CN103223396A - 一种用于光阻涂布设备的接触式浸润槽 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种用于光阻涂布设备的接触式浸润槽，包括浸润槽主体和涂布喷头，所述涂布喷头的末端设有喷嘴，在浸润槽中增设有限定部件，限定部件夹持在涂布喷头的端部，使得仅所述涂布喷头的喷嘴浸入浸润槽主体承载的溶剂中。通过限定部件支撑所述喷头，并将非喷嘴部分与溶剂相隔离，避免其他部分残留溶剂，所述限定部件和涂布喷头的接触面设于喷嘴上部，两者之间无缝贴合在一起。

Description

一种用于光阻涂布设备的接触式浸润槽
技术领域
本发明涉及一种浸润槽，尤其是指一种可减小喷头和溶剂的接触面积的接触式浸润槽。
背景技术
传统的浸润槽用于承载化学溶剂，供置于光阻涂布喷嘴在长时间不生产时，其喷头浸泡在浸润槽中，防止喷头处的光阻挥发干燥，造成涂布不良。但现有的浸润槽体积较大，所需化学溶剂量大，且喷头与溶剂之间的接触面较大，使得残留在喷头上的溶剂难于完全去除，对喷头造成大面积腐蚀，且影响涂布的效果。且现有浸润槽在加注溶剂时，液位难于控制，溶液流动性强，难于精确控制喷头和溶剂之间的接触面积和范围。
发明内容
基于现有技术的不足，本发明的主要目的在于提供一种可在光阻涂布过程中，可有效控制喷头和溶剂之间的接触面积，避免大量溶剂残留在喷头上的一种接触式浸润槽。
本发明提供了一种用于光阻涂布设备的接触式浸润槽，包括浸润槽主体和涂布喷头，所述涂布喷头的末端设有喷嘴，在浸润槽中增设有限定部件，限定部件夹持在涂布喷头的端部，使得仅所述涂布喷头的喷嘴浸入浸润槽主体承载的溶剂中。通过限定部件支撑所述喷头，并将非喷嘴部分与溶剂相隔离，避免其他部分残留溶剂。
优选地，所述限定部件和涂布喷头的接触面设于喷嘴上部，两者之间无缝贴合在一起。所述限定部件包括相互分隔的左限定部和右限定部，其竖立于浸润槽主体上，所述左限定部和右限定部的相对侧均开设有与涂布喷头形状相适配的斜面，两限定部的下端相互间隔，构成溶剂收纳部，所述喷嘴浸入溶剂收纳部内承载的溶剂中。所述限定部件起支撑喷头并将非喷嘴部分与溶剂相隔离的作用。
优选地，所述左限定部和右限定部之间的间距大于所述喷嘴的最小宽度，所述浸入溶剂中的喷嘴占整个喷嘴的比例十分之一以下，约1-2mm。
优选地，在浸润槽主体两侧壁外侧安装有水平调整机构，以调整浸润槽主体与喷头之间的水平相对位置，以驱使限定部件和涂布喷头紧密贴合，所述水平调整机构为两对，分别对称地设于浸润槽主体的侧壁外侧。在浸润槽主体的底部设有垂直调整机构，以调整使得限定部件与涂布喷头紧密贴合。所述水平调整机构和垂直调整机构为弹簧。通过水平调整机构和垂直调整机构调整浸润槽主体和喷头之间的相对位置，使得涂布喷头更紧密地贴合限定部件上，保证两者的接触度。
优选地，所述浸润槽主体的上方设有三个补液孔，下方设有废液排放孔。通过多处补液以控制补液的流量和流速，使得浸润槽内补液过程中液面平稳。
与现有技术相比，本发明一种光阻涂布设备的接触式浸润槽通过在浸润槽主体中增设限定部件，通过限定部件支撑所述喷头，以使仅喷嘴部分浸入溶剂中，有效避免了溅上非喷嘴区域，减小了喷头与溶剂的接触面积；同时，在浸润槽主体的侧壁外部和底部设有水平调整机构和垂直调整机构，以对浸润槽主体和涂布喷头之间的水平和垂直相对位置进行调整，以使得限定部件可与涂布喷头紧密结合，避免溶剂渗入喷头外壁其他位置。另外，设有多处补液孔，以保持小流量且平稳地向浸润槽补液。
附图说明
图1为现有用于光阻涂布设备的浸润槽的结果示意图，
图2为现有用于光阻涂布设备的接触式浸润槽的侧视图；
图3为本发明一种用于光阻涂布设备的接触式浸润槽的结构示意图；
图4为本发明一种用于光阻涂布设备的接触式浸润槽的俯视图；
图5为本发明一种用于光阻涂布设备的接触式浸润槽的浸润槽主体的侧视图；
图6为本发明一种用于光阻涂布设备的接触式浸润槽的浸润槽主体的俯视图。
具体实施方式
参照图3所示，本发明提供了一种用于光阻涂布设备的接触式浸润槽100，包括浸润槽主体1和涂布喷头2，所述涂布喷头2的末端设有喷嘴20，在浸润槽主体1中增设有限定部件3，限定部件3夹持在涂布喷头2的端部，使得仅所述涂布喷头2的喷嘴20浸入浸润槽主体1承载的溶剂中。
其中，所述浸润槽主体1为一长方形槽体，用于盛放涂布用的化学溶剂。所述涂布喷头2垂直放置于浸润槽主体1的上方，沿浸润槽主体1的X方向延伸，其长度小于浸润槽主体1的长度，其包括喷嘴20、光阻吸管22和吸液腔24，其中，所述喷嘴20装配于吸液腔24的下方，其呈锥形结构，两者可一体成型或分体式组合，所述喷嘴20的底部开设有进液口202，所述光阻吸管22由喷嘴20的进液口202伸入喷嘴20的内腔之中，通过进液口202将化学溶剂从浸润槽主体1经由喷嘴20吸入吸液腔24之中，光阻吸管22与进液口202无缝接合，使得吸液时具有良好气密性。
所述限定部件3包括相互分隔的左限定部30和右限定部32，其竖立于浸润槽主体1上，所述左限定部30和右限定部32的相对侧均开设有与涂布喷头2形状相适配的斜面，两限定部的下端相互间隔，构成溶剂收纳部4，所述喷嘴20浸入溶剂收纳部4内承载的溶剂中。其中，所述限定部件3和涂布喷头2的接触面设于喷嘴20上部，两者之间无缝贴合在一起，所述左限定部30和右限定部32之间的间距大于所述喷嘴20的最小宽度。所述左限定部30立于涂布喷头2的左侧，其右侧设有与涂布喷头2相贴合的斜面，所述右限定部32立于涂布喷头2的右侧，其左侧设有与涂布喷头2相贴合的斜面，通过所述左右限定部件3的接触面将所述喷嘴20夹持并支撑，且所述两限定部件3亦沿浸润槽主体1的X方向延伸。在两限定部件3之间设有缺口，当两限定部件3紧密贴合于涂布喷头2上时，在两限定部件3的下端与喷嘴20环绕而成溶剂收纳部4。在本实施例中，所述溶剂收纳部4呈梯形，所述喷嘴20浸入溶剂收纳部4所承载的溶剂中，使得溶剂经喷嘴20吸入，并经由光阻吸管22吸入所述吸液腔24之中。所述浸入溶剂中的喷嘴部分占整个喷嘴20的比例是，通过限定部件承托所述涂布喷头2，使得除喷嘴20的其他部分与化学溶剂相隔离，以避免溶剂残留于涂布喷头2上而造成腐蚀，且可精确地控制喷嘴20与溶剂接触的面积和范围。所述限定部件的材料可选用但不限于全氟材料(PERFLUO Elastomer)、乙丙橡胶(EPDN)等耐腐蚀且具有一定硬度的弹性材料。
可以理解，在本发明中，所述限定部件3与涂布喷头2之间接触面的形状不限，两者紧密贴合以支撑所述涂布喷头2即可。同样地，所述溶剂收纳部4的外形不受此限。
参照图4所示，为了对浸润槽主体1与涂布喷头2之间的水平相对位置进行自动调整，在浸润槽主体1两侧壁外侧安装有水平调整机构5，以调整浸润槽主体1与涂布喷头2之间的水平相对位置。所述水平调整机构5为两对，分别对称地设于浸润槽主体1的侧壁外侧的两端。安装时，将浸润槽主体1放入安装空间内，这时，水平调整机构5抵持于安装空间的内侧壁，所述水平调整机构为弹簧，浸润槽主体1可自由活动，通过水平调整机构5对浸润槽主体1的水平位置进行微调，以保障限定部件3和涂布喷头2之间在水平方向(X方向)紧密贴合，并通过弹簧的弹性回复力使得两者之间保持良好的接触度。所述水平调整机构5设置为两对，可灵活地根据浸润槽主体的位置对其两侧进行同步调整或分别调整。
