JP2006272097A - ノズル洗浄装置、これを備えた液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器 - Google Patents
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Abstract
【課題】 機能液吐出口付近ではノズル面に機能液が増粘するだけでなく、機能液吐出口の内部に機能液が固着することがある。
【解決手段】 機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドの機能液吐出口を洗浄するノズル洗浄装置であって、機能液吐出口に付着した固着物を溶解するための洗浄液を満たす洗浄液槽と、機能液滴吐出ヘッドのノズル面を洗浄液に浸漬させる洗浄液槽昇降手段と、機能液吐出口の固着物を除去する払拭部材と、を備えることを特徴とする。
【選択図】 図6
【解決手段】 機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドの機能液吐出口を洗浄するノズル洗浄装置であって、機能液吐出口に付着した固着物を溶解するための洗浄液を満たす洗浄液槽と、機能液滴吐出ヘッドのノズル面を洗浄液に浸漬させる洗浄液槽昇降手段と、機能液吐出口の固着物を除去する払拭部材と、を備えることを特徴とする。
【選択図】 図6
Description
本発明は、洗浄液に浸された払拭部材により、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドのノズル面を洗浄するノズル洗浄装置、これを備えた液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器に関するものである。
近年、液晶パネルのカラーフィルタや半導体分野で液滴吐出の技術を応用し、直接基板にカラーフィルタの顔料や半導体用のレジストでパターンを描画するいわゆる直接描画技術が広まっている。
このような直接描画技術を用いる液滴吐出装置では、機能液滴吐出ヘッドの機能液吐出口から増粘した機能液を除去するクリーニング装置を備えている。
クリーニング装置は吸引装置とワイピング装置とからなり、吸引装置は吐出ヘッドのノズル面に密着させるキャップと、キャップを介して吸引できる吸引ポンプを有し、ノズル面にキャップを押し付けて、機能液吐出口から機能液を吸引するようになっている。また、ワイピング装置はノズル面を払拭するワイピングシートと、ワイピングシートに洗浄液を噴霧する洗浄液噴霧器を有し、ワイピングシートに洗浄液を吹き付けて、ワイピングシートでノズル面を払拭するようになっている。
特開2003−127405号公報
クリーニング装置は吸引装置とワイピング装置とからなり、吸引装置は吐出ヘッドのノズル面に密着させるキャップと、キャップを介して吸引できる吸引ポンプを有し、ノズル面にキャップを押し付けて、機能液吐出口から機能液を吸引するようになっている。また、ワイピング装置はノズル面を払拭するワイピングシートと、ワイピングシートに洗浄液を噴霧する洗浄液噴霧器を有し、ワイピングシートに洗浄液を吹き付けて、ワイピングシートでノズル面を払拭するようになっている。
ところで、ノズル吐出付近ではノズル面に機能液が増粘するだけでなく、機能液吐出口の内部に機能液が固着することがある。このため、従来のクリーニング装置では増粘した機能液は除去可能であるが、機能液が強力に固着している場合には、通常のワイピング手段や予備吐出手段あるいは吸引手段などの回復処理では、機能液吐出からの液体の吐出状態を適正にすることが困難である問題があった。このため、ドット抜け、飛行曲り、吐出量不安定などをおこし描画に影響を与えていた。
そこで本発明は、機能液吐出口付近の強固な固着物を確実に除去することができるノズル洗浄装置、これを備えた液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを課題としている。
本発明のノズル洗浄装置は、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドのノズル面に形成された機能液吐出口を洗浄するノズル洗浄装置であって、機能液吐出口に付着した固着物を溶解するための洗浄液を満たす洗浄液槽と、機能液滴吐出ヘッドと洗浄液槽の少なくとも一方を昇降させて機能液滴吐出ヘッドのノズル面を洗浄液に浸漬させる洗浄液槽昇降手段と、洗浄液槽の洗浄液に浸漬された機能液吐出口に接触し、機能液吐出口の固着物を除去する払拭部材と、を備えることを特徴とする。
この構成によれば、機能液吐出口が洗浄液に浸漬されることにより、機能液滴吐出ヘッドの機能液吐出口付近の固着物が洗浄液槽の洗浄液により溶解され、さらに払拭部材の繊維が吐出口の内部の固着物に接触することで、機能液吐出口付近に固くこびりついた固着物を確実に除去することができる。したがって、機能液吐出口が常に良好な状態に保たれ、ドット抜け、飛行曲がり、吐出量不安定などを防ぐことができる。なお、本装置は、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドが非描画時に待機するメンテナンスエリアに設けることが、好ましい。
この場合、ノズル面に対し払拭部材を水平方向に振動させる払拭部材振動手段を、更に備えることが好ましい。
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドの機能液吐出口付近の固着物が洗浄液槽の洗浄液により溶解され、さらに洗浄液に浸漬された払拭部材が振動して、その繊維が固着物をブラッシングするように作用する。このため機能液の固着物をさらに確実に洗浄し、機能液吐出口からの機能液の吐出状態が適正に回復される。
この場合、払拭部材は洗浄液槽に固定されており、払拭部振動手段は洗浄液槽を介して払拭部材を振動させることが好ましい。
この構成によれば、固着物を確実に除去できると共に、払拭部材振動手段を、洗浄液槽の外部に設置することができる。
この場合、洗浄液槽を支持する支持部材を、更に備え、支持部材は弾性部材で構成されていることが好ましい。
この構成によれば、洗浄液槽を支持しつつ払拭部材振動手段による振動を許容することができる。
この場合、洗浄液は機能液または機能液の溶剤であることが好ましい。
この構成によれば、機能液あるいは、機能液の溶剤で機能液吐出口付近の固着物を溶解することができる。
この場合、機能液の着弾精度を測定する着弾精度測定手段と、着弾制度測定手段が生成した着弾精度情報から機能液吐出口の汚れ量を求め機能液吐出口の浸漬時間情報を生成する浸漬時間生成手段と、浸漬時間情報に基づいて、洗浄液槽昇降手段を制御して洗浄液槽を昇降させる制御手段と、を更に備えることが好ましい。
この構成によれば、機能液の着弾制度を測定し、機能液吐出口付近の固着物の汚れ量を求め、機能液吐出口の洗浄液への浸漬時間を制御することができる。したがって、汚れに状態に応じて洗浄作業を効率良く行うことができ、機能液吐出口を常に良好な状態に効率的に保つことができる。
本発明の液滴吐出装置は、上記のいずれかに記載のノズル洗浄装置と、機能液滴吐出ヘッドを有しワークに対して機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら当該機能液滴吐出ヘッドを吐出駆動することによりワークに機能液による描画を行うことを特徴とする。
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドを適切に保守することができるため、高画質の描画を行い、装置の信頼性を高めることができる。
本発明の電気工学装置の製造方法は、上記に記載の液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液による生成膜を形成することを特徴とする。また、本発明の電気光学装置は、上記に記載の液滴吐出装置を用い、ワークに機能液による生成膜を形成することを特徴とする。
これらの構成によれば、洗浄液の飛散を防止可能であると共に、機能液滴吐出ヘッドを適切に保守できる描画装置を用いて電気光学装置の製造が行われるため、効率的な製造が可能となる。なお、電気光学装置(デバイス)としては、液晶表示装置、有機EL(Electro-Luminescence)装置、電子放出装置、PDP(Plasma Display Panel)装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるFED(Field Emission Display)装置またはSED(Surface-Conduction Electron-Emitter Display)装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
本発明の電子機器は、上記に記載した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置、または上記に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種電気製品がこれに該当する。
以下、添付の図面を参照して、本発明を適用した描画装置について説明する。この描画装置は、いわゆるフラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれるものであり、機能液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出法により、液晶表示装置のカラーフィルタや有機EL装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。
図1および図2に示すように、描画装置1は、機台2と、機能液滴吐出ヘッド31を有し、機台2上の全域に広く載置された液滴吐出装置3と、液滴吐出装置3に接続した機能液供給装置4と、液滴吐出装置3に添設するように機台2上に載置したヘッド保守装置5と、を備えている。また、描画装置1には、図外の制御装置6が設けられており、描画装置1では、機能液供給装置4により液滴吐出装置3が機能液の供給を受けながら、制御装置6による制御に基づいて、液滴吐出装置3がワークWに対する描画動作を行うと共に、機能液滴吐出ヘッド31に対して、ヘッド保守装置5が適宜保守動作(メンテナンス)を行うようになっている。
両図に示すように、液滴吐出装置3は、ワークWを主走査(X軸方向に移動)させるX軸テーブル12およびX軸テーブル12に直交するY軸テーブル13から成るX・Y移動機構11と、Y軸テーブル13に移動自在に取り付けられたメインキャリッジ14と、メインキャリッジ14に垂設され、機能液滴吐出ヘッド31を搭載したヘッドユニット15と、を有している。
X軸テーブル12は、X軸方向の駆動系を構成するX軸モータ(図示省略)駆動のX軸スライダ21を有し、これに吸着テーブル22およびθテーブル23等から成るセットテーブル24を移動自在に搭載して構成されている。同様に、Y軸テーブル13は、Y軸方向の駆動系を構成するY軸モータ(図示省略)駆動のY軸スライダ25を有し、これにヘッドユニット15を支持する上記のメインキャリッジ14をY軸方向に移動自在に搭載して構成されている。なお、X軸テーブル12は、X軸方向に平行に配設されており、機台2上に直接支持されている。一方、Y軸テーブル13は、機台2上に立設した左右の支柱26に支持されており、X軸テーブル12およびヘッド保守装置5を跨ぐようにY軸方向に延在している(図1参照)。
