JP2656980B2 - ガラス基板洗浄方法 - Google Patents

ガラス基板洗浄方法

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JP2656980B2
JP2656980B2 JP1165623A JP16562389A JP2656980B2 JP 2656980 B2 JP2656980 B2 JP 2656980B2 JP 1165623 A JP1165623 A JP 1165623A JP 16562389 A JP16562389 A JP 16562389A JP 2656980 B2 JP2656980 B2 JP 2656980B2
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光弘 速見
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Description

【発明の詳細な説明】 <産業上の利用分野> 本発明は、ガラス基板洗浄方法に関し、例えばテレ
ビ、パーソナルコンピュータ、ワードプロセッサ等の表
示部に使用する液晶表示素子のガラス基板の洗浄に利用
される。
<従来の技術> 従来、液晶表示素子を構成するにはガラス基板上にI
n2O3よりなる透明電極パターンを設けるためのフォトレ
ジスト膜や液晶を配向させるための配向膜(ポリイミド
膜)など種々の薄膜を形成している。
そして、これらの薄膜加工即ちフォトレジスト膜から
パターン形成のための現像、エッチング及び剥離等の処
理を行い、そして上記処理後の加工、即ち配向膜から液
晶を配向させるためのラビング処理、そして基板の清浄
化等の処理を行うが、その実施に当たっては基板上の汚
れや湿りを洗浄によって除いている。
そこで、上記洗浄には、従来シャワー法、ブラシ法及
び超音波法等が用いられている。
<発明が解決しようとする課題> しかし、上記従来例のうちシャワー法によるものは最
も簡単な反面、洗浄力が十分でなく、特に基板が濡れた
状態になって、その表面に水の被膜ができ、通常の1〜
2[kgf/cm2]のシャワー圧力では確実な洗浄が期待で
きない。
又、ブラシ法によるものではブラシの接触で除去する
ので汚れの除去効果は高いが、その反面、摺擦に弱いレ
ジスト膜や配向膜が形成されたものでは傷付けるので使
用できない。
次に超音波法では物質の振動を利用するものであり、
前者ブラシ法同様に洗浄効果は大きいが、洗浄液中にお
いて実施される手段であるから洗浄液の管理がその成果
を左右することになり、特に洗浄液が汚れていると却っ
てガラス基板を汚損し、又、万一、ガラス基板が作業中
に破損した場合微少破片(カレット)が洗浄液中に混入
し、他の基板に付着して既成被膜と接してピンホールを
生成するおそれがあり、しかも除去不可能なことから洗
浄液の立替えを強いられるなどそれぞれの欠点があっ
た。
そこで、本発明は上記従来例における欠点を除去し、
簡単な手段で確実な洗浄ができる方法を提供するもので
ある。
<課題を解決するための手段> 本発明のガラス基板洗浄方法は、ガラス基板を搬送装
置によって移送させ、ガラス基板の被洗浄面の上方位置
に該ガラス基板から間隔をもって配置された洗浄液シャ
ワーによって前記被洗浄面に洗浄液を噴射する工程と、 前記搬送装置によってガラス基板を更に進行させ、洗
浄液シャワーを通過したガラス基板の進行方向の前方位
置の前記被洗浄面の近傍に配置されたエアーノズルを設
け、該エアーノズルによって前記被洗浄面にエアーを噴
射して前記被洗浄面に付着した水分を吹き飛ばすことに
よりガラス基板を洗浄する工程とを繰り返すことを特徴
とする。
<作用> ガラス基板の被洗浄面の上方位置に該ガラス基板から
間隔をもって配置された洗浄液シャワーから、ガラス基
板の被洗浄面に洗浄液を噴射すると共に、被洗浄面の近
傍に配置されたエアーノズルから、被洗浄面にエアーを
噴射して被洗浄面に付着した水分を吹き飛ばす。すなわ
ち、ガラス基板の被洗浄面に噴射された洗浄液によって
落ちやすくなった汚れを、エアーによって確実に吹き飛
ばすので、汚れを確実に洗浄できる。
<実施例> 以下、本発明について図面に示す実施例により詳細に
説明すると、先ず第1図に示すものは、洗浄槽3内に一
