JP2008254858A - 基板搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】搬送ステージの段差や間隔の広さによらず、基板を搬送することができる基板搬送装置を実現する。
【解決手段】基板の搬送方向に配置された複数の搬送ステージを備えるとともに、搬送機構によって前記基板を保持し、前記複数の搬送ステージ上を順次移動させる基板搬送装置において、
前記搬送機構は、前記基板の搬送位置に応じて前記基板を上下させる上下方向駆動機構を備えたことを特徴とする。
【選択図】図1
【解決手段】基板の搬送方向に配置された複数の搬送ステージを備えるとともに、搬送機構によって前記基板を保持し、前記複数の搬送ステージ上を順次移動させる基板搬送装置において、
前記搬送機構は、前記基板の搬送位置に応じて前記基板を上下させる上下方向駆動機構を備えたことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、基板の搬送方向に配置された複数の搬送ステージを備えるとともに、搬送機構によって前記基板を保持し、前記複数の搬送ステージ上を順次移動させる基板搬送装置に関するものである。
フラットパネルディスプレイ(FPD)製造工程で製造されるガラス基板のサイズは、画面の大型化やコスト削減といった要望に対応するために、益々大型化する傾向にある。
FPD製造工程において大型ガラス基板を搬送する装置としては、ローラを用いた転がり搬送機構を用いるものや、ガラス基板をエアーの吹き上げによって浮上させて搬送する浮上ステージを用いるものが知られている。
図3は、浮上ステージを用いた従来の基板搬送装置の一例を示す図であり、(a)は基板搬送装置を上から見た図、(b)は基板搬送装置を側面から見た図である。
100は搬送対象であるガラス基板、121と122は浮上ステージ、131はリニアモータ、132はリニアモータ131のリニアエンコーダ、133はリニアモータ131によって駆動されるリニアモータスライダ、134はガラス基板100を保持する保持部である。
100は搬送対象であるガラス基板、121と122は浮上ステージ、131はリニアモータ、132はリニアモータ131のリニアエンコーダ、133はリニアモータ131によって駆動されるリニアモータスライダ、134はガラス基板100を保持する保持部である。
ガラス基板100は浮上ステージ121上に位置しており、図中左から右へ搬送されるものとする。
浮上ステージ121,122はガラス基板100を搬送するための搬送ステージであり、ガラス基板100の搬送方向に配列されている。浮上ステージ121,122には、高圧エアーを吹き出す吹出口(図示せず)が設けられている。浮上ステージ121,122はガラス基板100の下面にエアーを吹き付け、ガラス基板100を空気圧で一定の高さに浮上させる。ガラス基板100を浮上させることにより、ガラス基板100と浮上ステージとの接触を断ち、摩擦がゼロの状態になる。
リニアモータ131はガラス基板100の搬送方向に伸びており、リニアモータ131が駆動するリニアモータスライダ133もガラス基板100の搬送方向に移動する。リニアモータ131はリニアエンコーダ132付きのリニアモータであり、リニアエンコーダ132の出力によりリニアモータスライダ133の位置を把握する。
保持部134は真空吸着パッド等であり、ガラス基板100の中央付近でガラス基板100を吸着保持する。保持部134はリニアモータスライダ133に連結され、リニアモータスライダ133を介してガラス基板100はリニアモータ131に結合される。リニアモータ131はリニアモータスライダ133を駆動してガラス基板100を浮上ステージ121上から122上へと移動させるとともに、ガラス基板100の搬送位置を把握する。なお、図3ではガラス基板100を搬送する移動体としてリニアモータを示したが、移動体はリニアモータに限らず、ベルト駆動方式などもある。
このような基板搬送装置は、ガラス基板100の品質検査ラインに使用されることが多い。
ガラス基板100の品質検査の一例として、ガラス基板100の下側から光を照射し、ガラス基板100の上側からカメラ撮影して検査を行う透過式の検査がある。このようにガラス基板100の両面からアクセスする必要がある場合には、浮上ステージの間に光源等を配置するために、浮上ステージ同士の隙間を浮上ステージのメーカ推奨ピッチよりも広く取る必要がある。
しかしながら、浮上ステージ121と122の間に広い隙間があったり、また、浮上ステージ121,122の高さに段差があったりすると、ガラス基板100を正常に搬送できない場合がある。
図4は、搬送されるガラス基板の様子を説明する説明図である。
図4(a)において、浮上ステージ123と浮上ステージ124は推奨ピッチ以上の隙間をあけて設置されている。ガラス基板100は保持部134に保持されて図中左から右へと搬送されている。ガラス基板100は、浮上ステージ123と124の間の隙間ではエアーの吹出しが受けられないため、浮力を得ることができない。そのため、ガラス基板100がこの隙間に差し掛かると、ガラス基板100の先端面がガラスの自重により変形し、垂れ下がってしまう。
