KR100670571B1 - 액정표시장치용 기판 세척장치 - Google Patents
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Abstract
Description
상기 이중롤러장치는 다수로 구성되며, 상기 롤러부러쉬는 상기 이중롤러장치의 사이에 위치하는 것을 특징으로 한다.
Claims (7)
- 기판의 세정장치로서,상기 기판을 수평방향으로 이송하는 이송부와;상기 이송부에 의해 이송되는 상기 기판의 저면과 접촉하면서 상기 기판의 이송방향으로 회전하는 롤러브러쉬와;상기 이송부의 상부에 위치하여 상기 기판에 세정액을 분사하는 세정액 분사장치와;상기 세정액 분사장치에서 분사된 상기 세정액을 상기 롤러브러쉬로 안내하는 가이드를 포함하는 기판의 세정장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 이송부는 상부 및 하부로 상기 기판의 두께만큼 서로 이격되어 평행하게 배치되고, 상기 기판의 이송방향으로 각각 회전하는 상부롤러와 하부롤러로 구성되는 이중롤러장치를 가지고 있는 기판의 세정장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 이중롤러장치는 다수로 구성되며, 상기 롤러부러쉬는 상기 이중롤러장치의 사이에 위치하는 기판의 세정장치.
- 제 1 항 또는 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 가이드는 플레이트형상인 기판의 세정장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 가이드는 상기 롤러브러쉬의 하부에서 상기 이중롤러장치까지 경사지게 구성되는 기판의 세정장치.
- 제 5 항에 있어서,상기 가이드의 상기 기판의 하부에 위치하며, 상기 세정액 분사장치는 상기 가이드의 상부에 위치하는 기판의 세정장치.
- 제 6 항에 있어서,상기 가이드의 너비는 상기 롤러부러쉬의 길이와 같거나 또는 큰 기판의 세정장치.
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KR1020000024968A KR100670571B1 (ko) | 2000-05-10 | 2000-05-10 | 액정표시장치용 기판 세척장치 |
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KR1020000024968A KR100670571B1 (ko) | 2000-05-10 | 2000-05-10 | 액정표시장치용 기판 세척장치 |
Publications (2)
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Family
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KR1020000024968A KR100670571B1 (ko) | 2000-05-10 | 2000-05-10 | 액정표시장치용 기판 세척장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
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KR (1) | KR100670571B1 (ko) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR960024542A (ko) * | 1994-12-31 | 1996-07-20 | 엄길용 | 기판 세척 방법 |
-
2000
- 2000-05-10 KR KR1020000024968A patent/KR100670571B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR960024542A (ko) * | 1994-12-31 | 1996-07-20 | 엄길용 | 기판 세척 방법 |
Also Published As
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KR20010103428A (ko) | 2001-11-23 |
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