KR20100003151A - 기판에 균일한 워터폴을 제공할 수 있는 액체 블레이드 - Google Patents

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Abstract

액체 블레이드는 유체 안내 장치, 제1 유체 조절 장치, 및 제2 유체 조절 장치를 포함한다. 상기 유체 안내 장치는 제1 유동 채널 및 제2 유동 채널을 가진다. 상기 제1 유동 채널은 상기 제2 유동 채널과 평행하고 이어져 있다. 상기 제1 유동 채널은 유체를 주입하기 위한 유체 주입구를 가진다. 상기 제2 유동 채널은 상기 유체를 배출하기 위한 유체 배출구를 가진다. 상기 제1 유동 채널과 상기 제2 유동 채널 사이에 버퍼 공간이 형성된다. 상기 버퍼 공간은 상기 제1 유동 채널로부터 상기 제2 유동 채널로 흐르는 유체를 일시적으로 저장하기 위하여 이용된다. 상기 제1 유체 조절 장치는 상기 제1 유동 채널로 흐르는 상기 유체를 조절하기 위하여 이용된다. 상기 제2 유체 조절 장치는 상기 제2 채널로 흐르는 상기 유체를 조절하기 위하여 이용된다.

Description

기판에 균일한 워터폴을 제공할 수 있는 액체 블레이드{Liquid Blade Capable of Providing a Substrate with a Uniform Waterfall}
본 발명은 액체 블레이드(liquid blade)를 제공하고, 더욱 상세하게는, 기판에 균일한 워터폴(waterfall)을 제공할 수 있는 액체 블레이드를 제공한다.
박막 트랜지스터 액정 디스플레이(TFT-LCD)의 공정에서, 습식 식각 공정은 액정 디스플레이의 표시 품질에 중요한 영향을 가진다. 일반적으로 말해서, 기판의 건식 식각은 기판을 세척 또는 식각하기 위한 탈 이온수(deionized water) 또는 화학적 액체 워터폴을 제공하기 위하여 액체 블레이드 장치를 사용한다. 도 1을 참조하면, 도 1은 종래 기술에 따른 액체 블레이드 장치(10)의 개략도이다. 액체 블레이드 장치(10)는 적어도 하나의 주입 포트(port)(12)(도 1에는 네 개의 주입 포트들이 도시된다) 및 유체 배출 갭(gap)(14)을 포함한다. 유체는 세척 또는 식각을 위하여 주입 포트(12)를 통하여 주입된다. 유체 배출 갭(14)은 기판(16)에 워터폴을 형성하기 위하여 유체를 배출한다. 먼저, 유체는 소정의 주입율(40 L/min)로 주입 포트(12)를 통하여 액체 블레이드 장치(10)로 주입된다. 액체 블레이드 장치(10)가 유체로 가득한 후에, 유체는 수압에 의해 유체 배출 갭(14)으로부 터 배출되고, 그럼으로써 이에 대응하는 워터폴을 형성한다. 그러나, 유체는 점 주입 방식으로 주입되지만, 표면 배출 방식으로 배출된다. 이것은 불균일한 수압을 만들고, 불균일 식각 또는 얼룩(Mura)이 생겨서 관련 제품의 표시 품질을 떨어뜨린다. 더욱이, 유체 배출 갭(14)에 어떤 것이 막힌 경우에, 액체 블레이드 장치(10)의 두 갈래로 갈라진(forked) 워터폴로 인한 명백한 식각 결함이 생긴다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 유동의 방향 변경으로 인한 불균일한 유체 압력 및 난류를 제거하기 위한 액체 블레이드 장치를 제공하는데 있다.
액체 블레이드 장치는 기판에 균일한 워터폴을 제공할 수 있는 유체 안내 장치를 포함한다. 상기 액체 블레이드는 유체 조절 장치를 포함한다. 상기 유체 안내 장치는 제1 유동 채널 및 제2 유동 채널을 가진다. 상기 제1 유동 채널은 상기 제2 유동 채널과 평행하고 이어져 있다. 상기 제1 유동 채널은 유체를 주입하기 위한 유체 주입구를 가진다. 상기 제2 유동 채널은 유체를 배출하기 위한 유체 배출구를 가진다. 버퍼 공간은 상기 제1 유동 채널과 상기 제2 유동 채널 사이에 형성된다. 상기 버퍼 공간은 상기 제1 유동 채널로부터 상기 제2 유동 채널로 흐르는 유체를 일시적으로 저장하기 위하여 이용된다. 상기 액체 블레이드 장치는 제1 유체 조절 장치 및 제2 유체 조절 장치를 더 포함한다. 상기 제1 유체 조절 장치는 상기 제1 유동 채널로 흐르는 유체를 조절하기 위하여 이용된다. 상기 제2 유체 조절 장치는 상기 제2 유동 채널로 흐르는 유체를 조절하기 위하여 이용된다.
본 발명의 이러한 그리고 다른 목적들은 다양한 도면들과 그림들에서 예시되는 후술되는 바람직한 실시예의 상세한 설명을 읽은 후에는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자들에게 명확해질 것은 의심할 여지가 없다.
종래 기술과 달리, 본 발명은 내부의 유동 채널들에서 유체 흐름을 늦추기 위하여 내부의 유체 조절 파티션(partition), 유체 안내 배플(baffle), 또는 배플의 구조를 이용한 액체 블레이드 장치를 제공하여, 유동의 방향 변경으로 인한 불균일한 유체 압력 및 난류(turbulent flow)를 제거한다. 이것은 불균일한 식각 또는 얼룩을 제거하기 위하여 기판에 균일한 워터폴을 제공함으로써 기판의 습식 식각 처리의 질을 향상시킬 수 있다. 추가적으로, 액체 블레이드 장치의 내부의 유체는 주입구로부터 균일하게 넘쳐흐르므로, 차단 불순물들의 문제는 해결될 수 있다.
도 2 및 3을 참조하면, 도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액체 블레이드 장치(50)의 개략도이다. 도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 도 2에 도시된 액체 블레이드 장치(50)의 확대도이다. 액체 블레이드 장치(50)는 기판(52)에 균일한 워터폴을 제공하기 위한 것이다. 액체 블레이드 장치(50)는 유체 안내(fluid guiding) 장치(54), 제1 유체 조절(regulating) 장치(56), 제2 유체 조절 장치(58) 및 스포일러(spoiler)(60)를 포함한다. 유체 안내 장치(54)는 제1 유동 채널(flow channel)(62) 및 제2 유동 채널(64)을 포함하고, 제1 유동 채널(62)은 제2 유동 채널(64)에 평행하고 실질적으로 이어져 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 제1 유동 채널(62)은 유체를 주입하기 위한 적어도 하나의 유체 주입구(66)를 포함한다(도 2는 네 개의 유체 주입구들을 도시한다). 제2 유동 채널(64)은 유체를 배출하기 위한 유체 배출구(68)를 포함한다. 버퍼 공간(70)은 제1 유동 채널(62)로부터 제2 유동 채널(64)로 흐르는 유체를 일시적으로 저장하기 위하여 제1 유동 채널(62)과 제2 유동 채널(64) 사이에 형성된다. 제1 유체 조절 장치(56)는 제1 유동 채널(62)에 설치된다. 제2 유체 조절 장치(58)는 제2 유동 채널(64)에 설치된다. 스포일러(60)는 제2 유동 채널(64)의 측벽(72)에 연결된다. 끼인각(θ)은 스포일러(60)와 제2 유동 채널(64)의 측벽(72) 사이에 형성되어, 스포일러(60)는 워터폴을 생성하기 위하여 유체 배출구(68)로부터 넘쳐 흐르는 유체의 유동 방향을 변경할 수 있다. 끼인각은 실질적으로 145도와 165도 사이이고, 바람직하게는 끼인각은 약 157.5도이다. 끼인각(θ)의 각도는 실제 필요조건에 따라 결정될 수 있다. 게다가, 스포일러(60)는 서로 다른 각도들의 워터폴을 제공하기 위하여 끼인각(θ)의 각도를 변경하도록 스윙 가능한(swingable) 방식으로 제2 유동 채널(64)의 측벽(72)에 연결된다.
