TWI664025B - Applicator, coating device and coating method - Google Patents

Abstract

本發明提供一種能夠將積存於塗佈器內之氣泡迅速地排出至外部之塗佈器。

本發明之塗佈器包括：第1供給口31，其供給塗佈液；第1歧管11，其與第1供給口31連接；吐出狹縫22，其吐出塗佈液；第2歧管12，其與吐出狹縫22連接；及連結節流流路21，其將第1歧管11與第2歧管12連結；且於第1歧管11連接有將積存於第1歧管11內之氣泡排出至外部之第1排出口41，於第2歧管12連接有供給塗佈液之第2供給口32、及將積存於第2歧管12內之氣泡排出至外部之第2排出口42。

Description

塗布器、塗布裝置及塗布方法

本發明係關於一種用以自吐出狹縫吐出塗佈液而於被塗佈構件上形成塗佈膜之塗佈器、使用該塗佈器而於被塗佈構件上形成塗佈膜之塗佈裝置、及使用該塗佈器於被塗佈構件上形成塗佈膜之塗佈方法。

作為將塗佈液塗佈於玻璃基板或膜等被塗佈構件上而形成塗佈膜之裝置，已知有包括具有吐出塗佈液之吐出狹縫之塗佈器之塗佈裝置。塗佈器包含：供給口，其供給塗佈液；歧管，其與供給口連接且於寬度方向擴寬塗佈液；及吐出狹縫，其吐出塗佈液。自供給口流入歧管之塗佈液係於歧管之寬度方向被擴寬，成為暫且蓄積於歧管內之狀態後，通過吐出狹縫，被吐出至被塗佈構件。藉此，塗佈液遍及吐出狹縫之全幅均勻地被吐出，故能夠形成均勻之膜厚之塗佈膜。

通常，供給口設置於歧管之中央部，故自供給口流入歧管之塗佈液未於歧管之寬度方向完全地被擴寬，吐出狹縫之中央部與端部相比吐出量增加，其結果，存在導致形成寬度方向之中央部之膜厚變厚之塗佈膜之問題。

為了解決該問題，而提出於塗佈器設置上下2段之歧管且藉由連結狹縫而將該等歧管之間連接之塗佈器(專利文獻1等)。根據該塗佈器，於上段之歧管於寬度方向被擴寬之塗佈液進而於下段之歧管於寬度方向被擴寬，藉此，自吐出狹縫吐出之塗佈液遍及吐出狹縫之全幅 更均勻化。藉此，能夠形成寬度方向之膜厚均勻之塗佈膜。

然而，於對塗佈器填充塗佈液時，有於塗佈器內之歧管殘留氣泡(空氣)之情況。又，即便於塗佈中，亦有溶存於塗佈液之氣泡於塗佈器內發泡、或於用以將塗佈液向塗佈器供給之閥之開閉時氣泡混入、或自吐出狹縫之前端吸入氣泡之情況。

如此，若塗佈器內存在氣泡，則產生如下問題：於塗佈開始時，因塗佈壓力之傳遞產生延遲而塗佈開始部分之膜厚變薄；或因氣泡被吐出至被塗佈構件而於塗佈膜產生針孔狀之塗佈缺陷；或混入至吐出狹縫之氣泡將塗佈液之流分斷，而於塗佈膜產生縱條等之塗佈缺陷。

為了解決此種問題，而進行於歧管設置用以排出氣泡之排出口，將積存於塗佈器內之歧管之氣泡定期地排出至外部(專利文獻2等)。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2013-176736號公報

[專利文獻2]日本專利特開2006-212592號公報

考慮將積存於塗佈器內之歧管之氣泡藉由如下機構而自排出口排出至外部。

若自設置於歧管之中央部之供給口向歧管內供給塗佈液，則塗佈液於歧管內沿著寬度方向流動。此時，積存於歧管之氣泡藉由塗佈液之流動而擠出至設置於歧管之寬度方向兩端部之排出口。藉此，積存於歧管之氣泡會自排出口排出至外部。

