JP2005159141A - 基板搬送装置及び基板保管搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 複数のガラス基板4を水平姿勢にて上下方向に多段収納し得る基板カセット1と、基板搬送方向と直交する方向への往復動により基板カセット1に抜き差しされる搬送ローラユニット2と、基板カセット1を搬送ローラユニット2に対し相対的に昇降移動させる昇降機構とを備えた基板保管搬送装置において、基板カセット1は、ガラス基板4をその下面からの接触により支持し得る背面板12を備える。また、搬送ローラユニット2は、ガラス基板4をその両側縁部4aにて支持しながら搬送する複数対の搬送ローラ24と、搬送ローラ24に支持されたガラス基板4と背面板12との間に圧搾空気を噴射し得るエア噴出管26とを備える。
【選択図】 図4
Description
また、昇降可能なカセット状の棚と、固定されたコンベヤとを組み合わせ、棚の上段から順に基板を搬入して格納する一方、格納された基板を下段から順に搬出する機能を持つ装置も知られている(例えば、特許文献1)。
他方、上記カセット状の棚を昇降可能にした技術では、上記ような設置スペースの問題はないが、任意の棚へ基板を搬入出することができないという制約がある。
また、複数の基板を水平姿勢にて上下方向に多段収納し得る基板カセットと、上記構成の基板搬入出手段と、前記基板カセットを前記基板搬入出手段に対し相対的に昇降移動させる昇降機構とを備えてなる、という手段を採用することもできる。
この構成において、前記基板支持部は、その両側縁部に下方傾斜して延びる圧搾空気案内部を備える、という手段を採用することもできる。
また、この搬入出中は、終始、基板の中央寄りの部分をノズル部から噴射された圧搾空気により基板支持部からエア浮上させて非接触に支持し得るので、搬入出時における基板への接触は、搬送部により直接支持される両側縁部だけとなり、基板汚染の極小化を図ることができる。
この実施例による基板保管搬送装置は、例えば液晶表示パネル(LCD)やプラズマディスプレイパネル(PDP)等に用いられるガラス基板のように、大型かつ薄板状で、しかも、汚染防止等のために搬送物の両側縁部を支持しながら搬送することが要求されるものの搬送に用いて好適であり、図1及び図2に示すように、基板カセット1と、搬送ローラ(搬送部)24及びエア噴出管(ノズル部)26を備えた搬送ローラユニット(基板搬入出手段)2と、カセット昇降機構(昇降機構)3とを備えて構成されている。
各棚段を構成する背面板(基板支持部)12は、例えば、基板搬送方向及びそれと直交する方向(すなわち、基板幅方向)に略水平に延びる平板状に形成されていて、1つの棚段につき1枚が配設されている。
以上の構成により、基板カセット1は、ガラス基板4を背面板12による下面からの接触により水平姿勢に保持しつつ上下方向に多段収納できるようになっている。
エア噴出管26には、ガラス基板4の幅方向中央部側を臨むように開口するエア噴出孔27が、基板搬送方向に沿って例えば等間隔に複数形成されている。
そして、送気ブロワを運転すると、管路及びカプラを経て各エア噴出管26に供給された圧搾空気がエア噴出孔27を通ってカセット基板1の幅方向中央に向かって噴射され(図3,図4の矢線参照。但し、図3では、図示都合上、一部のみを記載。)、基板カセット1内に搬入出されたガラス基板4の下面両側縁部4a,4bすなわち搬送ローラ24で支持される部分よりも基板中央寄りの部分4cが非接触に支持される。
回転伝達機構は、モータ軸の先端に外挿されたギヤを含むギヤ列29aと、このギヤ列29aの回転を各搬送ローラ24のローラ駆動ギヤ25に伝達する伝達軸29bとを備えてなる。
搬送ローラ24及びエア噴出管26の基板カセット1内への抜き差しは、各コンベヤフレーム22を一体に固定しているベース21を水平方向、かつ基板搬送方向と直交する方向に前進及び後退させるローラ往復動機構(図示略)により実現される。
搬送ローラ24及びエア噴出管26が基板カセット1外に抜き出された状態から、まず、カセット昇降機構3を駆動し、搬送ローラ24及びエア噴出管26の前進移動先に、ガラス基板4を搬入しようとする棚段(以下、搬入予定段)が位置するように基板カセット1を昇降させる。このとき、搬入予定段に対応する背面板12は、搬送ローラ24よりも若干低めに位置決めされる。
そして、送気ブロワから管路及びカプラを経てエア噴出管26に圧搾空気を送気すると、この圧搾空気はエア噴出管26に形成されたエア噴出孔27からガラス基板4の幅方向中央部に向けて噴射される(図4)。これにより、搬入されたガラス基板4と背面板12の上面12Aとの間にエア浮上層30を形成し得るようになり、搬入されたガラス基板4は、搬送ローラ24に支持される下面両側縁部4a,4bよりも基板中央寄りの部分4cが、このエア浮上層30を介して非接触に支持可能になる。
これに対し、この実施例のように、背面板12に垂れ板部12aが設けられていると、圧搾空気の流入間口が拡げられるので、エア噴出孔27から噴射された圧搾空気は、垂れ板部12aに案内されて略全量が隙間に導入されることになる。よって、少ないエア消費量で効率的にガラス基板4を非接触支持することができる。