本実施形態における描画装置1では、X軸テーブル12およびY軸テーブル13が交わるエリアがワークWの描画を行う描画エリア27、Y軸テーブル13およびヘッド保守装置5が交わるエリアが機能液滴吐出ヘッド31に対する機能回復処理を行う保守エリア28となっており、ワークWに描画を行う場合には描画エリア27に、機能回復処理を行う場合には保守エリア28に、ヘッドユニット15を臨ませるようになっている。
ヘッドユニット15は、複数(12個)の機能液滴吐出ヘッド31と、ヘッド保持部材(図示省略)を介して機能液滴吐出ヘッド31を搭載するヘッドプレート32と、を備えている。ヘッドプレート32は、支持フレーム33に着脱自在に支持されており、ヘッドユニット15は、支持フレーム33を介してメインキャリッジ14に位置決め状態で搭載される。なお、詳細は後述するが、支持フレーム33には、ヘッドユニット15に並んで、機能液供給装置4のバルブユニット34およびタンクユニット35が支持されている(図2および図3参照)。
図4に示すように、機能液滴吐出ヘッド31は、いわゆる2連のものであり、2連の接続針41を有する機能液導入部42と、機能液導入部42に連なる2連のヘッド基板43と、機能液導入部42の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体44と、を備えている。接続針41は、図外の機能液供給装置4に接続され、機能液滴吐出ヘッド31のヘッド内流路に機能液を供給する。ヘッド本体44の下面(図示では上面)には、吐出ノズル46が開口したノズル面47を有するノズルプレート48が設けられている。ノズル面47には、多数(180個)の吐出ノズル46から成るノズル列が2列形成されている。図示省略したが、ノズル面47には、ノズル列を囲繞するように、浅い溝が形成されており、この浅溝にノズルが開口している。
ヘッドプレート32は、機能液耐食性を有するステンレス等からなる方形の厚板で構成されている。ヘッドプレート32には、12個の機能液滴吐出ヘッド31を位置決めし、これを、裏面側からヘッド保持部材を介して固定するための12個の装着開口(図示省略)が形成されている。12個の装着開口(図示省略)は、2個ずつ6組に分けられており、各組の装着開口(図示省略)は、一部が重複するように、機能液滴吐出ヘッド31のノズル列と直交する方向に(ヘッドプレート32の長手方向)に位置ずれして形成されている。すなわち、12個の機能液滴吐出ヘッド31は、2個ずつ6組に分けられ、ノズル列と直交する方向において、各組の機能液滴吐出ヘッド31のノズル列が1の描画ラインを構成すべく(一部重複)、階段状に配置されている(図3参照)。
なお、各機能液滴吐出ヘッド31に形成された2列のノズル列は、4ドット分のピッチを有して配設された多数(180個)の吐出ノズル46によってそれぞれ構成されており、両ノズル列は、列方向に2ドット分位置ずれして配設されている。すなわち、各機能液滴吐出ヘッド31には、2列のノズル列により、2ドットピッチの描画ラインが形成されている。一方、同1組の隣接する2個の機能液滴吐出ヘッド31は、それぞれの(2ドットピッチの)描画ラインが列方向に1ドット分位置ずれするように配設され、1組の機能液滴吐出ヘッド31により、1ドットピッチの描画ラインが形成される。すなわち、同1組2個の機能液滴吐出ヘッド31は、1/4解像度の各ノズル列が相互位置ずれするように配置され、他の5組10個の機能液滴吐出ヘッド31と合わせて、1描画ラインの高解像度のノズル列が構成されるようになっている。
メインキャリッジ14は、Y軸テーブル13に下側から固定される外観「I」形の吊設部材51と、吊設部材51の下面に取り付けられ、(ヘッドユニット15の)θ方向に対する位置補正を行うためのθ回転機構52と、θ回転機構52の下方に吊設するよう取り付けたキャリッジ本体53と、で構成されており、キャリッジ本体53が、支持フレーム33を介してヘッドユニット15を支持するようになっている(図2参照)。図示省略したが、キャリッジ本体53には、支持フレーム33を遊嵌するための方形の開口が形成されていると共に、支持フレーム33を位置決めするための位置決め機構が設けられており、ヘッドユニット15を位置決めした状態で固定できるようになっている。
図1ないし図3に示すように、機能液供給装置4は、上記の支持フレーム33にヘッドユニット15と共に搭載されており、機能液を貯留する複数(12個)の機能液タンク61から成るタンクユニット35と、各機能液タンク61および各機能液滴吐出ヘッド31を接続する複数(12本)の機能液供給チューブ62と、複数の機能液供給チューブ62に介設した複数(12個)の圧力調整弁63から成るバルブユニット34と、を有している。
図3に示すように、支持フレーム33は、略方形の枠状に形成されており、その長手方向に対し、ヘッドユニット15、バルブユニット34、タンクユニット35の順でこれらを搭載している。なお、図2および図3に示すように、支持フレーム33には、その長辺部分に、一対のハンドル64が取り付けられており、この一対のハンドル64を手持ち部位として、支持フレーム33をメインキャリッジ14に着脱可能に交換できるようになっている。
図3に示すように、タンクユニット35は、12個の機能液タンク61を有し、各機能液タンク61は、樹脂製のカートリッジケース74に、機能液を真空パックした機能液パック75を収容して、構成されている。
圧力調整弁63は機能液タンク61からの機能液を大気圧と略同圧に減圧し、機能液滴吐出ヘッド31に供給する。このため、機能液タンク61の水頭に影響されることなく、機能液滴吐出ヘッド31に機能液を安定して供給することが可能となる。
図1に示すように、ヘッド保守装置5は、機台2上に載置され、X軸方向に延在する移動テーブル101と、移動テーブル101上に載置した吸引ユニット102と、ワイピングユニット103(ワイピング装置)と、ワイピングユニット103に並んで移動テーブル101上に配設されたノズル洗浄ユニットと、を備えている。移動テーブル101は、X軸方向に移動可能に構成されており、機能液滴吐出ヘッド31の保守時には、吸引ユニット102とワイピングユニット103ならびにノズル洗浄ユニットを適宜、保守エリア28に移動させる構成となっている。なお、上記の各ユニットに加え、機能液滴吐出ヘッド31から吐出された機能液滴の飛行状態を検査する吐出検査ユニットや、機能液滴吐出ヘッド31から吐出された機能液滴の重量を測定する重量測定ユニット等を、ヘッド保守装置5に搭載することが好ましい。
図1に示すように、吸引ユニット102は、キャップスタンド104と、キャップスタンド104に支持され、機能液滴吐出ヘッド31のノズル面47に密着させる(機能液滴吐出ヘッド31の配置に対応した12個の)キャップ105と、各キャップ105を介して(12個の)機能液滴吐出ヘッド31を吸引可能な単一の吸引ポンプ(図示省略)と、各キャップ105と吸引ポンプ(図示省略)とを接続する吸引チューブ(図示省略)と、を有している。
吸引ユニット102は機能液の吸引を行い、機能液滴吐出ヘッド31の目詰まりを解消/防止するために行われる他、描画装置1を新設した場合や、機能液滴吐出ヘッド31のヘッド交換場合などに、機能液タンク61から機能液滴吐出ヘッド31に至る機能液流路(図示省略)に機能液を充填するために行われる。
また、吸引ユニット102は、描画装置1の非稼動時に、機能液滴吐出ヘッド31を保管するためにも用いられる。この場合、保守エリア28にヘッドユニット15を臨ませ、機能液滴吐出ヘッド31のノズル面47にキャップ105を密着させる。これにより、ノズル面47が封止され、機能液滴吐出ヘッド31(吐出ノズル46)の乾燥を防いで、吐出ノズル46のノズル詰まりを防止できるようになっている。
また、吸引ユニット102は、描画装置1の非稼動時に、機能液滴吐出ヘッド31を保管するためにも用いられる。この場合、保守エリア28にヘッドユニット15を臨ませ、機能液滴吐出ヘッド31のノズル面47にキャップ105を密着させる。これにより、ノズル面47が封止され、機能液滴吐出ヘッド31(吐出ノズル46)の乾燥を防いで、吐出ノズル46のノズル詰まりを防止できるようになっている。
ワイピングユニット103は、装置ベース112と、装置ベース112上に立設され、主構成装置を支持するテーブル様の装置フレーム(図示省略)と、装置フレーム(図示省略)と左右(Y軸方向)に並んで装置ベース112上に立設され、後述する洗浄液噴霧ユニット(図示省略)を支持するユニットスタンド114と、を備えている。装置フレーム(図示省略)には、その内側に位置して、ワイピングシート111を供給するシート供給ユニット(図示省略)が支持され、その上側に位置してワイピングシート111を介して機能液滴吐出ヘッド31のノズル面47を払拭する拭取りユニット(図示省略)が支持されている。ユニットスタンド114には、洗浄液の噴霧ヘッド(図示省略)を有し、ノズル面47を払拭する前のワイピングシート111に洗浄液を噴霧・塗着させる洗浄液噴霧ユニット(図示省略)が支持されている。
ワイピングユニット103は、機能液滴吐出ヘッド31の吸引(クリーニング)等により機能液が付着して汚れた各機能液滴吐出ヘッド31のノズル面47を、洗浄液を含浸させたワイピングシート111により、拭き取る(ワイピングする)ようになっている。
一方、詳細は後述するが、ノズル洗浄ユニット201は、機能液滴吐出ヘッド31のノズル面47に付着した機能液の固着物を、洗浄液槽202の洗浄液で溶解し、払拭部材203で擦りながら、クリーニングするものである。このノズル洗浄ユニット201によるノズル洗浄動作は、主として上記の吸引ユニット102による吸引動作の後、ワイピングユニット103によるワイピング動作の前に行われる(図5および図6参照)。
次に、図7を参照しながら描画装置1の主制御系について説明する。描画装置1は、液滴吐出装置3を有する液滴吐出部301と、ヘッド保守装置5を有するヘッド保守部302と、液滴吐出装置3やヘッド保守装置5の各種センサを有し、各種検出を行う検出部303と、各部を駆動する駆動部304と、各部に接続され、描画装置1全体の制御を行う制御部305(制御装置6)と、を備えている。
制御部305には、液滴吐出装置3およびヘッド保守装置5を接続するためのインタフェース311、一時的に記憶可能な記憶領域を有し、制御処理のための作業領域として使用されるRAM312、各種記憶領域を有し、制御プログラムや制御データを記憶するROM313、ワークWに描画を行うための描画データや、液滴吐出装置3およびヘッド保守装置5からの各種データ等を記憶すると共に、各種データを処理するためのプログラム等を記憶するハードディスク314、ROM313やハードディスク314に記憶されたプログラム等に従い、各種データを演算処理するCPU315、これらを互いに接続するバス316、が備えられている。
