CN108838160B - 浸槽及供液系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种浸槽，包括第一主体、第二主体和回流部，第一主体和第二主体相对设置，且第一主体、第二主体和回流部共同围合形成容腔，回流部设于第一主体和第二主体的底部，容腔用于盛装清洗液，第一主体内设有第一空腔，第一主体上还设有第一流道，第一空腔与容腔通过第一流道联通，第一空腔用于储存清洗液，第一流道用于将第一空腔内的清洗液输送至容腔，口金的喷嘴浸泡在容腔内的清洗液内，回流部设有阀门，通过控制阀门的开闭以切换浸泡和清洗的状态，回流部流出的清洗液用于输送至第一空腔以循环使用。通过上述设置，可加快清洗液流动速度，对口金的喷嘴冲刷更剧烈，提升清洗效果。本发明还提供了一种供液装置。

Description

浸槽及供液系统

技术领域

本发明属于液晶工艺技术领域，尤其涉及一种浸槽及供液系统。

背景技术

Coater Nozzle即涂布喷嘴，又名口金，用于涂布光阻，是保证液晶工艺中成膜状况及涂布均一性的重要部件。每次在口金涂布使用完后，口金喷口仍充满光阻，为避免口金内光阻暴露在空气中凝固干结，需要将口金喷口浸入充满清洗液的浸槽内。在下次涂布使用前拿出，进行口金擦拭清洁后使用，避免残留的清洗液或浸槽内脏污影响口金喷吐光阻而造成破膜或涂布不均等不良。

目前常规的浸槽的结构为顶面开口的U型槽，清洗液通过管道输送到槽内，口金浸泡在槽内，当清洗时，清洗液从浸槽的顶部溢出，达到清洗液换新的目的。然而，目前的浸槽存在清洗液流动性差，不能很好的清洗口金的喷嘴的问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种浸槽，可提升清洗口金效果，口金不需要再进行刮拭，还可输送走容腔内的光阻等脏污物，减少对清洗液的污染。

为实现本发明的目的，本发明提供了如下的技术方案：

第一方面，本发明提供一种浸槽，用于浸泡和清洗口金的喷嘴，包括第一主体、第二主体和回流部，所述第一主体和所述第二主体相对设置，且所述第一主体、所述第二主体和所述回流部共同围合形成容腔，所述回流部设于所述第一主体和所述第二主体的底部，所述容腔用于盛装清洗液，所述第一主体内设有第一空腔，所述第一主体上还设有第一流道，所述第一空腔与所述容腔通过所述第一流道联通，所述第一空腔用于储存清洗液，所述第一流道用于将所述第一空腔内的清洗液输送至所述容腔，所述口金的喷嘴浸泡在所述容腔内的清洗液内，所述回流部设有阀门，通过控制所述阀门的开闭以切换浸泡和清洗的状态，所述回流部流出的清洗液用于输送至所述第一空腔以循环使用。

其中，所述第一主体与所述第二主体结构相同，且轴对称设置，所述第一主体和所述第二主体的底部间隔第一距离，以形成第三流道，所述回流部跨连在所述第一主体和所述第二主体上，以封闭所述容腔的底部，所述第三流道连接至所述回流部。

其中，所述第一主体包括依次相连的底板、外侧板、顶板、第一内侧板和第二内侧板，所述第一内侧板和所述第二内侧板朝向所述第二主体方向，所述底板远离所述外侧板的一端与所述第二内侧板连接，所述第二内侧板相对所述底板呈倾斜状，所述第一内侧板与所述第二内侧板的夹角大于90°，以使所述容腔呈从顶部向底部缩口的结构。

其中，所述第一流道开设于所述第一内侧板上，所述第一流道在所述第一空腔一端的高度低于在所述容腔一端的高度。

其中，所述第一主体内还设有第二空腔，所述第二空腔内设有超声波器，所述超声波器用于向所述容腔内发射超声波，以使所述口金上的脏污物脱落。

其中，所述第一主体还包括横板，所述横板连接在所述第一内侧板远离所述顶板的一端和所述外侧板之间，所述横板、所述外侧板、所述顶板和所述第一内侧板围合形成所述第一空腔，所述横板、所述外侧板和所述第二内侧板围合形成所述第二空腔。

其中，所述第一主体还包括第三内侧板，所述第三内侧板连接在所述第二内侧板远离所述第一内侧板的一端和所述底板远离所述外侧板的一端之间，所述第三内侧板与所述回流部连接。

