JP4840595B2 - 基板搬送機 - Google Patents
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Description
基板搬送機は、各工程において、カセットとプロセス装置との間に配置され、カセットからガラス基板を受け取り、受け取ったガラス基板をプロセス装置に引き渡す。そして、プロセス装置でガラス基板の処理が終わると、プロセス装置からガラス基板を受け取り、受け取ったガラス基板を再びカセットに引き渡す(例えば特許文献1参照)。
本発明は上述の事情に基づいてなされたもので、その目的とするところは、簡単な構成にて、基板の受け渡しを円滑に実行可能な基板搬送機を提供することにある。
好ましくは、前記支持装置は、互いに平行に配列され且つそれぞれ前記水平方向に延びる複数のダクトと、前記ダクトの上面に形成された圧縮空気の吹き出し口とを有する(請求項3)。
好ましくは、前記移動装置は、前記支持領域に沿って前記水平方向に延びるメインレールと、前記メインレールにスライド可能に取り付けられたスライドレールとを含む(請求項4)。
請求項2の基板搬送機によれば、移動装置が支持装置に設けられているので、構成が簡単になる。
請求項3の基板搬送機によれば、支持装置が、吹き出し口から吹き出す圧縮空気を利用して基板が非接触にて支持される。ダクトには、圧縮空気を供給するためのエアチューブが接続されるが、ダクトは移動ステージ上にのみ配置されるため、エアチューブの配管が簡単である。
請求項5の基板搬送機は、ハンドが2つあっても簡単な構成を有する。一方、ハンドが2つあるため、他の側にて基板を受け渡すときに、一方のハンドで基板を受け取った直後に、他方のハンドに予め載せておいた基板を引き渡すことが可能になる。この結果として、この基板搬送機によれば、基板の搬送時間が大幅に短縮される。
支柱16には昇降スライダ18が取付けられ、昇降スライダ18は、支柱16に対して上下方向に昇降可能である。昇降スライダ18には、2つのクロスメンバ20が取り付けられている。クロスメンバ20は互いに上下に離間し、且つ、ベースレール10と直交する水平方向、換言すれば、対をなすプロセス装置PMとカセットCSとを結ぶ水平方向(搬送方向)にそれぞれ延びている。
各クロスメンバ20には連結板22の根元が取り付けられ、連結板22は、クロスメンバ20の一端部20aから他端部20bに亘って搬送方向に移動可能である。連結板22は搬送方向と直交する水平方向、即ちベースレール10の軸線方向に長い。
支持棒24は、連結板22からプロセス装置PMに向けて延びており、連結板22がクロスメンバ20の一端部20a側の昇降位置に位置しているとき、搬送方向でみて、支持棒24の先端部はクロスメンバ20の他端部20bと略同じ位置に位置付けられる。連結板22がクロスメンバ20の他端部20b側の受け渡し位置に位置しているとき、支持棒24は、クロスメンバ20の他端部20b及びベース14の端部から突出し、支持棒24の先端部はプロセス装置PM内に進入する。
また、ベース14上には固定台26が配置されている。固定台26は支柱16の前方に位置し、固定台26及びハンドHは支柱16に対して同じ側に位置している。搬送方向でみて、固定台26の天板26aの長さはベース14の長さよりも長く、カセットCS側の天板26aの端部は、ベース14の端部から突出している。ただし、天板26aの突出長は、クロスメンバ20の突出長よりも短い。
移動ステージ32は四角形の底板34を有し、搬送方向でみて、底板34の長さはベース14の長さよりも短い。プロセス装置PM側の底板34の端部は、移動ステージ32がプロセス装置PM側の乗り換え位置にあるとき、天板26aの端部と略同じ位置に位置付けられる。カセットCS側の底板34の端部は、移動ステージ32が乗り換え位置にあるとき、ステージレール28の中間に位置するが、移動ステージ32の搬送方向での移動に伴い、ベース14の端部を超えて移動する。
支持装置Sは、例えば空気浮上式の支持装置であり、6本のダクト38を有する。ダクト38は、互いに離間して平行であり、搬送方向にそれぞれ延びている。各ダクト38は2本のサポートメンバ36によって支持されており、ダクト38の数は底板34の各端でのサポートメンバ36の数に対応している。ダクト38の横断面形状は中空の長方形であって、各ダクト38の上面は平坦である。これらのダクト38の上面は、水平な基準面に面一に位置付けられている。
各ダクト38の上面には、全域に亘って複数の吹き出し口44が形成され、これらの吹き出し口44はダクト38の長手方向に配列させられている。ブロワ装置40が作動させられると、フィルタ装置42によって浄化された圧縮空気がエアチューブを通じてダクト38内に供給され、圧縮空気は各吹き出し口44から略上方に向けて吹き出す。この吹き出した圧縮空気により、ガラス基板Gをダクト38上にて非接触で支持可能である。即ち、ダクト38の上面は、ガラス基板Gを非接触にて支持する支持領域として規定される。
サブレール48上には、搬送方向に移動可能に吸盤50が取付けられている。吸盤50は、ガラス基板Gの裏面に吸着可能であり、ガラス基板Gに吸着したまま、サブレール48の両端部間を移動可能である。
吸盤50の可動範囲は、サブレール48に対してはその略全長に亘っている。このため、吸盤50は、吸盤50自身、サブレール48及び移動ステージ32の移動の組み合わせによって、搬送方向でみて、カセットCS側のダクト38の端部及びサイドメンバ20の端部を超えて突出可能である。
基板搬送機は、ベースレール10上を移動させられ、ガラス基板Gを搬送すべきカセットCSとプロセス装置PMとの間に位置付けられる。この後、図5及び図6に示したように、支持装置Sのダクト38よりも上方に位置しているハンドHが、プロセス装置PM側の受け取り位置に移動させられ、これにより、プロセス装置PM内にハンドH、即ち支持棒24が進入する。それから、昇降スライダ18を上昇させることにより、支持棒24上にガラス基板Gが載せられる。つまり、基板搬送機のハンドHがプロセス装置PM内でガラス基板Gを受け取る。
ガラス基板Gが支持装置Sに乗り換えた後、図8及び図9に示したように、移動ステージ32は、固定台26上の最もカセットCS側の位置に移動し、支持装置Sのダクト38の端部は、カセットCSの近傍に配置される。なお、移動ステージ32の移動に伴い、ガラス基板Gは、支持領域とともにカセットCS側に移動し、ガラス基板Gの端部もカセットCSの近傍に配置される。
