JP2014069936A - ガラス基板の搬送装置、および、ガラス基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ガラス基板検査装置100は、基板浮上ユニット20と、基板搬送ユニット30とを備える。基板浮上ユニット20は、搬送方向D1に沿って間隔を空けて配置される複数のフロートパネル22を有する。フロートパネル22は、気体噴出機構22aと、基板対向面22bとを有する。気体噴出機構22aは、ガラス基板10の表面に吹き付けられる気体を噴出する。基板対向面22bは、搬送されるガラス基板10の、気体が吹き付けられる表面と対向する面である。フロートパネル22は、搬送方向D1に向かうに従って基板対向面22bの高さ位置が徐々に下がるように配置される。
【選択図】図5
Description
本発明に係るガラス基板の搬送装置の実施形態について、図面を参照しながら説明する。最初に、本実施形態で用いられるガラス基板検査装置100によって検査されるガラス基板10の製造工程について説明する。ガラス基板10は、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイおよび有機ELディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ(FPD)の製造に用いられる。ガラス基板10は、例えば、0.2mm〜0.8mmの厚みを有し、かつ、縦680mm〜2200mmおよび横880mm〜2500mmのサイズを有する。
(b)Al2O3:10質量%〜25質量%、
(c)B2O3:5質量%〜18質量%、
(d)MgO:0質量%〜10質量%、
(e)CaO:0質量%〜20質量%、
(f)SrO:0質量%〜20質量%、
(g)BaO:0質量%〜10質量%、
(h)RO:5質量%〜20質量%(Rは、Mg、Ca、SrおよびBaから選択される少なくとも1種である。)、
(i)R’ 2O:0質量%〜2.0質量%(R’は、Li、NaおよびKから選択される少なくとも1種である。)、
(j)SnO2、Fe2O3およびCeO2から選ばれる少なくとも1種の金属酸化物。
次に、本実施形態に係るガラス基板検査装置100について説明する。図2は、ガラス基板検査装置100の外観図である。ガラス基板検査装置100は、検査工程S7においてガラス基板10を検査するために用いられる。ガラス基板検査装置100は、水平状態に支持されたガラス基板10を所定の方向に搬送しながら、ガラス基板10の表面に存在する欠陥を光学的に検査する。ガラス基板検査装置100は、主として、基板浮上ユニット20と、基板搬送ユニット30と、基板検査ユニット40とからなる。ガラス基板検査装置100は、基板浮上ユニット20および基板搬送ユニット30からなるガラス基板の搬送装置を備えている。以下、図2に示されるように、水平状態のガラス基板10が搬送される方向を「搬送方向D1」と呼び、ガラス基板10の搬送方向に直交する水平面内の方向を「幅方向D2」と呼ぶ。また、ガラス基板10の端部であって、搬送方向D1に平行な端部を、「側端部」と呼び、ガラス基板10の端部であって、幅方向D2に平行な端部を、「前後端部」と呼ぶ。ガラス基板10は、図2において、符号D1で示される矢印の方向に搬送される。
基板浮上ユニット20は、水平状態のガラス基板10の下面10aに気体を吹き付けてガラス基板10を浮上させるユニットである。基板浮上ユニット20は、主として、複数のフロートパネル22から構成される。図3は、基板浮上ユニット20の上面図である。図3において、フロートパネル22は、ハッチングされた領域で示されている。図4は、基板浮上ユニット20の側面図である。図5は、図4の一部の拡大図である。図4および図5では、鉛直方向の寸法が誇張されている。複数のフロートパネル22は、幅方向D2に沿って間隔を空けずに配置されることで、フロートパネルアレイ24を形成する。複数のフロートパネルアレイ24は、搬送方向D1に沿って所定の間隔を空けて配置される。以下、搬送方向D1に沿って隣り合う2つのフロートパネルアレイ24間の空間を「スリット26」と呼ぶ。スリット26は、図3に示されるように、幅方向D2に延びる空間である。
基板搬送ユニット30は、基板浮上ユニット20によって浮上させたガラス基板10を、搬送方向D1に沿って搬送するユニットである。基板搬送ユニット30は、主として、基板保持部32と、基板搬送部34とを備える。
基板検査ユニット40は、基板搬送ユニット30によって搬送されるガラス基板10を検査するユニットである。基板検査ユニット40は、ガラス基板10の表面に存在する傷およびクラック、ガラス基板10の表面に付着している異物、および、ガラス基板10の内部に存在している微小な泡等の欠陥を光学的に検知する機能を有する光学デバイスである。
(3−1)
本実施形態に係るガラス基板検査装置100は、ガラス基板10を搬送方向D1に沿って搬送しながら、ガラス基板10の表面に形成されている欠陥を検出する。ガラス基板10を浮上させる基板浮上ユニット20は、搬送方向D1に沿って複数のフロートパネル22が所定の間隔L2を空けて設置されている構成を有している。
