KR20200134210A - 도포기, 및 도포기의 에어 배출 방법 - Google Patents

도포기, 및 도포기의 에어 배출 방법 Download PDF

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Abstract

도포기 내의 에어의 배출 성능을 높인다. 구체적으로는, 도포기는, 도포액이 모아지는 횡방향으로 긴 모음부와, 모음부에 도포액을 유입시키는 유입로와, 도포액을 토출하는 토출구와, 모음부와 토출구를 연결하는 토출용의 슬릿 유로를 가진다. 도포기는, 한층 더, 유입로가 개구(開口)하는 모음부로부터 상기 횡방향의 전체 폭에 걸쳐 위를 향하여 설치되어 있는 슬릿 형상의 에어 통과 유로와, 에어 통과 유로와 연결되고 외부로 도포액을 배출하기 위한 배출 유로를 가지도록 구성한다.

Description

도포기, 및 도포기의 에어 배출 방법
본 발명은, 도포기, 및 도포기의 에어 배출 방법에 관한 것이다.
액정 디스플레이나 플라스마 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이에는, 유리 등으로 이루어지는 기판 상에 레지스트액이 도포되어 제조된 것(이것을 「도포 기판」이라고 한다.)이 사용된다. 도포 기판은, 레지스트액(이하, 「도포액」이라고 한다.)을 도포하는 도포 장치에 의하여 제조되고, 도포 장치는, 기판을 재치(載置)하는 스테이지와, 도포액을 토출하는 도포기를 가진다. 도포기는, 그 내부에, 도포액이 모아지는 횡방향으로 긴 모음부와, 이 모음부에 도포액을 유입시키는 유입로와, 도포액을 토출하는 토출구와, 모음부와 토출구를 연결하는 토출용의 슬릿 유로를 가진다. 유입부로부터 모음부로 공급된 도포액을, 슬릿 유로를 통하여 토출구로부터 토출하면서, 기판과 도포기를 상대적으로 이동시키는 도포 동작이 행하여진다. 이것에 의하여, 소정 두께의 도포막이 기판 상에 형성된다.
상기 도포 장치에서는, 정기적으로, 도포기에 대하여 에어 배출 처리(에어 벤트 처리)가 행하여진다. 이것은, 도포기 내의 유로에 있어서, 도포액에 기포 등의 에어가 혼입된 상태로 도포 동작을 행하면, 에어의 변형에 의하여 도포액의 토출량이 변동하기 쉬워져, 도포 두께 차이의 원인이 되기 때문이다. 그래서, 예를 들어, 도포 동작 전에, 도포기 내의 유로에 존재하는 에어를 배출시키는 에어 배출 처리가 행하여진다. 상기와 같은 도포 장치는, 예를 들어 특허 문헌 1에 개시되어 있다.
일본국 공개특허공보 특개2006-87999호
특허 문헌 1에 개시되는 도포 장치의 도포기에서는, 모음부의 상면(上面) 측이, 중앙을 향하여 서서히 높아지는 경사 형상을 가진다. 모음부의 중앙의 높아지고 있는 위치에 있어서, 배출구가 형성되고, 배출구로부터 에어가 도포액과 함께 외부로 배출된다. 상기 경사 형상에 의하여, 에어를 배출구로 모으기 쉽게 하고 있다.
그러나, 작은 기포로 이루어지는 에어의 경우, 부력이 작기 때문에, 예를 들어 모음부의 횡방향 양단(兩端) 측에 존재하는 작은 기포는, 횡방향의 중앙의 배출구까지 이동하기 어렵다. 또한, 도포액의 점도가 비교적 높은 경우, 기포가 커도, 모음부의 양단 측에 존재하는 기포는, 중앙의 배출구까지 이동하기 어렵다. 이와 같이, 종래에서는, 에어가 도포액 중을 배출구까지 횡방향으로 이동할 필요가 있고, 에어가 도포기의 외부로 배출되기 어려운 경우가 있다.
