JP2009135129A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板処理装置1は、搬送中の基板Sの上面に、その搬送方向上流側から下流側に向かって斜め方向にリンス液を吐出する液ナイフ16を備える。液ナイフ16の下方には、当該液ナイフ16から滴下するリンス液を捕液する液受け部材32が設けられている。
【選択図】図1
Description
10 処理室
14 搬送ローラ
16 液ナイフ
18a,18b シャワーノズル
32 液受け部材
S 基板
Claims (4)
- 搬送中の基板の上面に、その搬送方向上流側から下流側に向かって斜め方向に処理液を吐出するノズル部材を備えた基板処理装置において、
前記ノズル部材の下方に、当該ノズル部材から滴下する処理液を捕液する液受け部材を備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
前記ノズル部材は、前記搬送方向と直交する幅方向に沿って連続的に処理液を吐出する液ナイフであって、前記液受け部材は、前記液ナイフに沿って設けられ、長手方向両端が基板の同両端よりも外側に位置する樋型の構造を有していることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項2に記載の基板処理装置において
前記液受け部材は、その長手方向両端の少なくとも一方側に処理液を放流可能な開放部を有していることを特徴とする基板処理装置。 - 請請求項2又は3に記載の基板処理装置において、
前記液受け部材は、その内底面が長手方向に傾斜して設けられていることを特徴とする基板処理装置。
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