KR100888190B1

KR100888190B1 - 유체분사장치

Info

Publication number: KR100888190B1
Application number: KR1020070098215A
Authority: KR
Inventors: 이상욱
Original assignee: 주식회사 디엠에스
Priority date: 2007-09-28
Filing date: 2007-09-28
Publication date: 2009-03-10

Abstract

유체분사장치가 개시된다. 그러한 유체분사장치는 한 쌍의 블레이드가 서로 대응됨으로써 그 사이에 유로가 형성되는 노즐몸체와, 그리고 상기 노즐몸체의 내부에 배치되어 상기 유로를 분할함으로써 한 쌍의 유로 및 토출구를 형성하고, 상기 한 쌍의 토출구를 통하여 에어를 각각 토출하는 분리벽을 포함한다.

유체, 분사, 노즐, 기판, 토출, 챔버, 유로, 차단, 분위기

Description

유체분사장치{AIR CURTAIN}

본 발명은 유체분사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 노즐을 한 쌍으로 구비하여 유체를 양방향으로 분사함으로써 차단막을 이중으로 형성하여 단수개를 설치하여도 베스간의 분위기 전달을 효율적으로 차단할 수 있는 유체분사장치에 관한 것이다.

일반적으로, 평판 표시 장치는, 현재 널리 사용되고 있는 표시 장치로서, 액정 표시 장치(LCD, liquid crystal display)와 유기 발광 다이오드(OLED, organic light emitting display) 표시 장치 등 여러 종류가 있다.

이 중, 액정 표시 장치는, 전계 생성 전극이 형성되어 있는 두 장의 평판표시기판과 그 사이에 삽입되어 있는 액정층으로 이루어져, 전극에 전압을 인가하여 액정층의 액정 분자들을 재배열시킴으로써 액정층을 통과하는 빛의 투과율을 조절하는 표시 장치이다.

이러한 액정 표시 장치는 유리 기판상에 세척, 증착, 노광, 현상, 식각, 린스 등과 같은 일련의 공정을 거치면서 제조된다.

그리고, 이러한 일련의 공정은 복수개의 베스 내부를 기판이 순차적으로 통 과하면서 이루어지게 된다.

이때, 각 베스의 출측에는 유체분사장치(Air Curtain)가 구비됨으로써 베스내부 분위기를 일정하게 유지한다. 즉, 유체분사장치가 유체를 분사하여 차단막을 형성함으로써 기판이 베스간을 이송하는 경우에도, 베스 내부의 분위기를 일정하게 유지하게 된다.

이러한 유체분사장치는 통상적으로 유로를 형성하는 2개의 블레이드와, 이 유로를 통과한 유체를 외부로 토출시킬 수 있는 노즐로 이루어진다. 따라서, 이러한 노즐을 통하여 유체를 분사함으로써 차단막을 형성하게 된다.

그러나, 종래의 유체분사장치는 유체를 토출하는 노즐이 단수개이고, 이 단수개의 노즐을 통하여 분사되는 유체의 량은 상대적으로 적어서 차단막을 효과적으로 형성하지 못하여 베스간의 분위기가 전달되는 것을 방지하기 어려운 문제점이 있다.

그리고, 이러한 단점을 극복하기 위하여 별도의 유체분사장치를 추가로 구비하여 상하부에 2셋트, 즉 4개의 유체분사장치를 설치하는 경우, 구조가 복잡해지고, 제조비용이 증가하는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 도출된 것으로서, 본 발명의 목적은 노즐을 한 쌍으로 구비하여 이중의 차단막을 형성함으로써 상하부 1셋트에 의하여도 베스간의 분위기 전달을 효과적으로 방지할 수 있는 유체분사장치를 제공하는데 있다.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 바람직한 실시예는 한 쌍의 블레이드가 서로 대응됨으로써 그 사이에 유로가 형성되는 노즐몸체와, 그리고 상기 노즐몸체의 내부에 배치되어 상기 유로를 분할함으로써 한 쌍의 유로 및 토출구를 형성하고, 상기 한 쌍의 토출구를 통하여 유체를 각각 토출시킴으로써 차단막을 형성하는 분리벽을 포함하고, 상기 분리벽과 노즐몸체의 사이에 적어도 하나 이상의 챔버를 형성하여 상기 유체를 일시적으로 수용한 후 상기 한 쌍의 토출구를 통하여 분사하는 유체분사장치를 제공한다.

