JP2007238290A - ワークテーブル、ワーク矯正方法、ワーク処理装置、ワーク移載装置、ワーク搬送装置およびベルトコンベア - Google Patents
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Abstract
【課題】薄手のワークの反り状態を完全に矯正することができるワークテーブル、ワーク矯正方法、ワーク処理装置、ワーク移載装置、ワーク搬送装置およびベルトコンベアを提供する。
【解決手段】上反り状態の薄手のワークWが載置される有孔プレート11、その周縁部の下側に連通する周縁部エアー室16および中央部の下側に連通する中央部エアー室17から成るワーク矯正プレート2と、周縁部エアー室16および中央部エアー室17に連通し、各エアー室から個別に吸引する真空吸引手段3と、各エアー室にエアーを個別に供給するエアー供給手段4と、真空吸引手段3とエアー供給手段4とを切替え制御し、且つエアー吸引およびエアー供給を、各エアー室との間で切替え制御するエアー制御手段5と、を備え、エアー制御手段5は、ワーク矯正動作として、載置したワークWの周縁部を吸着した後、中央部を浮上させてワークWを逆反り状態とする。
【選択図】図1
【解決手段】上反り状態の薄手のワークWが載置される有孔プレート11、その周縁部の下側に連通する周縁部エアー室16および中央部の下側に連通する中央部エアー室17から成るワーク矯正プレート2と、周縁部エアー室16および中央部エアー室17に連通し、各エアー室から個別に吸引する真空吸引手段3と、各エアー室にエアーを個別に供給するエアー供給手段4と、真空吸引手段3とエアー供給手段4とを切替え制御し、且つエアー吸引およびエアー供給を、各エアー室との間で切替え制御するエアー制御手段5と、を備え、エアー制御手段5は、ワーク矯正動作として、載置したワークWの周縁部を吸着した後、中央部を浮上させてワークWを逆反り状態とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、薄手のワークの反り状態を矯正するワークテーブル、ワーク矯正方法、ワーク処理装置、ワーク移載装置、ワーク搬送装置およびベルトコンベアに関するものである。
従来、この種のワークテーブルとして、有孔プレート上に載置された上反り状態のワークを、マトリクス状に整列配置した複数の吸着穴から真空吸着し、反りを矯正するものが知られている(特許文献1参照)。
特開2002−308425号公報
しかしながら、上記のような構成では、ワークの上反りが強い場合に、ワークの縁端が吸着穴に十分に接近せず、上反り状態が完全に矯正されない問題がある。また、吸着を解除すると、残留応力により幾分反りが元に戻ってしまう問題があった。
本発明は、薄手のワークの反り状態を完全に矯正することができるワークテーブル、ワーク矯正方法、ワーク処理装置、ワーク移載装置、ワーク搬送装置およびベルトコンベアを提供することを課題とする。
本発明のワークテーブルは、上反り状態で載置された薄手のワークの上反り状態を矯正するワークテーブルであって、ワークが載置されるワーク載置領域に対応して設けた有孔プレート、有孔プレートの周縁部の下側に連通する周縁部エアー室および有孔プレートの中央部の下側に連通する中央部エアー室、から成るワーク矯正プレートと、周縁部エアー室および中央部エアー室に連通し、有孔プレートを介してワークを吸着するために、周縁部エアー室および中央部エアー室からエアーを個別に吸引する真空吸引手段と、周縁部エアー室および中央部エアー室に連通し、有孔プレートを介してワークを浮上させるために、周縁部エアー室にエアーおよび中央部エアー室にエアーを個別に供給するエアー供給手段と、真空吸引手段とエアー供給手段とを切替え制御すると共に、真空吸引手段によるエアーの吸引およびエアー供給手段によるエアーの供給を、周縁部エアー室と中央部エアー室との間で切替え制御するエアー制御手段と、を備え、エアー制御手段は、ワーク矯正動作として、載置したワークの周縁部を吸着した後、中央部を浮上させてワークを逆反り状態とすることを特徴とする。
この場合、エアー制御手段は、ワークを逆反り状態とし、ワークの上反り部分が吸着されたところで、更に中央部を吸着することが、好ましい。
また、本発明のワーク矯正方法は、ワークが載置されるワーク載置領域に対応して設けた有孔プレート、有孔プレートの周縁部の下側に連通する周縁部エアー室および有孔プレートの中央部の下側に連通する中央部エアー室、から成るワーク矯正プレートを用いて、薄手のワークの上反り状態を矯正するワーク矯正方法であって、周縁部エアー室を真空引きして、載置したワークの周縁部を吸着した後、中央部エアー室に圧縮エアーを供給してワークの中央部を浮上させ、ワークを逆反り状態とすることを特徴とする。
この場合、ワークを逆反り状態にした後、周縁部エアー室の真空引きを維持しワークの上反り部分が吸着されたところで、中央部エアー室を真空引きして、ワークの中央部を吸着することが、好ましい。
この構成によれば、載置したワークの周縁部を吸着した後、中央部を浮上させるようにして、上反り状態のワークを逆反り状態にする。この逆反りにより、ワークの上反り方向の残留応力を完全に消滅させることができ、ワークに対し、その残留応力を殺すようにして反りの無い状態に矯正することができる。これにより、例えば移載のためのワークの吸着ミスや、アライメントのためのワークの基準マークの認識不良等を防止することができる。
