JP2004274054A - 感光物質塗布装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 単位基板にのみ感光物質を排出して、感光物質のコーティングに先立って単位基板上に位置する異物質を感知して除去することができる感光物質塗布装置が開示される。
【解決手段】 塗布装置は、基板を搭載する支持台、基板表面に感光物質をコーティングするコーティング部、この物質を探知するデテクター、異物質を除去する除去部及びコーティング部、デテクター及び除去部を制御する制御部を含む。コーティング部は、感光物質を貯蔵する本体、感光物質の出入のための排出部及び流入部を含む。排出部は、単位基板の幅と同一なサイズを有する。デテクターは、コーティング器の前方に位置して感光物質が排出される前に異物質を感知する。撮像装置がデテクターとして用いられる。異物質が感知されると、除去部により除去される。
【選択図】 図８

Description

本発明は感光物質塗布装置に関し、より具体的には感光物質が塗布される基板上に位置する異物質を除去し、感光物質を選択的に塗布することができる感光物質塗布装置に関するものである。

一般に、半導体素子や液晶表示装置分野においては特定機能を遂行する薄膜、例えば、酸化薄膜、金属薄膜、半導体薄膜などを所望する形状でパターニングするために光と化学反応する感光物質が使用される。

感光物質は薄膜が形成された基板に均一な厚さに形成されないと、工程不良が発生する。エッチング工程において、感光物質が過度に厚く塗布される場合にはパターニングされる部分の感光物質が完全に除去されず、薄膜に対するエッチングが不充分になる。また、感光物質が充分に塗布されないと、感光物質の除去時薄膜も共にエッチングされて薄膜は必要以上過度にエッチングされる。基板全面にかけて感光物質が均一に塗布されないと、薄膜は不充分に若しくは過度にエッチングされて工程不良を惹起する。

感光物質は大部分スピンコーティング法によりコーティングされる。高速で回転する基板に感光物質を滴下すると、遠心力により基板全面に均一に広がりながらコーティングされる。しかし、スピンコーティング方法は半導体製造用基板であるウェーハのような大きさが小さい基板のコーティングには適合するが、液晶表示パネルにような面積が大きくて重量が重い基板のコーティングには適合していない。感光物質がコーティングされる基板が大きくて重いほど基板を高速に回転させにくく、大きい遠心力により基板の角部分が破損され、エネルギー消耗が非常に大きいからである。

このような問題点を解決するために、幅より長いスリット形状のコーターを通じて感光物質を吐出して基板全面を順次塗布するスリットコーティング方法が知られている。コーティング器は本体、流入部及び排出部を備える。本体内部に感光物質を貯蔵するための収納空間が形成され、流入部は前記本体の一側に形成される。排出部は母基板と向き合う本体の一側に形成される。排出部は幅より長さが長いスリット形状を有する。

しかし、前述したようなスリットコーティングによれば、感光物質の塗布が完了した後、不必要な感光物質を除去しなければならない問題点がある。排出部の長さと母基板との幅が類似するように形成することで感光物質が母基板の全面にコーティングされる。液晶表示装置を製作するための母基板は複数個の単位基板を有し、各単位基板は母基板から切断されてそれぞれＴＦＴ基板またはカラーフィルター基板と液晶表示パネル用基板を形成する。このとき、ＴＦＴ基板またはカラーフィルター基板を製作するための薄膜工程は各単位基板のみで行われるので、単位基板の周辺に不必要に塗布された感光物質は除去されなければならない。従って、工程時間が増加され高価の感光物質が費やされる問題点がある。

また、基板が回転しないので空気中の異物質が容易に基板に付着する問題点がある。従って、大きさが大きい異物質がコーティング器と衝突してスリットコーターが損傷されるか、スリットコーターにより異物質が動きながら基板の表面と摩擦してスクラッチが発生する。

本発明はこのような問題点を解決するためのものであって、本発明の第１目的は液晶表示パネルを製作するための母基板に形成された各単位基板のみ感光物質をコーティングし得るコーティング器を提供することにある。

本発明の第２の目的は液晶表示パネルを製作するための母基板に形成された各単位基板のみに感光物質をコーティングし得るコーティング器を備える感光物質塗布装置を提供することにある。

本発明の第３目的は液晶表示パネルを製作するための母基板に付着された異物質を感知して迅速に除去することで異物質によるコーティング不良及びコーティング器の損傷を防止することができる感光物質塗布装置を提供することにある。

本発明によるコーティング器は、母基板に対向する第１面を備える本体、前記本体の一部に形成され外部から前記感光物質を流入するための流入部及び前記感光物質を排出するための少なくとも１つの排出部とを含む。前記本体は感光物質を貯蔵することができる収納空間を備え、流入部は前記第１面に対応する第２面に位置して収納空間の内部に感光物質を供給する。前記排出部は感光物質の流れ方向を調節することで前記感光物質が母基板上に形成された単位基板のみに排出されるようにするための排出部分離器により分離される。排出部は幅に比べて長さが長いスリット形状を有し、前記単位基板の幅に対応する長さを有する。