端から他端間に亘って複数の搬送ローラ1,1…を水平に
列設し、しかも該搬送ローラ1,1…は常に一定方向a,a…
に回転し、これに伴って前記洗浄槽3の一端に形成した
進入口3′からガラス基板2を挿入し、矢印bの方向へ
一定速度で移動するようにすると共に、該洗浄槽3内の
上方には該ガラス基板2の進行方向に洗浄液配管4′を
架設し、該配管4′から前記ガラス基板2の走行路に向
かって洗浄液を噴出する複数個のシャワーノズル4を設
けると共に、該ガラス基板2の進路に沿って、該ガラス
基板の直上近傍位置(約5mm)に、前記ガラス基板の幅
方向以上の長さを有するスリット状吹出口のエアーノズ
ル61,61…を対設したものである。
又、第2図は上記と基本的には同じであるがガラス基
板2の下面近傍にも同様のエアーノズル62,62…をガラ
ス基板2の進路に沿って複数個対設したものである。
尚、図中符号5はシャワー洗浄液を示す。
そこで、ガラス基板を洗浄するにはガラス基板2を洗
浄槽3の片方に開口形成した進入口3′から挿入し、搬
送ローラ1,1…によって矢印b方向へ移送せしめられ、
上部のシャワーノズル4からガラス基板2の被洗浄面に
洗浄液を噴射して表面の汚れを洗い落とし、更に進行し
ながらガラス基板2の進路上に配置したエアーノズル
61,61…によりガラス基板2の表面(被洗浄面)に満遍
なく噴射された洗浄液を飛散せしめつつ洗浄槽外に送出
される。尚、第2図ではガラス基板の両面を洗浄する場
合であって、動作は上記と全く同じであるので動作につ
いての説明は省略する。
すなわち、本発明のガラス基板洗浄方法によれば、ガ
ラス基板の被洗浄面に満遍なく噴射された洗浄液によっ
て落ちやすくなった汚れを、エアーによって確実に吹き
飛ばすので、汚れを確実に洗浄できるものである。
そこで、上記手段の成果について、エアー圧力とエア
ーノズルの距離変化に対し、洗浄効果と搬送時の姿勢の
安定性がどのように変化するかを観察した結果を次表に
示した。
上記より明らかなようにエアー圧力2.0[kgf/cm2]、
エアーノズルと基板の距離5[mm]の時が洗浄効果、搬
送時の姿勢の安定性共に良好なことが伺え、その他では
何れかが不良又は、何れとも言えない状態が見られる。
<発明の効果> 本発明のガラス洗浄方法は、ガラス基板の被洗浄面に
満遍なく噴射された洗浄液によって落ちやすくなった汚
れを、エアーによって確実に吹き飛ばすようにしたの
で、ガラス基板の表面に付着した汚れが、洗浄液とエア
ーとの相乗効果によって確実に洗浄できるものである。
そのため、このガラス基板を例えば液晶表示素子に用い
た場合には、液晶表示素子の品質が著しく改善され、不
良発生率が低減する。
又、ブラシなどの使用が許されないフォトレジスト膜
や配向膜が既に設けられたガラス基板についての洗浄も
可能である。
更に、超音波洗浄のような浸漬槽が不要であって、洗
浄液の管理の不備についてガラス基板の2次汚損を生じ
る心配がないなど、本発明特有の効果を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の一実施例の説明に供する洗浄装置の
断面略図、 第2図は、本発明の他の実施例の説明に供する洗浄装置
の断面図である。 1…搬送ローラ、2…ガラス基板 3…洗浄槽、4…シャワーノズル 61,61,62,62…エアーノズル

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ガラス基板を搬送装置によって移送させ、
    ガラス基板の被洗浄面の上方位置に該ガラス基板から間
    隔をもって配置された洗浄液シャワーによって前記被洗
    浄面に洗浄液を噴射する工程と、 前記搬送装置によってガラス基板を更に進行させ、洗浄
    液シャワーを通過したガラス基板の進行方向の前方位置
    の前記被洗浄面の近傍に配置されたエアーノズルを設
    け、該エアーノズルによって前記被洗浄面にエアーを噴
    射して前記被洗浄面に付着した水分を吹き飛ばすことに
    よりガラス基板を洗浄する工程とを繰り返すことを特徴
    とするガラス基板洗浄方法。
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