JP2007245136A - 液滴吐出装置、液滴吐出ヘッドの回復方法、薄膜の形成方法、配向膜の形成方法、配向膜形成用液滴吐出ヘッドの回復方法、配向膜形成装置及び液晶表示装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ノズルの目詰まりや液状体の飛行曲がりが起き難い液滴吐出装置、液滴吐出ヘッドの回復方法、薄膜の形成方法、配向膜の形成方法、配向膜形成用液滴吐出ヘッドの回復方法、配向膜形成装置及び液晶表示装置を提供すること。
【解決手段】本発明の液滴吐出装置は、機能性材料を含む液状体を液滴としてノズルから吐出可能な液滴吐出ヘッド２０と、少なくともノズル形成面２６ａを含む液滴吐出ヘッド２０の一部を収容可能な収容部４１ａを有するキャップケース４１と、収容部４１ａに液体５０を供給する液体供給手段としてのポンプ４７と、液滴吐出ヘッド２０の回復動作または液滴吐出ヘッド２０の休止中の保管において、収容部４１ａに貯留された液体５０にノズル形成面２６ａが浸漬されるようにキャップケース４１を液滴吐出ヘッド２０に対して相対配置する移動手段とを備えた。
【選択図】図３

Description

本発明は、液状体を液滴として吐出可能な液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置、液滴吐出ヘッドの回復方法、液滴吐出装置を用いた薄膜の形成方法、配向膜の形成方法、配向膜形成用液滴吐出ヘッドの回復方法、配向膜形成装置及び液晶表示装置に関する。

液状体を液滴として吐出可能な液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置として、液状体としてのインクをインクジェットヘッドから記録紙等に吐出描画するインクジェット方式の記録装置が知られている（特許文献１）。

上記記録装置では、インクジェットヘッドのノズル内でインクが乾燥することにより、目詰まりやインクの吐出時の飛行曲がりが発生し印字不良が起こりやすい。したがって、安定した描画品質を実現するために、キャップと呼ばれる密封部材をノズル形成面に密着させ、吸引することにより乾燥したインクを除去する。また、ノズル形成面をワイピング部材に当接させてノズル形成面に付着したインクや異物等を除去する。これらの動作は、インクジェットヘッドの回復動作またはリフレッシュ動作あるいはクリーニング動作と呼ばれている。

上記キャップとして、特許文献１では、キャップケースの底部に水蒸気発生用の液体を貯留する貯留部が設けられている。これは、記録装置が休止している間に、キャップケースをノズル形成面に密着させ、ノズル内のインクおよびその周辺部の乾燥を防ごうとするものである。

また、剛体キャップをノズル面と連続する面に配置された弾性シール部材に押し付けて回復動作を行うインクジェット記録ヘッドの維持回復装置が知られている（特許文献２）。これは、剛体キャップを弾性シール部材に押し付けて、ノズル面を封止する際の気密性を向上させようとするものである。
特開２００３−１２７４００号公報 特開２００３−１８３９号公報

上記従来のキャップ機構では、キャップ自体が半硬質の合成ゴムでできている、あるいは、ノズル形成面を封止する部位にシールゴム等からなる弾性部材が配置されている。ノズル形成面をキャップによって封止し、ノズル内のインクを吸引すると、吸引されたインクがこれらの弾性部材に付着して劣化するおそれがあった。また、劣化した弾性部材の一部が剥れてノズル形成面に付着したり、落下するというおそれがあった。

また、キャップによってノズル形成面を密閉すると、ノズル形成面が空気と触れる密閉空間を生じていた。
上記従来のインクジェットヘッドを用いて、インクの代わりに機能性材料を含む液状体を液滴としてワークに吐出し、ワークの表面に機能性材料からなる薄膜等を形成する液滴吐出法が注目されている。この場合、液状体には、機能性材料に応じて特殊な溶媒が用いられ、溶媒の特性によっては、上記弾性部材の劣化がより顕著となるという課題があった。また、ノズル形成面が空気と触れる状態で封止しても、ノズル内の液状体の乾燥が進んで、長時間に渡る封止後に、ノズルの目詰まりや液状体の飛行曲がりが発生するという問
題があった。

本発明は、上記課題や問題を考慮してなされたものであり、ノズルの目詰まりや液状体の飛行曲がりが起き難い液滴吐出装置、液滴吐出ヘッドの回復方法、薄膜の形成方法、配向膜の形成方法、配向膜形成用液滴吐出ヘッドの回復方法、配向膜形成装置及び液晶表示装置を提供することを目的とする。

本発明の液滴吐出装置は、機能性材料を含む液状体を液滴としてノズルから吐出可能な液滴吐出ヘッドと、少なくともノズル形成面を含む液滴吐出ヘッドの一部を収容可能な収容部を有するキャップケースと、収容部に液体を供給する液体供給手段と、液滴吐出ヘッドの回復動作または液滴吐出ヘッドの休止中の保管において、収容部に貯留された液体にノズル形成面が浸漬されるようにキャップケースを液滴吐出ヘッドに対して相対配置する移動手段とを備えたことを特徴とする。

この構成によれば、液滴吐出ヘッドの回復動作または液滴吐出ヘッドの休止中の保管において、キャップケースの収容部に貯留された液体にノズル形成面が浸漬されるように、移動手段によりキャップケースと液滴吐出ヘッドとが相対配置される。したがって、ノズル形成面が空気と触れ合わない状態に置かれる。よって、液滴吐出ヘッドを駆動せずに長時間に渡って放置しても、ノズル形成面が乾燥しないので、ノズル内の液状体の乾燥による目詰まりやノズル形成面に付着した液状体の乾燥による飛行曲がりなどの不具合を低減することができる。すなわち、ノズルの目詰まりや液状体の飛行曲がりなどの不具合が低減され、安定した液状体の吐出が可能な液滴吐出装置を提供することができる。

本発明の液滴吐出装置において、上記液体が液状体に含まれる少なくとも１種の溶媒であることが好ましい。これによれば、ノズル形成面が浸漬される液体が液状体に含まれる少なくとも１種の溶媒であるため、ノズル内やノズル形成面で乾燥した液状体の異物を当該溶媒によって容易に溶解または分散させることができる。すなわち、ノズルの目詰まりや液状体の飛行曲がりなどの不具合をより低減することができる。