その結果、ガラス基板100の先端面が浮上ステージ124の上部に進入していくことができず、浮上ステージ124の端面と接触し、ガラス基板100自体が損傷してしまうことがあった。
また、図4(b)においては、浮上ステージ125と126の高さに段差があり、浮上ステージ125の上部よりも、浮上ステージ126の上部の方が高くなっている。このように次の浮上ステージとの高さに段差があると、ガラス基板100は段差を乗り越えることができず、次の浮上ステージへの進入がさらに困難になるとともに、ガラス基板100が損傷する危険性が高くなる。
このため、従来は、浮上ステージ間の間隔を狭め、かつ、浮上ステージごとの段差をエアー浮上量以下に調整しなければならなかった。
あるいは、ガラス基板100の浮上ステージ端面からの自重変形を防止するために、図4(c)のように、ガラス基板100の先端面が次の浮上ステージの端面を乗り越える瞬間にエアーを下から吹き付け、段差以上に持ち上げるということが行われていた。
下からエアーを吹き付ける事ができない場合は、図4(d)のように、搬送方向に向かって各浮上ステージの高さが低くなるように段差をつけることが考えられる。しかし、このような構成にすると、ガラス基板100を浮上ステージ上で順送りするには問題ないが、逆送り(段差の高い方向へ搬送)することができない。
本発明は、上記のような従来装置の欠点をなくし、搬送ステージの段差や間隔の広さによらず、基板を搬送することができる基板搬送装置を実現することを目的としたものである。
上記のような目的を達成するために、本発明の請求項1では、基板の搬送方向に配置された複数の搬送ステージを備えるとともに、搬送機構によって前記基板を保持し、前記複数の搬送ステージ上を順次移動させる基板搬送装置において、
前記搬送機構は、前記基板の搬送位置に応じて前記基板を上下させる上下方向駆動機構を備えたことを特徴とする。
前記搬送機構は、前記基板の搬送位置に応じて前記基板を上下させる上下方向駆動機構を備えたことを特徴とする。
請求項2では、請求項1に記載の基板搬送装置において、前記搬送機構は、前記基板を少なくともその中心より搬送方向に偏った位置で保持することを特徴とする。
請求項3では、請求項1または2に記載の基板搬送装置において、前記上下方向駆動機構は、前記基板が次の搬送ステージ上へ進入する際に、この搬送ステージに対し、前記基板がその搬送ステージの上部よりも高い位置から進入するように前記基板の上下方向位置を制御することを特徴とする。
請求項4では、請求項1乃至3のいずれかに記載の基板搬送装置において、前記上下方向駆動機構は、前記基板の搬送位置に対応した所定の変化率で前記基板を上下させることを特徴とする。
請求項5では、請求項1乃至4のいずれかに記載の基板搬送装置において、前記上下方向駆動機構はエアーシリンダで構成されたことを特徴とする。
請求項6では、請求項1乃至4のいずれかに記載の基板搬送装置において、前記上下方向駆動機構はボールネジ機構で構成されたことを特徴とする。
このように、基板の搬送機構に基板の搬送位置に応じて基板を上下させる上下方向駆動機構を備えたことによって、搬送ステージの段差や間隔の広さによらず、基板を搬送することができる基板搬送装置を実現することができる。
基板の搬送位置と基板の上下方向の駆動を連動させたことによって、浮上ステージの段差や隙間によらず、基板の変形量を見込んで同じ搬送位置で基板を上下させることができるようになり、基板の損傷を防ぐことができる。
なお、基板を上下駆動する搬送位置をあらかじめ決定しておくことにより、基板を順送りする場合だけでなく逆送りする場合にも対応でき、基板の引き込み、引き出し機能にも使用できる。
なお、基板を上下駆動する搬送位置をあらかじめ決定しておくことにより、基板を順送りする場合だけでなく逆送りする場合にも対応でき、基板の引き込み、引き出し機能にも使用できる。
基板の上下方向の駆動は基板の搬送位置と連結されているため、基板の搬送中でも位置決めは可能であり、搬送中に、精度良くガラス基板の位置決めを行い、検査、リペアー等の製造工程に合わせて間欠動作を行うことができる。
基板を搬送方向に偏った位置で保持すれば、搬送ステージの段差を基板に乗り越えさせるのが容易となる。また、基板が次の搬送ステージに進入する際に、その搬送ステージの上部よりも高い位置から進入するように基板の上下位置を制御すれば、基板が損傷する危険性が低くなる。
基板の上下位置を搬送位置に対応した所定の変化率で変化させるようにすれば、たとえば、次の搬送ステージ上で降下させる際には特に緩やかに変化させるなどの調整を行うことが可能となる。
上下方向駆動機構は、エアーシリンダで構成されていてもよく、ボールネジ機構で構成されていてもよい。
