JP2009098052A - 基板搬送装置用基板把持機構 - Google Patents
基板搬送装置用基板把持機構 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009098052A JP2009098052A JP2007271093A JP2007271093A JP2009098052A JP 2009098052 A JP2009098052 A JP 2009098052A JP 2007271093 A JP2007271093 A JP 2007271093A JP 2007271093 A JP2007271093 A JP 2007271093A JP 2009098052 A JP2009098052 A JP 2009098052A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- gripping
- block
- lower block
- floating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
【解決手段】基板搬送部に設置され基板を浮上させる基板浮上機構と、基板を把持する把持手段と、把持手段を移動させる把持搬送手段を備えた基板搬送装置において、把持手段は、基板端部を基板挟み部により挟み込む上ブロックおよび下ブロックと、上ブロックおよび下ブロックを支えかつ移動軸をそろえるための支柱と、上ブロックと下ブロックの基板挟み部の外側に配置されるチャック開閉チューブと、チャック開閉チューブ内部に流体を給排する流体給排手段と、上ブロックと下ブロックの間に配置される反発ばねと、上ブロックおよび下ブロックを支える支え梁および支えばねとを備え、少なくとも1以上の把持手段を往復運動させる把持搬送手段を備えた基板搬送装置用把持機構。
【選択図】図1
Description
前記把持手段は、基板端部を基板挟み部により挟み込む上ブロックおよび下ブロックと、
前記上ブロックおよび下ブロックを支えかつ移動軸をそろえるための支柱と、
前記上ブロックと下ブロックの基板挟み部の外側に配置されるチャック開閉チューブと、
前記チャック開閉チューブ内部に流体を給排する流体給排手段と、
前記上ブロックと下ブロックの間に配置される反発ばねと、
前記上ブロックおよび下ブロックを支える支え梁および支えばねと、を備え、
少なくとも1以上の前記把持手段を往復運動させる前記把持搬送手段を備えることを特徴とする基板搬送装置用把持機構である。
アンチャック状態から、チューブ29に圧縮空気を入れるとチューブ29が膨らみ、上ブロック26が下に、下ブロック27が上に移動し、基板2をチャックするようになっている。
2… 基板
3… 基板浮上機構
3a… 表面(基板浮上機構)
4… 基板浮上機構
4a… 表面(基板浮上機構)
5… 基板把持機構
6… 基板搬送機構
7… ベースプレート
8… 吸引穴(基板浮上機構)
9… 透過検査用照明
10… 中空空間(基板浮上機構:吹き上げ)
10p… 配管(基板浮上機構:吹き上げ)
11… 中空空間(基板浮上機構:吸引)
11v… 配管(基板浮上機構:吸引)
12… 中空空間(基材浮上機構:吹き上げ)
12p… 配管(基材浮上機構:吹き上げ)
13… 空気流(基板浮上機構:吹き上げ)
14… 空気流(基板浮上機構:吹き上げ)
15… ブロアーポンプ(吸引)
16… ボールバルブ
17… チャンバー
18… 排気経路
19… 圧力調整弁
20… マニホールド
21… 圧空経路
22… カメラ装置
23… コロロール(搬送用)
24… ベースプレート
25… 基板把持ピン
26… 上ブロック
27… 下ブロック
28… 反発スプリング
29… チャック開閉用チューブ
30… 支柱
31… 支えスプリング
32… 定荷重巻きスプリング
33… 排気圧
34… 吸着部
40… 支え梁
Claims (2)
- 基板搬送部に設置された基板を浮上させる基板浮上機構と、前記基板の片端部もしくは両端部を把持する把持手段と、前記把持手段を移動させる把持搬送手段を備えたことを特徴とする基板搬送装置において、
前記把持手段は、基板端部を基板挟み部により挟み込む上ブロックおよび下ブロックと、
前記上ブロックおよび下ブロックを支えかつ移動軸をそろえるための支柱と、
前記上ブロックと下ブロックの基板挟み部の外側に配置されるチャック開閉チューブと、
前記チャック開閉チューブ内部に流体を給排する流体給排手段と、
前記上ブロックと下ブロックの間に配置される反発ばねと、
前記上ブロックおよび下ブロックを支える支え梁および支えばねと、を備え、
少なくとも1以上の前記把持手段を往復運動させる前記把持搬送手段を備えることを特徴とする基板搬送装置用把持機構。 - 前記基板把持手段の上ブロックと下ブロックのいずれかの基板挟み部に吸着部を配置したことを特徴とする請求項1記載の基板搬送装置用把持機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007271093A JP5056339B2 (ja) | 2007-10-18 | 2007-10-18 | 基板搬送装置用基板把持機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007271093A JP5056339B2 (ja) | 2007-10-18 | 2007-10-18 | 基板搬送装置用基板把持機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009098052A true JP2009098052A (ja) | 2009-05-07 |
JP5056339B2 JP5056339B2 (ja) | 2012-10-24 |
Family
ID=40701192
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007271093A Expired - Fee Related JP5056339B2 (ja) | 2007-10-18 | 2007-10-18 | 基板搬送装置用基板把持機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5056339B2 (ja) |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009231717A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Toppan Printing Co Ltd | 基板移動装置および基板搬送装置および基板撮像装置 |
JP2011026093A (ja) * | 2009-07-28 | 2011-02-10 | Kataoka Seisakusho:Kk | 基板移送装置 |
JP2012060118A (ja) * | 2010-09-07 | 2012-03-22 | Nikon Corp | 移動体装置、物体処理装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 |
JP2012060117A (ja) * | 2010-09-07 | 2012-03-22 | Nikon Corp | 移動体装置、物体処理装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 |