そして、制御部305は、液滴吐出装置3、ヘッド保守装置5等からの各種データを、インタフェース311を介して入力すると共に、ハードディスク314に記憶された(または、CD−ROMドライブ等により順次読み出される)プログラムに従ってCPU315に演算処理させ、その処理結果を、インタフェースを介して液滴吐出装置3やヘッド保守装置5等に出力することにより、各手段を制御している。
ここで、図5および図6を参照しながら、ノズル洗浄ユニット(ノズル洗浄装置)について詳細に説明する。図5は、ノズル洗浄ユニットの待機状態を示す構造図であり、図6はノズル洗浄状態の洗浄状態を示す構造図である。両図に示すように、ノズル洗浄ユニット201は、機能液滴吐出ヘッド31のヘッド本体44が浸漬される洗浄液槽202と、洗浄液槽202を支持する洗浄液槽支持フレーム204と、洗浄液槽202を水平方向に振動させる横動アクチュエータ205と、洗浄液槽支持フレーム204を介して洗浄液槽を上下動(昇降)させる上下動アクチュエータ206と、洗浄液槽支持フレーム204の上下動をガイドすると共に、上下動アクチュエータ206を支持する装置フレーム207と、を備えている。
装置フレーム207は、方形に形成された装置ベース211と、装置ベース211の四隅に立設した4本のベースガイド212と、を有している。4本のベースガイド212は、上下動アクチュエータ206により昇降する洗浄液槽支持フレーム204をガイドしており、その上端部には、上下動アクチュエータ206による洗浄液槽支持フレーム204の上動端位置、ひいては洗浄液槽202の上動端位置を度当り規制するストッパが、それぞれ設けられている。すなわち、洗浄液槽支持フレーム204の上昇に伴って洗浄液槽202も上昇し、洗浄液槽支持フレーム204が上動端位置に達した状態で、洗浄液槽202にヘッド本体44が浸漬されるようになっている。
上下動アクチュエータ206は、縦置きのエアシリンダで構成されており、そのピストンロッド217の先端は洗浄液槽支持フレーム204に固定されている。上下動アクチュエータ206が駆動すると、洗浄液槽支持フレーム204を介して、洗浄液槽202が上記の上動端位置と下動端位置との間で昇降する。この場合、洗浄液槽202が下動端位置にある状態で、機能液滴吐出ヘッド31の洗浄液槽202の直上部への移動が許容され、且つ直上部から他への移動が許容される。また、上動端位置では、上記のように機能液滴吐出ヘッド31が洗浄液槽202に浸漬される。そして、上下動アクチュエータ206は制御部305により制御される(詳細は後述する)。
支持フレーム204は、方形に形成されたフレーム本体と、フレーム本体の中央部に設けられ洗浄液槽202を支持する左右一対の支持ばね214と、両支持ばね214に抗して洗浄液槽202を上側から抑える上動端規制枠218と、フレーム本体から側方に延設され横動アクチュエータ205を支持するサブフレーム部215と、を有している。フレームの四隅に上記の4本のベースガイド212がスライド自在に係合する4つのガイド孔が形成され、またその中央部に、後述する洗浄液供給チューブ用の円形開口が形成されている。
一対の支持ばね214は、それぞれ圧縮コイルばねで構成され、下端部をフレーム本体に立設した一対の保持ピンに案内されるようにして保持されている。各支持ばね214の上端部は、洗浄液槽202の下面に形成した係止溝に係止され、洗浄液槽202を上方に付勢するようにしてこれを直接支持している。上動端規制枠218は、内向き屈曲した押え片部218aにより、洗浄液槽を水平面内で位置規制すると共に、両支持ばね214に抗して、洗浄液槽202の洗浄液槽支持フレーム204に対する上動位置を位置規制している。詳細は後述するが、横動アクチュエータ205により洗浄液槽202を水平方向に振動させると、両支持ばね214および上動端規制枠218は、洗浄液槽202の動きを許容する。また上下動アクチュエータ206による洗浄液槽202の上昇時に機能液滴吐出ヘッド31が後述する払拭部材203に相対的に突き当たると、その衝撃を両支持ばね214が吸収する。
横動アクチュエータ205は、複動のエアシリンダで構成されており、そのピストンロッド216の先端は洗浄液槽202に連結されている。機能液滴吐出ヘッド31を洗浄液槽202に浸漬した状態で、横動アクチュエータ205が駆動すると、洗浄液槽202が左右方向に振動し、洗浄液槽202に敷設した払拭部材203が機能液滴吐出ヘッド31のノズル面に対し、払拭動作する。この場合も、横動アクチュエータ205は、上下動アクチュエータ206と同様に上記の制御部305により制御される(詳細は後述する)。
洗浄液槽202は、洗浄液を貯蓄する槽本体208と、槽本体208の上縁部を外方に延長したフランジ部209と、槽本体の底面に敷設した払拭部材203と、槽本体208に接続した洗浄液供給チューブ213と、を有している。フランジ部209には上記上動端規制枠218の押え片部218aが上側から当接しており、この押え片部218aと両支持ばね214とが拮抗することで、洗浄液槽202が保持されている。一方、洗浄液供給チューブ213の一方の端部は、槽本体208の底面に開口した洗浄液供給口(図示省略)に継手を介して接続され、他方の端部は、図外の洗浄液供給装置(図示省略)に接続されており、洗浄液の目減りの際し適宜、洗浄液を補給できるようになっている。なお、払拭部材203は、不織布等で構成され、また洗浄液は、機能液あるいはその溶剤で構成されている。溶剤の一例として、ジエチレングリコールモノ-n-ブチルエーテルアセテートがある。
次に、ノズル洗浄ユニット201を用いた機能液滴吐出ヘッド31の洗浄方法について説明する。
図8は機能液滴の着弾位置の精度を測定した結果から機能液吐出口49を洗浄するための浸漬時間と、払拭部材203の振動時間を求める動作手順を示すフローチャートであり、図9は着弾位置測定用パターン(以下、テストパターンともいう)が着弾位置ずれのない目標着弾位置と、実際の機能液滴の着弾位置を比較して説明するための図である。また、図10は、着弾位置と目標着弾位置とのずれ量を示した図である。
図8は機能液滴の着弾位置の精度を測定した結果から機能液吐出口49を洗浄するための浸漬時間と、払拭部材203の振動時間を求める動作手順を示すフローチャートであり、図9は着弾位置測定用パターン(以下、テストパターンともいう)が着弾位置ずれのない目標着弾位置と、実際の機能液滴の着弾位置を比較して説明するための図である。また、図10は、着弾位置と目標着弾位置とのずれ量を示した図である。
図8のステップS1において、図9(a)に示すような、機能液吐出口451が千鳥状に配列された機能液滴吐出ヘッド452を用い、図9(c)のような直線状の目標着弾位置をテストパターンとして、機能液吐出口451から機能液滴を吐出する。
尚、テスト用のワークを用いることもできるが、ここでは着弾精度を正確に求めるため求めるためにテストパターンの吐出場所は製造に利用するワークの縁部に設けられた未使用領域を利用している。
尚、テスト用のワークを用いることもできるが、ここでは着弾精度を正確に求めるため求めるためにテストパターンの吐出場所は製造に利用するワークの縁部に設けられた未使用領域を利用している。
次に、ステップS2において、図9(b)のような、機能液滴を着弾させて作成したテストパターンをCCDカメラ321で読み取り、各ノズルから吐出されたそれぞれの機能液滴の着弾位置を測定する。
ここでは読み取りセンサとしてCCDカメラ321で着弾位置を測定したが、CCDカメラ321に限定されず、読み取った光学情報を電子情報に変えるものであれば良い。
ここでは読み取りセンサとしてCCDカメラ321で着弾位置を測定したが、CCDカメラ321に限定されず、読み取った光学情報を電子情報に変えるものであれば良い。
次に、ステップS3において、図10に示すように目標着弾位置からのずれ量を各ドット(吐出インク)毎に求める。本実施形態では、CCDカメラ321による取り込みでそれぞれの着弾ドットの重心を求めた結果は、目標着弾位置と各ドット(ドットNo1〜No8)とのずれ量は、夫々、x1,x2,x3,x4,x5,x6,x7,x8となる。ここではx2、x6は共に0である。
次に、ステップS4において、ステップS4で求めたずれ量に応じて機能液吐出口49の洗浄液へ浸漬時間と払拭部材203を振動させるためのモータ駆動時間を求める。本実施例ではずれ量の一番多いx1をノズルの汚れ量を示すドットのずれ量とし、図11はずれ量から浸漬時間を決めるグラフである。また、図12はずれ量から払拭部材203の振動時間を決めるグラフである。それぞれのグラフ情報を関数としてROM313あるいはハードディスク314に保存しておき、制御部305がずれ量から浸漬時間を求めている。グラフ情報はずれ量と浸漬時間、ずれ量と振動時間を、それぞれデータベース化してROM313またはハードディスク314に保存してもよい。
また、ここではずれ量の一番多いドットを代表値として採用したが、各ドットのずれ量の平均値を採用してもよい。
また、ここではずれ量の一番多いドットを代表値として採用したが、各ドットのずれ量の平均値を採用してもよい。
ここで一連の機能液吐出口49の洗浄動作について説明する。図13はノズル洗浄動作の動作手順を示したフローチャートである。
図13のステップS11において、ノズルの汚れ状態を検出するために、着弾位置の精度測定を行い、浸漬時間と振動時間を生成する。ここで、具体的数値を使い、浸漬時間を10秒、振動時間を5秒として説明する。
次に、ステップS12において、制御部305からの指示により、上下動アクチュエータ206が上方向に動作して機能液吐出口49を洗浄液に浸漬させ、さらに払拭部材203を機能液吐出口49に接触させる。
次に、ステップS13において、機能液吐出口49の固着物を溶解させるために10秒間、洗浄液に機能液吐出口49を浸漬させる。
次に、ステップS14において、浸漬時間が終了すると、洗浄液槽202に機能液吐出口49を浸漬した状態で、機能液吐出口49と払拭部材203を擦り固着物を取り除くため、横動アクチュエータ205が洗浄液槽を横方向に振動させる。振動開始から5秒後に横動アクチュエータ205の動作が終了する。
次に、ステップS15において、上下動アクチュエータ206を下方向に動作させて機能液吐出口49の洗浄を終了する。
次に、ステップS12において、制御部305からの指示により、上下動アクチュエータ206が上方向に動作して機能液吐出口49を洗浄液に浸漬させ、さらに払拭部材203を機能液吐出口49に接触させる。
次に、ステップS13において、機能液吐出口49の固着物を溶解させるために10秒間、洗浄液に機能液吐出口49を浸漬させる。
次に、ステップS14において、浸漬時間が終了すると、洗浄液槽202に機能液吐出口49を浸漬した状態で、機能液吐出口49と払拭部材203を擦り固着物を取り除くため、横動アクチュエータ205が洗浄液槽を横方向に振動させる。振動開始から5秒後に横動アクチュエータ205の動作が終了する。
次に、ステップS15において、上下動アクチュエータ206を下方向に動作させて機能液吐出口49の洗浄を終了する。
