JP2014093441A - ウエハ搬送装置およびそれを備えたウエハ検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】浮上状態のウエハを直線的に搬送することができるウエハ搬送装置およびそれを備えたウエハ検査装置を提供する。
【解決手段】
ウエハ２を浮上させる浮上ユニット２１と、ウエハ２を搬送方向に押す搬送機構２３と、ウエハ２より搬送方向下流側からウエハ２にエアーを流すエアー噴出器２５とを備え、搬送機構２３はウエハ２の搬送方向上流側の端面を搬送方向に押す押し出し部４１を有するウエハ搬送装置４およびそれを備えたウエハ検査装置１である。
【選択図】図２

Description

本発明はウエハ搬送装置およびそれを備えたウエハ検査装置に係り、特にウエハの浮上搬送の技術に関する。

太陽電池パネルに用いられる光電変換層として、シリコンウエハが広く使われている。このシリコンウエハの大きさおよびクラック等の外傷を検査するウエハ検査装置がある。特許文献１は、そのようなシリコンウエハの検査装置の一例を開示している。

特許文献１のウエハ検査装置では、シリコンウエハをローラ上に載置して搬送している。ローラ搬送やベルト搬送のように、シリコンウエハの下面と搬送装置とを接触させて搬送すると、シリコンウエハに不要なストレスを与えることになる。シリコンウエハは非常に割れやすいので、搬送により割れや欠け、ベルトの汚れや跡が発生するおそれがある。

また、ワークの搬送装置として、ワークを浮上させる浮上ユニットを複数個並べた搬送装置が実用化されている。浮上ユニットは多孔質材で形成されており、浮上ユニットの内部にエアーを供給することで多孔質内にエアーが流れ、浮上ユニットの表面から均一に流れるエアーによりワークを浮上させることができる。フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いられるガラス基板などのワークを浮上搬送するワーク浮上装置が特許文献２および特許文献３に開示されている。

特開２０１０−３４１３３号公報 特開２０１１−８４３５２号公報 特開２００８−１１０８５２号公報

シリコンウエハの搬送においても、シリコンウエハを浮上させて浮上搬送することが好ましい。しかしながら、ガラス基板を搬送する場合と異なり、シリコンウエハを浮上搬送する場合には独特の困難性が発明者により見つけられた。シリコンウエハの厚みは、例えば、１００〜２００μｍとＦＰＤフラットパネルに比べると格段に薄い。また、シリコンウエハの重量は軽く、ウエハ内での重量分布のバラツキがあるので、浮上状態において、僅かの衝撃や空気の流れで進行方向が変わったり、回転したりするので、直線的に搬送することが困難であった。

本発明は、かかる課題を解決するためになされたものであり、浮上状態のウエハを直線的に搬送することができるウエハ搬送装置およびそれを備えたウエハ検査装置を提供することを目的とする。

本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、ウエハを浮上させる浮上ユニットと、前記ウエハを搬送方向に押す搬送機構と、前記ウエハの前記搬送方向下流側から前記ウエハにエアーを流すエアー噴出器とを備え、前記搬送機構は前記ウエハの前記搬送方向上流側の端面を前記搬送方向に押す押し出し部を有するウエハ搬送装置である。

上記構成によれば、浮上ユニットにより浮上されるウエハは、搬送機構により搬送方向に押し出される。エアー噴出器はウエハよりも搬送方向下流側からウエハに向けてエアーを流すので、搬送方向と逆方向の成分の力を有するエアーを流すことができる。

また、ウエハは、搬送機構が有する押し出し部により、搬送方向上流側の端面を搬送方向に押し出される。すなわち、ウエハは、エアー噴出器からのエアーにより押し出し部の方に押され、押し出し部により搬送方向に押し出される。このように、ウエハは搬送方向の前後方向において、エアーと押し出し部により挟まれて移動するので、回転運動や蛇行の発生を防ぐことができ、直進的に搬送することができる。