この場合、エアー制御手段は、中央部の吸着の後、更にワークの周縁部および中央部の吸着を解くことが、好ましい。
この構成によれば、矯正されたワークは反りが戻ることがなく、吸着を解除することにより、ワークの搬送や移載等を行うことが可能となる。
本発明の他のワークテーブルは、下反り状態で載置された薄手のワークの下反り状態を矯正するワークテーブルであって、ワークが載置されるワーク載置領域に対応して設けた有孔プレート、有孔プレートの周縁部の下側に連通する周縁部エアー室および前記有孔プレートの中央部の下側に連通する中央部エアー室、から成るワーク矯正プレートと、周縁部エアー室および中央部エアー室に連通し、有孔プレートを介してワークを吸着するために、周縁部エアー室および中央部エアー室からエアーを個別に吸引する真空吸引手段と、周縁部エアー室および中央部エアー室に連通し、有孔プレートを介してワークを浮上させるために、周縁部エアー室にエアーおよび中央部エアー室にエアーを個別に供給するエアー供給手段と、真空吸引手段とエアー供給手段とを切替え制御すると共に、真空吸引手段によるエアーの吸引およびエアー供給手段によるエアーの供給を、周縁部エアー室と中央部エアー室との間で切替え制御するエアー制御手段と、を備え、エアー制御手段は、ワーク矯正動作として、載置したワークの中央部を吸着した後、周縁部を浮上させてワークを逆反り状態とすることを特徴とする。
また、本発明の他のワーク矯正方法は、ワークが載置されるワーク載置領域に対応して設けた有孔プレート、有孔プレートの周縁部の下側に連通する周縁部エアー室および有孔プレートの中央部の下側に連通する中央部エアー室、から成るワーク矯正プレートを用いて、薄手のワークの下反り状態を矯正するワーク矯正方法であって、中央部エアー室を真空引きして、載置したワークの中央部を吸着した後、周縁部エアー室に圧縮エアーを供給してワークの周縁部を浮上させ、ワークを逆反り状態とすることを特徴とする。
この構成によれば、載置したワークの中央部を吸着した後、周縁部を浮上させるようにして、下反り状態のワークを逆反り状態にする。この逆反りにより、ワークの下反り方向の残留応力を完全に消滅させることができ、ワークに対し、その残留応力を殺すようにして反りの無い状態に矯正することができる。これにより、例えば移載のためのワークの吸着ミスや、アライメントのためのワークの基準マークの認識不良等を防止することができる。
この場合、ワークの反り状態を検出する検出手段を、更に備え、エアー制御手段は、検出手段の検出結果に基づいて、ワーク矯正動作を実行することが、好ましい。
この構成によれば、矯正が必要な大きな反り(閾値を越えた反り)を有するワークのみを矯正することができる。また、矯正動作の後、ワークの上反りおよび下反り状態が解消しない場合には、検知しなくなるまで矯正動作が繰り返されることになり、ワークの強い反りも適切に矯正することができる。
この場合、有孔プレートが多孔質プレートであることが、好ましい。
この構成によれば、比較的少量のエアー量で、多孔質プレートの全面からエアーを吹き付けることができ、また、多孔質プレートの全面から吸引することができる。特に、従来のアレイ的な吸着形態と異なり面的な吸着形態となるため、ワークの縁端に対しても、十分に吸着力を発揮することができる。
本発明の他のワークテーブルは、上反り状態で載置された薄手のワークの上反り状態を矯正するワークテーブルであって、ワークが載置されるワーク載置領域に対応して設けた有孔プレート、有孔プレートの一対のサイド部の下側に連通する一対のサイド部エアー室および有孔プレートの一対のサイド部に挟まれたセンター部の下側に連通するセンター部エアー室、から成るワーク矯正プレートと、一対のサイド部エアー室およびセンター部エアー室に連通し、有孔プレートを介してワークを吸着するために、一対のサイド部エアー室およびセンター部エアー室からエアーを個別に吸引する真空吸引手段と、一対のサイド部エアー室およびセンター部エアー室に連通し、有孔プレートを介してワークを浮上させるために、一対のサイド部エアー室にエアーおよびセンター部エアー室にエアーを個別に供給するエアー供給手段と、真空吸引手段とエアー供給手段とを切替え制御すると共に、真空吸引手段によるエアーの吸引およびエアー供給手段によるエアーの供給を、一対のサイド部エアー室とセンター部エアー室との間で切替え制御するエアー制御手段と、を備え、エアー制御手段は、ワーク矯正動作として、載置したワークの両サイド部を吸着した後、センター部を浮上させてワークを逆反り状態とすることを特徴とする。
また、本発明の他のワーク矯正方法は、ワークが載置されるワーク載置領域に対応して設けた有孔プレート、有孔プレートの一対のサイド部の下側に連通する一対のサイド部エアー室および有孔プレートのセンター部の下側に連通するセンター部エアー室、から成るワーク矯正プレートを用いて、薄手のワークの上反り状態を矯正するワーク矯正方法であって、一対のサイド部エアー室を真空引きして、載置したワークの両サイド部を吸着した後、センター部エアー室に圧縮エアーを供給してワークのセンター部を浮上させ、ワークを逆反り状態とすることを特徴とする。
