ａ、駆動部材２１２ａおよび複数の従動部材２１３ａは、搬送支持部材２２０ａに支持される。駆動部材２１２ａおよび複数の従動部材２１３ａは、搬送支持部材２２０ａに対して回転自在に支持される。また搬送支持部材２２０ａは、無端ベルトＥＢの上側の直線部分を支持する支持案内部２２１ａを備える。支持案内部２２１ａは、一対の従動部材２１３ａ−１及び２１３ａ−２の間で搬送方向に延びるように配置される長尺部材で、その上面で無端ベルトＥＢを支持する。なお支持案内部２２１ａは、反った基板Ｗ１が保持ユニット４０に押圧された際に、無端ベルトＥＢを介して反った基板Ｗ１を支持し、反った基板Ｗ１の矯正における復元力を受け止める役割をする。

＜第一規定移動機構＞
図４に示すように第一規定移動機構１３０ａは、第一移送機構２００ａの搬送支持部材２２０ａと無端ベルトＥＢとの間に配置される。図６に第一移送機構２００ａの駆動源２１１ａ、駆動部材２１２ａ、複数の従動部材２１３ａおよび無端ベルトＥＢを省略した状態の第一規定部１１０ａの斜視図を示す。

第一規定移動機構１３０ａは、側面規定部材１１０の第一規定部１１０ａを付勢支持する付勢部材１３１ａと、付勢部材１３１ａを支持すると共に搬送支持部材２２０ａに取り付けられた付勢支持部材１３２ａと、第一規定部１１０ａ（側面規定部材）の付勢方向の移動をガイドするガイド機構１３３ａとを備える。本実施形態において、付勢部材１３１ａ、付勢支持部材１３２ａ、ガイド機構１３３ａは、それぞれ一対設けられている。付勢支持部材１３２ａ及びガイド機構１３３ａは、搬送支持部材２２０ａに取り付けられている。

第一規定部１１０ａは、搬送方向（Ｙ方向）に延びる本体部１１１ａと、本体部１１１ａから上下方向（Ｚ方向）の下方に延びる一対の垂直部１１２ａと、一対の付勢部材１３１ａと対応して当接する一対の当接部１１３ａとを備える。本体部１１１ａは、搬送方向における矯正した基板Ｗ２の長さより長く設定される。本体部１１１ａの上面１１４ａは、後述する反った基板Ｗ１の押圧（矯正）の際に保持ユニット４０の下側面４０ａと当接する平坦面である。また第二規定部１１０ｂと対向する本体部１１１ａの内側側面１１５ａは、第一移送機構２００ａによって搬送された反った基板Ｗ１の側面をガイドするガイド部となる。さらに内側側面１１５ａは、後述する第二規定部１１０ｂが第一規定部１１０ａへ向けて移動した際には、反った基板Ｗ１の側面と当接して反った基板Ｗ１の位置決めを行う位置決め部となる。また、内側側面１１５ａは、反った基板Ｗ１の反り高さ（反り方向における反り寸法）に応じた寸法に適宜設定される。

搬送支持部材２２０ａは、第二規定部１１０ｂと対向する側面にガイド機構１３３ａを備える。ガイド機構１３３ａは、例えば第一規定部１１０ａの垂直部１１２ａと協働して、第一規定部１１０ａを垂直方向（上下方向）に案内するレールを例示することができる。例えばガイド機構１３３ａは、第一規定部１１０ａの垂直部１１２ａに形成された凸形状と対応する凹状溝を含み、上下方向へ延びるレールを例示することができる。第一規定部１１０ａは、ガイド機構１３３ａにガイドされることにより搬送支持部材２２０ａに対して図中Ｚ４方向（上下方向）へ移動可能である。

第一規定部１１０ａは、付勢部材１３１ａに付勢されることで、無負荷の状態では、上下方向の上側へ付勢され、所定の位置に維持される。このとき、ガイド機構１３３ａには図示しないストッパ部が設けられており、第一規定部１１０ａは所定量以上上方または下方へ移動しないようにしてもよい。付勢部材１３１ａを支持する付勢支持部材１３２ａは、側面視Ｌ字形状の板状部材であり、一辺が搬送支持部材２２０ａに固定され、他辺で付勢部材１３１ａの一端部を支持する。付勢支持部材１３２ａの一部は、第一規定部１１０ａの当接部１１３ａと対向して配置される。付勢部材１３１ａは、その端部が第一規定部１１０ａの当接部１１３ａと当接することで、当接部１１３ａと付勢支持部材１３２ａとの間に収容される。したがって、規定移動機構１３０は、第一規定部１１０ａが保持ユニット４０によって押圧される方向に対して反対方向（一方の方向）へ付勢する付勢力を備えた付勢部材（付勢機構）１３１ａを備える。なお付勢部材１３１ａとしては、例えばコイルスプリングが例示できるが、これに限定されず板バネ、所定量圧縮されても元の状態に戻る弾性の樹脂部材等を採用可能である。