本発明の他の特徴によるコーティング器は、基板に対向する第１面を備える複数の本体、前記本体の一部に形成されて外部から前記感光物質を流入するための流入部、前記各本体の第１面に形成されて前記基板の表面に感光物質を排出するための排出部及び前記複数の本体を結合して一体に動作するための連結部を含む。前記本体は感光物質を貯蔵し得る収納空間を備え、流入部は前記第１面と対応する第２面に位置して前記収納空間の内部に感光物質を供給する。排出部は前記収納空間と連結され、幅に比べて長さが長いスリット形状を有し、基板に形成された複数の単位基板の幅に対応する長さを有する。

本発明の他の特徴による感光物質塗布装置は、感光物質がコーティングされる複数の単位基板が搭載される支持台、前記単位基板のみに感光物質を排出してコーティングし得るコーティング器、コーティング器に感光物質を供給する供給装置及び前記支持台に対してコーティング器を相対移送させる移送装置とを含む。このとき、前記コーティング器は感光物質を貯蔵し得る収納空間を備える本体、前記感光物質を収納空間内部に流入するための流入部、前記感光物質を排出するための排出部及び排出部を区分して単位基板のみに感光物質を排出するための排出部分離器とを含む。他の実施例として、前記コーティング器は感光物質を貯蔵することができる収納空間を備える複数の本体、各本体の収納空間に感光物質を流入するための複数に流入部、前記収納空間と個別的に対応して各単位基板から感光物質を排出するための複数の排出部及び前記複数の本体を互いに結合して一体に動作するための連結部とを含む。

本発明のまたの他の特徴のよる感光物質塗布装置は、感光物質がコーティングされる基板を搭載するための支持台、前記支持台の上面に沿って移動しながら前記基板表面に前記感光物質をコーティングするためのコーティングユニット、感光物質のコーティングに先立って基板に付着した異物質を探知するためのデテクター、探知された異物質を除去するための除去ユニット及び前記コーティングユニット、デテクター及び除去ユニットを制御するための制御部とを含む。

本発明によると、母基板に形成された各単位基板のみに感光物質を塗布することで感光物質消耗量を減少させ工程時間を短縮することができる。また、感光物質も塗布に先立って母基板の表面に位置する異物質を除去することにより、異物質による工程不良及び基板破損を減少させることができる。

以下、図面を参照して本発明の望ましい１実施例をより詳細に説明する。

図１は本発明の一実施例による感光物質排出ユニットの概念を示すための概念図である。

図１に示すように、感光物質排出ユニット１００は本体１１０と流入部１４０とを含む。

本体１１０は内部に感光物質を貯蔵し得る収納空間を備えて母基板１に形成された単位基板１０の表面に感光物質を排出してコーティングする。単位基板１０は大きい母基板１に相互離隔されて少なくとも２つ以上がマトリックス状で形成され、母基板１から単位基板１０が切断されると単位基板１０に形成された薄膜によりＴＦＴ基板またはカラーフィルター基板となる。

流入部１４０は前記本体１１０に形成されて外部から感光物質の供給を受ける。

以下、本発明による感光物質排出ユニットの多様な実施例を説明する。

〔感光物質排出ユニットの実施例〕
〈実施例１〉
図２は本発明の第１実施例による感光物質排出ユニットの斜視図である。図３は図２のＡ−Ａ断面図である。

図２及び図３に示すように、本発明の第１実施例による感光物質排出ユニット１００は感光物質がコーティングされる基板１と対向する第１面１１１を備える本体１１０、感光物質を流入するための流入部１４０及び感光物質を排出するための排出部１３０を含む。

本体１１０は感光物質を貯蔵し得る収納空間１２０を含む。収納空間１２０は本体１１０の内部に所定の大きさを有するように形成された空間であって、流入部１４０及び排出部１３０と連結される。本体１１０は基板１と対向する第１面１１１及び第１面１１１と対応する第２面１１２を備える。本実施例の場合、第１面１１１は本体１１０の下部面を形成し、第２面１１２は上部面を形成する。

一実施例として、流入部１４０は第２面１１２に形成され、収納空間１２０と連結される。従って、感光物質は流入部１４０を経て収納空間１２０に流入される。

排出部１３０は収納空間１２０と連結され第１面１１１に形成される。一実施例として、排出部１３０は幅Ｗ１に比べて長さＬ１が非常に長いスリット形状を有する開口部に形成されたものを示し、この排出部１３０を介して収納空間から単位基板２０上に直接感光物質を排出する。

感光物質排出ユニット１００は感光物質の流れを調節して感光物質が単位基板２０のみに排出されるようにする排出部分離器１３１を含む。一実施例として、排出分離器１３１は排出部１３０内部に位置して排出部１３０を経て排出される感光物質の流れを妨害する。従って、感光物質は分離器１３１が位置していない領域を通じてのみ本体１１０の外部に排出される。分離器１３１は本体１１０と一体に形成することができ、排出部１３０に取り付けられる別部材で構成することもできる。このとき、一実施例として、分離器１３１の長さＬ２は単位基板２０の間の間隔ｄと等しく形成され、幅は排出部の幅Ｗ１と等しく形成される。従って、排出部１３０は分離器１３１により第１排出部１３０ａ及び第２排出部１３０ｂとに分離される。第１排出部１３０ａ及び第２排出部１３０ｂの長さは第１単位基板の幅ａ及び第２単位基板の幅ｂと等しい。

