KR200496677Y1 - 기판 이송용 팔레트 및 이를 이용한 기판처리장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 곡면기판의 높이에 대응하여 흡착시키는 것과 동시에 지지할 수 있도록 하여 곡면기판을 안정적으로 이송시킬 수 있도록 하는 기판 이송용 팔레트 및 이를 이용한 기판처리장치에 관한 것이다.
본 고안은 제1 석션라인을 형성하기 위한 중공의 테두리 프레임; 상기 테두리 프레임의 내부영역에서 폭방향으로 배치되는 복수 개의 지지프레임; 상기 지지프레임상에서 곡면기판의 높이에 대응되도록 이동 가능하게 설치되고, 상기 제1 석션라인을 통해 전달되는 압력에 의해 상기 곡면기판을 흡착시키기 위한 흡착유닛; 상기 테두리 프레임상에서 상기 제1 석션라인과 연결되도록 설치되고, 외부의 석션유닛과 연결되어 상기 제1 석션라인에 압력을 낮추기 위한 포트유닛; 및 상기 테두리 프레임상에서 상기 제1 석션라인과 연결되도록 설치되어, 상기 제1 석션라인과 상기 흡착유닛을 연결시키기 위한 연결포트;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 팔레트 및 이를 이용한 기판처리장치를 제공한다.

Description

기판 이송용 팔레트 및 이를 이용한 기판처리장치{PALLET FOR TRANSFER SUBSTRATE AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS USING THE SAME}

본 고안은 기판 이송용 팔레트 및 이를 이용한 기판처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 곡면기판의 높이에 대응하여 흡착시키는 것과 동시에 지지할 수 있도록 하여 곡면기판을 안정적으로 이송시킬 수 있도록 하는 기판 이송용 팔레트 및 이를 이용한 기판처리장치에 관한 것이다.

일반적으로 평판 디스플레이(FPD;Flat Panel Display), 반도체 웨이퍼, LCD, 포토 마스크용 글라스 등에 사용되는 기판은 일련의 처리라인을 거치면서 에칭, 스트립, 린스 등의 과정을 거친 후 세정된다.

이러한 기판의 처리라인에 있어서는 라인간에 기판을 이송하기 위한 이송장치들이 필수적으로 적용되며, 기판이송장치들에 관한 다양한 기술들이 개발되고 있다.

이러한 기술들의 일예로써, '글라스 습식 세정장치' 라는 명칭으로 출원된 대한민국 특허등록 제0781346호가 개시된다.

글라스 습식 세정장치는 글라스를 반전시키기 위한 반전부와, 반전부로부터 글라스를 공급받아 세정부로 공급하기 위한 로더와, 글라스의 표면상의 이물질을 순차적으로 세정하기 위한 제1 내지 제4 세정부와, 글라스를 소정의 각도로 회전하여 세정부로 공급하기 위한 상류 및 하류 컨베이어와, 세정된 글라스를 건조하기 위한 건조부와, 글라스를 언로딩하기 위한 언로더로 이루어진다.

따라서, 이와 같은 구조를 갖는 글라스 세정장치는 이송롤러 및 컨베이어 등과 같은 기판 이송장치를 이용하여 기판을 이송하면서 일련의 공정을 거쳐 기판을 세정하게 된다.

그러나, 이러한 종래의 글라스 세정장치에 적용된 기판 이송장치는 평면기판에 대해서만 이송시킬 수 있는 구조이기 때문에 평면기판 뿐만 아니라, 곡면기판에 대해서도 안정적으로 이송시킬 수 있는 기술 개발이 필요하다.

대한민국 등록특허공보 제10-0781346호(2007.11.30 등록공고, 발명의 명칭 : 글라스 습식 세정장치)

본 고안의 목적은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 고안은 곡면기판의 높이에 대응이 가능하도록 팔레트에 설치된 흡착유닛 및 지지유닛을 이용하여 곡면기판을 이송시킴으로써, 곡면기판을 안정적으로 이송시킬 수 있도록 하는 기반 이송용 팔레트 및 이를 이용한 기판처리장치를 제공하는데 있다.

상술한 본 고안의 목적을 달성하기 위하여, 본 고안에 따른 기판 이송용 팔레트는, 제1 석션라인을 형성하기 위한 중공의 테두리 프레임; 상기 테두리 프레임의 내부영역에서 폭방향으로 배치되는 복수 개의 지지프레임; 상기 지지프레임상에서 곡면기판의 높이에 대응되도록 이동 가능하게 설치되고, 상기 제1 석션라인을 통해 전달되는 압력에 의해 상기 곡면기판을 흡착시키기 위한 흡착유닛; 상기 테두리 프레임상에서 상기 제1 석션라인과 연결되도록 설치되고, 외부의 석션유닛과 연결되어 상기 제1 석션라인에 압력을 낮추기 위한 포트유닛; 및 상기 테두리 프레임상에서 상기 제1 석션라인과 연결되도록 설치되어, 상기 제1 석션라인과 상기 흡착유닛을 연결시키기 위한 연결포트;를 포함하고, 상기 흡착유닛은, 상기 지지프레임에 이동 가능하게 설치되고, 내부에 제2 석션라인이 형성된 흡착유닛본체를 포함하며, 상기 지지프레임에는 상기 지지프레임의 길이방향으로 따라 가이드홀이 형성된 가이드부가 마련되고, 상기 흡착유닛본체의 하부에는 상기 가이드홀에 결합되어 상기 가이드홀을 따라 상기 흡착유닛본체를 이동시키기 위한 가이드가 마련된다.

본 고안에 따른 기판 이송용 팔레트에 있어서, 상기 흡착유닛은, 상기 지지프레임에 이동 가능하게 설치되고, 내부에 제2 석션라인이 형성된 흡착유닛본체; 상기 흡착유닛본체의 일측에 설치되되, 상기 제2 석션라인의 일측과 연결되도록 설치되는 흡착포트; 일측은 상기 흡착포트에 연결되고 타측은 상기 연결포트에 연결되어, 상기 제1 석션라인의 압력을 상기 제2 석션라인으로 전달하는 연결관; 상기 흡착유닛본체의 상측에 설치되어 상기 제2 석션라인에 형성된 압력에 의해 상기 기판을 흡착시키기 위한 흡착패드; 및 상기 흡착유닛본체상에서 상기 흡착패드를 지지하기 위하여, 상기 흡착유닛본체의 상면에 설치되되 일측은 상기 제2 석션라인의 타측과 연결되도록 설치되고 타측은 상기 흡착패드의 하부와 연결되도록 설치되는 흡착봉;을 포함할 수 있다.