以上のように、本実施形態のノズル洗浄ユニット201では、機能液吐出口49が洗浄液に浸漬されることにより、機能液滴吐出ヘッド31の機能液吐出口49付近の固着物が洗浄液槽202の洗浄液により溶解され、洗浄液に浸漬された払拭部材203が振動し、ブラッシング作用で払拭部材203の繊維が吐出口の内部の固着物を掻き出し洗浄できるので、機能液吐出口49付近に固くこびりついた固着物を確実に除去できる。
さらに、機能液の着弾制度を測定し、機能液吐出口49付近の固着物の汚れ量を求め、機能液吐出口49の洗浄液への浸漬時間を制御することができので、汚れの状態に応じた洗浄作業を効率良く行うことができ、ノズルを常に良好な状態に保つことができる。
さらに、機能液の着弾制度を測定し、機能液吐出口49付近の固着物の汚れ量を求め、機能液吐出口49の洗浄液への浸漬時間を制御することができので、汚れの状態に応じた洗浄作業を効率良く行うことができ、ノズルを常に良好な状態に保つことができる。
次にノズル洗浄ユニットの第2実施形態について説明する。この実施形態のノズル洗浄装置は、第1実施形態のノズル洗浄ユニットの構成と略同様であるため、ここでは異なる部分のみ説明する。図14はノズル洗浄装置の待機状態を示す構成図であり、図15はノズル洗浄装置の洗浄状態を示す構成図である。
両図に示すように、ノズル洗浄ユニット201は、機能液滴吐出ヘッド31のヘッド本体44が浸漬される洗浄液槽402と、洗浄液槽402を支持する洗浄液槽支持フレーム404と、洗浄液槽402を水平方向に振動させる横動アクチュエータ405と、洗浄液槽支持フレーム404を介して洗浄液槽402を上下動(昇降)させる上下動アクチュエータ406と、洗浄液槽支持フレーム404の上下動をガイドすると共に、上下動アクチュエータ406を支持する装置フレーム407と、を備えている。
洗浄液槽402は、洗浄液を貯蓄する槽本体408と、槽本体408の上縁部を外方に延長したフランジ部409と、槽本体408の洗浄液の中に填る払拭部材フレーム415と、払拭部材403を洗浄液に浸すために払拭部材支持フレーム417の底面に敷設した払拭部材403と、槽本体408に接続した洗浄液供給チューブ413と、を有している。払拭部材支持フレーム417は上縁部を外方に延長した横動フランジ部418があり、横動アクチュエータ405のピストンロッド416の先端に連結されている。
次に、第2実施形態の一連のノズル洗浄ユニット401を用いた機能液滴吐出ヘッド31の洗浄方法について説明する。図16はノズル洗浄動作の動作手順を示したフローチャートである。
図16のステップS21において、ノズルの汚れ状態を検出するために、着弾位置の精度測定を行い、浸漬時間と振動時間を生成する。ここで、具体的数値を使い、浸漬時間を10秒、振動時間を5秒として説明する。
次に、ステップS22において、制御部305からの指示により、上下動アクチュエータ406が上方向に動作して機能液吐出口49を洗浄液に浸漬させ、さらに払拭部材403を機能液吐出口49に接触させる。
次に、ステップS23において、機能液吐出口49の固着物を溶解させるために10秒間、洗浄液に機能液吐出口49を浸漬させる。
次に、ステップS24において、浸漬時間が終了すると、洗浄液槽402に機能液吐出口49を浸漬した状態で、機能液吐出口49と払拭部材403を擦り固着物を取り除くため、横動アクチュエータ405が払拭部材支持フレーム417を横方向に振動させる。振動開始から5秒後に横動アクチュエータ405の動作が終了する。
次に、ステップS25において、上下動アクチュエータ406を下方向に動作させて機能液吐出口49の洗浄を終了する。
次に、ステップS22において、制御部305からの指示により、上下動アクチュエータ406が上方向に動作して機能液吐出口49を洗浄液に浸漬させ、さらに払拭部材403を機能液吐出口49に接触させる。
次に、ステップS23において、機能液吐出口49の固着物を溶解させるために10秒間、洗浄液に機能液吐出口49を浸漬させる。
次に、ステップS24において、浸漬時間が終了すると、洗浄液槽402に機能液吐出口49を浸漬した状態で、機能液吐出口49と払拭部材403を擦り固着物を取り除くため、横動アクチュエータ405が払拭部材支持フレーム417を横方向に振動させる。振動開始から5秒後に横動アクチュエータ405の動作が終了する。
次に、ステップS25において、上下動アクチュエータ406を下方向に動作させて機能液吐出口49の洗浄を終了する。
以上のように、本第2実施形態のノズル洗浄装置では、払拭部材203と洗浄液槽402は独立し固定されていないため、洗浄液槽402を振動させるのではなく払拭部材支持フレーム417を振動させて、機能液吐出口49と払拭部材403を擦り固着物を取り除くことができる。
次に、本実施形態の描画装置1を用いて製造される電気光学装置(フラットパネルディスプレイ)として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機EL装置、プラズマディスプレイ(PDP装置)、電子放出装置(FED装置、SED装置)、更にこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、及び薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板を言う。
先ず、液晶表示装置や有機EL装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図17は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図18は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ600(フィルタ基体600A)の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程(S101)では、図18(a)に示すように、基板(W)601上にブラックマトリクス602を形成する。ブラックマトリクス602は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス602を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス602を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
まず、ブラックマトリクス形成工程(S101)では、図18(a)に示すように、基板(W)601上にブラックマトリクス602を形成する。ブラックマトリクス602は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス602を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス602を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
続いて、バンク形成工程(S102)において、ブラックマトリクス602上に重畳する状態でバンク603を形成する。即ち、まず図18(b)に示すように、基板601及びブラックマトリクス602を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層604を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム605で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図18(c)に示すように、レジスト層604の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層604をパターニングして、バンク603を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク603とその下のブラックマトリクス602は、各画素領域607aを区画する区画壁部607bとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド31により着色層(成膜部)608R、608G、608Bを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
さらに、図18(c)に示すように、レジスト層604の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層604をパターニングして、バンク603を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク603とその下のブラックマトリクス602は、各画素領域607aを区画する区画壁部607bとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド31により着色層(成膜部)608R、608G、608Bを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
以上のブラックマトリクス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体600Aが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク603の材料として、塗膜表面が疎液(疎水)性となる樹脂材料を用いている。そして、基板(ガラス基板)601の表面が親液(親水)性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク603(区画壁部607b)に囲まれた各画素領域607a内への液滴の着弾位置精度が向上する。
なお、本実施形態においては、バンク603の材料として、塗膜表面が疎液(疎水)性となる樹脂材料を用いている。そして、基板(ガラス基板)601の表面が親液(親水)性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク603(区画壁部607b)に囲まれた各画素領域607a内への液滴の着弾位置精度が向上する。
次に、着色層形成工程(S103)では、図18(d)に示すように、機能液滴吐出ヘッド31によって機能液滴を吐出して区画壁部607bで囲まれた各画素領域607a内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド31を用いて、R・G・Bの3色の機能液(フィルタ材料)を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、R・G・Bの3色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
その後、乾燥処理(加熱等の処理)を経て機能液を定着させ、3色の着色層608R、608G、608Bを形成する。着色層608R、608G、608Bを形成したならば、保護膜形成工程(S104)に移り、図18(e)に示すように、基板601、区画壁部607b、および着色層608R、608G、608Bの上面を覆うように保護膜609を形成する。