そして、ガラス基板4が搬送ローラ24から離間したところで、つまり、ガラス基板4を背面板12に完全に預け終えたところで、ローラ往復動機構を駆動し、搬送ローラ24及びエア噴出管26を後退させて基板カセット1から抜き出す。以上が搬入動作の一例である。
次に、ローラ往復動機構を駆動し、搬送ローラ24及びエア噴出管26を前進させて基板カセット1内に差し込んだ後、カセット昇降機構3を駆動して基板カセット1を下降させ、搬出予定のガラス基板4の下面両側縁部4a,4bを搬送ローラ24に預ける。
しかも、この搬入出中は、終始、ガラス基板4の基板中央寄りの部分4cを、エア噴出管26から基板下面側に噴射された圧搾空気により背面板12からエア浮上させて非接触に支持しているので、ガラス基板4への接触は搬送ローラ24が差し込まれる下面両側縁部4a,4bだけとなっており、基板汚染の極小化を図ることができる。
この実施例(以下、実施例2)による基板保管搬送装置と、図1〜図5に示す上記実施例(以下、実施例1)とを比較すると、両者は、背面板12の両側縁部における垂れ板部12aの有無、及び搬送ローラ24とエア噴出管26との相対的な位置関係が相違するだけで、その余は同様に構成されている。
従って、以下、実施例1との相違点を中心に説明する。なお、実施例1と同様の構成要素については、同一の符号を付している。
ただし、図7に示すように、この背面板12の両側縁部には、実施例1のような垂れ板部12aは設けられていない。
このエア噴出管26は、図7に示すように、上下方向(基板格納方向)には搬送ローラ24よりも低い位置にくるように、また、左右方向(基板幅方向)には搬送ローラ24よりもガラス基板4の幅方向中央部側に突出するように、支持部26bを介して固定されている。
H1<H2 … 式1
W1>W2 … 式2
まず、カセット昇降機構3を駆動し、搬送ローラ24及びエア噴出管26の前進移動先に、搬出予定のガラス基板4を格納している棚段(以下、搬出予定段)が位置するように基板カセット1を昇降させる。このとき、搬出予定段に対応する背面板12は、搬送ローラ24よりも若干高めに位置決めされる。
すると、図6に示すように、ガラス基板4の下面両側縁部4a,4bよりも基板中央寄りの部分4cは、基板自重により背面板12上に載置されたままであるが、下面両側縁部4a,4bは撓んで相対的に反り上がり、背面板12との間に隙間が形成される。
よって、背面板12に垂れ板部12aが設けられていなくても、少ないエア消費量で効率的にガラス基板4を非接触支持することができる。
また、上下方向に沿う軸心間寸法H2をある程度大きくすることにより、すなわち、エア噴出孔27を背面板12の上面12A側に近づけることにより、背面板12とガラス基板4との間に圧搾空気をより直接的に噴射することが可能になるからである。
例えば、基板搬入出手段は、搬送ローラ24のようなコンベヤ装置に代えて、ガラス基板4の両側縁部を把持するクランプと、そのクランプを基板搬送方向に移動させるスライド機構とを備えた外部駆動装置であってもよい。
2 搬送ローラユニット(基板搬入出手段)
3 カセット昇降機構(昇降機構)
4 ガラス基板
4a、4b 下面両側縁部
12 背面板(基板支持部)
12a 垂れ板部(圧搾空気案内部)
24 搬送ローラ(搬送部)
26 エア噴出管(ノズル部)
Claims (4)
- 複数の基板を水平姿勢にて上下方向に多段収納し得る基板カセットに対し、基板搬送方向と直交する方向への往復動により抜き差しされる基板搬入出手段を備え、
この基板搬入出手段は、基板をその両側縁部にて支持しながら搬送する複数対の搬送部と、該搬送部により搬送する基板の下面側に横方向より圧搾空気を噴射し得るノズル部とを備えてなることを特徴とする基板搬送装置。 - 複数の基板を水平姿勢にて上下方向に多段収納し得る基板カセットと、
請求項1記載の基板搬入出手段と、
前記基板カセットを前記基板搬入出手段に対し相対的に昇降移動させる昇降機構とを備えてなることを特徴とする基板保管搬送装置。 - 複数の基板を水平姿勢にて上下方向に多段収納し得る基板カセットと、基板搬送方向と直交する方向への往復動により基板カセットに抜き差しされる基板搬入出手段と、前記基板カセットを前記基板搬入出手段に対し相対的に昇降移動させる昇降機構とを備えた基板保管搬送装置であって、
前記基板カセットは、基板をその下面からの接触により支持し得る基板支持部を備え、
前記基板搬入出手段は、基板をその両側縁部にて支持しながら搬送する複数対の搬送部と、該搬送部に支持された基板と前記基板支持部との間に圧搾空気を噴射し得るノズル部とを備えてなることを特徴とする基板保管搬送装置。 - 前記基板支持部は、その両側縁部に下方傾斜して延びる圧搾空気案内部を備えることを特徴とする請求項3記載の基板保管搬送装置。
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