また、本発明の液滴吐出装置において、少なくとも一方が平面の部材表面から液滴吐出ヘッドのノズル形成面を突出させて略水平な状態に液滴吐出ヘッドを支持するヘッド支持部材と、キャップケースの収容部に接続され内部を負圧にする吸引手段とをさらに備え、キャップケースがヘッド支持部の当該部材表面または液滴吐出ヘッドの本体の側面に当接することにより、実質的にノズル形成面を封止した状態で吸引手段を稼動させることが好ましい。

液滴吐出ヘッドの回復動作または休止中の液滴吐出ヘッドを保管する際に、キャップケースの収容部に貯留された液体にノズル形成面が浸漬されると、液体がノズルを通じて液滴吐出ヘッドの内部に毛細管現象により侵入する。また、この際に異物や気泡が侵入するおそれがある。この構成によれば、キャップケースがヘッド支持部の部材表面または液滴吐出ヘッドの本体の側面に当接することにより、実質的にノズル形成面を封止する。そして吸引手段によりキャップケースの密閉状態となった収容部を負圧にして、ノズルから液滴吐出ヘッドの内部の液体を含む液状体や異物、気泡などを吸引することができる。したがって、ノズル内の液状体のメニスカスを正常化することができる。さらには、キャップケースがノズル形成面に直接当接しないので、キャップケースに付着した異物がノズル形成面に転写されることを防ぐことができる。すなわち、ノズル形成面を清浄な状態に保つことができる。

上記ヘッド支持部の部材表面または液滴吐出ヘッドの本体の側面と当接するキャップケ
ースの部位に耐溶剤性を有する弾性部材が配設されていることが好ましい。これによれば、キャップケースの当接部位に耐溶剤性を有する弾性部材が配設されているので、液状体に含まれる溶媒によって弾性部材が劣化し難く、且つ高い気密状態で実質的にノズル形成面を封止することができる。

本発明の液滴吐出ヘッドの回復方法は、機能性材料を含む液状体を液滴としてノズルから吐出可能な液滴吐出ヘッドの回復方法であって、少なくともノズル形成面を含む液滴吐出ヘッドの一部を収容可能な収容部を有するキャップケースの収容部に液状体に含まれ少なくとも１種の溶媒を貯留し、ノズル形成面を当該溶媒に浸漬する浸漬工程を含むことを特徴とする。

この方法によれば、浸漬工程では、ノズル形成面が液状体に含まれる少なくとも１種の溶媒に浸漬され、空気に触れない状態で、ノズル内やノズル形成面で乾燥した液状体の異物を溶媒に溶解または分散させることができる。

上記浸漬工程の後に、キャップケースにより実質的にノズル形成面を封止して、ノズルから液滴吐出ヘッドの内部の液状体を吸引する吸引工程をさらに備えることが好ましい。これによれば、浸漬工程でノズルから液滴吐出ヘッドの内部に侵入した溶媒や異物、気泡などを液状体と一緒に吸引して、ノズル内における液状体のメニスカスを正常な状態とすることができる。

本発明の薄膜の形成方法は、液滴吐出ヘッドのノズルから機能性材料を含む液状体を液滴としてワークに吐出して乾燥することにより、機能性材料からなる薄膜をワーク上に形成する薄膜の形成方法であって、少なくともノズル形成面を含む液滴吐出ヘッドの一部を収容可能な収容部を有するキャップケースの収容部に液状体に含まれる少なくとも１種の溶媒を貯留し、ノズル形成面を当該溶媒に浸漬する浸漬工程と、浸漬工程の後に、キャップケースにより実質的にノズル形成面を封止して、ノズルから液滴吐出ヘッドの内部の液状体を吸引する吸引工程とを含むことを特徴とする。

この方法によれば、浸漬工程で溶媒にノズル形成面を浸漬して、ノズル内やノズル形成面で乾燥した液状体の異物などを除去し、さらに吸引工程で、不要な溶媒や異物をノズル内やノズル形成面から取り除くことでノズル内の液状体のメニスカスを正常化することができる。よって、このような浸漬工程と吸引工程とを液状体を吐出する工程の前後や途中に組み込むことにより、ノズルの目詰まりや飛行曲がりなどの不具合が少ない安定した吐出状態で液状体を吐出することができる。すなわち、目詰まりや飛行曲がりに起因する吐出ムラを低減した薄膜の形成方法を提供することができる。

本発明の配向膜の形成方法は、液滴吐出ヘッドのノズルから配向膜材料を含む液状体を液滴としてワークに吐出して乾燥することにより、配向膜材料からなる配向膜を形成する配向膜の形成方法であって、少なくともノズル形成面を含む液滴吐出ヘッドの一部を収容可能な収容部を有するキャップケースの収容部に液状体に含まれる少なくとも１種の溶媒を貯留し、ノズル形成面を浸漬する浸漬工程と、浸漬工程の後に、キャップケースにより実質的にノズル形成面を封止して、ノズルから液滴吐出ヘッドの内部に充填された液状体を吸引する吸引工程とを含むことを特徴とする。

この方法によれば、機能性材料として配向膜形成材料を用い、浸漬工程と吸引工程とを液状体を吐出する工程の前後や途中に組み込むことにより、目詰まりや飛行曲がりに起因する吐出ムラを低減した配向膜の形成方法を提供することができる。

本発明の配向膜形成用液滴吐出ヘッドの回復方法は、配向膜形成材料を含む液状体を液
滴としてノズルから吐出可能な配向膜形成用液滴吐出ヘッドの回復方法であって、少なくともノズル形成面を含む前記配向膜形成用液滴吐出ヘッドの一部を収容可能な収容部を有するキャップケースの前記収容部に前記液状体に含まれる少なくとも１種の溶媒を貯留し、前記ノズル形成面を当該溶媒に浸漬する浸漬工程を含むことを特徴とする。

この配向膜形成用液滴吐出ヘッドの回復方法によれば、浸漬工程では、ノズル形成面が液状体に含まれる少なくとも１種の溶媒に浸漬され、空気に触れない状態で、ノズル内やノズル形成面で乾燥した液状体の異物を溶媒に溶解または分散させることができる。

本発明の配向膜形成装置は、配向膜形成材料を含む液状体を液滴としてノズルから吐出可能な液滴吐出ヘッドと、少なくともノズル形成面を含む前記液滴吐出ヘッドの一部を収容可能な収容部を有するキャップケースと、前記収容部に液体を供給する液体供給手段と、前記液滴吐出ヘッドの回復動作または前記液滴吐出ヘッドの休止中の保管において、前記収容部に貯留された前記液体に前記ノズル形成面が浸漬されるように前記キャップケースを前記液滴吐出ヘッドに対して相対配置する移動手段とを備えたことを特徴とする。

