KR930008142B1 - 기판 현상장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

기판 현상장치

제 1 도는 종래 기판 현상장치를 도시한 측단면도.

제 2 도는 종래 기판 현상장치의 다른 실시예를 도시한 입단면도.

제 3 도는 본 발명에 따른 기판 현상장치를 개략적으로 도시한 입단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

31 : 하우징 31a : 슈트(Chute)

32 : 현상액 탱크 33 : 필터

34,36,36' : 컨베이어 35 : 펌프

37,37' : 공압노즐

본 발명은 기판 현상장치에 관한 것으로서, 특히, 반도체소자 및 평판표시소자등의 기판을 현상하기 위한 장치에 관한 것이다.

통상적으로 반도체소자등의 제조방법에 있어서, 정열 및 노광후의 마스크패턴은 기판상에 도포된 감광막에 고분자화된 곳과 안된 곳으로 옮겨지게 된다. 이와같이 마스크패턴이 감광막에 옮겨지면 고분자화되지 않은 곳을 제거하기 위하여 현상공정을 수행하게 되는데, 이때에 상기 감광막을 현상시키기 위한 종래의 현상장치에는 배스타입(Bath type)과 스핀타입(Spin type)이 있다.

상기 배스타입은 제 1 도에 나타내 보인 바와같이 현상액이 담긴 복수개의 현상수조(2)와 린스(Rinse)수조(3)가 순차적으로 배열 설치되어 있으며 그 상부에는 로보트아암(4) 또는 메니퓰레이터가 설치되어 있다. 이와같이 구성된 현상장치로서 웨이퍼, 즉 기판(40)을 현상하기 위해서는 복수개의 기판(40)을 카세트(5)에 담고 이를 상기 로보트아암(4)에 의해 상기 현상수조(2)와 린스수조(3)에 순차적으로 담근후 건조시켜 왔다. 그러나 이와같은 현상장치(1)는 상기 현상액의 표면장력과 기판의 비활성 때문에 작은 크기를 현상하기가 매우 어렵다. 또한 기판(40)으로부터 부분적으로 용해된 감광막에 의해 현상액의 농도, 온도등이 균일하지 않아 현상액을 자주 교환하여야 하므로 현상액의 소모가 심한 문제점이 있었다.

그리고 상기 스핀타입은 제 2 도에 나타내 보인 바와같이 회전모우터(21)에 의해 회전되는 진공척(22)과, 상기 진공척(22)의 상부에 현상액을 분사하는 제 1 노즐(23)과 린스액을 분사하는 제 2 노즐(24)을 구비하여 구성된다. 이와같은 스핀타입의 현상장치(20)는 상기 진공척(22)에 기판(40)을 장착한 후 이를 상기 회전모우터(21)에 의해 회전시킴과 동시에 상기 제 1 노즐(23)로부터 현상액을 분사하여 상기 기판(40)을 현상한다. 그리고 상기 제 2 노즐(24)로부터 린스액을 분사하여 기판(40)을 세정한다.

이와같은 현상장치(20)는 상기 기판(40)이 항상 새현상액에 노출되기 때문에 기판(40)의 오염을 방지할수 있을 뿐만아니라 기판(40)에 균일한 패턴을 현상할 수 있으나 상기 기판(40)의 현상이 완료될 때까지 회전시켜 주어야 하므로 단위 기판의 현상기간이 매우 길어 생산성의 향상을 도모할 수 없는 문제점이 있었다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 현상액의 소모를 최소화할 수 있으며 생산성을 향상시킬 수 있는 기판 현상장치를 제공함에 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 기판 현상장치에 있어서, 슈트를 구비한 대략 호퍼형상의 하우징과, 상기 하우징의 내부에 설치되는 기판이송수단과, 상기 하우징의 슈트와 연결된 형상액 탱크와, 상기 현상액 탱크의 현상액을 상기 기판이송수단의 상면으로부터 소정의 높이로 공급하는 현상액 펌핑수단과, 상기 슈트의 현상액 탱크 사이에 설치되며 상기 하우징으로부터 회수되는 현상액을 여과하는 여과수단과, 상기 기판이송수단의 양특에 설치되어 이송되는 기판을 세정 및 건조하는 세정수단을 구비하여 된 것을 그 특징으로 한다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 한 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.

제 3 도에는 본 발명에 따른 기판 현상장치(30)가 도시되어 있는바 이는 대략 호퍼현상의 하우징(31) 하부에 슈트(Chute ; 31a)가 설치되고 상기 슈트(31a)는 현상액이 담긴 현상액 탱크(32)와 연결 설치된다. 이때에 상기 슈트(31a)와 현상액 탱크(32) 사이에는 여과수단인 필터(33)가 설치되어 후술하는 현상액 펌핑 수단에 의해 기판이송수단에 공급되어 귀환되는 현상액을 여과하게 된다. 상기 하우징(31)의 상부에는 기판이송수단이 설치되는데, 그 상면이 상기 하우징(31)의 상단부와 대략 동일한 높이로 설치된다. 이때에 상기 기판이송수단은 컨베이어(34)를 설치함이 바람직하다. 그리고 상기 기판이송수단의 컨베이어(34)에는 상기 현상액 탱크(32)의 현상액을 상기 컨베이어(34)의 상면으로부터 소정의 높이로 분사하는 현상액 펌핑수단이 설치된다. 상기 현상액 펌핑수단은 상기 현상액 탱크(32)의 현상액을 펌핑하는 펌프(35)와, 상기 펌프(35)의 송출구와 연결되며 상기 컨베이어(34)의 하부에 설치되는 복수개의 노즐(35a)을 구비하여 구성되는데, 상기노즐(35a)은 상기 컨베이어(34)의 상면으로부터 현상액을 소정의 높이로 분사할 수 있도록 병렬로 설치된 것이다. 여기에서 상기 현상액을 상기 컨베이어(34)의 상방으로 소정 높이 오버플로우되도록 하기 위해서는 도면에는 도시되어 있지 않으나 상기 컨베이어가 삽입되어 잠기는 현상액조를 설치하고 상기 펌프(35)로부터 현상액조에 현상액을 공급하여 현상액이 현상액조에 채워져 넘치도록 하여도 무방하다.

그리고 상기 하우징(31)의 양측에는 상기 기판이송수단인 컨베이어(34)와 접속되는 세정수단이 설치되는데, 이 는 기판(40)을 이송시키는 컨베이어(36)(36')의 상하부측에 고압의 공기를 분사하는 공압노즐(37)(37')을 복수개 설치하여 된 것이다. 이때에 상기 컨베이어(36)(36')는 도면에는 도시되어 있지 않으나 상기 노즐(37)(37')로부터 분사된 공기가 상하부로부터 각각 통과될 수 있도록 되어 있다. 미설명부호39는 기판이 적층되는 카세트이다.

이와같이 구성된 본 발명에 따른 기판 현상장치의 작용을 설명하면 다음과 같다.

기판(40)을 현상하기 위해서는 먼저 현상액 탱크(32)로부터의 기판이 송수단인 컨베이어(34)의 상부로 현상액을 펌프(35)에 의해 펌핑시킨다. 그리고 카세트(39)에 담긴 기판(40)을 한 장씩 상기 세정수단의 컨베이어(36)에 이송시키게 되면 상기 공압노즐(37)로부터 분사되는 고압의 공기에 의해 1차적으로 상기 기판(40)이 세정되고 세정이 완료된 기판(40)은 상기 기판이송수단인 컨베이어(34) 즉, 현상액 공급단인 노즐(35a)에 의해 현상액이 그 상면으로부터 기판의 높이보다 높게 오버플로우되도록 분사되고 있는 컨베이어(34)로 기판(40)이 이동되게 된다. 이때에 상기 기판(40)은 상기 컨베이어(34)에 의해 그 상부로 분사되는 현상액을 통과하면서 연속적으로 현상된다. 여기에서 상기 현상액은 상기 기판이송수단인 컨베이어(34)의 상면으로부터 기판(40)의 높이보다 높게 오버플로우되어 기판(40)을 현상시킨후 하우징(31)의 슈트(31a)에 설치된 필터(33)에 의해 여과된후 현상액 탱크(32)로 귀환된다. 이와같이 현상이 완료된 기판(40)은 기판이송 수단의 배출측에 설치된 세정수단의 컨베이어(36')로 이동되어 그 상하부에 설치된 공압노즐(37')로부터 분사되는 고압의 공기에 의해 기판(40) 표면의 현상액을 전부 제거하게 되고 카세트(39)에 적층됨으로써 기판의 현상이 완료되게 된다.

이와같이 본 발명 기판 현상장치는 기판을 연속적으로 이동시키면서 세정할 수 있으므로 생산성을 향상시킬 수 있으며 기판의 이송속도, 용액의 공급량등을 조절하여 용액의 소모를 대폭 줄일 수 있다. 특히, 세정 수단에 의해 기판표면에 현상액을 깨끗하게 제거할 수 있으므로 기판을 린스(Rinse)할 필요가 없는 이점이 있다.

Claims (1)

1. 슈트(31a)를 구비한 대략 호퍼형상의 하우징(31)과 ; 상기 하우징(31)의 상부에 설치되는 기판이송수단과 ; 상기 하우징(31)의 슈트(31a)와 연결된 현상액 탱크(32)와 ; 상기 현상액 탱크(32)의 현상액을 상기 기판이송수단의 상면으로부터 소정높이로 공급하는 현상액 펌핑수단과 ; 상기 슈트(31a)와 현상액 탱크(32) 사이에 설치되며 상기 하우징(31)으로부터 회수되는 현상액을 여과하는 여과수단과 ; 상기 기판이송수단의 양측에 설치되어 이동되는 기판을 세정 및 건조시키는 세정수단을 구비하여 된 것을 특징으로 하는 기판 현상장치.

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