為了形成寬度方向之膜厚均勻之塗佈膜，而於將歧管設為上下2 段之構成之塗佈器中，塗佈液之供給口設置於上段之歧管。因此，塗佈液之向塗佈器之供給係由設置於上段之歧管之供給口進行。

供給至上段之歧管之塗佈液於歧管內沿著寬度方向流動，藉此，積存於歧管之氣泡被擠出至設置於寬度方向兩端部之排出口，且通過排出口而被排出至外部。

塗佈液自上段之歧管通過連結狹縫而流入至下段之歧管，積存於下段之歧管之氣泡被該流入之塗佈液擠出，且排出至外部。

然而，流入至下段之歧管之塗佈液自連結狹縫之全幅供給，故沿著歧管之寬度方向之流動變弱。因此，積存於下段之歧管之氣泡之排出花費時間，其結果，存在導致整個塗佈器之氣泡之排出時間變長之問題。

本發明係鑒於上述課題而完成者，其主要目的在於提供如下塗佈器：即便為包括複數個歧管之塗佈器，亦能夠將積存於塗佈器內之氣泡迅速地排出至外部。

本發明之塗佈器之特徵在於包括：第1供給口，其供給塗佈液；第1歧管，其與第1供給口連接；吐出狹縫，其吐出塗佈液；第2歧管，其與吐出狹縫連接；及連結節流流路，其將第1歧管與第2歧管連結；且於第1歧管連接有將積存於第1歧管內之氣泡排出至外部之第1排出口，於第2歧管連接有供給塗佈液之第2供給口、及將積存於第2歧管內之氣泡排出至外部之第2排出口。

本發明之塗佈裝置之特徵在於包括：保持器件，其保持被塗佈構件；上述塗佈器，其對於該被塗佈構件吐出塗佈液；儲液部，其儲存塗佈液；送液器件，其將該儲液部之塗佈液輸送至塗佈器；及驅動器件，其使被塗佈構件與塗佈器之內之至少一者相對於另一者相對移動。

本發明之塗佈方法之特徵在於：其係自上述塗佈器吐出塗佈液而於被塗佈構件上形成塗佈膜之塗佈方法；且包含：步驟(a)，其係將積存於設置於塗佈器內之所有歧管內之氣泡排出至外部；及步驟(b)，其係於步驟(a)之後，自塗佈器之吐出狹縫吐出塗佈液而於被塗佈構件上形成塗佈膜；且於步驟(a)中，積存於第1歧管內之氣泡藉由自第1供給口朝向第1排出口流動之塗佈液而自第1排出口排出至外部，積存於第2歧管內之氣泡藉由自第2供給口朝向第2排出口流動之塗佈液而自第2排出口排出至外部，且於步驟(b)中，停止自設置於第2歧管之第2供給口之塗佈液之供給。

根據本發明，能夠提供如下塗佈器：即便為包含複數個歧管之塗佈器，亦能夠將積存於塗佈器內之各個歧管之氣泡確實且迅速地排出至外部，藉此，形成均勻且無塗佈缺陷之塗佈膜。

1‧‧‧塗佈裝置

2‧‧‧平台

3‧‧‧驅動裝置

4‧‧‧配管

5‧‧‧泵

6‧‧‧槽

10‧‧‧塗佈器

11‧‧‧上段之歧管(第1歧管)

12‧‧‧下段之歧管(第2歧管)