この配向膜形成装置によれば、液滴吐出ヘッドの回復動作または液滴吐出ヘッドの休止中の保管において、キャップケースの収容部に貯留された液体にノズル形成面が浸漬されるように、移動手段によりキャップケースと液滴吐出ヘッドとが相対配置される。したがって、ノズル形成面が空気と触れ合わない状態に置かれる。よって、液滴吐出ヘッドを駆動せずに長時間に渡って放置しても、ノズル形成面が乾燥しないので、ノズル内の液状体の乾燥による目詰まりやノズル形成面に付着した液状体の乾燥による飛行曲がりなどの不具合を低減することができる。すなわち、ノズルの目詰まりや液状体の飛行曲がりなどの不具合が低減され、安定した液状体の吐出が可能な配向膜形成装置を提供することができる。

本発明の配向膜形成装置において、前記液体が前記液状体に含まれる少なくとも１種の溶媒であることが好ましい。
この配向膜形成装置によれば、ノズル形成面が浸漬される液体が液状体に含まれる少なくとも１種の溶媒であるため、ノズル内やノズル形成面で乾燥した配向膜形成材料を含む液状体の異物を当該溶媒によって容易に溶解または分散させることができる。すなわち、ノズルの目詰まりや液状体の飛行曲がりなどの不具合をより低減することができる。

本発明の液晶表示装置は、上記記載の配向膜形成装置によって形成された配向膜を備えたことを特徴とする。
本発明の液晶表示装置によれば、精度の高い配向膜形成装置によって均一な配向膜が形成されているため、表示品位の高い液晶表示装置を提供することができる。

（実施形態１）
＜液滴吐出装置＞
本発明を適用した液滴吐出装置の一実施形態について、図１〜図３に基づいて説明する。図１は、液滴吐出装置を示す概略斜視図である。各部の構成は、適宜縮尺して表示している。

図１に示すように、本実施形態の液滴吐出装置１０は、機能性材料を含む液状体を液滴としてワークＷ上に吐出して機能性材料からなる膜を形成する装置であり、ワークＷが載置されるステージ４と、液状体を液滴として吐出可能な液滴吐出ヘッド２０（図２参照）を有するヘッドユニット１とを備えている。

また液滴吐出装置１０は、移動手段として、ヘッドユニット１を副走査方向（Ｘ方向）に駆動するためのＸ方向ガイド軸２と、Ｘ方向ガイド軸２を回転させるＸ方向駆動モータ３とを備えている。また、ステージ４を主走査方向（Ｙ方向）にガイドするためのＹ方向ガイド軸５と、Ｙ方向ガイド軸５に係合して回転するＹ方向駆動モータ６とを備えている。そしてＸ方向ガイド軸２とＹ方向ガイド軸５とが上部に配設された基台７を備え、その基台７の下部には、制御部８を備えている。

さらに、液滴吐出装置１０は、ヘッドユニット１の複数の液滴吐出ヘッド２０をメンテナンス（回復処理等）するためのメンテナンス機構９および吐出された液状体を加熱し溶媒を蒸発・乾燥させるためのヒータ１２とを備えている。またメンテナンス機構９のメンテナンステーブル９ａにもＹ方向駆動モータ１１が備えられている。

ヘッドユニット１には、液状体をノズル２８（図２参照）から吐出してワークＷに塗布する液滴吐出ヘッド２０（図２参照）を備えている。そして、液滴吐出ヘッド２０により、制御部８から供給される吐出電圧に応じて液状体を吐出できるようになっている。この液滴吐出ヘッド２０とその配置については後述する。

Ｘ方向駆動モータ３は、これに限定されるものではないが例えばステッピングモータ等であり、制御部８からＸ軸方向の駆動パルス信号が供給されると、Ｘ方向ガイド軸２を回転させ、Ｘ方向ガイド軸２に係合したヘッドユニット１をＸ方向に移動させる。

同様にＹ方向駆動モータ６，１１は、これに限定されるものではないが例えばステッピングモータ等であり、制御部８からＹ軸方向の駆動パルス信号が供給されると、Ｙ方向ガイド軸５に係合して回転し、Ｙ方向駆動モータ６，１１を備えたステージ４およびメンテナンス機構９のメンテナンステーブル９ａをＹ軸方向に移動させる。

メンテナンス機構９（メンテナンステーブル９ａ）は、液滴吐出ヘッド２０を回復処理する際に、ヘッドユニット１を臨む位置に移動し、液滴吐出ヘッド２０のノズル形成面を実質的に封止して不要な液状体を吸引するキャップケース４１を備えている。さらに、メンテナンステーブル９ａは、液状体等が付着したノズル形成面を拭き取るワイピング装置（図示省略）を備えている。また、キャップケース４１は、液滴吐出ヘッド２０の全ノズルから液状体の吐出を行う予備吐出（フラッシング）時に吐出された液状体あるいは不要となった液状体を受けて排出する機能を有している。メンテナンス機構９に備えられた各装置の動作は、制御部８によって制御されている。

ヒータ１２は、これに限定されるものではないが例えばランプアニールによりワークＷを熱処理する手段であり、ワークＷ上に吐出された液状体の蒸発・乾燥を行うとともに膜に変換するための熱処理を行うようになっている。このヒータ１２の電源の投入及び遮断も制御部８によって制御される。

液滴吐出装置１０の塗布動作は、制御部８から所定の駆動パルス信号をＸ方向駆動モータ３およびＹ方向駆動モータ６とに送り、ヘッドユニット１を副走査方向（Ｘ方向）に、ステージ４を主走査方向（Ｙ方向）に相対移動させる。そして、この相対移動に同期して制御部８から吐出電圧を供給し、ヘッドユニット１の液滴吐出ヘッド２０からワークＷの所定の領域に液状体を液滴として吐出し塗布を行う。

液滴吐出ヘッド２０から吐出される液滴の吐出量は、制御部８から供給される吐出電圧の大きさによって調整することができる。
図２は、液滴吐出ヘッド２０とその配置を示す概略斜視図である。同図（ａ）は液滴吐出ヘッド２０の構成を示す概略斜視図、同図（ｂ）は液滴吐出ヘッド２０の配置を示す概
略斜視図である。

図２（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド２０は、所謂２連のものであり、２連の接続針２２を有する液状体の導入部２１と、導入部２１に積層されたヘッド基板２３と、ヘッド基板２３上に配置され内部に液状体のヘッド内流路が形成されたヘッド本体２４とを備えている。接続針２２は、液状体が貯留されたタンク（図示省略）に配管を経由して接続され、液状体をヘッド内流路に供給する。ヘッド基板２３には、フレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介して制御部８のヘッド駆動部に接続される２連のコネクタ２７が設けられている。

ヘッド本体２４は、ピエゾ素子等で構成されたキャビティを有する加圧部２５と、ノズル形成面２６ａに２つのノズル列２９，２９が相互に平行に形成されたノズルプレート２６とを有している。

２つのノズル列２９，２９は、それぞれ複数（１８０個）のノズル２８が略等間隔で並べられており、互いに半分のピッチでずれた状態でノズルプレート２６に配設されている。この場合、ノズル２８の間隔は、およそ１４０μｍである。よって、ノズル列２９に直交する方向から見ると３６０個のノズル２８がおよそ７０μｍのノズルピッチで配列した状態となっている。尚、実際の液状体の吐出の際には、ノズル列２９の両端側の１０個のノズル２８を用いていない。これは、両端側に位置するノズル２８からの吐出量が他のノズル２８に比べて安定しにくいことを考慮したものである。

液滴吐出ヘッド２０は、制御部８のヘッド駆動部から電気信号としての駆動波形がピエゾ素子等に印加されると加圧部２５のキャビティの体積変動が起こり、これによるポンプ作用でキャビティに充填された液状体が加圧され、ノズル２８から液状体を液滴として吐出することができる。尚、本実施形態の液滴吐出ヘッド２０は、２連のノズル列２９を有しているが、これに限定されず１連のものでもよい。さらには、液状体を液滴として吐出可能ならば、発熱体によって液状体を加熱することにより発生する気泡で加圧するバブル方式、電気機械変換素子を有する静電アクチュエータ方式等でもよい。

図２（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド２０は、平板状のステンレス等からなるヘッド支持部としてのキャリッジプレート３０に、平面の部材表面３０ａからノズル形成面２６ａが下方に突出するように支持されている。キャリッジプレート３０は、四隅に配設された４本の支柱３１によってノズル形成面２６ａが略水平な状態となるようにヘッドユニット１に取り付けられている。また、主走査方向（Ｙ方向）に対して液滴吐出ヘッド２０のノズル列２９が直交するようにヘッドユニット１に取り付けられている。

図３は、メンテナンステーブル９ａに設けられたキャップ機構４０を示す概略図である。同図（ａ）はそのキャップ機構４０のキャップケース４１を示す概略斜視図、同図（ｂ）はキャップケース４１と関連する各部を示す概略図である。

図３（ａ）に示すように、キャップケース４１は、例えばステンレス等の硬質部材からなる筐体であり、一方の面が開口し、少なくともノズル形成面２６ａを含む液滴吐出ヘッド２０の一部が収容可能な収容部４１ａを有している。開口部に沿って上面側に弾性部材からなるシール部材４２が配設されている。収容部４１ａの底面には、２つの孔４３，４４が設けられている。

シール部材４２は、耐溶剤性を有する弾性部材であって、例えば、赤シリコンゴムやフッ素ゴム等を用いることができる。弾性部材は、液状体に含まれる溶媒に浸漬して膨潤などによる体積変動が極力少ないものを選定することが望ましい。

図３（ｂ）に示すように、キャップ機構４０は、キャップケース４１と、液体供給手段としてのポンプ４７と、吸引手段としてのポンプ４８と、キャップケース４１をキャリッジプレート３０の部材表面３０ａに当接させる上下駆動手段（図示省略；例えば油圧式シリンダなど）とを備えている。

ポンプ４７は、例えばベローズ型ポンプであり、タンク４９から貯留された液体５０を配管とバルブ４５を経由して孔４３を通じ、キャップケース４１の収容部４１ａに送り込むことができる。この場合、液体５０は、吐出ヘッド２０から吐出される液状体に含まれる少なくとも１種の溶媒を用いる。

ポンプ４８は、例えばロータリーポンプであり、収容部４１ａに排出された液状体や気体を孔４４を通じ配管やバルブ４６を介して外部に排出することができる。バルブ４６は、三方バルブであり、ポンプ４８に繋がる配管を開閉すると共に、ポンプ４８側を閉として孔４４に繋がる配管を大気開放することができる。

２つのポンプ４７，４８およびタンク４９は、それぞれの機能に応じた配管材料で接続され、液滴吐出装置１０の周辺に配設されている。２つのポンプ４７，４８の駆動および２つのバルブ４５，４６の開閉は、制御部８によって制御されている。

制御部８は、液滴吐出ヘッド２０の回復処理（動作）および液滴吐出ヘッド２０の休止中の保管において、キャップケース４１が液滴吐出ヘッド２０を望む位置に来るようにＸ方向駆動モータ３とＹ方向駆動モータ１１とを駆動し、メンテナンス機構９（キャップケース４１）とヘッドユニット１（液滴吐出ヘッド２０）とを対向配置させる。そして、液体５０が収容部４１ａに貯留されたキャップケース４１をキャリッジプレート３０の部材表面３０ａとシール部材４２とが当接するように上下駆動手段を駆動して上昇させる。これにより、実質的にノズル形成面２６ａをキャップケース４１によって封止する。同時にノズル形成面２６ａが液体５０に浸漬するように封止する。なお、１時間程度の短時間であれば、液体５０の蒸発量を考慮しなくてもよいので、完全に封止せずともよい。キャップケース４１がキャリッジプレート３０に対して僅かに離間した位置で、ノズル形成面２６ａが液体５０に浸漬される状態としてもよい。長時間に渡る液滴吐出ヘッド２０の保管時には、完全に封止することが望ましい。

また、制御部８は、液滴吐出ヘッド２０が液体５０に浸漬されたときの液面５０ａが、必要以上に上昇してキャップケース４１の外に液体５０が漏れたりシール部材４２に接触しないように、ポンプ４７を駆動して収容部４１ａに貯留する液体５０の量を制御する。ノズル形成面２６ａがわずかに液体５０に浸かるのが好ましい。このようにすれば、液面５０ａとノズル形成面２６ａの高さの差により、液体５０がノズル２８を通じて液滴吐出ヘッド２０の内部に必要以上に侵入することを抑制することができる。