なお、本発明の基板搬送装置で使用される搬送ステージは浮上ステージに限られない。ローラ搬送系や、ローラ搬送系とエアー浮上搬送系の組み合わせであっても適用することが可能である。
以下、図面を用いて本発明の基板搬送装置を説明する。
図1は本発明の基板搬送装置の一実施例を示す図であり、(a)は基板搬送装置を上から見た図、(b)は基板搬送装置を側面から見た図、(c)は搬送されるガラス基板の様子を説明する説明図である。
1は搬送対象であるガラス基板、21と22は浮上ステージ、31はリニアモータ、32はリニアモータ31のリニアエンコーダ、33はリニアモータ31によって駆動されるリニアモータスライダ、34はガラス基板1を保持する保持部、35はリニアモータスライダ33に設けられた上下方向駆動機構である。
ガラス基板1は浮上ステージ21上に位置しており、図中左から右へ搬送されるものとする。
浮上ステージ21,22はガラス基板1を搬送するための搬送ステージであり、ガラス基板1の搬送方向に配列されている。浮上ステージ21,22には、高圧エアーを吹き出す吹出口(図示せず)が設けられている。浮上ステージ21,22はガラス基板1の下面にエアーを吹き付け、ガラス基板1を空気圧で一定の高さに浮上させる。ガラス基板1を浮上させることにより、ガラス基板1と浮上ステージとの接触を断ち、摩擦がゼロの状態になる。
リニアモータ31はガラス基板1の搬送方向に伸びており、リニアモータ31が駆動するリニアモータスライダ33もガラス基板1の搬送方向に移動する。リニアモータ31はリニアエンコーダ32付きのリニアモータであり、リニアエンコーダ32の出力によりリニアモータスライダ33の位置を把握する。
保持部34は真空吸着パッド等であり、ガラス基板1の搬送方向に偏った位置でガラス基板1を吸着保持している。保持部34は上下方向駆動機構35に連結される。ガラス基板1は上下方向駆動機構35およびリニアモータスライダ33を介してリニアモータ31に結合される。リニアモータ31はリニアモータスライダ33を駆動してガラス基板1を浮上ステージ21上から22上へと移動させるとともに、ガラス基板1の搬送位置を常に把握する。なお、保持部34はガラス基板1の搬送方向に偏った位置だけでなく、追加して他の位置(たとえばガラス基板1の中央)に設けられていてもよい。
上下方向駆動機構35は、図1(b)のように、リニアモータスライダ33とともに搬送方向に移動するとともに、リニアモータスライダ33の位置に応じて保持部34を上下させる。上下方向駆動機構35は、保持部34を介して基板1の上下方向の高さを制御する。上下方向駆動機構35の構成としては、エアーシリンダやボールネジ機構が考えられる。
ここで、浮上ステージ21と浮上ステージ22は距離をおいて配置され、また、高さ方向に段差があるものとする。
上下方向駆動機構35は、基板1の先端面が浮上ステージ21と22の間の隙間に差しかかると、そのことをリニアモータ31の位置情報により把握する。そして、図1(c)に示すように、上下方向駆動機構35は搬送方向に移動を続けながらガラス基板1を上に引き上げる。ガラス基板1の引き上げ量は、ガラス基板1の変形を考慮し、ガラス基板1が浮上ステージ22との段差を乗り越えて、その先端面が浮上ステージ22の上部よりも高い位置から進入できる量とする。
ガラス基板1が浮上ステージ22の段差を乗り越えると、上下方向駆動機構35はリニアモータ31の位置情報によりそれを把握する。そして、上下方向駆動機構35はガラス基板1を降下させ、浮上ステージ22のエアー浮上に依存させる。
上下方向駆動機構35は、ガラス基板1の搬送位置、すなわちリニアモータ31の位置情報に対応した所定の変化率でガラス基板1を上下させる。たとえば、ガラス基板1の引き上げ開始時や引き上げ停止時はガラス基板1を上下させるスピードを特に緩やかにする。また、浮上ステージ22上にガラス基板1を下ろす際にも特に緩やかに降下させる。
なお、ガラス基板1の上下駆動は、リニアモータ31を駆動して上下方向駆動機構35をガラス基板1の搬送方向に移動させながら行ってもよいし、リニアモータ31を停止させて上下方向駆動機構35を所定の位置に停止させた状態で行うこととしてもよい。ガラス基板1に対する検査内容やリペアー等の製造工程に合わせて間欠的な動作としてもよい。
図2は本発明の基板搬送装置の他の構成例を示す図である。
図2(a)(b)は、搬送ステージとしてローラ搬送部と浮上ステージが用いられている場合を示したものである。本発明の基板搬送装置で使用される搬送ステージは浮上ステージに限られず、安価なローラ搬送系や、ローラ搬送系とエアー浮上搬送系の組み合わせであってもよい。
図2(a)において、ローラ搬送部23と浮上ステージ24が接続されており、ガラス基板1がローラ搬送部23から浮上ステージ24へと搬送される。ガラス基板1がローラ搬送部23と浮上ステージ24の接続部分に差しかかると、上下方向駆動機構35(図示せず)は保持部34を介してガラス基板1の先端部分を引き上げる。これにより、ガラス基板1の先端面が浮上ステージ24に接触するなどしてガラス基板1が損傷することなく、浮上ステージ24上にガラス基板1が確実に進入するようにする。