即ち、基板601の着色層608R、608G、608Bが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜609が形成される。
そして、保護膜609を形成した後、カラーフィルタ600は、次工程の透明電極となるITO(Indium Tin Oxide)などの膜付け工程に移行する。
即ち、基板601の着色層608R、608G、608Bが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜609が形成される。
そして、保護膜609を形成した後、カラーフィルタ600は、次工程の透明電極となるITO(Indium Tin Oxide)などの膜付け工程に移行する。
図19は、上記のカラーフィルタ600を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置(液晶装置)の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置620に、液晶駆動用IC、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ600は図18に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
この液晶装置620は、カラーフィルタ600、ガラス基板等からなる対向基板621、及び、これらの間に挟持されたSTN(Super Twisted Nematic)液晶組成物からなる液晶層622により概略構成されており、カラーフィルタ600を図中上側(観測者側)に配置している。
なお、図示していないが、対向基板621およびカラーフィルタ600の外面(液晶層622側とは反対側の面)には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板621側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
なお、図示していないが、対向基板621およびカラーフィルタ600の外面(液晶層622側とは反対側の面)には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板621側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
カラーフィルタ600の保護膜609上(液晶層側)には、図19において左右方向に長尺な短冊状の第1電極623が所定の間隔で複数形成されており、この第1電極623のカラーフィルタ600側とは反対側の面を覆うように第1配向膜624が形成されている。
一方、対向基板621におけるカラーフィルタ600と対向する面には、カラーフィルタ600の第1電極623と直交する方向に長尺な短冊状の第2電極626が所定の間隔で複数形成され、この第2電極626の液晶層622側の面を覆うように第2配向膜627が形成されている。これらの第1電極623および第2電極626は、ITOなどの透明導電材料により形成されている。
一方、対向基板621におけるカラーフィルタ600と対向する面には、カラーフィルタ600の第1電極623と直交する方向に長尺な短冊状の第2電極626が所定の間隔で複数形成され、この第2電極626の液晶層622側の面を覆うように第2配向膜627が形成されている。これらの第1電極623および第2電極626は、ITOなどの透明導電材料により形成されている。
液晶層622内に設けられたスペーサ628は、液晶層622の厚さ(セルギャップ)を一定に保持するための部材である。また、シール材629は液晶層622内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第1電極623の一端部は引き回し配線623aとしてシール材629の外側まで延在している。そして、第1電極623と第2電極626とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ600の着色層608R、608G、608Bが位置するように構成されている。
通常の製造工程では、カラーフィルタ600に、第1電極623のパターニングおよび第1配向膜624の塗布を行ってカラーフィルタ600側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板621に、第2電極626のパターニングおよび第2配向膜627の塗布を行って対向基板621側の部分を作成する。その後、対向基板621側の部分にスペーサ628およびシール材629を作り込み、この状態でカラーフィルタ600側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材629の注入口から液晶層622を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
実施形態の描画装置1は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料(機能液)を塗布すると共に、対向基板621側の部分にカラーフィルタ600側の部分を貼り合わせる前に、シール材629で囲んだ領域に液晶(機能液)を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材629の印刷を、機能液滴吐出ヘッド31で行うことも可能である。さらに、第1・第2両配向膜624,627の塗布を機能液滴吐出ヘッド31で行うことも可能である。
図20は、本実施形態において製造したカラーフィルタ600を用いた液晶装置の第2の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置630が上記液晶装置620と大きく異なる点は、カラーフィルタ600を図中下側(観測者側とは反対側)に配置した点である。
この液晶装置630は、カラーフィルタ600とガラス基板等からなる対向基板631との間にSTN液晶からなる液晶層632が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板631およびカラーフィルタ600の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
この液晶装置630が上記液晶装置620と大きく異なる点は、カラーフィルタ600を図中下側(観測者側とは反対側)に配置した点である。
この液晶装置630は、カラーフィルタ600とガラス基板等からなる対向基板631との間にSTN液晶からなる液晶層632が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板631およびカラーフィルタ600の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
カラーフィルタ600の保護膜609上(液晶層632側)には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第1電極633が所定の間隔で複数形成されており、この第1電極633の液晶層632側の面を覆うように第1配向膜634が形成されている。
対向基板631のカラーフィルタ600と対向する面上には、カラーフィルタ600側の第1電極633と直交する方向に延在する複数の短冊状の第2電極636が所定の間隔で形成され、この第2電極636の液晶層632側の面を覆うように第2配向膜637が形成されている。
対向基板631のカラーフィルタ600と対向する面上には、カラーフィルタ600側の第1電極633と直交する方向に延在する複数の短冊状の第2電極636が所定の間隔で形成され、この第2電極636の液晶層632側の面を覆うように第2配向膜637が形成されている。
液晶層632には、この液晶層632の厚さを一定に保持するためのスペーサ638と、液晶層632内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材639が設けられている。
そして、上記した液晶装置620と同様に、第1電極633と第2電極636との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ600の着色層608R、608G、608Bが位置するように構成されている。
そして、上記した液晶装置620と同様に、第1電極633と第2電極636との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ600の着色層608R、608G、608Bが位置するように構成されている。
図21は、本発明を適用したカラーフィルタ600を用いて液晶装置を構成した第3の例を示したもので、透過型のTFT(Thin Film Transistor)型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置650は、カラーフィルタ600を図中上側(観測者側)に配置したものである。
この液晶装置650は、カラーフィルタ600を図中上側(観測者側)に配置したものである。
この液晶装置650は、カラーフィルタ600と、これに対向するように配置された対向基板651と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ600の上面側(観測者側)に配置された偏光板655と、対向基板651の下面側に配設された偏光板(図示せず)とにより概略構成されている。
カラーフィルタ600の保護膜609の表面(対向基板651側の面)には液晶駆動用の電極656が形成されている。この電極656は、ITO等の透明導電材料からなり、後述の画素電極660が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極656の画素電極660とは反対側の面を覆った状態で配向膜657が設けられている。
カラーフィルタ600の保護膜609の表面(対向基板651側の面)には液晶駆動用の電極656が形成されている。この電極656は、ITO等の透明導電材料からなり、後述の画素電極660が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極656の画素電極660とは反対側の面を覆った状態で配向膜657が設けられている。
対向基板651のカラーフィルタ600と対向する面には絶縁層658が形成されており、この絶縁層658上には、走査線661及び信号線662が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線661と信号線662とに囲まれた領域内には画素電極660が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極660上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