さらに、制御部８は、液滴吐出ヘッド２０の回復処理の一処理としての吸引動作を行う。吸引動作は、液体５０にノズル形成面２６ａを浸漬後、キャップケース４１を僅かに後退させ、バルブ４６を開きポンプ４８を駆動して貯留された液体５０を排出する。再びバルブ４６を閉じてキャップケース４１をキャリッジプレート３０に当接させノズル形成面２６ａを封止する。続いてバルブ４６を開きポンプ４８を駆動して収容部４１ａの内部を負圧にする。これにより、液滴吐出ヘッド２０の内部の液体５０を含む液状体や異物、気泡などをノズル２８から吸引する。所定の時間あるいは所定量の液状体を吸引した後に、ポンプ４８を停止しバルブ４６を大気開放側に開いて、キャップケース４１をキャリッジプレート３０から離間させる。以上の吸引動作により、液滴吐出ヘッド２０のノズル２８内のメニスカスを正常化する。詳しい液滴吐出ヘッド２０の回復方法については、後述す
る。

上記実施形態１の効果は、以下の通りである。
（１）上記実施形態１の液滴吐出装置１０は、キャップ機構４０を備え、液滴吐出ヘッド２０の回復処理および保管時には、液状体に含まれる少なくとも１種の溶媒からなる液体５０が貯留されたキャップケース４１に液滴吐出ヘッド２０のノズル形成面２６ａを浸漬させる。よって、ノズル形成面２６ａが空気に触れない状態で、ノズル２８の内部やノズル形成面２６ａで乾燥した液状体からなる異物を液体５０に溶解または分散させることができる。ゆえに、ノズル２８の目詰まりやノズル形成面２６ａに付着した異物による液状体吐出時の飛行曲がりを低減することができる。

（２）上記実施形態１の液滴吐出装置１０は、キャップ機構４０を備え、制御部８は、キャップケース４１のシール部材４２とキャリッジプレート３０の部材表面３０ａとを当接させて、実質的にノズル形成面２６ａを封止する。続いてポンプ４８を駆動して密閉状態の収容部４１ａを負圧にし、ノズル２８から液滴吐出ヘッド２０の内部の液体５０を含む液状体や異物、気泡などを吸引する吸引動作を行う。これにより、ノズル２８内の液状体のメニスカスを正常化することができる。さらには、キャップケース４１がノズル形成面２６ａに直接当接しないので、キャップケース４１に付着した異物がノズル形成面２６ａに転写されることを防ぐことができる。すなわち、ノズル形成面２６ａを清浄な状態に保つことができる。

（３）上記実施形態１の液滴吐出装置１０は、キャップ機構４０を備え、キャップケース４１のシール部材４２が耐溶剤性の弾性部材で形成されている。したがって、液状体に含まれる少なくとも１種の溶媒からなる液体５０が付着しても劣化し難く、キャップケース４１による液滴吐出ヘッド２０の封止時に気密性を長期に渡って確保することができる。

（実施形態２）
本実施形態は、電気光学装置である液晶表示装置を構成する薄膜としての配向膜の形成方法を例に説明する。そして、実施形態１で説明した液滴吐出装置１０は、本実施形態では、配向膜形成装置として使用される。図４は、液晶表示装置１００を示す概略図である。同図（ａ）は正面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ線で切った断面図である。

図４（ａ）および（ｂ）に示すように、液晶表示装置１００は、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子１０３を有する素子基板１０１と、対向電極１０６を有する対向基板１０２と、シール材１０４によって接着された一対の基板１０１，１０２の隙間に充填された液晶１０５とを有する液晶表示パネル１１０を備えている。素子基板１０１は対向基板１０２より一回り大きく額縁状に張り出した状態となっている。シール材１０４としては、熱あるいは紫外線などの光により硬化するエポキシ系接着剤を用いている。

素子基板１０１は、厚みおよそ１．２ｍｍの石英ガラス基板を用いており、その表面には画素電極（図示省略）と、３端子のうちの一つが画素電極に接続されたＴＦＴ素子１０３が形成されている。ＴＦＴ素子１０３の残りの２端子は、画素電極を囲んで互いに絶縁状態で格子状に配置されたデータ線（図示省略）と走査線（図示省略）とに接続されている。データ線は、Ｙ軸方向に引き出されて端子部１０１ａにおいてデータ線駆動回路部１０９に接続されている。走査線は、Ｘ軸方向に引き出され、左右の額縁領域に形成された２つの走査線駆動回路部１１３，１１３に個々に接続されている。各データ線駆動回路部１０９および走査線駆動回路部１１３の入力側配線は、端子部１０１ａに沿って配列した実装端子１１１にそれぞれ接続されている。端子部１０１ａとは反対側の額縁領域には、２つの走査線駆動回路部１１３，１１３を繋ぐ配線１１２が設けられている。

対向基板１０２は、厚みおよそ１．０ｍｍの透明なガラス基板を用いており、共通電極としての対向電極１０６が設けられている。対向電極１０６は、対向基板１０２の四隅に設けられた上下導通部１１４を介して素子基板１０１側に設けられた配線と導通しており、当該配線も端子部１０１ａに設けられた実装端子１１１に接続されている。

液晶１０５に面する素子基板１０１の表面および対向基板１０２の表面には、それぞれポリイミド等からなる配向膜１０７，１０８が形成されている。
液晶表示装置１００は、外部駆動回路と電気的に繋がる中継基板が実装端子１１１に接続される。そして、外部駆動回路からの入力信号が各データ線駆動回路部１０９および走査線駆動回路部１１３に入力されることにより、ＴＦＴ素子１０３が画素電極ごとにスイッチングされ、画素電極と対向電極１０６との間に駆動電圧が印加されて表示が行われる。

尚、図４には図示省略したが、液晶表示装置１００は、液晶表示パネル１１０を照明する例えば冷陰極管やＬＥＤなどの光源を有する照明装置を備えている。そして、照明装置に対して液晶表示パネル１１０の光の入射側と出射側には、それぞれ入出射する光を偏向する偏光板が設けられる。液晶表示装置１００は、スイッチング素子としてＴＦＤ（Thin
Film Diode）素子を有する所謂アクティブ型のものでもよいし、スイッチング素子を
有しないパッシブ型のものでもよい。