그래서, 본 발명은, 도포기 내의 에어의 배출 성능을 높이는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 도포기는, 도포액이 모아지는 횡방향으로 긴 모음부와, 당해 모음부에 도포액을 유입시키는 유입로와, 도포액을 토출하는 토출구와, 상기 모음부와 상기 토출구를 연결하는 토출용의 슬릿 유로를 가지고, 한층 더, 상기 유입로가 개구(開口)하는 상기 모음부로부터 상기 횡방향의 전체 폭에 걸쳐 위를 향하여 설치되어 있는 슬릿 형상의 에어 통과 유로와, 상기 에어 통과 유로와 연결되고 외부로 도포액을 배출하기 위한 배출 유로를 가진다.
이 도포기에 의하면, 모음부의 도포액 중에 존재하는 에어는, 모음부에 있어서 횡방향으로 이동하지 않아도, 그 존재 위치로부터 위의 에어 통과 유로로 흐를 수 있다. 에어 통과 유로를 위를 향하여 흐른 에어는, 배출 유로에 옮겨지고, 도포기의 외부로 배출된다. 이와 같이, 모음부에 있어서 에어를 횡방향으로 이동시키지 않아도 무방한 것으로부터, 에어를 도포기의 외부로 배출시키기 쉽고, 에어의 배출 성능이 높은 도포기가 된다.
또한, 본 발명은, 도포액이 모아지는 횡방향으로 긴 모음부와, 당해 모음부에 도포액을 유입시키는 유입로와, 도포액을 토출하는 토출구와, 상기 모음부와 상기 토출구를 연결하는 토출용의 슬릿 유로를 가지는 도포기에 있어서, 내부의 에어를 배출하는 방법이고, 상기 유입로가 개구하는 상기 모음부의 에어를, 도포액과 함께, 당해 모음부로부터 상기 횡방향의 전체 폭에 걸쳐 위를 향하여 설치되어 있는 슬릿 형상의 에어 통과 유로를 통과시키고, 그 후, 상기 도포기의 외부로 연결되는 배출 유로를 거쳐, 외부로 배출한다.
이 방법에 의하면, 모음부의 도포액 중에 존재하는 에어는, 모음부에 있어서 횡방향으로 이동하지 않아도, 그 존재 위치로부터 위의 에어 통과 유로로 흐르고, 그 후, 배출 유로를 거쳐, 도포기의 외부로 배출된다. 이와 같이, 모음부에 있어서 에어를 횡방향으로 이동시키지 않아도 무방한 것으로부터, 에어를 도포기의 외부로 배출시키기 쉽고, 에어의 배출 성능이 높아진다.
본 발명에 의하면, 도포기 내의 에어의 배출 성능이 높아진다.
도 1은 본 발명의 도포기를 포함하는 도포 장치의 일례를 개략적으로 도시하는 측면도이다.
도 2는 본 발명의 도포기, 및 도포기 내의 에어를 도포액과 함께 배출하기 위한 구성을 도시하는 정면도이다.
도 3은 에어 배출 방법의 설명도이다.
도 4는 에어 배출 방법의 설명도이다.
도 5는 에어 배출 방법의 설명도이다.
도 6은 에어 배출 방법의 설명도이다.
도 7은 도포기의 변형예를 도시하는 측면도이다.
〔도포기, 및 도포 장치에 관하여〕
도 1은, 본 발명의 도포기를 포함하는 도포 장치의 일례를 개략적으로 도시하는 측면도이다. 도 2는, 본 발명의 도포기, 및 도포기 내의 에어를 도포액과 함께 배출하기 위한 구성을 도시하는 정면도이다. 덧붙여, 도 1 및 도 2에서는, 도포기(10)가 단면으로서 나타내져 있다. 도포기(10)는, 도면 외의 기판에 대하여 도포액을 도포하기 위하여 이용된다.
도포기(10)를 포함하는 도포 장치(5)에 관하여 설명한다. 도 1에 있어서, 도포 장치(5)는, 도포기(10) 외에, 배관(52)을 통하여 도포액을 도포기(10)로 공급하기 위한 펌프(제1 펌프)(51)를 구비한다. 배관(52)에는 개폐 밸브(53)가 설치된다. 도포 장치(5)는, 한층 더, 도시하지 않지만, 상기 기판을 보지(保持)하는 스테이지와, 이 스테이지와 도포기(10)를 기판을 따라 상대 이동시키는 이동 기구를 구비한다. 도포기(10)로부터 도포액을 토출시키면서, 도포기(10)와 상기 기판을 상대적으로 이동시키는 동작(이것을 「도포 동작」이라고 한다.)을 행하는 것으로, 소정 두께의 도포막이 상기 기판 상에 형성된다.
