KR100877798B1

KR100877798B1 - 예비 약액처리수단을 구비한 슬릿코터

Info

Publication number: KR100877798B1
Application number: KR1020070106294A
Authority: KR
Inventors: 강진구; 오상택
Original assignee: 주식회사 디엠에스
Priority date: 2007-10-22
Filing date: 2007-10-22
Publication date: 2009-01-12
Also published as: TWI362972B; CN101419405B; CN101419405A; TW200918180A

Abstract

예비 약액처리수단이 구비된 슬릿코터가 개시된다. 그러한 슬릿코터는 작업대와, 상기 작업대에서 기판을 이송하기 위한 이송부와, 상하 이동 가능하도록 상기 작업대 일측에 구비되고, 그 내부에는 약액을 채우기 위한 챔버가 형성된 슬릿노즐과, 상기 슬릿노즐로부터 토출된 약액이 도포되는 프라이밍 롤러를 구비하고, 상기 프라이밍 로러의 외주면을 따라 인접위치에 유로를 형성하며, 상기 유로를 통하여 세정액 혹은 공기를 주입하여 상기 프라이밍 롤러상에 접촉시킴으로써 상기 프라이밍 롤러의 외주면에 잔류하는 약액을 제거하고 건조시키는 예비 약액처리수단과, 그리고 상기 작업대상에 이동가능하게 장착되어 상기 예비 약액처리수단을 이동시킬 수 있는 이동수단을 포함한다.

슬릿, 코터, 약액, 예비, 토출, 건조, 린스, 세정, 솔벤트

Description

예비 약액처리수단을 구비한 슬릿코터{SLIT COATER}

본 발명은 슬릿코터의 예비 약액처리수단에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 그 구조를 개선하여 슬릿코터의 노즐립으로부터 분사된 약액이 잔류하는 프라이밍 롤러상에 세정액을 분사하고 건조하는 기능을 모듈화함으로써 간단한 구조에 의하여 약액을 용이하게 제거할 수 있는 슬릿코터의 예비 약액처리수단에 관한 것이다.

일반적으로, 평판표시소자용 기판의 기능성 박막들은 기판 제조시 통상의 포토리소그라피(photolithography) 작업을 거치면서 소정의 패턴을 가지도록 형성된다.

상기 포토리소그라피 작업은, 기판의 박막 위에 일정 두께로 감광액(포토레지스트)을 도포한 다음, 감광층을 노광 및 현상하고 에칭하는 일련의 공정들을 진행하면서 상기 기판의 박막이 소정의 회로 패턴을 가지도록 패터닝하는 것이다.

이러한 포토리소그라피 작업은 특히 도포 공정에서 기판의 박막 위에 일정 두께로 균일하게 감광층을 형성하는 것이 중요하다. 예를들어, 감광층이 두께가 기준치보다 두껍거나 얇으면 식각이 불균일하게 형성될 수 있기 때문이다.

이와 같이 기판측에 감광액을 도포하는 작업은 스핀코터(spin coater)를 이 용한 스핀 코팅방식과, 슬릿코터(slit coater)를 이용한 스핀레스 코팅방식이 알려져 있다.

상기 두 가지의 코팅방식 중에서 상기 스핀 코팅방식은 작업 여건(회전 속도 및 용제 증발)에 따라 표면이 불규칙(예:물결무늬)하게 형성되므로 근래에는 슬릿 코터를 이용한 스핀레스 코팅방식이 주로 이용된다.

상기 스핀레스 코팅방식은, 슬릿코터의 슬릿노즐로 감광액을 도포하면서 기판의 박막 위에 일정 두께로 포토리소그라피용 감광층(또는 포토레지스트층)을 형성하는 것이다.

그리고, 이러한 스핀레스 코팅방식에 있어서, 슬릿코터에 의하여 기판의 표면에 약액을 분사하는 경우, 도포작업과 도포작업 사이의 대기시간에 노즐의 토출구는 공기와의 접촉으로 약액의 농도가 증가할 수 있다. 이와 같은 상태로 다음 도포작업을 진행하는 경우, 고농도화된 약액에 의해 세로줄이 발생하거나 막이 끊어지는 현상이 발생한다.