この構成によれば、上反り状態のワークを逆反り状態にすることで、ワークを矯正することができる。つまり、ワークをいったん逆反り状態とするため、上反りの残留応力を完全に消滅させることができる。したがって、ワークを反りの無い状態に確実に矯正することができる。
本発明の他のワークテーブルは、下反り状態で載置された薄手のワークの下反り状態を矯正するワークテーブルであって、ワークが載置されるワーク載置領域に対応して設けた有孔プレート、有孔プレートの一対のサイド部の下側に連通する一対のサイド部エアー室および有孔プレートの一対のサイド部に挟まれたセンター部の下側に連通するセンター部エアー室、から成るワーク矯正プレートと、一対のサイド部エアー室およびセンター部エアー室に連通し、有孔プレートを介してワークを吸着するために、一対のサイド部エアー室およびセンター部エアー室からエアーを個別に吸引する真空吸引手段と、一対のサイド部エアー室およびセンター部エアー室に連通し、有孔プレートを介してワークを浮上させるために、一対のサイド部エアー室にエアーおよび前記センター部エアー室にエアーを個別に供給するエアー供給手段と、真空吸引手段とエアー供給手段とを切替え制御すると共に、真空吸引手段によるエアーの吸引およびエアー供給手段によるエアーの供給を、一対のサイド部エアー室とセンター部エアー室との間で切替え制御するエアー制御手段と、を備え、エアー制御手段は、ワーク矯正動作として、載置したワークのセンター部を吸着した後、両サイド部を浮上させてワークを逆反り状態とすることを特徴とする。
本発明の他のワーク矯正方法は、ワークが載置されるワーク載置領域に対応して設けた有孔プレート、有孔プレートの一対のサイド部の下側に連通する一対のサイド部エアー室および有孔プレートのセンター部の下側に連通するセンター部エアー室、から成るワーク矯正プレートを用いて、薄手のワークの下反り状態を矯正するワーク矯正方法であって、センター部エアー室を真空引きして、載置したワークのセンター部を吸着した後、一対のサイド部エアー室に圧縮エアーを供給してワークの両サイド部を浮上させ、ワークを逆反り状態とすることを特徴とする。
この構成によれば、下反り状態のワークを逆反り状態にすることで、ワークを矯正することができる。つまり、ワークをいったん逆反り状態とするため、下反りの残留応力を完全に消滅させることができる。したがって、ワークを反りの無い状態に確実に矯正することができる。
本発明のワーク処理装置は、上記のワークテーブルが、ワークを処理するためにワークを水平面内で移動させる移動機構に組み込まれていることを特徴とする。
この構成によれば、上反りまたは下反り状態を矯正することができるワーク処理装置を提供することができる。また、例えば移動機構がワークのアライメントを実施するものでは、アライメントのためのワークの基準マークの認識不良等を防止することができる。
本発明のワーク移載装置は、上記のワークテーブルが、ワークを移載位置に移動させるためのバックアップ機構に組み込まれていることを特徴とする。
この構成によれば、ワークを移載しながら上反りまたは下反り状態を矯正することができるワーク移載装置を提供することができる。これにより、移載のためのワークの吸着ミス等を防止することができる。
本発明のワーク搬送装置は、上記のワークテーブルが、ワークを載せて搬送するための搬送テーブルであることを特徴とする。
この構成によれば、ワークを搬送しながら上反りまたは下反り状態を矯正することができるワーク搬送装置を提供することができる。この場合も、搬送テーブルからワークを処理装置等に移載する場合、ワークの吸着ミス等を防止することができる。
本発明の他のワーク搬送装置は、上記のワークテーブルを、ワークをエアーにより搬送するためのワーク搬送路に組み込んだことを特徴とする。
この構成によれば、ワークをエアー搬送しながら上反りおよび下反り状態を矯正することができるワーク搬送装置を提供することができる。この場合も、ワーク搬送路からワークを処理装置等に移載する場合、ワークの吸着ミス等を防止することができる。
本発明のベルトコンベアは、上記のワークテーブルの複数個を連ねてベルトを構成したことを特徴とする。
この構成によれば、ワークを搬送しながら上反りおよび下反り状態を矯正することができるベルトコンベアを提供することができる。この場合も、ベルトからワークを処理装置等に移載する場合、ワークの吸着ミス等を防止することができる。
以下、添付の図面を参照して、本実施形態に係るワークテーブルについて説明する。このワークテーブルは、セットされた、例えば薄手のプリント基板やFPC基板等のワークの反り状態を矯正するものである。なお、以下の説明では、ワークの上反り状態を矯正する場合について説明する。
ワークテーブル1は、ワークWが載置されるワーク矯正プレート2と、載置されたワークWをワーク矯正プレート2表面に真空吸着するためのエアー吸引ユニット3(真空吸引手段)と、載置されたワークWにワーク矯正プレート2表面からエアーを吹き付けるためのエアー供給ユニット4(エアー供給手段)と、エアー吸引ユニット3およびエアー供給ユニット4のエアーの吸引および供給を切替え制御する複数のエアー制御バルブ5(エアー制御手段)と、載置されたワークWの上反り状態を検出する検出センサ7と、を有している。