また、前記エアー噴出器は前記ウエハの上方から前記ウエハにエアーを流すことが好ましい。エアー噴出器はウエハよりも上方からウエハに向けてエアーを流すので、ウエハに対して下方向きの成分の力を有するエアーを流すことができる。これにより、ウエハは浮上ユニットによるエアーの上向きの力と、エアー噴出器によるエアーの下向きの力とにより挟まれて搬送されるので、ウエハの上下方向の振動を防ぐことができる。

また、前記浮上ユニットは搬送面側に前記搬送方向に平行な溝を有し、前記溝は前記浮上ユニットの前記搬送方向の側面で開口することが好ましい。溝が搬送面側に搬送方向と平行に形成されており、搬送方向の側面で開口しているので、ユニットから噴出したエアーがウエハを浮上させてウエハにて反転したエアーを溝沿いに流して開口部から排出することができる。このように、ユニットから発生するエアーを溝内に排気することで、搬送方向に流れる気流を発生させ、かつ、エアー流れを整流することでウエハの直進性や搬送時の安定性を向上させることができる。

また、前記押し出し部の一部が前記溝内を移動することが好ましい。溝内を押し出し部の一部が移動することで、溝内の搬送方向へのエアーの流れを促進することができる。また、押し出し部の一部が溝内にまで入っているので、ウエハが押し出し部の下部に入り込んで押し出し部と浮上ユニットの間に挟まることを防止することができる。これにより、押し出し部がウエハの上面と接触することを防止し、ウエハの上面を損傷させること無く、又、清浄に保つことができる。

また、前記搬送機構は前記押し出し部を支持するアームを有し、前記アームは搬送方向と交差する方向に延伸し、前記アームの下部が面取りされていることが好ましい。押し出し部を支持するアームの下部が面取りされていることで、アームに向けて流れるエアーをアームの下部から上流側へ排出することができる。これにより、アームで反転し逆流するエアーを大幅に低減することができ、エアーの逆流により押し出し部からウエハが離れることを抑制することができる。押し出し部からウエハが離れないので、ウエハの回転および蛇行を防止することができる。

また、前記エアー噴出器はエアーが噴出するノズルを有し、前記浮上ユニットの前記搬送面に対する前記ノズルの角度が前記ノズルの位置によって異なることが好ましい。エアー噴射機はエアーが噴出する複数のノズルを有する。これらのノズルは、ノズルの位置によって、搬送面に対するノズルの角度が異なるので、ウエハとノズルとの位置に応じて搬送方向と逆方向の成分の力と下方向の成分の力とを適切に有するエアーを流すことができる。

また、前記エアー噴出器は、前記搬送方向上流側の下部の角が面取りされた傾斜部を有し、前記傾斜部に複数の前記ノズルが搬送方向と直交するように配列されることが好ましい。エアー噴出器は、搬送方向上流側の下部の角が面取りされた傾斜部を有することで、エアー噴出器の下部の搬送方向上流側にノズルを配置することができる。これにより、ウエハに対して、搬送方向と反対方向のエアーを適切に流すことができる。

また、前記エアー噴出器は縦方向に拡散するエアーが噴出するノズルを有することが好ましい。縦方向に拡散するエアーにより、ウエハが横方向に回転または移動することを防ぐことができるので、ウエハの初期の位置決めに適している。

また、前記浮上ユニットは、光学的測定用の孔を有し、前記孔は、前記搬送方向における幅よりも、前記搬送方向と直交する方向における幅の方が大きいことが好ましい。光学的測定用の孔が、搬送方向の幅よりも、搬送方向と直交する方向の幅の方が大きいことで、ウエハの直進性が損なわれるのを抑制することができる。

また、本発明に係るウエハ検査装置は、上記ウエハ搬送装置を備える検査装置である。ウエハが高精度な直進性及び搬送安定性を維持して搬送されるので、ウエハの検査誤差を低減することができ、検査精度を向上させることができる。

本発明によれば、浮上状態のウエハを直線的に搬送することができるウエハ搬送装置およびそれを備えたウエハ検査装置を提供することことができる。

実施例に係るウエハ検査装置の概略全体図である。 実施例に係るウエハ搬送装置の一部斜視図である。 実施例に係るウエハ浮上ユニットの一例の上面図である。 実施例に係るエアー噴出器の下方から見た斜視図である。 従来例に係る浮上ユニットの搬送方向に沿った断面図である。 実施例に係るウエハ搬送装置の溝に沿った断面図である。 実施例に係る搬送装置の搬送方向に沿った断面図である。 傾斜部の無いアームにおける気流の流れを説明する断面図である。 変形例に係るノズルを有するウエハ搬送装置の溝に沿った断面図である。

