CN103995368B - 一种防干燥液供给系统及涂布设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种防干燥液供给系统和一种涂布设备。所述防干燥液供给系统，包括第一通路、第二通路、与所述第一通路连接的第一防干燥槽、与所述第二通路连接的第二防干燥槽、连通所述第一通路和第二通路的第三通路、以及与所述第一通路和第二通路连接的流量控制单元。其中，所述第一防干燥槽和第二防干燥槽用于盛放防干燥液，所述流量控制单元用于控制所述第一通路和所述第二通路交替导通。所述涂布设备还包括与所述第一防干燥槽对应设置的第一喷吐头、与所述第二防干燥槽对应设置的第二喷吐头。本发明的防干燥液供给系统和涂布设备，能在保证提高产能的同时，实现对两个防干燥槽进行加液，从而对暂不工作的喷吐头进行保养。

Description

一种防干燥液供给系统及涂布设备

技术领域

本发明涉及面板制造领域，尤其涉及一种防干燥液供给系统及涂布设备。

背景技术

当前，在液晶面板的生产过程中，需要经过各种工艺流程完成相关器件的制造，其中，常用的制造薄膜晶体管液晶显示器（thin film transistor liquidcrystal display,TFT-LCD）面板的工艺包括曝光工艺。针对曝光工艺，通常需要在曝光之前先涂布光刻胶以形成特定图案后，再进行曝光。现有技术采用HCT（head coater，涂布机）或者狭缝式涂布机（slit coater）来涂布光刻胶，如图1所示。涂布机包括左右两个工作头（head，也称喷吐头），在正常生产过程中，左head1和右head2同时处于待机状态。涂布机会在被调用相关指令时，根据特定的指令程序（recipe）中设定的各种参数值，来启用左head1或右head2进行涂布。

然而，在实际使用中，右head2的使用频次极低，例如平均只有2天/月。在右head2在待机过程中，需要每隔600s对它进行一次清洁、空喷、排气泡、补充防干燥液等动作，以对右head2进行保养，同时使正常工作的左head1暂停工作，一次保养时长约120s。保养时，右head2会下沉浸入到右head2下方的防干燥液槽（图1中未示出），待需要工作时才会上升到待涂布的基板4上方，沿着基板4两侧的导轨3运动，对基板4进行涂布。同样，当右head2工作而左head1待机时，也需每隔600s对左head进行一次清洁、空喷、排气泡、补充防干燥液等动作，以对左head1进行保养，同时使正常工作的右head2暂停工作。这样一来就会造成产能损失。据不完全统计，采用上述工作模式，使左右两个工作头同时处于待机状态，产能损失16%。因此为了提高产能，可以将不工作的右head2（或者左head1）切换到停止状态。

然而这又产生了另一个问题。以将右head2切换到停止状态为例，一旦将右head2切换到停止状态，给右head2和相应药液管路填充防干燥液的操作也会全部停止；可是如前所说，任意一侧的head都是需要保养的，那么就需要人为地定期给右head2的防干燥槽手动补充防干燥液。那么存在以下几方面问题：

1、防干燥液无法及时补充到位，降低了右head2的保护效果，导致右head2在涂布时，精度和稳定性降低；

2、防干燥液的挥发性极强，保养和检查频率很高，工程师的劳动量大大增加了。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是现有技术中在保证涂布机产能提高的同时，不能有效对两侧的防干燥槽加液以实现保养。

为解决以上问题，本发明提供了一种防干燥液供给系统和一种涂布设备。具体地，本发明提供的一种防干燥液供给系统，包括第一通路、第二通路、与所述第一通路连接的第一防干燥槽、与所述第二通路连接的第二防干燥槽、连通所述第一通路和第二通路的第三通路、以及与所述第一通路和第二通路连接的流量控制单元。其中，所述第一防干燥槽和第二防干燥槽用于盛放防干燥液，所述流量控制单元用于控制所述第一通路和所述第二通路交替导通。

本发明提供的一种涂布设备，包括上述任意一种防干燥液供给系统、以及与所述第一防干燥槽对应设置的第一喷吐头、与所述第二防干燥槽对应设置的第二喷吐头，其中，在任意时刻使所述第一喷吐头或者第二喷吐头中任一处于工作模式，另一处于休息模式。

采用本发明的防干燥液供给系统和涂布设备，能在保证提高产能的同时，实现对任意一侧的防干燥槽进行加液，从而对暂不工作的喷吐头进行保养。

附图说明

图1是现有技术中涂布机的俯视示意图；

图2a是本发明实施例一所述供给系统的示意图；

图2b是本发明实施例一所述供给系统的另一示意图；

图3是本发明实施例二所述供给系统的示意图。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是本发明还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。