ワーク矯正プレート2は、ベースとなる枠状フレーム10と、枠状フレーム10の上部に嵌合する多孔質プレート11と、を有し、多孔質プレート11の下側には、エアー吸引ユニット3およびエアー供給ユニット4に連なるエアー室12が形成されている。枠状フレーム10は、アルミニウム等の金属で構成され、多孔質プレート11はフッ素樹脂等で構成されていて、全体として軽量化が図られている。
枠状フレーム10は、その内部のエアー室12を区分けするよう隔壁15が設けられており、隔壁15は、エアー室12を周縁部エアー室16および中央部エアー室17に区分けするよう略方形(ワークの形状による)に形成されている。中央部エアー室17には、その中心部に2つの中央エアー接続口18が設けられており、周縁部エアー室16にも、中央部エアー室17を挟んでその両側に2つの周縁エアー接続口19が設けられている。この場合、中央部エアー室17は、ワークWの中央部に対応しており、実施形態のものは、ワークWが方形であるため方形に形成されているが、その形状および大きさは、載置されるワークWに対応させるようになっている。同様に、ワーク矯正プレート2の載置面も、載置されるワークWの形状および大きさに対応させることが好ましく、これにより、ワーク矯正プレート2からのエアーの吸引および供給に際し、エアーのリークを少なくすることができるため、エアー消費量を軽減することができる。
2つの中央エアー接続口18、18には、それぞれのエアー配管を介してエアー供給ユニット4およびエアー吸引ユニット3に接続されている。そして、2本のエアー配管には、それぞれエアー制御バルブ5、5が介設されており、エアーの流路を適宜開閉するよう構成されている。同様に、2つの周縁エアー接続口19、19には、それぞれのエアー配管を介してエアー供給ユニット4およびエアー吸引ユニット3に接続されている。そして、2本のエアー配管には、それぞれエアー制御バルブ5、5が介設されており、エアーの流路を適宜開閉するよう構成されている。これにより、周縁部エアー室16および中央部エアー室17から、個別にエアーの吸引およびエアーの供給を行うことが可能な構成とすることができる。
多孔質プレート11は、単一のプレートで構成されており、周縁部エアー室16に連通する周縁部領域25および中央部エアー室17に連通する中央部領域26に区分けするよう、枠状フレーム10の隔壁15に倣って、多孔質プレート11に封止剤(接着剤)が塗布されている。なお、多孔質プレート11を用いることにより、比較的少量のエアー量で、多孔質プレート11の全面からエアーを吹き付けることができ、また、多孔質プレート11の全面から吸引することができる。これにより、ワークWの縁端に対しても、十分に吸着力を発揮することができる。
検出センサ7は、例えば、光センサ(限定距離反射式センサ)や変位センサ等で構成され、上反り状態のワークWの上反り部分および中心部分を検出するようワークWの上方に複数配置しており、ワーク矯正プレート2上に載置されたワークWの上反りの状態を測定すると共に、測定したワークの上反りと、ワークWに対し矯正の必要のない標準状態(閾値)とを比較する。これにより、検出センサが、設定した閾値よりも上反り状態にあると検出すると、ワーク矯正プレート2に載置されたワークWに対し、矯正動作を行う。なお、1の検出センサ7を、ワークWの上反り部分および中心部分の上方を走査するよう構成しても良い。また、検出センサ7を、上反り状態のワークWの上反り部分および中心部分を下方から検出するようワーク矯正プレート2内に複数配置するよう構成しても良い。
次に、図2を参照して、上反り状態のワークWを矯正する一連の動作について説明する。多孔質プレート11上に上反り状態のワークWが載置されると(図2(a)参照)、周縁部エアー室16からエアーを吸引し、ワークWの周縁部を真空吸着する。このとき、ワークWの上反りが強い場合は、ワークWの周縁端部はやや浮いた状態となる(図2(b)参照)。この状態を維持しつつ、中央部エアー室17へエアーを供給すると、ワークWは、その中央部が逆反り状態となり、また、ワークWの浮いた周縁端部は真空吸着される(図2(c)参照)。この後、再び、中央部エアー室17からエアーを吸引してワークW全面を真空吸着する(図2(d)参照)。これにより、真空吸着状態を解除すると、ワークWは矯正された状態となり、矯正後のワークWを、真空吸着によりピックアップするピックアップ装置等により、次工程の装置等に移載される。もっとも、検出センサにより、ワークWの上反り状態が解消されない場合には、矯正動作を繰り返すことで、上反り状態を標準状態にまで矯正する。なお、ピックアップ装置等による吸着動作では、静電気の影響等を考慮し、中央部エアー室17および周縁部エアー室16に瞬間的にエアーを供給し、受け渡しを円滑にすることが好ましい。
以上の構成によれば、上反り状態のワークWを逆反り状態にすることで、ワークWの上反り方向の残留応力を完全に消滅させることができ、ワークWを反りの無い状態に矯正することができる。これにより、例えば、ワークテーブル1が、移載装置に組み込まれている場合は、移載装置へのワークWの吸着ミスを防止することができ、また、アライメント装置に組み込まれている場合は、アライメントのためのワークWの基準マークの認識不良等を防止することができる。