도포기(10)에 관하여 설명한다. 도포기(10)는, 횡방향(수평 방향)으로 긴 형상을 가진다(도 2 참조). 상기 횡방향은, 도 1의 경우, 지면에 직교하는 방향이며, 도 2의 경우, 좌우 방향이다. 횡방향에 직교하는 수평 방향을, 가장 안으로 가는 방향이라고 정의한다. 도포기(10) 내에는, 상기 펌프(51)에 의하여 공급된 도포액이 상기 도포 동작을 위하여 흐르는 유로(17)가 형성되어 있다. 상기 유로(17)로서, 도포기(10) 내에, 횡방향으로 긴 모음부(11)와, 모음부(11)에 도포액을 유입시키는 유입로(13)와, 토출용의 슬릿 유로(12)가 설치되어 있다. 도포액은, 도포기(10) 내에 있어서 충만 상태에 있다.
유입로(13)는, 도포기(10)의 후벽(後壁)(14)(도 1 참조)을 관통하는 구멍에 의하여 구성된 유로이다. 유입로(13)의 일단(一端) 측에 상기 배관(52)이 접속되어 있고, 유입로(13)의 타단(他端)이 모음부(11)에 있어서 개구한다. 유입로(13)는, 횡방향의 중앙에 1개소 설치되어 있다.
모음부(11)는, 횡방향으로 길게 형성되고(도 2 참조), 유입로(13)로부터 유로 단면이 횡방향 및 상하 방향으로 확대된 영역이다. 유입로(13)를 통하여 공급된 도포액은, 모음부(11)에 있어서 횡방향으로 확폭(擴幅)되어 모아진다. 모음부(11)는, 가장 안으로 가는 방향으로도 확대된 영역이다(도 1 참조).
슬릿 유로(12)는, 횡방향으로 길게 형성되고, 가장 안으로 가는 방향으로 얇은 슬릿 형상의 유로이다. 슬릿 유로(12)는, 도포기(10) 내에 있어서 위로부터 아래를 향하는 방향이 도포액의 흐름 방향이 되도록, 상하 방향으로 연장되어 설치되어 있다. 슬릿 유로(12)는, 모음부(11)와 비교하여 가장 안으로 가는 방향으로 유로가 축소된 형상을 가진다(도 1 참조). 슬릿 유로(12)의 일방 측(상측)은 모음부(11)에 있어서 개구하고, 타방 측(하측)은 도포기(10)의 선단면(先端面)(하단면(下端面))(15)에 있어서 개구한다. 슬릿 유로(12)와 모음부(11)는 상호의 횡방향의 전체 폭에서 연결되어 있다. 즉, 슬릿 유로(12)와 모음부(11)는 횡방향으로 같은 치수를 가진다. 슬릿 유로(12)의 선단면(15)에 있어서의 개구가, 상기 도포 동작 시에 도포액이 토출되는 토출구(16)가 된다.
이와 같이, 도포기(10)는, 도포액이 모아지는 횡방향으로 긴 모음부(11)와, 모음부(11)에 도포액을 유입시키는 유입로(13)와, 도포액을 토출하는 토출구(16)와, 모음부(11)와 토출구(16)를 연결하는 토출용의 슬릿 유로(12)를 가진다. 펌프(51)에 의하여 유입로(13)를 통하여 모음부(11)에 공급된 도포액을, 슬릿 유로(12)를 통하여 토출구(16)로부터 토출시키면서, 도면 외의 기판과 도포기(10)를 상대적으로 이동시키는 도포 동작이 행하여진다. 이것에 의하여, 소정 두께의 도포막이 기판 상에 형성된다. 상기 유로(17)는, 기판에 도포액을 도포하기 위하여 이용되는 도포용 유로로서 기능한다.
도포기(10)에는, 한층 더, 상기 유로(도포용 유로)(17)에 존재하는 도포액에 포함되는 기포 등의 에어(Q)를 배출하기 위한 에어 빼기용 유로(18)를 구비한다. 에어 빼기용 유로(18)로서, 도포기(10)는, 에어 통과 유로(19)와 배출 유로(20)를 구비한다.