CN102565092A (zh) * | 2010-09-27 | 2012-07-11 | 株式会社日立高新技术 | 玻璃基板缺陷检查装置以及玻璃基板缺陷检查方法 |
KR101185532B1 (ko) * | 2009-12-30 | 2012-09-25 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 기판 이송장치 및 이를 이용한 이송 방법 |
JP2014069936A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Avanstrate Inc | ガラス基板の搬送装置、および、ガラス基板の製造方法 |
JP2014123769A (ja) * | 2014-03-06 | 2014-07-03 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 紫外線照射装置および紫外線照射方法 |
KR101534180B1 (ko) * | 2014-04-25 | 2015-07-07 | 지티엔이(주) | 유리 반송 장치 및 방법 |
JP2017022160A (ja) * | 2015-07-07 | 2017-01-26 | 東朋テクノロジー株式会社 | ガラス基板の検査装置 |
KR20190124049A (ko) * | 2018-04-25 | 2019-11-04 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 |
KR20200029421A (ko) * | 2020-03-10 | 2020-03-18 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 |
CN111220623A (zh) * | 2018-11-26 | 2020-06-02 | 塔工程有限公司 | 基板检测装置及基板检测方法 |
CN115791836A (zh) * | 2023-01-12 | 2023-03-14 | 广州讯中信息科技有限公司 | 一种显示屏检测装置及显示屏的检测方法 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107381056A (zh) * | 2017-09-05 | 2017-11-24 | 滁州克莱帝玻璃科技有限公司 | 一种玻璃隔板生产用输送装置 |
KR102231462B1 (ko) * | 2019-09-25 | 2021-03-24 | 주식회사 나노프로텍 | 비접촉식 휴대폰 커버 그라스 이송장치 |
KR102267705B1 (ko) * | 2020-09-17 | 2021-06-22 | 주식회사 티에스아이코리아 | 칩 온 필름 검사장치 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000009661A (ja) * | 1998-06-26 | 2000-01-14 | Ntn Corp | フラットパネル検査装置 |
JP2000059007A (ja) * | 1998-08-14 | 2000-02-25 | Toyo Commun Equip Co Ltd | リフロー装置におけるプリント基板の反り矯正機構 |
WO2003086917A1 (fr) * | 2002-04-18 | 2003-10-23 | Olympus Corporation | Dispositif de transport de substrat |
JP2003302346A (ja) * | 2002-04-12 | 2003-10-24 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 薄板ワークの表面検査装置 |
JP2006248651A (ja) * | 2005-03-09 | 2006-09-21 | Shiizu:Kk | 基板搬送用クランプユニット |
-
2007
- 2007-10-18 JP JP2007271093A patent/JP5056339B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000009661A (ja) * | 1998-06-26 | 2000-01-14 | Ntn Corp | フラットパネル検査装置 |
JP2000059007A (ja) * | 1998-08-14 | 2000-02-25 | Toyo Commun Equip Co Ltd | リフロー装置におけるプリント基板の反り矯正機構 |
JP2003302346A (ja) * | 2002-04-12 | 2003-10-24 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 薄板ワークの表面検査装置 |
WO2003086917A1 (fr) * | 2002-04-18 | 2003-10-23 | Olympus Corporation | Dispositif de transport de substrat |
JP2006248651A (ja) * | 2005-03-09 | 2006-09-21 | Shiizu:Kk | 基板搬送用クランプユニット |
Cited By (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009231717A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Toppan Printing Co Ltd | 基板移動装置および基板搬送装置および基板撮像装置 |
JP2011026093A (ja) * | 2009-07-28 | 2011-02-10 | Kataoka Seisakusho:Kk | 基板移送装置 |
KR101185532B1 (ko) * | 2009-12-30 | 2012-09-25 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 기판 이송장치 및 이를 이용한 이송 방법 |
JP2012060118A (ja) * | 2010-09-07 | 2012-03-22 | Nikon Corp | 移動体装置、物体処理装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 |
JP2012060117A (ja) * | 2010-09-07 | 2012-03-22 | Nikon Corp | 移動体装置、物体処理装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 |
JP2016157131A (ja) * | 2010-09-07 | 2016-09-01 | 株式会社ニコン | 移動体装置、物体処理装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 |
CN102565092A (zh) * | 2010-09-27 | 2012-07-11 | 株式会社日立高新技术 | 玻璃基板缺陷检查装置以及玻璃基板缺陷检查方法 |
KR101929764B1 (ko) * | 2012-09-28 | 2018-12-17 | 아반스트레이트 가부시키가이샤 | 유리 기판의 반송 장치, 및, 유리 기판의 제조 방법 |