본 고안에 따른 기판 이송용 팔레트에 있어서, 상기 흡착봉은, 상기 흡착패드와 연결되는 상부 흡착봉; 및 일측은 상기 상부 흡착봉에 연결되고, 타측은 상기 흡착유닛본체와 연결되는 하부 흡착봉을 포함하고, 상기 하부 흡착봉에 대해 상부 흡착봉의 높이를 조절하기 위하여, 상기 상부 흡착봉의 외주면에는 제1 나사산이 형성되고, 상기 하부 흡착봉의 내주면에는 상기 제1 나사산과 대응되는 제2 나사산이 형성된 것을 특징한다.

본 고안에 따른 기판 이송용 팔레트에 있어서, 상기 흡착봉은, 상기 흡착유닛본체의 일측에 설치되어 상기 흡착패드에 의해 흡착된 곡면기판의 하면을 지지하거나 상기 곡면기판의 테두리를 지지하기 위한 지지핀을 포함하는 지지유닛;을 더 포함할 수 있다.

상술한 본 고안의 목적을 달성하기 위하여, 본 고안에 따른 기판 이송용 팔레트는, 제1 석션라인을 형성하기 위한 중공의 테두리 프레임; 상기 테두리 프레임의 내부영역에서 폭방향으로 배치되는 복수 개의 지지프레임; 상기 지지프레임상에서 곡면기판의 높이에 대응되도록 이동 가능하게 설치되고, 상기 제1 석션라인을 통해 전달되는 압력에 의해 상기 곡면기판을 흡착시키기 위한 흡착유닛; 상기 테두리 프레임상에서 상기 제1 석션라인과 연결되도록 설치되고, 외부의 석션유닛과 연결되어 상기 제1 석션라인에 압력을 낮추기 위한 포트유닛; 및 상기 테두리 프레임상에서 상기 제1 석션라인과 연결되도록 설치되어, 상기 제1 석션라인과 상기 흡착유닛을 연결시키기 위한 연결포트;를 포함하고, 상기 흡착유닛은, 상기 지지프레임에 이동 가능하게 설치되고, 내부에 제2 석션라인이 형성된 흡착유닛본체와, 상기 흡착유닛본체의 상측에 설치되어 상기 제2 석션라인에 형성된 압력에 의해 상기 기판을 흡착시키기 위한 흡착패드와, 상기 흡착유닛본체상에서 상기 흡착패드를 지지하기 위하여, 상기 흡착유닛본체의 상면에 설치되되 일측은 상기 제2 석션라인의 타측과 연결되도록 설치되고 타측은 상기 흡착패드의 하부와 연결되도록 설치되는 흡착봉을 포함하며, 상기 흡착유닛본체의 일측에 설치되어 상기 흡착패드에 의해 흡착된 곡면기판의 하면을 지지하거나 상기 곡면기판의 테두리를 지지하기 위한 지지핀을 포함하는 지지유닛;을 더 포함하고, 상기 지지유닛은, 상기 지지핀을 상기 흡착유닛본체상에 회전 가능하게 설치하기 위한 회전브라켓;을 더 포함하되, 상기 회전브라켓은, 상기 흡착유닛본체의 상면에 배치되고, 상기 흡착봉이 관통되도록 제1 관통공이 마련된 브라켓본체; 및 상기 브라켓본체의 외주면으로부터 외측 반경방향으로 향해 돌출 형성되고, 상기 지지핀이 관통 설치되도록 제2 관통홀이 마련된 지지핀 장착부;를 포함한다.

본 고안에 따른 기판 이송용 팔레트에 있어서, 상기 지지유닛은, 상기 지지핀 장착부로부터 상기 지지핀이 이탈되는 것을 방지하기 위하여, 상기 제2 관통홀에 관통 설치된 상기 지지핀의 일단과 나사 결합되는 고정나사;를 더 포함할 수 있다.

본 고안에 따른 기판 이송용 팔레트에 있어서, 상기 지지핀 장착부에 장착된 상기 지지핀의 높이를 조절하기 위하여, 상기 제2 관통홀의 내측에는 제3 나사산이 형성되고, 상기 지지핀의 외주면에는 상기 제3 나사산과 대응되는 제4 나사산이 형성된 것을 특징으로 한다.

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본 고안에 따른 기판 이송용 팔레트에 있어서, 상기 포트유닛은, 상기 테두리 프레임상에 설치되되, 내부에는 내부공간이 형성되고, 상면에는 외부와 상기 내부공간이 연통되도록 제1 연통홀이 마련되고, 하면에는 상기 내부공간과 상기 제1 석션라인이 연통되도록 제2 연통홀이 마련된 포트유닛본체; 일부가 상기 제1 연통홀에 삽입되어 상기 내부공간에 배치되고, 일측단부에는 외력에 의해 상기 제1 연통홀을 선택적으로 개폐하기 위한 개폐부가 마련된 개폐부재; 및 상기 내부공간상에서 일측은 상기 개폐부의 하면과 접촉되도록 설치되고 타측은 상기 내부공간의 바닥면과 접촉되도록 설치되어 상기 개폐부에 탄성복원력을 제공하기 위한 탄성부재;를 포함할 수 있다.

본 고안에 따른 기판처리장치는 프레임; 상기 프레임상에 배치되고, 기판을 처리하기 위한 처리구간이 마련된 기판처리부; 상기 기판처리부로 상기 기판을 공급하기 위하여, 상기 프레임상에 배치되되 상기 기판처리부의 일측에 배치되어, 상기 기판 이송용 팔레트가 로딩되는 로딩부; 상기 프레임상에 배치되되 상기 기판처리부의 타측에 배치되어, 상기 기판처리부를 통해 처리된 상기 기판을 외부로 배출시키는 언로딩부; 상기 프레임상에서 상기 기판처리부의 상측에 배치되되 일측은 상기 언로딩부의 상부와 연결되고 타측은 상기 로딩부의 상부와 연결되어, 상기 언로딩부로 이송된 상기 기판 이송용 팔레트를 상기 로딩부로 반송시키기 위한 팔레트 반송부; 상기 언로딩부에 배치되어 상기 기판 이송용 팔레트를 상기 언로딩부의 상부로 상승시키기 위한 제1 업다운수단; 상기 로딩부에 배치되어 상기 팔레트 반송부를 통해 상기 로딩부의 상부로 반송된 상기 기판 이송용 팔레트를 상기 로딩부로 하강시키기 위한 제2 업다운수단; 및 상기 프레임의 일측에 배치되고, 상기 포트유닛과 상기 석션유닛을 연결시키기 위하여, 상기 포트유닛의 상부를 가압하는 가압수단;을 포함한다.