カセットCS内には、ガラス基板Gを受け渡すためのカセット用基板支持装置60が配置され、カセット用基板支持装置60は、カセットCS内に進入したガラス基板Gの一部を支持する。カセット用基板支持装置60は、例えば空気浮上装置によって構成される。
上述した基板搬送機によれば、カセットCSとの間でガラス基板Gを受け渡すとき、移動ステージ32がカセットCS側に位置付けられ、これに伴い移動ステージ32よりもはみ出た支持領域の延出部がカセットCSに接近する。このため、カセットCSと支持領域との間隔が短縮され、支持領域とカセットCSとの間で受け渡されるガラス基板Gの撓みが防止される。この結果として、この基板搬送機によれば、カセットCSとの間でのガラス基板Gの受け渡しが円滑に行われる。
本発明は上述の一実施形態に制約されるものではなく種々の変形が可能である。
例えば、一実施形態では、支持装置Sは、空気浮上装置であったけれども、超音波によりガラス基板Gを非接触に支持する超音波浮上装置であってもよい。あるいは、支持装置Sは、複数のローラからなるローラ列であってもよい。ローラ列はガラス基板Gの裏面に接触することでガラス基板Gを支持し、複数のローラによって支持領域が規定される。この場合、ローラを回転駆動可能にし、ローラ列に移動装置Tを兼ねさせてもよい。
ただし、2つのハンドHを有していれば、一方のハンドHでプロセス装置PMからガラス基板Gを受け取った直後に、他方のハンドHに予め載せておいたガラス基板Gをプロセス装置PMに引き渡すこともできる。すなわち、ガラス基板Gをプロセス装置PMで処理している間に、次に処理すべきガラス基板GをカセットCSから受け取り、ハンドHに載せておくことができる。これにより、ガラス基板Gの搬送時間が削減され、液晶テレビの生産性が向上する。
最後に、本発明の基板搬送機は、プラズマテレビ等の生産システムにも適用可能であり、ガラス基板G以外の基板にも適用可能であるのは勿論である。即ち、基板搬送機が相互に基板を受け渡す対向機器は、プロセス装置やカセットに限定されない。
H ハンド
S 支持装置
T 移動装置
14 ベース
16 支柱
32 移動ステージ
Claims (5)
- 互いに離間した一の側及び反対側のうち一方の側にて受け取った基板を搬送して他方の側にて引渡すための基板搬送機において、
ベース上に水平方向に移動可能に配置され、前記一の側で前記基板を受け渡すときに前記一の側に位置付けられる移動ステージと、
前記移動ステージ上に配置され、前記基板を前記水平方向に移動可能に支持するための支持領域を有した支持装置と、
前記一の側にて前記基板を受け渡すべく、前記一の側の前記支持領域の先端を横切って前記支持領域上の基板を前記水平方向に移動させるための移動装置と、
前記ベースに立設された支柱と、
前記反対側にて前記基板を受け渡すとともに搬送過程の前記基板を前記支持装置との間で乗り換えさせるべく、前記支柱に前記水平方向にて移動可能且つ上下方向でみて前記支持領域を横切って昇降可能に取り付けられたハンドと
を備え、
前記支持領域は、前記一の側に前記移動ステージからはみ出た延出部を有する
ことを特徴とする基板搬送機。 - 前記移動装置が前記支持装置に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送機。
- 前記支持装置は、
互いに平行に配列され且つそれぞれ前記水平方向に延びる複数のダクトと、
前記ダクトの上面に形成された圧縮空気の吹き出し口と
を有する
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の基板搬送機。 - 前記移動装置は、
前記支持領域に沿って前記水平方向に延びるメインレールと、
前記メインレールにスライド可能に取り付けられたスライドレールと
を含む
ことを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載の基板搬送機。 - 互いに上下に離間した2つの前記ハンドを備えることを特徴とする請求項1乃至4の何れかに記載の基板搬送機。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007039052A JP4840595B2 (ja) | 2007-02-20 | 2007-02-20 | 基板搬送機 |
KR1020097017284A KR101133823B1 (ko) | 2007-02-20 | 2007-12-20 | 기판 반송기 |
CN2007800456544A CN101558001B (zh) | 2007-02-20 | 2007-12-20 | 基板输送机 |
PCT/JP2007/074560 WO2008102510A1 (ja) | 2007-02-20 | 2007-12-20 | 基板搬送機 |
TW97100280A TWI343354B (en) | 2007-02-20 | 2008-01-04 | Substrate transport apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007039052A JP4840595B2 (ja) | 2007-02-20 | 2007-02-20 | 基板搬送機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008205160A JP2008205160A (ja) | 2008-09-04 |
JP4840595B2 true JP4840595B2 (ja) | 2011-12-21 |
Family
ID=39709792
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007039052A Active JP4840595B2 (ja) | 2007-02-20 | 2007-02-20 | 基板搬送機 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4840595B2 (ja) |
KR (1) | KR101133823B1 (ja) |
CN (1) | CN101558001B (ja) |