なお、載置されたワークWが下反り状態である場合には、上反り状態と逆の矯正動作を行うことにより、下反り状態のワークを矯正することができる。すなわち、図8に示すように、多孔質プレート11上に下反り状態のワークWが載置されると(図8(a)参照)、中央部エアー室17からエアーを吸引し、ワークWの中央部を真空吸着する(図8(b)参照)。この状態を維持しつつ、周縁部エアー室16へエアーを供給すると、ワークWは、その周縁部が逆反り状態となる(図8(c)参照)。この後、再び、周縁部エアー室16からエアーを吸引してワークW全面を真空吸着する(図8(d)参照)。これにより、真空吸着状態を解除すると、ワークWは矯正された状態となり、矯正後のワークWを、真空吸着によりピックアップするピックアップ装置等により、次工程の装置等に移載される。
次に、図3を参照して、本実施形態のワークテーブル1の変形例について説明する。このワークテーブル1は、ワーク矯正プレート2の内部に形成されたエアー室12が、ワーク矯正プレート2の両側に形成された一対のサイド部エアー室30と、一対のサイド部エアー室30に挟まれたセンター部エアー室31とに区分けするよう一対の隔壁15が平行に設けられている。これに応じて、多孔質プレート11も同様に、一対のサイド部エアー室30に連通する一対のサイド部領域35と、センター部エアー室31に連通するセンター部領域36とに区分けされている。
多孔質プレート11上に上反り状態のワークWが載置されると、一対のサイド部エアー室30からエアーを吸引し、ワークWの両サイド部を真空吸着する。このとき、ワークWの上反りが強い場合は、ワークWの両側端部はやや浮いた状態となる(図2(b)参照)。この状態を維持しつつ、センター部エアー室31へエアーを供給すると、ワークWは、そのセンター部が逆反り状態となり、また、ワークWの浮いた両側端部は真空吸着される(図2(c)参照)。この後、再び、センター部エアー室31からエアーを吸引してワークW全面を真空吸着する(図2(d)参照)。これにより、真空吸着状態を解除すると、ワークWは矯正された状態となる。上記の構成においても、上反り状態のワークWを逆反り状態にすることで、ワークWの上反り方向の残留応力を完全に消滅させることができ、ワークWを反りの無い状態に矯正することができる。
なお、この場合も、載置されたワークWが下反り状態である場合には、上反り状態と逆の矯正動作を行うことにより、下反り状態のワークを矯正することができる。すなわち、図8に示すように、多孔質プレート11上に下反り状態のワークWが載置されると(図8(a)参照)、センター部エアー室31からエアーを吸引し、ワークWのセンター部を真空吸着する(図8(b)参照)。この状態を維持しつつ、一対のサイド部エアー室30へエアーを供給すると、ワークWは、その両サイド部が逆反り状態となる(図8(c)参照)。この後、再び、一対のサイド部エアー室30からエアーを吸引してワークW全面を真空吸着する(図8(d)参照)。これにより、真空吸着状態を解除すると、ワークWは矯正された状態となり、矯正後のワークWを、真空吸着によりピックアップするピックアップ装置等により、次工程の装置等に移載される。
次に、図4(a)を参照して、上記のワークテーブル1を組み込んだ移動テーブル40(移動機構)について説明する。移動テーブル40は、Y軸方向に移動するY軸テーブル41と、Y軸テーブル41上をX軸方向に移動するX軸テーブル42と、鉛直軸を中心にX軸テーブル42上を回転移動するθテーブル43と、θテーブル43に搭載された上記のワークテーブル1と、を有している。
ワークテーブル1に上反り状態のワークWが載置されると、移動テーブル40は、ワークWの上反り状態を矯正しつつ、ワークW全面を真空吸着した状態(図2(d)の状態)において、ワーク処理装置によるワークWへの処理やワークWの位置合わせ(アライメント)等のために、適宜ワークWを移動させる。これにより、ワークWをワークテーブル1に吸着ミスすることがなく、ワークWに対し適切な処理やアライメントを行うことができる。
次に、図4(b)を参照して、上記のワークテーブル1を組み込んだバックアップ機構45について説明する。バックアップ機構45は、Z軸方向に移動するZ軸テーブル46と、Z軸テーブル46に搭載された上記のワークテーブル1と、を有している。
ワークテーブル1に上反り状態のワークWが載置されると、バックアップ機構45は、ワークWの上反り状態を矯正しつつ、ワークW全面を真空吸着した状態(図2(d)の状態)において、Z軸テーブル46を上昇させ、ワークWを移載する移載ロボットに臨ませる。この後、ワークW全面の真空吸着を解除し、矯正後のワークWを移載ロボットがピックアップして移載する。なお、ピックアップ時に予めプリアライメントを行いたい場合は、上記の移動テーブル40を組み込んだ構成とすることで、ワークテーブル1への吸着ミスによるアライメントの位置ズレを防止することができる。
