JP5036664B2 - 液処理におけるノズル洗浄、処理液乾燥防止方法及びその装置 - Google Patents
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Description
請求項2記載のノズル洗浄及び処理液乾燥方法は、処理液供給用のノズルから基板に対して処理液を吐出する処理を行う液処理において、 上記ノズルを、該ノズルの先端周囲の内周面が漏斗状に形成された洗浄室内に収容する工程と、 上記ノズル内に残存する処理液を吸引して、ノズル内の処理液の液面を処理液供給管路側に後退する工程と、 処理液の溶剤を供給する第1の溶剤供給手段から上記洗浄室の漏斗状の内周面に沿って周方向に上記溶剤を所定量流入し、上記ノズルの先端部の回りを旋回する上記溶剤の渦流によって洗浄を行う工程と、 処理液の溶剤を供給する第2の溶剤供給手段から上記洗浄室の漏斗状部の上部に、上記第1の溶剤供給手段から流入される第1の溶剤に対して揮発性の低い溶剤である第2の溶剤を所定量流入し、上記洗浄室内に上記溶剤の液溜りを形成する工程と、 上記ノズルを吸引して、ノズル内の処理液の液面を処理液供給管路側に後退させると共に、上記液溜りの溶剤をノズルの先端部内に吸引して、ノズルの先端内部に、処理液供給管路側から順に処理液層と空気層と処理液の溶剤層とを形成する工程と、 を有することを特徴とする。ここで、ノズルの洗浄に供される第1の溶剤をシンナー液とし、レジスト液の乾燥防止に供される第2の溶剤をシンナーより揮発性の低い溶剤、例えばシクロヘキサノン,プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)やメチルアミルケトン(MAK)等を用いることができる。
請求項10記載のノズルの洗浄及び処理液乾燥装置は、請求項2記載のノズル洗浄及び処理液乾燥方法を具現化するもので、 処理液供給用のノズルから基板に対して処理液を吐出する処理を行う液処理において、 上記ノズルを収容し、該ノズルの先端側の内周面が漏斗状をなす洗浄室と、 上記洗浄室の上記漏斗状側の内周面に沿わせて処理液の溶剤を旋回供給する第1の溶剤供給手段と、 上記洗浄室の上記漏斗状部の上部側に処理液の溶剤を供給する第2の溶剤供給手段と、 上記ノズルを吸引する吸引手段と、 上記ノズルを、上記洗浄室と基板に対して処理液を吐出する位置との間で移動させるノズル移動手段と、 上記第1及び第2の溶剤供給手段、上記吸引手段及び上記ノズル移動手段を制御する制御手段と、を具備してなり、 上記制御手段により、上記ノズルが上記洗浄室内に収容された際、上記吸引手段により上記ノズル内の処理液の液面を処理液供給管路側に後退させ、その後、上記第1の溶剤供給手段から上記洗浄室内に溶剤を所定量供給することにより、上記ノズルの先端部の回りを旋回する溶剤の渦流を形成してノズルを洗浄し、その後、上記第2の溶剤供給手段から上記洗浄室の漏斗状部の上部に、上記第1の溶剤供給手段から流入される第1の溶剤に対して揮発性の低い溶剤である第2の溶剤を所定量供給することにより、上記洗浄室内に溶剤の液溜りを形成し、次いで、上記吸引手段により上記ノズルを吸引して、ノズルの先端内部に、処理液供給管路側から順に処理液層と空気層と処理液の溶剤層とを形成する、ことを特徴とする。
2 塗布装置
4 ノズルユニット
4A〜4J 処理液供給ノズル
6 待機ユニット
42A〜42J 処理液供給管路
44 昇降機構(移動手段)
46 水平方向移動機構(移動手段)