以上のように第一規定部１１０ａは、コンベアユニットＣＵ１１から搬送されてきた反った基板Ｗ１を移送ユニット１１内の所定位置へ搬送する際のガイド部となる。このとき第一規定部１１０ａの内側側面１１５ａは、第一移送機構２００ａの無端ベルトＥＢで搬送された反った基板Ｗ１の側面をガイドする。そして、保持ユニット４０が反った基板Ｗ１に向かって下降されると、保持ユニット４０の下側面４０ａが第一規定部１１０ａの本体部１１１ａの上面１１４ａと当接する。そのまま保持ユニット４０が下降され続けると、規定移動機構１３０のガイド機構１３３ａが、第一規定部１１０ａ（規定部材）を反った基板Ｗ１が押圧される方向に移動可能とする。保持ユニット４０は、第一規定部１１０ａを押圧して下降させると共に、反った基板Ｗ１を押圧して上記反った基板Ｗ１の矯正を行う。反った基板Ｗ１の矯正が完了すると保持ユニット４０は、矯正された基板Ｗ２を保持した状態で上昇が開始される。このとき第一規定部１１０ａは、付勢部材１３１ａによって付勢されているから、保持ユニット４０の上昇による第一規定部１１０ａの押圧が解除されると、付勢部材１３１ａの付勢力によって第一規定部１１０ａは再び元の状態に戻るように上昇を始めることができる。

＜第二規定部１１０ｂ＞
図２及び図３を参照して第二規定部１１０ｂについて説明する。第一規定部１１０ａが固定部材ＦＭを介してベースＢに固定されているのに対して、第二規定部１１０ｂは当接移動機構１４０の側面移動機構１４１を介してベースＢに対して相対移動可能に設けられる。第二規定部１１０ｂは、第一規定部１１０ａと移送ユニット１１の中心に対して対称な配置で、位置決め機構１００ｂと第二移送機構２００ｂとを備えている。なお第二規定部１１０ｂの位置決め機構１００ｂ及び第二移送機構２００ｂは、第一規定部１１０ａの位置決め機構１００ａ及び第一移送機構２００ａと同じ形状の部材を使用している。したがって、図２及び図３では、第二規定部１１０ｂにおける第一規定部１１０ａと同じ部材は、その参照符号として末尾にａに代えてｂを付している。

側面移動機構１４１は、第二規定部１１０ｂが取り付けられる移動体１４２と、移動体１４２を摺動自在に支持する幅移動機構１４１ａとを備える。幅移動機構１４１ａとしては、公知の機構を採用でき、例えば、モータ等の駆動源と、駆動源の駆動力を伝達する伝達機構（例えば、ベルト伝達機構、ボールネジ機構、ラック−ピニオン機構等）と、から構成することができる。幅移動機構１４１ａは、ベースＢに固定され、図２に示すＸ方向と平行なＳ１方向に移動体１４２を往復移動することができる。したがって第二規定部１１０ｂは、移動体１４２に固定されることで、移動体１４２の移動に伴って第一規定部１１０ａに対して近接または離間する方向（Ｘ方向）へ移動可能である。

以上のような構成によりコンベアユニットＣＵ１１の搬送幅と同じとなるように第二規定部１１０ｂが設定され、反った基板Ｗ１の両側面をガイド可能にし、コンベアユニットＣＵ１１から移送ユニット１１への反った基板Ｗ１の搬送を可能にする。また、移送ユニット１１内に搬送され、押圧され、矯正された基板Ｗ２を第二規定部１１０ｂの幅方向移動により第一規定部１１０ａの方へ押し付け移動させる。すると、矯正された基板Ｗ２の側面が第一規定部１１０ａ及び第二規定部１１０ｂのそれぞれの内側側面１１５ａ、１１５ｂと当接することで、矯正された基板Ｗ２のＸ方向の位置決めとＹ方向の姿勢決め（基板Ｗの側面がＹ方向と平行な姿勢となる）が達成される。