따라서, 이러한 현상을 방지하기 위하여 예비 약액처리수단을 설치한다. 이러한 예비 약액처리수단은 통상적으로 세정액이 저장되는 세정조와, 이 세정조 내부에 구비되어 노즐의 토출구로부터 약액이 분사되는 프라이밍 롤러와, 프라이밍 롤러의 표면에 신액을 분사하는 샤워노즐과, 순환액을 분출하는 순환액 샤워노즐과, 건조가스를 분사하는 가스분사노즐과, 프라이밍 로러의 표면에 잔류하는 약액을 제거하는 스퀴즈를 포함한다.

이러한 구조를 갖는 예비 약액처리수단은 프라이밍 롤러가 회전하는 경우, 솔벤트 분사, 솔벤트 샤워, 솔벤트 린스, 롤러 건조의 순서로 공정이 진행될 수 있다

그러나, 이러한 종래의 예비 약액처리수단은 상기한 바와 같은 솔벤트 분사, 샤워, 린스, 건조를 실시하는 각 유닛이 각각 배치됨으로써 그 구조가 복잡하여 오작동의 발생 빈도가 높아지는 문제점이 있다.

또한, 예비 약액처리수단의 구조가 복잡해지므로 프라이밍 롤러에 대한 세정효율도 저하되는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로서, 본 발명의 목적은 솔벤트의 분사와 건조기능을 모듈화함으로써 간단한 구조에 의하여 세정효율을 높일 수 있는 예비 약액처리수단을 구비한 슬릿코터를 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 목적은, 프라이밍 롤러의 주변에 유로를 형성하고, 이 유로에 세정액 혹은 공기를 통과시킴으로써 프라이밍 롤러에 도포된 약액을 용이하게 제거할 수 있는 예비 약액처리수단을 구비한 슬릿코터를 제공하는데 있다.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 바람직한 실시예는 작업대; 상기 작업대에서 기판을 이송하기 위한 이송부; 상하 이동 가능하도록 상기 작업대 일측에 구비되고, 그 내부에는 약액을 채우기 위한 챔버가 형성된 슬릿노 즐; 상기 슬릿노즐로부터 토출된 약액이 도포되는 프라이밍 롤러를 구비하고, 상기 프라이밍 로러의 외주면을 따라 인접위치에 유로를 형성하며, 상기 유로를 통하여 세정액 혹은 공기를 주입하여 상기 프라이밍 롤러상에 접촉시킴으로써 상기 프라이밍 롤러의 외주면에 잔류하는 약액을 제거하고 건조시키는 예비 약액처리수단; 그리고 상기 작업대상에 이동가능하게 장착되어 상기 예비 약액처리수단을 이동시킬 수 있는 이동수단을 포함하는 슬릿코터를 제공한다.

이와 같은 본 발명은 프라이밍 롤러의 주변에 유로를 형성하고, 이 유로에 세정액 혹은 공기를 통과시킴으로써 프라이밍 롤러에 도포된 약액을 용이하게 제거할 수 있는 장점이 있다.

그리고, 본 발명은 프라이밍 롤러상에 세정액을 분사하고 건조하는 유닛을 모듈화함으로써 구조를 단순화하여 세정 효율을 향상시킬 수 있고, 오작동의 발생 빈도를 낮출 수 있는 장점이 있다.

이하, 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 슬릿코터의 구조를 상세히 설명한다.

도1 은 본 발명의 실시예에 따른 예비 약액처리수단을 구비한 슬릿코터의 전체 구조를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도2 는 도1 에 도시된 예비 약액처리수단의 작동상태를 도시한 측면도이다.

도시된 바와 같이, 작업대(2)의 상부에는 이송수단(4)이 설치되어 기판(G)을 일방향으로 이동시킬 수 있다.

상기 이송수단(4)은 에어 압력으로 기판(G)을 부상(浮上)시킨 상태로 이송할 수 있는 통상의 에어부상 방식의 이송스테이지(6)를 사용할 수 있다.

즉, 상기 이송스테이지(6)는 도면에는 나타내지 않았지만 기판(G)을 척(C)에 의하여 고정한 상태에서 기판(G)의 저면을 에어 압력으로 지지한 상태로 이송할 수 있는 통상의 에어부상 방식의 이송 구조를 갖는다.