次に、図5を参照して、上記のワークテーブル1を組み込んだワーク搬送装置50について説明する。このワーク搬送装置50は、搬送ガイド51の搬送開始位置と搬送終了位置との間を往復移動するリニアスライダ52(リニアモータ)と、基端部をリニアスライダ52に保持された支持アーム53と、支持アーム53の先端部に支持された搬送テーブル54と、を有しており、搬送テーブル54は上記のワークテーブル1で構成されている。
搬送開始位置において、ワークテーブル1に上反り状態のワークWが載置されると、リニアスライダ52は、ワークWを搬送終了位置に向かって搬送すると共に、ワークテーブル1は、ワークWの上反り状態を矯正し、この後、ワークWは、矯正された状態となって搬送終了位置に達する。これにより、搬送終了位置に臨んだワークWを、ピックアップ装置により真空吸着してピックアップする場合には、ワークWの適切な位置を真空吸着してピックアップすることができる。
次に、図6を参照して、上記のワークテーブル1を組み込んだ他のワーク搬送装置60について説明する。このワーク搬送装置60は、ワークWを案内するワーク搬送路61と、ワーク搬送路61に沿って設けられた一対のエアーブローユニット62と、を有しており、ワーク搬送路61の搬送開始位置には、上記のワークテーブル1が組み込まれている。ワーク搬送路61は、搬送面から上方に向けてエアーを吹き出しており、載置したワークWを浮上させると共に、一対のエアーブローユニット62は、ワーク搬送路61に載置されたワークWの両側面に推進力が付与されるようエアーを吹き付ける。
ワーク搬送路61の搬送開始位置に上反り状態のワークWが載置されると、搬送開始位置に組み込まれたワークテーブル1は、ワークWの上反りを矯正し、ワーク搬送装置60は、矯正後のワークWをエアー搬送により搬送終了位置に向けてプリアライメントしながら搬送する。これにより、上反り状態のワークWを矯正した後、矯正後のワークWをエアー搬送することができる。つまり、このワーク搬送装置60は、ワーク搬送路61上に載置したワークWをワーク搬送路61に沿ってエアーにより搬送しながら、ワークWのプリアライメントを行うものであり、フレキシブル基板(FOG)やドライバチップ(COG)等の部品をガラス基板等に実装するべく、前段階として各部品およびガラス基板をプリアライメント(±0.1mmの精度)する場合に有用である。このプリアライメントは、次段階において、画像認識装置および精密ステージ等を用いて、各部品およびガラス基板に形成された各アライメントマークを画像認識し、この画像認識結果に基づいて、精密ステージにより高精度なアライメント(0.002mmの精度)を行うために、画像認識装置にアライメントマークを映し込む為の作業となっている。
次に、図7を参照して、上記のワークテーブル1を組み込んだベルトコンベア65について説明する。このベルトコンベア65は、複数の上記のワークテーブル1を連ねて構成したベルト66と、ベルト66を周回させる駆動プーリ67と、駆動プーリ67に従動する従動プーリ68と、を有している。駆動プーリ67および従動プーリ68間には、複数のガイドローラ69が配設されており、ベルト66の弛みを防止している。
ベルトコンベア65の搬送開始位置に上反り状態のワークWが載置されると、ベルトコンベア65は、ワークテーブル1によりワークWを矯正しつつ、ベルト66を周回させてワークWを搬送終了位置に向けて搬送する。これにより、ワークWは矯正された状態で搬送終了位置に達することができるため、搬送終了位置に臨んだワークWを、ピックアップ装置により真空吸着してピックアップする場合には、ワークWの適切な位置を真空吸着してピックアップすることができる。
1…ワークテーブル 2…ワーク矯正プレート 3…エアー吸引ユニット 4…エアー供給ユニット 5…エアー制御バルブ 11…多孔質プレート 12…エアー室 16…周縁部エアー室 17…中央部エアー室 30…サイド部エアー室 31…センター部エアー室 40…移動テーブル 45…バックアップ機構 50…ワーク搬送装置 60…ワーク搬送装置 65…ベルトコンベア
Claims (18)
- 上反り状態で載置された薄手のワークの上反り状態を矯正するワークテーブルであって、
前記ワークが載置されるワーク載置領域に対応して設けた有孔プレート、前記有孔プレートの周縁部の下側に連通する周縁部エアー室および前記有孔プレートの中央部の下側に連通する中央部エアー室、から成るワーク矯正プレートと、
前記周縁部エアー室および前記中央部エアー室に連通し、前記有孔プレートを介して前記ワークを吸着するために、前記周縁部エアー室および前記中央部エアー室からエアーを個別に吸引する真空吸引手段と、
前記周縁部エアー室および前記中央部エアー室に連通し、前記有孔プレートを介して前記ワークを浮上させるために、前記周縁部エアー室にエアーおよび前記中央部エアー室にエアーを個別に供給するエアー供給手段と、
前記真空吸引手段と前記エアー供給手段とを切替え制御すると共に、前記真空吸引手段によるエアーの吸引および前記エアー供給手段によるエアーの供給を、前記周縁部エアー室と前記中央部エアー室との間で切替え制御するエアー制御手段と、を備え、
前記エアー制御手段は、ワーク矯正動作として、載置した前記ワークの周縁部を吸着した後、中央部を浮上させて前記ワークを逆反り状態とすることを特徴とするワークテーブル。 - 前記エアー制御手段は、前記ワークを逆反り状態とし、前記ワークの上反り部分が吸着されたところで、更に前記中央部を吸着することを特徴とする請求項1に記載のワークテーブル。