以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。
図１は実施例に係るウエハの検査装置の概略図である。図１を参照して、ウエハの検査装置の構成を説明する。なお、本実施例において、ウエハ供給側を上流側とし、ウエハ収納側を下流側とする。

１．ウエハ検査装置
ウエハの検査装置１には、ウエハ２を供給するウエハ供給部３と、ウエハ２を搬送するウエハ搬送装置４と、ウエハ２の上部表面を撮影する第１カメラ５と、ウエハ２の下部表面を撮影する第２カメラ７と、クラック等を検出するためにウエハ２の画像を撮影する第３カメラ９と、ウエハ２の厚さおよび反り等を検出するためのレーザー変位計１０と、撮影された画像データの処理やウエハ２の良品であるか否かの判別を行うホストコンピュータ１５と、ウエハ２を検査結果に応じて分別収納するウエハ収納部１７とを備える。

ホストコンピュータ１５は、第１カメラ５で撮影した画像データを基にウエハ２の大きさを検出し、さらに、第３カメラ９で撮影した画像データを基にウエハ２のクラック等を検出する画像処理部１１と、レーザー変位計１０が検出したウエハ２の変位量を基にウエハ２の厚み、反り等を検出する厚み検出部１２と、ウエハ２の大きさの判別、クラックの有無の判別、および厚みの判別を実施してウエハ２を良品であるか不良品であるかを判別するウエハ判別部１３と、ウエハ供給部３、ウエハ搬送装置４およびウエハ収納部１７を駆動制御する駆動制御部１４とを有する。シリコンウエハの検査装置１については後で詳細に説明する。

２．ウエハ搬送装置
ウエハ搬送装置４は、ウエハ２の搬送方向に並べられた複数個の浮上ユニット２１と、ウエハ２を搬送方向に押し出す搬送機構２３と、ウエハ２の上面に対して搬送方向と反対方向のエアーを流すエアー噴出器２５と、浮上ユニット２１およびエアー噴出器２５にエアーを供給するエアー供給部２７とを備える。浮上ユニット２１について、図２も参照して説明する。図２は実施例に係るウエハ搬送装置の一部斜視図である。

浮上ユニット２１の搬送面側表面には、多孔質板３０が配置されている。多孔質板３０の下部にはチャンバー３１が配置されている。エアー供給部２７からチャンバー３１に加圧エアーが供給される。加圧エアーはチャンバー３１から多孔質板３０に流入し、多孔質板３０に形成されている多数の孔からエアーが上方に流れる。これにより、ウエハ２は均一に浮上される。多孔質板３０は本実施例ではカーボン製であるが、セラミック製等その他の材質でもよい。

また、浮上ユニット２１には、多孔質板３０の搬送面側に、搬送方向と平行な溝３２が形成されている。溝３２は、浮上ユニット２１の搬送方向下流側の側面３３で開口している。溝３２は、浮上ユニット２１の搬送方向上流側の側面３５でも開口していることが好ましいが、ウエハ供給部３からウエハ２が供給される浮上ユニット２１においては、側面３５において溝３２が開口していなくてもよい。また、溝３２は、搬送方向と直交する方向において、ウエハ２の幅よりも中心側に形成されている。言い換えると、ウエハ２は溝３２上を搬送される。本実施例では、浮上ユニット２１は２本の溝３２を有するがこれに限られず、１本または３本以上の溝３２を有してもよい。

また、図３に示すように、レーザー変位計１０によりレーザーが透過する浮上ユニット２１’は、光学測定用の孔３６を有している。図３は、浮上ユニットの一例の上面図である。孔３６は、ウエハ２の搬送方向における幅よりも、搬送方向と直交する方向における幅の方が大きい。これにより、搬送方向への気流の流れの攪乱を抑制することができる。