本実施例による感光物質排出ユニットによれば、感光物質は第１排出部１３０ａ及び第２排出部１３０ｂを通じてのみ排出され、分離器１３１が位置する領域には排出されない。従って、感光物質は単位基板２０の間の間隔ｄに対応する母基板１の表面に排出されることを防止し、単位基板２０上のみに排出されてコーティングされる。これによって、感光物質のコーティング工程後に単位基板の間の間隔に対応する母基板にコーティングされた感光物質を除去するための工程を実施しなくてもよいのである。本実施例は1つの分離器を有する感光物質排出ユニットを示しているが、母基板で一列に整列される単位基板の数に応じて分離器の数を変えることは言うまでもない。即ち、排出部１３０の長手方向に位置する単位基板の数に応じて分離器の数も変更可能であり、これによって、排出部１３０の長さ方向に位置する単位基板の数と分離器により分離された排出部の数は常に一致するように形成することができる。

図４は図３に図示された感光物質排出ユニットの第１変形実施例を示す断面図である。図４に示された感光物質排出ユニットは分離器の形状を除いては図３に図示された感光物質排出ユニットと構成が同一である。従って、図３と同一の構成要素に対しては同一な参照符号を付与し、詳しい説明は省略する。

図４に示すように、分離器１３１は第１面１１１から第２面１１２に向かって収納空間１２０の内部に所定の高さｈを有するように突出される。従って、収納空間１２０は排出部１３０と隣接する領域であり、第１排出部１３０ａに対応する第１サーブ収納空間１２２及び第２排出部１３０ｂに対応する第２サーブ収納空間１２４とに区分される。

感光物質は第１及び第２排出部１３０ａ、１３０ｂから排出される際、より正常的な状態を保持できるので、分離器１３１と隣接した単一基板の側端部Ｐ、Ｑに対してより安定的にコーティングすることができる。従って、単一基板の全面に対するコーティングの均一性を向上させることができる。

図５は図３に図示された感光物質排出ユニットの第２変形実施例を示す断面図である。図５に図示された感光物質排出ユニットは本体が独立的に機能する複数の収納空間を備える点と複数の収納空間に個別的に感光物質を供給する複数の流入部を除いては図３による感光物質排出ユニットと構造が同一である。従って、図３と等しい構成要素に対しては同一な参照符号を使用し、詳しい説明は省略する。

図５に示すように、本体１１０は互いに独立的に感光物質が貯蔵できる第１収納空間１２０ａ及び第２収納空間１２０ｂとを備える。分離器１３１は第２面１１２まで延伸されて排出部１３０を分離すると同時に収納空間も分離する。

第２面１１２には第１及び第２流入部１４０ａ及び１４０ｂが形成されてそれぞれ第１収納空間１２０ａ及び第２収納空間１２０ｂと連結される。従って、感光物質は互いに独立的に第１及び第２収納空間１２０ａ、１２０ｂに供給される。

分離器１３１の長さＬ２は単位基板２０の間の間隔ｄと同一であり、第１及び第２排出部１３０ａ、１３０ｂの長さも対応する第１単位基板の幅ａ及び第２単位基板の幅ｂと同一である。

従って、感光物質は対応する単位基板の表面のみに排出され、単位基板の間に間隔に対応する母基板に対するコーティングを防止することができる。それだけではなく、本変形実施例によると、流入口による感光物質の供給が独立的に行われるので、各単位基板に対する選択的コーティングも可能である。即ち、不良が知られた単位基板（以下、不良基板）が存在する場合、不良基板に感光物質を排出する収納空間への感光物質の供給を遮断することで、不良基板に対するコーティングを防止することができる。従って、感光物質の消耗を防止し得る長所がある。

〈実施例２〉
図６は本発明の第２実施例による感光物質排出ユニットの斜視図であり、図７は図６のＢ−Ｂ断面図である。

図６及び図７に示すように、本発明の第２実施例による感光物質排出ユニット２００は感光物質がコーティングされる基板１と対向する第１面２１１を備える複数の本体２１０を、各本体に感光物質を流入するための流入部２４０、感光物質を排出するための排出部２３０及び複数の本体２１０を結合して一体に動作するための連結部２５０を備える。

基板１の表面には液晶表示パネルを製作するための複数の単位基板２０が所定間隔ｄ分だけ離間して配置されている。

本体２１０は感光物質を貯蔵し得る収納空間２２０を含む。収納空間２２０は本体２１０の内部に所定の大きさを有するように形成された空間として、流入部２４０及び排出部２３０と連結される。本体２１０は基板１に対向する第１面２１１及び第１面２１１に対応する第２面２１２を備える。本実施例の場合、第１面２１１は本体２１０の下部面を形成し、第２面２１２は上部面を形成する。

一実施例として、流入部２４０は第２面２１２に形成され、収納空間２２０と連結される。従って、感光物質は流入部２４０を経て収納空間２２０に流入される。

排出部２３０は収納空間２２０と連結され第１面２１１に形成される。一実施例として、排出部２３０は幅Ｗ２に比べて長さＬ２が非常に長いスリット形状を有する開口部で形成されており、この排出部２３０を介して収納空間２２０から単位基板２０上に直接感光物質を排出する。