＜端面規定部材１２０＞
図２及び図３に示すように、第一規定部１１０ａと第二規定部１１０ｂとの間には、端面規定部材１２０が配置される。端面規定部材１２０は、反った基板Ｗ１の移送方向（図２のＹ方向）における両端面と対向して当接可能な第三規定部１２０ａと第四規定部１２０ｂとを備える。本実施形態においては反った基板Ｗ１の搬送方向下流側に第三規定部１２０ａが配置され、上流側に第四規定部１２０ｂが配置される。第四規定部１２０ｂは、端面移動機構１４３によって反った基板Ｗ１の搬送方向に移動可能である。

端面規定部材１２０の第三規定部１２０ａは、固定部材ＦＭＢに取り付けられたガイド機構１３１ｃ、第三規定部１２０ａを上方へ付勢する付勢部材１３３ｃを介して、固定部材ＦＭＢによって搬送支持部材２２０ａに設けられる。ガイド機構１３１ｃは、例えば二つの部材で構成され、一方の部材が第三規定部１２０ａに固定され、他方の部材が固定部材ＦＭに固定され、互いにＺ方向（上下方向）に摺動自在な形態を例示することができる。具体的には、上記第一規定部１１０ａのガイド機構１３３ａと同様のものを採用してもよい。

付勢部材１３３ｃは、一端が第三規定部１２０ａに固定され、他端が固定部材ＦＭＢに固定され、これらの間に配置される例えばコイルスプリングを例示することができる。したがって、第三規定部１２０ａは、付勢部材１３３ｃによって無負荷の状態でＺ方向（上下方向）の上方へ常に付勢され維持されており、ガイド機構１３１ｃの不図示のストッパによって所定量以上突出しないようにされる。なお、第三規定部１２０ａの上端面は、第一規定部１１０ａ及び第二規定部１１０ｂの上面１１４ａ及び１１４ｂと同じ高さ（反った基板Ｗ１の移送方向の前方側の端面が当接する高さより高い高さ）になるように高さ寸法が設定され、ガイド機構１３１ｃによって突出量が設定されている。

図３に示すように第四規定部１２０ｂは、反った基板Ｗ１が移送ユニット１１に搬入される際には搬送面ＴＳより下方に待機している。そして反った基板Ｗ１が第三規定部１２０ａに当接すると、後述する昇降駆動部１４４による昇降体１４５の上昇によって第四規定部１２０ｂは、搬送面ＴＳより上方へ移動する。図７に、昇降駆動部１４４を備えた第四規定部１２０ｂを図２中Ｙ方向と平行に第四規定部１２０ｂのＸ方向中央で切断したＡ−Ａ断面の斜視図を示す。

第四規定部１２０ｂは、端面移動機構１４３の可動部１４３ａに取り付けられたガイド機構１３３ｄと、第四規定部１２０ｂを上方へ付勢する付勢部材１３１ｄとを備える。端面移動機構１４３としては、公知の機構を採用でき、例えば、モータ等の駆動源と、駆動源の駆動力を伝達する伝達機構（例えば、ベルト伝達機構、ボールネジ機構、ラック−ピニオン機構等）と、から構成することができる。ガイド機構１３３ｄは、例えば二つの部材で構成され、一方の部材が第四規定部１２０ｂに固定され、他方の部材が可動部１４３に固定され、互いにＺ方向（上下方向）に摺動自在な形態を例示することができる。具体的には、上記第一規定部１１０ａのガイド機構１３３ａと同様のものを採用してもよい。

付勢部材１３１ｄは、一端が第四規定部１２０ｂに固定され、他端が可動部１４３ａに固定され、これらの間に配置される例えばコイルスプリングを例示することができる。したがって、第四規定部１２０ｂは、付勢部材１３１ｄによって無負荷の状態でＺ方向（上下方向）の上方へ常に付勢され維持されており、ガイド機構１３３ｄの不図示のストッパによって所定量以上突出しないようにされている。なお、第四規定部１２０ｂの上端面は、搬送面ＴＳより上方に突出した際に、第一規定部１１０ａ及び第二規定部１１０ｂの上面１１４ａ及び１１４ｂと同じ高さ（反った基板Ｗ１の移送方向の後方側の端面が当接する高さより高い高さ）になるように高さ寸法が設定され、ガイド機構１３３ｄによって突出量が設定されている。