図１および図２に戻って説明する。搬送機構２３は、ウエハ２の端面と接触してウエハ２を搬送方向に押し出す押し出し部４１と、押し出し部４１を支持するアーム４３と、アーム４３を搬送方向に駆動する駆動部４５とを有する。

押し出し部４１はウエハ２の滑りを防止する部材で、例えばゴム製で、搬送方向上流側のウエハ２の端面と接触する。押し出し部４１は、その一部が溝３２の中に入る。アーム４３が搬送方向に移動するのに伴って、押し出し部４１はウエハ２の端部と接触しながらウエハ２を搬送方向へ押し出す。ウエハ２の回転運動を抑制するために、押し出し部４１は２個以上備える方が好ましい。このように、押し出し部４１の一部が溝３２の中に入るので、溝３２も２本以上浮上ユニット２１に形成されることが好ましい。

アーム４３は平板の形状を有しており、押し出し部４１を支持する。アーム４３の搬送方向下流側の下部は面取りされて傾斜部４４を有する。傾斜部４４は傾斜形状の他に円弧形状であってもよい。これらの形状により、ウエハ２の上方からアーム４３の方向に流れるエアーが、アーム４３の下部に回り込んでアーム４３の上流側へ流れ出ることで、アーム４３においてエアーの流れが反転して逆流するのを抑制することができる。

駆動部４５は浮上ユニット２１の側方に設けられたレール４７に沿って移動するリニア式駆動装置を採用している。リニア式駆動装置であれば、振動を抑制してアーム４３、押し出し部４１およびウエハ２を移動することができる。

次に、図４も参照してエアー噴出器を説明する。図４はエアー噴出器の下方から見た斜視図である。エアー噴出器２５はブロック形状であり、複数のノズル５１がウエハ２の搬送方向と直交する方向に複数列配置されている。エアー噴出器２５はプラスチック製であり、ブロック内にノズル５１が搬送方向の行ごとに一列に並んで形成されている。これらのノズル５１は、行ごとに搬送面に対する角度が異なる。

また、搬送方向上流側のエアー噴出器２５の下部は面取りされており、傾斜部５２が形成されている。傾斜部５２にはノズル５１が搬送方向と直交するように形成されており、より遠くのウエハ２にエアーを流すことができる。エアーブロックの角にはノズル５１を形成することはできないが、傾斜部５２を形成することで、エアー噴出器２５の底面に効率良くノズル５１を配置することができる。ノズル５１は傾斜部５２に搬送方向と適度な角度を有して形成されてもよい。また、ノズル５１は配置される位置によって浮上ユニット２１の搬送面に対する角度が異なるので、ウエハ２とノズル５１との位置に応じて搬送方向と逆方向の成分の力と下方向の成分の力とを適切に有するエアーを流すことができる。すなわち、ノズル５１が下向きであればあるほど、エアーの下方向の成分の力が増えるが、搬送方向と逆方向の成分の力が減少する。また、ノズル５１が水平方向であればあるほど、エアーの搬送方向と逆方向の成分の力が増えるが下方向の成分の力が減少する。エアー噴出器２５において、搬送方向下流側のノズル５１の搬送面に対する角度は搬送方向上流側のノズル５１の搬送面に対する角度よりも小さい。これにより、ウエハ２がエアー噴出器２５の下方を通過する際に、ウエハ２がエアーを受けるノズル５１の個数は多くなるが、それぞれのノズル５１からのエアーの下方向の成分の力を減少することでウエハ２を下方に押す力を調整し、ウエハ２の上下振動を低減することができる。

エアー供給部２７は、浮上ユニット２１およびエアー噴出器２５に加圧（圧縮）エアーを供給するコンプレッサである。エアー供給部２７からエアー配管を介してそれぞれに加圧エアーが供給される。

次に、図５および図６を参照してウエハ搬送装置４がウエハ２を搬送する際の気流の流れを説明する。図５は従来例に係る浮上ユニットの搬送方向に沿った断面図であり、図６は実施例に係るウエハ搬送装置の溝に沿った断面図である。