- 前記エアー制御手段は、前記中央部の吸着の後、更に前記ワークの周縁部および中央部の吸着を解くことを特徴とする請求項2に記載のワークテーブル。
- 下反り状態で載置された薄手のワークの下反り状態を矯正するワークテーブルであって、
前記ワークが載置されるワーク載置領域に対応して設けた有孔プレート、前記有孔プレートの周縁部の下側に連通する周縁部エアー室および前記有孔プレートの中央部の下側に連通する中央部エアー室、から成るワーク矯正プレートと、
前記周縁部エアー室および前記中央部エアー室に連通し、前記有孔プレートを介して前記ワークを吸着するために、前記周縁部エアー室および前記中央部エアー室からエアーを個別に吸引する真空吸引手段と、
前記周縁部エアー室および前記中央部エアー室に連通し、前記有孔プレートを介して前記ワークを浮上させるために、前記周縁部エアー室にエアーおよび前記中央部エアー室にエアーを個別に供給するエアー供給手段と、
前記真空吸引手段と前記エアー供給手段とを切替え制御すると共に、前記真空吸引手段によるエアーの吸引および前記エアー供給手段によるエアーの供給を、前記周縁部エアー室と前記中央部エアー室との間で切替え制御するエアー制御手段と、を備え、
前記エアー制御手段は、ワーク矯正動作として、載置した前記ワークの中央部を吸着した後、周縁部を浮上させて前記ワークを逆反り状態とすることを特徴とするワークテーブル。 - 前記ワークの反り状態を検出する検出手段を、更に備え、
前記エアー制御手段は、前記検出手段の検出結果に基づいて、前記ワーク矯正動作を実行することを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載のワークテーブル。 - 前記有孔プレートが多孔質プレートであることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載のワークテーブル。
- 上反り状態で載置された薄手のワークの上反り状態を矯正するワークテーブルであって、
前記ワークが載置されるワーク載置領域に対応して設けた有孔プレート、前記有孔プレートの一対のサイド部の下側に連通する一対のサイド部エアー室および前記有孔プレートの一対のサイド部に挟まれたセンター部の下側に連通するセンター部エアー室、から成るワーク矯正プレートと、
前記一対のサイド部エアー室および前記センター部エアー室に連通し、前記有孔プレートを介して前記ワークを吸着するために、前記一対のサイド部エアー室および前記センター部エアー室からエアーを個別に吸引する真空吸引手段と、
前記一対のサイド部エアー室および前記センター部エアー室に連通し、前記有孔プレートを介して前記ワークを浮上させるために、前記一対のサイド部エアー室にエアーおよび前記センター部エアー室にエアーを個別に供給するエアー供給手段と、
前記真空吸引手段と前記エアー供給手段とを切替え制御すると共に、前記真空吸引手段によるエアーの吸引および前記エアー供給手段によるエアーの供給を、前記一対のサイド部エアー室と前記センター部エアー室との間で切替え制御するエアー制御手段と、を備え、
前記エアー制御手段は、ワーク矯正動作として、載置した前記ワークの両サイド部を吸着した後、センター部を浮上させて前記ワークを逆反り状態とすることを特徴とするワークテーブル。 - 下反り状態で載置された薄手のワークの下反り状態を矯正するワークテーブルであって、
前記ワークが載置されるワーク載置領域に対応して設けた有孔プレート、前記有孔プレートの一対のサイド部の下側に連通する一対のサイド部エアー室および前記有孔プレートの一対のサイド部に挟まれたセンター部の下側に連通するセンター部エアー室、から成るワーク矯正プレートと、
前記一対のサイド部エアー室および前記センター部エアー室に連通し、前記有孔プレートを介して前記ワークを吸着するために、前記一対のサイド部エアー室および前記センター部エアー室からエアーを個別に吸引する真空吸引手段と、
前記一対のサイド部エアー室および前記センター部エアー室に連通し、前記有孔プレートを介して前記ワークを浮上させるために、前記一対のサイド部エアー室にエアーおよび前記センター部エアー室にエアーを個別に供給するエアー供給手段と、
前記真空吸引手段と前記エアー供給手段とを切替え制御すると共に、前記真空吸引手段によるエアーの吸引および前記エアー供給手段によるエアーの供給を、前記一対のサイド部エアー室と前記センター部エアー室との間で切替え制御するエアー制御手段と、を備え、
前記エアー制御手段は、ワーク矯正動作として、載置した前記ワークのセンター部を吸着した後、両サイド部を浮上させて前記ワークを逆反り状態とすることを特徴とするワークテーブル。 - 前記ワークが載置されるワーク載置領域に対応して設けた有孔プレート、前記有孔プレートの周縁部の下側に連通する周縁部エアー室および前記有孔プレートの中央部の下側に連通する中央部エアー室、から成るワーク矯正プレートを用いて、薄手のワークの上反り状態を矯正するワーク矯正方法であって、