第二方面，本发明提供一种供液系统，包括缓冲槽、管道和如第一方面各种实施例中任一所述的浸槽，所述缓冲槽与所述浸槽的所述第一空腔之间连接有第一管道，所述缓冲槽与所述回流部之间连接有第二管道，所述缓冲槽还连接有进液管道和排液管道，所述进液管道连接至清洗液储存装置，所述清洗液储存装置的清洗液通过所述进液管道输送至所述缓冲槽，所述缓冲槽内的清洗液通过所述第一管道输送至所述浸槽的所述第一空腔内，所述浸槽的所述回流部的清洗液通过所述第二管道回流至所述缓冲槽，所述缓冲槽内的废液经所述排液管道流走。

其中，所述供液系统还包括过滤器，所述过滤器设置在所述第二管道的流动路径上，用于过滤所述回流部回流的清洗液中的脏污物。

其中，所述供液系统还包括第一液泵和第二液泵，所述第一液泵设于所述第一管道上，所述第二液泵设于所述第二管道上，且位于所述过滤器和所述缓冲槽之间。

本发明的有益效果：

本发明提供的一种浸槽，通过设置第一主体和第二主体与回流部围合形成容腔，第一主体内的第一空腔通过第一流道向容腔内输送清洗液，回流部的阀门关闭时，容腔内的清洗液不会流动，使得浸槽处于浸泡状态，开启阀门时，容腔内的清洗液从回流部流出，第一空腔内的清洗液从第一流道流入容腔，容腔内的清洗液流动，使得浸槽处于清洗状态，相比于现有技术，可加快清洗液流动速度，对口金的喷嘴冲刷更剧烈，提升清洗效果。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是一种实施例的浸槽的结构示意图；

图2是图1的浸槽工作时的结构示意图；

图3是一种实施例的供液装置的结构示意图。

具体实施例

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参考图1，本发明实施例提供一种浸槽，用于浸泡和清洗口金20的喷嘴25，包括第一主体10、第二主体10’和回流部13，所述第一主体10和所述第二主体10’相对设置，且所述第一主体10、所述第二主体10’和所述回流部13共同围合形成容腔11，所述回流部13设于所述第一主体10和所述第二主体10’的底部，所述容腔11用于盛装清洗液30，所述第一主体10内设有第一空腔12，所述第一主体10上还设有第一流道121，所述第一空腔12与所述容腔11通过所述第一流道121联通，所述第一空腔12用于储存清洗液，所述第一流道121用于将所述第一空腔12内的清洗液输送至所述容腔11，所述口金20的喷嘴25浸泡在所述容腔11内的清洗液30内，所述回流部13设有阀门(图中未示出)，通过控制所述阀门的开闭以切换浸泡和清洗的状态，所述回流部13流出的清洗液用于输送至所述第一空腔12以循环使用。

通过设置所述第一主体10和第二主体10’，与回流部13围合形成容腔11，第一主体10内的第一空腔12通过第一流道121向容腔11内输送清洗液30，回流部13的阀门关闭时，容腔11内的清洗液30不会流动，使得浸槽处于浸泡状态，开启阀门时，容腔11内的清洗液30从回流部13流出，第一空腔12内的清洗液从第一流道121流入容腔11，容腔11内的清洗液流动，使得浸槽处于清洗状态，相比于现有技术，可加快清洗液30流动速度，对口金20的喷嘴25冲刷更剧烈，提升清洗效果。

浸槽即可用于浸泡口金20，也可清洗口金20，达到两用效果。清洗口金后，口金20不需要再进行刮拭才能使用，提高了效率，此外，回流部13可输送走容腔11内的光阻等脏污物，减少对清洗液30的污染，回流部13回流的清洗液还可循环使用，节约了清洗液。

口金20包括喷嘴25，喷嘴25设有喷口21，喷嘴25为尖型结构，使得喷口21出口为尖端，具体的，口金20的喷嘴25包括第一斜面22和第二斜面23，第一斜面22和第二斜面23的一端与喷口21连接，另一端延伸至口金的主体部分，第一斜面22和第二斜面23可以为平面，且可沿喷口21所在平面镜像对称设置。喷嘴25的大部分结构伸入容腔11内，使得喷口21的最深处位于清洗液30液面以下，喷口21被全部浸透。