従来の浮上ユニット７１にウエハ２を浮上させると、図５に示すように、ウエハ２が凸状に変形したり、ウエハ２下のエアーが乱流状態になり、ウエハ２の浮上が不安定になる問題が生じる。ウエハ２は非常に薄く剛性が弱いので、ウエハ２の下部にエアーが貯留しやすい。この貯留したエアーによりウエハ２が変形する。ウエハ２の変形や不安定な浮上状態は大きさ検査や厚み検査において測定誤差を生じ、検査精度を著しく低下させる。

これに対して、図６に示すように、本実施例におけるウエハ搬送装置４によれば、ウエハ２の下部で反転して逆流したエアーは、多孔質板３０に形成された溝３２を搬送方向に流れて、開口部３４から排出される。これにより、ウエハ２の下部にエアーが貯留するのを抑制し、ウエハ２の変形や不安定な浮上状態を防止することができる。このように、溝３２にはエアーの流れの整流作用がある。

また、エアー噴出器２５はウエハ２の搬送方向下流側かつ上方からウエハ２にエアーを流す。ウエハ２は、多孔質板３０から流れるウエハ２を浮上させる力Ｆ１と、押し出し部４１がウエハ２を搬送方向へ押し出す力Ｆ２と、エアー噴出器２５の各ノズル５１から流れるエアーによる力Ｆ３を受ける。エアー噴出器２５の各ノズル５１は、ウエハ２の下流上方から斜め下方向きのエアーが流れるので、ウエハ２は搬送方向とは逆向きの斜め下方向きの力Ｆ３を受ける。すなわち、エアー噴出器２５から流れるエアーによって、ウエハ２は、搬送方向と逆向きの力Ｆ３ａと、浮上ユニット２１の搬送面の方向への力Ｆ３ｂとを受ける。

エアー噴出器２５からの搬送方向と逆向きの力Ｆ３ａにより、ウエハ２は押し出し部４１に接触した状態で搬送される。ウエハ２は、搬送方向において、エアー噴出器２５からのエアーによる力Ｆ３ａと押し出し部４１からの押し出す力Ｆ２とにより挟まれた状態で搬送されるので、ウエハ２が搬送方向に揺れたり、振動したりすることを防止することができる。これにより、ウエハ２の姿勢を制御することができる。

また、ウエハ２は、エアー噴出器２５からの搬送面側への力Ｆ３ｂと、多孔質板３０からの浮上する力Ｆ１とにより、上下方向においても挟まれた状態で搬送されるので、上下方向において揺れたり、振動したりすることを防止できる。これによっても、ウエハ２の姿勢を制御することができる。

さらに、本実施例によれば、押し出し部４１の下部が溝３２内を搬送方向へ移動するので、溝３２内で搬送方向へのエアーの流れを促進することができる。このように、ウエハ２の下方に搬送方向へ流れるエアーの流れが促進されるので、ウエハ２が回転したり、蛇行したりするのを抑制し、ウエハ２の直進性を向上させることができる。

また、押し出し部４１の下部が溝３２内に入ることで、ウエハ２が押し出し部４１の下部に入り込んで押し出し部４１と浮上ユニット２１の多孔質板３０との間に挟まることを防止することができる。これにより、押し出し部４１がウエハ２の上面と接触することを防止し、ウエハ２の上面を損傷させること無く、汚すことなく、清浄に保つことができる。

また、図７に示すように、平板状のアーム４３の搬送方向下流側の下部の角が面取りされて傾斜部４４を有するので、ウエハ２の上方を搬送方向と逆側へ流れるエアーは、傾斜部４４とウエハ２との間を通ってアーム４３の上流側へ排出される。これにより、ウエハ２の上方を搬送方向と逆側へ流れるエアーがアーム４３で反転してウエハ２に当たるのを抑制することができる。これにより、ウエハ２が押し出し部４１から離れるのを防止することができる。

図８は傾斜部４４を有しないアーム４３’による気流の流れを説明する説明図である。傾斜部４４を有さないアーム４３’の場合、ウエハ２の上方を搬送方向と逆側へ流れるエアーがアーム４３’の搬送方向下流側の側面で反転してウエハ２を押し出す力が発生する。これにより、ウエハ２が押し出し部４１’から離れる現象が発生し、ウエハ２が搬送方向に振動する原因となる。本実施例によれば、この現象を抑制することができる。