이상 설명한 바와 같이, 본 고안에 따른 기판 이송용 팔레트 및 이를 이용한 기판처리장치는 곡면기판의 높이에 대응이 가능하도록 팔레트에 설치된 흡착유닛 및 지지유닛을 이용하여 곡면기판을 이송시킴으로써, 곡면기판을 안정적으로 이송시킬 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 고안에 따른 기판 이송용 팔레트 및 이를 이용한 기판처리장치는 지지프레임상에서 흡착유닛을 이동가능하게 설치된 것에 의해 곡면기판의 다양한 폭에 대응하여 팔레트상에 안착시킬 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 고안에 따른 기판 이송용 팔레트 및 이를 이용한 기판처리장치는 지지유닛의 각 지지핀이 높이 조절이 가능하도록 설치된 것에 의해 곡면기판의 하면과 테두리를 동시에 지지함으로써 곡면기판을 더욱 안정적으로 이송시킬 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 기판 이송용 팔레트의 구조를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 고안의 일 실시예에 따른 흡착유닛 및 지지유닛의 구조를 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 흡착유닛의 내부구조를 나타낸 도면이다.
도 4는 본 고안의 일 실시예에 따른 흡착유닛 및 지지유닛에 곡면기판이 설치된 일예를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 5는 본 고안의 일 실시예에 따른 흡착포트의 내부 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 고안의 다른 실시예에 따른 흡착유닛 및 지지유닛의 높이조절 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 고안에 따른 기판처리장치의 구조를 개략적으로 나타낸 개략도이다.
도 8은 본 고안에 따른 가압수단과 포트유닛이 연결된 상태의 단면을 개략적으로 나타낸 도면이다.

이하, 상술한 해결하고자 하는 과제가 구체적으로 실현될 수 있는 본 고안의 바람직한 실시 예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시 예들을 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 하기에서 생략된다.

도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 기판 이송용 팔레트의 구조를 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 고안의 일 실시예에 따른 흡착유닛 및 지지유닛의 구조를 나타낸 사시도이며, 도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 흡착유닛의 내부구조를 나타낸 도면이다.

또한, 도 4는 본 고안의 일 실시예에 따른 흡착유닛 및 지지유닛에 곡면기판이 설치된 일예를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 5는 본 고안의 일 실시예에 따른 흡착포트의 내부구조를 설명하기 위한 도면이다. 이때, 도 4의 점선으로 도시된 것은 곡면기판의 일예를 나타낸 것이다.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 고안에 일 실시예에 따른 기판 이송용 팔레트(1000)는 테두리 프레임(100)과, 지지프레임(200)과, 흡착유닛(300)과, 포트유닛(500)과, 연결포트(600)를 포함한다.

도 1에 도시된 바와 같이, 상기 테두리 프레임(100)은 내부가 중공으로 형성되고 기판 이송용 팔레트(1000)의 외곽을 이룬다. 이때, 상기 테두리 프레임(100)의 내부에는 제1 석션라인(도 8의 110)이 형성될 수 있다.

상기 지지프레임(200)은 상기 테두리 프레임(100)의 내부영역에서 폭방향으로 복수 개가 배치될 수 있으며, 후술하는 흡착유닛(300)이 설치될 수 있다.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 흡착유닛(300)은 상기 제1 석션라인(110)을 통해 전달되는 압력에 의해 곡면기판(도 7의 S)을 흡착시킬 수 있도록 하는 구성인 것으로서, 상기 흡착유닛(300)은 상기 지지프레임(도 1의 200)상에서 곡면기판(S)의 높이에 대응되도록 상하방향으로 이동 가능하게 설치될 수 있다.

한편, 상기 흡착유닛(300)을 통해 흡착되는 기판은 상기 곡면기판(S) 뿐만 아니라, 평면기판도 흡착시킬 수 있으나, 본 실시예에서는 상기 곡면기판(S)을 예를 들어 설명하기로 한다.

상기 흡착유닛(300)은 흡착유닛본체(310)와, 흡착포트(320)와, 연결관(330)과, 흡착패드(340) 및 흡착봉(350)을 포함할 수 있다.

상기 흡착유닛본체(310)는 상기 지지프레임(200)에 이동 가능하게 설치되고, 내부에는 제2 석션라인(311)이 형성될 수 있다.

한편, 상기 흡착유닛본체(310)를 상기 지지프레임(200)상에서 이동시키기 위하여, 상기 지지프레임(200)에는 상기 지지프레임(200)의 길이방향으로 따라 가이드홀(211)이 형성된 가이드홀부(210)가 마련될 수 있으며, 상기 흡착유닛본체(310)의 하부에는 상기 가이드홀(211)에 결합되어 상기 가이드홀(211)을 따라 상기 흡착유닛본체(310)를 이동시키기 위한 가이드(312)가 마련될 수 있다.

즉, 상기 가이드(312)가 상기 가이드홀(211)을 따라 이동되면서 후술하는 흡착패드(340)가 상기 곡면기판(S)이 흡착될 부위로 이동될 수 있도록 안내하게 된다.

상기 흡착포트(320)는 상기 흡착유닛본체(310)의 일측에 설치되되, 상기 연결포트(600)가 설치된 부위와 대응하는 위치에서 상기 제2 석션라인(311)의 일측과 연결되도록 설치될 수 있다.

상기 연결관(330)은 일측이 상기 흡착포트(320)에 연결되고 타측이 상기 연결포트(600)에 연결되어, 상기 제1 석션라인(110)의 압력을 상기 제2 석션라인(311)으로 전달하게 된다.

상기 흡착패드(340)는 상기 흡착유닛본체(310)의 상측에 설치되어 상기 제2 석션라인(311)에 형성된 압력에 의해 상기 곡면기판(S)을 흡착시킬 수 있다.

이때, 상기 흡착패드(340)에는 후술하는 흡착봉(350)의 내부와 연통되는 흡착홀(341)이 마련될 수 있다.

상기 흡착봉(350)은 상기 흡착유닛본체(310)의 상면에 설치되되, 일측이 상기 제2 석션라인(311)의 타측과 연결되도록 설치되고 타측이 상기 흡착패드(340)의 하부와 연결되도록 설치될 수 있다.

즉, 상기 흡착봉(350)은 상기 흡착패드(340)와 상기 흡착유닛본체(310) 사이에 설치되어, 상기 흡착유닛본체(310)상에서 상기 흡착패드(340)를 지지하는 것과 동시에 상기 흡착봉(350)의 내부를 통하여 상기 제2 석션라인(311)의 압력을 상기 흡착패드(340)로 전달하게 된다.

본 고안의 일 실시예에 따르면, 상기 곡면기판(S)의 높이에 대응하여 상기 흡착패드(340)의 높이를 조절하기 위해 상기 흡착봉(350)을 교체 사용하는 것이 제시된다.

즉, 상기 곡면기판(S)의 높이에 적합한 흡착봉(350)을 선택한 후, 상기 흡착유닛본체(310) 및 상기 흡착패드(340)에 결합함으로써, 상기 곡면기판(S)의 높이에 대응하여 상기 흡착유닛본체(310)로부터 상기 흡착패드(340)의 높이를 조절할 수 있게 된다.

본 고안의 일 실시예에 따른 기판 이송용 팔레트(1000)는 상기 흡착패드(340)에 의해 흡착된 상기 곡면기판(S)의 하면을 지지하거나 상기 곡면기판(S)의 테두리를 지지하기 위한 지지유닛(400)을 더 포함할 수 있다.

상기 지지유닛(400)은 지지핀(410)과 회전브라켓(420) 및 고정나사(430)를 포함할 수 있다.

상기 지지핀(410)은 상기 흡착유닛본체(310)의 일측에 설치되어 상기 흡착패드(340)에 의해 흡착된 곡면기판(S)의 하면을 지지하거나, 상기 곡면기판(S)의 테두리를 지지할 수 있다.

본 고안의 일 실시예에서는 상기 지지핀(410)이 두 개가 사용된 것이 제시되지만, 상기 곡면기판(S)의 구조 및 크기에 따라 적합한 개수를 선택하여 사용할 수 있을 것이다.

즉, 도 4에 도시된 바와 같이, 두 개의 지지핀(410) 중 어느 하나의 지지핀(410)은 상기 곡면기판(S)의 테두리에 접촉되어 상기 지지프레임(200) 상에서 상기 곡면기판(S)이 이동되지 않도록 상기 곡면기판(S)의 테두리를 지지하고, 다른 하나의 지지핀(410)은 상기 흡착패드(340)에 의해 흡착된 상기 곡면기판(S)의 하면을 지지하게 된다.

물론, 상기 곡면기판(S)의 상태에 따라, 두 개의 지지핀 모두가 상기 곡면기판(S)의 테두리를 지지하거나 상기 곡면기판(S)의 하면을 지지할 수도 있다.

상기 회전브라켓(420)은 상기 지지핀(410)을 상기 흡착유닛본체(310)상에서 회전 가능하게 설치되어, 상기 지지핀(410)을 선택적으로 회전시킬 수 있다.

상기 회전브라켓(420)은 브라켓본체(421) 및 지지핀 장착부(422)를 포함할 수 있다.

상기 브라켓본체(421)는 상기 흡착유닛본체(310)의 상면에 배치될 수 있으며, 상기 회전브라켓(420)의 중심부위에는 상기 흡착봉(350)이 관통되도록 제1 관통홀(421a)이 형성될 수 있다.

상기 지지핀 장착부(422)는 상기 브라켓본체(421)의 외주면으로부터 외측 반경방향으로 향해 돌출 형성될 수 있으며, 상기 지지핀 장착부(422)의 일측단부에는 상기 지지핀(410)이 관통 설치되도록 제2 관통홀(422a)이 형성될 수 있다.

즉, 상기 브라켓본체(421)가 상기 제1 관통홀(421a)을 통해 상기 흡착유닛본체(310)에 설치된 상기 흡착봉(350)에 관통 설치됨으로써, 상기 흡착유닛본체(310)에 상기 회전브라켓(420)이 회전가능하게 배치되게 된다.

결과적으로, 상기 회전브라켓(420)의 회전에 의해 상기 지지핀(410)이 회전되어 상기 곡면기판(S)의 테두리를 지지하거나, 상기 곡면기판(S)의 하면을 지지할 수 있게 된다.

상기 고정나사(430)는 상기 제2 관통홀(422a)에 관통 설치된 상기 지지핀(410)의 일단과 나사 결합되어 상기 지지핀 장착부(422)로부터 상기 지지핀(410)이 이탈되는 것을 방지할 수 있다.

자세히 도시되지는 않았지만, 상기 고정나사(430)와 결합되는 상기 지지핀(410)의 외주면에는 상기 고정나사(430)와의 결합을 위하여 상기 고정나사(430)의 나사산과 대응되는 나사산이 형성되는 것이 바람직하다.

본 고안의 일 실시예에 따르면, 상기 곡면기판(S)의 높이에 대응하여 상기 지지핀(410)의 높이를 조절하기 위해 앞서 상술한 흡착봉(350)과 동일하게 상기 지지핀(410)을 교체 사용하는 것이 제시된다.

즉, 상기 곡면기판(S)의 높이에 적합한 지지핀(410)을 선택한 후, 상기 지지핀 장착부(422)에 장착함으로써, 상기 곡면기판(S)의 높이에 대응하여 상기 회전브라켓(420)으로부터 상기 흡착패드(340)의 높이를 조절할 수 있게 된다.

상기 포트유닛(500)은 상기 테두리 프레임(100)상에서 상기 제1 석션라인(110)과 연결되도록 설치될 수 있으며, 외부의 석션유닛과 연결되어 상기 제1 석션라인(110)에 압력을 낮출 수 있다.

도 5에 도시된 바와 같이, 상기 포트유닛(500)은 포트유닛본체(510)와, 개폐부재(520) 및 탄성부재(530)를 포함할 수 있다.

상기 포트유닛본체(510)는 상기 테두리 프레임(도 1의 100)상에 설치되고 내부에는 내부공간(511)이 형성될 수 있다.

이때, 상기 포트유닛본체(510)의 상면에는 외부와 상기 내부공간(511)이 연통되도록 제1 연통홀(512)이 마련되고, 상기 포트유닛본체(510)의 하면에는 상기 내부공간(511)과 상기 제1 석션라인(110)이 연통되도록 제2 연통홀(513)이 마련될 수 있다.

즉, 상기 포트유닛본체(510)는 외부의 석션유닛과 연결되어 상기 석션유닛의 작동에 의해 상기 포트유닛본체(510)의 내부공간(511)에 압력을 낮춤으로써, 상기 내부공간(511)과 연결된 상기 제1 석션라인(110)에 압력을 낮출 수 있도록 한다,

상기 개폐부재(520)의 일부는 상기 제1 연통홀(512)에 삽입되어 상기 내부공간(511)에 배치되고, 일부는 외부로 노출되도록 설치될 수 있다.

상기 개폐부재(520)는 외력에 의해 가압되어 제1 연통홀(512)을 선택적으로 개폐시킬 수 있다.

이때, 상기 내부공간(511)에 배치되는 상기 개폐부재(520)의 일측단부에는 외력에 의해 이동되어 상기 제1 연통홀(512)을 개방하거나 폐쇄하기 위한 개폐부(521)가 마련될 수 있다.

즉, 외부로 노출된 상기 개폐부재(520)의 일측단부가 후술하는 기판처리장치의 프레임에 설치된 가압수단(도 8의 9000)의 가압력에 의해 가압되면 상기 내부공간(511)상에서 하측방향으로 이동되어 상기 개폐부(521)가 제1 연통홀(512)을 개방시키게 된다.

이에 따라, 상기 석션유닛과 상기 내부공간(511)이 연결되고, 상기 석션유닛의 작동에 의해 상기 내부공간(511)에 압력을 낮출 수 있게 되어 결과적으로 상기 내부공간(511)과 연결된 제1 석션라인(110)에 압력이 낮출 수 있게 된다.

상기 탄성부재(530)는 상기 내부공간(511)상에서 일측은 상기 개폐부(521)의 하면과 접촉되도록 설치되고 타측은 상기 내부공간(511)의 바닥면과 접촉되도록 설치되어 상기 개폐부(521)에 탄성복원력을 제공할 수 있다.

즉, 상기 탄성부재(530)는 상기 가압수단(9000)에 의해 개폐부재(520)가 가압되어 개폐부(521)가 상기 제1 연통홀(512)을 개방시킨 상태에서, 상기 가압수단(9000)에 의해 가압되었던 상기 개폐부재(520)의 가압이 해제되면 탄성복원력에 의해 개폐부(521)를 상측방향으로 이동시켜 상기 제1 연통홀(512)을 폐쇄되도록 한다.

상기 연결포트(600)는 상기 테두리 프레임(100)상에서 상기 제1 석션라인(110)과 연결되도록 설치되어, 상기 제1 석션라인(110)과 상기 흡착유닛(300)을 연결시킬 수 있다.

이때, 상기 연결포트(600)는 상기 연결관(330)의 일측과 연결됨으로써, 상기 흡착유닛의본체(310)와 연결될 수 있다.

이하에서는 도 6을 참조하여 본 고안의 다른 실시예에 따른 기판 이송용 팔레트에 대해 설명하기로 한다.

도 6은 본 고안의 다른 실시예에 따른 흡착유닛 및 지지유닛의 높이조절 구조를 설명하기 위한 도면이다.

도 6을 참조하면, 본 고안의 다른 실시예에 따른 기판 이송용 팔레트는 본 고안의 일 실시예에 따른 기판 이송용 팔레트 구조와 동일하나, 흡착유닛(300) 및 지지유닛(400)의 높이를 조절하는 구조가 다르다.

즉, 본 고안의 일 실시예에서는 곡면기판(S)에 높이에 대응되도록 상기 흡착봉(350) 및 지지핀(410)을 교체 사용된 것을 제시하였지만, 본 고안의 다른 실시예에서는 흡착봉(350) 및 지지핀(410)을 교체하지 않고 높이 조절할 수 있는 구조를 제시한다.

본 고안의 다른 실시예에 따르면, 상기 흡착봉(350)은 상기 흡착패드(340)와 연결되는 상부 흡착봉(351) 및 일측은 상기 상부 흡착봉(351)에 연결되고 타측은 상기 흡입유닛본체와 연결되는 하부 흡착봉(352)을 포함할 수 있다.

이때, 상기 하부 흡착봉(351)에 대해 상부 흡착봉(351)의 높이를 조절하기 위하여, 상기 상부 흡착봉(351)의 외주면에는 제1 나사산(N1)이 형성되고, 상기 하부 흡착봉(350)의 내주면에는 상기 제1 나사산(N1)과 대응되는 제2 나사산(N2)이 형성될 수 있다.

이때, 상기 곡면기판(S)의 높이에 대해 상기 흡착봉(350)의 높이 조절은 상기 각 나사산에 의해 상기 하부 흡착봉(352)과 상기 흡착봉(351)이 나사 결합된 상태에서 상기 하부 흡착봉(352)을 기준으로 상기 상부 흡착봉(351)의 높이를 조절할 수 있다.

즉, 상기 하부 흡착봉(352)에 대해 나사 결합된 상기 상부 흡착봉(351)을 나사 결합된 방향과 반대방향으로 풀어주게 되면, 상기 하부 흡착봉(350)을 기준으로 상기 상부 흡착봉(351)의 길이가 늘어나게 되고, 상기 곡면기판(S)의 높이에 대응위치까지 상기 상부 흡착봉(351)의 높이를 조절하면 된다.

또한, 본 고안의 다른 실시예에 따르면, 상기 지지핀 장착부(422)에 장착된 상기 지지핀(410)의 높이를 조절하기 위하여, 상기 제2 관통홀(422a)의 내측에는 제3 나사산(N3)이 형성되고, 상기 지지핀(410)의 외주면에는 상기 제3 나사산(N3)과 대응되는 제4 나사산(N4)이 형성될 수 있다.

이때, 상기 곡면기판(S)의 높이에 대해 상기 지지핀(410)의 높이 조절은 상기 지지핀 장착부(422)의 제2 관통홀(422a)에 장착된 상태에서 상기 지지핀 장착부(422)를 기준으로 상기 지지핀(410)을 상하방향으로 이동시키면 상기 지지핀(410)의 높이가 조절될 수 있다.

이하에서는 도 7 및 도 8을 참조하여, 본 고안에 따른 기판 이송용 팔레트를 이용한 기판처리장치에 설명하기로 한다.

도 7은 본 고안에 따른 기판처리장치의 구조를 개략적으로 나타낸 개략도이고, 도 8은 본 고안에 따른 가압수단과 포트유닛이 연결된 상태의 단면을 개략적으로 나타낸 도면이다.

