KR101261431B1 - 플렉시블 필름이 부착된 캐리어 기판의 배면 세정장치 - Google Patents

플렉시블 필름이 부착된 캐리어 기판의 배면 세정장치 Download PDF

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KR101261431B1
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(주) 디바이스이엔지
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Abstract

본 발명은 플렉시블 필름이 부착된 캐리어 기판의 배면 세정장치에 관한 것으로서, 세정액 바스켓을 필요로 하지 않고 세정액이 기판의 상부로 비산되는 것을 방지하는 것을 목적으로 한다.
이를 위하여 본 발명은, 캐리어 기판을 이송하는 복수의 이송 롤러(11)와; 캐리어 기판(10)의 이송 방향과 반대방향으로 회전하면서 상기 캐리어 기판(10)의 배면을 세정하는 PVA 스폰지 롤러(13)와, 상기 PVA 스폰지 롤러(13)의 전방에서 상기 PVA 스폰지 롤러(10)에 접하는 액절 롤러(14)와; 상기 캐리어 기판(10)의 상측에 구비되는 복수의 상부 롤러(15)와; 상기 캐리어 기판(10)의 상측에 구비되어 에어를 분사하는 에어 노즐을 포함하여 이루어지는 플렉시블 필름이 부착된 캐리어 기판(10)의 배면 세정장치에 있어서, 상기 PVA 스폰지 롤러(13)는, 외주에 세정액이 공급되기 위한 다수의 홀(13a)이 형성되어 있고 PVA 스폰지 롤러의 중심축을 형성하는 중공 샤프트(13b)와, 상기 중공 샤프트(13b)의 외주에 구비되는 세정부(13c)를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

플렉시블 필름이 부착된 캐리어 기판의 배면 세정장치{Cleaning Apparatus of Back Surface of Carrier Substrate Having Flexible Film}
본 발명은 플렉시블 필름이 부착된 캐리어 기판의 배면 세정장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 별도의 세정액 바스켓을 필요로 하지 않고, 기판의 상면에 부착된 필름으로 세정액이 비산되는 것을 방지하면서 캐리어 기판의 배면만을 세정할 수 있는 캐리어 기판의 배면 세정장치에 관한 것이다.
일반적으로 평판 디스플레이 장치(Flat Panel Display ; 이하 "FPD"라 칭하기로 함)는 액정, 플라즈마, 전계발광 등을 이용한 표시장치로서, 종래의 CRT(Cathod Ray Tube)에 비해 전력소모가 적고 두께가 얇아 컴퓨터나 TV의 화면표시장치로 널리 사용되고 있다.
이중에서 LCD(Liquid Crystal Display)는 영상신호에 대응하도록 광 빔의 투과량을 조절함으로써 화상이 표시되도록 하고 있다.
특히, LCD는 경량화, 박형화, 저소비 전력구동 등의 특징으로 인해 그 응용범위가 점차 넓어지고 있다.
한편, 상기 액정표시장치의 액정패널은 구동신호를 입력받는 박막트랜지스터(TFT:Thin Film Transistor) 기판 및 칼라필터층을 포함한 칼라필터기판(C/F 기판)을 구비한다.
상기 박막트랜지스터 기판은 세정된 하부 유리기판에 신호라인과 복수의 박막트랜지스터 및 화소전극을 형성하여 제조하고, 상기 칼라필터기판은 상부 유리기판 상에 블랙매트릭스(Black Matrix)와 칼라필터층 및 공통전극을 형성하여 제조하고 있다.
이러한 유리기판의 제조공정은 스퍼터링(Sputtering) 방법 등을 사용하여 유리기판에 박막을 입히는 박막공정, 상기 박막을 원하는 패턴으로 구성하기 위한 현상공정 및 상기 패턴에 따라 상기 박막을 식각하기 위한 식각공정 등으로 세분화될 수 있으며, 상기 공정들이 반복적으로 수행됨으로써 박막트랜지스터 기판 및 칼라필터를 제조한다.
한편, 상기 유리기판을 세정하기 위한 통상의 기판 세정장치는 도 1에 도시된 바와 같이, 기판(50)을 이송시키는 이송부재(51)와, 상기 이송부재(51)에 의해 이송되는 기판(50)에 세정액 또는 순수를 분사하여 세정하는 상면 세정부(53) 및 하부 세정부(54)로 이루어져 있다.
상기 상면 세정부(53)는 세정액을 공급하는 상면 세정액공급부(53a)와 공급 파이프(53b) 및 노즐(53c)로 구성되어 있고, 하면 세정부(54)도 하면 세정액 공급부(54a)와 공급파이프(54b) 및 노즐(54c)로 구성되어 있다.
상기와 같이 구성된 종래의 기판 세정장치는 이송부재(51)에 의해 이송되는 기판(50)의 상면과 배면을 동시에 세정하게 된다.
즉, 상기 세정액 공급기(53a, 54a)에서 공급된 세정액을 노즐(53c, 54c)을 이용하여 상기 기판(50)의 상면과 배면으로 분사함으로써, 노광 및 현상 공정을 거친 기판(50)의 상면 및 배면에 부착되어 있는 현상용액이나 포토레지스트 등의 이물질을 제거한다.
그런데, 상기 노즐(53c, 54c)에 의해 분사되는 세정액을 이용하여 기판(50)의 이물질을 제거할 경우, 기판(50)에 부착된 이물질 중의 일부가 완전히 제거되지 않은 상태로 이송될 수 있다. 특히, 상기 기판(50)의 배면에 부착된 이물질들은 세정액이 중력의 영향을 받는 관계로 완전하게 제거되지 않는 경우 있다.
이와 같이 상기 기판(50)의 배면에 잔류된 이물질들은, 상기 이송부재(51)에 의해 이송되는 동안 이송부재(51)의 롤러에 부착되었다가 다른 기판(50)에 부착되기도 하고, 다른 공정이 수행되는 챔버 또는 장비의 스테이지를 오염시키게 된다.따라서, 1차 세정이 끝난 기판이라 하더라도 기판의 배면을 다시 세정하는 것이 필요한 경우가 많다.
이러한 목적으로 기판의 배면만을 세정하는 배면 세정장치가 사용된다.
특히, 상면에 플렉시블 필름의 부착된 캐리어 기판은, 세정액이 기판의 상부로 비산하게 되면 세정액이 기판과 필름 사이로 침투하여 회로 패턴에 악영향을 줄 수 있다.
즉 이러한 캐리어 기판의 배면 세정 작업시에는 세정시 세정액이 기판의 상부로 비산되지 않도록 각별한 주의를 기울여야 한다.
이에 따라 상면에 플렉시블 필름이 부착된 캐리어 기판을 세정하고자 하는 경우에는, 노즐을 통해 세정액을 분사하는 통상의 노즐 분사식 세정장치를 사용하는 것보다 롤러 또는 브러시를 이용하여 기판의 배면을 세정하는 것이 바람직하다.
그런데, 롤러 또는 브러시를 이용하여 기판의 배면을 세정하는 경우, 롤러 또는 브러시로 세정액을 원활하게 공급하기가 어렵고, 세정액이 회전하는 롤러 또는 브러시의 원심력에 의해 비산되는 문제점이 있다.
상기한 문제점을 해결하기 위하여 본 출원인은, 도 2에 도시된 바와 같은 배면 세정장치를 특허출원 제10-2011-0117394호로 제안한 바 있다.
본 출원인이 제안한 바 있는 기판의 배면 세정장치는, 도 2에 도시된 바와 같이, 상부에 위치된 기판(10)을 이송하는 복수의 이송 롤러(11)와; 세정액이 채워지며 상기 이송 롤러(11)의 측부에 설치되는 세정액 바스켓(12)과; 외주면이 상기 기판(10)의 저면에 접하도록 상기 세정액 바스켓(12) 내에 설치되며 상기 기판(10)의 이송 방향과 반대방향으로 회전하면서 흡수된 세정액을 이용하여 상기 기판(10)의 저면을 세정하는 PVA 스폰지 롤러(13);를 포함하고, 상기 PVA 스폰지 롤러(13)는 세정액을 흡수하도록 일부는 상기 세정액 바스켓(12)의 세정액에 잠기고 나머지는 세정액 외부로 노출되게 설치되는 것을 특징으로 하고 있다.
또한 상기 PVA 스폰지 롤러(13)가 상기 기판(10)에 접하는 부분 앞쪽에는, PVA 스폰지 롤러(13)에 흡수된 세정액이 비산되지 않도록 하는 액절 롤러(14)가 설치되어 있다.
또한, 기판(10)의 상측에는 세정액이 기판(10)의 에지부를 통해 기판(10)의 상면으로 침범하지 않도록 에어를 분사하는 에어 노즐(16)이 구비되어 있다.
상기한 구조의 배면 세정장치에 의하면, 세정액 바스켓을 이용하여 PVA 스폰지 롤러에 세정액을 전이하게 되므로 노즐 분사식에 비해 세정액이 비산을 억제할 수 있다는 장점이 있다.
또한, 상부 롤러를 이용하여 기판을 눌러주게 되므로, PVA 스폰지 롤러가 역방향으로 회전되더라도 기판이 들뜨지 않고 원활하게 이송될 수 있고, 기판의 상측에 설치된 에어 노즐을 통해 공기를 분사함으로써 세정액이 기판의 상부로 침투하는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.
그러나 도 2에 도시된 바와 같은 배면 세정장치는 다음과 같은 문제점이 있다.
첫째, 도 2에 도시된 배면 세정장치는, 다수의 PVA 스폰지 롤러(13)마다 세정액 바스켓(12)이 필요하기 때문에, 구조가 복잡해지고 공간을 많이 차지하게 된다는 문제점이 있다. 또한 세정액 바스켓(12)에는 항상 일정량 이상의 세정액이 채워져 있어야 하므로 세정액의 손실이 많다는 문제점도 있다.
둘째, 도 2에 도시된 배면 세정장치는, 스폰지 롤러(13)가 세정액 바스켓(13)의 세정액에 잠겨 회전을 하기 때문에, 세정액이 비산되는 것을 피할 수 없다는 문제점이 있다.
셋째, 도 2에 도시된 배면 세정장치는, 특히 기판 이송방향의 전단 및 후단에서 세정액이 기판 상부로 비산되는 현상이 심하게 발생하는 문제점이 있다.
넷째, 도 2에 도시된 배면 세정장치는, 기판의 상면에서 에어를 분사하는 방향이 고정되어 있기 때문에, 이송롤러(11)를 따라 이동하는 기판의 전단 및 후단에서 세정액이 비산되어 기판의 상부로 침투하는 것을 방지할 수 없는 문제점이 있다.
즉 기판의 이송방향을 따라 에어의 분사방향을 조절하여야 기판의 전단 및 후단에서 세정액이 비산되는 것을 방지할 수가 있는데, 도 2의 배면 세정장치는 이러한 요구를 충족시킬 수 없다는 문제점이 있다.
이에 따라 도 2에 도시된 배면 세정장치는, 플렉시블 필름이 부착된 캐리어 기판의 배면 세정장치로는 적합하지가 않다.
본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 각 스폰지 롤러마다 세정액 수조를 필요로 하지 않도록 함으로써, 장치의 설치 공간을 축소하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은, 센서에 의해 기판이 이송할 때만 세정액을 분사하도록 하여 세정액의 손실량을 감소시킬 수 있는 배면 세정장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은, 스폰지 롤러의 회전에 의해 세정액이 비산되지 않도록 하는 배면 세정장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 기판 이송방향의 전단 및 후단에서 세정액이 비산되어 기판의 상부로 침투하는 것을 원천적으로 방지할 수 있는 배면 세정장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 기판의 이동상태에 따라 에어 분사방향을 조절함으로써 세정액이 기판의 상부로 비산되는 것을 차단할 수 있는 배면 세정장치를 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 플렉시블 필름이 상면에 부착된 캐리어 기판의 하부에 설치되어 캐리어 기판을 이송하는 복수의 이송 롤러와; 상기 복수의 이송 롤러 사이에 설치되어 캐리어 기판의 이송 방향과 반대방향으로 회전하면서 상기 캐리어 기판의 배면을 세정하는 PVA 스폰지 롤러와, 상기 PVA 스폰지 롤러의 전방에서 상기 PVA 스폰지 롤러에 접하는 액절 롤러와; 상기 캐리어 기판의 상측에 구비되어 상기 캐리어 기판이 들뜨지 않도록 가압하는 복수의 상부 롤러와; 상기 캐리어 기판의 상측에 구비되어 에어를 분사하는 에어 노즐을 포함하여 이루어지는 플렉시블 필름이 부착된 캐리어 기판의 배면 세정장치에 있어서, 상기 PVA 스폰지 롤러는, 외주에 세정액이 공급되기 위한 다수의 홀이 형성되어 있고 PVA 스폰지 롤러의 중심축을 형성하는 중공 샤프트와, 상기 중공 샤프트의 외주에 구비되는 세정부를 포함하여 이루어져, 세정액 공급장치의 공급관에 의해 세정액이 상기 중공 샤프트로 직접 공급되는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 캐리어 기판의 측면부에는 상기 캐리어 기판의 이송상태를 감지하는 센서가 다수 설치되어 있고, 이 센서의 감지신호에 의해 캐리어 기판이 이송할 경우에만 세정액을 상기 PVA 스폰지 롤러에 공급하는 것을 특징으로 한다.
또한, 캐리어 기판의 측면부에 다수 설치되어 상기 캐리어 기판의 이송상태를 감지하는 센서와, 상기 센서의 신호에 의해 에어의 공급방향을 각각 변화시키는 다수의 회전식 에어 노즐을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 회전식 에어 노즐은 캐리어 기판의 이송방향과 직각인 방향을 따라 설치되어, 상기 캐리어 기판의 전단 및 후단에서 세정액이 기판의 상부로 침투하는 것을 방지하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 회전식 에어 노즐은 상기 센서와 각각 독립적으로 연결되어, 캐리어 기판의 이송 상황에 따라 그 회전방향이 각각 독립적으로 제어되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 플렉시블 필름이 부착된 캐리어 기판의 배면 세정장치에 의하면, 스폰지 롤러마다 세정액이 담긴 세정액 바스켓을 설치할 필요가 없으므로 구조가 간단해지고 장치가 소형화되는 효과가 있다.
또한 스폰지 롤러의 내부에서 세정액을 공급하는 구조이므로, 세정액을 원활하게 공급할 수 있고 세정액의 관리가 편리한 효과가 있다.
또한 센서의 감지에 의해 기판이 이송할 때만 세정액을 공급하기 때문에 세정액의 손실을 줄일 수 있는 효과가 있다.
또한 스폰지 롤러의 회전에 따른 세정액의 비산 현상에 의해 세정액이 기판 상부로 침투하는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한 기판의 이동상태에 따라 에어의 분사방향을 조절하기 때문에 기판의 전단 및 후단에서 세정액이 비산되는 것을 원천적으로 방지할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 기판의 상면 및 배면을 세정하는 종래의 기판 세정장치의 개략적인 측면도.
도 2는 기판의 배면을 세정하는 종래의 기판 세정장치의 개략적인 측면도.
도 3은 종래의 기판 세정장치의 측면 확대도.
도 4은 본 발명에 따른 PVA 스폰지 롤러 및 액절 롤러의 사시도.
도 5는 본 발명에 따른 배면 세정장치의 측면도.
도 6는 본 발명에 따른 배면 세정장치의 다른 측면도.
도 7는 본 발명에 따른 배면 세정장치의 정면도.
도 8은 본 발명에 따른 에어 분사 방식을 나타낸 사시도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 캐리어 기판의 배면 세정장치의 바람직할 실시예를 설명한다(종래와 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하여 설명한다).
먼저, 본 발명에 따른 캐리어 기판의 배면 세정장치를 설명하기에 앞서 본 출원인이 출원한 바 있는 종래의 배면 세정장치를 살펴보기로 한다.
종래의 기판 배면 세정장치는, 도 2에 도시된 바와 같이, 상부에 위치된 기판(10)을 이송하는 복수의 이송 롤러(11)와; 세정액이 채워지며 상기 이송 롤러(11)의 측부에 설치되는 세정액 바스켓(12)과; 외주면이 상기 기판(10)의 저면에 접하도록 상기 세정액 바스켓(12) 내에 설치되며 상기 기판(10)의 이송 방향과 반대방향으로 회전하면서 흡수된 세정액을 이용하여 상기 기판(10)의 저면을 세정하는 PVA 스폰지 롤러(13)와; 상기 PVA 스폰지 롤러(13)에 흡수된 세정액이 비산되지 않도록 상기 PVA 스폰지 롤러(13)가 상기 기판(10)에 접하는 부분 앞쪽에서 상기 PVA 스폰지 롤러(10)에 접하도록 상기 세정액 바스켓(12) 내에 설치되는 액절 롤러(14)와; 상기 기판(10)의 상측에 접촉되어 상기 기판(10)이 들뜨지 않도록 가압하는 복수의 상부 롤러(15)와; 상기 기판(10)의 상측에 위치되어 상기 PVA 스폰지 롤러(13)의 세정액이 상기 기판(10)의 에지부를 통해 기판(10)의 상면으로 침범하지 않도록 에어를 분사하는 에어 노즐(16);을 포함한다.
상기 PVA 스폰지 롤러(13)는 PVA 스폰지(Polyvinyl Alcohol Sponge)를 소재로 한 롤러로서, 균일하고 연속적인 오픈-셀 구조를 형성하고 있어 친수성, 흡수성, 흡진성, 내후성이 우수하다는 특징이 있다.
또한 PVA 스폰지 롤러는 탄력이 좋고 표면접촉시 물체에 스크래치 등을 유발하지 않는다는 장점이 있다.
상기 PVA 스폰지 롤러(13)의 일부는 상기 세정액 바스켓(12)의 세정액에 잠기고 나머지는 세정액 외부로 노출되게 설치된다. 이는 상기 세정액 바스켓(12)의 세정액이 상기 PVA 스폰지 롤러(13)를 통해서 상기 기판(10)에 공급되도록 하기 위한 것이다.
그리고, 기판(10)의 상부에는 상부 롤러(15) 및 에어 노즐(16)이 설치되어 있다. 상기 에어 노즐(16)은 세정액이 기판의 상부로 비산되는 것을 방지한다.
이어서 본 발명에 따른 기판의 배면 세정장치의 특징부를 도 4 내지 도 8을 참조하여 설명한다.
본 발명에 따른 기판의 배면 세정장치는, 상면에 플렉시블 필름(10a)이 부착된 캐리어 기판(10)을 세정하는 장치로서, PVA 스폰지 롤러(13)가 세정액 바스켓에 침지된 상태에서 기판을 세정하지 않고 세정액을 PVA 스폰지 롤러 내부로 직접 공급한다는데 그 특징이 있다.
즉, 본 발명의 PVA 스폰지 롤러(13)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 롤러의 중심축을 형성하는 중공 샤프트(13b)와 그 외주에 PVA 스폰지로 형성되는 세정부(13c)로 이루어진다.
상기 중공 샤프트(13b)의 외주에는 세정액을 상기 PVA 스폰지로 공급하기 위한 다수의 홀(13)이 형성되어 있다. 또한 상기 중공 샤프트(13b)의 일단은 세정액의 유출을 방지하기 위하여 밀폐되어 있고, 다른 일단은 그 내부로 세정액을 공급하기 위한 세정액 공급부(42)가 구비되어 있다.
상기 세정액 공급부(42)는 세정액 공급장치(40)로부터 공급되는 세정액을 중공 샤프트(13b)에 공급한다.
또한 캐리어 기판(10)이 이송되는 측면에는 다수의 센서(30)가 설치되어 있다. 상기한 센서(30)는 기판의 이송상태를 감지하여 기판이 이송될 경우에만 세정액을 공급하도록 하여 세정액의 손실을 방지하는 것이 바람직하다.
PVA 스폰지 롤러를 비롯한 각종 롤러의 구동기구는 공지되어 있는 기술이므로 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
상기 세정부(13)를 형성하는 PVA 스폰지는 흡수성이 아주 뛰어나기 때문에, 세정액을 상기 중공 샤프트(13b)를 통해 공급하면 이 세정액이 세정부(13)의 표면에 용이하게 도달할 수가 있다.
본 발명에서는 세정액이 상기 PVA 스폰지 롤러(13)의 중공 샤프트(13b)로 직접 공급되므로 종래와 같이 세정액 바스켓을 사용할 필요가 없게 된다.
또한 본 발명은 도 6 및 도 8에 도시된 바와 같이, 캐리어 기판(10)의 상부에서 기판의 이송 상태에 따라 에어의 분사 방향을 조절하는 회전식 에어 노즐(17)을 구비하는 것을 특징으로 한다.