端面移動機構１４３は、昇降体１４５に固定された第四本体部１２１に固定される。したがって、端面移動機構１４３の可動部１４３ａが第四本体部１２１に対してＹ方向と平行な搬送方向（図中Ｙ３方向）に相対移動することで、第四規定部１２０ｂは第四本体部１２１に対して相対移動可能となる。ここで昇降体１４５は、ベースＢに固定された昇降駆動部１４４及びガイド機構１３３ｅによって、ベースＢに対して上下方向に昇降可能に支持される。昇降駆動部１４４として、例えばピニオンを備えたサーボモータを例示することができ、昇降体１４５としてピニオンと係合したラックを備えた部材を例示することができる。ガイド機構１３３ｅは、上下方向に対して平行に延びるように配置される。

ガイド機構１３３ｅは、例えば二つの部材で構成され、一方の部材が昇降体１４５に固定され、他方の部材がベースＢに固定され、互いにＺ方向（上下方向）に摺動自在な形態を例示することができる。具体的には、上記第一規定部１１０ａのガイド機構１３３ａと同様のものを採用してもよい。そして、昇降駆動部１４４のピニオンが回動することで、ピニオンと係合するラックを備えた昇降体１４５が、ベースＢの上下方向にガイド機構１３３ｅによりガイドされて移動することができる。

また第四本体部１２１は、第三規定部１２０ａと第四規定部１２０ｂとの間に配置され、反った基板Ｗ１の下面を支持する支持部材１４６を備える。支持部材１４６は、基板Ｗの搬送方向（Ｙ方向）に沿って略基板ＷのＹ方向長さと同じ長さに延びる長尺部材である。支持部材１４６の搬送方向の下流側における上面端部には、反った基板Ｗ１の搬送方向の下流側の端部下面と当接する第一端部支持部１４７が配置される。また第四規定部１２０ｂと支持部材１４６との間には、反った基板Ｗ１の搬送方向の上流側の端部下面と当接する第二端部支持部１４８が配置される。支持部材１４６は、昇降駆動部１４４の駆動による昇降体１４５の上下方向の移動により、反った基板Ｗ１を支持する支持位置と、支持位置よりも下方で、反った基板Ｗ１から離間した位置である非支持位置との間で移動される。なお、第一端部支持部１４７及び第二端部支持部１４８が反った基板Ｗ１の搬送方向の両端部下面とそれぞれ当接することで、反った基板Ｗ１の位置決めに寄与している。

＜制御ユニット＞
図８は移載装置Ａの制御ユニット５のブロック図である。制御ユニット５は移載装置Ａ全体の制御を行う。制御ユニット５は、ＣＰＵ等の処理部５１と、ＲＡＭ、ＲＯＭ等の記憶部５２と、外部デバイスと処理部５１とをインターフェースするインターフェース部５３と、を含む。インターフェース部５３には、Ｉ／Ｏインターフェースの他、ホストコンピュータとの通信を行う通信インターフェースも含まれる。ホストコンピュータは、例えば、基板供給装置、基板収容装置全体を制御するコンピュータでもよい。

処理部５１は記憶部５２に記憶されたプログラムを実行し、各種のセンサ５５の検出結果や、各種のアクチュエータ５４を制御する。各種のセンサ５５には、例えば、駆動源２１１ａ、２１１ｂ、昇降駆動部１４４の位置を検出するセンサ、後述する反った基板Ｗ１の移送ユニット１１内での位置を検出するセンサ等が含まれる。各種アクチュエータ５４には、例えば、駆動源２１１ａ、２１１ｂ、昇降駆動部１４４の各駆動源や、正圧・負圧制御部４２におけるブローする空気量の制御、負圧吸引を行うポンプや制御弁等が含まれる。また制御ユニット５は、後述する例えば移送ユニット１１を制御し、当接移動機構に、作業範囲を規定する第一位置に規定部材を移動させる第一動作制御と、規定部材を基板の位置決め位置に移動させる第二動作制御と、を行う。