近年、市販されているフロートパネル22は、高い平面度を有する基板対向面22bを備えている。また、フロートパネル22および基板浮上ユニット20全体の水平レベルに関する不確定要素は、基板浮上ユニット20を構成する各部品の加工精度管理、および、基板浮上ユニット20の位置の精密な計測および調整によって、ほぼ取り除くことができる。しかし、ガラス基板10の固有の形状に関する不確定要素は、完全に取り除くことが困難である。特に、連続して搬送されるガラス基板10の反りを完全に測定することは困難である。
本実施形態に係るガラス基板検査装置100では、搬送方向D1に向かうに従って、フロートパネル22の気体噴出機構22aから噴出される気体の流量が徐々に増加する。
本実施形態に係るガラス基板検査装置100では、複数のフロートパネル22から構成されるフロートパネルアレイ24は、幅方向D2に沿って延びている。また、基板検査ユニット40のカメラ40aは、搬送方向D1に隣り合うフロートパネルアレイ24間のスリット26に設置されている。
以上、本発明に係るガラス基板の製造方法について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良および変更が施されてもよい。また、本実施形態では、ガラス基板の検査工程の例について説明したが、本発明に係るガラス基板の搬送装置は、他のガラス基板の処理工程に用いられてもよい。
本実施形態では、基板浮上ユニット20は、搬送されるガラス基板10に下向きの力を生じさせる気体吸引機構22cを有している。しかし、気体吸引機構22cの代わりに、基板浮上ユニット20の上方に、下方に向かって気体を噴出する他の気体噴出機構が設置されてもよい。この気体噴出機構から噴出される気体が、搬送されるガラス基板10の上面に衝突することで、搬送されるガラス基板10に下向きの力が付与される。そのため、この場合においても、基板搬送ユニット30によって搬送されるガラス基板10には、ガラス基板10の形状をある程度強制する力が付与される。
本実施形態において、基板検査ユニット40のカメラ40aは、図4に示されるように、一のスリット26に設置されるが、複数のスリット26に設置されてもよい。複数のスリット26に基板検査ユニット40のカメラ40aを設置することによって、例えば、スリット26ごとに測定レンジが異なる光学検査を行うことができる。この場合、基板検査ユニット40は、例えば、一のスリット26において、ガラス基板10の表面に形成されている傷およびクラックを検出し、他のスリット26において、ガラス基板10の内部に存在している微小な泡を検出する光学検査を行うことができる。
20 基板浮上ユニット
22 フロートパネル
22a 気体噴出機構
22b 基板対向面
30 基板搬送ユニット
40 基板検査ユニット
100 ガラス基板検査装置
D1 搬送方向
Claims (7)
- ガラス基板の表面に気体を吹き付けて前記ガラス基板を浮上させる基板浮上ユニットと、
前記基板浮上ユニットによって浮上させた前記ガラス基板を搬送方向に沿って搬送する基板搬送ユニットと、
を備え、
前記基板浮上ユニットは、前記搬送方向に沿って間隔を空けて配置される複数のフロートパネルを有し、
前記フロートパネルは、前記気体を噴出する気体噴出機構と、搬送される前記ガラス基板の前記表面と対向する基板対向面とを有し、かつ、前記搬送方向に向かうに従って前記基板対向面の高さ位置が徐々に下がるように配置される、
ガラス基板の搬送装置。 - 前記搬送方向に沿って配置されている前記フロートパネルの前記基板対向面は、水平面に平行である、
請求項1に記載のガラス基板の搬送装置。 - 前記基板浮上ユニットは、前記搬送方向に向かうに従って、前記フロートパネルの前記気体噴出機構から噴出される前記気体の流量を徐々に増加させる、
請求項1または2に記載のガラス基板の搬送装置。 - 前記基板搬送ユニットによって搬送される前記ガラス基板を検査する光学デバイスである基板検査ユニットをさらに備え、
前記フロートパネルは、前記搬送方向に直交する方向である前記ガラス基板の幅方向に沿って延び、
前記基板検査ユニットは、隣り合う前記フロートパネルの間に配置される、
請求項1から3のいずれか1項に記載のガラス基板の搬送装置。 - ガラス基板の表面に気体を吹き付けて前記ガラス基板を浮上させる基板浮上工程と、
前記基板浮上工程によって浮上させた前記ガラス基板を搬送方向に沿って搬送する基板搬送工程と、
前記基板搬送工程で搬送される前記ガラス基板を加工または検査する基板処理工程と、
を備え、
前記基板浮上工程において、前記搬送方向に沿って間隔を空けて配置される複数のフロートパネルによって、前記ガラス基板が浮上させられ、
前記フロートパネルは、前記気体を噴出する気体噴出機構と、搬送される前記ガラス基板の前記表面と対向する基板対向面とを有し、かつ、前記搬送方向に向かうに従って前記基板対向面の高さ位置が徐々に下がるように配置される、
ガラス基板の製造方法。 - 前記搬送方向に沿って配置されている前記フロートパネルの前記基板対向面は、水平面に平行である、
請求項5に記載のガラス基板の製造方法。 - 前記基板処理工程は、前記基板搬送工程で搬送される前記ガラス基板を検査する基板検査工程であって、
前記基板検査工程では、隣り合う前記フロートパネルの間に配置される光学デバイスによって、前記ガラス基板が検査される、
請求項5または6に記載のガラス基板の製造方法。
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