实施例一

本实施例提供了一种防干燥液供给系统，如图2a所示，所述系统包括第一通路10、第二通路20、与第一通路10连接的第一防干燥槽11、与第二通路20连接的第二防干燥槽21、连通第一通路10和第二通路20的第三通路30、以及与第一通路10和第二通路20连接的流量控制单元40。其中，第一防干燥槽11和第二防干燥槽21用于盛放防干燥液，流量控制单元40用于控制第一通路10和第二通路20交替导通。

这里的第一防干燥槽11可以与涂布机的左head对应，用于在左head不工作时浸入其中以对其进行保养；第二防干燥槽21可以与涂布机的右左head对应，用于在右head不工作时浸入其中对其进行保养。

在任意时刻，流量控制单元40会对所示系统进行控制，使得第一通路10和第二通路20中仅有一条通路有防干燥液流经。当流量控制单元40控制第一通路10导通时，如图2a所示，流经第一通路10的防干燥液一部分流至第一防干燥槽11，另一部分通过第三通路30流至述第二防干燥槽21。当流量控制单元40控制第二通路20导通时，如图2b所示，流经第二通路20的防干燥液一部分流至第二防干燥槽21，另一部分通过第三通路30流至第一防干燥槽11。

配合喷吐头的工作模式，可以使所述左head工作且所述右head不工作时，通过控制流量控制单元40，使防干燥液只流向第一通路10，那么除了与第一通路10连接的第一防干燥槽11能够及时被供给到防干燥液之外，第二防干燥槽21也可以通过第三通路30得到补液。同理，当所述右head工作且所述左head不工作时，通过控制流量控制单元40，使防干燥液只流向第二通路20，那么除了与第二通路20连接的第二防干燥槽21能够及时被供给到防干燥液之外，第一防干燥槽11也可以通过第三通路30得到补液。这样就可以实现在一侧工作头（例如所述右head）工作效率极低的情况下，能够将之切换到停止状态，同时也保证另一侧的工作头（例如所述左head）的防干燥槽也能得到补液的结果，实现在提高产能的情况下不影响工作头的保养的目的。

本实施例对流量控制单元40的具体结构不做限定，只要能够实现本实施例中控制第一通路10和第二通路20交替导通，使得在任意时刻防干燥液能通过其中的一个通路流至第一防干燥槽11和第二防干燥槽21即可。

需要说明的是，图2仅是为便于理解对本实施例进行说明采用的示意图，并不代表实际管道的排布或者结构的设置，因此不应以图2显示的具体结构作为对本实施例技术方案形成的限制。

实施例二

本实施例是在实施例一的基础上形成的，与实施例一的区别在于本实施例中，如图3所示，流量控制单元40具体地可以包括第一控制阀41和第二控制阀42，第一控制阀41与第一通路10连接，第二控制阀42与第二通路20连接，第一控制阀41用于控制所述第一通路10导通或关闭，第二控制阀42用于控制第二通路20导通或者关闭。

本实施例对流量控制单元40的内部结构进行一种扩展，第一控制阀41可以控制第一通路10在导通和关闭两种状态下切换；第二控制阀42则可以控制第二通路20在导通和关闭两种状态下切换，从而使得流量控制单元40能够在任一时刻控制第一通路10和第二通路20中只有一条通路导通。需要说明的是，这里流量控制单元40既可以采用手动的方式来分别控制第一控制阀41或者第二控制阀42导通与否，也可以通过调用系统中的指令模块，或者调用流量控制单元40中的指令模块，或者其他指令来实现这种控制，因此本实施例对流量控制单元40的控制方式，即手动控制还是自动控制，不做限定。

进一步优选的，第一控制阀41除了具有“开”或“关”的功能之外，还可以具有调节流量大小的功能，也即第一控制阀41可以用于控制流经第一通路10中的防干燥液的流量；同理，第二控制阀42也可以是具有调节流量大小功能的控制阀，用于控制流经第二通路20中的防干燥液的流量。

使用了本实施例的系统，能够对防干燥液的流量按需要进行调整，使得满足特定的需要，更有效地对防干燥液的供给进行控制。例如可以针对不同挥发度的防干燥液，通过调节上述第一控制阀或者第二控制阀，控制补液的速度，或者控制补液的量，或者其他，从而达到任何种类的防干燥液都能及时地被供给到两侧的防干燥槽，不受防干燥液之间挥发性差别的限制。

更进一步的，如图3所示，所述防干燥液供给系统还可以包括与第三通路30连接的第三控制阀43，第三控制阀43用于控制流经第三通路30的防干燥液的流量。由于通常情况下，处于休息模式下的工作头，以所述右head为例，沉降在与其对应设置的第二防干燥槽21的上方，第二防干燥槽21内的防干燥液的挥发速度相对于第一防干燥槽11内的防干燥液的挥发速度较慢，故增设第三控制阀43有助于调节左右两侧防干燥槽的防干燥液供给比例，实现相对资源的最优配置。