＜制御例＞
移送ユニット１１の動作制御例について図９Ａ〜図９Ｐを参照して説明する。ここでは、反った基板Ｗ１の位置決め及び矯正動作について説明する。具体的には、移送ユニット１１に搬入された反った基板Ｗ１を移送ユニット１１で位置決めし、保持ユニット４０で押圧して矯正された基板Ｗ２を移送ユニット１１から搬出する例について説明する。なお、図９Ａ、図９Ｃ、図９Ｅ、図９Ｇ、図９Ｉ、図９Ｋ、図９Ｍ、図９Ｏは、移送ユニット１１を上方から見た平面図を示す。図９Ｂ、図９Ｄ、図９Ｆ、図９Ｈ、図９Ｊ、図９Ｌ、図９Ｎ、図９Ｐは、移送ユニット１１を搬送方向に延びる平面で切断した概略断面図を示す。

図９Ａ及び図９ＢのＳＴ１に示す状態は、図１に示すコンベアユニットＣＵ１１から反った基板Ｗ１が移送ユニット１１に搬入された様子を示す。このとき図９Ｂに示すように第四規定部１２０ｂは、搬送面ＴＳより下方に位置する待機位置にある。なお、以下に説明する各図において、図中右側を搬送方向上流側、左側を搬送方向下流側として説明に用いることとする。

図９Ａに示すように、反った基板Ｗ１が移送ユニット１１に搬入されると、基板Ｗの幅サイズに応じた位置に第二規定部１１０ｂを第一規定部１１０ａに向かう矢印Ｓ１方向へ移動させる。このとき第一規定部１１０ａと第二規定部１１０ｂとの間の距離は、基板Ｗの幅サイズよりわずかに大きい寸法（反った基板Ｗ１が一対の無端ベルトＥＢに支持され移送可能な程度の寸法）に対応するように設定される。

図９Ｃ及び図９ＤのＳＴ２に示す状態は、反った基板Ｗ１が第三規定部１２０ａと当接するまで搬送された状態を示す。第三規定部１２０ａ近傍には、図示しない基板検出センサが配置され、反った基板Ｗ１が第三規定部１２０ａまで到達したことを検知する。この後、図９Ｄに示すように作業範囲を規定する各規定部の第一位置を確定するべく第四規定部１２０ｂが矢印Ｚ５方向へ上昇する（第一動作制御）。作業範囲とは、矯正が完了するまでの基板Ｗの移動範囲を画定した範囲を示す。したがって、矯正作業中の反った基板Ｗ１は、各規定部により所定の移動範囲内で搬送面と平行な方向に移動可能に矯正される。このように反った基板Ｗ１の矯正を行うことができるので、矯正作業時に発生する反った基板Ｗ１への移動負荷を軽減することが可能になる。

図９Ｄに示すように、搬送面ＴＳから突出する第一規定部１１０ａ及び第二規定部１１０ｂ（規定部材）の高さ寸法Ｄ１は、反った基板Ｗ１の最大変形寸法（反り寸法）Ｄ２よりも大きい寸法に設定される。また、反った基板Ｗ１が矯正された状態での搬送面ＴＳから突出する第一規定部１１０ａ及び第二規定部１１０ｂ（規定部材）の高さ寸法Ｄ１は、保持ユニット４０の下側面４０ａが基板Ｗ１を矯正した状態（押圧が完了した状態）の際に下側面４０ａに当接している程度の寸法となる。すなわち、基板Ｗ１が矯正されている場合の搬送面ＴＳから突出する第一規定部１１０ａ及び第二規定部１１０ｂ（規定部材）の高さ寸法Ｄ１は、基板Ｗ１の厚みよりわずかに高い（略等しい）寸法となる。これら寸法Ｄ１及びＤ２は、対象とする基板Ｗに応じて適宜設定される。なお、本実施形態の場合、基板Ｗ１の平面形状が搬送方向に延びる長方形状であるから、基板Ｗ１の変形は、基板Ｗ１の長手方向の両端部が近づくように発生するため、基板Ｗ１の短手方向の変形はほとんど発生しない。