12a‧‧‧上側之歧管

12b‧‧‧下側之歧管

21‧‧‧連結節流流路

21a‧‧‧連結節流流路

21b‧‧‧連結節流流路

22‧‧‧吐出狹縫

31‧‧‧第1供給口

32‧‧‧第2供給口

33‧‧‧第1供給閥

34‧‧‧第2供給閥

35‧‧‧配管

36、37‧‧‧貫通孔

38‧‧‧塗佈液供給控制器件

41‧‧‧第1排出口

42‧‧‧第2排出口

42a‧‧‧第2排出口

42b‧‧‧第2排出口

43‧‧‧第1排出閥

44‧‧‧第2排出閥

45、46‧‧‧貫通孔

47、48‧‧‧配管

49‧‧‧氣泡排出控制器件

50‧‧‧氣泡

60‧‧‧傾斜面

M‧‧‧塗佈膜

W‧‧‧被塗佈構件

X‧‧‧方向

圖1(a)、(b)係模式性地表示本發明之一實施形態之塗佈器之構成之圖。

圖2(a)~(d)係表示初期填充塗佈液時之排出氣泡之機構之縱剖視圖。

圖3係表示於被塗佈構件上形成塗佈膜時繼續自第2供給口之塗佈液之供給之情形之狀態之圖。

圖4(a)、(b)係表示於本發明之另一實施形態之被塗佈構件上形成塗佈膜之塗佈方法之縱剖視圖。

圖5(a)、(b)係表示於本發明之另一實施形態之被塗佈構件上形成塗佈膜之塗佈裝置之構成之圖。

圖6係表示本發明之另一實施形態之塗佈器之構成之圖。

圖7(a)、(b)係表示連結節流流路之變化例之圖。

以下，基於圖式而對本發明之實施形態詳細地進行說明。再者，本發明並不限定於以下實施形態。又，於不脫離發揮本發明之效果之範圍的範圍內，可適當變更。

圖1(a)、(b)係模式性地表示本發明之一實施形態之塗佈器之構成之圖，圖1(a)係橫剖視圖，圖1(b)係縱剖視圖。

如圖1(a)、(b)所示，本實施形態之塗佈器10包括：第1供給口31，其供給塗佈液；及吐出狹縫22，其吐出塗佈液。本實施形態之塗佈器10包括上下2段之歧管，且第1歧管(以下，稱為「上段之歧管」)11經由貫通孔36而與第1供給口31連接。又，第2歧管(以下，稱為「下段之歧管」)12與吐出狹縫22連接，上段之歧管11與下段之歧管12係藉由連結節流流路21而連結。

於上段之歧管11經由貫通孔45而連接有將積存於上段之歧管11內之氣泡排出至外部之第1排出口41。又，於下段之歧管12經由貫通孔37而連接有供給塗佈液之第2供給口32，並且經由貫通孔46而連接有將積存於下段之歧管12內之氣泡排出至外部之第2排出口42。此處，第1供給口31及第2供給口32分別設置於上段之歧管11及下段之歧管12之寬度方向中央部。又，第1排出口41及第2排出口42分別設置於上段之歧管11及下段之歧管12之寬度方向兩端部。

第1供給口31及第2供給口32係連接於與輸送塗佈液之泵(未圖示)連接之配管35，且於其中途分別設置有第1供給閥33及第2供給閥34作為塗佈液供給控制器件38。而且，藉由打開該第1供給閥33及第2供給閥34，而分別通過第1供給口31及第2供給口32對上段之歧管11及下段之歧管12供給塗佈液。

又，第1排出口41及第2排出口42分別與配管47、48連接，且於其等之中途設置有第1排出閥43及第2排出閥44作為氣泡排出控制器件 49。而且，藉由打開該第1排出閥43及第2排出閥44，能夠將積存於上段之歧管11及下段之歧管12內之氣泡排出至外部。

如圖1(b)所示，藉由塗佈液供給控制器件38及氣泡排出控制器件49而以如下方式進行控制：積存於上段之歧管11內之氣泡50藉由自第1供給口31朝向第1排出口41流動之塗佈液而被擠出至上段之歧管11之寬度方向兩端部，且與自第1排出口41排出之塗佈液一併被排出至外部。

同樣地，藉由塗佈液供給控制器件38及氣泡排出控制器件49而以如下方式進行控制：積存於下段之歧管12內之氣泡50藉由自第2供給口32朝向第2排出口42流動之塗佈液而被擠出至下段之歧管12之寬度方向兩端部，且與自第2排出口42排出之塗佈液一併被排出至外部。

如此，藉由於下段之歧管12設置供給塗佈液之第2供給口32，能夠產生如將積存於下段之歧管12之氣泡擠出至寬度方向兩端部之塗佈液之流。藉此，能夠將積存於下段之歧管12之氣泡確實且迅速地排出。其結果，能夠縮短整個塗佈器10之氣泡之排出所需之時間。