＜配向膜の形成方法＞
次に本発明の一実施形態である薄膜としての配向膜１０７，１０８の形成方法について、図５に基づいて説明する。図５（ａ）〜（ｄ）は、配向膜の形成方法を示す概略断面図である。

本実施形態の配向膜の形成方法は、配向膜を形成するワークＷの表面に親液性を付与する表面処理工程と、液滴吐出装置１０を用い配向膜形成材料を含む液状体を液滴としてワークＷに吐出する吐出工程と、吐出された液状体を乾燥する乾燥工程と、乾燥した液状体を焼成して配向膜として固定する焼成工程とを備えている。また、吐出工程は、液状体を安定して吐出するために、液滴吐出ヘッド２０の回復処理を行う工程を含んでいる。この場合、ワークＷは、前述した液晶表示装置１００の画素電極やＴＦＴ素子１０３が形成された素子基板１０１および対向電極１０６が形成された対向基板１０２を指す。

図５（ａ）に示すように、表面処理工程では、酸素（Ｏ2）を処理ガスとするプラズマ
処理を行う。これにより、ワークＷの表面Ｗａを親液処理する。なお、プラズマ処理に限らず紫外線をワークＷの表面Ｗａに照射する方法を用いてもよい。また、親液性を付与する表面処理工程の前に、ワークＷを純水を用いて洗浄して表面に付着した異物や汚れを取り除く工程を備えることが望ましい。

次に図５（ｂ）に示すように、吐出工程では、親液処理されたワークＷの表面Ｗａと液滴吐出ヘッド２０とを対向させて相対移動させる主走査と副走査とを行う。この主走査に同期して液滴吐出ヘッド２０のノズル２８から配向膜形成材料を含む液状体Ｌを液滴として吐出して、図５（ｃ）に示すように所定の領域に液状体Ｌを塗布する。この場合、液状体Ｌは、配向膜形成材料としておよそ１〜３ｗｔ％のポリイミドと、主溶媒としてのγブチロラクトンと、その他の溶媒としてのＮＭＰおよびブチルセロソルブとを含んだものである。

続いて、乾燥工程では、液状体Ｌが塗布されたワークＷを乾燥する。乾燥方法としては、液滴吐出装置１０に設けられたヒータ１２を用いて加熱して液状体Ｌに含まれる溶媒を
蒸発させる。

さらに、焼成工程では、ワークＷをおよそ１８０〜２００℃に加熱したクリーンオーブン等に入れて１時間程度放置することにより、乾燥した液状体Ｌを焼成して、図５（ｄ）に示すように、表面Ｗａ上で固定化した配向膜ＡＬを得る。配向膜ＡＬの膜厚は、およそ２０〜５０ｎｍである。

＜液滴吐出ヘッドの回復方法＞
つぎに、吐出工程における液滴吐出ヘッド２０の回復方法について図６および図７に基づいて説明する。図６は液滴吐出ヘッドの回復方法を示すフローチャート、図７は液滴吐出ヘッドの回復方法を示す概略断面図である。

図６に示すように、本実施形態の液滴吐出ヘッド２０の回復方法は、ノズル形成面２６ａを液体５０に浸漬する浸漬工程（ステップＳ１）と、ノズル形成面２６ａを実質的に封止して吸引する吸引工程（ステップＳ２）とを備えている。そして、吸引によってノズル形成面２６ａに付着した液状体Ｌを除去するワイピング工程（ステップＳ３）と、すべてのノズル２８から液状体Ｌを吐出する予備吐出としてのフラッシング工程（ステップＳ４）とを備えている。

図６のステップＳ１は、浸漬工程である。ステップＳ１では、図７（ａ）に示すように、制御部８は、ポンプ４７を駆動し所定量の液体５０をキャップケース４１の収容部４１ａに送り込む。続いて、キャップケース４１が液滴吐出ヘッド２０を望む位置に配置されるように、ヘッドユニット１とメンテナンス機構９とを移動させる。上下駆動手段を駆動し、シール部材４２とキャリッジプレート３０の部材表面３０ａとが当接するようにキャップケース４１を上昇させる。これにより、ノズル形成面２６ａを液体５０に浸漬させる。所定量の液体５０を送り込むことにより、液面５０ａは、ノズル形成面２６ａよりもわずか上方に位置している。この状態で、少なくとも数分放置する。この場合、液体５０は、液状体Ｌに含まれる複数種の溶媒のうちγブチルラクトンを用いている。したがって、配向膜形成材料であるポリイミドの溶解性を有している。そして、ステップＳ２へ進む。

図６のステップＳ２は、吸引工程である。ステップＳ２では、図７（ｂ）に示すように、制御部８は、キャップケース４１をキャリッジプレート３０に当接させることにより、実質的にノズル形成面２６ａを封止する。あらかじめ、貯留された液体５０は排出されている。ポンプ４８を駆動して密閉された収容部４１ａ内を負圧にし、ノズル２８から液滴吐出ヘッド２０の内部の液体５０を含む液状体Ｌや異物、気泡などを吸引する。吸引された液状体Ｌや液体５０は、ポンプ４８によって排出される。そして、ステップＳ３へ進む。

図６のステップＳ３は、ワイピング工程である。ステップＳ３では、図７（ｃ）に示すように、制御部８は、メンテナンス機構９に備えられたワイピング装置を駆動する。ワイピング装置としては、例えば、ワイピング部材としてポリエステル１００％で厚みおよそ０．５ｍｍのワイピングシート５２を用いる。ワイピングシート５２の一方の表面を押圧部材５１により支持し、他方の表面をノズル形成面２６ａに押し付ける。そして、ワイピングシート５２を押し付けた状態でノズル形成面２６ａに沿って移動させることにより、ノズル形成面２６ａに付着した液状体Ｌや異物を除去する。このようなワイピング動作は、ノズル形成面２６ａに押圧されるワイピングシート５２の表面を更新して、繰り返し行ってもよい。そして、ステップＳ４へ進む。

図６のステップＳ４は、フラッシング工程である。ステップＳ４では、図７（ｄ）に示すように、制御部８は、液滴吐出ヘッド２０を望む位置にキャップケース４１が配置され
るようにメンテナンス機構９を移動させる。そして、液滴吐出ヘッド２０のすべてのノズル２８から液状体Ｌを液滴として吐出させる。吐出回数は、２００〜３００回である。キャップケース４１は、吐出された液状体Ｌを受けて、ポンプ４８によって排出される。なお、このような予備吐出としてのフラッシングは、キャップケース４１を受け皿としてもよいし、ステージ４の縁部に専用の受け皿を用意して、液状体ＬをワークＷに吐出する直前に行っても良い。また、メンテナンス機構９に例えば重量測定手段を設け、これを受け皿として吐出してもよい。これによれば、所定回数で吐出された液状体Ｌの重量を測定することにより、正常な状態ですべてのノズル２８から液状体Ｌが吐出されたか否か確認することができる。