제1 유체 조절 장치(56) 및 제2 유체 조절 장치(58)의 구조는 아래와 같이 나타난다. 도 4를 참조하면, 도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 도 3의 제1 유체 조절 장치(56)를 나타내는 도면이다. 제1 유체 조절 장치(56)는 제1 유체 조절 파티션(partition)(74) 및 보조 유체 조절 파티션(76)을 포함한다. 복수의 유체 조절구들(78)이 제1 유체 조절 파티션(74) 상에 형성된다. 보조 유체 조절 파티션(76)은 제1 유체 조절 파티션(74)과 겹치도록 제1 유체 조절 파티션(74)에 대해 이동 가능한 방식으로 제1 유체 조절 파티션(74)의 한 면에 설치되고, 복수의 보조 유체 조절구들(80)은 복수의 유체 조절구들(80)에 대응되는 위치에서 보조 유체 조절 파티션(76) 상에 형성된다. 복수의 유체 조절구들(78)은 복수의 보조 유체 조 절구들(80)과 동일한 사이즈를 가질 수 있다. 도 5를 참조하면, 도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 보조 유체 조절 파티션(76)에 의해 겹쳐지는 제1 유체 조절 파티션(74)과, 제1 유체 조절 파티션(74)에 대해 슬라이딩하는 보조 유체 조절 파티션(76)을 나타내는 도면이다. 보조 유체 조절 파티션(76)이 제1 유체 조절 파티션(74)에 대해 소정의 거리만큼 아래로 슬라이딩한 후에, 보조 유체 조절 파티션(76) 상의 복수의 보조 유체 조절구들(80)들은 제1 유체 조절 파티션(76) 상의 복수의 유체 조절구들(78)의 일부 또는 전부와 겹쳐진다. 그 결과, 제1 유체 조절 장치(56)는 보조 유체 조절 파티션(76)과 제1 유체 조절 파티션(74)의 상대적인 움직임에 의한 유동률 및 유동 속도를 제어하여 유체 조절 효과를 얻는다. 제1 유체 조절 파티션(74)에 대한 보조 유체 조절 파티션(76)의 움직임은 실제 필요조건에 따라 결정될 수 있고, 유체의 흐름은 유체 주입구(66)로 주입되는 유체와 일치하게 적절히 디자인될 수 있다. 게다가, 보조 유체 조절 파티션(76)의 구조는 상술된 실시예에 한정되지 않는다. 제1 유체 조절 파티션(76) 위에 복수의 유체 조절구들(78)이 겹쳐지는 구조는 본 발명의 범위 내에 포함된다. 예를 들어, 도 6을 참조하면, 도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따라 보조 유체 조절 파티션(82) 상에 겹쳐지는 제1 유체 조절 파티션(74)과, 제1 유체 조절 파티션(74)에 대해 슬라이딩하는 보조 유체 조절 파티션(82)을 나타내는 도면이다. 도 6에 도시된 바와 같이, 보조 유체 조절 파티션(82)은 보조 유체 조절 파티션(76)과 다른 구조 디자인을 갖는다. 보조 유체 조절 파티션(76)과 비교하면, 보조 유체 조절 파티션(82)은 복수의 평행 컬럼(column)들(84)을 갖는다(도 6에는 네 개의 평행 컬럼들이 있다). 컬 럼(84)의 동작 원리는 상술된 실시예와 유사한다. 보조 유체 조절 파티션(82)이 제1 유체 조절 파티션(74)에 대해 소정의 거리로 슬라이딩한 후에, 보조 유체 조절 파티션(82)의 복수의 평행 컬럼들(84)은 유동률 및 유동 속도를 줄이기 위하여 제1 유체 조절 파티션(74)의 복수의 유체 조절구들(78)의 일부 또는 전부와 겹친다. 그 결과, 제1 유동 조절 장치(56)는 보조 유체 조절 파티션(82)과 제1 유체 조절 파티션(74)의 상대적인 움직임을 조정함으로써 유동률 및 유동 속도를 조절할 수 있다. 동일한 방식으로, 도 7을 참조하면, 도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 도 3의 제2 유체 조절 장치(58)를 나타내는 도면이다. 제2 유체 조절 장치(58)는 제2 유체 조절 파티션(86) 및 보조 유체 조절 파티션(88)을 포함한다. 보조 유체 조절 파티션(88)은 제2 유체 조절 파티션(86)과 겹치도록 제2 유체 조절 파티션(86)에 대해 이동 가능한 방식으로 제2 유체 조절 파티션(86)의 아래에 설치되고, 복수의 보조 유체 조절구들(92)은 복수의 유체 조절구들(90)에 대응되는 위치에서 보조 유체 조절 파티션(88) 상에 형성된다. 복수의 유체 조절구들(90)은 복수의 보조 유체 조절구들(92)과 동일한 사이즈를 가져서 제2 유체 조절 장치(58)는 제2 유체 조절 파티션(86)과 보조 유체 조절 파티션(88)의 상대적인 움직임에 의해서, 유체가 제2 유동 채널(64)에서 유체 배출구(68)를 통하여 균일하게 넘쳐 흐르게 만든다. 제2 유체 조절 장치(58)의 동작 원리는 제1 유체 조절 장치(56)의 동작 원리와 유사하고, 더 상세한 설명은 여기서 생략된다. 게다가, 도 6에 도시된 보조 유체 조절 파티션의 구조는 제2 유체 조절 장치(58)에도 적용될 수 있다.
액체 블레이드 장치(50)의 동작은 아래와 같이 설명된다. 도 8을 참조하면, 도 8은 본 발명의 제1 실시예에 따른 도 3의 액체 블레이드 장치(50)의 8-8'에 따른 단면도이다. 제1 유체 조절 장치(56) 및 제2 유체 조절 장치(58)의 구조는 상술한 바와 같이 설명되어 왔으며, 도 8의 제1 조절 장치(56) 및 제2 조절 장치(58)는 개략도로서 나타난다. 도 8에 도시된 바와 같이, 유체는 제1 유동 채널(62) 상의 유체 주입구(66)로부터 제1 유동 채널(62)로 주입된다. 상술된 바와 같이, 제1 유체 조절 장치(56)를 통과한 후에 제1 유동 채널(62)에서 유동이 늦춰지고, 그 다음, 유체는 제1 유동 채널(62)과 제2 유동 채널(64) 사이의 배플(baffle) 공간(70)으로 느린 속도로 주입된다. 이어서, 유체가 배플 공간(70)으로부터 제2 유동 채널(64)로 흐르고 제2 유체 조절 장치(58)에 도달한 후에, 유체 흐름의 방향 변경으로 인해 생성된 배플 공간(70)과 제2 유동 채널(64)에서의 난류는 사라진다. 따라서, 유체는 제2 유동 채널(64)의 유체 배출구(68)로부터 균일하게 넘쳐 흐른다. 다시 말해, 본 발명의 제1 실시예에 따르면, 유체는 유체 주입구(66)로부터 제1 유동 채널(62), 배플 공간(70) 및 제2 유동 채널(64)을 통하여 주입된다. 제1 유체 조절 장치(56) 및 제2 유체 조절 장치(58)는 유체 주입구(66)의 주입 위치로 인한 불균일한 압력과 유체 흐름의 방향 변경으로 인한 난류를 제거하여, 유체가 제2 유동 채널(64)의 유체 배출구(68)로부터 균일하게 넘쳐 흐르도록 만들 수 있다. 스포일러(60)를 통하여 유체가 스포일러(60)와 제2 유동 채널(64)의 측벽(72) 사이에 형성된 끼인각(θ)을 갖고 흐른 후에, 액체 블레이드 장치(50)는 기판(52)에 균일한 워터폴을 제공하여, 식각 공정 또는 세척 공정이 적절히 수행될 수 있다.