상기 이송수단(4)은 상기한 구조 이외에도 예를들어, 도면에는 나타내지 않았지만 로울러에 기판(G)이 올려진 상태로 이송되는 통상의 로울러 컨베이어와 같은 이송 구조로 이루어질 수도 있다.

그리고, 상기 작업대(2)의 일측에는 슬릿노즐(10)이 위치한다. 상기 슬릿노즐(10)은 상기 이송스테이지(6)에 의하여 이송된 기판(G)의 박막 위에 감광액을 도포하여 포토리소그라피용 감광층(이하, 감광층)을 형성한다.

상기 슬릿노즐(10)은 장방형의 토출구(N)를 구비한 통상의 슬릿형(slit type) 노즐의 외관을 갖는다.

상기 슬릿노즐(10)은 기판(G)의 이송 방향을 가로지르는 자세를 가지도록 상기 작업대(2)에 설치된다. 이 슬릿노즐(10)은 통상의 감광액 공급장치(T)와 연결되어 이 장치로부터 감광액을 공급받아서 기판(G)의 박막 위에 통상의 방법으로 감광액을 도포한다.

그리고, 상기 슬릿노즐(10)은 제1 지지대(12)에 승하강이 가능하도록 장착된다. 즉, 상기 슬릿노즐(10)은 제1 지지대(12)에 배치된 제1 레일(r1)상에 이송가능 하도록 배치된다. 이때, 상기 슬릿노즐(10)은 LM 블록(도시안됨)과 구동원(도시안됨)을 구비함으로써 제1 레일(r1)상에 LM 방식에 의하여 결합된 상태이다.

따라서, 상기 슬릿노즐(10)은 약액 도포시나, 후술하는 예비 약액처리수단(14)이 접근하였을 때 제1 레일(r1)을 따라 하강할 수 있다.

이러한 슬릿노즐(10)의 인접위치에는 예비 약액처리수단(14)이 이동가능한 구조로 배치된다.

즉, 상기 예비 약액처리수단(14)은 이동수단(17)에 의하여 작업대(2)상에서 이동가능하다.

상기 이동수단(17)은 작업대(2)에 배치된 제2 레일(r2)과, 상기 예비 약액처리수단(14)을 지지하는 제2 지지대(16)와, 상기 제2 지지대(16)의 하부에 구비되어 상기 제2 레일(r2)상에 이송가능하게 장착된 LM블록(L)과, 상기 LM 블록(L)을 이동시키는 구동원(도시안된)으로 이루어진다.

따라서, 상기 구동원이 구동하는 경우, 상기 LM 블록(L)이 제2 레일(r2)을 따라 전후진함으로써 예비 약액처리수단(14)이 이동가능하다.

이러한 예비 약액처리수단(14)은 도3 및 도4 에 도시된 바와 같이, 세정조(20)가 구비되고, 이 세정조(20)의 내부에 공간이 형성됨으로써 솔벤트가 저장될 수 있다.

그리고, 상기 세정조(20)의 내부에는 프라이밍 롤러(R)가 회전가능하게 구비된다. 이러한 프라이밍 롤러(R)는 그 상부가 세정조(20)의 상부로 약간 돌출됨으로써 노즐(10)의 토출구(N)가 도포작업전에 여분의 약액을 이 프라이밍 롤러(R)의 외 주면에 용이하게 토출할 수 있다.

상기 프라이밍 롤러(R)는 반시계 방향으로 회전함으로써 그 외주면에 묻은 약액을 제거하는 세정공정을 진행하게 된다

우선, 프라이밍 롤러(R)의 인접위치에는 세정액을 분사하는 세정액 분사부(25)가 배치된다. 이때, 상기 세정액은 바람직하게는 솔벤트를 포함한다. 그리고, 이 세정액 분사부(25)는 그 구조를 모듈화하여 세정조(20)에 결합함으로써 구조를 단순화할 수 있고, 수리 혹은 교체가 용이하다.

이러한 세정액 분사부(25)는 프라이밍 롤러(R)에 근접하게 배치되어 프라이밍 롤러(R)와 사이에 유로(L1)를 형성하는 몸체(24)와, 상기 몸체(24)의 상부에 구비되어 상기 유로(L1)에 솔벤트를 공급하는 유입포트(26)와, 상기 몸체(24)의 하부에 구비되어 상기 유로(L1)를 통하여 흐르는 솔벤트와 약액을 진공압에 의하여 흡입하는 진공포트(27)를 포함한다.