에어 통과 유로(19)는, 횡방향으로 길게 형성되고, 가장 안으로 가는 방향으로 얇은 슬릿 형상의 유로이다. 에어 통과 유로(19)는, 도포기(10) 내에 있어서 아래로부터 위를 향하는 방향이 도포액의 흐름 방향이 되도록, 상하 방향으로 연장되어 설치되어 있다. 에어 통과 유로(19)는, 모음부(11)와 비교하여 가장 안으로 가는 방향으로 유로가 축소된 형상을 가진다(도 1 참조). 에어 통과 유로(19)의 일방 측(하측)은 모음부(11)에 있어서 개구하고, 타방 측(상측)은 배출 유로(20)에 있어서 개구한다. 에어 통과 유로(19)와 모음부(11)는 상호의 횡방향의 전체 폭에서 연결되어 있다. 즉, 에어 통과 유로(19)와 모음부(11)는 횡방향으로 같은 치수를 가진다. 후에도 설명하겠지만, 모음부(11)에 모아진 도포액은, 모음부(11)로부터 에어 통과 유로(19)를 통하여 흐를 수 있다. 나아가, 도포액은, 에어 통과 유로(19)를 통과하여, 배출 유로(20)로 흐를 수 있다. 덧붙여, 에어 통과 유로(19)보다도, 도포 동작을 위한 토출용의 슬릿 유로(12)가, 가장 안으로 가는 방향에 관하여 폭이 넓어도 무방하지만, 본 실시 형태에서는, 슬릿 유로(12)보다도 에어 통과 유로(19) 쪽이, 가장 안으로 가는 방향에 관하여 폭이 넓다.
배출 유로(20)는, 도포기(10) 내에 있어서, 에어 통과 유로(19)의 횡방향의 전체 폭에 걸쳐 에어 통과 유로(19) 위에 설치되어 있다. 배출 유로(20)와 에어 통과 유로(19)는, 에어 통과 유로(19)의 횡방향의 전체 폭에서 연결되어 있다. 나아가, 배출 유로(20)는, 에어 통과 유로(19)보다도 횡방향으로 긴 직선상(直線狀)의 유로이며, 배출 유로(20)는, 도포기(10)가 가지는 횡방향 양측의 측벽(側壁)(21, 21)(도 2 참조)을 횡방향으로 관통하고 있다. 배출 유로(20)의 횡방향 양단은, 배관(22, 23)이 접속되는 접속구(24, 25)가 된다. 도 1에 도시되는 에어 빼기용 유로(18)에서는, 배출 유로(20)에 있어서, 에어 통과 유로(19)로부터 유로 단면이 확대되어 있다. 즉, 배출 유로(20)는, 에어 통과 유로(19)와 비교하여 가장 안으로 가는 방향으로 유로가 확대된 형상을 가진다.
도 2에 있어서, 횡방향에 관하여 일방 측(우측)의 제1 접속구(24)에, 제1 배관(22)이 접속되고, 횡방향에 관하여 타방 측(좌측)의 제2 접속구(25)에, 제2 배관(23)이 접속된다. 제1 배관(22)에 제1 개폐 밸브（26)가 설치된다. 제2 배관(23)에 제2 개폐 밸브(27)가 설치된다. 제1 배관(22)은, 분기부(分岐部)(28)를 가지고, 분기부(28)에 제3 배관(29)이 접속된다. 제3 배관(29)에 개폐 밸브(30) 및 제2 펌프(31)가 접속된다. 상기 도포 동작 시, 밸브(26, 27, 30)는 닫힘 상태에 있다. 도포기(10) 내의 에어(Q)를 배출할 때, 밸브(26, 27, 30)는 소정의 타이밍에서 닫힘 상태로부터 열림 상태가 된다.
이상과 같이, 도포기(10)는, 에어 빼기용 유로(18)로서, 슬릿 형상의 에어 통과 유로(19)와 배출 유로(20)를 가진다. 에어 통과 유로(19)는, 모음부(11)로부터, 이 모음부(11)의 횡방향의 전체 폭에 걸쳐 위를 향하여 설치되어 있다. 배출 유로(20)는, 에어 통과 유로(19)와 연결되어 있어, 도포기(10)의 외부로 에어(Q)와 함께 도포액을 배출하기 위한 유로가 된다.
