JP2016068049A - 塗布装置及び塗布装置における気泡抜き方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】供給タンク20から第1液路Cinを通して供給される塗布液を収容し、複数のノズル13から塗布液を液滴状にして噴出する塗布ヘッド10を有し、塗布ヘッド10の複数のノズル13から噴出する塗布液を被塗布体の表面に塗布する塗布装置であって、塗布液の希釈液を溜める浸漬バット61と、第1液路Cin中における塗布液の塗布ヘッド10に向けた圧力を変動させる第1開閉弁41と、浸漬バット61に溜められた希釈液中に複数のノズル13が浸漬するように塗布ヘッド10を配置させた状態で、第1開閉弁41を動作させる制御ユニットと、を有する構成となる。
【選択図】図4
Description
11 圧電素子
12 液路
13 ノズル
20 供給タンク
21 塗布液噴出機構
29 塗布装置
30 加圧タンク
41 第1開閉弁
42 第2開閉弁
43 第3開閉弁
44〜49 開閉弁
50 フィルタ
60 ステージ
61 浸漬バット
62 ヒータ
100 制御ユニット
101 シーケンサ
102 ドライバ
103 カメラ
104 表示部
Claims (15)
- 塗布液供給部から第1液路を通して供給される塗布液を収容し、複数のノズルから前記塗布液を液滴状にして噴出する塗布ヘッドを有し、該塗布ヘッドの前記複数のノズルから噴出する塗布液を被塗布体の表面に塗布する塗布装置であって、
前記塗布液の希釈液を溜める希釈液貯留部と、
前記第1液路中における前記塗布液の前記塗布ヘッドに向けた圧力を変動させる第1液圧変動機構と、
前記希釈液貯留部に溜められた希釈液中に前記複数のノズルが浸漬するように前記塗布ヘッドを配置させた状態で、前記第1液圧変動機構を動作させる制御ユニットと、
を有することを特徴とする塗布装置。 - 前記塗布ヘッド内の塗布液を前記複数のノズルを通して排出させる塗布液強制排出機構を備え、
前記制御ユニットは、前記第1液圧変動機構を動作させた後、前記塗布液強制排出機構によって塗布ヘッド内の塗布液を前記複数のノズルを通して排出させる請求項1記載の塗布装置。 - 前記塗布液強制排出機構は、前記塗布液供給部から前記第1液路を通して前記塗布ヘッドに塗布液を圧送させるガス源を有する請求項1記載の塗布装置。
- 前記塗布ヘッドから塗布液を排出させる第2液路を有し、
前記塗布液希釈機構は、更に、前記第2液路中における前記塗布液の前記塗布ヘッドに向けた圧力を変動させる第2液圧変動機構を有する請求項3記載の塗布装置。 - 前記第1液路に設けられた第1開閉弁を有し、
前記第1液圧変動機構は、前記第1開閉弁を含む請求項1乃至4のいずれかに記載の塗布装置。 - 前記第2液路に設けられた第2開閉弁を有し、
前記第2液圧変動機構は、前記第2開閉弁を含む請求項4記載の塗布装置。 - 前記希釈液貯留部に溜められた希釈液を加温する加温機構を有する請求項1乃至6のいずれかに記載の塗布装置。
- 塗布液を収容し、複数のノズルから前記塗布液を液滴状にして噴出する塗布ヘッドと、
第1液路と、
第2液路と、
前記第1液路を通して前記塗布ヘッドに前記塗布液を供給する塗布液供給部と、
前記第2液路を通して前記塗布ヘッドに連通する溶液貯留部と、
前記第1液路に設けられた第1開閉弁と、
前記第2流路に設けられた第2開閉弁とを有し、
前記塗布ヘッドの前記複数のノズルから噴出する塗布液を被塗布体の表面に塗布する塗布装置であって、
前記塗布液の希釈液を溜める希釈液貯留部と、
前記希釈液貯留部に溜められた希釈液中に前記複数のノズルが浸漬するように前記塗布ヘッドを配置させた状態で、前記第1開閉弁及び前記第2開閉弁のうちの少なくとも一方を繰り返し開閉動作させる弁制御手段と、
該弁制御手段により前記第1開閉弁及び前記第2開閉弁のうち少なくとも一方が開閉動作を行った後に、前記第1開閉弁を開放させた状態で、前記塗布液供給部から前記第1液路を通して前記塗布ヘッドに塗布液を圧送させる塗布液圧送制御手段とを有する塗布装置。 - 塗布液供給部から第1液路を通して供給される塗布液を収容し、複数のノズルから前記塗布液を液滴状にして噴出する塗布ヘッドを有し、該塗布ヘッドの前記複数のノズルから噴出する塗布液を被塗布体の表面に塗布する塗布装置における気泡抜き方法であって、
前記塗布液の希釈液を溜める希釈液貯留部に溜められた前記希釈液中に前記複数のノズルが浸漬するように前記塗布ヘッドを配置させるステップと、
前記複数のノズルを前記希釈液中に浸漬させた状態で、前記第1液路中における前記塗布液の前記塗布ヘッドに向けた圧力を変動させる第1液圧変動ステップとを備えた、塗布液希釈ステップと、
を有する塗布装置における気泡抜き方法。 - 塗布液希釈ステップにより前記塗布液が希釈された後に、前記塗布液供給部から前記第1液路を通して前記塗布ヘッドに塗布液を圧送させる塗布液強制排出ステップを有する請求項9記載の気泡抜き方法。
- 前記塗布装置は、前記塗布ヘッドから塗布液を排出させる第2液路を有し、
前記塗布液希釈ステップは、前記第2液路中における前記塗布液の前記塗布ヘッドに向けた圧力を変動させる第2液圧変動ステップを有する請求項9または10記載の気泡抜き方法。 - 前記塗布装置は、前記第1液路に設けられた第1開閉弁を有し、
前記第1液圧変動ステップは、前記第1開閉弁を繰り返し開閉動作させる第1弁開閉ステップを有する請求項9乃至11のいずれかに記載の気泡抜き方法。 - 前記塗布装置は、前記第2液路に設けられた第2開閉弁を有し、
前記第2液圧変動ステップは、前記第2開閉弁を繰り返し開閉動作させる第2弁開閉ステップを有する請求項11記載の気泡抜き方法。 - 前記希釈液貯留部に溜められた希釈液を加温しておく希釈液加温ステップを有する請求項9乃至13のいずれかに記載の気泡抜き方法。
- 塗布液を収容し、複数のノズルから前記塗布液を液滴状にして噴出する塗布ヘッドと、
第1液路と、
第2液路と、
前記第1液路を通して前記塗布ヘッドに前記塗布液を供給する塗布液供給部と、
前記第2液路を通して前記塗布ヘッドに結合する塗布液貯留部と、
前記第1液路に設けられた第1開閉弁と、
前記第2流路に設けられた第2開閉弁とを有し、
前記塗布ヘッドの前記複数のノズルから噴出する塗布液を被塗布体の表面に塗布する塗布装置における気泡抜き方法であって、
希釈液貯留部に溜められた希釈液中に前記複数のノズルが浸漬するように前記塗布ヘッドを配置させた状態で、前記第1開閉弁及び前記第2開閉弁のうちの少なくとも一方を繰り返し開閉動作させる弁開閉ステップと、
該弁開閉ステップにより前記第1開閉弁及び前記第2開閉弁のうち少なくとも一方が開閉動作を行った後に、前記第1開閉弁を開放させた状態で、前記塗布液供給部から前記塗布液を圧送させる塗布液圧送ステップとを有する塗布装置における気泡抜き方法。
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