보다 상세하게 설명하면, 상기 몸체(24)의 일측면은 곡선형상을 갖음으로써 프라이밍 롤러(R)의 외주면에 근접하게 위치한다.

따라서, 몸체(24)의 일측면과 프라이밍 롤러(R)의 외주면 사이에는 일정한 길이를 갖는 유로(L1, 도 4에 도시하고 있음)가 형성된다.

그리고, 상기 몸체(24)의 일측면에는 상기 유입포트(26)에 연결되어 솔벤트가 분사되는 분사홀(h1)과, 상기 진공포트(27)에 연결되어 진공압이 작용하는 흡입홀(h2)이 형성된다.

따라서, 상기 유입포트(26)를 통하여 유입된 솔벤트는 이 분사홀(h1)을 통하 여 프라이밍 롤러(R)의 외주면에 분사되며, 프라이밍 롤러(R)에 분사된 솔벤트는 상기 유로(L1)를 따라 프라이밍 롤러(R)의 외주면을 흐른 후 흡입홀(h2)에 의하여 흡입됨으로써 프라이밍 롤러(R)로부터 분리될 수 있다.

이 과정에서, 프라이밍 롤러(R)상에 분사된 솔벤트가 약액과 혼합되어 흡입홀(h2)의 흡입력에 의하여 프라이밍 롤러(R)로부터 용이하게 분리되는 것이다.

이때, 상기 유로는 프라이밍 롤러(R)상에 원주면을 따라 상하로 일정 길이로 형성된 상태이므로, 솔밴트가 이 유로(L1)를 따라 흐르면서 약액과 혼합될 수 있는 시간이 충분하므로 세정효율이 향상될 수 있다.

이와 같은 과정을 통하여 프라이밍 롤러(R)의 외주면에 잔류하는 약액이 효율적으로 제거될 수 있다.

상기 세정액 분사부(25)의 하부에는 스퀴즈(32)가 추가로 배치됨으로써, 프라이밍 롤러(R)의 외주면에 직접 접촉하여 약액을 제거하게 된다.

즉, 상기 스퀴즈(32)는 적절한 탄성력을 갖는 재질로 형성되며, 그 단부는 프라이밍 롤러(R)의 외주면에 접촉한 상태이다.

따라서, 프라이밍 롤러(R)의 외주면에 묻은 약액이나 솔벤트를 물리적으로 제거할 수 있다.

이러한 스퀴즈(32)는 상기한 바와 같이 세정액 분사부(25)의 하부에 배치될 수도 있고, 혹은 작업공정에 따라 배치하지 않을 수도 있다.

한편, 상기 스퀴즈(32)의 인접위치에는 제1 배기포트(34)와 배출포트(36)가 연결된다. 상기 제1 배기포트(34)는 세정조(20) 내부의 저장공간(22)과 연통함으로 써 저장공간(22)의 솔벤트 증기를 외부로 배출시킬 수 있다.

또한, 상기 배출포트(36)는 상기 저장공간(22)의 솔벤트가 일정 수위 이상으로 저장되는 경우, 솔벤트가 세정조(20)의 상부로 넘치는 것을 방지하기 위하여 배출포트(36)를 통하여 배출하게 된다.

그리고, 세정조(20)의 일측에는 버블포트(40)가 구비되며, 이 버블포트(40)는 공기 공급부(도시안됨)에 연결된다. 따라서, 세정조(20)에 솔벤트가 저장된 경우, 이 버블포트(40)를 통하여 공기를 주입함으로써 솔벤트중에 버블을 발생시켜서 솔벤트의 세정력을 높일 수 있다.

또한, 상기 세정조(20)의 하부에는 드레인 포트(42)가 연결됨으로써 세정조(20) 내부에 저장된 솔벤트를 필요시 외부로 배출할 수 있다.

한편, 상기 세정조(20)의 타측에는 린스부(45)가 제공되어 프라이밍 롤러(R)상에 잔류하는 약액을 세정하게 된다. 이러한 린스부(45)는 솔벤트가 공급되는 공급포트(50)와, 솔벤트 공급포트(50)에 연결됨으로써 솔벤트를 프라이밍 롤러(R)에 분사하는 노즐(48)로 이루어진다.