액체 블레이드 장치의 내부 구조는 상술된 실시예에 한정되지 않는다. 예를 들어, 도 9를 참조하면, 도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액체 블레이드 장치(100)의 단면도이다. 간략화를 위하여, 구성 요소들은, 제2 실시예에 이용된 동일한 항목 번호들로 제공된 제1 실시예에 나타난 것들과 동일한 기능을 가진다. 제2 실시예의 액체 블레이드 장치(100)와 제1 실시예의 액체 블레이드 장치(50) 사이의 차이는 유체 조절 장치의 디자인이다. 액체 블레이드 장치(100)는 제1 유동 채널(62), 제2 유동 채널(64), 제1 유체 조절 장치(102), 제2 유체 조절 장치(104) 및 스포일러(60)를 포함한다. 제1 유체 조절 장치(102)와 제2 유체 조절 장치(104)는 복수의 유체 안내 배플들(106, 108)을 각각 포함한다. 도 9에 도시된 바와 같이, 복수의 유체 안내 배플들(106, 108)은 아래쪽으로 기울어지고(slop), 각각 제1 유동 채널(62)과 제2 유동 채널(64)에 교대로 배열되어 복수의 유체 안내 배플들들(106, 108)을 통하는 유동 속도를 늦춤으로써, 유체는 유체 배출구(68)를 통하여 제2 유동 채널(64)에서 균일하게 넘쳐 흐른다. 다시 말해, 유체는 제2 실시예에 따라 유체 주입구(66)로 주입되고, 제1 유동 채널(62), 버퍼 공간(70) 및 제2 유동 채널(64)을 통하여 연속적으로 흐른다. 제1 조절 장치(102)와 제2 조절 장치(104)의 복수의 유체 안내 배플들(106, 108)은 유체 주입구(66)의 주입 위치로 인한 불균일한 압력과 유체 흐름의 방향 변경으로 인한 난류를 제거하여, 유체가 제2 유동 채널(64)의 유체 배출구(68)로부터 균일하게 넘쳐 흐르게 만들 수 있다. 유체가 스포일러(60)와 제2 유동 채널(64)의 측벽(72) 사이에 형성되는 끼인각(θ)으로서 스포일러(60)를 통하여 흐른 후에, 액체 블레이드 장치(100)는 기판(52)에 균일한 워터폴을 제공하여, 식각 공정 또는 세척 공정은 적절히 수행될 수 있다. 제1 실시예 및 제2 실시예의 구조 디자인은 상호간에 적용될 수 있다. 예를 들어, 제1 유체 조절 장치는 복수의 유체 조절 파티션의 구조를 포함할 수 있다. 제2 유체 조절 장치는 복수의 유체 안내 배플의 구조를 포함할 수 있다.