図９Ｅ及び図９ＦのＳＴ３に示す状態は、反った基板Ｗ１が取出し位置に移送され、第一規定部１１０ａ及び第二規定部１１０ｂによって規定された作業範囲内に移送された状態を示す。このとき第四規定部１２０ｂ（一方規制部材）は、第三規定部１２０ａ（他方規定部材）の上面を搬送面ＴＳから第一規定部１１０ａ及び第二規定部１１０ｂの上面より若干低い位置に突出させて待機させ、搬送方向の上流側から第三規定部１２０ａ（他方規定部材）に接近するように矢印Ｙ３方向へ移動し、搬送方向における矯正の作業範囲を設定する（設定工程）。本実施形態では、湾曲前の真直状態時の基板Ｗの輪郭を基に反った基板Ｗ１に対する作業範囲（真直状態時の基板Ｗの輪郭より少し大きい作業範囲）を設定する。第三規定部１２０ａと第四規定部１２０ｂとの間の距離は、反った基板Ｗ１が矯正された後、搬送方向に伸長する長さ分Ｄ３を考慮して、反った基板Ｗ１が伸長した長さより長い距離に設定される。

なお、ＳＴ３に示す状態では、ＳＴ２に示す状態から上昇してきた第一端部支持部１４７及び第二端部支持部１４８は反った基板Ｗ１の底面より下方の位置（搬送面ＴＳよりわずかに下方の位置）で待機する。つまりこの状態では、第一端部支持部１４７及び第二端部支持部１４８は反った基板Ｗ１の底面と当接することがない。

図９Ｇ及び図９ＨのＳＴ４に示す状態は、それぞれの第一規定部１１０ａ、第二規定部１１０ｂ、第三規定部１２０ａ、第四規定部１２０ｂが作業範囲に移動後、保持ユニット４０が基板取出し位置に移動する状態を示す。このとき、第一規定部１１０ａ、第二規定部１１０ｂ、第三規定部１２０ａ、第四規定部１２０ｂが搬送面ＴＳと平行な水平面内における規定位置に位置することで反った基板Ｗ１に対する矯正の作業範囲が画定される。図９Ｈに示すように反った基板Ｗ１に向かってＺ１方向へ降下してきた保持ユニット４０は、まず、第一規定部１１０ａ及び第二規定部１１０ｂ、第三規定部１２０ａのそれぞれの上面と当接する。

図９Ｉ及び図９ＪのＳＴ５に示す状態は、保持ユニット４０の降下と共に第一端部支持部１４７及び第二端部支持部１４８がさらに上昇して反った基板Ｗ１と当接する位置まで上昇した状態を示す。また、第四規定部１２０ｂの上面も、第一規定部１１０ａ、第二規定部１１０ｂおよび第三規定部１２０ａの上面と略同じ高さ位置（面一）まで上昇される。第一端部支持部１４７及び第二端部支持部１４８が、反った基板Ｗ１の搬送方向端部を下方から支持可能にすることで反った基板Ｗ１の短手方向の矯正が可能になる。図９Ｊに示すように保持ユニット４０の押圧によって第一規定部１１０ａ、第二規定部１１０ｂ、第三規定部１２０ａ及び第四規定部１２０ｂは、付勢部材（１３１ａ、１３３ｃ、１３３ｄ）の付勢力に反して保持ユニット４０によって矢印Ｚ１方向へ移動される。このとき保持ユニット４０は、吸着部４１から空気をブローしつつ降下する。こうすることで保持ユニット４０が反った基板Ｗ１を押し付けて矯正する際に、保持ユニット４０の吸着部４１と反った基板Ｗ１の当接面とによる接触抵抗（摩擦）を軽減（吸着部４１の変形を防止）して、矯正作業における作業範囲内での反った基板Ｗ１の移動を許容する。そして保持ユニット４０が反った基板Ｗ１の矯正及び取出しを開始する。

図９Ｋ及び図９ＬのＳＴ６に示す状態は、保持ユニット４０の下側面４０ａの押し付け動作によって、反った基板Ｗ１の反りを矯正した状態を示す。図９Ｌに示すように、矯正された基板Ｗ２は、保持ユニット４０の下側面４０ａと、第一端部支持部１４７、第二端部支持部１４８および一対の無端ベルトＥＢと、の間に略挟まれた状態（完全には挟まれていない状態）となる。

保持ユニット４０の上下方向（Ｚ方向）の移動を停止した後、各規定部を位置決め位置にさらに移動させ、基板Ｗの最終的な位置決めを行う（第二動作制御）。つまり保持ユニット４０が矯正された基板Ｗ２を押圧した状態で作業範囲内において、各規定部の移動（対向する規定部同士が接近する動作）により矯正された基板Ｗ２を基板面と平行な方向に移動（本実施形態の場合、位置決め基準となる、第一規定部１１０ａおよび第三規定部１２０ａ側へ、それぞれに対向して配置される第二規定部１１０ｂおよび第四規定部１２０ｂを移動）させ、矯正された基板Ｗ２を所定の位置に位置決めする（位置決め移動工程）。このとき保持ユニット４０は吸着部４１から空気をブローしたまま作業を行う。