따라서, 상기 프라이밍 롤러(R)가 이 린스구간을 통과하는 경우, 상기 노즐(48)로부터 솔벤트가 프라이밍 롤러(R)상에 분사됨으로써 약액을 제거하게 된다.

그리고, 상기 공급포트(50)의 상부에는 제2 배기포트(44)가 연결됨으로써 세정조(20) 내부의 솔벤트 증기를 외부로 배출할 수 있다.

상기 린스부(45)의 상부에는 건조부(51)가 설치됨으로써 프라이밍 롤러(R)를 최종적으로 건조시킨다.

이러한 건조부(51)는 모듈화된 구조를 갖음으로써 구조를 단순화할 수 있고, 수리 혹은 교체가 용이하다.

즉, 상기 건조부(51)는 프라이밍 롤러(R)에 근접하여 배치됨으로써 유로(L2)를 형성하는 몸체(52)와, 상기 몸체(52)의 상부에 구비되어 상기 유로(L2)에 공기를 공급하는 공기 유입포트(56)와, 상기 몸체(52)의 하부에 구비되어 상기 유로(L2)를 통과한 공기를 진공압을 작용하여 흡입함으로써 건조시키는 진공포트(58)를 포함한다.

보다 상세하게 설명하면, 상기 몸체(52)의 일측면(54)은 곡선형상을 갖음으로써 프라이밍 롤러(R)의 외주면과 근접하게 위치한다. 따라서, 상기 몸체(52)와 프라이밍 롤러(R)의 사이에는 유로(L2)가 형성됨으로써 공기가 프라이밍 롤러(R)의 외주면을 따라 흐를 수 있다.

그리고, 상기 몸체(52)의 일측면에는 상기 공기 유입포트(56)와 연결되어 공기가 분사되는 공기 분사홀(h3)과, 상기 진공포트(58)와 연결되어 진공압이 작용하는 공기 흡입홀(h4)이 형성된다.

따라서, 상기 공기유입 포트(56)를 통하여 유입된 공기는 공기 분사홀(h3)을 통하여 프라이밍 롤러(R)의 외주면에 분사됨으로써 유로(L2)를 통하여 흐르는 과정에서 프라이밍 롤러(R)의 외주면을 건조시킬 수 있다.

그리고, 유로(L2)를 따라 흐른 공기는 공기 흡입홀(h4) 주위에 형성된 진공분위기에 의하여 흡입된다. 이와 같은 과정을 통하여 프라이밍 롤러(R)의 외주면이 건조될 수 있다.

이때, 상기 유로(L2)는 프라이밍 롤러(R)상에 외주면을 따라 상하로 일정 길이로 형성된 상태이므로, 공기가 이 유로(L2)를 따라 흐르면서 프라이밍 롤러(R)의 외주면과 접촉할 수 있는 시간이 충분하므로 건조효율이 향상될 수 있다.

또한, 상기 공기 유입포트(56)와 진공포트(58)는 몸체(52)에 결합되어 모듈화됨으로써 수리 혹은 교체가 용이하다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 예비 약액처리수단이 구비된 슬릿코터의 작동과정을 더욱 상세하게 설명한다.

도1 내지 도5 에 도시된 바와 같이, 먼저, 작업대(2)의 일측에 이동 가능하게 구비된 예비 약액처리수단(14)을 제2 레일(r2)을 따라 슬릿노즐(10) 방향으로 이동시킨다. 예비 약액처리수단(14)이 노즐(10)의 하부에 도달하면 슬릿노즐(10)을 제1 레일(r1)을 따라 하강시킨다.

그리고, 슬릿노즐(10)의 토출구(N)가 프라이밍 롤러(R)의 상부 인접위치에 도달하면, 토출구(N)를 통하여 초기분량의 약액을 프라이밍 롤러(R)상에 토출한다. 약액이 프라이밍 롤러(R)상에 도포되면, 상기 프라이밍 롤러(R)가 회전하게 되고 1차적으로 세정액 분사부(25)를 통과한다.

이 과정에서 세정액 분사부(25)의 유입포트(26)를 통하여 유입된 솔벤트가 분사홀(h1)을 통하여 프라이밍 롤러(R)의 외주면에 분사될 수 있다.