また、ガラス基板1がローラ搬送部23から浮上ステージ24へと搬送されていく場合だけでなく、図2(b)のように、浮上ステージ25からローラ搬送部26へとガラス基板1を搬送する場合にも本発明を適用できる。
また、本発明は、ガラス基板1を一台の基板搬送装置に備えられた搬送ステージ上で順次移動させる場合だけでなく、図2(c)に示すように、ガラス基板1を複数の装置間で搬送する場合にも応用できる。
また、本実施例ではガラス基板1の搬送方向が一方向のみであったが、本発明はガラス基板1を複数方向に搬送する必要がある場合にも対応できる。ガラス基板1の各搬送方向にガラス基板1を保持する保持部をそれぞれ設ければ、各搬送方向において、次の搬送ステージへの進入が容易となる。
また、本実施例では、保持部34はガラス基板1を上から保持する構成であったが、保持部34はガラス基板1を下から保持してガラス基板1を上下させる構成としてもよい。
1 ガラス基板
21,22 浮上ステージ
31 リニアモータ
32 リニアエンコーダ
33 リニアモータスライダ
34 保持部
35 上下方向駆動機構
21,22 浮上ステージ
31 リニアモータ
32 リニアエンコーダ
33 リニアモータスライダ
34 保持部
35 上下方向駆動機構
Claims (6)
- 基板の搬送方向に配置された複数の搬送ステージを備えるとともに、搬送機構によって前記基板を保持し、前記複数の搬送ステージ上を順次移動させる基板搬送装置において、
前記搬送機構は、前記基板の搬送位置に応じて前記基板を上下させる上下方向駆動機構を備えたことを特徴とする基板搬送装置。 - 前記搬送機構は、前記基板を少なくともその中心より搬送方向に偏った位置で保持することを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。
- 前記上下方向駆動機構は、前記基板が次の搬送ステージ上へ進入する際に、この搬送ステージに対し、前記基板がその搬送ステージの上部よりも高い位置から進入するように前記基板の上下方向位置を制御することを特徴とする請求項1または2に記載の基板搬送装置。
- 前記上下方向駆動機構は、前記基板の搬送位置に対応した所定の変化率で前記基板を上下させることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の基板搬送装置。
- 前記上下方向駆動機構はエアーシリンダで構成されたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の基板搬送装置。
- 前記上下方向駆動機構はボールネジ機構で構成されたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の基板搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007097928A JP2008254858A (ja) | 2007-04-04 | 2007-04-04 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2007097928A JP2008254858A (ja) | 2007-04-04 | 2007-04-04 | 基板搬送装置 |
Publications (1)
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JP2007097928A Pending JP2008254858A (ja) | 2007-04-04 | 2007-04-04 | 基板搬送装置 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010058864A (ja) * | 2008-09-01 | 2010-03-18 | Ricoh Co Ltd | 画像形成装置 |
JP2014069936A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Avanstrate Inc | ガラス基板の搬送装置、および、ガラス基板の製造方法 |
-
2007
- 2007-04-04 JP JP2007097928A patent/JP2008254858A/ja active Pending
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JP2014069936A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Avanstrate Inc | ガラス基板の搬送装置、および、ガラス基板の製造方法 |
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