図９Ｍ及び図９ＮのＳＴ７に示す状態は、保持ユニット４０が基板Ｗを吸着保持し取出しを開始する状態を示す。保持ユニット４０の吸着部４１内を負圧とすることで、吸着部４１に矯正された基板Ｗ２が矯正された状態で吸着保持される。吸着部４１は、矯正された基板Ｗ２を吸着することで弾性変形し、下側面４０ａから保持ユニット４０の内部側に収縮移動する（引っ込む）。吸着部４１が下側面４０ａより保持ユニット４０の内部側に移動することで、矯正された基板Ｗ２の上方の面が下側面４０ａに密着保持される。保持ユニット４０に設けられた不図示の保持検出センサにより基板Ｗの保持が確認されると、保持ユニット４０は矯正された基板Ｗ２と共に移動可能となる。また保持検出センサにより矯正された基板Ｗ２の保持が確認されると、各規制部による矯正された基板Ｗ２の位置決めが解除される。したがって位置決め解除後、保持ユニット４０は上昇を開始し、基板Ｗの移載を開始することができる。

図９Ｎに示すように保持ユニット４０が矢印Ｚ２方向へ上昇すると、保持ユニット４０によって下方へ付勢されていた各規定部が各付勢部材の付勢力によって矢印Ｚ２方向へ上昇され所定の位置で付勢支持される。なお第四規定部１２０ｂは、保持ユニット４０の上昇と同時に矢印Ｚ５方向へ降下させると共に、矢印Ｙ４方向へ移動させて第三規定部１２０ａから離れる方向へ移動させるようにしてもよい。こうすることで、次に移送ユニット１１に搬入される反った基板Ｗ１の搬入動作および作業範囲の規定作業などを効率よく行うことができる。

図９Ｏ及び図９ＰのＳＴ８に示す状態は、保持ユニット４０が矢印Ｚ２方向へ上昇した状態を示す。保持ユニット４０は、吸着保持された矯正された基板Ｗ２を所定の場所へ移載する（移載工程）。第四規定部１２０ｂは、保持ユニット４０が上昇するとき（もしくは上昇後）、搬送面ＴＳより下方および第三規定部１２０ａから離間する方へ移動され、所定の待機位置で待機する。また、第二規定部１１０ｂも第一規定部１１０ａから離間する方向へわずかに移動され、基板移送時のガイド位置で待機する。それぞれの規定部が待機位置に移動され、停止することで、次の反った基板Ｗ１を受け入れる準備が完了する。

以上のように本実施形態によれば、歪んだ基板を所定の位置に位置付けすると共に真直に矯正し、さらに矯正後の位置決めを行うことで精度よく基板を保持し、基板の移載効率をさらに向上させることができる。

本発明は上記実施の形態に制限されるものではなく、本発明の精神及び範囲から離脱することなく、様々な変更及び変形が可能である。従って、本発明の範囲を公にするために、以下の請求項を添付する。

Claims (13)