그리고, 프라이밍 롤러(R)의 외주면에 분사된 솔벤트는 유로(L1)를 통하여 흐르게 되고, 이 프라이밍 롤러(R)에 분사된 솔벤트는 상기 유로(L1)를 따라 프라이밍 롤러(R)의 외주면을 흐른 후 흡입홀(h2)에 의하여 흡입됨으로써 프라이밍 롤 러(R)로부터 분리될 수 있다.

이와 같은 과정을 통하여 프라이밍 롤러(R)의 외주면에 잔류하는 약액이 제거될 수 있다.

상기 세정액 분사부(25)를 통과한 프라이밍 롤러(R)가 스퀴즈(32) 구간을 통과하게 되고, 이때, 스퀴즈(32)의 단부는 프라이밍 롤러(R)의 외주면에 탄력적으로 접촉한 상태이다.

따라서, 프라이밍 롤러(R)가 회전하는 동안, 이 스퀴즈(32)가 프라이밍 롤러(R)의 외주면에 잔류한 약액과 솔벤트를 물리적으로 제거할 수 있다.

이와 같이, 스퀴즈(32)를 통과한 프라이밍 롤러(R)는 세정조(20)의 저장공간(22)을 통과하게 되며, 이 과정에서 저장공간(22)에 저장된 솔벤트에 의하여 린스될 수 있다.

이때, 저장공간(22)의 솔벤트는 상기 솔벤트 분사부(25)와 스퀴즈(32)를 통과하면서 낙하한 솔벤트 일수도 있고, 전 예비토출 공정의 린스부(45)에 의한 린스과정에서 잔류한 솔벤트일 수도 있다.

그리고, 이러한 세정조(20)의 저장공간(22)을 프라이밍 롤러(R)가 통과하는 동안, 필요에 따라 버블포트(40)에 공기를 주입함으로써 솔벤트에 버블을 발생시킬 수도 있다.

이와 같이, 솔벤트에 버블을 발생시킴으로써 솔벤트의 유동성을 높혀서 세정 력을 향상시킬 수 있다.

세정조(20)의 저장공간(22)을 통과한 프라이밍 롤러(R)는 린스부(45)를 통과하게 된다. 이 린스부(45)에서는 공급포트(50)를 통하여 주입된 솔벤트가 노즐을 통하여 프라이밍 롤러(R)상에 일정 압력으로 분사된다.

따라서, 프라이밍 롤러(R)에 분사된 솔벤트에 의하여 약액이 린스되는 과정을 거치게 된다.

린스부(45)를 통과한 프라이밍 롤러(R)는 최종적으로 건조부(51)를 통과하면서 외주면이 건조될 수 있다.

즉, 건조부(51)의 몸체(52) 일측면에 연결된 공기 유입포트(56)를 통하여 유입된 공기는 공기 분사홀(h3)을 통하여 프라이밍 롤러(R)에 분사된다.

따라서, 상기 공기 분사홀(h3)을 통하여 프라이밍 롤러(R)의 외주면에 분사된 공기는 유로(L2)를 통하여 흐르는 과정에서 프라이밍 롤러(R)의 외주면을 건조시킬 수 있다.

이와 같은 예비토출 과정을 진행한 후, 예비 약액처리수단(14)은 다시 원위치로 복귀하게 되고, 필요시 상기와 같은 과정을 반복하게 된다.

도1 은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 예비 약액처리수단이 구비된 슬릿코터의 전체 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.

도2 는 도1 에 도시된 예비 약액처리수단이 슬릿코터에 근접한 상태를 보여주는 측면도이다.

도3 은 도1 에 도시된 예비 약액처리수단에 슬릿노즐의 토출구가 로딩된 상태를 도시하는 측단면도이다.

도4 는 도1 에 도시된 예비 약액처리수단의 내부에 형성된 유로의 구조를 개략적으로 보여주는 도면이다.