61 容器
62 洗浄室
64 円筒状胴部
65 漏斗部
67 液排出室
70,70A,70B 溶剤供給源
71 第1の溶剤供給手段
72 第2の溶剤供給手段
73 第1の溶剤供給管路
74 第1の 流入口
75 第2の溶剤供給管路
76,76a,76b 第2の 流入口
100 コントローラ
VA〜VJ サックバックバルブ(吸引手段)
CA〜CL 流量調整部
R レジスト液層(処理液層)
A 空気層
T シンナー液層(溶剤層)
Claims (17)
- 処理液供給用のノズルから基板に対して処理液を吐出する処理を行う液処理において、
上記ノズルを、該ノズルの先端周囲の内周面が漏斗状に形成された洗浄室内に収容する工程と、
上記ノズル内に残存する処理液を吸引して、ノズル内の処理液の液面を処理液供給管路側に後退する工程と、
処理液の溶剤を供給する第1の溶剤供給手段から上記洗浄室の漏斗状の内周面に沿って周方向に上記溶剤を所定量流入し、上記ノズルの先端部の回りを旋回する上記溶剤の渦流によって洗浄を行う工程と、
処理液の溶剤を供給する第2の溶剤供給手段から上記洗浄室の漏斗状部の上部に、上記洗浄室の内周面に沿って、上記第1の溶剤供給手段から洗浄室内に流入される第1の溶剤の旋回方向と逆の周方向に処理液の溶剤を所定量流入し、上記洗浄室内に上記溶剤の液溜りを形成する工程と、
上記ノズルを吸引して、ノズル内の処理液の液面を処理液供給管路側に後退させると共に、上記液溜りの溶剤をノズルの先端部内に吸引して、ノズルの先端内部に、処理液供給管路側から順に処理液層と空気層と処理液の溶剤層とを形成する工程と、
を有することを特徴とする液処理におけるノズル洗浄及び処理液乾燥防止方法。 - 処理液供給用のノズルから基板に対して処理液を吐出する処理を行う液処理において、
上記ノズルを、該ノズルの先端周囲の内周面が漏斗状に形成された洗浄室内に収容する工程と、
上記ノズル内に残存する処理液を吸引して、ノズル内の処理液の液面を処理液供給管路側に後退する工程と、
処理液の溶剤を供給する第1の溶剤供給手段から上記洗浄室の漏斗状の内周面に沿って周方向に上記溶剤を所定量流入し、上記ノズルの先端部の回りを旋回する上記溶剤の渦流によって洗浄を行う工程と、
処理液の溶剤を供給する第2の溶剤供給手段から上記洗浄室の漏斗状部の上部に、上記第1の溶剤供給手段から流入される第1の溶剤に対して揮発性の低い溶剤である第2の溶剤を所定量流入し、上記洗浄室内に上記溶剤の液溜りを形成する工程と、
上記ノズルを吸引して、ノズル内の処理液の液面を処理液供給管路側に後退させると共に、上記液溜りの溶剤をノズルの先端部内に吸引して、ノズルの先端内部に、処理液供給管路側から順に処理液層と空気層と処理液の溶剤層とを形成する工程と、
を有することを特徴とする液処理におけるノズル洗浄及び処理液乾燥防止方法。 - 請求項1又は2に記載の液処理におけるノズル洗浄及び処理液乾燥防止方法において、
上記ノズル内の処理液の液面を処理液供給管路側に後退する工程の前に、上記ノズル先端内部の処理液を排出する工程を有することを特徴とする液処理におけるノズル洗浄及び処理液乾燥防止方法。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の液処理におけるノズル洗浄及び処理液乾燥防止方法において、
上記ノズルの先端内部に、処理液供給管路側から順に処理液層と空気層と処理液の溶剤層とを形成する工程の後に、上記溶剤層の溶剤の液面を処理液供給管路側に後退する工程を有することを特徴とする液処理におけるノズル洗浄及び処理液乾燥防止方法。 - 請求項2記載の液処理におけるノズル洗浄及び処理液乾燥防止方法において、