圖2(a)~(d)係表示於本實施形態之塗佈器10中初期填充塗佈液時之將氣泡排出之機構之一例之縱剖視圖。

圖2(a)係表示對塗佈器10填充塗佈液之前之空之狀態。若打開與第1供給口31連接之第1供給閥33，自第1供給口31向上段之歧管11供給塗佈液，則塗佈液如圖2(b)之箭頭所示自第1供給口31朝向第1排出口41流動，進而於上段之歧管11被擴寬之塗佈液依序通過連結節流流路21、下段之歧管12、吐出狹縫22而自塗佈器吐出。此時，於上段之歧管11及下段之歧管12中，氣泡50因浮力而殘留於各個歧管之上部。

其次，如圖2(c)所示，藉由一面自第1供給口31供給塗佈液一面打開與第1排出口41連接之第1排出閥43，而產生自第1供給口31朝向 第1排出口41之塗佈液之流動。藉由該流動，而上段之歧管11內之氣泡50被擠出至上段之歧管11之寬度方向兩端部，且與自第1排出口41排出之塗佈液一併被排出至外部。

接著，如圖2(d)所示，藉由一面自第2供給口32供給塗佈液一面打開與第2排出口42連接之第2排出閥44，而產生自第2供給口32朝向第2排出口42之塗佈液之流動。藉由該流動，而下段之歧管12內之氣泡50被擠出至下段之歧管12之寬度方向兩端部，且與自第2排出口42排出之塗佈液一併被排出至外部。

再者，於自泵以固定之流速供給塗佈液之情形時，若同時向上段之歧管11及下段之歧管12供給塗佈液，則所供給之塗佈液分散至2個歧管11、12。因此，於寬度方向通過各個歧管11、12之橫截面之塗佈液之流速與僅向上段之歧管11或下段之歧管12中之一者供給塗佈液之情形相比降低。藉此，不易受到因塗佈液之流動所產生之擠出效果之較小之氣泡有排出花費時間之虞。

因此，於積存於上段之歧管11內之氣泡自第1排出口41排出至外部期間，較佳為第2供給口32被控制為關閉第2供給閥34而停止塗佈液之供給，且第2排出口42被控制為關閉第2排出閥44而停止氣泡之排出。同樣地，於積存於下段之歧管12內之氣泡自第2排出口42排出至外部期間，較佳為第1供給口41被控制為關閉第1供給閥33而停止塗佈液之供給，且第1排出口41被控制為關閉第1排出閥43而停止氣泡之排出。藉此，能夠提高於寬度方向通過各個歧管之橫截面之塗佈液之流速，從而能夠實現確實且迅速之氣泡排出。

於本實施形態中，上段之歧管11及下段之歧管12之大小並無特別限制，根據塗佈液之擴寬條件等適當決定其大小即可，大小亦可互不相同。又，自第1供給口31供給之塗佈液之流速、供給時間等供給條件、及自第2供給口32供給之塗佈液之供給量、流速、供給時間等供 給條件亦並無特別限制，例如，只要根據上段之歧管11及下段之歧管12之容量、剖面形狀、氣泡之混入量等適當決定泵之流速及供給時間即可。

於本實施形態中，與下段之歧管12連接之第2供給口32係為了如下目的而設置：於將積存於下段之歧管12內之氣泡排出至外部時，產生如將該氣泡擠出至寬度方向兩端部之塗佈液之流動。藉此，能夠使積存於下段之歧管12內之氣泡確實且迅速地排出至外部。即，與下段之歧管12連接之第2供給口32係於將積存於下段之歧管12內之氣泡排出至外部時發揮功能。

另一方面，與上段之歧管11連接之第1供給口31係於積存於上段之歧管11內之氣泡之排出結束之後，使塗佈液自吐出狹縫22吐出，於被塗佈構件上形成塗佈膜時，亦作為塗佈液之供給部位而被使用。