また、画素電極660の切欠部と走査線661と信号線662とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ663が組み込まれて構成されている。そして、走査線661と信号線662に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ663をオン・オフして画素電極660への通電制御を行うことができるように構成されている。
なお、上記の各例の液晶装置620,630,650は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
次に、図22は、有機EL装置の表示領域(以下、単に表示装置700と称する)の要部断面図である。
この表示装置700は、基板(W)701上に、回路素子部702、発光素子部703及び陰極704が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置700においては、発光素子部703から基板701側に発した光が、回路素子部702及び基板701を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部703から基板701の反対側に発した光が陰極704により反射された後、回路素子部702及び基板701を透過して観測者側に出射されるようになっている。
この表示装置700においては、発光素子部703から基板701側に発した光が、回路素子部702及び基板701を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部703から基板701の反対側に発した光が陰極704により反射された後、回路素子部702及び基板701を透過して観測者側に出射されるようになっている。
回路素子部702と基板701との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜706が形成され、この下地保護膜706上(発光素子部703側)に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜707が形成されている。この半導体膜707の左右の領域には、ソース領域707a及びドレイン領域707bが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域707cとなっている。
また、回路素子部702には、下地保護膜706及び半導体膜707を覆う透明なゲート絶縁膜708が形成され、このゲート絶縁膜708上の半導体膜707のチャネル領域707cに対応する位置には、例えばAl、Mo、Ta、Ti、W等から構成されるゲート電極709が形成されている。このゲート電極709及びゲート絶縁膜708上には、透明な第1層間絶縁膜711aと第2層間絶縁膜711bが形成されている。また、第1、第2層間絶縁膜711a、711bを貫通して、半導体膜707のソース領域707a、ドレイン領域707bにそれぞれ連通するコンタクトホール712a,712bが形成されている。
そして、第2層間絶縁膜711b上には、ITO等からなる透明な画素電極713が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極713は、コンタクトホール712aを通じてソース領域707aに接続されている。
また、第1層間絶縁膜711a上には電源線714が配設されており、この電源線714は、コンタクトホール712bを通じてドレイン領域707bに接続されている。
また、第1層間絶縁膜711a上には電源線714が配設されており、この電源線714は、コンタクトホール712bを通じてドレイン領域707bに接続されている。
このように、回路素子部702には、各画素電極713に接続された駆動用の薄膜トランジスタ715がそれぞれ形成されている。
上記発光素子部703は、複数の画素電極713上の各々に積層された機能層717と、各画素電極713及び機能層717の間に備えられて各機能層717を区画するバンク部718とにより概略構成されている。
これら画素電極713、機能層717、及び、機能層717上に配設された陰極704によって発光素子が構成されている。なお、画素電極713は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極713の間にバンク部718が形成されている。
これら画素電極713、機能層717、及び、機能層717上に配設された陰極704によって発光素子が構成されている。なお、画素電極713は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極713の間にバンク部718が形成されている。
バンク部718は、例えばSiO、SiO2、TiO2等の無機材料により形成される無機物バンク層718a(第1バンク層)と、この無機物バンク層718a上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層718b(第2バンク層)とにより構成されている。このバンク部718の一部は、画素電極713の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部718の間には、画素電極713に対して上方に向けて次第に拡開した開口部719が形成されている。
そして、各バンク部718の間には、画素電極713に対して上方に向けて次第に拡開した開口部719が形成されている。
上記機能層717は、開口部719内において画素電極713上に積層状態で形成された正孔注入/輸送層717aと、この正孔注入/輸送層717a上に形成された発光層717bとにより構成されている。なお、この発光層717bに隣接してその他の機能を有する他の機能層を更に形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。
正孔注入/輸送層717aは、画素電極713側から正孔を輸送して発光層717bに注入する機能を有する。この正孔注入/輸送層717aは、正孔注入/輸送層形成材料を含む第1組成物(機能液)を吐出することで形成される。正孔注入/輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
正孔注入/輸送層717aは、画素電極713側から正孔を輸送して発光層717bに注入する機能を有する。この正孔注入/輸送層717aは、正孔注入/輸送層形成材料を含む第1組成物(機能液)を吐出することで形成される。正孔注入/輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
発光層717bは、赤色(R)、緑色(G)、又は青色(B)の何れかに発光するもので、発光層形成材料(発光材料)を含む第2組成物(機能液)を吐出することで形成される。第2組成物の溶媒(非極性溶媒)としては、正孔注入/輸送層717aに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層717bの第2組成物に用いることにより、正孔注入/輸送層717aを再溶解させることなく発光層717bを形成することができる。
そして、発光層717bでは、正孔注入/輸送層717aから注入された正孔と、陰極704から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
陰極704は、発光素子部703の全面を覆う状態で形成されており、画素電極713と対になって機能層717に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極704の上部には図示しない封止部材が配置される。
次に、上記の表示装置700の製造工程を図23〜図31を参照して説明する。
この表示装置700は、図23に示すように、バンク部形成工程(S111)、表面処理工程(S112)、正孔注入/輸送層形成工程(S113)、発光層形成工程(S114)、及び対向電極形成工程(S115)を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
この表示装置700は、図23に示すように、バンク部形成工程(S111)、表面処理工程(S112)、正孔注入/輸送層形成工程(S113)、発光層形成工程(S114)、及び対向電極形成工程(S115)を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
まず、バンク部形成工程(S111)では、図24に示すように、第2層間絶縁膜711b上に無機物バンク層718aを形成する。この無機物バンク層718aは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層718aの一部は画素電極713の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層718aを形成したならば、図25に示すように、無機物バンク層718a上に有機物バンク層718bを形成する。この有機物バンク層718bも無機物バンク層718aと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部718が形成される。また、これに伴い、各バンク部718間には、画素電極713に対して上方に開口した開口部719が形成される。この開口部719は、画素領域を規定する。
無機物バンク層718aを形成したならば、図25に示すように、無機物バンク層718a上に有機物バンク層718bを形成する。この有機物バンク層718bも無機物バンク層718aと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部718が形成される。また、これに伴い、各バンク部718間には、画素電極713に対して上方に開口した開口部719が形成される。この開口部719は、画素領域を規定する。
表面処理工程(S112)では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層718aの第1積層部718aa及び画素電極713の電極面713aであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極713であるITOの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層718bの壁面718s及び有機物バンク層718bの上面718tに施され、例えば4フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理(撥液性に処理)される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド31を用いて機能層717を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部719から溢れ出るのを防止することが可能となる。