본 실시 형태의 에어 통과 유로(19)는, 모음부(11)로부터 가상 연직면을 따라 상향으로 연장되어 설치되어 있지만, 엄밀하게 연직 방향을 따라 설치되어 있지 않아도 무방하고, 가상 연직면에 대하여 예를 들어 45° 이하의 각도를 가져 경사하는 방향을 따라서 연장되어 설치되어 있어도 무방하다. 또한, 본 실시 형태의 배출 유로(20)는(도 1 참조), 에어 통과 유로(19)와 비교하여, 가장 안으로 가는 방향으로 유로가 확대된 형상을 가지지만, 도 7에 도시되는 바와 같이, 배출 유로(20)와 에어 통과 유로(19)는, 가장 안으로 가는 방향의 치수가 같아도 무방하다.
도포기(10)는, 토출구(16)를 닫는 폐색(閉塞) 부재(33)을 더 가진다. 폐색 부재(33)는, 도포기(10)의 선단면(15)에 접촉하면 토출구(16)를 닫고, 토출구(16)로부터의 도포액의 토출을 불가능하게 한다. 이 때문에, 폐색 부재(33)는, 도면 외의 액추에이터에 의하여, 도포기(10)의 선단면(15)에 접근하거나 멀어지거나 할 수 있다.
〔도포기(10)의 에어 배출 방법에 관하여〕
상기 구성을 구비한 도포기(10)의 에어 배출 방법에 관하여 설명한다. 도 3에 도시되는 바와 같이, 제1 펌프(51)에 의하여 도포액이, 배관(52)을 통하여 도포기(10)에 공급된다. 이 때, 폐색 부재(33)에 의하여 토출구(16)는 닫혀 있다. 도 4에 도시되는 바와 같이, 제1 및 제2 개폐 밸브(26, 27)는 열림 상태에 있다. 제3 개폐 밸브(30)는 닫힘 상태에 있고, 제2 펌프(31)의 동작은 정지되어 있다.
도포액이 배관(52)을 통하여 도포기(10)에 공급되면, 상기대로, 그 도포액은, 유입로(13)를 통하여 모음부(11)에 공급된다. 모음부(11)에 있어서 도포액은 횡방향으로 확폭되어 있어, 한층 더 추가적으로 공급되는 도포액도 모음부(11)에 있어서 확폭된다. 이와 같이, 모음부(11)에 있어서, 도포액은 횡방향으로 확폭하여 모아진 상태(충만 상태)에 있기 때문에, 유입로(13)로부터 도포액이 한층 더 공급되면, 모음부(11)의 횡방향의(양단 측을 포함한다) 각 위치에 있어서 도포액 중에 존재하는 에어(Q)는, 도포액과 함께 그대로 위를 향하여 에어 통과 유로(19)를 흐른다. 이 에어(Q)의 흐름의 모습이, 도 4에 있어서 화살표 Y로 도시된다. 에어 통과 유로(19)를 흐른 에어(Q)를 포함하는 도포액은, 배출 유로(20)로 흐르고, 횡방향의 일방 측 및 타방 측(좌우 양측)으로 흐를 수 있다. 제1 및 제2 개폐 밸브(26, 27)가 열림 상태이기 때문에, 배출 유로(20)를 흐른 에어(Q)를 포함하는 도포액은, 제1 배관(22) 및 제2 배관(23)을 흐른다. 제1 배관(22) 및 제2 배관(23)을 통과한 도포액은, 도포기(10)의 외부에 설치되어 있는 배액(排液) 받이용의 탱크(32)에 배출되고, 모아진다.
