KR100781346B1 - 글라스 습식 세정장치 - Google Patents
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Abstract
Description
도 1을 참조하면, 종래 습식 세정장치는 외부에서 로딩(Loading)되는 글라스(1)와, 세정부로 글라스를 공급하기 위한 반전부(2)와, 반전부(2)로부터 글라스(1)를 공급받아 오존세정부(15)로 공급하기 위한 로더버퍼(14)와, 글라스(1)의 표면상의 이물질을 제 1차 세정하기 위한 오존세정부(15)와, 오존세정부(15)에서 제 1차 세정한 글라스(1)를 제 2차 세정하기 위한 롤브러쉬부(Roll Brush; 이하 "RB부"라 함)(16)와, RB부(16)에서 제 2차 세정한 글라스를 소정의 각도로 회전시켜 버블젝부(Bubble Jet;이하 "BJ부"라 함)(18)로 공급하기 위한 상류컨베이어(17)와, 상류컨베이어(17)로부터 공급되는 글라스(1)를 제 3차 세정하기 위한 BJ부(18)와, BJ부(18)부로부터 공급되는 글라스(1)를 제 4차 세정부인 아쿠아나이프부(AQua Knife ;이하 "AQK부"라 함)(22)에 공급하기 위하여 소정의 각도로 회전시키기 위한 하류컨베이어(20)와, 4차 세정부인 AQK부(22)로부터 공급되는 글라스(1)의 표면을 건조하기 위한 에어나이프부(Air Knife ; 이하 "A/K부"라 함)(24) 및 건조된 글라스(1)를 언로딩하기 위한 언로더버퍼(26)를 구비한다.
상기 검사 수단은 적어도 3개 이상의 포토센서를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 포토센서들은 상기 글라스의 모서리 부분에 대응되게 설치되는 것을 특징으로 한다.
상기 세정부는, 상기 로더버퍼로부터의 상기 글라스를 제 1차 세정하기 위한 오존세정부; 상기 오존세정부로부터의 상기 글라스를 제 2차 세정하기 위한 롤브러쉬부; 상기 롤브러쉬부로부터의 상기 글라스를 제 3차 세정하기 위한 버블젝부; 상기 버블젝부로부터의 상기 글라스를 제 4차 세정하기 위한 아쿠아나이프부; 및 상기 아쿠아나이프부로부터의 상기 글라스의 표면을 건조하기 위한 에어나이프부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징은 첨부도면을 참조한 실시 예에 대한 설명으로 나타나게 될 것이다.
오존세정부(45)는 위에서 아래의 대각선방향 및 수직방향과, 밑에서 대각선방향으로 오존수를 글라스(31)에 분사함으로써 글라스(31) 표면상에 잔존하는 이물질을 제 1차 세정하게 되고, 글라스(31)를 RB부(46)에 공급한다.
상류컨베이어부(47)는 글라스(31)를 수평으로 90도 회전시켜 BJ부(48)로 공급한다. BJ부(48)는 RB부(46)로부터 공급받은 글라스(31)의 표면 및 저면에 물, 공기를 분사하여 글라스(31)상의 이 물질을 제 3차 세정하고, 글라스(31)를 하류컨베이어부(50)로 공급한다.
하류컨베이어부(50)는 BJ부(48)로부터 공급되는 글라스(31)를 수평으로 90도 회전시켜 AQK부(52)로 공급한다.
AQK부(52)는 하류컨베이어부(50)로부터 공급된 글라스(31)의 표면 및 저면에 슬리트 노즐(Slit Nozzle)을 이용하여 물을 분사시켜 제 4차 세정 하고, 글라스(31)를 A/K부(54)로 공급한다.
A/K부(54)는 AQK부(52)로부터 공급받은 글라스(31)를 에어 나이프(Air Knife)를 이용하여 글라스(31)를 건조시켜, 글라스(31)를 언로더버퍼(56)에 공급한다.
Claims (4)
- 글라스가 로딩되는 로더버퍼와,상기 글라스가 세정되는 세정부와,상기 세정된 글라스가 언로딩되는 언로더버퍼와,상기 로더버퍼 및 상기 언로더버퍼에 설치되어 상기 글라스의 모서리 부분의 파손 유/무를 검사하기 위한 검사 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 글라스 습식 세정장치.
- 제 1항에 있어서,상기 검사 수단은 적어도 3개 이상의 포토센서를 구비하는 것을 특징으로 하는 글라스 습식 세정장치.
- 제 2항에 있어서,상기 포토센서들은 상기 글라스의 모서리 부분에 대응되게 설치되는 것을 특징으로 하는 글라스 습식 세정장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 세정부는,상기 로더버퍼로부터의 상기 글라스를 제 1차 세정하기 위한 오존세정부;상기 오존세정부로부터의 상기 글라스를 제 2차 세정하기 위한 롤브러쉬부;상기 롤브러쉬부로부터의 상기 글라스를 제 3차 세정하기 위한 버블젝부;상기 버블젝부로부터의 상기 글라스를 제 4차 세정하기 위한 아쿠아나이프부; 및상기 아쿠아나이프부로부터의 상기 글라스의 표면을 건조하기 위한 에어나이프부를 구비하는 것을 특징으로 하는 글라스 습식 세정장치.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020000086920A KR100781346B1 (ko) | 2000-12-30 | 2000-12-30 | 글라스 습식 세정장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020000086920A KR100781346B1 (ko) | 2000-12-30 | 2000-12-30 | 글라스 습식 세정장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20020058790A KR20020058790A (ko) | 2002-07-12 |
KR100781346B1 true KR100781346B1 (ko) | 2007-11-30 |
Family
ID=27689869
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020000086920A KR100781346B1 (ko) | 2000-12-30 | 2000-12-30 | 글라스 습식 세정장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100781346B1 (ko) |
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KR20020058790A (ko) | 2002-07-12 |
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