도 7 및 도 8을 참조하면, 본 고안에 따른 기판처리장치는 프레임과, 기판처리부(3000)와, 로딩부(4000)와, 언로딩부(5000)와, 팔레트 반송부(6000)와, 제1 업다운수단(7000)과, 제2 업다운수단(8000) 및 가압수단(9000)을 포함할 수 있다.

도 7에 도시된 바와 같이, 상기 프레임(2000)은 상기 기판처리장치의 외관을 이룬다.

상기 기판처리부(3000)는 상기 프레임(2000)상에 배치될 수 있으며, 상기 곡면기판(S)을 처리하기 위한 처리구간이 마련될 수 있다.

자세히 도시되지는 않았지만, 상기 처리구간은 샤워노즐을 이용하여 곡면기판(S)을 세정하는 제1 세정구간과, 브러시를 이용하여 곡면기판(S)을 세정하는 제2 세정구간과, 에어나이프를 이용하여 곡면기판(S)을 건조하는 제1 건조구간과, 핫 블러워를 이용하여 곡면기판(S)을 건조하는 제2 건조구간 등을 포함할 수 있다.

한판, 기판처리부(3000)에는 상기 기판 이송용 팔레트(1000)를 이송시키기 위한 컨베이어 등과 같은 팔레트 이송수단이 마련될 수 있다.

상기 로딩부(4000)는 상기 프레임(2000)상에 배치되되 상기 기판처리부(3000)의 일측에 배치되어, 상기 기판 이송용 팔레트(1000)가 로딩되어 상기 기판처리부(3000)로 상기 곡면기판(S)을 공급할 수 있다.

상기 언로딩부(5000)는 상기 프레임(2000)상에 배치되되 상기 기판처리부(3000)의 타측에 배치되어, 상기 기판처리부(3000)를 통해 처리된 상기 곡면기판(S)을 외부로 배출시킬 수 있다.

상기 팔레트 반송부(6000)는 상기 프레임(2000)상에서 상기 기판처리부(3000)의 상측에 배치될 수 있으며, 상기 팔레트 반송부(6000)의 일측은 상기 언로딩부(5000)의 상부와 연결되고 타측은 상기 로딩부(4000)의 상부와 연결되어, 상기 언로딩부(5000)로 이송된 상기 기판 이송용 팔레트(1000)를 상기 로딩부(4000)로 반송시킬 수 있다.

이때, 상기 팔레트 반송부(6000)에는 상기 기판 이송용 팔레트(1000)를 안착시킨 상태에서 이송시키기 위한 트랜스퍼유닛(T)이 설치될 수 있다.

상기 제1 업다운수단(7000)은 상기 언로딩부(5000)에 배치되어 상기 기판 이송용 팔레트(1000)를 상기 언로딩부(5000)의 상부로 상승시킬 수 있다.

즉, 상기 제1 업다운수단(7000)은 상기 언로딩부(5000)로 이동된 상기 기판 이송용 팔레트(1000)를 상기 언로딩부(5000)의 상부와 연결된 팔레트 반송부(6000)를 통해 다시 로딩부(4000)로 반송시키기 위하여 상기 언로딩부(5000)의 상부로 상승시킨다.

이때, 상기 제1 업다운수단(7000)은 상기 기판 이송용 팔레트(1000)가 반송을 위해 상기 트랜스퍼유닛(T)으로 이동되면 다시 상기 언로딩부(5000)로 하강한다.

상기 제2 업다운수단(8000)은 상기 로딩부(4000)에 배치되어 상기 팔레트 반송부(6000)를 통해 상기 로딩부(4000)의 상부로 반송된 상기 기판 이송용 팔레트(1000)를 상기 로딩부(4000)로 하강시킬 수 있다.

상기 가압수단(9000)은 상기 프레임의 일측에 배치되고, 상기 포트유닛(500)의 상부를 가압하여 상기 포트유닛(500)과 상기 석션유닛을 연결시킬 수 있다.

도 8에 도시된 바와 같이, 상기 가압수단(9000)은 가압블록(9100) 및 가압블록 구동부(9200)를 포함할 수 있다.

상기 가압블록(9100)은 상기 포트유닛(500)의 개폐부재(520)를 선택적으로 가압하게 된다.

상기 가압블록(9100)의 하부에는 상기 개폐부재(520)의 일측단부와 접촉될 수 있도록 가압홈부(9110)가 마련될 수 있으며, 상기 가압홈부(9110)의 내부에는 일측은 석션유닛과 연결되고 타측은 상기 가압홈부(9110)의 내부와 연결되는 연결유로(9120)가 마련될 수 있다.

상기 가압블록 구동부(9200)는 상기 가압블록(9100)의 일측과 연결되어 상기 가압블록(9100)을 상하방향으로 이동시킬 수 있다.

즉, 상기 가압블록 구동부(9200)의 작동을 통해 상기 가압블록(9100)이 하측으로 이동되면 상기 가압블록(9100)의 하면이 상기 포트유닛본체(510)의 상면과 접촉되면서 상기 가압홈부(9110)의 상면이 상기 개폐부재(520)의 일측단부를 가압하게 되어 상기 개폐부재(520)가 상기 내부공간(511)상에서 하측방향으로 이동된다.

이러면, 상기 개폐부(521)가 상기 제1 연통홀(512)을 개방시켜 상기 가압홈부(9110)의 내부와 상기 제1 연통홀(512)을 통해 상기 내부공간(511)과 연결될 상태가 된다.

이때, 상기 석션유닛을 작동시키게 되면 상기 내부공간(511)의 공기를 흡입하여 상기 포트유닛본체(510)의 내부공간(511)에 압력을 낮출 수 있게 되고, 결과적으로 상기 제1 석션라인(110) 및 상기 제2 석션라인(311)에 압력을 낮출 수 있어 상기 흡착패드(340)가 상기 곡면기판(S)을 흡착시킬 수 있게 된다.

지금부터는 본 고안에 따른 기판 이송용 팔레트를 이용한 기판처리장치의 작동과정을 간략히 설명하기로 한다.

먼저, 상기 로딩부(4000)에 로딩된 상기 기판 이송용 팔레트(1000)의 흡착패드(340)에 곡면기판(S)을 안착시킨다.

이때, 상기 지지핀(410) 중 하나가 상기 곡면기판(S)의 테두리에 접촉되고, 다른 하나가 상기 곡면기판(S)의 하면을 지지하게 된다.

다음으로, 상기 곡면기판(S)이 상기 기판 이송용 팔레트(1000)에 안착되면 상기 포트유닛(500)이 상기 가압블록(9100)에 위치되도록 상기 기판 이송용 팔레트(1000)의 위치를 조절한다.