圖3係表示於被塗佈構件上形成塗佈膜時，除第1供給口31以外亦自第2供給口32進行塗佈液之供給之情形之狀態之圖。

如圖3所示，自第1供給口31供給之塗佈液係於上段之歧管11被擴寬，進而通過連結節流流路21，於下段之歧管12再次被擴寬，藉此，自吐出狹縫22遍及全幅以均勻之吐出分佈被吐出。另一方面，自第2供給口32供給之塗佈液未於上段之歧管11被擴寬而僅於下段之歧管12被擴寬，故無法獲得上述2階段之擴寬效果，於吐出狹縫22之中央部吐出量增加，於吐出狹縫22之兩端部吐出量降低。最終，自吐出狹縫22吐出之塗佈液之吐出分佈成為來自第1供給口31之吐出分佈與來自第2供給口32之吐出分佈之總和，故於吐出狹縫22之中央部，與吐出狹縫22之兩端部相比塗佈液之吐出量增加。藉此，所形成之塗佈膜之中央部之膜厚變厚，塗佈膜之均勻性降低。

因此，為了形成均勻之塗佈膜，而與下段之歧管12連接之第2供給口32較佳為，被控制為於被塗佈構件上形成塗佈膜期間停止塗佈液 之供給。

圖4(a)、(b)係表示於本發明之另一實施形態之被塗佈構件上形成塗佈膜之塗佈方法之縱剖視圖，圖4(a)係表示將積存於塗佈器內之氣泡排出至外部之步驟之圖，圖4(b)係表示自吐出狹縫22吐出塗佈液而於被塗佈構件上形成塗佈膜之步驟之圖。

如圖4(a)所示，於將積存於塗佈器內之氣泡排出至外部之步驟中，藉由塗佈液供給控制器件38而以如下方式進行控制：打開分別與第1供給口31及第2供給口32連接之第1供給閥33及第2供給閥34，自第1供給口31及第2供給口32分別向上段之歧管11及下段之歧管12供給塗佈液。積存於上段之歧管11內之氣泡50係藉由打開第1排出閥43而自第1供給口31朝向第1排出口41流動之塗佈液，而自第1排出口41排出至外部。又，積存於下段之歧管12內之氣泡係藉由打開第2排出閥44而自第2供給口32朝向第2排出口42流動之塗佈液，而自第2排出口42排出至外部。再者，如上述般，能夠提高於寬度方向通過歧管之橫截面之塗佈液之流速從而實現確實且迅速之氣泡排出，故於將上段之歧管11內之氣泡排出至外部期間，較佳為第2供給口32被控制為關閉第2供給閥34而停止塗佈液之供給，且第2排出口42被控制為關閉第2排出閥44而停止氣泡之排出。同樣地，於將下段之歧管12內之氣泡排出至外部期間，較佳為第1供給口31被控制為關閉第1供給閥33而停止塗佈液之供給，且第1排出口41被控制為關閉第1排出閥43而停止氣泡之排出。

於將塗佈器內之氣泡排出至外部之後，停止塗佈液之供給，使塗佈器於被塗佈構件(未圖示)上移動，之後，如圖4(b)所示，自吐出狹縫22吐出塗佈液，於被塗佈構件上形成塗佈膜。此時，第2供給口32藉由塗佈液供給控制器件38而以如下方式進行控制：藉由關閉與其連接之第2供給閥34，而停止塗佈液之供給。另一方面，自第1供給口 31供給塗佈液，於上段之歧管11及下段之歧管12於寬度方向被擴寬之塗佈液自吐出狹縫22吐出，藉此於被塗佈構件上形成均勻之塗佈膜。

圖5(a)、(b)係表示於本發明之另一實施形態之被塗佈構件上形成塗佈膜之塗佈裝置之構成之一例之圖，圖5(a)係將塗佈裝置中之塗佈器之部分放大而表示之縱剖視圖，圖5(b)係塗佈裝置之立體圖。

如圖5(b)所示，本實施形態之塗佈裝置1包括：作為保持器件之平台2，其保持作為玻璃基板等單片基材之被塗佈構件W；塗佈器10，其對於該平台2上之被塗佈構件W吐出塗佈液；作為儲液部之槽6，其儲存塗佈液；作為送液器件之泵5，其將槽6內之塗佈液輸送至塗佈器10；及作為驅動器件之驅動器件3，其使塗佈器10相對於平台2向X方向相對移動。槽6內之塗佈液係藉由泵5而通過配管4被供給至塗佈器10。

如圖5(a)所示，塗佈器10包括：第1供給口31，其供給塗佈液；上段之歧管11，其與第1供給口31連接；吐出狹縫22，其吐出塗佈液；下段之歧管12，其與吐出狹縫22連接；及連結節流流路21，其將上段之歧管11與下段之歧管12連結。於上段之歧管11連接有將積存於上段之歧管11內之氣泡排出至外部之第1排出口41。又，於下段之歧管12連接有供給塗佈液之第2供給口32、及將積存於下段之歧管12內之氣泡排出至外部之第2排出口42。

當於被塗佈構件W上形成塗佈膜之前，一面自第1供給口31及第2供給口32分別向上段之歧管11及下段之歧管12內供給塗佈液，一面將積存於上段之歧管11及下段之歧管12內之氣泡自第1排出口41及第2排出口42排出至外部。

於將塗佈器10內之氣泡排出至外部之後，開始於被塗佈構件W上形成塗佈膜之步驟。如圖5(a)所示，將吐出狹縫22之吐出口與被塗佈構件W之間保持為固定之間隔，一面使塗佈器10向X方向移動一面自 吐出狹縫22吐出塗佈液，藉此於被塗佈構件W上形成塗佈膜M。

此時，如上述般，為了形成均勻之塗佈膜，與下段之歧管12連接之第2供給口32較佳為，被控制為於被塗佈構件W上形成塗佈膜M期間停止塗佈液之供給。

再者，於不插入將塗佈器10內之氣泡排出之動作而於複數個被塗佈構件W上連續地形成塗佈膜M之情形時，第2供給口32停止長時間塗佈液之供給，故填充至第2供給口32及與其連接之貫通孔37之塗佈液於進行下一氣泡排出動作之前之期間，長時間滯留。藉此，有塗佈液之成分隨著時間經過變質、或塗佈液中所含之成分固形化之虞。若如此般劣化之塗佈液於下一氣泡排出動作時自第2供給口32供給至塗佈器10之內部，則塗佈膜M之成分變質、或因固形化之成分堵塞吐出狹縫22之一部分而於塗佈膜M產生縱條紋等之塗佈缺陷，故有塗佈膜M之品質變差之虞。

因此，已知有於形成塗佈膜M之前，自吐出狹縫22吐出少量塗佈液，將塗佈器10之前端初期化之步驟，但於該初期化步驟中，較佳為自第2供給口32實施向塗佈器10之塗佈液之供給。藉此，填充於第2供給口32及貫通孔37之塗佈液不會長時間滯留，能夠防止塗佈液之成分之變質或固形化，從而能夠維持塗佈膜M之品質。

再者，只要填充於貫通孔37或第2供給口32之塗佈液不長時間滯留即可，初期化步驟中之塗佈液之供給亦可自第1供給口31及第2供給口32同時實施。

根據本實施形態，於包括2段之歧管11、12之塗佈器10中，於塗佈器10之下段之歧管12設置供給塗佈液之第2供給口32，藉此能夠將積存於塗佈器10內之氣泡確實且迅速地排出至外部。藉此，能夠提供一種形成均勻且無塗佈缺陷之塗佈膜之塗佈器。

以上，藉由較佳之實施形態而對本發明進行了說明，但此種記 述並非限定事項，當然可進行各種改變。

例如，於上述實施形態中，對包括2段之歧管11、12之塗佈器進行了說明，但並不限定於此，亦可應用於下段之歧管12包括相互以連結節流流路連結之複數個歧管之塗佈器。於該情形時，第2排出口42必須設置於構成下段之歧管12之複數個歧管之全部，但第2供給口32未必必須設置於所有歧管，只要設置於該等複數個歧管中之至少1個以上之歧管即可。藉此，與不設置第2供給口32之情形相比，能夠縮短整個塗佈器之氣泡之排出所花費之時間。