마지막으로, 도 10을 참조하면, 도 10은 본 발명의 제3 실시예에 따른 액체 블레이드 장치(150)의 단면도이다. 간략화를 위하여, 구성 요소들은, 제3 실시예에 이용된 동일한 항목 번호들로 제공된 제1 실시예에 도시된 것들과 동일한 기능을 가진다. 제3 실시예의 액체 블레이드 장치(150)와 제1 실시예의 액체 블레이드 장치(50) 사이의 차이는 제2 유체 조절 장치의 디자인이다. 액체 블레이드 장치(150)는 제1 유동 채널(62), 제2 유동 채널(64), 제1 유체 조절 장치(56), 제2 유체 조절 장치(152) 및 스포일러(60)를 포함한다. 도 10에 도시된 바와 같이, 제2 유체 조절 장치(152)는 제2 유동 채널(64)의 측벽(72) 상의 확장된 배플이다. 바람직하게는, 제2 유체 조절 장치(152)의 길이와 측벽(72)의 길이의 합은 약 7 cm이다. 제1 유동 채널(62)의 길이는 약 10 cm이다. 즉, 제2 유체 조절 장치(152)의 길이와 측벽(72)의 길이의 합과 제1 유동 채널(62)의 길이의 비율은 7:10이다. 이런 식으로, 유체 주입구(66)로부터 주입되는 유체는 제1 유동 채널(62)에 의해 늦춰지고, 그 다음, 제1 유동 채널(62)과, 제1 유동 채널(62)과 제2 유동 채널(64) 사이의 배플 공간(70)으로 느린 속도로 흐른다. 이어서, 배플 공간(70)으로부터 제2 유동 채널(64)로 유체가 흐른 후에, 배플(152)은 유체 흐름의 방향 변경으로 인한 난류를 제거하여 유체가 제2 유동 채널(64)의 유체 배출구(68)로부터 균일하게 넘쳐 흐르도록 만들 수 있다. 유체가 스포일러(60)를 통하여 흐른 후에, 액체 블레이드 장치(150)는 기판(52)에 균일한 워터폴을 제공하여, 식각 공정 또는 세척 공정은 적절히 수행될 수 있다.
본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자들은 본 발명의 교시를 유지하면서 상기 장치와 방법의 수많은 변경들 및 교체들이 이루어질 수 있다는 것을 쉽게 알 수 있을 것이다.
도 1은 종래 기술에 따른 액체 블레이드 장치의 개략도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액체 블레이드 장치의 개략도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 도 2에 도시된 액체 블레이드 장치의 확대도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 도 3의 제1 유체 조절 장치를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 보조 유체 조절 파티션에 의해 겹쳐지는 제1 유체 조절 파티션과, 제1 유체 조절 파티션에 대해 슬라이딩하는 보조 유체 조절파티션을 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 보조 유체 조절 파티션에 의해 겹쳐지는 제1 유체 조절 파티션과 제1 유체 조절 파티션에 대해 슬라이딩하는 보조 유체 조절 파티션을 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 도 3의 제2 유체 조절 장치를 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 제1 실시예에 따른 도 2의 액체 블레이드 장치의 8-8'에 따른 단면도이다.
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액체 블레이드 장치의 단면도이다.
도 10은 본 발명의 제3 실시예에 따른 액체 블레이드 장치의 단면도이다.

Claims (18)

  1. 제1 유동 채널(flow channel), 제2 유동 채널 및 상기 제1 유동 채널과 상기 제2 유동 채널 사이에 형성되어 상기 제1 유동 채널로부터 상기 제2 유동 채널로 흐르는 유체를 일시적으로 저장하는 버퍼 공간을 포함하고, 상기 제1 유동 채널은 상기 제2 유동 채널과 평행하고 이어져 있으며, 상기 제1 유동 채널은 상기 유체를 주입하기 위한 유체 주입구를 포함하고, 상기 제2 유동 채널은 상기 유체를 배출하기 위한 유체 배출구를 포함하는 유체 안내(fluid-guiding) 장치;
    상기 제1 유동 채널로 흐르는 상기 유체를 조절하는 제1 유체 조절 장치; 및
    상기 제2 유동 채널로 흐르는 상기 유체를 조절하는 제2 유체 조절 장치를 포함하는 액체 블레이드(liquid blade) 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제2 유동 채널의 측벽에 연결되어, 워터폴(waterfall)를 생성하도록 상기 유체 배출구로부터 넘쳐 흐르는 상기 유체의 유동 방향을 변경하는 스포일러(spoiler)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 블레이드 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 유체 조절 장치는 제1 유체 조절 파티션(partition)을 포함하고, 상기 제1 유체 조절 파티션 상에 복수의 유체 조절구들(fluid-regulating holes)이 형성되는 것을 특징으로 하는 액체 블레이드 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1 유체 조절 장치는:
    상기 제1 유체 조절 파티션에 겹치도록 상기 제1 유체 조절 파티션에 대해 이동 가능한 방식으로 상기 제1 유체 조절 파티션에 설치되는 보조 유체 조절 파티션, 및
    상기 복수의 유체 조절구들에 대응되는 위치에서 상기 보조 유체 조절 파티션 상에 형성되는 복수의 보조 유체 조절구들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 블레이드 장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 제1 유체 조절 장치는:
    상기 제1 유체 조절 파티션에 겹치도록 상기 제1 유체 조절 파티션에 대해 이동 가능한 방식으로 상기 제1 유체 조절 파티션에 설치되는 보조 유체 조절 파티션, 및
    상기 복수의 유체 조절구들에 대응되는 위치에서 상기 보조 유체 조절 파티션 상에 형성되는 복수의 평행 컬럼들(columns)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 블레이드 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1 유체 조절 장치는 상기 제1 유동 채널에 교대로 배열된 복수의 유체 안내 배플들(baffles)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 블레이드 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 복수의 유체 안내 배플들은 상기 제1 유동 채널 내에서 아래쪽으로 기울어진 것을 특징으로 하는 액체 블레이드 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 제2 유체 조절 장치는 제2 유체 조절 파티션을 포함하고, 상기 유체 배출구를 통하여 상기 제2 유동 채널에서 상기 유체가 균일하게 넘쳐 흐르도록 복수의 유체 조절구들이 상기 제2 유체 조절 파티션 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 액체 블레이드 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제2 유체 조절 장치는:
    상기 제2 유체 조절 파티션에 겹치도록 상기 제2 유체 조절 파티션에 대해 이동 가능한 방식으로 상기 제2 유체 조절 파티션에 설치된 보조 유체 조절 파티션, 및
    상기 복수의 유체 조절구들에 대응되는 위치에서 상기 보조 유체 조절 파티 션 상에 형성되는 복수의 보조 유체 조절구들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 블레이드 장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 제2 유체 조절 장치는:
    상기 제2 유체 조절 파티션에 겹치도록 상기 제2 유체 조절 파티션에 대해 이동 가능한 방식으로 상기 제2 유체 조절 파티션에 설치되는 보조 유체 조절 파티션, 및
    상기 복수의 유체 조절 구들에 대응되는 위치에서 상기 보조 유체 조절 파티션 상에 형성되는 복수의 평행 컬럼들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 블레이드 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 제2 유체 조절 장치는 상기 제2 유동 채널에 교대로 배열된 복수의 유체 안내 배플들을 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 블레이드 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 복수의 유체 안내 배플들은 상기 제2 유동 채널 내에서 아래쪽으로 기울어진 것을 특징으로 하는 액체 블레이드 장치.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 제2 유체 조절 장치는 상기 제2 유동 채널의 측벽 상에 확장된 배플이고, 상기 배플의 길이와 상기 측벽의 길이의 합은 상기 제1 유동 채널의 길이에 대해 특정 비율을 가지는 것을 특징으로 하는 액체 블레이드 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 배플의 길이와 상기 측벽의 길이의 합과 상기 제1 유동 채널의 길이의 비율은 7: 10인 것을 특징으로 하는 액체 블레이드 장치.
  15. 제2항에 있어서,
    상기 스포일러와 상기 제2 유동 채널의 상기 측벽 사이에 끼인각이 형성되는 것을 특징으로 하는 액체 블레이드 장치.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 끼인각은 실질적으로 145 도 내지 165도 사이인 것을 특징으로 하는 액체 블레이드 장치.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 끼인각은 약 157.5도 인 것을 특징으로 하는 액체 블레이드 장치.
  18. 제2항에 있어서,
    상기 스포일러는 스윙 가능한(swingable) 방식으로 상기 제2 유동 채널의 상기 측벽에 연결되는 것을 특징으로 하는 액체 블레이드 장치.
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