TW (1) | TWI343354B (ja) |
WO (1) | WO2008102510A1 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5218000B2 (ja) * | 2008-12-12 | 2013-06-19 | 株式会社Ihi | 基板保管供給システム |
KR101543681B1 (ko) | 2009-01-15 | 2015-08-11 | 주성엔지니어링(주) | 기판 처리 시스템 |
CN102001525B (zh) * | 2010-09-30 | 2012-07-04 | 东莞宏威数码机械有限公司 | 锁定式升降平移传输设备 |
CN102009846B (zh) * | 2010-09-30 | 2013-04-03 | 东莞宏威数码机械有限公司 | 锁定式变向传输平台装置 |
JP5741834B2 (ja) * | 2011-05-13 | 2015-07-01 | 株式会社ニコン | 物体の搬出方法、物体の交換方法、物体保持装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 |
CN102897536B (zh) * | 2012-11-02 | 2015-04-15 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 用于搬运平板的传输系统及其机械装置和搬运方法 |
CN103950716B (zh) * | 2014-05-21 | 2016-07-27 | 芜湖万辰电光源科技有限公司 | 一种玻璃条镀膜载台的输送机构 |
CN109250502B (zh) * | 2018-10-18 | 2020-08-11 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 基板输送装置 |
CN112110377B (zh) * | 2020-08-27 | 2022-02-18 | 银川威力传动技术股份有限公司 | 在线检测用升降机及在线检测系统 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4356234B2 (ja) * | 2000-11-30 | 2009-11-04 | 株式会社Ihi | 基板移載装置 |
JP4215426B2 (ja) * | 2001-12-07 | 2009-01-28 | Necエンジニアリング株式会社 | 液晶パネルの搬送移載装置 |
JP4389424B2 (ja) * | 2001-12-25 | 2009-12-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体の搬送機構及び処理システム |
US6736588B1 (en) * | 2003-05-09 | 2004-05-18 | Photon Dynamics, Inc. | Integrated large glass handling system |
JP2005064431A (ja) * | 2003-08-20 | 2005-03-10 | Shinko Electric Co Ltd | 基板搬送装置及び基板搬送方法 |
JP4313284B2 (ja) * | 2004-11-15 | 2009-08-12 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
JP4904722B2 (ja) * | 2005-06-02 | 2012-03-28 | 株式会社Ihi | 基板搬送装置 |
KR101300853B1 (ko) * | 2005-12-05 | 2013-08-27 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 반송 시스템, 기판 반송 장치 및 기판 처리 장치 |
-
2007
- 2007-02-20 JP JP2007039052A patent/JP4840595B2/ja active Active
- 2007-12-20 CN CN2007800456544A patent/CN101558001B/zh active Active
- 2007-12-20 KR KR1020097017284A patent/KR101133823B1/ko active IP Right Grant
- 2007-12-20 WO PCT/JP2007/074560 patent/WO2008102510A1/ja active Application Filing
-
2008
- 2008-01-04 TW TW97100280A patent/TWI343354B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200911661A (en) | 2009-03-16 |
CN101558001B (zh) | 2012-03-21 |
TWI343354B (en) | 2011-06-11 |
CN101558001A (zh) | 2009-10-14 |
WO2008102510A1 (ja) | 2008-08-28 |
JP2008205160A (ja) | 2008-09-04 |
KR101133823B1 (ko) | 2012-04-06 |
KR20090114404A (ko) | 2009-11-03 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091224 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110907 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110920 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4840595 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141014 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |