KR20030004511A

KR20030004511A - 엘시디 제조용 포토레지스트 제거장비의 에어커튼 발생장치

Info

Publication number: KR20030004511A
Application number: KR1020010040014A
Authority: KR
Inventors: 오세철; 나진원
Original assignee: 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date: 2001-07-05
Filing date: 2001-07-05
Publication date: 2003-01-15

Abstract

본 발명 엘시디 제조용 포토레지스트 제거장비의 에어커튼 발생장치는 제3박리실(7)과 린스실(8)의 출구부 내,외측에 배치되며 공기를 분사하기 위한 분사헤드(21)와, 그 분사헤드(21)에 공기를 공급하는 공기공급관(22)으로 구성되어 있는 통상의 에어커튼 발생장치에서, 상기 분사헤드(21)의 내부에 배치되며 다수개의 노즐공(102a)이 형성되어 있는 노즐관(102)과, 그 노즐관(102)에 케미컬을 공급하기 위한 케미컬공급관(103)을 포함하여 구성되어, 작업실의 통로에 에어커튼을 형성하여 케미컬의 혼입을 방지함과 아울러 통로를 지나는 기판(1)의 상면에 케미컬을 분사하여 케미컬의 급속응고로 인한 이물발생을 방지하게 된다.

Description

엘시디 제조용 포토레지스트 제거장비의 에어커튼 발생장치{AIR CURTAIN APPARATUS FOR P/R STRIP SYSTEM}

본 발명은 엘시디 제조용 포토레지스트 제거장비의 에어커튼 발생장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 공기를 분사하여 에어커튼을 형성함으로써 인접한 다른 작업실로 케미컬이 혼입되는 것을 방지하고, 그와 같이 분사되는 공기와 함께 케미컬을 분사하여 케미컬이 기판의 상면에서 응고되는 것이 방지되도록 하는데 적합한 엘시디 제조용 포토레지스트 제거장비의 에어커튼 발생장치에 관한 것이다.

티에프티 엘시디(TFT-LCD)는 상판 또는 하판의 어느 한 쪽에 반드시 다수개의 TFT가 형성되어 있으며, 그와 같은 형성되어 있는 TFT는 기본적으로 게이트 전극, 액티브층, 소오스 전극과 드레인 전극 등을 구비한다.

상기의 전극들과 액티브층은 CVD 또는 스퍼터링 증착에 의하여 기판 상면에 박막으로 증착된 후, 포토공정(PHOTO), 식각공정(ETCHING) 및 스트립공정(STRIP PROCESS)을 순차적으로 진행하여 일정 크기로 패터닝된다.

상기와 같은 패터닝작업시의 스트립공정은 기판의 상면에 잔류하는 포토레지스트를 제거하기 위하여 실시하는 공정으로 도 1에 도시된 포토레지스트 제거장치를 참고로 간단히 설명하면 다음과 같다.

도 1내지 도 3에 도시된 바와 같이, 종래의 포토레지스트 제거장치는 작업대기하는 기판(1)들이 수납된 카세트(2)와 작업이 완료된 기판(1')들이 수납되어 있는 카세트(2')가 놓여지는 로딩/언로딩부(3)의 일측에 기판(1)(1')를 로딩/언로딩하기 위한 로딩/언로딩용 로봇(4)이 설치되어 있다.

그리고, 그 로딩/언로딩용 로봇(4)이 설치된 전방 일측에는 컨베이어 롤러(미도시)상에서 이송되는 기판(1)에 스트립용액을 약하게 분사하는 제1/제2 박리실(5)(6)과, 강하게 분사하는 제3박리실(7) 및 알콜을 분사하여 스트립용액을 씻어내기 위한 린스실(8)이 기판(1)이 이송할 수 있도록 연통되게 차례로 배치되어 있다.

또한, 상기 로딩/언로딩용 로봇(4)이 설치된 전방 타측에는 린스액 또는 미제거된 스트립용액을 순수로 씻어내기 위한 제1/2샤워실(9)(10)과, 순수가 묻은 기판(1)을 건조하기 위한 건조실(11)이 차례로 배치되어 있다.