次に、ウエハの検査装置１の検査工程を説明する。検査装置１は、第１〜第３の検査工程を備える。第１の検査工程では、ウエハ２の外観検査および大きさ測定を実施する。第１カメラ５および第２カメラ７は、２つの浮上ユニット２１の間の隙間の上下に配置されている。ウエハ２が２つの浮上ユニット２１の間を通過する際に、ウエハ２の表面および裏面の画像が第１カメラ５および第２カメラ７により撮影され、画像データが画像処理部１１へ送られる。画像処理部１１では、送られる画像データを基に、画像処理によりウエハ２の外観の良否の判別およびウエハ２の大きさを検出する。検出された外観の良否の判別およびウエハ２の大きさはウエハ判別部１３へ出力される。

第２の検査工程では、第３カメラ９によりウエハ２の内部のクラック検査等が実施される。第３カメラ９は搬送面の上方に配置される。第３カメラ９により撮影された画像データは、画像処理部１１へ送られる。画像処理部１１では、送られる画像データを基に、画像処理によりウエハ２の内部のクラック検出等を実施する。検出されたクラックの大きさがウエハ判別部１３へ出力される。

第３の検査工程では、レーザー変位計１０を用いてウエハ２の厚みおよび段差やうねりを検査する。ウエハ２は、ワイヤーソーにより薄く切断される際に段差やうねりが発生する。これらの段差やうねりが予め定められた基準値以内であるかを判別する。これら厚みの検出精度は数μｍのオーダーである。この工程では、光学検査用の孔３６を有する浮上ユニット２１を用いる。

レーザー変位計１０は、浮上ユニット２１の孔３６の上方および下方にそれぞれ配置されている。浮上搬送されるウエハ２がこれら上下のレーザー変位計１０の間を通過することで、各レーザー変位計１０でウエハ２の縦方向の位置の変位量が検出される。検出された変位量はホストコンピュータ１５の厚み検出部１２へ送られる。厚み検出部１２は、送られる各変位量を基にウエハの厚みを検出する。検出された厚みはウエハ判別部１３へ出力される。

ウエハ判別部１３は、ウエハ２の大きさ、クラック、および、ウエハ２の厚みに応じて、それぞれ予め定められた基準値を基にウエハ２の良否を判別する。この良否の判別結果および入力される外観の良否の判別結果が駆動制御部１４へ出力される。駆動制御部１４は、ウエハ２の各良否判別結果にしたがって、ウエハ収納部１７の駆動を制御することで、ウエハ２を分別収納することができる。ウエハ２の分別収納は、ウエハ２の良否だけでなく、クラックの大きさやウエハ２の大きさにしたがって、複数段階に分別収納してもよい。

これら第１〜第３の検査工程の内、第１の検査工程でウエハ２を押し出し部４１により押すことが好ましい。ウエハ２の大きさを検出する工程は、ウエハ２を等速で搬送しなければならず、特に精度が求められる工程であるので、エアー噴出器２５によるエアーと押し出し部４１とによりウエハ２を挟んで搬送することが好ましい。第２、第３の検査工程では、多孔質板２１の搬送方向下流側の側面３３と搬送方向上流側の側面３５との両端面で開口する溝３２を有する浮上ユニット２１を採用することが好ましい。第１の工程における浮上ユニット２１の溝３２を流れるエアーが第２および第３の工程における浮上ユニット２１の溝３２内に沿って流れることができ、第１の検査工程から第３の検査工程まで溝３２内を搬送方向に沿って流れるエアーの流れを促進することができる。第３の検査工程を通過したウエハ２は浮上ユニット２１上をさらに搬送されて、ウエハ２の検査結果に応じてウエハ収納部１７が分別収納する。

実施例によるウエハ搬送装置４によれば、ウエハ２の上面および下面は非接触で搬送することができるので、ウエハ２の上面および下面に搬送時の傷やクラックが生じるおそれがない。また浮上搬送により埃の発生を低減することができ、埃がウエハに付着するのを防止することができる。また、実施例によるウエハ検査装置１によれば、浮上搬送しながらウエハ２の大きさ検査、外観検査、クラック検査および厚み検査をすることができるので、検査時間の短縮をすることができる。