例如当所述左head工作且所述右head休息时，流量控制单元40通过控制第一控制阀41导通且第二控制阀42关闭，使得防干燥液通过第一通路10被供给到左右两个防干燥槽中（也即补液或加液）。因为所述左head在工作，因此与左head对应的第一防干燥槽11内的防干燥液挥发得更快，与右head对应的第二防干燥槽21内的防干燥液挥发得相对较慢，那么控制第三控制阀43，使供给到第一防干燥槽11的防干燥液多于供给到第二防干燥槽21的防干燥液，从而使得两个防干燥槽内的液体的量相对一致。而当所述左head休息且所述右head工作时，情况刚好相反，那么通过调节第三控制阀43，使得供给到第二防干燥槽21的防干燥液多于供给到第一防干燥槽11的防干燥液，从而再次使得两个防干燥槽内的液体的量相对一致。如此，无论哪侧的工作头工作，都可以通过进一步调节第三控制阀43进行资源的合理配置。

优选的，流量控制单元40还包括与第一控制阀41连接的第一流量计51，与第二控制阀42连接的第二流量计52，与第三控制阀43连接的第三流量计53其中的一个或多个，第一流量计51可以用于检测流经第一通路10的防干燥液的流量，第二流量计52可以用于检测流经第二通路20的防干燥液的流量，第三流量计53可以用于检测流经第三通路30的防干燥液的流量。

图3中显示了流量控制系统40同时包括了第一流量计51、第二流量计52、第三流量计53的情况，但是这并不是必须的，本领域技术人员可以根据需要和喜好，只保留其中的一个流量计或者两个。这些流量计便于本系统的操作人员更好地知悉各个通路内流经的防干燥液的流量，从而更好地控制本系统。另外，本实施例也不对每个流量计具体接在所在通路中的位置进行限定，只要是连接在各自的通路中，能够检测出所在通路中防干燥液的流量即可。例如第三流量计53既可以连接在第三控制阀43与第一通路10之间，也可以连接在第三控制阀43与第二通路20之间。

优选的，在实施例一或者实施例二中的防干燥液供给系统中，第一防干燥槽11或者第二防干燥槽21还可以包括溢流管，以防止供给到第一防干燥槽11或者第二防干燥槽21中的防干燥液过量而溢出。

实施例三

本实施例是在前面两个实施例的基础上得到的。本实施例公开了一种涂布设备，尤其是光刻胶的涂布设备，所述设备包括上述任意一种实施例中公开的防干燥液供给系统，还包括与所述第一防干燥槽对应设置的第一喷吐头、与所述第二防干燥槽对应设置的第二喷吐头。其中，在任意时刻使所述第一喷吐头或者第二喷吐头中任一处于工作模式，另一处于休息模式。具体地，所述涂布设备在所述第一喷吐头处于工作模式且所述第二喷吐头处于休息模式下，所述防干燥液可以通过所述第一通路被提供给所述第一防干燥槽以及第二防干燥槽；在所述第二喷吐头处于工作模式且所述第一喷吐头处于休息模式下，所述防干燥液可以通过所述第二通路被提供给所述第二防干燥槽以及第一防干燥槽。

当所述第一喷吐头处于工作模式且使所述第二喷吐头处于休息模式，通过控制所述流量控制单元，使防干燥液只流向所述第一通路，那么除了与所述第一通路连接的所述第一防干燥槽能够及时被供给到防干燥液之外，所述第二防干燥槽也可以通过所述第三通路得到补液。同理，当所述第二喷吐头处于工作模式且所述第一喷吐头处于休息模式时，通过控制所述流量控制单元，使防干燥液只流向所述第二通路，那么与所述第二通路连接的所述第二防干燥槽能够及时被供给到防干燥液之外，所述第一防干燥槽也可以通过所述第三通路得到补液。这样就可以实现在一侧喷吐头（工作头head）工作效率极低的情况下，能够将之切换到停止状态，同时也保证另一侧的喷吐头的防干燥槽也能得到补液的结果，实现在提高产能的情况下不影响所述涂布设备及其防干燥液供给系统的保养的目的。