한편, 제3박리실(7)과 린스실(8)의 출구부 내,외측에는 각각 케미컬들이 혼입되지 않도록 에어커튼 발생장치(20)가 설치되어 있는데, 이와 같은 에어커튼 발생장치(20)는 도 2와 도 3에 도시된 바와 같이, 공기를 분사하는 공기분사헤드(21)와, 그 공기분사헤드(21)에 공기를 공급하기 위한 공기공급관(22)으로 구성되어 있다.

도면중 미설명 부호 23,24,25,26은 기판을 이송하는 기판이송로봇이다.

상기와 같이 구성되어 있는 종래 포토레지스트 제거장치는 식각작업이 완료된 기판(1)들이 20장씩 카세트(2)에 수납되어 로딩/언로딩부(3)로 이동되면, 로딩/언로딩 로봇(4)에 의하여 1장씩 인출되어 컨베이어 롤러의 상측으로 이송되고, 그 이송된 기판(1)은 컨베이어 롤러에 의하여 이송되며 제1/제2/제3박리실(5)(6)(7)을 지나며 기판(1)의 상면에 분사되는 스트립용액에 의하여 잔류하는 포토레지스트의제거가 이루어진 후, 린스실(8)로 이송되어 분사되는 알콜에 의하여 린스가 이루어진다.

상기와 같이 린스된 기판(1)은 기판이송로봇(23)(24)과 컨베이어 롤러들에 의하여 반대쪽으로 이송된 후, 다시 제1/2샤워실(9)(10)을 통과하며 분사되는 순수에 의하여 케미컬들이 씻겨지고, 마지막으로 로봇(25)에 의하여 건조실(11)로 이송되어 건조가 된 다음, 언로딩되어 진다.

또한, 제3박리실(7)과 린스실(8)의 출구측에 설치된 에어커튼 발생장치(20)에서는 도 4에서와 같이, 공기공급관(22)을 통하여 공급된 공기가 공기분사헤드(21)에서 수직방향으로 분사되며 에어 커튼(30)이 형성되어 지므로, 인접한 작업실간에 케미컬들의 혼입이 차단되어 진다.

그러나, 상기와 같이 구성되어 있는 종래 포토레지스트 제거장치는 에어커튼 발생장치(20)에서 분사되는 공기에 의하여 그 에어커튼 발생장치(20)의 하측을 지나는 기판(1)의 상면에 존재하는 케미컬들이 급속히 응고되고, 그와 같이 응고된 케미컬들이 후공정인 린스작업이나 샤워작업에서 제거되지 못하고 고착이 되어 패턴불량을 발생시키는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안하여 안출한 본 발명의 목적은 에어커튼 발생장치에서 공기를 분사함과 아울러 케미컬을 분사하도록 하여 기판에 존재하는 케미컬들의 급속한 응고에 의한 이물발생을 방지하도록 하는데 적합한 엘시디 제조용 포토레지스트 제거장비의 에어커튼 발생장치를 제공함에 있다.

도 1은 종래 엘시디 제조용 포토레지스트 제거장치를 개략적으로 보인 횡단면도.

도 2는 종래 에어커튼 발생장치의 구조를 보인 사시도.

도 3은 도 2의 A-A'를 절취하여 보인 단면도.

도 4는 종래 에어커튼이 발생되는 상태를 보인 단면도.

도 5는 본 발명에 따른 에어커튼 발생장치의 사시도.

도 6은 도 4의 B-B'를 절취하여 보인 단면도.

도 7은 본 발명에 따른 에어커튼 발생장치의 작용을 보인 단면도.

** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **

5 : 제1박리실 6 : 제2박리실

7 : 제3박리실 8 : 린스실

9 : 제1샤워실 10 : 제2샤워실

11 : 건조실 20 : 에어커튼 발생장치

21 : 분사헤드 21a : 유체공급로

21a' : 출구부 22 : 공기공급관

100 : 케미컬분사수단 101 : 케미컬

102 : 노즐관 102a : 노즐공

103 : 케미컬공급관

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 일측에 제1/제2/제3/박리실과 린스실이 차례로 배치되어 있고, 타측에 제1/제2샤워실과 건조실이 차례로 배치되어 있으며, 상기 제3박리실과 린스실의 출구부 내외측에 각각 에어커튼 발생장치가 설치되어 있는 통상의 엘시디 제조용 포토레지스트 제거장비에 있어서, 상기 에어커튼 발생장치는 공기를 분사하기 위한 분사헤드와, 그 분사헤드에 공기를 공급하는 공기공급관 및 상기 분사헤드에 결합되어 케미컬을 분사하기 위한 케미컬분사수단을 구비하여서 구성되는 것을 특징으로 하는 엘시디 제조용 포토레지스트 제거장비의 에어커튼 발생장치가 제공된다.

상기와 같이 구성되어 있는 본 발명에서 카세트에 수납되어 있는 기판을 로딩/언로딩용 로봇에서 1장씩 인출하여 컨베이어 롤러에 얹어 놓으면 기판이 컨베이어 롤러의 상면을 따라 제1/제2/제3박리실을 지나며 분사되는 스트립용액에 의하여 기판에 존재하는 잔류 포토레지스트들의 제거가 이루어지고, 린스실로 이송되어 분사되는 알콜에 의하여 스트립용액이 제거되어지며, 반대쪽으로 이송된 기판이 제1/제2샤워실 지나며 순수에 의하여 알콜이 제거되고 건조실로 이송되어 건조가 이루어진다.

그리고, 상기 제3박리실과 린스실의 출구측에 설치된 에어커튼 발생장치에서는 공기공급관을 통하여 분사헤드로 공급된 공기가 분사되며 에어커튼이 형성되는데, 이때 공기와 함께 케미컬공급수단에 의하여 케미컬이 동시에 분사되므로 에어커튼 발생장치의 하측을 지나는 기판의 상면에 공기와 함께 케미컬이 분사되어지면서 에어커튼에 의한 기판상에 존재하는 케미컬의 급속응고가 방지되어진다.

이하, 상기와 같은 본 발명 엘시디 제조용 포토레지스트 제거장비의 에어커튼 발생장치를 첨부된 도면의 실시예를 참고하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 5는 본 발명에 따른 에어커튼 발생장치의 사시도이고, 도 6은 도 4의 B-B'를 절취하여 보인 단면도이며, 종래와 동일한 부분에 대하여는 종래 도면을 참조하여 설명한다.

포토레지스트 제거장비는 도 1에서와 같이, 다수개의 기판(1)들이 수납된 카세트(2)가 장착되는 로딩/언로딩부(3)의 일측에 로딩/언로딩용 로봇(4)이 설치되어 있고, 그 로딩/언로딩용 로봇(4)이 설치된 전방 일측에는 컨베이어 롤러(미도시)상에서 이송되는 기판(1)에 스트립용액을 분사하여 잔류 포토레지스트를 제거하기 위한 제1/제2/제3 박리실(5)(6)(7) 및 알콜을 분사하여 스트립용액을 씻어내기 위한 린스실(8)이 차례로 배치되어 있으며, 그 반대쪽에는 린스액 또는 미제거된 스트립용액을 순수로 씻어내기 위한 제1/2샤워실(9)(10)과, 순수가 묻은 기판(1)을 건조하기 위한 건조실(11)이 차례로 배치되어 있다.

그리고, 상기 제3박리실(7)과 린스실(8)의 출구부 내외측에는 에어커튼 발생장치(20)가 설치되어 있는데, 그 에어커튼 발생장치(20)는 도 4와 도 5에서와 같이, 공기를 공급하는 공기공급관(22)과, 그 공급공급관(22)으로 공급된 공기를 분사하여 에어커튼(30)을 형성할 수 있도록 가로방향으로 배치되는 분사헤드(21)와, 그 분사헤드(21)에 결합되어 케미컬(101)을 분사하기 위한 케미컬공급수단(100)로구성되어 있다.

상기 케미컬공급수단(100)은 상기 분사헤드(21)의 내부에 배치되며 다수개의 노즐공(102a)이 등간격으로 형성되어 있는 노즐관(102)과, 그 노즐관(102)에 케미컬(101)을 공급할 수 있도록 결합되어 있는 케미컬공급관(103)으로 구성되어 있다.

상기 분사헤드(21)의 내부에 형성되는 유체공급로(21a)는 분사되는 공기와 케미컬이 내측방향으로 분사되도록 출구부(21a')가 각 작업실의 내측방향으로 경사지게 형성되어 있다.