에어 배출을 위하여, 제1 및 제2 개폐 밸브(26, 27)가 열림 상태가 되고(한층 더, 토출구(16)가 폐색 부재(33)에 의하여 닫히고), 도포기(10)에 도포액이 공급되고 나서 소정 시간이 경과하면, 개폐 밸브(53)를 닫고(도 5 참조), 한층 더, 도 6에 도시되는 바와 같이, 제1 개폐 밸브(26)를 닫는 것과 함께, 제3 개폐 밸브(30)를 열어 제2 펌프(31)를 동작시킨다. 그러면, 제2 펌프(31)에 의하여 도포액이 도포기(10)에 공급된다. 덧붙여, 펌프(31)가 공급하는 도포액은, 도포기(10)로부터 도면 외의 기판에 토출하여 도포를 행하기 위하여 이용되는 도포액(도 1의 제1 펌프(51)가 토출하는 도포액)과 같은 것이다. 그러면, 배출 유로(20) 내의 에어(Q)를 포함하는 도포액은, 모두 제2 배관(23)을 통하여 흐르고, 배액 받이용의 탱크(32)에 배출된다. 이 에어(Q)의 흐름의 모습이, 도 6에 있어서 화살표 X로 도시된다. 이상으로부터, 도포기(10) 내에 있어서 도포액에 혼입되어 있는 에어(Q)는, 도포기(10)의 외부(배액 받이 탱크(32))로 배출된다.
이와 같이 본 실시 형태의 도포기(10)에 있어서의 에어(Q)의 배출 방법은, 모음부(11) 내의 에어(Q)를, 도포액과 함께, 모음부(11)로부터 횡방향의 전체 폭에 걸쳐 위를 향하여 설치되어 있는 슬릿 형상의 에어 통과 유로(19)를 통과시키고, 그 후, 도포기(10)의 외부로 연결되는 배출 유로(20)를 거쳐, 외부로 배출하는 방법이다. 이 방법에 의하면, 모음부(11)의 도포액 중에 존재하는 에어(Q)는, 모음부(11)에 있어서 횡방향으로 이동하지 않아도, 도 4에 도시되는 바와 같이, 그 존재 위치로부터 위로 에어 통과 유로(19)로 흐르고, 그 후, 배출 유로(20)를 거쳐, 도포기(10)의 외부로 배출된다.
〔본 실시 형태의 도포기(10)에 관하여〕
본 실시 형태의 도포기(10)는, 슬릿 형상의 에어 통과 유로(19)와, 이 에어 통과 유로(19)와 연결되고 외부로 도포액을 배출하기 위한 배출 유로(20)를 가진다. 에어 통과 유로(19)는, 유입로(13)가 개구하는 모음부(11)로부터 횡방향의 전체 폭에 걸쳐 위를 향하여 설치되어 있다. 이 도포기(10)에 의하면, 모음부(11)의 횡방향의 양단 측에 있어서 도포액 중에 에어(Q)가 존재하고 있어도, 그 에어(Q)는, 모음부(11)에 있어서 횡방향으로 이동하지 않아도, 그 존재 위치(횡방향 양단 측의 위치)로부터 위의 에어 통과 유로(19)로 흐를 수 있다. 에어 통과 유로(19)를 위를 향하여 흐른 에어(Q)는, 배출 유로(20)에 옮겨지고, 도포기(10)의 외부로 배출된다. 이상으로부터, 본 실시 형태의 도포기(10), 및 이 도포기(10)에 있어서의 에어 배출 방법에 의하면, 모음부(11)에 있어서 에어(Q)를 횡방향으로 이동시키지 않아도 무방한 것으로부터, 에어(Q)를 도포기(10)의 외부로 배출시키기 쉽고, 에어(Q)의 배출 성능이 높다.
여기서, 에어 통과 유로(19)가(도 3 참조) 슬릿 형상이며, 모음부(11)와 비교하여 가장 안으로 가는 방향으로 유로가 축소된 형상을 가지는 것의 의의에 관하여 설명한다. 만일, 도시하지 않지만, 에어 통과 유로(19)가 슬릿 형상이 아니라 가장 안으로 가는 방향으로 넓은 형상이면, 횡방향의 중앙에 1개소 설치되어 있는 유입로(13)(도 4 참조)로부터 모음부(11)로 공급된 도포액은, 모음부(11)에 있어서 횡방향으로 충분히 확폭되기 전에, 그 에어 통과 유로(19)를 흘러 버린다. 즉, 모음부(11)의 횡방향의 양단 측의 영역, 및, 에어 통과 유로(19)의 횡방향의 양단 측의 영역에서는, 도포액이 흐르기 어려워진다(도포액의 흐름이 느려진다). 그러면, 모음부(11)의 횡방향의 양단 측의 영역에 존재하는 도포액에 혼입되어 있는 에어(Q)는, 배출되기 어려워진다. 이것에 대하여, 본 실시 형태와 같이, 에어 통과 유로(19)가 슬릿 형상인 것으로, 횡방향의 중앙에 1개소 설치되어 있는 유입로(13)로부터 모음부(11)로 공급된 도포액은, 모음부(11)에 있어서 횡방향으로 충분히 확폭되고, 계속하여, 에어 통과 유로(19)를 어느 정도의 유속을 가져 흐를 수 있다. 따라서, 모음부(11)의 횡방향의 양단 측의 영역으로부터도, 에어(Q)를 도포액과 함께, 위를 향하여 에어 통과 유로(19)를 통하여 흐르고, 도포기(10)의 외부로 배출하는 것이 용이해진다.