상술한 바와 같이, 본 발명은 토출구를 한 쌍으로 형성하여 이중의 차단막을 형성함으로써 상하부 1셋트의 유체 분사장치를 설치하여도 이물질의 유입을 방지하여 베스간의 분위기 전달을 미연에 차단할 수 있는 장점이 있다.

또한, 1셋트의 유체분사장치에 의하여 2셋트의 유체분사장치 기능을 수행할 수 있음으로 유체분사장치의 설치 갯수를 줄여서 제조비용을 절감하고 구조를 단순 화할 수 있는 장점이 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유체분사장치의 구조를 상세하게 설명한다.

도1 에 도시된 바와 같이, 본 발명이 제안하는 유체분사장치(1,3)는 베스(B1,B2)사이에 형성된 이송통로(P)의 상부 및 하부에 배치되어 CDA(이하, 에어)를 각각 분사함으로써 차단막을 형성하여 일측 베스(B1)의 분위기가 타측 베스(B2)로 전달되는 것을 방지하게 된다. 따라서, 이 유체분사장치(1,3)에 의하여 베스(B1,B2)의 내부 분위기가 일정하게 유지될 수 있다.

그리고, 이러한 차단막은 기판(G)이 이송롤러(R)에 의하여 이웃한 베스(B2)로 이송되는 경우에도, 이웃한 베스(B2)로 분위기가 전달되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.

이러한 유체분사장치(1,3)는 기판(G)의 패스라인을 중심으로 상부에 배치되는 상부 유체분사장치(1)와 하부에 배치되는 하부 유체분사장치(3)가 1세트를 이루어 에어를 분사함으로써 베스(B1,B2) 사이에 차단막을 형성하여 분위기를 일정하게 유지한다.

이러한 유체분사장치(1,3)중 상부 유체분사장치(1)의 구조에 대하여 설명하면, 도2와 도3 에 도시된 바와 같이, 베스(B1,B2)를 격리하는 상부격벽(W1)에 배치되고 유로(15,17)를 형성하는 노즐몸체(2)와, 상기 노즐몸체(2)의 내부에 배치되어 노즐몸체(2)의 내부를 분할함으로써 한 쌍의 유로(15,17) 및 토출구(19,21)를 형성 하여 상기 에어를 양방향으로 토출되도록 하는 분리벽(11)과, 상기 분리벽(11)의 하부에 연결되어 상기 한 쌍의 토출구(19,21)를 통하여 토출된 에어를 일정 방향으로 안내하여 분사하는 가이드(14)를 포함한다.

이러한 구조를 갖는 유체분사장치에 있어서, 상기 노즐몸체(2)는 제1 블레이드(First blade;4)와, 상기 제1 블레이드(4)에 대응되며, 일정 거리 떨어지도록 배치됨으로써 제1 블레이드(4)와의 사이에 공간을 형성하는 제2 블레이드(Second blade;5)로 이루어진다.

상기 제1 블레이드(4)에는 적어도 하나 이상의 유입홀(8)이 형성되고, 이 유입홀(8)에는 유체 공급관(7)이 연결된다.

따라서, 에어가 상기 유체 공급관(7)을 통하여 제1 및 제2 블레이드(4,5) 사이로 유입될 수 있다.

그리고, 상기 분리벽(11)은 이러한 제1 및 제2 블레이드(4,5)의 사이에 배치되며, 나사등의 체결부재에 의하여 제1 및 제2 블레이드(4,5)에 고정된다.

이러한 분리벽(11)은 제1 및 제2 블레이드(4,5) 사이의 공간을 분할함으로써 제1 및 제2 유로(15,17)를 형성한다.

보다 상세하게 설명하면, 상기 분리벽(11)은 토출구 방향의 폭보다 반대측 폭이 더 좁게 형성되는 쐐기형상을 갖는다.

따라서, 이 분리벽(11)의 양측면에는 경사면(13)이 형성되며, 이 경사면(13)과 제1 및 제2 블레이드(4,5)의 사이에는 제1 및 제2 유로(15,17)가 형성된다.

이때, 상기 제1 및 제2 유로(15,17)는 토출구 방향으로 갈수록 폭이 좁아지 게 된다.

따라서, 제1 및 제2 유로(15,17)를 통과하는 과정에서 속력이 증가한 에어가 보조챔버(18,20)로 넘어갈 때 속력의 저하로 인하여 압력이 증가함으로써 에어의 압력이 저하되는 것을 방지할 수 있다.