また、撥液化処理は、有機物バンク層718bの壁面718s及び有機物バンク層718bの上面718tに施され、例えば4フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理(撥液性に処理)される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド31を用いて機能層717を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部719から溢れ出るのを防止することが可能となる。
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体700Aが得られる。この表示装置基体700Aは、図1に示した描画装置1のセットテーブル24に載置され、以下の正孔注入/輸送層形成工程(S113)及び発光層形成工程(S114)が行われる。
図26に示すように、正孔注入/輸送層形成工程(S113)では、機能液滴吐出ヘッド31から正孔注入/輸送層形成材料を含む第1組成物を画素領域である各開口部719内に吐出する。その後、図27に示すように、乾燥処理及び熱処理を行い、第1組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極(電極面713a)713上に正孔注入/輸送層717aを形成する。
次に発光層形成工程(S114)について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入/輸送層717aの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第2組成物の溶媒として、正孔注入/輸送層717aに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入/輸送層717aは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第2組成物を正孔注入/輸送層717a上に吐出しても、正孔注入/輸送層717aと発光層717bとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層717bを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入/輸送層717aの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理(表面改質処理)を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第2組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入/輸送層717a上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入/輸送層717aの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第2組成物を正孔注入/輸送層717aに均一に塗布することができる。
そして次に、図28に示すように、各色のうちの何れか(図28の例では青色(B))に対応する発光層形成材料を含有する第2組成物を機能液滴として画素領域(開口部719)内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第2組成物は、正孔注入/輸送層717a上に広がって開口部719内に満たされる。なお、万一、第2組成物が画素領域から外れてバンク部718の上面718t上に着弾した場合でも、この上面718tは、上述したように撥液処理が施されているので、第2組成物が開口部719内に転がり込み易くなっている。
しかしその一方で、正孔注入/輸送層717aは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第2組成物を正孔注入/輸送層717a上に吐出しても、正孔注入/輸送層717aと発光層717bとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層717bを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入/輸送層717aの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理(表面改質処理)を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第2組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入/輸送層717a上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入/輸送層717aの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第2組成物を正孔注入/輸送層717aに均一に塗布することができる。
そして次に、図28に示すように、各色のうちの何れか(図28の例では青色(B))に対応する発光層形成材料を含有する第2組成物を機能液滴として画素領域(開口部719)内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第2組成物は、正孔注入/輸送層717a上に広がって開口部719内に満たされる。なお、万一、第2組成物が画素領域から外れてバンク部718の上面718t上に着弾した場合でも、この上面718tは、上述したように撥液処理が施されているので、第2組成物が開口部719内に転がり込み易くなっている。
その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第2組成物を乾燥処理し、第2組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図29に示すように、正孔注入/輸送層717a上に発光層717bが形成される。この図の場合、青色(B)に対応する発光層717bが形成されている。
同様に、機能液滴吐出ヘッド31を用い、図30に示すように、上記した青色(B)に対応する発光層717bの場合と同様の工程を順次行い、他の色(赤色(R)及び緑色(G))に対応する発光層717bを形成する。なお、発光層717bの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。また、R・G・Bの3色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
以上のようにして、画素電極713上に機能層717、即ち、正孔注入/輸送層717a及び発光層717bが形成される。そして、対向電極形成工程(S115)に移行する。
対向電極形成工程(S115)では、図31に示すように、発光層717b及び有機物バンク層718bの全面に陰極704(対向電極)を、例えば蒸着法、スパッタ法、CVD法等によって形成する。この陰極704は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極704の上部には、電極としてのAl膜、Ag膜や、その酸化防止のためのSiO2、SiN等の保護層が適宜設けられる。
この陰極704の上部には、電極としてのAl膜、Ag膜や、その酸化防止のためのSiO2、SiN等の保護層が適宜設けられる。
このようにして陰極704を形成した後、この陰極704の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置700が得られる。
次に、図32は、プラズマ型表示装置(PDP装置:以下、単に表示装置800と称する)の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置800を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置800は、互いに対向して配置された第1基板801、第2基板802、及びこれらの間に形成される放電表示部803を含んで概略構成される。放電表示部803は、複数の放電室805により構成されている。これらの複数の放電室805のうち、赤色放電室805R、緑色放電室805G、青色放電室805Bの3つの放電室805が組になって1つの画素を構成するように配置されている。
この表示装置800は、互いに対向して配置された第1基板801、第2基板802、及びこれらの間に形成される放電表示部803を含んで概略構成される。放電表示部803は、複数の放電室805により構成されている。これらの複数の放電室805のうち、赤色放電室805R、緑色放電室805G、青色放電室805Bの3つの放電室805が組になって1つの画素を構成するように配置されている。
第1基板801の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極806が形成され、このアドレス電極806と第1基板801の上面とを覆うように誘電体層807が形成されている。誘電体層807上には、各アドレス電極806の間に位置し、且つ各アドレス電極806に沿うように隔壁808が立設されている。この隔壁808は、図示するようにアドレス電極806の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極806と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁808によって仕切られた領域が放電室805となっている。
そして、この隔壁808によって仕切られた領域が放電室805となっている。
放電室805内には蛍光体809が配置されている。蛍光体809は、赤(R)、緑(G)、青(B)の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室805Rの底部には赤色蛍光体809Rが、緑色放電室805Gの底部には緑色蛍光体809Gが、青色放電室805Bの底部には青色蛍光体809Bが各々配置されている。
第2基板802の図中下側の面には、上記アドレス電極806と直交する方向に複数の表示電極811が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層812、及びMgOなどからなる保護膜813が形成されている。
第1基板801と第2基板802とは、アドレス電極806と表示電極811が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極806と表示電極811は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極806,811に通電することにより、放電表示部803において蛍光体809が励起発光し、カラー表示が可能となる。
第1基板801と第2基板802とは、アドレス電極806と表示電極811が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極806と表示電極811は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極806,811に通電することにより、放電表示部803において蛍光体809が励起発光し、カラー表示が可能となる。