因此，所述涂布设备的流量控制单元需要对某一时刻处于导通状态下的通路的总流量进行控制，使得流经所述第一通路或者流经所述第二通路中的防干燥液的流量为流至所述第一防干燥槽和流至所述第二防干燥槽的流量的总和。例如，当所述第一喷吐头处于工作模式下，所述第二喷吐头处于休息模式，所述第一通路导通，所述第二通路关闭，防干燥液通过所述第一通路流至所述第一防干燥槽，并通过所述第三通路流至所述第二防干燥槽，流经所述第一通路的防干燥液的流量为流至所述第一防干燥槽和流至所述第二防干燥槽的流量的总和。反之，当所述第二喷吐头处于工作模式下，所述第一喷吐头处于休息模式，所述第二通路导通，所述第一通路关闭，防干燥液通过所述第二通路流至所述第二防干燥槽，并通过所述第三通路流至所述第一防干燥槽，流经所述第二通路的防干燥液的流量为流至所述第一防干燥槽和流至所述第二防干燥槽的流量的总和。

需要说明的是，本发明各实施例中，所述“连接”可以是直接连接，也可以是间接连接，只要不对流量的大小造成影响，不影响本发明的实质即可。例如，所述第一通路可以和所述第一防干燥槽在物理上可以是直接连接，也可以间接连接；同样，所述第二通路可以和所述第二防干燥槽在物理上可以是直接连接，也可以间接连接；在此不穷尽列举。本发明中所述的第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀是指可以对流动液体的流量进行控制的器件，所述流动液体在这些阀的控制下可能呈现全部通过相应的通道或者全部不能通过，或者根据这些阀的开闭程度部分通过通道，这些阀的开闭能够对液体的流速进行控制即可，在此不对这些阀的种类做限定。

需要说明的是，以上实施例可以互相借鉴、综合使用。本发明虽然已以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本发明，任何本领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，都可以利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案做出可能的变动和修改，因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化及修饰，均属于本发明技术方案的保护范围。

Claims (9)

1.一种防干燥液供给系统，所述系统包括第一通路、第二通路、与所述第一通路连接的第一防干燥槽、与所述第二通路连接的第二防干燥槽、连通所述第一通路和第二通路的第三通路、以及与所述第一通路和第二通路连接的流量控制单元，其中，所述第一防干燥槽和第二防干燥槽用于盛放防干燥液，所述流量控制单元用于控制所述第一通路和所述第二通路交替导通；

所述第一通路导通时，流经所述第一通路的防干燥液一部分流至所述第一防干燥槽，另一部分通过所述第三通路流至所述第二防干燥槽；所述第二通路导通时，流经所述第二通路的防干燥液一部分流至所述第二防干燥槽，另一部分通过所述第三通路流至所述第一防干燥槽。

2.如权利要求1所述的防干燥液供给系统，其特征在于，所述流量控制单元包括第一控制阀和第二控制阀，所述第一控制阀与所述第一通路连接，所述第二控制阀与所述第二通路连接，所述第一控制阀用于控制所述第一通路导通或关闭，所述第二控制阀用于控制所述第二通路导通或者关闭。

3.如权利要求2所述的防干燥液供给系统，其特征在于，所述第一控制阀用于控制流经所述第一通路中的防干燥液的流量；所述第二控制阀用于控制流经所述第二通路中的防干燥液的流量。

4.如权利要求2所述的防干燥液供给系统，其特征在于，还包括与所述第三通路连接的第三控制阀，所述第三控制阀用于控制流经所述第三通路的防干燥液的流量。

5.如权利要求4所述的防干燥液供给系统，其特征在于，所述流量控制单元还包括与所述第一控制阀连接的第一流量计，与所述第二控制阀连接的第二流量计，与所述第三控制阀连接的第三流量计其中的一个或多个，所述第一流量计用于检测流经所述第一通路的防干燥液的流量，第二流量计用于检测流经所述第二通路的防干燥液的流量，第三流量计用于检测流经所述第三通路的防干燥液的流量。

6.如权利要求1所述的防干燥液供给系统，其特征在于，所述第一防干燥槽或者第二防干燥槽还包括溢流管。

7.一种涂布设备，包括如权利要求1-6任一项所述的防干燥液供给系统、以及与所述第一防干燥槽对应设置的第一喷吐头、与所述第二防干燥槽对应设置的第二喷吐头，其中，在任意时刻使所述第一喷吐头或者第二喷吐头中任一处于工作模式，另一处于休息模式。

8.如权利要求7所述的涂布设备，其特征在于，在所述第一喷吐头处于工作模式且所述第二喷吐头处于休息模式下，所述防干燥液通过所述第一通路被提供给所述第一防干燥槽以及第二防干燥槽；在所述第二喷吐头处于工作模式且所述第一喷吐头处于休息模式下，所述防干燥液通过所述第二通路被提供给所述第二防干燥槽以及第一防干燥槽。

9.如权利要求8所述的涂布设备，其特征在于，流经所述第一通路或者流经所述第二通路中的防干燥液的流量为流至所述第一防干燥槽和流至所述第二防干燥槽的流量的总和。