종래에는 기판의 상부에 설치된 에어 노즐이 기판의 이송 상태에 관계없이 항상 일정한 방향으로만 에어를 분사하는 구조로 되어 있었다.
이에 따라 기판의 전단(이송방향에서 보았을 때 앞부분) 또는 후단(이송방향에서 보았을 때 뒷부분)이 노즐(16)과 노즐(16) 사이에 위치하게 될 경우, 세정액이 비산되는 현상이 발생하게 된다(도 3 참조).
특히 이러한 현상은 기판의 이송방향과 반대방향으로 회전하는 PVA 스폰지 롤러(13)의 원심력에 의해 가중된다.
이에 따라 기판의 전단 또는 후단에서 세정액이 비산되어 플렉시블 필름이 부착된 기판의 상부로 침투하게 되는 문제점이 발생한다. PVA 스폰지 롤러(13)의 일부가 세정액에 잠긴 상태로 회전하기 때문에 세정액의 비산 현상이 더욱 심해지게 되는 것이다.
그러나 본 발명에 의하면, 도 6에 도시된 바와 같이, 기판의 이송방향을 따라 회전식 에어 노즐(17)을 회전시켜 캐리어 기판(10)의 전단부를 향해 에어를 분사하므로, 캐리어 기판(10) 전단부(도 6에서 오른쪽)에서 세정액이 기판의 상부로 비산되는 현상을 방지할 수 있다.
또한 도 6에 도시된 바와 같이, 캐리어 기판(10)의 후단부에 위치한 회전식 에어 노즐(17)에서는 기판의 이송방향과 반대방향으로 에어를 분사하기 때문에, 기판 후단부(도 6에서 왼쪽)에서도 세정액이 기판의 상부로 비산되는 것을 방지할 수 있다.
이에 따라 캐리어 기판(10)의 이송 중에 기판의 전단부 및 후단부에서 세정액이 기판의 상부로 침투하는 것을 방지할 수가 있다.
또한 도 5 및 도 8에 도시된 바와 같이, 캐리어 기판(10)의 측면에 설치된 측면 에어 노즐(16)에서도 기판의 양 측면을 향해 에어를 분사한다.
결국 캐리어 기판(10)의 네 모서리부에서 세정액이 기판의 상부로 침투하는 것을 원천적으로 방지할 수가 있게 된다.
상기한 회전식 에어 노즐(17)은 캐리어 기판(10)의 측면부에 다수 설치되어 상기 캐리어 기판(10)의 이송상태를 감지하는 각각의 센서(30)에 의해 독립적으로 제어된다.
예컨대 도 6에 도시된 바와 같이, 4개의 회전식 에어 노즐(17)이 설치된 경우, 전방의 3개 노즐은 기판의 이송 방향 즉 전면을 향해 에어를 분사하고, 마지막 하나의 노즐은 기판의 이송 방향과 반대 방향 즉 후면을 향해 에어를 분사하는 것이 바람직하다.
기판의 배면 세정장치에서 배면을 세정할 때, 세정액이 비산되어 기판의 상부로 침투되는 부분은 바로 기판의 네 모서리 부분이다.
본 발명에 의하면 세정액 바스켓을 사용하지 않고 PVA 스폰지 롤러의 내부로 세정액을 공급하므로 세정액의 비산 현상을 최소화할 수가 있다.
뿐만 아니라 도 8에 도시된 바와 같이, 기판의 측면을 따라 설치된 측면 에어 노즐(16)과 기판의 이송 방향과 직각인 방향으로 배치되어 기판의 이송 상태에 따라 에어를 분사하는 회전식 에어 노즐(17)은, 캐리어 기판(10)의 네 모서리에서의 세정액의 비산 현상을 차단한다.
따라서 기판의 배면 세정 작업 중 세정액이 기판의 상부로 침투되어 플렉시블 필름에 악 영향을 주는 것을 원천적으로 방지할 수가 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이 같은 특정 실시 예에만 한정되지 않으며, 해당분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 특허청구범위 내에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경이 가능할 것이다.
10... 캐리어 기판
10a...플렉시블 필름
11...이송 롤러
12...세정액 바스켓
13...PVA 스폰지 롤러
14...액절 롤러
15...상부 롤러
16...측면 에어 노즐
17...회전식 에어 노즐

Claims (5)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 플렉시블 필름이 상면에 부착된 캐리어 기판(10)의 하부에 설치되어 캐리어 기판을 이송하는 복수의 이송 롤러(11)와; 상기 복수의 이송 롤러(11) 사이에 설치되어 캐리어 기판(10)의 이송 방향과 반대방향으로 회전하면서 상기 캐리어 기판(10)의 배면을 세정하는 PVA 스폰지 롤러(13)와, 상기 PVA 스폰지 롤러(13)의 전방에서 상기 PVA 스폰지 롤러(10)에 접하는 액절 롤러(14)와; 상기 캐리어 기판(10)의 상측에 구비되어 상기 캐리어 기판(10)이 들뜨지 않도록 가압하는 복수의 상부 롤러(15)와; 상기 캐리어 기판(10)의 상측에 구비되어 에어를 분사하는 측면 에어 노즐(16) 및 회전식 에어 노즐(17)을 포함하여 이루어지는 플렉시블 필름이 부착된 캐리어 기판(10)의 배면 세정장치에 있어서,
    상기 PVA 스폰지 롤러(13)는,
    외주에 세정액이 공급되기 위한 다수의 홀(13a)이 형성되어 있고 PVA 스폰지 롤러의 중심축을 형성하는 중공 샤프트(13b)와, 상기 중공 샤프트(13b)의 외주에 구비되는 세정부(13c)를 포함하여 이루어져, 세정액 공급장치(40)의 공급관(41)에 의해 세정액이 상기 중공 샤프트(13b)로 직접 공급되고,
    상기 캐리어 기판(10)의 측면부에는 상기 캐리어 기판(10)의 이송상태를 감지하는 센서(30)가 다수 설치되어 있고, 이 센서(30)의 감지신호에 의해 캐리어 기판(10)이 이송할 경우에만 세정액을 상기 PVA 스폰지 롤러(13)에 공급하며,
    상기 회전식 에어 노즐(17)은 캐리어 기판(10)의 이송방향과 직각인 방향을 따라 다수 설치되어, 센서(30)의 신호에 의해 에어의 공급방향을 각각 변화시킴으로써 상기 캐리어 기판(10)의 이송시 전단 및 후단에서 세정액이 기판의 상부로 침투하는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 필름이 부착된 캐리어 기판의 배면 세정장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 회전식 에어 노즐(17)은 상기 센서(30)와 각각 독립적으로 연결되어, 캐리어 기판(10)의 이송 상황에 따라 그 회전방향이 각각 독립적으로 제어되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 필름이 부착된 캐리어 기판의 배면 세정장치.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107597643A (zh) * 2017-10-21 2018-01-19 南京同旺铝业有限公司 一种铝板清洗装置
KR20180001617U (ko) * 2016-11-21 2018-05-30 미쓰비시 세이시 가부시키가이샤 레지스트층의 박막화 장치
CN111922015A (zh) * 2020-08-04 2020-11-13 衡山兄弟金属制品有限公司 一种带有高压预洗装置的玻璃清洗机
KR20210121572A (ko) 2020-03-30 2021-10-08 씨앤에스엔지니어링 주식회사 Fpcb용 세정 장치

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000312864A (ja) * 1999-04-27 2000-11-14 Ricoh Co Ltd 可撓性基板の液切り装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000312864A (ja) * 1999-04-27 2000-11-14 Ricoh Co Ltd 可撓性基板の液切り装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180001617U (ko) * 2016-11-21 2018-05-30 미쓰비시 세이시 가부시키가이샤 레지스트층의 박막화 장치
KR200491908Y1 (ko) 2016-11-21 2020-06-30 미쓰비시 세이시 가부시키가이샤 레지스트층의 박막화 장치
CN107597643A (zh) * 2017-10-21 2018-01-19 南京同旺铝业有限公司 一种铝板清洗装置
KR20210121572A (ko) 2020-03-30 2021-10-08 씨앤에스엔지니어링 주식회사 Fpcb용 세정 장치
CN111922015A (zh) * 2020-08-04 2020-11-13 衡山兄弟金属制品有限公司 一种带有高压预洗装置的玻璃清洗机

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