このような液滴吐出ヘッド２０の回復方法によれば、浸漬工程（ステップＳ１）により、ノズル形成面２６ａが空気に触れない状態で、ノズル２８の内部やノズル形成面２６ａで乾燥した液状体からなる異物を液体５０に溶解させる。吸引工程（ステップＳ２）により、ノズル２８から液滴吐出ヘッド２０の内部の液体５０を含む液状体や異物、気泡などを吸引する。ワイピング工程（ステップＳ３）によりノズル形成面２６ａに残留する液状体Ｌを除去する。フラッシング工程（ステップＳ４）により、本格的な吐出前に予備吐出を行って各ノズル２８からの液状体Ｌの吐出を安定させる。すなわち、液滴吐出ヘッド２０を正常な状態に回復させることが可能である。

なお、このような液滴吐出ヘッド２０の回復処理（動作）は、本格的な吐出を行う前に実施するのが好ましい。また、定期的に予備吐出を行って正常に吐出されているかどうか重量測定する、飛行曲がりが発生していないか観察する等の手段を用いた検査工程の後に実施してもよい。さらには、液滴吐出装置１０において、休止状態の液滴吐出ヘッド２０を長時間に渡って保管する場合には、浸漬工程（ステップＳ１）の状態として保管する。

上記実施形態２の効果は、以下の通りである。
（１）上記実施形態２の液滴吐出ヘッド２０の回復方法は、浸漬工程（ステップＳ１）と、吸引工程（ステップＳ２）と、ワイピング工程（ステップＳ３）と、フラッシング工程（ステップＳ４）とを備えている。したがって、ノズル２８の目詰まりや飛行曲がりに起因する乾燥した配向膜形成材料を含む液状体Ｌを液体５０に溶解させることができる。また、液滴吐出ヘッド２０の内部の液体５０を含む液状体Ｌや異物、気泡等をノズル２８から吸引して排出させることができる。ノズル形成面２６ａに付着した不要な液状体Ｌをワイピングシート５２により除去することができる。すなわち、ノズル形成面２６ａを清浄な状態とすると共にノズル２８内のメニスカスを正常な状態することができる。

（２）上記実施形態２の液滴吐出ヘッド２０の回復方法において、休止状態の液滴吐出ヘッド２０を長時間に渡って保管する場合には、浸漬工程（ステップＳ１）の状態として保管する。したがって、ノズル形成面２６ａが長時間に渡って空気に触れて乾燥することがないので、再使用時にノズル２８の目詰まりなどの不具合がなく安心して保管ができる。

（３）上記実施形態２の配向膜の形成方法において、吐出工程では、液滴吐出ヘッド２０の回復方法を用いた回復処理が、本格的な吐出の前、または定期的に行われる。したがって、ノズル２８の目詰まりや液状体Ｌの飛行曲がりなどの吐出ムラが少ない安定した吐出状態が維持され、より均一な配向膜を形成することができる。その結果、表示品位の高い液晶表示装置１００を提供することができる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、上記各実施形態に対しては、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。例えば上記実施形態１および上記実施形態２以外の変形例は、以下の通りである。

（変形例１）上記実施形態１のキャップケース４１の構成は、これに限定されない。図８は、変形例のキャップケースを示す概略断面図である。例えば、キャップケース６１は、収容部６１ａの側面にシール部材６２が配置され、液滴吐出ヘッド２０を収容した際に、シール部材６２とヘッド本体２４の側面２４ａとが密着して、実質的にノズル形成面２６ａを封止する構造としてもよい。これによれば、液滴吐出ヘッド２０を支持するキャリッジプレート３０の部材表面３０ａが平坦な状態でなくてもよい。すなわち、液滴吐出ヘッド２０の支持構造に自由度を持たせることができる。

（変形例２）上記実施形態１の液滴吐出装置１０において、ヘッドユニット１に取り付けられる液滴吐出ヘッド２０は、１つに限定されない。複数の液滴吐出ヘッド２０を適度な間隔でキャリッジプレート３０に配置し、これに対応した複数のキャップケース４１を設ける構造としてもよい。

（変形例３）上記実施形態１の液滴吐出装置１０において、キャップ機構４０の構成は、これに限定されない。例えば、液滴吐出ヘッド２０のノズル形成面２６ａを液体５０に浸漬するだけのキャップケースを別に設けても良い。これによれば、回復処理用のキャップケースと休止中の保管用キャップケースとに分けて管理することができる。

（変形例４）上記実施形態１の液滴吐出装置１０において、キャップケース４１とシール部材４２とを別体としたが、同一材料で一体形成してもよい。
（変形例５）上記実施形態２の液滴吐出ヘッド２０の回復方法は、これに限定されない。例えば、ワイピング工程では、ノズル形成面２６ａの全面にワイピングシート５２を押し付けてもよい。また、ワイピングシート５２にあらかじめ溶媒を含浸させておいてもよい。さらには、液滴吐出ヘッド２０の状態に合わせて、吸引工程からスタートさせてもよい。

（変形例６）上記実施形態２の配向膜の形成方法は、これに限定されない。例えば、表面処理工程は、ワークＷをあらかじめ洗浄することにより省くことも可能である。また、乾燥工程と焼成工程とを別々に処理するのではなく、例えば、ヒータ等の加熱手段を有するチャンバー内に、ワークＷを放置して所定の温度・時間のプログラムに基づいて乾燥と焼成とを同一工程で行うことも可能である。

（変形例７）上記実施形態２の液滴吐出ヘッド２０の回復方法を適用可能な薄膜の形成方法は、配向膜に限定されない。例えば、機能性材料として色要素形成材料を用いれば、薄膜としてのカラーフィルタの形成方法にも適用することができる。同様にして、機能性材料を適宜選択すれば、有機ＥＬ発光層の形成方法、電気回路等の金属薄膜の形成方法、マイクロレンズの形成方法等にも適用することができる。