다음으로, 상기 가압블록 구동부(9200)를 작동시켜 상기 가압블록(9100)을 하강시킨다.

이때, 상기 가압블록(9100)이 하강되면 상기 가압블록(9100)의 하면이 상기 포트유닛본체(510)의 상면에 접촉되면서 상기 가압홈부(9110)의 상면이 상기 개폐부재(520)의 일측단부를 가압하게 된다.

상기 개폐부재(520)가 가압되면 상기 개폐부(521)가 상기 제1 연통홀(512)을 개방하고 상기 석션유닛의 작동에 의해 상기 내부공간(511)이 압력이 낮아지고, 상기 제1 석션라인(110) 및 상기 제2 석션라인(311)에 압력이 낮아지게 되어 상기 흡착패드(340)가 상기 곡면기판(S)을 흡착하게 된다.

상기 곡면기판(S)이 상기 흡착패드(340)에 흡착되면, 상기 가압블록(9100)을 승강시켜 상기 흡착포트유닛본체(510)로부터 상기 가압블록(9100)을 분리시킨다.

상기 기판 이송용 팔레트(1000)상에서 상기 흡착패드(340)에 의해 흡착되고 상기 지지핀(410)에 의해 지지된 상기 곡면기판(S)은 상기 기판 이송수단에 의해 상기 기판처리부(3000)로 이동된다.

상기 기판처리부(300)로 이동된 상기 곡면기판(S)은 상기 가압블록(9100)을 통해 상기 흡착패드(340)에 흡착된다. 이 상태에서 상기 곡면기판(S)은 제1 세정구간과, 제2 세정구간과 제1 건조구간 및 제2 건조구간을 통과하면서 곡면기판(S)이 세정 및 건조된다.

상기 기판처리부(3000)를 통과한 상기 기판 이송용 팔레트(1000)는 상기 언로딩부(5000)로 이송되고, 상기 언로딩부(5000)에서 세정이 완료된 곡면기판(S)을 배출시킨다.

상기 곡면기판(S)이 제거된 상기 기판 이송용 팔레트(1000)는 상기 제1 업다운수단(7000)에 의해 상기 언로딩부(5000)의 상부로 이동된다.

상기 언로딩부(5000)의 상부로 이동된 상기 기판 이송용 팔레트(1000)는 상기 트랜스퍼유닛(T)을 통해 상기 팔레트 반송부(6000)를 통과하여 상기 로딩부(4000)의 상부로 이동된다.

상기 로딩부(4000)의 상부로 이동된 상기 기판 이송용 팔레트(1000)는 상기 제2 업다운수단(8000)에 의해 다음 공정을 위하여 상기 로딩부(4000)로 하강된다.

상술한 바와 같은 과정을 통하여 상기 곡면기판(S)이 상기 기판 이송용 팔레트(1000)에 안착된 상태로 이동되면서 세정 및 건조 등의 처리가 이루어질 수 있게 된다.

상술한 바와 같이 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면, 하기의 청구범위에 기재된 본 고안의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 고안을 다양하게 수정 또는 변경시킬 수 있다.

100: 테두리 프레임 110: 제1 석션라인
200: 지지프레임 210: 가이드부
211: 가이드홀 300: 흡착유닛
310: 흡착유닛본체 311: 제2 석션라인
312: 가이드 320: 흡착포트
330: 연결관 340: 흡착패드
341: 흡착홀 350: 흡착봉
351: 상부 흡착봉 352: 하부 흡착봉
400: 지지유닛 410: 지지핀
420: 회전브라켓 421: 회전브라켓본체
421a: 제1 관통홀 422: 지지핀 장착부
422a: 제2 관통홀 430: 고정나사
500: 포트유닛 510: 포트유닛본체
511: 내부공간 512: 제1 연통홀
513: 제2 연통홀 520: 개폐부재
521: 개폐부 530: 탄성부재
600: 연결포트 1000: 기판 이송용 팔레트
2000: 프레임 3000: 기판처리부
4000: 로딩부 5000: 언로딩부
6000: 팔레트 반송부 7000: 제1 업다운수단
8000: 제2 업다운수단 9000: 가압수단
9100: 가압블록 9110: 가압홈부
9120: 연결유로 9200: 가압블록 구동부

Claims (10)