상기와 같이 구성되어 있는 본 발명 에어커튼 발생장치가 설치된 엘시디 제조용 포토레지스트 제거장비는 식각을 마친 20장의 기판(1)이 카세트(2)에 수납되어 로딩/언로딩부(3)에 장착되면, 로딩/언로딩용 로봇(4)에서 카세트(2)에 수납된 기판(1)을 1장씩 인출하여 컨베이어 롤러(미도시)에 얹어 놓고, 그와 같이 놓인 기판(1)이 컨베이어 롤러(미도시)의 상면을 따라 제1/제2/제3박리실(5)(6)(7)을 지나며 분사되는 스트립용액에 의하여 잔류하는 포토레지스트의 제거가 이루어지고, 연속적으로 린스실(8)로 이송되어 분사되는 알콜에 의하여 린스가 이루어지며, 반대쪽으로 이송된 기판(1)이 제1/제2샤워실(9)(10)을 지나며 순수에 의하여 알콜이 제거되고 건조실(11)로 이송되어 건조가 이루어져서 로딩/언로딩용 로봇(4)에 의하여 다시 비어있는 카세트(2')에 담겨지게 된다.

그리고, 기판(1)이 제3박리실(7)과 린스실(8)의 출구부를 지날때는 에어커튼 발생장치(20)의 공기공급관(22)을 통하여 분사헤드(21)로 공급된 공기가 분사헤드(21)에서 분사되며 에어커튼(30)이 형성되어서 서로 다른 작업실에서 사용되는 케미컬들의 혼입을 차단하게 되며, 이와 동시에 케미컬공급관(103)을 통하여 노즐관(102)으로 공급된 케미컬(101)도 다수개의 노즐공(102a)을 통하여 하측으로 지나는 기판(1)의 상면에 분사되어지므로 에어커튼(30)에 의하여 기판(1)에 존재하는 케미컬(101)의 급속응고를 방지하게 된다.

또한, 상기와 같이 노즐관(102)들에 형성된 노즐공(102a)들을 통하여 분사되는 케미컬(101)은 분사헤드(21)의 내부에 내측방향으로 경사지게 형성된 유체공급로(21a)의 출구부(21a')를 통하여 내측방향으로 분사되므로 분사되는 케미컬(101)이 타작업실로 혼입되는 것이 방지되어진다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명 엘시디 제조용 포토레지스트 제거장비의 에어커튼 발생장치는 분사헤드의 내측에 다수개의 노즐공이 형성된 노즐관을 설치하고, 그 노즐관에 케미컬공급관을 연결설치하여, 분사헤드에서 공기를 분사함과 아울러 동시에 케미컬이 분사되어지도록 함으로써, 각 작업실을 지나는 기판의 상면에 에어커튼에 의하여 케미컬이 응고되는 것을 방지하게 된다.

Claims

일측에 제1/제2/제3/박리실과 린스실이 차례로 배치되어 있고, 타측에 제1/제2샤워실과 건조실이 차례로 배치되어 있으며, 상기 제3박리실과 린스실의 출구부 내,외측에 각각 에어커튼 발생장치가 설치되어 있는 통상의 엘시디 제조용 포토레지스트 제거장비에 있어서, 상기 에어커튼 발생장치는 공기를 분사하기 위한 분사헤드와, 그 분사헤드에 공기를 공급하는 공기공급관 및 상기 분사헤드에 결합되어 케미컬을 분사하기 위한 케미컬분사수단을 구비하여서 구성되는 것을 특징으로 하는 엘시디 제조용 포토레지스트 제거장비의 에어커튼 발생장치.
제 1항에 있어서, 상기 분사헤드는 작업실의 통로에 가로방향으로 배치되는 것을 특징으로 하는 엘시디 제조용 포토레지스트 제거장비의 에어커튼 발생장치.
제 1항에 있어서, 상기 케미컬공급수단은 상기 분사헤드의 내부에 배치되며 다수개의 노즐공이 등간격으로 형성되어 있는 노즐관과, 그 노즐관에 케미컬을 공급할 수 있도록 결합되어 있는 케미컬공급관으로 구성되는 것을 특징으로 하는 엘시디 제조용 포토레지스트 제거장비의 에어커튼 발생장치.
제 1항 내지 제3항중 어느 한항에 있어서, 상기 분사헤드의 내부에 형성되는 유체공급로는 분사되는 공기와 케미컬이 내측방향으로 분사되도록 출구부가 각 작업실의 내측방향으로 경사지게 형성되는 것을 특징으로 하는 엘시디 제조용 포토레지스트 제거장비의 에어커튼 발생장치.