個別的に流入部２４０及び排出部２３０を有する本体２１０は本体２１０の長手方向に配列する単位基板２０と一対一に対応するように配列し、連結部２５０により一体に連結される。従って、本体の長手方向に位置する複数の本体２１０を一体的に移動しながら単位基板に感光物質を排出することができる。このとき、各本体２１０に形成された排出部２３０の長さＬ２とこれに対応する単位基板の幅の長さａ、ｂを等しく形成して、前記感光物質が単位基板の表面のみに排出されるように形成する。従って、単位基板の間の間隔ｄに対応する母基板がコーティングされることを防止することができる。

本実施例によると、２列に配列される単位基板が開示されている。しかし、単位基板の配列が増加しても、連結部２５０により本体２１０の追加が容易であるので感光物質排出ユニット１００を交換することなく工程を実施することができる。従って、母基板の仕様が変更されても容易に適用し得る長所がある。また、本体２１０はそれぞれ独立的に機能するので、各単位基板に対する選択的コーティングも可能である。即ち、母基板上に不良基板が存在する場合、不良基板に対応する本体への感光物質を遮断することで、不良基板に対するコーティングを防止することができる。従って、感光物質の消耗を防止することができる長所がある。

〔感光物質排出ユニットを備えるコーティング器の実施例〕
〈実施例１〉
図８は本発明の第１実施例によるコーティング器の斜視図である。図９は本発明の第１実施例の変形実施例によるコーティング器の斜視図である。図８は前述した第２実施例による感光物質排出ユニットを採択したコーティング器を開示し、図９は前述した第１実施例の第２変形実施例と等しい感光物質排出ユニットを採択したコーティング器を開示する。

図８及び図９に示すように、本発明の一実施例によるコーティング器９００は支持台４００、感光物質排出ユニット５００、感光物質排出ユニット５００に感光物質を供給する供給装置６００及び感光物質排出ユニット５００を移送するための移送装置７００で構成されている。

支持台４００の上面には液晶表パネルを製作するための単位基板１０が形成された母基板１が搭載される。

感光物質排出ユニット５００は前述した感光物質排出ユニットの第１実施例の第２変形実施例及び第２実施例と同一の構成を有するので詳しい説明は省略する。言及はしていないが、本実施例によるコーティング器が前述した第１実施例及び第１実施例の第１変形実施例による感光物質排出ユニットを採択し得ることは自明なことである。

感光物質排出ユニット５００は固定ブラケット５６０により固定される。固定ブラケット５６０は支持台４００の幅を貫くように設置され、支持台４００の上面と所定の間隔を有しながら位置する。支持台４００の幅方向の側面と向き合う固定ブラケット５６０の両側端部は移送装置７００に設置される。

供給装置６００は貯蔵タンク６１０、供給配管６２０、ポンプ６３０及び流量調節制御装置６４０で構成される。貯蔵タンク６１０には感光物質が貯蔵され、供給配管６２０を通じて感光物質が感光物質排出ユニット５００に供給される。供給配管６２０は貯蔵タンク６１０と各感光物質排出ユニット本体５１０ａ、５１０ｂとを連結している。供給配管６２０の一側端部はポンプ６３０に連結され他側端部は各感光物質排出ユニット本体５１０ａ、５１０ｂの流入部５４０ａ、５４０ｂに連結される。ポンプ６３０は貯蔵タンク６１０に設置されるもので、貯蔵タンク６１０の内部を加圧して貯蔵タンク６１０の貯蔵された感光物質を感光物質排出ユニット５００に供給する。流量調節制御装置６４０は正確な量の感光物質を各感光物質排出ユニット本体５１０ａ、５１０ｂに供給するために供給配管６２０の開放面積を微細に調節する。

移送装置７００はモータ７１０、ガイドレイル７２０及び固定部材７３０とで構成される。モータ７１０はガイドレイル７２０を回転させて固定ブラケット５６０を移送させる。ガイドレイル７２０は支持台４００の幅の方向の両側面にそれぞれ設置される。ガイドレイル７２０の一端はモータ７１０に取り付けられ、残りの端は固定部材７３０に支持されており、ガイドレイル７２０には固定ブラケット５６０が取り付けられる。

図８と図９に示すように本発明による感光物質塗布装置の作用を説明すると次のようである。

まず、先行工程が完了した母基板１が支持台４００上に搭載される。そうすると、供給装置６００が稼働されてポンプ６３０の圧力により貯蔵タンク６１０に貯蔵された感光物質が供給配管６２０を通じて感光物質排出ユニット本体５１０ａ、５１０ｂの供給される。

以後、モータ７１０が所定速度に回転し、感光物質排出ユニット５００が固定された固定ブラケット５６０のガイドレイルに沿って移動する。このとき、感光物質排出ユニット本体５１０ａ、５１０ｂの各排出部を通じて感光物質が吐出されて各排出部と対応される位置に形成された単位基板２０上のみに感光物質がコーティングされる。

〈実施例２〉
図１０は本発明の１実施例による感光物質塗布装置を示すブロック図であり、図１１は本発明の１実施例による感光物質塗布装置の構成を概略的に示す概念図である。図１０及び図１１に示すように、本発明の１実施例による感光物質塗布装置１９００は感光物質がコーティングされる基板１５００を搭載するための支持台１０００、基板を感光物質でコーティングするためのコーティング部１１００、基板に付着された異物質を探知するためのデテクター１２００、異物質を除去するための異物質除去部１３００及びコーティング部１１００、デテクター１２００及び異物質除去部１３００を制御するための制御部１４００を含む。