또한, 본 실시 형태의 도포기(10)에서는(도 4 참조), 배출 유로(20)는, 에어 통과 유로(19)의 횡방향의 전체 폭에 걸쳐 에어 통과 유로(19)의 위에 설치되어 있고, 배출 유로(20)는, 도포기(10)의 측벽(21)을 횡방향으로 관통하여 설치되어 있다. 이 때문에, 에어 통과 유로(19)를 위를 향하여 통과한 에어(Q)가, 그대로 배출 유로(20)로 흐르고, 배출 유로(20)를 따라 횡방향으로 도포액과 함께 에어(Q)를 흐르게 할 수 있다. 나아가, 배출 유로(20)는, 도포기(10)의 측벽(21)을 횡방향으로 관통하여 설치되어 있는 것으로부터, 배출 유로(20)의 에어(Q)를 그대로 동일한 횡방향을 향하여 외부로 배출할 수 있고, 에어의 배출 효율이 좋다. 배출 유로(20)에 있어서의 유로는 직선상이기 때문에, 유로 저항이 작고, 에어(Q)의 걸림이 생기기 어렵다.
상기대로, 모음부(11)의 도포액에 혼입되어 있는 에어(Q)를 에어 통과 유로(19)로 흐르게 하기 위하여, 유입로(13)로부터 모음부(11)로 도포액을 공급하면 되지만, 토출구(16)로부터도 도포액이 유출된다. 그래서, 본 실시 형태의 도포기(10)는, 토출구(16)를 닫는 폐색 부재(33)를 가진다. 도포기(10) 내의 도포액에 혼입되어 있는 에어(Q)를 배출하는 에어 배출 처리(에어 벤트 처리)를 행할 때, 폐색 부재(33)에 의하여, 토출구(16)가 닫힌다. 이것에 의하여, 토출구(16)로부터 도포액이 토출되는 것을 막고, 모음부(11)의 도포액에 혼입되어 있는 에어(Q)를, 도포액과 함께 에어 통과 유로(19) 및 배출 유로(20)를 통하여 외부로 효율 좋게(즉, 쓸데 없이 도포액을 소비하지 않고) 배출할 수 있다. 토출용의 슬릿 유로(12)가 비교적(예를 들어 에어 통과 유로(19)보다도) 가장 안으로 가는 방향에 관하여 폭이 넓은 경우, 폐색 부재(33)는 특히 유효하다.
또한, 본 실시 형태에서는, 도 5에 도시되는 바와 같이, 에어 빼기용 유로(18)에서는, 배출 유로(20)에 있어서, 에어 통과 유로(19)로부터 유로 단면이 확대되어 있다. 이 때문에, 배출 유로(20)에 일단 들어간 에어(Q)가(도 6 참조) 에어 통과 유로(19)로 되돌아오는 것을 막을 수 있다. 또한, 배출 유로(20)의 유로 단면이 넓어지는 것으로, 배출 유로(20)에 있어서의 유로 저항이 작아지고, 에어(Q)의 배출 효율이 높아진다.