上記第2の溶剤供給手段から上記洗浄室の内周面に沿って周方向に処理液の溶剤を流入する、ことを特徴とする液処理におけるノズル洗浄及び処理液乾燥防止方法。 - 請求項1ないし5のいずれかに記載の液処理におけるノズル洗浄及び処理液乾燥防止方法において、
上記第1の溶剤供給手段から流入される第1の溶剤の流量に対して上記第2の溶剤供給手段から流入される第2の溶剤の流量を同等以上とする、ことを特徴とする液処理におけるノズル洗浄及び処理液乾燥防止方法。 - 請求項1記載の液処理におけるノズル洗浄及び処理液乾燥防止方法において、
上記第1の溶剤供給手段から流入される第1の溶剤と上記第2の溶剤供給手段から流入される第2の溶剤が同種類の溶剤である、ことを特徴とする液処理におけるノズル洗浄及び処理液乾燥防止方法。 - 請求項1ないし7のいずれかに記載の液処理におけるノズル洗浄及び処理液乾燥防止方法において、
上記溶剤の渦流によって洗浄する工程の際に、上記ノズルを上下移動させて行う、ことを特徴とする液処理におけるノズル洗浄及び処理液乾燥防止方法。 - 処理液供給用のノズルから基板に対して処理液を吐出する処理を行う液処理において、
上記ノズルを収容し、該ノズルの先端側の内周面が漏斗状をなす洗浄室と、
上記洗浄室の上記漏斗状側の内周面に沿わせて処理液の溶剤を旋回供給する第1の溶剤供給手段と、
上記洗浄室の上記漏斗状部の上部側に処理液の溶剤を供給する第2の溶剤供給手段と、
上記ノズルを吸引する吸引手段と、
上記ノズルを、上記洗浄室と基板に対して処理液を吐出する位置との間で移動させるノズル移動手段と、
上記第1及び第2の溶剤供給手段、上記吸引手段及び上記ノズル移動手段を制御する制御手段と、を具備し、
上記第1の溶剤供給手段が接続される上記洗浄室の第1の流入口を、洗浄室の漏斗状内周面の接線方向に設け、
上記第2の溶剤供給手段が接続される上記洗浄室の第2の流入口を、洗浄室の漏斗状部の上部内周面の接線方向に設け、かつ、上記第1の流入口と第2の流入口を互いに対向する接線方向とし、
上記制御手段により、上記ノズルが上記洗浄室内に収容された際、上記吸引手段により上記ノズル内の処理液の液面を処理液供給管路側に後退させ、その後、上記第1の溶剤供給手段から上記洗浄室内に溶剤を所定量供給することにより、上記ノズルの先端部の回りを旋回する溶剤の渦流を形成してノズルを洗浄し、その後、上記第2の溶剤供給手段から上記洗浄室の漏斗状部の上部に、上記洗浄室の内周面に沿って、上記第1の溶剤供給手段から洗浄室内に流入される第1の溶剤の旋回方向と逆の周方向に処理液の溶剤を所定量供給することにより、上記洗浄室内に溶剤の液溜りを形成し、次いで、上記吸引手段により上記ノズルを吸引して、ノズルの先端内部に、処理液供給管路側から順に処理液層と空気層と処理液の溶剤層とを形成する、
ことを特徴とする液処理におけるノズル洗浄及び処理液乾燥防止装置。 - 処理液供給用のノズルから基板に対して処理液を吐出する処理を行う液処理において、
上記ノズルを収容し、該ノズルの先端側の内周面が漏斗状をなす洗浄室と、
上記洗浄室の上記漏斗状側の内周面に沿わせて処理液の溶剤を旋回供給する第1の溶剤供給手段と、
上記洗浄室の上記漏斗状部の上部側に処理液の溶剤を供給する第2の溶剤供給手段と、
上記ノズルを吸引する吸引手段と、