1. 제1 석션라인을 형성하기 위한 중공의 테두리 프레임;
   상기 테두리 프레임의 내부영역에서 폭방향으로 배치되는 복수 개의 지지프레임;
   상기 지지프레임상에서 곡면기판의 높이에 대응되도록 이동 가능하게 설치되고, 상기 제1 석션라인을 통해 전달되는 압력에 의해 상기 곡면기판을 흡착시키기 위한 흡착유닛;
   상기 테두리 프레임상에서 상기 제1 석션라인과 연결되도록 설치되고, 외부의 석션유닛과 연결되어 상기 제1 석션라인에 압력을 낮추기 위한 포트유닛; 및
   상기 테두리 프레임상에서 상기 제1 석션라인과 연결되도록 설치되어, 상기 제1 석션라인과 상기 흡착유닛을 연결시키기 위한 연결포트;를 포함하고,
   상기 흡착유닛은,
   상기 지지프레임에 이동 가능하게 설치되고, 내부에 제2 석션라인이 형성된 흡착유닛본체를 포함하며,
   상기 지지프레임에는 상기 지지프레임의 길이방향으로 따라 가이드홀이 형성된 가이드부가 마련되고,
   상기 흡착유닛본체의 하부에는 상기 가이드홀에 결합되어 상기 가이드홀을 따라 상기 흡착유닛본체를 이동시키기 위한 가이드가 마련된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 팔레트.
2. 제1항에 있어서,
   상기 흡착유닛은,
   상기 흡착유닛본체의 일측에 설치되되, 상기 제2 석션라인의 일측과 연결되도록 설치되는 흡착포트;
   일측은 상기 흡착포트에 연결되고 타측은 상기 연결포트에 연결되어, 상기 제1 석션라인의 압력을 상기 제2 석션라인으로 전달하는 연결관;
   상기 흡착유닛본체의 상측에 설치되어 상기 제2 석션라인에 형성된 압력에 의해 상기 기판을 흡착시키기 위한 흡착패드; 및
   상기 흡착유닛본체상에서 상기 흡착패드를 지지하기 위하여, 상기 흡착유닛본체의 상면에 설치되되 일측은 상기 제2 석션라인의 타측과 연결되도록 설치되고 타측은 상기 흡착패드의 하부와 연결되도록 설치되는 흡착봉;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 팔레트.
3. 제2항에 있어서,
   상기 흡착봉은,
   상기 흡착패드와 연결되는 상부 흡착봉; 및
   일측은 상기 상부 흡착봉에 연결되고, 타측은 상기 흡착유닛본체와 연결되는 하부 흡착봉을 포함하고,
   상기 하부 흡착봉에 대해 상부 흡착봉의 높이를 조절하기 위하여, 상기 상부 흡착봉의 외주면에는 제1 나사산이 형성되고, 상기 하부 흡착봉의 내주면에는 상기 제1 나사산과 대응되는 제2 나사산이 형성된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 팔레트.
4. 제2항에 있어서,
   상기 흡착유닛본체의 일측에 설치되어 상기 흡착패드에 의해 흡착된 곡면기판의 하면을 지지하거나 상기 곡면기판의 테두리를 지지하기 위한 지지핀을 포함하는 지지유닛;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 팔레트.
5. 제1 석션라인을 형성하기 위한 중공의 테두리 프레임;
   상기 테두리 프레임의 내부영역에서 폭방향으로 배치되는 복수 개의 지지프레임;
   상기 지지프레임상에서 곡면기판의 높이에 대응되도록 이동 가능하게 설치되고, 상기 제1 석션라인을 통해 전달되는 압력에 의해 상기 곡면기판을 흡착시키기 위한 흡착유닛;
   상기 테두리 프레임상에서 상기 제1 석션라인과 연결되도록 설치되고, 외부의 석션유닛과 연결되어 상기 제1 석션라인에 압력을 낮추기 위한 포트유닛; 및
   상기 테두리 프레임상에서 상기 제1 석션라인과 연결되도록 설치되어, 상기 제1 석션라인과 상기 흡착유닛을 연결시키기 위한 연결포트;를 포함하고,
   상기 흡착유닛은,
   상기 지지프레임에 이동 가능하게 설치되고, 내부에 제2 석션라인이 형성된 흡착유닛본체와,
   상기 흡착유닛본체의 상측에 설치되어 상기 제2 석션라인에 형성된 압력에 의해 상기 기판을 흡착시키기 위한 흡착패드와,
   상기 흡착유닛본체상에서 상기 흡착패드를 지지하기 위하여, 상기 흡착유닛본체의 상면에 설치되되 일측은 상기 제2 석션라인의 타측과 연결되도록 설치되고 타측은 상기 흡착패드의 하부와 연결되도록 설치되는 흡착봉을 포함하며,
   상기 흡착유닛본체의 일측에 설치되어 상기 흡착패드에 의해 흡착된 곡면기판의 하면을 지지하거나 상기 곡면기판의 테두리를 지지하기 위한 지지핀을 포함하는 지지유닛;을 더 포함하고,
   상기 지지유닛은,
   상기 지지핀을 상기 흡착유닛본체상에 회전 가능하게 설치하기 위한 회전브라켓;을 더 포함하되,
   상기 회전브라켓은,
   상기 흡착유닛본체의 상면에 배치되고, 상기 흡착봉이 관통되도록 제1 관통공이 마련된 브라켓본체; 및
   상기 브라켓본체의 외주면으로부터 외측 반경방향으로 향해 돌출 형성되고, 상기 지지핀이 관통 설치되도록 제2 관통홀이 마련된 지지핀 장착부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 팔레트.
6. 제5항에 있어서,
   상기 지지유닛은,
   상기 지지핀 장착부로부터 상기 지지핀이 이탈되는 것을 방지하기 위하여, 상기 제2 관통홀에 관통 설치된 상기 지지핀의 일단과 나사 결합되는 고정나사;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 팔레트.
7. 제5항에 있어서,
   상기 지지핀 장착부에 장착된 상기 지지핀의 높이를 조절하기 위하여, 상기 제2 관통홀의 내측에는 제3 나사산이 형성되고, 상기 지지핀의 외주면에는 상기 제3 나사산과 대응되는 제4 나사산이 형성된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 팔레트.
8. 삭제
9. 제1항에 있어서,
   상기 포트유닛은,
   상기 테두리 프레임상에 설치되되, 내부에는 내부공간이 형성되고, 상면에는 외부와 상기 내부공간이 연통되도록 제1 연통홀이 마련되고, 하면에는 상기 내부공간과 상기 제1 석션라인이 연통되도록 제2 연통홀이 마련된 포트유닛본체;
   일부가 상기 제1 연통홀에 삽입되어 상기 내부공간에 배치되고, 일측단부에는 외력에 의해 상기 제1 연통홀을 선택적으로 개폐하기 위한 개폐부가 마련된 개폐부재; 및
   상기 내부공간상에서 일측은 상기 개폐부의 하면과 접촉되도록 설치되고 타측은 상기 내부공간의 바닥면과 접촉되도록 설치되어 상기 개폐부에 탄성복원력을 제공하기 위한 탄성부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 팔레트.
10. 프레임;
    상기 프레임상에 배치되고, 기판을 처리하기 위한 처리구간이 마련된 기판처리부;
    상기 기판처리부로 상기 기판을 공급하기 위하여, 상기 프레임상에 배치되되 상기 기판처리부의 일측에 배치되어, 상기 제1항 내지 제7항 및 제9항 중 어느 한 항에 따른 기판 이송용 팔레트가 로딩되는 로딩부;
    상기 프레임상에 배치되되 상기 기판처리부의 타측에 배치되어, 상기 기판처리부를 통해 처리된 상기 기판을 외부로 배출시키는 언로딩부;
    상기 프레임상에서 상기 기판처리부의 상측에 배치되되 일측은 상기 언로딩부의 상부와 연결되고 타측은 상기 로딩부의 상부와 연결되어, 상기 언로딩부로 이송된 상기 기판 이송용 팔레트를 상기 로딩부로 반송시키기 위한 팔레트 반송부;
    상기 언로딩부에 배치되어 상기 기판 이송용 팔레트를 상기 언로딩부의 상부로 상승시키기 위한 제1 업다운수단;
    상기 로딩부에 배치되어 상기 팔레트 반송부를 통해 상기 로딩부의 상부로 반송된 상기 기판 이송용 팔레트를 상기 로딩부로 하강시키기 위한 제2 업다운수단; 및
    상기 프레임의 일측에 배치되고, 상기 포트유닛과 상기 석션유닛을 연결시키기 위하여, 상기 포트유닛의 상부를 가압하는 가압수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.

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