本実施形態においては、上記アドレス電極806、表示電極811、及び蛍光体809を、図1に示した描画装置1を用いて形成することができる。以下、第1基板801におけるアドレス電極806の形成工程を例示する。
この場合、第1基板801を描画装置1のセットテーブル24に載置された状態で以下の工程が行われる。
この場合、第1基板801を描画装置1のセットテーブル24に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド31により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料(機能液)を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極806が形成される。
ところで、上記においてはアドレス電極806の形成を例示したが、上記表示電極811及び蛍光体809についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極811の形成の場合、アドレス電極806の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料(機能液)を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体809の形成の場合には、各色(R,G,B)に対応する蛍光材料を含んだ液体材料(機能液)を機能液滴吐出ヘッド31から液滴として吐出し、対応する色の放電室805内に着弾させる。
表示電極811の形成の場合、アドレス電極806の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料(機能液)を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体809の形成の場合には、各色(R,G,B)に対応する蛍光材料を含んだ液体材料(機能液)を機能液滴吐出ヘッド31から液滴として吐出し、対応する色の放電室805内に着弾させる。
次に、図33は、電子放出装置(FED装置あるいはSED装置ともいう:以下、単に表示装置900と称する)の要部断面図である。なお、同図では表示装置900を、その一部を断面として示してある。
この表示装置900は、互いに対向して配置された第1基板901、第2基板902、及びこれらの間に形成される電界放出表示部903を含んで概略構成される。電界放出表示部903は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部905により構成されている。
この表示装置900は、互いに対向して配置された第1基板901、第2基板902、及びこれらの間に形成される電界放出表示部903を含んで概略構成される。電界放出表示部903は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部905により構成されている。
第1基板901の上面には、カソード電極906を構成する第1素子電極906aおよび第2素子電極906bが相互に直交するように形成されている。また、第1素子電極906aおよび第2素子電極906bで仕切られた部分には、ギャップ908を形成した導電性膜907が形成されている。すなわち、第1素子電極906a、第2素子電極906bおよび導電性膜907により複数の電子放出部905が構成されている。導電性膜907は、例えば酸化パラジウム(PdO)等で構成され、またギャップ908は、導電性膜907を成膜した後、フォーミング等で形成される。
第2基板902の下面には、カソード電極906に対峙するアノード電極909が形成されている。アノード電極909の下面には、格子状のバンク部911が形成され、このバンク部911で囲まれた下向きの各開口部912に、電子放出部905に対応するように蛍光体913が配置されている。蛍光体913は、赤(R)、緑(G)、青(B)の何れかの色の蛍光を発光するもので、各開口部912には、赤色蛍光体913R、緑色蛍光体913Gおよび青色蛍光体913Bが、上記した所定のパターンで配置されている。
そして、このように構成した第1基板901と第2基板902とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置900では、導電性膜(ギャップ908)907を介して、陰極である第1素子電極906aまたは第2素子電極906bから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極909に形成した蛍光体913に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
この場合も、他の実施形態と同様に、第1素子電極906a、第2素子電極906b、導電性膜907およびアノード電極909を、描画装置1を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体913R,913G,913Bを、描画装置1を用いて形成することができる。
第1素子電極906a、第2素子電極906bおよび導電性膜907は、図34(a)に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図34(b)に示すように、予め第1素子電極906a、第2素子電極906bおよび導電性膜907を作り込む部分を残して、バンク部BBを形成(フォトリソグラフィ法)する。次に、バンク部BBにより構成された溝部分に、第1素子電極906aおよび第2素子電極906bを形成(描画装置1によるインクジェット法)し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜907を形成(描画装置1によるインクジェット法)する。そして、導電性膜907を成膜後、バンク部BBを取り除き(アッシング剥離処理)、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機EL装置の場合と同様に、第1基板901および第2基板902に対する親液化処理や、バンク部911,BBに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した描画装置1を各種の電気光学装置(デバイス)の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
1…描画装置 3…液滴吐出装置 6…制御装置 28…保守エリア 31…機能液滴吐出ヘッド 47…ノズル面 201…ノズル洗浄ユニット 202…洗浄液槽 203…払拭部材 205…横動アクチュエータ 206…上下動アクチュエータ 214…支持ばね 401…ノズル洗浄ユニット 402…洗浄液槽 403…払拭部材 405…横動アクチュエータ 406…上下動アクチュエータ 414…支持ばね 315…CPU 321…CCDカメラ
Claims (10)
- 機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドのノズル面に形成された機能液吐出口を洗浄するノズル洗浄装置であって、
前記機能液吐出口に付着した固着物を溶解するための洗浄液を満たす洗浄液槽と、
前記機能液滴吐出ヘッドと前記洗浄液槽の少なくとも一方を昇降させて前記機能液滴吐出ヘッドのノズル面を前記洗浄液に浸漬させる洗浄液槽昇降手段と、
前記洗浄液槽の洗浄液に浸漬された前記機能液吐出口に接触し、前記機能液吐出口の固着物を除去する払拭部材と、を備えたことを特徴とするノズル洗浄装置。 - 前記ノズル面に対し前記払拭部材を水平方向に振動させる払拭部材振動手段を、更に備えたことを特徴とする請求項1に記載のノズル洗浄装置。
- 前記払拭部材は前記洗浄液槽に固定されており、
前記払拭部振動手段は、前記洗浄液槽を介して前記払拭部材を振動させることを特徴とする請求項2に記載のノズル洗浄装置。 - 前記洗浄液槽を支持する支持部材を、更に備え、
前記支持部材は弾性部材で構成されていることを特徴とする請求項3に記載のノズル洗浄装置。 - 前記洗浄液は、機能液または機能液の溶剤であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載のノズル洗浄装置。
- 機能液の着弾精度を測定する着弾精度測定手段と、
前記着弾制度測定手段が生成した着弾精度情報から前記機能液吐出口の汚れ量を求め機能液吐出口の浸漬時間情報を生成する浸漬時間生成手段と、
前記浸漬時間情報に基づいて、前記洗浄液槽昇降手段を制御して洗浄液槽を昇降させる制御手段と、を更に備えたことを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載のノズル洗浄装置。 - 請求項1ないし6のいずれかに記載のノズル洗浄装置と、
前記機能液滴吐出ヘッドを有し、ワークに対して機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら当該機能液滴吐出ヘッドを吐出駆動することにより前記ワークに機能液による描画を行う描画手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項7に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液による生成膜を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
- 請求項7に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワークに機能液による生成膜を形成することを特徴とする電気光学装置。
- 請求項8に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置、または請求項9に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
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CN110113580A (zh) * | 2019-06-06 | 2019-08-09 | 天津艾思科尔科技有限公司 | 一种站台越界检测系统 |
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2005
- 2005-03-28 JP JP2005093168A patent/JP2006272097A/ja active Pending
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CN110113580A (zh) * | 2019-06-06 | 2019-08-09 | 天津艾思科尔科技有限公司 | 一种站台越界检测系统 |
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