JP2014069936A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Avanstrate Inc | ガラス基板の搬送装置、および、ガラス基板の製造方法 |
TWI602763B (zh) * | 2012-09-28 | 2017-10-21 | Avanstrate Inc | Transfer apparatus of a glass substrate, and the manufacturing method of a glass substrate |
JP2014123769A (ja) * | 2014-03-06 | 2014-07-03 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 紫外線照射装置および紫外線照射方法 |
KR101534180B1 (ko) * | 2014-04-25 | 2015-07-07 | 지티엔이(주) | 유리 반송 장치 및 방법 |
JP2017022160A (ja) * | 2015-07-07 | 2017-01-26 | 東朋テクノロジー株式会社 | ガラス基板の検査装置 |
KR20190124049A (ko) * | 2018-04-25 | 2019-11-04 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 |
KR102134271B1 (ko) * | 2018-04-25 | 2020-07-15 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 |
CN111220623A (zh) * | 2018-11-26 | 2020-06-02 | 塔工程有限公司 | 基板检测装置及基板检测方法 |
KR20200062417A (ko) * | 2018-11-26 | 2020-06-04 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법 |
KR102215123B1 (ko) * | 2018-11-26 | 2021-02-16 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법 |
CN111220623B (zh) * | 2018-11-26 | 2023-05-12 | 塔工程有限公司 | 基板检测装置及基板检测方法 |
KR20200029421A (ko) * | 2020-03-10 | 2020-03-18 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 |
KR102134274B1 (ko) | 2020-03-10 | 2020-07-15 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 |
CN115791836A (zh) * | 2023-01-12 | 2023-03-14 | 广州讯中信息科技有限公司 | 一种显示屏检测装置及显示屏的检测方法 |
CN115791836B (zh) * | 2023-01-12 | 2023-05-02 | 广州讯中信息科技有限公司 | 一种显示屏检测装置及显示屏的检测方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5056339B2 (ja) | 2012-10-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5056339B2 (ja) | 基板搬送装置用基板把持機構 | |
JP5092627B2 (ja) | 基板搬送装置及び基板検査装置 | |
JP4624236B2 (ja) | 真空蒸着用アライメント装置 | |
US7604439B2 (en) | Non-contact support platforms for distance adjustment | |
JP4495752B2 (ja) | 基板処理装置及び塗布装置 | |
WO2016159062A1 (ja) | 物体搬送装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、物体搬送方法、及び露光方法 | |
US20070214925A1 (en) | Substrate dicing system, substrate manufacturing apparatus, and substrate dicing method | |
JP4418428B2 (ja) | 基板浮上装置 | |
JP2008166348A (ja) | 基板搬送装置 | |
JP2012094770A (ja) | 検査装置および基板の位置決め方法 | |
CN107265839B (zh) | 划片设备 | |
JP2008147291A (ja) | 基板支持装置、基板支持方法、基板加工装置、基板加工方法、表示装置構成部材の製造方法 | |
CN108701635B (zh) | 基板浮起输送装置 | |
TW202032623A (zh) | 基板處理裝置及基板處理方法 | |
JP2008159784A (ja) | ステージ装置 | |
JP2008172046A (ja) | 基板浮上搬送装置 | |
JP5176631B2 (ja) | 基板搬送装置及び基板検査装置 | |
WO2013150787A1 (ja) | 物体搬送システム、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、物体保持装置、物体搬送装置、物体搬送方法、及び物体交換方法 | |
TWI389240B (zh) | The support of the workpiece | |
JP2007250871A (ja) | 基板搬送装置 | |
JP5165718B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP2010034382A (ja) | 基板搬送装置および基板撮像装置 | |
KR101793021B1 (ko) | 기판 반송 장치 | |
CN107265838B (zh) | 划片设备 | |
KR102353206B1 (ko) | 스크라이빙 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100921 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110915 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120321 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120410 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120608 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120703 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120716 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150810 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |