KR20050001482A - 기판의 수평 및 상하 이송장치 - Google Patents

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Abstract

기판의 수평 및 상하 이송장치가 개시된다. 그러한 기판의 수평 및 상하 이송장치는 프레임과, 상기 프레임의 내부에 장착되며, 기판을 정위치에 안착시키고 기판의 처짐을 방지하며, 기판을 반전시킬 수 있는 적어도 하나 이상의 수평 이송수단과, 상기 프레임에 승/하강 가능하게 배치되며, 상기 수평이송수단으로부터/으로 기판을 인수/인계하여 기판 처리라인으로/으로부터 공급/인수하는 수직 이송수단과, 그리고 상기 수직 이송수단과 기판처리라인의 사이에 배치되며, 상기 수직 이송수단으로부터/으로 기판을 인수/인계하여 이송시키는 이송유닛을 포함한다.

Description

기판의 수평 및 상하 이송장치{APPARATUS FOR HORIZONTAL AND UP-DOWN TRANSPORTING OF WORKS}
본 발명은 기판의 수평 및 상하 이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판의 정렬, 처짐방지, 반전이 가능하도록 함으로써 기판의 이송효율을 향상시킬 수 있는 기판의 수평 및 상하 이송장치에 관한 것이다.
일반적으로 평판 디스플레이(FPD;Flat Panel Display), 반도체 웨이퍼, LCD, 포토 마스크용 글라스 등에 사용되는 기판은 일련의 처리라인을 거치면서 에칭, 스트립, 린스 등의 과정을 거친 후 세정을 하게 된다.
이러한 기판의 처리라인에 있어서는 라인간에 기판을 이송하기 위한 이송장치들이 필수적으로 적용되며, 상기 기판 이송장치들에 관한 다양한 기술들이 개발되고 있다.
도1 에는 이러한 기술들의 일 예로써, "글라스 습식 세정장치" 라는 명칭으로 출원된 대한민국 특허공개 제2002-58790호가 개시된다.
도시된 바와 같이, 글래스(100)를 반전시키기 위한 반전부(102)와, 반전부(102)로부터 글래스(100)를 공급받아 세정부로 공급하기 위한 로더(104)와, 글래스(100)의 표면상의 이물질을 순차적으로 세정하기 위한 제1 내지 제4 세정부(106, 108, 112, 116)와, 글래스(100)를 소정의 각도로 회전하여 세정부로 공급하기 위한 상류 및 하류 컨베이어(110,114)와, 세정된 글래스(100)를 건조하기 위한 건조부(118)와, 글래스(100)를 언로딩하기 위한 언로더(120)로 이루어진다.
따라서, 이와 같은 구조를 갖는 글래스 세정장치는 글래스를 화살표 방향을 따라 이송시킴으로써 일련의 공정을 거쳐 세정하게 된다.
그런데, 이러한 글래스 세정장치는 기판을 폭방향으로 정렬하기 위하여 적절하게 반전시킬 필요가 있다.
더욱이, 최근에는 LCD 등에 사용되는 기판이 점점 대형화되고 있는 추세이며, 종래의 650*550㎜에서, 예를 들면 830*650㎜ 이상과 같이 대형화된 기판이 요구되고 있다.
따라서, 이러한 대형기판을 라인에 공급하는 경우 기판의 길이로 인하여 간섭 등이 발생할 수 있으므로 기판을 반전시켜 길이방향으로 이송할 필요가 있다.
그러나, 상기와 같은 발명에 있어서는 기판의 이송방향을 정렬하기 위하여 여러 위치에 반전부를 배치하여야 하는 문제점이 있다.
또한, 기판이 대형화됨에 따라 기판을 이송하는 경우 기판의 자중 등에 의하여 중간처짐 현상이 발생하므로 기판의 품질에 영향을 미쳐 불량률이 증가하는 문제점이 있다.
그리고, 기판 이송장치에 기판을 안착하여 이송하는 경우 외부의 충격 등에 의하여 기판이 일측으로 밀리게 되는바, 이러한 기판을 라인에 공급하는 경우 기판을 정확한 위치에 재 정렬하여야 하는 번거로움이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 전술한 문제점을 해결하기 위하여 안출 된 것으로서, 본 발명의 목적은 기판의 저면을 상향으로 가압함으로써 기판의 자중에 의한 처짐 현상을 방지할 수 있는 기판의 수평 및 상하 이송장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 기판처리라인을 적층형으로 일체화함으로써 하나의 반전부에 의하여 기판을 반전시켜 처리라인에 공급하게 되므로 반전부를 추가로 배치할 필요가 없는 기판의 수평 및 상하 이송장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 기판 이송수단에 기판 정열부를 구비하여 기판 이송시 정위치에 정렬함으로써 별도의 정렬부가 요구되지 않는 기판의 수평 및 상하이송장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 기판이송수단과 기판처리라인을 상하 적층형으로 구성하는 경우 상하부로 기판을 용이하게 이송시킬 수 있는 기판의 수평 및 상하이송장치를 제공하는데 있다.
도1 은 종래의 기판 이송장치가 적용된 세정라인을 도시하는 개략도.
도2 는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판의 수평 및 상하 이송장치가 적용된 기판 처리라인을 도시하는 사시도.
도3 은 도2 에 도시된 기판 처리라인의 측면도.
도4 는 도2 에 도시된 기판의 수평 이송수단을 확대하여 도시하는 사시도.
도5 는 도5 에 도시된 기판의 수평 이송수단을 도시하는 후면도.
도6 은 도4 에 도시된 기판의 정렬부를 확대하여 도시하는 확대 사시도.
도7 은 도4 에 도시된 기판의 부상부를 확대하여 도시하는 확대 사시도.
도8 은 도2 에 도시된 기판의 상하 이송수단의 구조를 도시하는 사시도.
본 발명의 목적을 실현하기 위하여, 본 발명은 프레임과; 상기 프레임의 내부에 장착되며, 기판을 정위치에 안착시키고 기판의 처짐을 방지하며, 기판을 반전시킬 수 있는 적어도 하나 이상의 수평 이송수단과; 상기 프레임에 승/하강 가능하게 배치되며, 상기 수평이송수단으로부터/으로 기판을 인수/인계하여 기판 처리라인으로/으로부터 공급/인수하는 수직 이송수단과; 그리고 상기 수직 이송수단과 기판처리라인의 사이에 배치되며, 상기 수직 이송수단으로부터/으로 기판을 인수/인계하여 이송시키는 이송유닛을 포함하는 기판의 수평 및 상하 이송장치를 제공한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판의 수평 및 상하 이송장치를 상세하게 설명한다.
도2 는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판의 수평 및 상하 이송장치가 적용된 기판 처리라인을 도시하는 사시도이고, 도3 은 도2 에 도시된 기판 처리라인의 측면도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명이 제안하는 기판의 수평 및 상하 이송장치는 통상적인 기판 처리라인에 적용되지만, 바람직하게는 도2 에 도시된 바와 같은 적층형의 기판처리라인의 입측 및 출측에 적용된다.
즉, 상기한 적층형의 기판 처리라인은 다층구조를 갖는 프레임(1)의 내부에 기판(Ｉ)을 처리하기 위한 기판 처리유닛(13)을 소형화하여 구비한 라인으로서, 그 입측 및 출측에 기판의 수평 이송수단(3) 및 상하 이송수단(5,7)을 배치함으로써 기판(Ｉ)을 공급하거나 배출한다.
이러한 기판의 수평 이송수단(3) 및 상하 이송수단(5,7)은 프레임(1)과, 상기 프레임(1)의 내부에 장착되며, 기판(Ｉ)을 정위치에 정렬하고 기판(Ｉ)의 처짐을 방지하며, 기판(Ｉ)을 반전시킬 수 있는 적어도 하나 이상의 수평 이송수단(3)과, 상기 프레임(1)에 승/하강 가능하게 배치되며, 상기 수평 이송수단(3)으로부터/으로 기판(Ｉ)을 인수/인계하는 수직 이송수단(5,7)과, 그리고 상기 수직 이송수단(5,7)과 기판처리유닛(13)의 사이에 배치되며, 상기 수직 이송수단(5,7)으로부터/으로 기판(Ｉ)을 인수/인계하여 이송시키는 이송유닛(9,11)을 포함한다.
상기한 기판의 수평 및 상하 이송수단에 있어서, 상기 수평 이송수단(3)은 상기 프레임(1)에 장착된 한 쌍의 레일(17)상에 안착되어 활주 가능한 하부 베이스(Lower Base;20)와, 상기 하부 베이스(20)의 상부에 장착되며 기판(Ｉ)이 적치되는 상부 베이스(Upper Base;21)와, 기판(Ｉ)을 정위치에 정렬하는 정렬부(Aligning Portion;23)와, 기판(Ｉ)을 일정 높이로 부상시킴으로써 처짐을 방지하는 다수의 부상부(25)로 이루어진다.
보다 상세하게 설명하면, 도4 및 도5 에 도시된 바와 같이, 상기 하부 베이스(20)의 양단부에는 슬라이딩 플레이트(Sliding Plate;18,19)가 구비되며, 이 슬라이딩 플레이트(18,19)는 프레임(1)상에 배치된 한 쌍의 레일(17)에 활주 가능하게 안착된다.
따라서, 모터 조립체(도시안됨)가 구동하는 경우 상기 슬라이딩 플레이트(18,19)가 레일(17)을 따라 이동함으로써 수평 이송수단(3)이 전후방향으로 이동 가능하다.
상기 상부 베이스(21)에는 서로 대각으로 배치되는 2개의 정렬부(23) 및 다수개의 지지핀(Support Pin;29)이 장착된다. 그리고, 이 정렬부(23) 및 다수개의 지지핀(29)의 상부에 기판(Ｉ)이 안정적으로 안착된다.
도6 에는 이러한 정렬부(23)가 상세하게 도시된다. 즉, 상기 정렬부(23)는 케이스(30)형상을 가지며, 그 내부에 모터 조립체(32)가 장착된다. 그리고, 이 모터 조립체(32)에는 모터 조립체(32)의 구동시 수평 이송수단(3)의 중심방향으로 왕복 운동하는 연결바(34)가 구비된다.
또한, 상기 연결바(34)의 양단부에는 한 쌍의 정렬핀(36)이 돌출 형성되며, 한 쌍의 정렬핀(36)은 상기 케이스(30)의 상면에 형성된 장공(40)을 통과하여 상향으로 돌출된다. 그리고, 이 한 쌍의 정렬핀(36)의 사이에 기판(Ｉ)의 모서리부(38)가 위치하게 된다.
따라서, 2개의 정렬핀(36)은 모터 조립체(32)의 구동에 의하여 미리 설정된 위치로 이동하며, 이때 기판(Ｉ)의 각 모서리부(38)를 적절한 범위 이내에서 가압함으로서 기판(Ｉ)이 정확한 위치에 정렬되도록 한다.
이러한 정렬부(23)는 본 발명에서는 2개에 한정하여 설명하였지만, 2개에 한정되는 것은 아니고 그 이상 구비될 수 있음은 물론이다.
다시, 도4 를 참조하면, 상기 부상부(25)는 상기 상부 베이스(21)상에 다수개가 구비되며, 기판(Ｉ)의 저면에 공기를 분사하여 기판(Ｉ)을 상향으로 가압함으로써 다수의 지지핀(29)상에 적치된 기판(Ｉ)의 처짐을 방지한다.
이러한 부상부(25)는 도4 및 도7 에 도시된 바와 같이, 상부 베이스(21)의 상부에 구비된 플레이트(42)와, 상기 플레이트(42)의 상면에 구비된 보조 플레이트(44)와, 상기 보조 플레이트(44)상에 장착되어 기판(Ｉ)을 지지하며 일정압의 공기를 분사함으로써 기판(Ｉ)을 일정높이로 부상시키는 다공판(Porous Plate;46)을 포함한다.
상기 다공판(46)은 통상적으로 널리 알려진 다공질 재질, 즉 무수히 많은 미세구멍이 형성된 플레이트이다. 그리고, 이러한 다공판(46)은 공기공급부(도시안됨)와 연결된다.
따라서, 상기 공기공급부(도시안됨)에 의하여 공급된 공기는 다공판(46)의 미세구멍을 통하여 상면으로 분출됨으로써 일정한 공기층을 형성한다. 물론, 공기 이외에도 적절한 압력층을 형성할 수 있는 물질이면 가능하다.
이때, 기판(Ｉ)은 다수의 지지핀(29)에 안착되어 있은 상태이고 그 중간은 자중에 의하여 하방으로 처지려는 경향이 있다.
따라서, 상기 다수의 부상부(25)로부터 분출된 공기가 기판(Ｉ)의 저면을 상향으로 밀어 올림으로서 이러한 기판(Ｉ)의 처짐을 방지하게 된다.
결국, 상기 부상부(25)에 의하여 기판(Ｉ)은 우수한 편평도를 유지할 수 있음으로 제품의 불량률을 줄일 수 있다.
상기에서는 공기분사 방식에 의한 부상부에 의하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니고 기판을 상향으로 가압할 수 있는 방식, 즉 러버, 스폰지, 유체방식 등도 적용 가능함은 물론이다.
그리고, 도5 에 도시된 바와 같이, 상기 상부 베이스(21) 및 하부 베이스(20)의 사이에는 회전부재(27)가 장착된다. 이 회전부재(27)는 모터 조립체(28)를 포함하며, 바람직하게는 직결모터(DD Motor;Direct Motor)이다. 이 회전부재(27)는 그 하부는 하부 베이스(20)상에 장착된 받침부(26)의 상면에 안착되며 상부는 상기 상부 베이스(21)의 저면에 연결된다.
따라서, 상기 회전부재(27)가 구동하는 경우 상기 상부 베이스(21)가 일정 각도로 회전할 수 있다.
결과적으로, 사용자는 상기 회전부재(27)의 회전에 의하여 상부 베이스(21)를 회전시킬 수 있음으로 안착된 기판(Ｉ)의 방향을 폭방향 혹은 길이방향으로 반전하여 이송시킬 수 있다. 물론, 기판(Ｉ)을 반전시킬 필요가 없는 경우에는 상기 회전부재(27)를 구동하지 않은 상태에서 기판(Ｉ)을 이송시킬 수 있다.
상기에서는 수평 이송수단을 1개로 한정하여 설명하였지만, 이에 한정되는 것은 아니고 수평 이송수단이 2개 혹은 그 이상도 가능함은 물론이다.
한편, 이러한 수평 이송수단(3;도2)에 의하여 이송된 기판(Ｉ)은 상기 수직 이송수단(5,7;도2)에 공급되어 상하로 이송된다.
즉, 도3 및 도8 에 도시된 바와 같이, 상기 수직 이송수단(5,7)은 제1 업다운 버퍼유닛(5)과 제2 업다운 버퍼유닛(7)으로 이루어지며, 상기 제1 업다운 버퍼유닛(5)은 상기 프레임(1)의 일측에 승하강 가능하게 장착되어 상기 수평 이송수단(3)으로부터 기판(Ｉ)을 인수하고, 상기 제2 업다운 버퍼유닛(7)은 상기 제1 업다운 버퍼유닛(5)의 반대측에 장착되어 처리된 기판(Ｉ)을 상기 수평 이송수단(3)에 인계하게 된다.
이러한 제1 및 제2 업다운 버퍼유닛(5,7)은 동일한 구조를 가지므로 이하, 하나의 업다운 버퍼유닛(5)에 의하여 설명한다.
상기 제1 업다운 버퍼유닛(5)은 상기 수평 이송수단(3)으로부터 기판(Ｉ)을 인수하며 상하 운동하는 한 쌍의 상부핸드(Upper Hand;15)와, 상기 한 쌍의 상부핸드(15)로부터 기판(Ｉ)을 인수하여 로더(9;도2)에 인계하는 하부핸드(Lower Hand;6)로 이루어진다.
상기 한 쌍의 상부핸드(15)는 서로 나란하게 형성되는 제1 및 제2 핸드(51,53)로 이루어지며, 상기 제1 및 제2 핸드(51,53)는 각각 수평부(55,57)와 수직부(62,64)로 이루어짐으로써 "ㄱ" 자 형상을 갖는다.
또한, 상기 수평부(55,57)의 상면에는 다수의 상부 지지핀(58)이 상향으로 돌출 형성된다. 따라서, 기판(Ⅰ)이 상기 수평부(55,57)의 다수의 상부 지지핀(58)에 적치되어 지지된다.
그리고, 상기 제1 및 제2 핸드(51,53)의 수직부(62,64)는 그 하단부(65,70)가 연결바(66)에 활주 가능하게 장착되어 상하 및 좌우로 이송이 가능하다.
보다 상세하게 설명하면, 패널(2)의 양단부에는 가이드(Guide;72)가 각각 돌출 형성되며, 이 가이드(72)에는 연결바(66)의 양단부에 형성된 이송슬롯(74)이 활주 가능하도록 결합된다. 또한, 상기 연결바(66)의 중간에는 가이드 브래킷(76)이 돌출되며 이 가이드 브래킷(76)에는 수직 연결축(80)이 관통한다. 그리고, 상기 수직 연결축(80)은 지지 브래킷(78)에 의하여 회전 가능하게 고정되며, 바람직하게는 볼 스크류이다. 또한, 수직 연결축(80)의 하단부에는 제1 모터 조립체(88)가 연결된다.
따라서, 상기 제1 모터 조립체(88)가 구동하는 경우 상기 수직 연결축(80)이 정방향 혹은 역방향으로 회전하게 되며, 이때 상기 연결바(66)의 가이드 브래킷(76)과 수직 연결축(80)이 나사결합된 상태이므로 상기 연결바(66)는 상하로 왕복운동을 하게 된다.
또한, 상기 연결바(66)의 일측면 양단부에는 수평레일(68,69)이 각각 부착되며, 이 한 쌍의 수평레일(68,69)에는 상기 제1 및 제2 핸드(51,53)의 하단부(70,65)가 각각 활주가능하게 결합된다.
그리고, 상기 한 쌍의 수평레일(68,69)의 사이에는 제2 모터 조립체(90)가 구비되며, 제2 모터 조립체(90)의 양측부에는 수평 연결축(92)이 각각 연장된다. 이러한 수평 연결축(92)은 상기 수직부(62,64)의 하단부(65,70)에 각각 나사 결합된 상태이다.
따라서, 상기 제2 모터 조립체(90)가 구동하는 경우 상기 수평 연결축(92)이 정방향 혹은 역방향으로 회전함으로써 상기 제1 및 제2 핸드(51,53)는 좌우방향을따라 내측 혹은 외측으로 이동 가능하다.
결과적으로, 상기 한 쌍의 상부핸드(15)는 제1 및 제2 모터 조립체(88,90)의 구동에 의하여 상하로 이동하거나 혹은 좌우로 이동함으로써 필요에 따라 서로 벌어지거나 좁혀질 수 있다.
한편, 상기 하부핸드(6)는 기판(Ｉ)이 안착되는 수평 프레임(73)과, 상기 수평 프레임(73)을 지지하며 상기 수평 프레임(73)을 상하 왕복 운동시키는 지지 플레이트(84)로 이루어진다.
보다 상세하게 설명하면, 상기 수평 프레임(73)은 "??" 자 형상을 가지며 그 상면에 다수의 하부 지지핀(75)이 돌출 형성된다. 그리고, 다수의 하부 지지핀(75)은 후술하는 로더(9;도2)의 반송롤러(10) 사이에 배치된다.
따라서, 상기 하부핸드(6)가 상승하는 경우, 상기 다수의 하부 지지핀(75)은 반송롤러(10)의 사이를 통과하여 기판패스라인(P/S)의 상부로 상승함으로써 상기 상부핸드(15)로부터 이송된 기판(Ｉ)을 인수하게 된다.
또한, 상기 지지 플레이트(84)는 그 상단은 상기 수평 프레임(73)의 저면에 연결되며, 하단은 제3 모터 조립체(82)에 연결되는 회전축(86)에 연결된다. 이때, 상기 회전축(86)은 바람직하게는 상기 지지 플레이트(84)에 나사 결합되는 볼스크류를 포함한다. 그리고, 상기 지지 플레이트(84)는 패널(2)상에 돌출 된 한 쌍의 가이드바(89)에 의하여 지지된다.
따라서, 상기 제3 모터 조립체(82)가 구동하는 경우 상기 회전축(86)이 정방향 혹은 역방향으로 회전함으로써 상기 지지 플레이트(84)를 상하로 왕복운동 시킨다.
이와 같은 구조를 갖는 상부 및 하부핸드(15,6)는 상기 상부핸드(15)의 제1 및 제2 핸드(51,53)에 기판(Ｉ)이 안착되어 하강하게 되면, 일정 높이에 대기중인 상기 하부핸드(6)의 수평 프레임(73)과 교차하게 되고, 이때 제1 및 제2 핸드(51,53)의 간격이 상기 하부핸드(6)의 폭보다 넓게 형성되므로 상기 하부핸드(6)가 제1 및 제2 핸드(51,53)의 사이에 위치하게 된다.
따라서, 상기 제1 및 제2 핸드(51,53)가 상기 하부핸드(6)를 통과하여 하부핸드(6) 보다 낮은 위치로 하강하게 되면 기판(Ｉ)이 하부핸드(6)의 수평 프레임(73)에 안착된다.
그리고, 상기 제1 및 제2 핸드(51,53)가 좌우로 이동함으로써 하부핸드(6)와의 간섭을 방지함으로써 하부핸드(6)가 원활하게 하강할 수 있다.
상기 하부핸드(6)가 하강하여 기판패스라인(P/S) 이하로 내려가면 기판(Ｉ)이 이송유닛(9,11;도2)에 안착됨으로써 기판 처리유닛(13)으로 이송된다.
이러한 이송유닛(9,11)은 도2 에 도시된 바와 같이 기판 처리유닛(13)의 입측에 배치되는 로더(Roder;9)와, 출측에 배치되는 언로더(Unroder;11)로 이루어진다.
상기한 로더 및 언로더(9,11)는 동일한 구조, 즉 구동모터(도시안됨)에 의하여 회전 가능한 다수개의 반송롤러(10)로 구성된다. 그리고, 상기 반송롤러(10)에는 기판(Ｉ)의 처짐을 방지하기 위한 아이들 롤러(Idle Roller;10a)가 각각 장착된다.
따라서, 구동모터(도시안됨)의 작동시 상기 다수개의 반송롤러(10)가 회전함으로써 상기 제1 업다운 버퍼유닛(5)으로부터 공급된 기판(Ｉ)을 기판 처리유닛(13)으로 이송하거나 기판 처리유닛(13)으로부터 이송된 기판(Ｉ)을 제2 업다운 버퍼유닛(7)으로 공급한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판의 수평 및 상하이송장치의 작동과정을 더욱 상세하게 설명한다.
먼저, 도2 내지 도7 을 참조하여 기판의 수평이송수단의 작동과정을 설명하면, 상기 수평 이송수단(3)이 일정 위치, 바람직하게는 기판 인수위치에 도달하여 기판을 인수하게 된다.
기판(Ｉ)이 수평 이송수단(3)에 안착되는 경우, 기판(Ｉ)의 저면은 상부 베이스(21)에 돌출된 다수의 지지핀(29)에 접촉하게 된다.
그리고, 상기 정렬부(23)에 구비된 모터 조립체(32)가 구동함으로써 상기 정렬핀(36)이 미리 설정된 위치로 대각방향을 따라 이동하게 된다.
상기 정렬핀(36)이 미리 설정된 위치로 이동하는 경우, 2개의 정렬핀(36)이 기판(Ｉ)의 모서리부(38)를 가압하게 되며, 따라서, 기판(Ｉ)이 정확한 위치에 정렬된다.
이때, 상기 부상부(25)에는 공기 공급부(도시안됨)로부터 일정 압력의 공기가 공급되어 다공판(46)의 상부로 공기가 분출되고 있는 상태이다.
따라서, 분출된 공기가 일정한 압력의 공기층을 형성하며, 이러한 공기층이 기판(Ｉ)의 저면을 상향으로 밀어올림으로써 기판(Ｉ)이 자중 등에 의하여 처지는것을 방지할 수 있다.
또한, 기판(Ｉ)을 반전시키고자 하는 경우에는 상기 상부 및 하부 베이스(21,20) 사이에 장착된 회전부재(27)를 구동시킴으로써 안착된 기판(Ｉ)의 방향을 반전시킬 수 있다. 즉, 830*650㎜ 혹은 그 이상의 크기를 갖는 대형기판의 경우 길이방향으로 이송하여 처리공정에 투입하는 경우 간섭 등이 발생할 수 있다.
따라서, 이러한 경우 상기 회전부재(27)를 구동시킴으로써 기판(Ｉ)을 폭방향으로 반전함으로써 처리공정으로 원활하게 투입할 수 있다. 물론, 기판(Ｉ)을 반전시킬 필요가 없는 경우에는 회전부재(27)를 구동시키지 않은 상태에서 기판(Ｉ)을 이송시킬 수 있다.
한편, 상기와 같은 수평 이송수단(3)은 기판(Ｉ)을 적치한 후, 프레임(1)을 따라 일정거리 이동하여 수직 이송수단(5,7)의 인접위치에 도달하여 기판을 인계하게 된다.
즉, 제1 업다운 버퍼유닛(5)의 제1 모터 조립체(88)가 구동함으로써 상기 연결바(66)가 상승하게 되고, 이 연결바(66)에 결합된 제1 및 제2 핸드(51,53)가 상승하게 된다. 그리고, 일정 높이까지 상승하여 수평 이송수단(3)이 접근할 때까지 대기하게 된다.
상기 수평 이송수단(3)이 접근하면 상기 제1 및 제2 핸드(51,53)는 약간 상승하여 기판(Ｉ)의 양 테두리부를 지지하여 상방으로 밀어 올림으로써 기판(Ｉ)을 수평 이송수단(3)으로부터 상승시켜 인수하게 된다.
상기 상부핸드(15)가 기판을 인수하면, 제1 모터 조립체(88)가 역방향으로구동함으로써 상기 상부핸드(15)가 일정 위치까지 하강하게 된다. 이때, 하부핸드(6)에 돌출 형성된 다수의 하부 지지핀(75)은 로더(9)의 반송롤러(10)의 사이를 통과하여 기판패스라인(P/S) 이상의 높이에서 대기하고 있는 상태이다.
상기 상부핸드(15)의 제1 및 제2 핸드(51,53)가 하부핸드(6)를 통과하여 하강하면 상기 제1 및 제2 핸드(51,53)의 사이로 상기 하부핸드(6)가 통과하게 된다. 따라서, 상기 제1 및 제2 핸드(51,53)에 안착된 기판(Ｉ)이 상기 하부핸드(6)의 수평 프레임(73)에 안착됨으로서 인계된다.
그리고, 제2 모터 조립체(90)가 구동함으로써 상기 제1 및 제2 핸드(51,53)가 좌우방향을 따라 외측으로 이동하게 된다. 따라서, 하부핸드(6)의 하강시 간섭의 발생을 방지할 수 있다.
상기 하부핸드(6)에 기판(Ｉ)이 인수되면, 상기 제3 모터 조립체(82)가 구동함으로써 상기 하부핸드(6)의 지지 플레이트(84)가 하강하게 된다. 이때, 상기 수평 프레임(73)에 상향으로 돌출 된 다수의 하부 지지핀(75)들은 로더(9)의 반송롤러(10) 사이를 통과하여 하강하게 된다.
따라서, 하부핸드(6)가 하강하여 다수의 하부 지지핀(75)들이 기판패스라인(P/S) 이하로 내려가면 기판(Ｉ)은 하부핸드(6)로부터 이탈되어 로더(9)의 반송롤러(10) 상부에 적치된다.
기판(Ｉ)이 반송롤러(10)의 상부에 적치되면, 구동모터(도시안됨)가 작동함으로써 반송롤러(10)가 회전하게 되고, 기판(Ｉ)은 기판 처리유닛(13)으로 공급된다.
이때, 기판(Ｉ)의 길이가 길어서 이송중 처짐이 발생할 수 있음으로 반송롤러(10)의 아이들 롤러(10a)가 기판(Ｉ)을 지지함으로써 처짐을 방지하게 된다. 특히, 830*650㎜ 혹은 그 이상의 크기를 갖는 대형기판의 경우에는 처짐 현상이 현저함으로 이러한 아이들 로러(10a)의 적용이 요구된다.
이와 같은 과정을 통하여 기판(Ｉ)은 수직 이송수단(5,7)에서 로더(9)를 통하여 기판 처리유닛(13)으로 이송될 수 있다.
한편, 제2 업다운 버퍼유닛(7)의 작동순서는 상기 제1 업다운 버퍼유닛(5)의 경우와 역순으로 진행한다.(제1 및 제2 업다운 버퍼유닛은 동일한 구조를 가지므로 이하, 제1 업다운 버퍼유닛과 동일부호에 의하여 설명한다.)
즉, 기판(Ⅰ)이 언로더(11)에 의하여 이송되어 일정 위치에 도달되면, 제3 모터 조립체(82)가 구동함으로써 상기 하부핸드(6)가 상승하게 된다. 이때, 하부핸드(6)의 다수의 하부 지지핀(75)이 반송롤러(10)의 사이를 통과하여 기판패스라인(P/S)의 상부로 상승하게 된다.
이때, 상기 상부핸드(15)의 제1 및 제2 핸드(51,53)는 일정 높이에서 대기상태이다.
상기 하부핸드(6)가 상승하여 기판(Ｉ)이 일정 위치에 도달하면, 제2 모터 조립체(90)가 구동함으로써 상기 상부핸드(15)의 제1 및 제2 핸드(51,53)가 좌우방향을 따라 내측으로 각각 이동한다.
그리고, 상기 제1 및 제2 핸드(51,53)가 하부핸드(6)에 안착된 기판(Ｉ)의 양테두리부 저면에 접촉하게 되면 제1 모터 조립체(88)가 구동함으로써 제1 및 제2핸드(51,53)를 상승시킨다. 따라서, 상기 하부핸드(6)에 안착된 기판(Ｉ)이 상부핸드(15)로 인계된다.
상부핸드(15)가 기판(Ｉ)을 인수한 후, 제1 및 제2 핸드(51,53)가 상승하게 되고, 일정 높이에 도달 한 후 상기 수평이송수단(3)에 기판(Ｉ)을 인계하게 된다.
상기한 바와 같이 기판은 수평 이송수단(3) 및 상하이송수단(5,7)에 의하여 이송됨으로써 기판 처리공정으로 공급될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판의 수평 및 상하 이송장치는 다음과 같은 장점이 있다.
첫째, 수평이송수단에 부상부를 구비함으로써 기판의 처짐을 방지하여 제품의 불량률을 감소시킬 수 있다.
둘째, 회전부재를 구비함으로써 기판의 이송중에 미리 반전을 시켜서 라인에 공급하게 되므로 별도의 반전부를 라인중에 배치할 필요가 없음으로 작업이 간편하고 투자비를 절감할 수 있다.
셋째, 수평 이송수단에 정렬부를 구비하여 기판 이송시 정확한 위치에 정렬함으로써 별도로 정렬부가 요구되지 않음으로 이송작업이 간편하고 설치비용이 절감될 수 있다.
넷째, 상부 및 하부핸드로 구성되는 상하이송수단을 구비함으로써 기판을 상하로 용이하게 이송시킬 수 있는 장점이 있다.
이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명은이에 한정되는 것은 아니고 특허청구의 범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고, 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.

Claims (11)

  1. 프레임과;
    상기 프레임의 내부에 장착되며, 기판을 정위치에 안착시키고 기판의 처짐을 방지하며, 기판을 반전시킬 수 있는 적어도 하나 이상의 수평 이송수단과;
    상기 프레임에 승/하강 가능하게 배치되며, 상기 수평이송수단으로부터/으로 기판을 인수/인계하여 기판 처리라인으로/으로부터 공급/인수하는 수직 이송수단과; 그리고
    상기 수직 이송수단과 기판처리라인의 사이에 배치되며, 상기 수직 이송수단으로부터/으로 기판을 인수/인계하여 이송시키는 이송유닛을 포함하는 기판의 수평 및 상하 이송장치.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 수평 이송수단은 상기 프레임에 장착된 레일상에 안착되어 활주 가능한 하부베이스(Lower Base)와, 상기 하부베이스의 상부에 장착되며 기판이 적치되는 상부 베이스(Upper Base)와, 상기 상부 베이스상에 돌출 형성되어 상기 기판을 지지하는 다수의 지지핀과, 상기 기판을 정위치에 정렬시키는 정렬부를 포함하는 기판의 수평 및 상하 이송장치.
  3. 제2 항에 있어서, 상기 수평 이송수단은 상기 기판의 저면을 공압에 의하여 가압하는 부상부와, 상기 상부 및 하부 베이스의 사이에 배치되어 상기 상부 베이스를 반전시키는 회전부재를 추가로 포함하는 기판의 수평 및 상하 이송장치.
  4. 제3 항에 있어서, 상기 부상부는 상기 상부 베이스 상에 적어도 하나 이상 구비된 플레이트와, 상기 각각의 플레이트의 상면에 구비되어 공기를 분사함으로써 안착된 기판을 상향으로 부상시키는 다공판(Porous Plate)과, 상기 다공판에 공기를 공급하는 공기 공급부를 포함하는 기판의 수평 및 상하 이송장치.
  5. 제2 항에 있어서, 상기 정렬부는 그 상면에 한 쌍의 장공이 형성되는 케이스와, 상기 케이스에 장착되는 모터 조립체와, 상기 모터 조립체에 연결되어 모터 조립체 구동시 상기 상부베이스의 중심방향으로 왕복 운동하는 연결바와, 상기 연결바의 양단부에 상향으로 돌출 형성되어 상기 장공을 관통하여 케이스의 상부로 돌출되며 상기 기판의 모서리를 가압하여 정위치에 정렬하는 한 쌍의 정렬핀을 포함하는 기판의 수평 및 상하 이송장치.
  6. 제3 항에 있어서, 상기 회전부재는 그 하부는 상기 하부베이스에 연결되고, 상부는 상기 상부베이스에 연결되는 직결모터를 포함하는 기판의 수평 및 상하 이송장치.
  7. 제1 항에 있어서, 상기 수직 이송수단은 수직 혹은 수평운동이 가능하며 상기 수평 이송수단으로부터/으로 기판을 인수/인계하는 상부핸드와, 상기 상부핸드로부터 기판을 인수하여 상기 이송유닛으로 기판을 공급하거나 상기 이송유닛으로부터 공급된 기판을 상부핸드로 인계하는 하부핸드로 이루어지는 업다운 유닛을 포함하는 기판의 수평 및 상하 이송장치.
  8. 제7 항에 있어서, 상기 상부핸드는 서로 나란하도록 배치되는 제1 및 제2 핸드를 포함하며, 상기 제1 및 제2 핸드는 그 상면에 다수의 상부 지지핀이 돌출 형성되어 기판이 안착되는 수평부와, 상기 프레임에 장착되어 상하 및 좌우이동이 가능한 수직부로 이루어지는 기판의 수평 및 상하 이송장치.
  9. 제8 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 핸드의 수직부는 그 하단부를 서로 연결하는 연결바가 제1 모터 조립체에 연결됨으로써 상기 제1 모터 조립체가 구동하는 경우 상하로 이동가능하며, 상기 수직부의 하단부가 상기 연결바의 측면에 장착된 수평레일에 각각 활주 가능하게 결합되고, 제2 모터 조립체와 수평 연결축에 의하여 각각 연결됨으로써 제2 모터 조립체 구동시 좌우로 이동 가능한 기판의 수평 및 상하 이송장치.
  10. 제7 항에 있어서, 상기 하부핸드는 수평 프레임과, 상기 수평 프레임의 상면에 돌출 형성되어 기판을 적치하는 다수의 하부 지지핀과, 상기 프레임에 장착되어 제3 모터 조립체에 연결됨으로써 제3 모터 조립체 구동시 상하 왕복 운동하는 지지 플레이트를 포함하는 기판의 수평 및 상하 이송장치.
  11. 제7 항에 있어서, 상기 업다운 유닛은 상기 프레임의 전후방에 각각 배치되는 제1 및 제2 업다운 버퍼유닛을 포함하는 기판의 수평 및 상하 이송장치.
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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100618918B1 (ko) * 2005-04-12 2006-09-01 주식회사 디엠에스 적층형 기판 이송장치
KR100654849B1 (ko) * 2005-04-14 2006-12-06 주식회사 대성미크론 인쇄회로기판 표면 실장용 스크린 프린터의 다수개의인쇄회로기판 각도조정 및 정렬장치
KR100674882B1 (ko) * 2005-10-24 2007-01-29 주식회사 디엠에스 기판 이송용 트랜스퍼
KR100729958B1 (ko) * 2005-08-30 2007-06-19 에버테크노 주식회사 패널 이송리프터
KR100783762B1 (ko) * 2007-01-04 2007-12-07 주식회사 디엠에스 기판 반송장치
KR100793137B1 (ko) * 2006-09-06 2008-01-10 (주)젬텍 엘시디 마더글라스 이송라인의 버퍼스테이션
KR100830873B1 (ko) * 2006-10-17 2008-05-21 주식회사 에스에프에이 인쇄장치
KR20140018496A (ko) * 2012-08-01 2014-02-13 엘지디스플레이 주식회사 건조 장치
KR102049043B1 (ko) * 2019-08-16 2019-11-26 (주)선우하이테크 기판 위치 가변형 표면 처리장치

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100660780B1 (ko) * 2005-12-26 2006-12-26 주식회사 디엠에스 평판 디스플레이용 기판 전달 장치
US9834378B2 (en) 2006-12-22 2017-12-05 Brooks Automation, Inc. Loader and buffer for reduced lot size
KR100963316B1 (ko) * 2008-06-13 2010-06-11 주식회사 디엠에스 기판세정장치
KR100967222B1 (ko) 2008-06-16 2010-07-05 정진황 이송챔버 및 기판이송방법
KR100962362B1 (ko) 2008-06-27 2010-06-10 주식회사 디엠에스 기판세정장치
CN101633559B (zh) * 2008-07-24 2011-07-27 洛阳兰迪玻璃机器有限公司 一种玻璃输送升降装置
KR101052750B1 (ko) * 2008-11-18 2011-08-01 세메스 주식회사 기판 이송 모듈 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
KR101052753B1 (ko) * 2008-11-18 2011-08-01 세메스 주식회사 기판 이송 모듈 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
KR101105416B1 (ko) * 2009-07-23 2012-01-17 주식회사 디엠에스 기판 처리 장치
CN102107781B (zh) * 2009-12-23 2013-06-19 株式会社太星技研 平板玻璃移送装置
KR101302485B1 (ko) * 2010-11-05 2013-09-02 주식회사 로보스타 이송장비
KR101917824B1 (ko) * 2012-06-11 2018-11-13 세메스 주식회사 기판 반전 장치 및 방법
KR200470942Y1 (ko) 2013-01-24 2014-01-21 (주)아모레퍼시픽 화장품 용기 홀더 이송장치
CN103569611A (zh) * 2013-10-23 2014-02-12 南京熊猫电子股份有限公司 一种洁净环境玻璃走行提升装置
KR102064803B1 (ko) * 2014-05-09 2020-01-13 주식회사 제우스 기판반전유닛
CN106369955B (zh) * 2016-08-31 2019-08-16 武汉华星光电技术有限公司 薄膜烘干机支架及薄膜烘干机
CN107958865A (zh) * 2017-12-11 2018-04-24 苏州广林达电子科技有限公司 Oled托盘上下传输装置及显示装置
CN108946019B (zh) * 2018-08-09 2020-10-23 李舒欣 一种机械加工生产用平移机械装置
CN115312446B (zh) * 2022-10-11 2023-03-21 南通大鹏光电有限公司 一种太阳能光伏电池组件的运输装置

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100618918B1 (ko) * 2005-04-12 2006-09-01 주식회사 디엠에스 적층형 기판 이송장치
KR100654849B1 (ko) * 2005-04-14 2006-12-06 주식회사 대성미크론 인쇄회로기판 표면 실장용 스크린 프린터의 다수개의인쇄회로기판 각도조정 및 정렬장치
KR100729958B1 (ko) * 2005-08-30 2007-06-19 에버테크노 주식회사 패널 이송리프터
KR100674882B1 (ko) * 2005-10-24 2007-01-29 주식회사 디엠에스 기판 이송용 트랜스퍼
KR100793137B1 (ko) * 2006-09-06 2008-01-10 (주)젬텍 엘시디 마더글라스 이송라인의 버퍼스테이션
KR100830873B1 (ko) * 2006-10-17 2008-05-21 주식회사 에스에프에이 인쇄장치
KR100783762B1 (ko) * 2007-01-04 2007-12-07 주식회사 디엠에스 기판 반송장치
KR20140018496A (ko) * 2012-08-01 2014-02-13 엘지디스플레이 주식회사 건조 장치
KR102049043B1 (ko) * 2019-08-16 2019-11-26 (주)선우하이테크 기판 위치 가변형 표면 처리장치

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Publication number Publication date
JP4053517B2 (ja) 2008-02-27
CN1284710C (zh) 2006-11-15
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TW200502151A (en) 2005-01-16
CN1576199A (zh) 2005-02-09
JP2005019986A (ja) 2005-01-20
TWI275551B (en) 2007-03-11

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