KR100987676B1

KR100987676B1 - 노즐 세정장치

Info

Publication number: KR100987676B1
Application number: KR1020030088618A
Authority: KR
Inventors: 정태균
Original assignee: 엘지디스플레이 주식회사
Priority date: 2003-12-08
Filing date: 2003-12-08
Publication date: 2010-10-13
Also published as: KR20050055410A

Abstract

본 발명에 의한 노즐 세정장치는 기판 상에 유기물을 분사하기 위한 노즐; 세정액이 담긴 포트부; 상기 노즐 아래에 형성되어 상기 노즐의 이물을 상기 세정액으로 밀어 넣는 세정롤러; 상기 세정액 내에 잠겨 있는 상태에서 상기 세정롤러에 연동하여 상기 세정롤러의 표면 이물을 제거하는 브러쉬; 및 상기 세정롤러에 잔존하는 상기 세정액을 건조시키기 위한 건조부를 구비하고, 상기 세정액은 시너를 포함하고, 상기 포트부에 담긴 세정액이 증발되어 외부로 나가는 것을 차단하기 위해 상기 포트부를 덮도록 설치되는 덮개부와, 상기 포트부에 상기 세정액을 주입하기 위한 세정액 주입부와, 상기 오염된 세정액을 소정시간 간격으로 외부로 배출시키기 위한 배출부를 더 구비한다.

Description

노즐 세정장치{Apparatus Of Cleaning Nozzle}

도 1은 일반적인 액정표시패널을 나타내는 사시도이다.

도 2는 기판에 박막을 형성하기 위한 스핀리스 코팅장치를 나타내는 도면.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 의한 스핀리스 코팅장치의 노즐을 세정하기 위한 노즐 세정장치를 나타내는 도면.

도 4는 본 발명의 제2 실시예에 의한 스핀리스 코팅장치의 노즐을 세정하기 위한 노즐 세정장치를 나타내는 도면.

도 5는 도 4에 도시된 노즐 세정장치를 이용한 세정방법을 설명하기 위한 흐름도.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 간단한 설명>

1: 액정표시패널 10 : 액정층

20 : 컬러필터 어레이 기판 22 : 상부 유리기판

24 : 컬러필터 26 : 공통전극

28,42 : 편광판 30 : TFT 어레이 기판

32 : 하부 유리기판 34 : 데이터 라인

36 : 화소전극 38 : TFT

40 : 게이트 라인 52, 152 : 스핀리스 코팅기

54, 154 : 스핀리스 노즐 56, 156 : 포토레지스트

62, 162 : 세정롤러 64, 164a : 세정액

66, 166 : 포트 68, 168 : 세정액 공급노즐

70, 170 : 건조부 164b : 세정증기

180 : 브러쉬 90,190 : 배출부

본 발명은 노즐 세정 장치에 관한 것으로, 특히 노즐의 오염을 방지할 수 있도록 한 노즐 세정 장치에 관한 것이다.

최근의 정보화 사회에서 표시소자는 시각정보 전달매체로서 그 중요성이 어느 때보다 강조되고 있다. 현재 주류를 이루고 있는 음극선관(Cathode Ray Tube) 또는 브라운관은 무게와 부피가 큰 문제점이 있다. 이러한 음극선관의 한계를 극복할 수 있는 많은 종류의 평판표시소자(Flat Panel Display)가 개발되고 있다.

평판표시소자에는 액정표시패널(Liquid Crystal Display Device : LCD), 전계 방출 표시소자(Field Emission Display : FED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : PDP) 및 일렉트로루미네센스(Electroluminescence : EL) 등이 있고 이들 대부분이 실용화되어 시판되고 있다.

액정표시패널은 전자제품의 경박단소 추세를 만족할 수 있고 최근들어 양산성이 향상되어 많은 응용분야에서 음극선관을 빠른 속도로 대체하고 있다.

특히, 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : 이하, "TFT"라 한다)를 이용하여 액정셀을 구동하는 액정표시패널은 화질이 우수하고 소비전력이 낮은 장점이 있으며, 최근의 양산기술 확보와 연구개발의 성과로 대형화와 고해상도화로 급속히 발전하고 있다.

이러한 액정표시패널을 통해 화상을 표시하는 액정표시장치는 전계를 이용하여 액정의 광투과율을 조절함으로써 화상을 표시하게 된다. 이를 위하여 액정표시장치는 액정셀들이 매트릭스 형태로 배열되어진 액정표시패널과 이 액정표시패널을 구동하기 위한 구동회로를 구비하게 된다.

도 1은 일반적인 액정표시패널을 나타내는 사시도이다.

도 1을 참조하면, 일반적인 액정표시패널(1)은 액정층(10)을 사이에 두고 컬러필터 어레이 기판(20)과 TFT 어레이 기판(30)이 합착된다. 도 1에 도시된 액정표시패널(1)은 전체 유효화면의 일부를 나타낸 것이다.

컬러필터 어레이 기판(20)에는 상부 유리기판(22)의 배면 상에 컬러필터(24) 및 공통전극(26)이 형성된다. 상부 유리기판(22)의 전면 상에는 편광판(28)이 부착된다. 컬러필터(24)는 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 컬러필터층이 배치되어 특정 파장대역의 빛을 투과시킴으로써 컬러표시를 가능하게 한다. 인접한 색의 컬러필터(24)들 사이에는 도시하지 않은 블랙 매트릭스(Black Matrix)가 형성된다. 블랙 매트릭스는 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 컬러필터(24)들 사이에 형성되어 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 컬러필터(24)들을 분리시키고 인접한 셀로부터 입사되는 광을 흡수함으로써 콘트라스트의 저하를 방지한다.

TFT 어레이 기판(30)에는 하부 유리기판(32)의 전면에 데이터 라인들(34)과 게이트 라인들(40)이 상호 교차되며, 그 교차부에 TFT들(38)이 형성된다. 그리고 하부 유리기판(32)의 전면에는 데이터 라인(34)과 게이트 라인(40) 사이의 셀 영역에 화소전극(36)이 형성된다.

TFT(38)는 게이트 라인들(40)에 접속된 게이트 전극, 데이터 라인들(34)에 접속된 소스 전극, 채널을 사이에 두고 소스 전극과 마주보는 드레인 전극으로 이루어진다. 이 TFT(38)는 드레인 전극을 관통하는 접촉홀을 통해 화소전극(36)과 접속된다. 이러한 TFT(38)는 게이트 라인(40)으로부터의 게이트 신호에 응답하여 데이터 라인(34)으로부터의 데이터 신호를 선택적으로 화소전극(36)에 공급한다. TFT(38)는 게이트 라인(40)으로부터의 스캐닝신호에 응답하여 데이터 라인(34)과 화소전극(36) 사이의 데이터 전송패스를 절환함으로써 화소전극(36)을 구동하게 한다. TFT 어레이 기판(30)의 배면에는 편광판(42)이 부착된다.

화소전극(36)은 데이터 라인들(34)과 게이트 라인들(40)에 의해 분할된 셀 영역에 위치하며 광투과율이 높은 투명전도성 물질로 이루어진다. 이 화소전극(36)은 드레인 전극을 경유하여 공급되는 데이터 신호에 의해 상부 유리기판(22)에 형성되는 공통전극(26)과 전위차를 발생시키게 된다. 액정층(10)은 자신에게 인가된 전계에 응답하여 TFT 어레이 기판(30)을 경유하여 입사되는 빛의 투과 량을 조절한다. 화소전극(36)과 공통전극(26)과의 전위차가 발생되면 하부 유리기판(32)과 상부 유리기판(22) 사이에 위치하는 액정층(10)의 액정은 유전율 이방성에 의해 회전하게 된다. 이에 따라, 광원으로부터 화소전극(36)을 경유하여 공급되는 광이 상부 유리기판(22) 쪽으로 투과된다.

컬러필터 어레이 기판(20)과 TFT 어레이 기판(30) 상에 부착된 편광판들(28, 42)은 어느 한 방향으로 편광된 빛을 투과시키게 되며, 액정층(10)의 액정이 90°TN 모드일 때 그들의 편광방향은 서로 직교하게 된다. 컬러필터 어레이 기판(20)과 TFT 어레이 기판(30)의 액정 대향면들에는 도시하지 않은 배향막이 형성된다.

컬러필터 어레이 기판(20) 및 TFT 어레이 기판(30)에 패턴을 형성하기 위해서는 전극 및 라인 물질이 형성된 상부 유리기판(22) 및 하부 유리기판(32) 상에 포토레지스트(photoresist:PR)를 도포한다. 그 후, 투명한 재질로 형성되어 노출되는 영역이 노광영역을 이루는 마스크 기판과, 마스크 기판 상에 형성되어 차단영역을 이루는 차단층으로 이루어진 포토마스크를 이용하여 자외선광을 포토레지스트에 선택적으로 조사하는 노광공정과 노광된 포토레지스트를 현상하는 현상공정을 실행하여 포토레지스트 패턴을 형성한다. 이 포토레지스트 패턴을 마스크로 이용한 식각공정으로 전극 및 라인 물질이 패터닝됨으로써 패턴이 형성된다. 여기서 포토레지스트 패턴으로 이용되는 유기절연물질은 기판(22,32) 상에 스핀리스(Spinless)방법으로 코팅된다.

스핀리스 코팅방법은 회전척의 회전에 의해 기판(22,32) 상에 박막이 코팅되 는 스핀코팅 방법에 비해 유리기판(22,32)의 크기에 상관없이 박막특성이 균일하다.

이 스핀리스 코팅방법은 도 2에 도시된 바와 같이 기판(22,32) 상부에 위치하는 스핀리스 노즐(54)에서 유기절연물질 또는 포토레지스트(56)가 분사되어 기판(22,32) 상에 코팅된다. 이러한 스핀리스 노즐(54)은 사용회수가 많아질수록 노즐(54) 표면에 유기절연물질 또는 포토레지스트(56)의 일부가 남아 오염이 발생된다. 이를 방지하기 위해 스핀리스 노즐(54)을 소정횟수 사용한 후 세정하는 노즐 세정장치가 요구되고 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 노즐의 오염을 방지할 수 있도록 한 노즐 세정장치를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 의한 노즐 세정장치는 기판 상에 유기물을 분사하기 위한 노즐; 세정액이 담긴 포트부; 회전 중심이 상기 세정액의 수면 아래에 위치하고 상기 노즐 아래에 형성되어 상기 노즐의 이물을 상기 세정액으로 밀어 넣는 세정롤러; 및 상기 세정롤러에 잔존하는 상기 세정액을 건조시키기 위한 건조부를 구비한다.
상기 노즐 세정장치는 상기 포트부에 담긴 세정액이 증발되어 외부로 나가는 것을 차단하기 위해 상기 포트부를 덮도록 설치되는 덮개부와, 상기 포트부에 상기 세정액을 주입하기 위한 세정액 주입부와, 상기 오염된 세정액을 소정시간 간격으로 외부로 배출시키기 위한 배출부를 더 구비한다.

삭제

상기 노즐 세정장치에서 상기 덮개부는 상기 노즐이 삽입되도록 개구부가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

상기 노즐 세정장치에서 상기 세정액은 시너를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 노즐 세정장치에서 상기 세정롤러는 상기 세정액 내에 대략 2/3 정도 잠겨 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 실시예에 의한 노즐 세정장치는 기판 상에 유기물을 분사하기 위한 노즐; 세정액이 담긴 포트부; 상기 노즐 아래에 형성되어 상기 노즐의 이물을 상기 세정액으로 밀어 넣는 세정롤러; 상기 세정액 내에 잠겨 있는 상태에서 상기 세정롤러에 연동하여 상기 세정롤러의 표면 이물을 제거하는 브러쉬; 및 상기 세정롤러에 잔존하는 상기 세정액을 건조시키기 위한 건조부를 구비한다.
상기 노즐 세정장치는 상기 포트부에 담긴 세정액이 증발되어 외부로 나가는 것을 차단하기 위해 상기 포트부를 덮도록 설치되는 덮개부와, 상기 포트부에 상기 세정액을 주입하기 위한 세정액 주입부와, 상기 오염된 세정액을 소정시간 간격으로 외부로 배출시키기 위한 배출부를 더 구비한다.

상기 노즐 세정장치에서 상기 세정롤러는 회전 중심이 상기 세정액의 수면 아래에 위치하는 것을 특징으로 한다.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부한 설명예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.

이하, 도 3 내지 도 5를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들에 대하여 설명하기로 한다.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 의한 노즐 세정장치를 나타내는 도면이다.

도 3를 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 의한 세정장치는 스핀리스 코팅기(52)의 노즐(54)을 세정하는 세정롤러(62)와, 세정롤러(62)을 세정하기 위한 세정액(64)이 담긴 포트(66)와, 포트(66)에 세정액(64)을 공급하기 위한 세정액 공급노즐(68)과, 세정롤러(62) 상의 세정액(64)을 건조시키기 위한 건조부(70)와, 오염된 세정액(64)를 외부로 배출시키기 위한 배출부(90)를 구비한다.

세정롤러(62)는 스핀리스 노즐(54)과 직접 접촉하여 스핀리스 노즐(54)에 잔존하는 포토레지스트(56)을 제거하게 된다. 이를 위해 세정롤러(62)는 화살표 방향으로 회전하면서 스핀리스 노즐(54)로부터 분사되는 포토레지스트(56)을 화살표 방향으로 흐르게 한다. 여기서, 세정롤러(62)는 도시하지 않은 구동부에 의해 화살표 방향으로 회전을 하게 된다.

포트(66)는 스핀리스 노즐(54)에서 제거된 오염물질에 의해 오염된 세정롤러(62)를 세정하기 위한 세정액(64)이 담겨 있다. 여기서, 세정액(64)은 예를 들어, 시너(Thinner)가 주로 이용된다.

세정액 공급노즐(68)은 포트(66) 내에 담긴 세정액(64)이 일정하게 유지되도록 외부로부터 세정액(64)을 공급하는 역할을 한다.

건조부(70)는 세정된 세정롤러(62)에 잔존하는 세정액(64)을 건조시키기 위해 세정롤러(62)에 열을 가하거나 또는 에어등을 분사하게 된다.

배출부(90)는 세정롤러(62)을 세정하면서 오염된 세정액(64)을 소정의 시간 간격으로 외부로 배출시키는 역할을 한다.

이와 같은 세정장치를 이용하여 스핀리스 노즐(54)을 세정하는 방법을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 오염된 스핀리스 노즐(54)을 덮개부에 형성된 개구부에 안착시킨다. 이 때, 스핀리스 노즐(54)로부터 흘러 나오는 포토레지스트(56)는 세정롤러(62)에 묻게 된다. 이러한 세정롤러(62)는 도시하지 않은 구동부에 의해 소정을 방향으로 회전을 하면서 세정액(64) 속으로 잠기게 된다. 이에 따라, 세정액(64)에 의해 세정롤러(62)에 묻어 있는 포토레지스트(56)는 제거된다. 그 후, 세정롤러(62)는 계속 회전을 하여 세정액(64) 밖으로 나오게 된다. 이러한 세정된 세정롤러(62)에는 세정액(64)이 잔존하므로 건조부(70)로 건조를 시킨다. 이러한 세정과정을 반복한 후 소정시간이 지나면 오염된 세정액(64)은 배출부(90)를 통해 외부로 배출되며 세정액 공급노즐(68)에서 깨끗한 세정액(64)이 공급된다.

한편, 세정롤러(62)가 세정액(64)에 의해 세정이 되더라도 어느 정도의 포토레지스트(56)는 세정롤러(62)에 잔존하게 된다. 이러한 세정롤러(62)에 잔존하는 포토레지스트(56)에 의해 스핀리스 노즐(54)이 오염되는 단점이 있다. 이를 해결하기 위하여 도 4에 도시된 바와 같은 노즐 세정장치가 요구된다.

도 4는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 스핀리스 코팅기를 세정하기 위한 노즐 세정장치를 나타내는 도면이다.

도 4를 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 의한 세정장치는 스핀리스 코팅기(152)의 노즐(154)을 세정하는 세정롤러(162)와, 세정롤러(162)을 세정하기 위한 세정액(164a)이 담긴 포트(166)와, 스핀리스 노즐(154)이 삽입되도록 개구부 를 갖으며 포트(166)을 덮도록 설치되는 덮개부(167)와, 포트(166)에 세정액(164a)을 공급하기 위한 세정액 공급노즐(168)과, 세정롤러(162)을 세정하기 위한 브러쉬(180)와, 세정롤러(162) 상의 세정액(164)을 건조시키기 위한 건조부(170)와, 오염된 세정액(164a)를 외부로 배출시키기 위한 배출부(190)를 구비한다.

세정롤러(162)는 스핀리스 노즐(154)과 직접 접촉하여 스핀리스 노즐(154)에 잔존하는 포토레지스트(156)을 제거하게 된다. 이를 위해 세정롤러(162)는 화살표 방향으로 회전하면서 스핀리스 노즐(154)로부터 분사되는 포토레지스트(156)을 화살표 방향으로 흐르게 한다. 이 때, 세정롤러(162)는 회전중심이 세정액(164a)의 수면 아래에 위치하며 세정액(164a) 속에 대략 2/3 정도 잠겨있게 된다. 여기서, 세정롤러(162)는 도시하지 않은 구동부에 의해 화살표 방향으로 회전을 하게 된다.

포트(166)는 스핀리스 노즐(154)에서 제거된 오염물질에 의해 오염된 세정롤러(162)를 세정하기 위한 세정액(164a)이 담겨 잇다. 여기서, 세정액(164a)은 예를 들어, 시너(Thinner)가 주로 이용된다.

덮개부(167)는 포트(166) 내에 담긴 세정액(164a)이 증발할 때 그 증발된 세정증기(164b)가 외부로 빠져나가는 것을 방지하는 역할을 한다. 이러한 덮개부(167)에 의해 쌓이게 되는 세정증기(164b)는 스핀리스 노즐(154)이 건조가 되지 않게 한다. 이에 따라, 스핀리스 노즐(154)의 입구가 포토레시스트(156)에 의해 막히는 것을 방지할 수 있게 된다.

세정액 공급노즐(168)은 포트(166) 내에 담긴 세정액(164a)이 일정하게 유지되도록 외부로부터 세정액(164a)을 공급하는 역할을 한다.

브러쉬(180)는 세정롤러(162)와 연동하여 세정롤러(162)에 잔존하는 포트레지스트(156)을 세정하는 역할을 한다. 이를 위해 브러쉬(180)는 세정롤러(162)와 인접하게 설치되어 세정롤러(162)의 연동에 의해 세정롤러(180)와 반대 방향으로 회전을 하면서 세정롤러(162)에 잔존하는 포트레지스트(156)를 제거하게 된다. 이에 따라, 세정롤러(162)의 주위에 잔존하는 오염물질을 완전히 제거할 수 있게 된다.

건조부(170)는 세정된 세정롤러(162)에 잔존하는 세정액(164a)을 건조시키기 위해 세정롤러(162)에 열을 가하거나 또는 에어등를 분사하게 된다.

배출부(190)는 세정롤러(162)을 세정하면서 오염된 세정액(164a)을 소정의 시간 간격으로 외부로 배출시키는 역할을 한다.

이와 같은 세정장치를 이용하여 스핀리스 노즐(154)을 세정하는 방법을 도 5에 도시된 흐름도를 참조하여 설명하면 다음과 같다.