그리고, 상기 분리벽(11)과 노즐몸체(2)의 사이에는 적어도 하나 이상의 챔버(9,18,20)가 형성됨으로써 에어를 일시적으로 수용하게 된다.

즉, 상기 분리벽(11)에 의하여 분할된 노즐몸체(2)의 내부공간 중, 상기 분리벽(11)의 상부와 노즐몸체(2)의 내측면 사이에는 주챔버(9)가 형성된다.

이러한 주챔버(9)는 상기 유체 공급관(7)를 통하여 유입된 에어를 1차적으로 수용하게 된다.

또한, 이러한 주챔버(9)는 노즐몸체(2)의 길이방향으로 전 구간에 걸쳐 형성되므로, 유체 공급관(7)을 통하여 유입된 에어는 주챔버(9)의 내부로 일정하게 분사된다.

그리고, 상기 분리벽(11)의 경사면(13)상에는 분리벽(11)의 내측방향으로 각각 형성된 한 쌍의 보조챔버(18,20)가 형성된다.

이러한 보조챔버(18,20)는 경사면(13)의 일측에 형성된 제1 보조챔버(18)와 타측에 형성된 제2 보조챔버(20)로 이루어진다. 그리고, 제1 보조챔버(18)와 제2 보조챔버(20)는 오목하게 형성된 홈형상을 가짐으로써 내부에 일정 용적의 공간이 형성된다.

따라서, 상기 제1 및 제2 유로(15,17)를 통하여 공급된 에어가 보조챔 버(18,20)의 내측에 2차적으로 수용될 수 있다.

이때, 보조챔버(18,20)는 분리벽(11)의 길이방향으로 형성되어 있음으로 보조챔버(18,20)에 수용된 에어는 전 구간으로 일정하게 분사될 수 있다.

그리고, 상기 제1 및 제2 유로(15,17)의 하단에는 한 쌍의 토출구(19,21)가 각각 형성됨으로써 에어를 외부로 토출시킬수 있다.

이때, 상기 한 쌍의 토출구(19,21)는 서로 일정 거리 떨어져 형성됨으로, 이 토출구(19,21)를 통하여 토출되는 에어는 이중의 차단막을 형성함으로써 베스(B1,B2)간의 분위기 이동을 효율적으로 방지할 수 있다. 따라서, 베스(B1,B2)의 내부 분위기를 일정하게 유지할 수 있다.

그리고, 한 쌍의 토출구(19,21)를 통하여 토출된 에어는 상기 가이드(14)에 의하여 일정한 방향으로 안내될 수 있다.

즉, 상기 가이드(14)는 분리벽(11)의 하단에 일체로 형성되며, 양측면에는 일정한 곡률을 갖는 곡면이 형성된다.

따라서, 상기 한 쌍의 토출구(19,21)를 통하여 토출된 에어는 이 가이드(14)의 양측면을 따라 분사됨으로써 이중의 차단막을 형성한다.

이와 같이, 에어는 양 방향으로 분사되며, 이중 일측방향으로 분사된 에어는 일측 베스(B1)를 차단하고, 타측방향으로 분사된 에어는 타측 베스(B2)를 차단한다.

한편, 하부에 배치된 유체분사장치(3)도 상부 유체분사장치(1)와 동일한 구조를 가지며, 다만, 베스(B1,B2)의 하부 격벽(W2)에 구비되고, 에어의 분사방향만 다르다.

즉, 이러한 하부 유체분사장치(3)는 도3 에 도시된 바와 같이, 제1 및 제2 블레이드(24,26)와, 분리벽(28)과, 주챔버(29) 및 보조챔버(34,36)와, 한 쌍의 토출구(35,37)와, 가이드(38)로 이루어짐으로써 상부의 유체분사장치(1)와 동일한 구조를 갖음으로 상세한 설명은 생략한다.

상기에 설명된 상부 및 하부 유체분사장치(1,3)는 격벽(W1,W2)의 중심선상에 배치되는 것으로 도시되었지만, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니고, 도4 에 도시된 바와 같이 상부 및 하부격벽(W1,W2)의 일측면에 배치될 수도 있다.

즉, 상부 유체분사장치(1)는 상부격벽(W1)의 일측면에 제공되고, 하부 유체분사장치(3)는 하부격벽(W2)의 일측면에 제공된다.

따라서, 기판(G)이 상부 및 하부격벽(W1,W2)의 사이에 형성된 이송통로(P)를 통하여 베스(B1,B2)간을 이동할 수 있다.