第一流道121设于第一空腔12的下部区域，使得第一空腔12内的清洗液在第一流道121具有压强差，可自动从第一空腔12流入容腔11内，第一空腔12和第一流道121的尺寸不限，优选的，第一流道121的尺寸远小于第一空腔12的尺寸，加强第一流道121内的压强差，加快第一流道121内的清洗液的液流速度，此外，第一空腔12内可以根据口金20的喷嘴25的脏污程度施加不同的压力，从而使从第一流道121流入容腔11内的清洗液流速不同，从而对口金20的喷嘴25的冲刷剧烈不同进行控制，可加快清洗速度，提升清洗效果，节约工时。

所述第一主体10与所述第二主体10’结构相同，且轴对称设置，所述第一主体10和所述第二主体10’的底部间隔第一距离，以形成第三流道18，所述回流部13跨连在所述第一主体10和所述第二主体10’上，以封闭所述容腔11的底部，所述第三流道18连接至所述回流部13。

具体而言，第二主体10’也设有与第一主体10相同结构的第三空腔12’和第二流道121’，以及在后续实施例中将会出现的第一主体10的结构，在第二主体10’上均进行设置，使得第一主体10和第二主体10’可相互替换，即在生产制造时只需按照第一主体10的结构进行制造，在安装浸槽时，将另一个第一主体10(即第二主体10’)与第一主体10相对进行安装即可，如此，可不用单独再进行第二主体10’的设计和制造，节省了成本。

回流部13的结构不限制，优选为采用凹槽结构，凹槽的开口两侧分别与第一主体10和第二主体10’的底部连接。

由于第二主体10’的结构与第一主体10相同，在后续的说明中，将以第一主体10为主进行说明。

所述第一主体10包括依次相连的底板102、外侧板101、顶板103、第一内侧板104和第二内侧板105，所述第一内侧板104和所述第二内侧板105朝向所述第二主体10’方向，所述底板102远离所述外侧板101的一端与所述第二内侧板105连接，所述第二内侧板105相对所述底板102呈倾斜状，所述第一内侧板104与所述第二内侧板105的夹角大于90°，以使所述容腔11呈从顶部向底部缩口的结构。

第一主体10使用板件制造，较为容易制作第一空腔12等结构，加工容易。第二内侧板105相对底板102倾斜，形成倾斜面16，使得容腔11形成上述缩口结构，使得清洗后掉落的脏污物沿着第二内侧板105的倾斜面16掉入容腔11底部的回流部13内，容腔11的上部开口更大，也便于口金20的喷嘴25的伸入。

所述第一主体10还包括第三内侧板106，所述第三内侧板106连接在所述第二内侧板105远离所述第一内侧板104的一端和所述底板102远离所述外侧板101的一端之间，所述第三内侧板106与所述回流部13连接。

优选的，外侧板101垂直于底板102，顶板103垂直于外侧板101，第一内侧板104垂直于顶板，第三内侧板106垂直于底板，第二内侧板105与第一内侧板104的夹角为100°～150°，进一步优选的，第二内侧板105与第一内侧板104的夹角为120°～150°，进一步优选的，第二内侧板105与第一内侧板104的夹角为120°、135°或150°。

在安装时，底板102可安装在水平面上，第二内侧板105与底板102呈倾斜状，第三内侧板106朝向第二主体10’方向，将结构相同的第二主体10’安装完毕后，第一内侧板104和第二内侧板105也朝向第二主体10’方向，如此容腔11形成前述的缩口结构。第三内侧板106与第二主体10’上对应的内侧板的间隔为第一距离，形成该第三流道18，第一距离的数值不做限定，优选的，第一距离大于口金20的喷口21的宽度，使得喷口21内的光阻等脏污物能从第三流道18通过。

所述第一流道121开设于所述第一内侧板104上，所述第一流道121在所述第一空腔12一端的高度低于在所述容腔11一端的高度。第一流道121的入口在第一空腔12，出口朝向容腔11，设置第一流道121的入口比出口更低，使得从第一流道121流出的清洗液能扰动容腔11内更高的位置的液体，达到更好的清洗效果。

由于口金20的喷嘴25为尖型结构，第一流道121的出口面对口金喷嘴的第一斜面22，为了加强对第一斜面22的冲刷力度，可设置第一流道121的延伸方向垂直于第一斜面22。