参照图5所示，为了对浸润槽主体1与涂布喷头2之间的垂直相对位置进行自动调整，在浸润槽主体1的底部增设有垂直调整机构6，以调整使得限定部件3与涂布喷头2紧密贴合。同样地，所述垂直调整机构6设为两对，分别对称地设于浸润槽主体1的底部两端。所述垂直调整机构为弹簧，通过垂直调整机构6对浸润槽主体1的垂直位置(Z方向)进行微调，以保障限定部件3和涂布喷头2之间在垂直方向上紧密贴合，并通过弹簧的弹性回复力使得两者之间保持良好的接触度。由此，通过水平调整机构5和垂直调整机构6可在X方向和Z方向上，对浸润槽主体1和涂布喷头2之间的水平和垂直相对位置进行调整，以使得限定部件3可与涂布喷头2紧密结合，避免溶剂渗入喷头外壁其他位置。
参照图6示，所述浸润槽主体1的上方设有至少一个补液孔7，下方设有废液排放孔8。在本实施例中，所述补液孔7设为3个，所述废液排放孔设为1个。在喷头浸润前，通过所述三个补液孔7灌入浸润槽主体1之中，通过三处补液加注可有效解决补液波动不稳定的问题。由于浸润槽主体1的体积较小，通过三处补液孔可使用较小流量进行补液，保障液面的平稳。若补液超过浸润槽的高度时，溶剂会自动溢出，以防止浸润槽内的液位过高。

Claims (10)

1.一种用于光阻涂布设备的接触式浸润槽，包括浸润槽主体和涂布喷头，所述涂布喷头的末端设有喷嘴，其特征在于：在浸润槽中增设有限定部件，限定部件夹持在涂布喷头的端部，使得仅所述涂布喷头的喷嘴浸入浸润槽主体承载的溶剂中。
2.根据权利要求1所述的用于光阻涂布设备的接触式浸润槽，其特征在于：所述限定部件和涂布喷头的接触面设于喷嘴上部，两者之间无缝贴合在一起。
3.根据权利要求2所述的用于光阻涂布设备的接触式浸润槽，其特征在于：所述限定部件包括相互分隔的左限定部和右限定部，其竖立于浸润槽主体上，所述左限定部和右限定部的相对侧均开设有与涂布喷头形状相适配的斜面，两限定部的下端相互间隔，构成溶剂收纳部，所述喷嘴浸入溶剂收纳部内承载的溶剂中。
4.根据权利要求2所述的用于光阻涂布设备的接触式浸润槽，其特征在于：所述左限定部和右限定部之间的间距大于所述喷嘴的最小宽度，所述浸入溶剂中的喷嘴占整个喷嘴的十分之一以下。
5.根据权利要求2所述的用于光阻涂布设备的接触式浸润槽，其特征在于：在浸润槽主体两侧壁外侧安装有水平调整机构，以调整浸润槽主体与喷头之间的水平相对位置，以驱使限定部件和涂布喷头紧密贴合。
6.根据权利要求2所述的用于光阻涂布设备的接触式浸润槽，其特征在于：在浸润槽主体的底部设有垂直调整机构，以调整使得限定部件与涂布喷头紧密贴合。
7.根据权利要求5或6所述的用于光阻涂布设备的接触式浸润槽，其特征在于：所述水平调整机构为两对，分别对称地设于浸润槽主体的侧壁外侧；所述垂直调整机构为两对，分别对称地设于浸润槽底部的两侧。
8.根据权利要求5或6所述的用于光阻涂布设备的接触式浸润槽，其特征在于：所述水平调整机构和垂直调整机构为弹簧。
9.根据权利要求1所述的用于光阻涂布设备的接触式浸润槽，其特征在于：所述浸润槽主体的上方设有三个补液孔，下方设有废液排放孔。
10.根据权利要求2所述的用于光阻涂布设备的接触式浸润槽，其特征在于：所述限定部件的材料选自全氟材料或乙丙橡胶。
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