이와 같이, 상부 및 하부 유체분사장치(1,3)의 결합위치는 공정에 따라 적절하게 변경될 수 있다.

이러한 구조를 갖는 유체분사장치(1)의 작동상태를 도1 내지 도4 에 의하여 설명하면, 먼저,베스(B1,B2)의 이송통로(P)에 배치된 유체분사장치(1,3)에 유체 공급관(7)을 통하여 에어가 공급된다. 이러한 에어는 노즐몸체(2)의 내부에 형성된 주챔버(9)로 유입되어 1차적으로 수용된다.

그리고, 주챔버(9)에 수용된 유체는 고압에 의하여 하부로 분사되고 분리벽(11)에 의하여 양 방향으로 분리된다.

이와 같이 양 방향으로 분리된 에어는 제1 및 제2 유로(15,17)를 통하여 하부로 분사되고, 보조챔버(18,20)에 도달하여 2차적으로 수용된다.

이때, 제1 및 제2 유로(15,17)를 통과하는 과정에서 속력이 증가한 에어가 보조챔버(18,20)로 넘어갈 때 속력의 저하로 인하여 압력이 증가함으로써 에어의 압력이 저하되는 것을 방지할 수 있다.

그리고, 보조챔버(18,20)에 수용된 에어는 보조챔버(18,20)의 전 구간으로 균일하게 분사될 수 있다.

이와 같이, 보조챔버(18,20)를 통하여 하부로 흐른 에어는 한 쌍의 토출구(19,21)를 통하여 외부로 토출된다.

그리고, 토출된 에어는 가이드(14)에 의하여 양 방향으로 안내되어 이중의 차단막을 형성하게 된다.

또한, 상기 하부 유체분사장치(3)도 상부 유체분사장치(1)와 동일한 과정에 의하여 에어를 분사함으로써 차단막을 형성하게 된다.

따라서, 베스(B1,B2)간의 이송통로(P)를 상부 및 하부 유체분사장치(1,3)에 의하여 이중의 차단막을 형성함으로써 베스(B1,B2)간의 분위기가 이동하는 것을 효율적으로 방지할 수 있다.

도1 은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유체분사장치가 구비된 공정라인을 개략적으로 도시하는 사시도이다.

도2 는 도1 에 도시된 유체분사장치의 내부구조를 보여주기 위한 일부 절개 사시도이다.

도3 은 도1 에 도시된 상부 및 하부 유체분사장치의 배치관계와 내부구조를 보여주기 위한 측단면도이다.

도4 는 도3 에 도시된 상부 및 하부 유체분사장치의 배치관계의 다른 실시예로써 격벽의 일측면에 배치된 것을 보여주는 측단면도이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

유체분사장치: 1,3 노즐몸체: 2

제1 및 제2 블레이드: 4,5 유체공급관: 7

분리벽: 11 제1 및 보조챔버 : 18, 20

Claims

한 쌍의 블레이드가 서로 대응됨으로써 그 사이에 유로가 형성되는 노즐몸체;

상기 노즐몸체의 내부에 배치되어 상기 유로를 분할함으로써 한 쌍의 유로 및 토출구를 형성하고, 상기 토출구들을 통하여 에어를 각각 토출하는 분리벽을 포함하며,

상기 분리벽은

상기 토출구측의 폭보다 반대측 폭이 좁게 형성됨으로써 양측에 경사면이 형성되는 쐐기형상을 가지며, 상기 토출구 측이 상기 노즐몸체의 끝부분보다 더 길게 연장되어 에어를 양 방향으로 안내하는 가이드를 포함하는 유체분사장치.
제1 항에 있어서,

상기 노즐몸체는 유체 공급관이 연결되는 것을 특징으로 하는 유체분사장치.
삭제
제1 항에 있어서,

상기 노즐몸체와 상기 분리벽 사이에는 챔버들이 제공되고,

상기 챔버는

상기 노즐몸체의 분리벽의 상부에 제공되어 에어를 1차적으로 수용하는 주챔버,

상기 분리벽의 경사면에 길이 방향을 따라 각각 오목하게 제공되어 에어를 2차적으로 수용하는 보조챔버들

을 포함하는 유체분사장치.
삭제
삭제
제1 항에 있어서,

상기 가이드는

양측면이 일정 곡률을 갖는 곡선형상으로 이루어짐으로써 상기 에어가 이 가이드에 의하여 양 방향으로 각각 안내되어 분사되는 것을 특징으로 하는 유체분사장치.