支持台１０００は平坦度が優秀な六面体プレート形状を備えて基板１５００を支持し固定する。１実施例として、支持台１０００は真空圧で基板１５００を固定可能な真空圧発生装置（図示せず）をさらに含むことができる。真空圧発生装置は制御部１４００の制御により作動される。

コーティング部１１００は支持台１０００の上部に設置される。１実施例として、コーティング部１１００は制御部１４００の制御により作動される感光物質排出ユニット１１１０と移送装置１１２０及び感光物質排出ユニットに供給される感光物質を貯蔵する貯蔵タンク１１３０とを含む。

感光物質排出ユニット１１１０は内部に感光物質を貯蔵するための収納空間が形成された直六面体形状の本体１１１１を備える。本体１１１１は内部の収納空間から感光物質を基板上の単位基板に排出してコーティングするための排出部１１１３及び収納空間に感光物質を流入するための流入部１１１２を含む。１実施例として、感光物質排出ユニット１１１０は図２〜図７に図示された感光物質排出ユニットのいずれかを採択して構成することができる。従って、基板上に液晶表示パネルを製作するための複数の単位基板が形成された場合、単位基板上のみに感光物質を排出することができる。また、単位基板に対して選択的に感光物質を供給することで不良基板に対する感光物質のコーティングを防止することができる。

貯蔵タンク１１３０は多量の感光物質を貯蔵し、感光物質を感光物質排出ユニット１１１０に送出するためのポンプ１１３２と供給配管１１３４を備える。ポンプ１１３２は、貯蔵タンク１１３０内部に圧力を印加して感光物質を感光物質排出ユニット１１１０の収納空間に強制移送する。供給配管１１３４は、ポンプ１１３２と流入部１１１２を相互連結して、ポンプ１１３２から強制移送された感光物質を流入部１１１２に供給する。供給配管１１３４には感光物質を供給又は遮断するソレノイドバルブ１１３４ａが設置され、ソレノイドバルブ１１３４ａは、制御部１４００の制御信号によって開閉される。

流入部１１１２に供給された感光物質は、重力により本体１１１４の排出部１１１３に排出される。排出された感光物質は、基板の表面にコーティングされ感光膜１１１９を形成する。１実施例として、基板は液晶表示パネルを形成するための単位基板を複数含み、感光物質は単位基板にのみコーティングされて単位基板間の間隔にはコーティングされないようにする。

感光物質排出ユニット１１１０は、移送装置１１２０により支持台１０００に沿って水平方向に運動する。移送装置１１２０は、感光物質排出ユニット１１１０を非常に均一な速度で移送させる。従って、均一な速度で移送される感光物質排出ユニット１１１０から排出されて形成された感光膜１１１９は非常に均一な厚さを有する。

移送装置１１２０は、感光物質排出ユニット１１１０が基板１５００に位置する異物質が除去されずに衝突する危険がある場合、感光物質排出ユニット１１１０を強制的に停止させるためのインタラップユニット１１２５を含む。

一方、感光膜１１１９が塗布される基板１５００の表面に付着された異物質は、後続工程において致命的な工程不良を発生させ、強度が高い異物質は感光物質排出ユニット１１１０又は基板１５００を破損させる。これ以外にも、異物質が感光物質排出ユニット１１１０により引っ張られて基板１５００に致命的なスクラッチを発生させるおそれがある。

デテクター１２００は、感光膜１１１９が塗布される基板１５００の表面に付着して多様な不良を発生させる異物質を感知する。

デテクター１２００は、多様な方式により異物質を感知することができる。例えば、デテクター１２００は、基板１５００とほんの数百μｍ離間した位置に配置され、異物質と接触して発生した振動を感知する方式を用いることもできる。しかし、このような接触方式による異物質の感知は、デテクターにより異物質が引っ張られて基板に致命的なスクラッチ等を発生させるおそれがあり、デテクターと基板とのギャップより小さいサイズを有する異物質は感知することができず、基板がわずかでも傾いている場合、デテクターが基板に接触して基板の割れ、スクラッチを発生させる問題点を有する。即ち、デテクターが異物質と直接接触する方式は、実際の感光物質塗布工程に適用することは非常に困難である。

本実施例において、デテクター１２００は異物質を非接触方式で感知する。例えば、デテクター１２００は、ビジュアル方式で異物質を感知する。これを具現するために、デテクター１２００は、１実施例として撮像装置１２１０及び映像信号処理装置１２２０を含む。

本実施例において、撮像装置１２１０は、ＣＣＤカメラである。映像信号処理装置１２２０は、撮像装置１２１０から発生した映像を処理することにより第１信号及び第２信号を発生する。映像イメージに異物質が含まれた場合は、映像信号処理装置１２２０は第１信号を発生し、映像イメージに異物質が含まれない場合は、映像信号処理装置１２２０は第２信号を発生する。第１信号又は第２信号は制御部１４００のデータバス１４１０を通じて制御部１４００に印加される。