此外，为了加快第一流道121内的清洗液的流速，还可设置第一流道121的出口的尺寸小于入口的尺寸，使得第一流道121从第一空腔12向容腔11方向呈缩口结构，如此，可使得第一流道121出口处的倾斜液喷射到第一斜面22上。

通过第一主体10和第二主体10’的第一流道121和第二流道121’对清洗液的加速，加强对口金20的喷嘴25的第一斜面22和第二斜面23的冲刷，此外，由于容腔11内的清洗液30的扰动加强，在充分浸泡后，喷口21内的光阻等脏污物也被清洗液30带动而掉落，从而清洗干净口金20。

为了加强清洗效果，清洗液30的成分可采用利于使光阻等脏污物溶解的液体，优选的，清洗液30为有机溶剂。

所述第一主体10内还设有第二空腔14，所述第二空腔14内设有超声波器15，所述超声波器15用于向所述容腔11内发射超声波，以使所述口金20的喷嘴25上的脏污物脱落。设置超声波器15，利用超声波器15发射的超声波对口金20的细节部位进行震动，例如使喷口21内部、第一斜面22和第二斜面23等位置的脏污物脱落，对口金20的清洗效果更好。

所述第一主体10还包括横板107，所述横板107连接在所述第一内侧板104远离所述顶板103的一端和所述外侧板101之间，所述横板107、所述外侧板101、所述顶板103和所述第一内侧板104围合形成所述第一空腔12，所述横板107、所述外侧板101和所述第二内侧板105围合形成所述第二空腔14。

通过横板107将第一主体10分隔为包括第一空腔12和第二空腔14的结构，结构简单，便于制造。第二空腔14为封闭的腔体，保持超声波器15的干燥环境，避免清洗液30进入到第二空腔14内而损坏超声波器15。

与第一主体10相同的，第二主体10’内也可设置第四空腔14’和另一超声波器15’，从两侧同时对口金进行超声波震动，去除脏污物的效果更好。

请参考图2，图中清洗液30的流动路径用带箭头线表示，超声波用弧线表示，工作时，第一主体10和第二主体10’内的第一空腔12和第三空腔12’向容腔11内输送清洗液30，清洗液30流动造成容腔11内的整体清洗液30流动，对口金20具有冲刷作用，超声波作用于口金20的喷嘴25上，能将口金20的喷嘴25细节部位的脏污物震动而落下，最后从容腔11底部的回流部13处收集而流出。

请参考图3，并结合图1，本发明实施例还提供一种供液系统，包括缓冲槽43、管道和前述实施例提供的浸槽，所述缓冲槽43与所述浸槽的所述第一空腔12之间连接有第一管道52，所述缓冲槽43与所述回流部13之间连接有第二管道53，所述缓冲槽43还连接有进液管道51和排液管道54，所述进液管道51连接至清洗液30储存装置，所述清洗液30储存装置的清洗液30通过所述进液管道51输送至所述缓冲槽43，所述缓冲槽43内的清洗液30通过所述第一管道52输送至所述浸槽的所述第一空腔12内，所述浸槽的所述回流部13的清洗液30通过所述第二管道53回流至所述缓冲槽43，所述缓冲槽43内的废液经所述排液管道54流走。

通过设置缓冲槽43，既用于向浸槽供应清洗液，又收集浸槽排出的清洗液，实现清洗液的循环利用，节省成本。

为使得缓冲槽43供液时清洗液的洁净度高，减少脏污物的含量，可在缓冲槽43内设置滤网，从回流部13回流的清洗液由于含有脏污物较多，可在缓冲槽43内先通过滤网过滤，滤除脏污物后再将清洗液输送到第一空腔12内，为了精细化管理，还可在缓冲槽43内设置浓度计，测量清洗液的浓度后再向浸槽进行输送，脏污物浓度超标的清洗液可通过排液管道54排出，同时为了避免浸槽内的清洗液不足，从进液管道51输入清洁的清洗液进行补充，从而满足浸槽浸泡和清洗口金的需求。浸槽处于浸泡状态时，由于不需要进液和排液，此时可关闭供液系统，保持浸槽内的清洗液处于静止状态。

所述供液系统还包括过滤器41，所述过滤器41设置在所述第二管道53的流动路径上，用于过滤所述回流部13回流的清洗液30中的脏污物。设置过滤器41的目的是降低缓冲槽43的过滤压力，避免缓冲槽43结构设计的过于复杂，使用过滤器41先在第二管道53上过滤一次脏污物，使得回流进入缓冲槽43的清洗液含有的脏污物的浓度降低，如此设置，提高了供液系统整体的运行可靠性。