本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。

上述した実施例においてエアー噴出器は複数のノズルを有しているエアーブロックであったが、これに限られない。例えば、ウエハ２の初期の位置決めに特化した機能をもつノズル５７をさらに備えていてもよい。ノズル５７は、縦方向に拡散するエアーを噴出する。ウエハ２に対して縦方向に拡散するエアーを流すことで、より強いエアーを流してもウエハが横方向に回転または移動することを防ぐことができる。このように、ノズル５７はウエハ供給部３からウエハ搬送装置４に供給されたウエハ２を押し出し部４１に当てる初期の位置決めに適している。

上述した実施例においてウエハ搬送装置４は１組の搬送機構２３を備えていたがこれに限られず、２組の搬送機構２３を備えてもよい。すなわち、浮上ユニット２１の両側に搬送機構２３が備えられ、各搬送機構２３のアーム４３および押し出し部４１が交互にウエハ２を搬送する構成でもよい。これにより、ウエハ２の搬送速度を格段に上げることができる。

１ … ウエハ検査装置
２ … ウエハ
４ … ウエハ搬送装置
２１、２１’ … 浮上ユニット
２３ … 搬送機構
２５ … エアー噴出器
３２ … 溝
３５ … 側面
３６ … 孔
４１ … 押し出し部
４３ … アーム

Claims (10)

1. ウエハを浮上させる浮上ユニットと、
   前記ウエハを搬送方向に押す搬送機構と、
   前記ウエハの前記搬送方向下流側から前記ウエハにエアーを流すエアー噴出器とを備え、
   前記搬送機構は前記ウエハの前記搬送方向上流側の端面を前記搬送方向に押す押し出し部を有する
   ことを特徴とするウエハ搬送装置。
2. 請求項１に記載のウエハ搬送装置において、
   前記エアー噴出器は前記ウエハの上方から前記ウエハにエアーを流す
   ことを特徴とするウエハ搬送装置。
3. 請求項１または２に記載のウエハ搬送装置において、
   前記浮上ユニットは搬送面側に前記搬送方向に平行な溝を有し、
   前記溝は前記浮上ユニットの前記搬送方向の側面で開口する
   ことを特徴とするウエハ搬送装置。
4. 請求項１から３のいずれか１つに記載のウエハ搬送装置において、
   前記押し出し部の一部が前記溝内を移動する
   ことを特徴とするウエハ搬送装置。
5. 請求項１から４のいずれか１つに記載のウエハ搬送装置において、
   前記搬送機構は前記押し出し部を支持するアームを有し、
   前記アームは搬送方向と交差する方向に延伸し、
   前記アームの下部が面取りされている
   ことを特徴とするウエハ搬送装置。
6. 請求項１から５のいずれか１つに記載のウエハ搬送装置において、
   前記エアー噴出器はエアーが噴出するノズルを有し、
   前記浮上ユニットの前記搬送面に対する前記ノズルの角度が前記ノズルの位置によって異なる
   ことを特徴とするウエハ搬送装置。
7. 請求項６に記載のウエハ搬送装置において、
   前記エアー噴出器は、前記搬送方向上流側の下部の角が面取りされた傾斜部を有し、
   前記傾斜部に複数の前記ノズルが搬送方向と直交するように配列される
   ことを特徴とするウエハ搬送装置。
8. 請求項１から５のいずれか１つに記載のウエハ搬送装置において、
   前記エアー噴出器は縦方向に拡散するエアーが噴出するノズルを有する
   ことを特徴とするウエハ搬送装置。
9. 請求項１から８のいずれか１つに記載のウエハ搬送装置において、
   前記浮上ユニットは、光学的測定用の孔を有し、
   前記孔は、前記搬送方向における幅よりも、前記搬送方向と直交する方向における幅の方が大きい
   ことを特徴とするウエハ搬送装置。
10. 請求項１から９のいずれか１つのウエハ搬送装置を備えるウエハ検査装置。

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