上記ノズルを、上記洗浄室と基板に対して処理液を吐出する位置との間で移動させるノズル移動手段と、
上記第1及び第2の溶剤供給手段、上記吸引手段及び上記ノズル移動手段を制御する制御手段と、を具備してなり、
上記制御手段により、上記ノズルが上記洗浄室内に収容された際、上記吸引手段により上記ノズル内の処理液の液面を処理液供給管路側に後退させ、その後、上記第1の溶剤供給手段から上記洗浄室内に溶剤を所定量供給することにより、上記ノズルの先端部の回りを旋回する溶剤の渦流を形成してノズルを洗浄し、その後、上記第2の溶剤供給手段から上記洗浄室の漏斗状部の上部に、上記第1の溶剤供給手段から流入される第1の溶剤に対して揮発性の低い溶剤である第2の溶剤を所定量供給することにより、上記洗浄室内に溶剤の液溜りを形成し、次いで、上記吸引手段により上記ノズルを吸引して、ノズルの先端内部に、処理液供給管路側から順に処理液層と空気層と処理液の溶剤層とを形成する、
ことを特徴とする液処理におけるノズル洗浄及び処理液乾燥防止装置。 - 請求項9又は10に記載の液処理におけるノズル洗浄及び処理液乾燥防止装置において、
上記制御手段により、上記ノズル内の処理液の液面を処理液供給管路側に後退する前に、上記ノズル先端内部の処理液を排出する、ことを特徴とする液処理におけるノズル洗浄及び処理液乾燥防止装置。 - 請求項9ないし11のいずれかに記載の液処理におけるノズル洗浄及び処理液乾燥防止装置において、
上記制御手段により、上記ノズルの先端内部に、処理液供給管路側から順に処理液層と空気層と処理液の溶剤層とを形成した後に、上記溶剤層の溶剤の液面を処理液供給管路側に後退する、ことを特徴とする液処理におけるノズル洗浄及び処理液乾燥防止装置。 - 請求項10記載の液処理におけるノズル洗浄及び処理液乾燥防止装置において、
上記第1の溶剤供給手段が接続される上記洗浄室の第1の流入口を、洗浄室の漏斗状内周面の接線方向に設けた、ことを特徴とする液処理におけるノズル洗浄及び処理液乾燥防止装置。 - 請求項10記載の液処理におけるノズル洗浄及び処理液乾燥防止装置において、
上記第1の溶剤供給手段が接続される上記洗浄室の第1の流入口を、洗浄室の漏斗状内周面の接線方向に設け、
上記第2の溶剤供給手段が接続される上記洗浄室の第2の流入口を、洗浄室の漏斗状部の上部内周面の接線方向に設け、かつ、上記第1の流入口と第2の流入口を同一の接線方向とした、ことを特徴とする液処理におけるノズル洗浄及び処理液乾燥防止装置。 - 請求項9ないし14のいずれかに記載の液処理におけるノズル洗浄及び処理液乾燥防止装置において、
上記第1の溶剤供給手段から流入される第1の溶剤の流量に対して上記第2の溶剤供給手段から流入される第2の溶剤の流量を同等以上とする、ことを特徴とする液処理におけるノズル洗浄及び処理液乾燥防止装置。 - 請求項9記載の液処理におけるノズル洗浄及び処理液乾燥防止装置において、
上記第1の溶剤供給手段から流入される第1の溶剤と上記第2の溶剤供給手段から流入される第2の溶剤が同種類の溶剤である、ことを特徴とする液処理におけるノズル洗浄及び処理液乾燥防止装置。 - 請求項9ないし16のいずれかに記載の液処理におけるノズル洗浄及び処理液乾燥防止装置において、
上記制御手段は、ノズルの洗浄の際に、ノズル移動手段を駆動してノズルを上下移動させる、ことを特徴とする液処理におけるノズル洗浄及び処理液乾燥防止装置。
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