異物質除去装置１３００は、制御部１４００の制御により作動され、デテクター１２００により感知された異物質を除去する。本実施例において、異物質除去装置１３００は、速い流速で噴射された気体を用いて基板１５００に付着した異物質を除去する。

具体的に、異物質除去装置１３００は、エア貯蔵タンク１３１０、エア供給配管１３２０、エアナイフ１３３０を含む。エア供給配管１３２０は、エア貯蔵タンク１３１０及びエアナイフ１３３０を連結し、エア供給配管１３２０には気体を供給又は遮断するための第２ソレノイドバルブ１３２５が設置される。第２ソレノイドバルブ１３２５は、制御部１４００の制御信号によって開閉される。

一方、コーティング器１１１０を移送する移送装置１１２０には、検査装置１１４０を更に設置することができる。検査装置１１４０は、コーティング器１１１０から基板１５００の表面に排出された感光膜１１１９の表面を検査して感光膜１１１９の塗布状態を検査する。

本実施例において検査装置１１４０は、ＣＣＤカメラが用いられ、ＣＣＤカメラで撮像された映像は制御部１４００で処理される。

制御部１４００は、支持台１０００、コーティング部１１００、デテクター１２００及び異物質除去部１３００を制御する。支持台１０００、コーティング部１１００、デテクター１２００及び異物質除去部１３００から発生したデータ信号は、データバス１４１０を通じて制御部１４００に入力または制御部１４００から出力される。また、支持台１０００、コーティング部１１００、デテクター１２００及び異物質除去部１３００から発生した制御信号は、コントロールバス１４２０を通じて制御部１４００に入力または制御部１４００から出力される。

以下、このような構成を有する感光物質塗布装置の作動を、添付図面を参照にして説明する。

図１２は、図１０に図示された感光物質塗布装置の初期動作を図示した概念図である。

図１１及び図１２を参照すると、支持台１０００に感光膜１１１９が形成される基板１５００が搭載された状態でデテクター１２００の撮像装置１２１０は感光物質が塗布される前に基板１５００の表面を撮像する。撮像装置１２１０は、撮像された映像イメージを映像処理装置１２２０に送信する。映像処理装置１２２０は、映像イメージを処理して異物質の存在可否を判断して異物質が存在すると、第１信号を制御部１４００に送信して、異物質が存在しないと第２信号を制御部１４００に送信する。

図１２では撮像装置１２１０が撮像する領域に異物質が存在しないので、映像処理装置１２２０は第２信号を制御部１４００に送信する。

制御部１４００は、映像処理装置１２２０から印加された第２信号によりコーティング器１１１０の第１ソレノイドバルブ１１３４ａに制御信号を印加して第１ソレノイドバルブ１１３４ａが開放されるようにする。従って、感光物質はコーティング器１１１０から基板１５００の表面に排出される。

図１３は、図１０に図示された感光物質塗布装置により基板に付着された異物質を除去する工程を示す概念図である。

図１１及び図１３を参照すると、基板１５００に感光物質が塗布される途中、基板１５００に付着された異物質Ｆがデテクター１２００の撮像装置１２１０により撮像されると、異物質Ｆが含まれた映像イメージにより映像信号処理装置１２２０は、第１信号を発生する。制御部１４００は、映像信号処理装置１２２０から発生した第１信号の印加を受けると、異物質除去装置１３００の第２ソレノイドバルブ１３２５に制御信号を印加して、第２ソレノイドバルブ１３２５が開放されるようにする。従って、エアナイフ１３３０から気体が異物質Ｆを向けて噴射され、異物質Ｆは除去される。

図１４は、図１０に図示された感光物質塗布装置により基板に感光物質を塗布する工程を示す概念図である。

図１１及び図１４を参照すると、制御部１４００は異物質が除去された基板１５００に感光物質を連続的にコーティングして基板１５００の全体面積に均一な厚さを有する感光膜１１１９を形成する。

図１５は、異物質による図１０の感光物質塗布装置のインタラップ過程を示す概念図である。

図１１及び図１５に示すように、基板１５００に感光物質が塗布される途中、撮像ユニット１２１０によって異物質Ｆが感知されると、制御部１４００は異物質除去装置１３００を駆動して異物質Ｆを除去する。この際、異物質Ｆが異物質除去装置１３００から噴射された気体によって除去されなければ、制御部１４００はインタラップユニット１１２５に制御信号を印加して移送装置１１２０を強制に停止させる。これと同時に制御部１４００は第１ソレノイドバルブ１１３４ａに制御信号を印加して第１ソレノイドバルブ１１３４ａを閉鎖する。

これにより、感光物質のコーティングを中止する。これにより、異物質による基板及びコーティング器の破損を防止することができる。前記基板１５００から除去されない異物質は作業者により除去され、異物質が除去された基板１５００は更に感光物質塗布工程を反復する。

以上で詳細に説明したように、感光物質が塗布される基板に付着された異物質を感光物質が塗布される前に感知及び１次的に異物質を除去して、基板から異物質が除去されなければ、迅速に感光物質塗布工程を中断することにより、基板破損、基板スクラッチ及び感光物質が浪費されることを防止する効果を有する。