1. 基板を移送すると共に位置決め可能な移送ユニットであって、
   前記基板を取出し位置に移送する移送機構と、
   前記基板を前記取出し位置に位置決めする位置決め機構と、を備え、
   前記位置決め機構は、
   前記基板の対向する端面に当接可能に設けられた少なくとも二対の規定部を含む規定部材と、
   少なくとも二対の前記規定部のそれぞれにおいて一方の規定部を他方の規定部に向かう方向であって、前記基板の搬送面と平行な方向に移動させる当接移動機構と、
   前記規定部材を前記基板の搬送面と垂直な方向に移動可能な規定移動機構と、を備え、
   前記規定部材は、前記基板の移送方向と直交する幅方向における両側面と対向して当接可能な側面規定部材を含み、
   前記当接移動機構は、前記側面規定部材を前記幅方向に移動させる側面移動機構を備え、
   前記移送機構は、前記基板の下面を支持して、前記基板を搬送する搬送機構と、前記搬送機構を支持する搬送支持部材と、を備え、
   前記規定移動機構は、前記側面規定部材を付勢支持する付勢部材と、付勢部材を支持する共に前記搬送支持部材に取り付けられた付勢支持部材と、前記側面規定部材の付勢方向の移動をガイドするガイド機構と、を備えることを特徴とする移送ユニット。
2. 前記規定部材は、前記基板の搬送面よりも上方に突出可能に設けられ、
   前記規定移動機構は、それぞれの前記規定部を前記垂直な方向における一方の方向へ付勢する付勢機構を備えることを特徴とする請求項１に記載の移送ユニット。
3. 前記規定部材は、前記基板の移送方向における両端面と対向して当接可能な端面規定部材を含み、
   前記当接移動機構は、前記端面規定部材を前記移送方向に移動させる端面移動機構を含むことを特徴とする請求項１または２に記載の移送ユニット。
4. 前記位置決め機構は、
   前記基板の下面を支持する支持部材と、
   該支持部材を、前記基板を支持する支持位置と、該支持位置よりも下方で、基板から離間した位置である非支持位置との間で移動させる支持部移動機構と、
   を更に備えることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の移送ユニット。
5. 前記側面移動機構は、一対の前記側面規定部材のいずれか一方が取り付けられる前記搬送支持部材を前記幅方向に移動する移動体と、前記移動体を前記幅方向に移動させる幅移動機構と、を備えることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の移送ユニット。
6. 前記移送ユニットを制御する制御手段を備え、
   該制御手段は、前記当接移動機構に、作業範囲を規定する第一位置に前記規定部材を移動させる第一動作制御と、前記規定部材を前記基板の位置決め位置に移動させる第二動作制御と、を行うことを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の移送ユニット。
7. 湾曲した基板を移送すると共に位置決めし、前記基板の基板面を押圧して基板を真直に矯正し、その矯正状態の基板を移載する移載装置であって、
   湾曲した前記基板を移送すると共に位置決めする請求項１から６のいずれか一項に記載の移送ユニットと、
   該移送ユニットにて移送され、位置決めされた前記基板を、前記移送ユニットから移載する移載ユニットと、
   を備え、
   該移載ユニットは、前記取り出し位置に位置決めされた前記基板を保持する保持ユニットを備え、
   位置決めされた前記基板の基板面を押圧して基板を真直に矯正するべく、該保持ユニットは押圧部材を備えたことを特徴とする移載装置。
8. 前記保持ユニットは、真直に矯正された前記矯正状態の基板を吸着する吸着部材を含む吸着手段を備えることを特徴とする請求項７に記載の移載装置。
9. 前記保持ユニットは、前記吸着部材から前記基板の吸着面に空気を吹き付けるブロー手段を備えることを特徴とする請求項８に記載の移載装置。
10. 湾曲した基板を移送すると共に位置決めし、前記基板の基板面を押圧して基板を真直に矯正し、その矯正基板を移載する移載方法であって、
    前記湾曲前の真直状態時の前記基板の輪郭を基に基板に対する作業範囲を、前記基板の対向する端面に当接可能に設けられた少なくとも二対の規定部で設定する設定工程と、
    前記少なくとも二対の規定部によって設定された前記作業範囲内の前記基板の基板面に押圧部材を押し付け、基板を真直に矯正する矯正工程と、
    前記基板の基板面に前記押圧部材を押し付けた状態で、前記少なくとも二対の規定部のそれぞれにおいて一方の規定部を他方の規定部に向かう方向に移動させることにより、矯正後の前記矯正基板の位置決めを行う位置決め工程と、
    位置決めされた前記矯正基板を吸着保持する吸着保持工程と、
    吸着保持された前記矯正基板を移載する移載工程と、
    を備えたことを特徴とする移載方法。
11. 前記矯正工程は、前記基板の基板面に対して空気を吹き付ける吹付工程と、
    前記基板の基板面に前記押圧部材を押し付ける押圧工程と、
    を含むことを特徴とする請求項１０に記載の移載方法。
12. 前記位置決め工程は、前記矯正基板を押圧した状態で前記作業範囲内において前記基板面と平行な方向に移動させ、所定の位置に位置決めする位置決め移動工程を含むことを特徴とする請求項１０から１１のいずれか一項に記載の移載方法。
13. 前記矯正基板の位置決めを解除する位置決め解除工程を備え、
    前記吸着保持工程の後、前記位置決め解除工程を経て、前記移載工程へ移行することを特徴とする請求項１０から１２のいずれか一項に記載の移載方法。