液滴吐出装置を示す概略斜視図。 （ａ）は液滴吐出ヘッドの構成を示す概略斜視図、同図（ｂ）は液滴吐出ヘッドの配置を示す概略斜視図。 （ａ）はキャップケースを示す概略斜視図、（ｂ）はキャップケースと関連する各部を示す概略図。 （ａ）は液晶表示装置を示す正面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線で切った断面図。 （ａ）〜（ｄ）は配向膜の形成方法を示す概略断面図。 液滴吐出ヘッドの回復方法を示すフローチャート。 （ａ）〜（ｄ）は液滴吐出ヘッドの回復方法を示す概略断面図。 変形例のキャップケースを示す概略断面図。

符号の説明

２…移動手段としてのＸ方向ガイド軸、３…移動手段としてのＸ方向駆動モータ、５…移動手段としてのＹ方向ガイド軸、１１…移動手段としてのＹ方向駆動モータ、２０…液滴吐出ヘッド、２４ａ…液滴吐出ヘッドの本体の側面としてのヘッド本体の側面、２６ａ…ノズル形成面、２８…ノズル、３０…ヘッド支持部としてのキャリッジプレート、３０ａ…ヘッド支持部の部材表面としてのキャリッジプレートの部材表面、４１…キャップケース、４１ａ…収容部、４２…弾性部材としてのシール部材、４７…液体供給手段としてのポンプ、４８…吸引手段としてのポンプ、５０…液体、１０７，１０８，ＡＬ…薄膜としての配向膜、Ｌ…液状体、Ｗ…ワーク。

Claims (12)

1. 機能性材料を含む液状体を液滴としてノズルから吐出可能な液滴吐出ヘッドと、
   少なくともノズル形成面を含む前記液滴吐出ヘッドの一部を収容可能な収容部を有するキャップケースと、
   前記収容部に液体を供給する液体供給手段と、
   前記液滴吐出ヘッドの回復動作または前記液滴吐出ヘッドの休止中の保管において、前記収容部に貯留された前記液体に前記ノズル形成面が浸漬されるように前記キャップケースを前記液滴吐出ヘッドに対して相対配置する移動手段とを備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
2. 前記液体が前記液状体に含まれる少なくとも１種の溶媒であることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
3. 少なくとも一方が平面の部材表面から前記液滴吐出ヘッドのノズル形成面を突出させて略水平な状態に前記液滴吐出ヘッドを支持するヘッド支持部と、
   前記キャップケースの前記収容部に接続され内部を負圧にする吸引手段とをさらに備え、
   前記キャップケースが前記ヘッド支持部の前記部材表面または前記液滴吐出ヘッドの本体の側面に当接することにより、実質的に前記ノズル形成面を封止した状態で前記吸引手段を稼動させることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
4. 前記ヘッド支持部の前記部材表面または前記液滴吐出ヘッドの本体の側面と当接する前記キャップケースの部位に耐溶剤性を有する弾性部材が配設されていることを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置。
5. 機能性材料を含む液状体を液滴としてノズルから吐出可能な液滴吐出ヘッドの回復方法であって、
   少なくともノズル形成面を含む前記液滴吐出ヘッドの一部を収容可能な収容部を有するキャップケースの前記収容部に前記液状体に含まれる少なくとも１種の溶媒を貯留し、前記ノズル形成面を当該溶媒に浸漬する浸漬工程を含むことを特徴とする液滴吐出ヘッドの回復方法。
6. 前記浸漬工程の後に、前記キャップケースにより実質的に前記ノズル形成面を封止して、前記ノズルから前記液滴吐出ヘッドの内部の前記液状体を吸引する吸引工程をさらに備えることを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出ヘッドの回復方法。
7. 液滴吐出ヘッドのノズルから機能性材料を含む液状体を液滴としてワークに吐出して乾燥することにより、機能性材料からなる薄膜をワーク上に形成する薄膜の形成方法であって、
   少なくともノズル形成面を含む前記液滴吐出ヘッドの一部を収容可能な収容部を有するキャップケースの前記収容部に前記液状体に含まれる少なくとも１種の溶媒を貯留し、前記ノズル形成面を当該溶媒に浸漬する浸漬工程と、
   前記浸漬工程の後に、前記キャップケースにより実質的に前記ノズル形成面を封止して、前記ノズルから前記液滴吐出ヘッドの内部に充填された前記液状体を吸引する吸引工程とを含むことを特徴とする薄膜の形成方法。
8. 液滴吐出ヘッドのノズルから配向膜形成材料を含む液状体を液滴としてワークに吐出して乾燥することにより、配向膜形成材料からなる配向膜を形成する配向膜の形成方法であって、
   少なくともノズル形成面を含む前記液滴吐出ヘッドの一部を収容可能な収容部を有するキャップケースの前記収容部に前記液状体に含まれる少なくとも１種の溶媒を貯留し、前記ノズル形成面を浸漬する浸漬工程と、
   前記浸漬工程の後に、前記キャップケースにより実質的に前記ノズル形成面を封止して、前記ノズルから前記液滴吐出ヘッドの内部に充填された前記液状体を吸引する吸引工程とを含むことを特徴とする配向膜の形成方法。
9. 配向膜形成材料を含む液状体を液滴としてノズルから吐出可能な配向膜形成用液滴吐出ヘッドの回復方法であって、
   少なくともノズル形成面を含む前記配向膜形成用液滴吐出ヘッドの一部を収容可能な収容部を有するキャップケースの前記収容部に前記液状体に含まれる少なくとも１種の溶媒を貯留し、前記ノズル形成面を当該溶媒に浸漬する浸漬工程を含むことを特徴とする配向膜形成用液滴吐出ヘッドの回復方法。
10. 配向膜形成材料を含む液状体を液滴としてノズルから吐出可能な液滴吐出ヘッドと、
    少なくともノズル形成面を含む前記液滴吐出ヘッドの一部を収容可能な収容部を有するキャップケースと、
    前記収容部に液体を供給する液体供給手段と、
    前記液滴吐出ヘッドの回復動作または前記液滴吐出ヘッドの休止中の保管において、前記収容部に貯留された前記液体に前記ノズル形成面が浸漬されるように前記キャップケースを前記液滴吐出ヘッドに対して相対配置する移動手段とを備えたことを特徴とする配向膜形成装置。
11. 前記液体が前記液状体に含まれる少なくとも１種の溶媒であることを特徴とする請求項１０に記載の配向膜形成装置。
12. 請求項１０又は１１に記載の配向膜形成装置によって形成された配向膜を備えたことを特徴とする液晶表示装置。

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