*도면의 주요 부분에 대한 간단한 설명*

14: 예비 약액처리수단 20: 세정조

25: 세정액 분사부 32: 스퀴즈

45: 린스부 51: 건조부

Claims

작업대;

상기 작업대에서 기판을 이송하기 위한 이송부;

상하 이동 가능하도록 상기 작업대 일측에 구비되고, 그 내부에는 약액을 채우기 위한 챔버가 형성된 슬릿노즐;

내부의 저장공간에 세정액이 저장되는 세정조,

상기 세정조의 내부에 회전가능하게 구비되며, 상기 슬릿노즐에서 약액이 도포되는 프라이밍 롤러,

상기 프라이밍 롤러의 일측에 일정 거리 떨어져 배치됨으로써 상기 프라이밍 롤러와의 사이에 유로를 형성하며, 상기 프라이밍 롤러에 세정액을 분사하고, 분사된 세정액이 이 유로를 따라 프라이밍 롤러의 외주면을 흐른 후 세정액과 약액을 흡입하여 제거하는 세정액 분사부,

상기 프라이밍 롤러의 타측에 일정 거리 떨어져 배치됨으로써 상기 프라이밍 롤러와의 사이에 유로를 형성하며, 상기 프라이밍 롤러에 공기를 분사하고, 분사된 공기가 이 유로를 따라 프라이밍 롤러의 외주면을 흐른 후 흡입하여 상기 프라이밍 롤러를 건조시키는 건조부를 포함하며 상기 작업대에 설치되는 예비 약액처리수단; 그리고

상기 작업대상에 이동가능하게 장착되어 상기 예비 약액처리수단을 이동시킬 수 있는 이동수단을 포함하는 슬릿코터.
삭제
제1 항에 있어서,

상기 세정조는

상기 저장공간으로부터 세정액 증기를 배출시키는 배기포트,

상기 저장공간에 공기를 주입하여 버블을 발생시키는 버블포트,

상기 저장공간의 세정액이 일정 수위 이상일 경우 넘침을 방지하기 위하여 세정액을 외부로 배출하는 배출포트, 그리고

상기 저장공간의 세정액을 외부로 배출하는 드레인 포트

를 포함하는 슬릿코터.
제1 항에 있어서,

상기 세정액 분사부는

상기 프라이밍 롤러의 외주면과 일정 간격 떨어져 배치됨으로써 프라이밍 롤러와의 사이에 유로를 형성하는 몸체,

상기 몸체의 상부에 구비되어 분사홀을 통하여 상기 유로에 세정액을 공급하는 유입포트, 그리고

상기 몸체의 하부에 구비되어 흡입홀을 통하여 상기 유로를 통과한 세정액과 약액을 진공압에 의하여 흡입하는 진공포트

를 포함하는 슬릿코터.
제1 항에 있어서,

상기 세정액 분사부와 건조부의 사이에는

상기 프라이밍 롤러에 접촉하여 상기 약액 및 세정액을 제거하는 스퀴즈를 포함하는 슬릿코터.
제1 항에 있어서,

상기 프라이밍 롤러에 세정액을 분사하여 상기 프라이밍 롤러를 린스시키는 린스부를 포함하는 슬릿코터.
제6 항에 있어서,

상기 린스부는

세정액이 공급되는 공급포트, 그리고

상기 공급포트에 연결됨으로써 세정액을 프라이밍 롤러에 분사하는 노즐

로 이루어지는 슬릿코터.
제1 항에 있어서,

상기 건조부는

상기 프라이밍 롤러의 외주면과 일정 간격 떨어져 배치됨으로써 프라이밍 롤러와의 사이에 유로를 형성하는 몸체,

상기 몸체의 상부에 구비되어 공기 분사홀을 통하여 상기 유로에 공기를 공급하는 공기 유입포트, 그리고

상기 몸체의 하부에 구비되어 공기 흡입홀을 통하여 상기 유로를 통과한 공기를 진공압에 의하여 흡입하는 진공포트

를 포함하는 슬릿코터.
제1 항에 있어서,

상기 세정액 분사부와 건조부는

상기 세정조에 모듈형태로 결합되는 슬릿코터.
제1 항에 있어서,

상기 이동수단은

상기 작업대에 배치된 제2 레일,

상기 예비 약액처리수단을 지지하는 제2 지지대,

상기 제2 지지대의 하부에 구비되어 상기 제2 레일상에 이송가능하게 장착된 LM블록, 그리고

상기 LM 블록을 이동시키는 구동원

으로 이루어지는 슬릿코터.