KR100894647B1 - 세정 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
상기 각도 조절부재는 상기 제1 및 제2 분사유닛의 분사각도를 독립적으로 조정한다.
상기 제1 및 제2 분사유닛의 양측면에 각각 형성되어 상기 제1 및 제2 분사유닛의 양측면을 각각 지지한다.
상기 각도조절부재는 상기 제1 및 제2 분사유닛의 측면에 형성된 돌출부가 삽입되어 상기 제1 및 제2 분사유닛의 분사 각도를 조절할 수 있도록 한 홀들이 형성되는 곡선띠 형태의 각도조절 브라켓과, 상기 각도조절 브라켓의 중앙부에 고정되어 상기 제1 및 제2 분사유닛을 지지하고 고정시키는 고정 브라켓을 구비한다.
상기 제1 및 제2 분사유닛은 상기 세정액을 분사하는 쪽이 점점 가늘어지는 테이퍼(Taper) 형태의 노즐로 제작된다.
Claims (7)
- 챔버와,상기 챔버 내부에 설치되어 기판을 이송시키기 위한 이송부재와,상기 기판의 이송 방향과 반대 방향으로 세정액을 분사하는 제1 분사 유닛과,상기 기판의 이송 방향과 동일한 방향으로 세정액을 분사하는 제 2 분사유닛과,상기 제1 분사유닛이 상기 기판의 이송 방향과 반대 방향을 향하게 고정하고, 상기 제2 분사유닛이 상기 기판의 이송 방향과 동일한 방향을 향하게 고정하는 각도조절부재와,상기 제1 및 제2 분사유닛에 세정액을 공급하기 위한 세정액 공급기를 구비하고,상기 각도 조절부재는 상기 제1 및 제2 분사유닛의 분사각도를 독립적으로 조정하고, 상기 제1 및 제2 분사유닛의 양측면에 각각 형성되어 상기 제1 및 제2 분사유닛의 양측면을 각각 지지하며,상기 각도조절부재는 상기 제1 및 제2 분사유닛의 측면에 형성된 돌출부가 삽입되어 상기 제1 및 제2 분사유닛의 분사 각도를 조절할 수 있도록 한 홀들이 형성되는 곡선띠 형태의 각도조절 브라켓과, 상기 각도조절 브라켓의 중앙부에 고정되어 상기 제1 및 제2 분사유닛을 지지하고 고정시키는 고정 브라켓을 구비하고,상기 제1 및 제2 분사유닛은 상기 세정액을 분사하는 쪽이 점점 가늘어지는 테이퍼(Taper) 형태의 노즐로 제작되는 것을 특징으로 하는 세정장치.
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- 제 1 항에 있어서,상기 세정액은 초순수(De-ionized Water; DI)인 것을 특징으로 하는 세정장치.
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