前記周縁部エアー室を真空引きして、載置した前記ワークの前記周縁部を吸着した後、前記中央部エアー室に圧縮エアーを供給して前記ワークの前記中央部を浮上させ、前記ワークを逆反り状態とすることを特徴とするワーク矯正方法。 - 前記ワークを逆反り状態にした後、前記周縁部エアー室の真空引きを維持し前記ワークの上反り部分が吸着されたところで、前記中央部エアー室を真空引きして、前記ワークの前記中央部を吸着することを特徴とする請求項9に記載のワーク矯正方法。
- 前記ワークが載置されるワーク載置領域に対応して設けた有孔プレート、前記有孔プレートの周縁部の下側に連通する周縁部エアー室および前記有孔プレートの中央部の下側に連通する中央部エアー室、から成るワーク矯正プレートを用いて、薄手のワークの下反り状態を矯正するワーク矯正方法であって、
前記中央部エアー室を真空引きして、載置した前記ワークの前記中央部を吸着した後、前記周縁部エアー室に圧縮エアーを供給して前記ワークの前記周縁部を浮上させ、前記ワークを逆反り状態とすることを特徴とするワーク矯正方法。 - 前記ワークが載置されるワーク載置領域に対応して設けた有孔プレート、前記有孔プレートの一対のサイド部の下側に連通する一対のサイド部エアー室および前記有孔プレートのセンター部の下側に連通するセンター部エアー室、から成るワーク矯正プレートを用いて、薄手のワークの上反り状態を矯正するワーク矯正方法であって、
前記一対のサイド部エアー室を真空引きして、載置した前記ワークの両サイド部を吸着した後、前記センター部エアー室に圧縮エアーを供給して前記ワークの前記センター部を浮上させ、前記ワークを逆反り状態とすることを特徴とするワーク矯正方法。 - 前記ワークが載置されるワーク載置領域に対応して設けた有孔プレート、前記有孔プレートの一対のサイド部の下側に連通する一対のサイド部エアー室および前記有孔プレートのセンター部の下側に連通するセンター部エアー室、から成るワーク矯正プレートを用いて、薄手のワークの下反り状態を矯正するワーク矯正方法であって、
前記センター部エアー室を真空引きして、載置した前記ワークのセンター部を吸着した後、前記一対のサイド部エアー室に圧縮エアーを供給して前記ワークの前記両サイド部を浮上させ、前記ワークを逆反り状態とすることを特徴とするワーク矯正方法。 - 請求項1ないし8のいずれかに記載のワークテーブルが、前記ワークを処理するために前記ワークを水平面内で移動させる移動機構に組み込まれていることを特徴とするワーク処理装置。
- 請求項1ないし8のいずれかに記載のワークテーブルが、前記ワークを移載位置に移動させるためのバックアップ機構に組み込まれていることを特徴とするワーク移載装置。
- 請求項1ないし8のいずれかに記載のワークテーブルが、前記ワークを載せて搬送するための搬送テーブルであることを特徴とするワーク搬送装置。
- 請求項1ないし8のいずれかに記載のワークテーブルを、前記ワークをエアーにより搬送するためのワーク搬送路に組み込んだことを特徴とするワーク搬送装置。
- 請求項1ないし8のいずれかに記載のワークテーブルの複数個を連ねてベルトを構成したことを特徴とするベルトコンベア。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006064357A JP2007238290A (ja) | 2006-03-09 | 2006-03-09 | ワークテーブル、ワーク矯正方法、ワーク処理装置、ワーク移載装置、ワーク搬送装置およびベルトコンベア |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006064357A JP2007238290A (ja) | 2006-03-09 | 2006-03-09 | ワークテーブル、ワーク矯正方法、ワーク処理装置、ワーク移載装置、ワーク搬送装置およびベルトコンベア |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2007238290A true JP2007238290A (ja) | 2007-09-20 |
Family
ID=38584194
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2006064357A Pending JP2007238290A (ja) | 2006-03-09 | 2006-03-09 | ワークテーブル、ワーク矯正方法、ワーク処理装置、ワーク移載装置、ワーク搬送装置およびベルトコンベア |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2007238290A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012119591A (ja) * | 2010-12-02 | 2012-06-21 | Fuji Electric Co Ltd | 吸着装置および吸着方法 |
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2006
- 2006-03-09 JP JP2006064357A patent/JP2007238290A/ja active Pending
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