JP5290081B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
この基板処理装置の水洗処理部は、薬液処理部1(一部のみを図示)の後段側に順に連設された置換水洗部(第1水洗部)5と第2水洗部3と直水洗部4(一部のみを図示)とから構成されている。直水洗部4の後段側には、乾燥処理部(図示せず)が設けられている。
したがって、請求項1に係る発明の基板処理装置を使用すると、薬液処理後の基板を水洗処理するときの純水の使用量を大幅に節減するとともに、排液量を少なくすることができ、また、水洗処理時間を大幅に短縮することができる。
図1は、この発明の実施形態の1例を示し、基板処理装置における水洗処理部の一部を模式的に示したものである。
2 置換水洗部(第1水洗部)
3 第2水洗部
4 直水洗部
10 置換水洗室
12 基板搬入口
14 基板搬出口
16 入口ノズル
18 高圧ノズル
18a 直列高密度扇形スプレーノズル
18b 2流体スプレーノズル
20 下部スプレーノズル
22 エアーノズル
24 排液路
26 フード
28 排気管
30、72、80 洗浄水供給路
32、78 送液ポンプ
34 エアー供給管
38 薬液処理室
54 第2水洗室
60、62、86、88 スプレーノズル
64 循環排水路
66 循環水タンク
68 純水供給路
70 直水洗室
82 排水路
84 三方切換弁
90 排気管
92a スプレーパイプ
92b 2流体スプレーヘッダー管
94a ノズル部
94b 2流体ノズル部
96 エアー供給路
98 洗浄水戻り路
100、102 開閉制御弁
104、106 基板位置センサ
108 制御回路
W 基板
Claims (7)
- 薬液処理後の基板に対し水洗処理を行う水洗室と、
この水洗室内に配設され基板を搬送する基板搬送手段と、
この基板搬送手段によって搬送される基板の主面へ洗浄水を供給する洗浄水供給手段と、
を備えた基板処理装置において、
前記水洗室は、基板搬送方向における長さが基板の基板搬送方向における寸法より短くされ、基板が搬入される入口および基板が搬出される出口を有する閉鎖形態であり、
前記基板搬送手段は、前記水洗室内へ搬入されてきた基板を一方向へ連続して搬送し水洗室内から搬出するものであり、
前記洗浄水供給手段は、
前記水洗室内の入口付近に、基板搬送方向に対して交差するように配設され、基板の主面へ洗浄水を基板の幅方向全体にわたって吐出する入口ノズルと、
この入口ノズルより基板搬送方向における前方側に、基板搬送方向に対して交差するように配設され、基板上の薬液が基板搬送方向における前方側へ流動するのをせき止めて基板上の薬液が洗浄水で急速に置換されるように基板の主面へ洗浄水を高圧で吐出する高圧ノズルと、
前記入口ノズルおよび前記高圧ノズルからの洗浄水の吐出および吐出停止を切り替える切替え手段と、
前記水洗室内へ基板が搬入される前に前記入口ノズルおよび前記高圧ノズルからの洗浄水の吐出を開始し、前記水洗室内から基板が搬出された後に前記入口ノズルおよび前記高圧ノズルからの洗浄水の吐出を停止するように前記切替え手段を制御する制御手段と、
を備えて構成され、
前記水洗室内の出口側に、基板搬送方向に対して交差するように配設され、基板に薬液が付着して水洗室外へ持ち出されるのを阻止するように基板の主面へ気体を直下方向ないし基板搬送方向に対して斜め逆方向に噴出する気体ノズルと、
前記水洗室の内底部に流下した洗浄水を排出する排水手段と、
をさらに備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
前記入口ノズルが、長手方向に沿ったスリット状吐出口を有し、そのスリット状吐出口から基板の主面へ洗浄水を、直下方向に対して基板搬送方向における前方側へ傾斜した方向にカーテン状に吐出するスリットノズルであることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1または請求項2に記載の基板処理装置において、
前記高圧ノズルが、基板搬送方向に対して交差する方向に互いに近接して並設された複数の吐出口を有し、各吐出口からそれぞれ扇状に洗浄水を高圧で吐出する直列高密度扇形スプレーノズルであることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1または請求項2に記載の基板処理装置において、
前記高圧ノズルが、基板搬送方向に対して交差する方向に互いに近接して並設された複数の吐出口を有し、各吐出口からそれぞれ気体の圧力で洗浄水をミスト化して吐出する2流体スプレーノズルであることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記高圧ノズルに、その吐出口から吐出される洗浄水のミストが飛散するのを防止するためのフードが付設されたことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項5に記載の基板処理装置において、
前記フードを通して洗浄水のミストを吸引し排出するミスト吸引装置が併設されたことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし請求項6のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記水洗室の後段側に設けられる第2水洗室において使用され回収された洗浄水の一部が前記入口ノズルおよび前記高圧ノズルへ供給されることを特徴とする基板処理装置。
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