以上、本発明の実施例によって詳細に説明したが、本発明はこれに限定されず本発明が属する技術分野において通常の知識を有するものであれば本発明の思想と精神を離れることなく、本発明を修正または変更できる。

本発明の一実施例による感光物質排出ユニットの概念を示すための概念図である。 本発明の第１実施例による感光物質排出ユニットの斜視図である。 図２のＡ−Ａ断面図である。 図３に図示した感光物質排出ユニットの変形実施例を示す断面図である。 図３に図示した感光物質排出ユニットのさらに他の変形実施例を示す断面図である。 本発明の第２実施例による感光物質排出ユニットの斜視図である。 図６のＢ−Ｂ断面図である。 本発明の第１実施例によるコーティング器の斜視図である。 本発明の第２実施例によるコーティング器の斜視図である。 本発明の一実施例による感光物質塗布装置を示すブロック図である。 本発明の一実施例による感光物質塗布装置の構成を概略的に示す概念図である。 図１１に図示された感光物質塗布装置の初期作動を示した概念図である。 図１１に図示された感光物質塗布装置による基板に付着された異物質を除去する工程を示す概念図である。 図１１に図示された感光物質塗布装置による基板に感光物質を塗布する工程を示す概念図である。 異物質による図１１の感光物質塗布装置のインタラップ過程を示す概念図である。

符号の説明

１００ 感光物質排出ユニット
１１０、２１０ 本体
１１１、２１１ 第１面
１１２、２１２ 第２面
１２０、２２０ 収納空間
１２２ 第１サーブ収納空間
１２４ 第２サーブ収納空間
１３０、２３０ 排出部
１３０ａ 第１排出部
１３０ｂ 第２排出部
１３１ 分離器
１４０ 流入部
２４０ 流入部
２５０ 連結部
４００ 支持台
５００ 感光物質排出ユニット
５１０ａ、５１０ｂ 各感光物質排出ユニット本体
５６０ 固定ブラケット
６００ 供給装置
６１０ 貯蔵タンク
６２０ 供給配管
６３０ ポンプ
６４０ 流量調節制御装置
７００ 移送装置
９００ コーティング器
１１００ コーティング部
１２００ デテクター
１３００ 異物質除去部
１４００ 制御部
１９００ 感光物質塗布装置

Claims (33)

1. 感光物質がコーティングされる複数のコーティング領域を備える基板に対向する第１面を備える本体と、
   前記本体の一部に形成され、外部から前記感光物質を流入するための少なくとも１つの流入部と、
   前記第１面に形成されて前記コーティング領域のみに前記感光物質を排出するための少なくとも１つの排出部と、
   を含むこと特徴とする感光物質排出ユニット。
2. 前記排出部を区分し、前記感光物質の流れの方向を調節することで前記感光物質が前記コーティング領域のみに排出されるようにするための排出部分離器（ｄｉｖｉｄｅｒ）をさらに含むことを特徴とする請求項１記載の感光物質排出ユニット。
3. 前記本体は前記感光物質を貯蔵し得る収納空間を備え、前記流入部は前記第１面と対応する第２面に位置して前記収納空間の内部に前記感光物質を供給することを特徴とする請求項２記載の感光物質排出ユニット。
4. 前記排出部は前記収納空間と連結され、幅に比べて長さが長いスリット形状を有することを特徴とする請求項３記載の感光物質排出ユニット。
5. 前記排出部の長さは前記コーティング領域の幅と同一であることを特徴とする請求項４記載の感光物質排出ユニット。
6. 前記排出部分離器は前記本体の第１面から前記収納空間の内部に突出して前記排出部と隣接する前記収納空間を複数の分割収納空間として分離することを特徴とする請求項４記載の感光物質排出ユニット。
7. 前記本体は互いに独立的に前記感光物質を貯蔵することができる複数の収納空間を備え、前記流入部は前記第１面と対応する第２面に複数設置されて前記複数の収納空間として独立的に前記感光物質を供給し、前記排出部は前記各収納空間に対応するように複数形成されたことを特徴とする請求項１記載の感光物質排出ユニット。
8. 前記各排出部は幅に比べて長さが長いスリット形状を有することを特徴とする請求項７記載の感光物質排出ユニット。
9. 前記各排出部の長さは前記コーティング領域の幅と同一であることを特徴とする請求項８記載の感光物質排出ユニット。
10. 感光物質がコーティングされる複数のコーティング領域を備える基板に対向する第１面を備える複数の本体と、
    前記各本体の一部に形成されて外部から前記感光物質を流入するための流入部と、
    前記各本体の第１面に形成されて前記基板の表面から前記感光物質を排出するための排出部と、
    前記複数の本体を結合して一体に動作するためのスペーサブロックと、
    を含むことを特徴とする感光物質排出ユニット。
11. 前記本体は前記感光物質を貯蔵することができる収納空間を備え、前記流入部は前記第１面と対応する第２面に位置して前記収納空間の内部に前記感光物質を供給することを特徴とする請求項１０記載の感光物質排出ユニット。
12. 前記排出部は前記収納空間と連結され、幅に比べて長さが長いスリット形状を有することを特徴とする請求項１１記載の感光物質排出ユニット。
13. 前記排出部の長さは前記コーティング領域の幅と同一であることを特徴とする請求項１２記載の感光物質排出ユニット。
14. 感光物質がコーティングされる複数の単位基板を備える母基板が搭載される支持ユニットと、
    ａ）前記基板に対向する第１面を備える複数の本体と、ｂ）前記各本体の一部に形成されて外部から前記感光物質を流入するための流入部と、ｃ）前記各本体の第１面に形成されて前記単位基板の表面に前記感光物質を排出するための排出部と、ｄ）前記複数の本体を結合して一体に動作するための連結要素とを備える感光物質排出ユニットと、
    前記感光物質排出ユニットに前記感光物質を供給する供給ユニットと、
    前記支持台に対して前記感光物質排出ユニットを相対移送させる移送ユニットと、
    を含むことを特徴とするコーティング器。
15. 前記各本体は前記感光物質を貯蔵し得る収納空間を備え、前記流入部は前記第１面に対応する第２面に位置して前記収納空間の内部に前記感光物質を供給することを特徴とする請求項１４記載のコーティング器。
16. 前記排出部は前記収納空間と連結され、幅に比べて長さが長いスリット形状を有することを特徴とする請求項１５記載のコーティング器。
17. 前記排出部の長さは前記単位基板の幅と同一であることを特徴とする請求項１６記載のコーティング器。
18. 感光物質がコーティングされる複数の単位基板が搭載される支持ユニットと、
    ａ）前記基板に対向する第１面を備える本体と、ｂ）前記本体の一部に形成され、外部から前記感光物質を流入するための少なくとも１つの流入部と、ｃ）前記第１面に形成されて前記単位基板のみに前記感光物質を排出するための少なくとも１つの排出部とを含む感光物質排出ユニットと、
    前記感光物質排出ユニットに前記感光物質を供給する供給ユニットと、
    前記支持台に対して前記感光物質排出ユニットを相対移送させる移送ユニットと、
    を含むことを特徴とするコーティング器。
19. 前記感光物質排出ユニットは前記排出部を区分し前記感光物質の流れ方向を調節することで、前記感光物質が前記単位基板のみに排出されるようにするための排出部分離器をさらに含むことを特徴とする請求項１８記載のコーティング器。
20. 前記本体は前記感光物質を貯蔵し得る収納空間を備え、前記流入部は前記第１面と対応する第２面に位置して前記収納空間の内部に前記感光物質を供給することを特徴とする請求項１９記載のコーティング器。
21. 前記排出部は前記収納空間と連結され、幅に比べて長さが長いスリット形状を有することを特徴とする請求項２０記載のコーティング器。
22. 前記排出部の長さは前記単位基板の幅と同一であることを特徴とする請求項２１記載のコーティング器。
23. 前記排出部分離器は前記本体の第１面から前記収納空間の内部に突出して前記排出部と隣接する前記収納空間を複数の分割収納空間として分離することを特徴とする請求項２０記載のコーティング器。
24. 前記本体は互いに独立的に前記感光物質を貯蔵し得る複数の収納空間を備え、前記流入部は前記第１面と対応する第２面に前記各収納空間に対応するように複数設置されて前記複数の収納空間として個別的に前記感光物質を供給し、前記排出口は前記各収納空間に対応するように複数設置されたことを特徴とする請求項１８記載のコーティング器。
25. 前記各排出口は幅に比べて長さが長いスリット形状を有することを特徴とする請求項２４記載のコーティング器。
26. 前記各排出口の長さは前記単位基板の幅と同一であることを特徴とする請求項２５記載のコーティング器。
27. 感光物質が塗布される基板を搭載するための支持台と、
    移送ユニットにより前記支持台の上面に沿って移動しながら前記基板表面に前記感光物質をコーティングするコーティング器（ｃｏａｔｅｒ）と、
    前記コーティング器の前の方に設置されて前記基板に付着された異物質を探知するデテクターと、
    前記デテクターにより感知された異物質を除去する異物質除去部と、
    前記コーティングユニット、デテクター及び前記異物質除去ユニットを制御する制御部と、
    を含むことを特徴とする感光物質塗布装置。
28. 前記デテクターは、前記基板を撮影して映像イメージを発生させるイメージセンサー及び前記映像イメージを処理して前記基板上に異物質が存在すると前記異物質除去ユニットを作動するための信号を発生させる信号発生装置とを含むことを特徴とする請求項２７記載の感光物質塗布装置。
29. 前記イメージセンサーはＣＣＤカメラであることを特徴とする請求項２８記載の感光物質塗布装置。
30. 前記異物質除去ユニットは気体を前記異物質に噴射して除去するエアナイフを含むことを特徴とする請求項２７記載の感光物質塗布装置。
31. 前記移送ユニットは前記異物質除去ユニットにより除去されない残余物質による前記コーティング器の損傷を防止するために前記コーティング器を強制に止めるインタラップユニットをさらに含むことを特徴とする請求項２７記載の感光物質塗布装置。
32. 前記コーティング器の後ろ側に位置して前記基板に塗布された感光物質の表面を検査する検査ユニットをさらに含むことを特徴とする請求項２７記載の感光物質塗布装置。
33. 前記検査ユニットは前記感光物質の表面を検査して映像イメージを発生させるイメージセンサーを含むことを特徴とする請求項３２記載の感光物質塗布装置。

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