所述供液系统还包括第一液泵44和第二液泵42，所述第一液泵44设于所述第一管道52上，所述第二液泵42设于所述第二管道53上，且位于所述过滤器41和所述缓冲槽43之间。通过设置第一液泵44和第二液泵42，可对第一管道52和第二管道53内的清洗液加压，使得浸槽内的清洗液的流速更快，提高清洗效果。

以上所揭露的仅为本发明一种较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本发明权利要求所作的等同变化，仍属于发明所涵盖的范围。

Claims (6)

1.一种浸槽，用于浸泡和清洗口金的喷嘴，其特征在于，包括第一主体、第二主体和回流部，所述第一主体和所述第二主体相对设置，且所述第一主体、所述第二主体和所述回流部共同围合形成容腔，所述回流部设于所述第一主体和所述第二主体的底部，所述容腔用于盛装清洗液，所述第一主体内设有第一空腔，所述第一主体上还设有第一流道，所述第一空腔与所述容腔通过所述第一流道联通，所述第一空腔用于储存清洗液，所述第一流道用于将所述第一空腔内的清洗液输送至所述容腔，所述口金的喷嘴浸泡在所述容腔内的清洗液内，所述回流部设有阀门，通过控制所述阀门的开闭以切换浸泡和清洗的状态，所述回流部流出的清洗液用于输送至所述第一空腔以循环使用；

所述第一主体包括依次相连的底板、外侧板、顶板、第一内侧板和第二内侧板，所述第一内侧板和所述第二内侧板朝向所述第二主体方向，所述底板远离所述外侧板的一端与所述第二内侧板连接，所述第二内侧板相对所述底板呈倾斜状，所述第一内侧板与所述第二内侧板的夹角大于90°，以使所述容腔呈从顶部向底部缩口的结构；

所述第一流道开设于所述第一内侧板上，所述第一流道在所述第一空腔一端的高度低于在所述容腔一端的高度；

所述第一主体内还设有第二空腔，所述第二空腔内设有超声波器，所述超声波器用于向所述容腔内发射超声波，以使所述口金上的脏污物脱落；

所述第一主体还包括横板，所述横板连接在所述第一内侧板远离所述顶板的一端和所述外侧板之间，所述横板、所述外侧板、所述顶板和所述第一内侧板围合形成所述第一空腔，所述横板、所述外侧板和所述第二内侧板围合形成所述第二空腔。

2.如权利要求1所述的浸槽，其特征在于，所述第一主体与所述第二主体结构相同，且轴对称设置，所述第一主体和所述第二主体的底部间隔第一距离，以形成第三流道，所述回流部跨连在所述第一主体和所述第二主体上，以封闭所述容腔的底部，所述第三流道连接至所述回流部。

3.如权利要求1或2所述的浸槽，其特征在于，所述第一主体还包括第三内侧板，所述第三内侧板连接在所述第二内侧板远离所述第一内侧板的一端和所述底板远离所述外侧板的一端之间，所述第三内侧板与所述回流部连接。

4.一种供液系统，其特征在于，包括缓冲槽、管道和如权利要求1至3任一所述的浸槽，所述缓冲槽与所述浸槽的所述第一空腔之间连接有第一管道，所述缓冲槽与所述回流部之间连接有第二管道，所述缓冲槽还连接有进液管道和排液管道，所述进液管道连接至清洗液储存装置，所述清洗液储存装置的清洗液通过所述进液管道输送至所述缓冲槽，所述缓冲槽内的清洗液通过所述第一管道输送至所述浸槽的所述第一空腔内，所述浸槽的所述回流部的清洗液通过所述第二管道回流至所述缓冲槽，所述缓冲槽内的废液经所述排液管道流走。

5.如权利要求4所述的供液系统，其特征在于，所述供液系统还包括过滤器，所述过滤器设置在所述第二管道的流动路径上，用于过滤所述回流部回流的清洗液中的脏污物。

6.如权利要求5所述的供液系统，其特征在于，所述供液系统还包括第一液泵和第二液泵，所述第一液泵设于所述第一管道上，所述第二液泵设于所述第二管道上，且位于所述过滤器和所述缓冲槽之间。

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