먼저, 오염된 스핀리스 노즐(154)을 덮개부에 형성된 개구부에 안착시킨다.(S1) 이 때, 스핀리스 노즐(154)로부터 흘러 나오는 포토레지스트(156)는 세정롤러(162)에 묻게 된다. 이러한 세정롤러(162)는 도시하지 않은 구동부에 의해 소정을 방향으로 회전을 하면서 세정액(164a) 속으로 잠기게 된다.(S2) 이에 따라, 세정액(164a)에 의해 세정롤러(162)에 묻어 있는 포토레지스트(156)는 제거된다. 이 때, 세정롤러(162)가 세정액(164a)에 의해 세정이 되더라도 어느 정도의 포토레지스트(156)는 세정롤러(162)에 잔존하게 된다. 이러한 세정롤러(162)에 잔존하는 포토레지스트(156)을 완전히 제거하기 위하여 세정롤러(162)와의 연동에 의해 회전하는 브러쉬(180)을 이용한다.(S3) 이 때, 브러쉬(180)는 세정롤러(162)와 반대 방향으로 회전을 하게 된다. 이에 따라, 브러쉬(180)에 의해 세정롤러(180)에 잔존하는 오염물질은 대부분 제거된다. 그 후, 세정롤러(162)는 계속 회전을 하여 세정액(164a) 밖으로 나오게 된다. 이러한 세정된 세정롤러(162)에는 세정액(164a)이 잔존하므로 건조부(170)로 건조를 시킨다.(S4) 이러한 세정과정을 반복한 후 소정시간이 지나면 오염된 세정액(164a)은 배출부(190)를 통해 외부로 배출되며 세정액 공급노즐(168)에서 깨끗한 세정액(164a)이 공급된다.

이와 같이 본 발명의 제2 실시예에 의한 세정장치는 오염된 세정롤러(162)를 세정액(164a)에 의해 세정시킬 뿐만 아니라 세정롤러(162)와 인접하게 설치된 브러쉬(180)을 이용하여 세정시킴으로 오염물질을 완전히 제거할 수 있게 된다. 이에 따라, 세정롤러(162)에 의해 스핀리스 노즐(154)이 오염되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에 의한 세정장치는 세정액(164a)이 증발되어 생성된 세정증기(164b)를 이용하여 스핀리스 노즐(154)이 건조하게 되는 것을 방지할 수 있다.

한편, 본 발명에 따른 노즐 세정 장치는 액정표시패널뿐만 아니라 플라즈마 디스플레이 패널, 유기 전계 발광소자 및 전계 방출소자를 포함하는 표시소자에도 적용될 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 세정장치는 세정롤러에 잔존하 는 오염물질을 세정액 및 브러쉬를 이용하여 완전히 제거함으로써 세정롤러에 의해 스핀리스 노즐이 오염되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에 의한 세정장치는 세정액이 증발되어 생성된 세정증기를 이용하여 스핀리스 노즐이 건조하게 되는 것을 방지할 수 있다.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.

Claims

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기판 상에 유기물을 분사하기 위한 노즐;

세정액이 담긴 포트부;

상기 노즐 아래에 형성되어 상기 노즐의 이물을 상기 세정액으로 밀어 넣는 세정롤러;

상기 세정액 내에 잠겨 있는 상태에서 상기 세정롤러에 연동하여 상기 세정롤러의 표면 이물을 제거하는 브러쉬; 및

상기 세정롤러에 잔존하는 상기 세정액을 건조시키기 위한 건조부를 구비하고,

상기 세정액은 시너를 포함하고,

상기 포트부에 담긴 세정액이 증발되어 외부로 나가는 것을 차단하기 위해 상기 포트부를 덮도록 설치되는 덮개부와,

상기 포트부에 상기 세정액을 주입하기 위한 세정액 주입부와,

상기 오염된 세정액을 소정시간 간격으로 외부로 배출시키기 위한 배출부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 노즐 세정장치.
삭제
제 6 항에 있어서,

상기 덮개부는 상기 노즐이 삽입되도록 개구부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 노즐 세정장치.
삭제
제 6 항에 있어서,

상기 세정롤러는 상기 세정액 내에 2/3 정도 잠겨 있는 것을 특징으로 하는 노즐 세정장치.
제 6 항에 있어서,

상기 세정롤러는 회전 중심이 상기 세정액의 수면 아래에 위치하는 것을 특징으로 하는 노즐 세정장치.