상기대로, 유입로(13)를 통하여 모음부(11)에 도포액을 공급하면, 모음부(11)의 에어(Q)는, 도포액과 함께, 에어 통과 유로(19) 및 배출 유로(20)를 거쳐, 도포기(10)의 외부로 배출된다. 본 실시 형태에서는, 제2 펌프(31)(도 6 참조)에 의하여 적극적으로 도포액을 배출 유로(20)로 흐르게 하고, 에어(Q)가 포함되는 도포액을 강제적으로 외부로 배출한다. 이 때문에, 도포기(10)는, 접속구(24)를 가지고, 접속구(24)에는, 배출 유로(20)의 도포액을 외부로 배출시키기 위한 제2 펌프(31)가, 배관(제1 배관(22)의 일부 및 제3 배관(29))을 통하여 접속된다. 이 구성에 의하여, 배출 유로(20)에 있어서 적극적인 도포액의 흐름을 제2 펌프(31)에 의하여 발생시킬 수 있다. 이 결과, 배출 유로(20)로부터 에어(Q)를 효율 좋게 배출하는 것이 가능해진다.
이상으로부터, 본 실시 형태의 도포기(10)에 의하면, 도포기(10) 내의 에어(Q)의 배출 성능이 높아진다. 따라서, 도포기(10) 내의 도포액에 혼입되는 에어(Q)를 소량의 도포액의 배출 동작으로 효율 좋게 배출할 수 있고, 도포액의 이용 효율을 높이는 것이 가능해진다.
〔그 외〕
금회(今回) 개시한 실시 형태는 모든 점에서 예시이며 제한적인 것은 아니다. 본 발명의 권리 범위는, 상술의 실시 형태로 한정되는 것은 아니고, 특허 청구의 범위의 범위에 기재된 구성과 균등의 범위 내에서의 모든 변경이 포함된다.
예를 들어, 도 1에 도시되는 바와 같이, 도포기(10)의 횡방향으로 직행하는 단면에 있어서, 배출 유로(20)의 단면 형상은 원형인 경우에 관하여 설명하였지만, 이 단면 형상은 변경 가능하고, 직사각형이나 타원이어도 무방하다. 또한, 모음부(11) 등의 단면 형상도, 도 1에 도시되는 형상 이외여도 무방하다.
10: 도포기
11: 모음부
12: 슬릿 유로
13: 유입로
16: 토출구
19: 에어 통과 유로
20: 배출 유로
21: 측벽
24: 접속구
31: 펌프
33: 폐색 부재

Claims (6)

  1. 도포액이 모아지는 횡방향으로 긴 모음부와, 당해 모음부에 도포액을 유입시키는 유입로와, 도포액을 토출하는 토출구와, 상기 모음부와 상기 토출구를 연결하는 토출용의 슬릿 유로를 가지고,
    한층 더, 상기 유입로가 개구(開口)하는 상기 모음부로부터 상기 횡방향의 전체 폭에 걸쳐 위를 향하여 설치되어 있는 슬릿 형상의 에어 통과 유로와, 상기 에어 통과 유로와 연결되고 외부로 도포액을 배출하기 위한 배출 유로를 가지는, 도포기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 배출 유로는, 상기 에어 통과 유로의 상기 횡방향의 전체 폭에 걸쳐 당해 에어 통과 유로의 위에 설치되어 있고, 당해 배출 유로는, 도포기 측벽(側壁)을 상기 횡방향으로 관통하여 설치되어 있는, 도포기.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 배출 유로에 있어서, 상기 에어 통과 유로로부터 유로 단면이 확대되어 있는, 도포기.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 배출 유로의 도포액을 외부로 배출시키기 위한 펌프를, 배관을 통하여 접속시키는 접속구를 가지는, 도포기.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 토출구를 닫는 폐색 부재를 더 가지는, 도포기.
  6. 도포액이 모아지는 횡방향으로 긴 모음부와, 당해 모음부에 도포액을 유입시키는 유입로와, 도포액을 토출하는 토출구와, 상기 모음부와 상기 토출구를 연결하는 토출용의 슬릿 유로를 가지는 도포기에 있어서, 내부의 에어를 배출하는 방법이고,
    상기 유입로가 개구하는 상기 모음부의 에어를, 도포액과 함께, 당해 모음부로부터 상기 횡방향의 전체 폭에 걸쳐 위를 향하여 설치되어 있는 슬릿 형상의 에어 통과 유로를 통과시키고, 그 후, 상기 도포기의 외부로 연결되는 배출 유로를 거쳐, 외부로 배출하는, 도포기의 에어 배출 방법.
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