又，當於該等複數個歧管設置第2供給口32之情形時，較佳為於氣泡之排出較遲之歧管優先設置第2供給口32。

圖6係模式性地表示本發明之另一實施形態之塗佈器之構成之圖。

本實施形態之塗佈器之下段之歧管12包括2段之歧管12a、12b(以下，稱為上側之歧管12a、下側之歧管12b)，且與上段之歧管11一併由3段之歧管構成。上段之歧管11與上側之歧管12a係藉由連結節流流路21a而連結，上側之歧管12a與下側之歧管12b係藉由連結節流流路21b而連結，下側之歧管12b係與吐出狹縫22連接。

於上段之歧管11連接有供給塗佈液之第1供給口31、及將積存於上段之歧管11內之氣泡50排出至外部之第1排出口41。又，於上側之歧管12a連接有供給塗佈液之第2供給口32、及將積存於上側之歧管12a內之氣泡50排出至外部之第2排出口42a。

另一方面，於下側之歧管12b未連接供給塗佈液之第2供給口。作為補償，下側之歧管12b於其上表面側具有隨著朝向中央部而變高之傾斜面60，且於傾斜面60之上端設置有將積存於下側之歧管12b內之氣泡50排出至外部之第2排出口42b。

即，於本實施形態中，於下段之歧管12中之氣泡之排出較遲之 上側之歧管12a優先設置第2供給口32。

藉由此種構成，而積存於上段之歧管11及第2歧管12中之上側之歧管12a內之氣泡50因自第1供給口31及第2供給口32供給之塗佈液之流動，而被擠出至第1排出口41及第2排出口42a，故能夠將積存於第1歧管11及上側之歧管12a內之氣泡50迅速地排出至外部。

另一方面，積存於第2歧管12中之下側之歧管12b內之氣泡50因浮力而沿著傾斜面60聚集於設置於傾斜面60之上端之第2排出口42b,藉由將聚集之氣泡自第2排出口42b排出至外部，而能夠將積存於下側之歧管12b內之氣泡50迅速地排出至外部。

藉此，於由複數個歧管構成下段之歧管12之塗佈器中，能夠縮短整個塗佈器之氣泡之排出時間，並且因無需將第2排出口42設置於複數個歧管全部，故能夠簡化塗佈器之構成。

再者，於本實施形態中，將第2排出口42b設置於下側之歧管12b之中央部，但並不限定於此，只要為傾斜面60之上端，則設置於何處均可。

又，當於下段之歧管12包括複數個歧管之塗佈器設置第2供給口32之情形時，較佳為自吐出狹縫22吐出塗佈液，於被塗佈構件上形成塗佈膜期間，停止自第2供給口32之塗佈液之供給。

又，於上述實施形態中，對將上段之歧管11與下段之歧管12連接之連結節流流路21為狹縫狀之流路之情形進行了說明，但並不限定於此，只要為於塗佈器10之寬度方向縮得較長、且於其正交方向縮得較窄之流路即可。例如，如圖7(a)、(b)所示，亦可為縮窄為錐狀之流路、或階段性地縮窄之流路。

又，於上述實施形態中，對將自塗佈器10為空之狀態，向塗佈器10內初期填充塗佈液時之積存於塗佈器10內之氣泡排出至外部之機構進行了說明，但並不限定於此，即便於開始塗佈膜之形成之後，亦 可定期地將積存於塗佈器10內之氣泡排出至外部。

又，於上述實施形態中，將第2供給口32設置於下段之歧管12之寬度方向中央部，且將第2排出口42設置於下段之歧管12之寬度方向兩端部，但並不限定於此，只要以因塗佈液之流動而氣泡被朝向第2排出口42擠出之方式決定第2供給口32及第2排出口42之配置即可。例如亦可將第2供給口32設置於下段之歧管12之寬度方向之一端，且將第2排出口42設置於下段之歧管12之寬度方向之另一端。

又，於上述實施形態中，對本發明之具有塗佈器之塗佈裝置為將塗佈液塗佈於玻璃基板等單片基材之塗佈裝置之情形進行了說明，但並不限定於此，本發明之具有塗佈器之塗佈裝置亦可為將塗佈液塗佈於膜等連續基材之塗佈裝置。

Claims (9)

1. 一種塗佈器，其特徵在於包括：第1供給口，其供給塗佈液；第1歧管，其與上述第1供給口連接；吐出狹縫，其吐出上述塗佈液；第2歧管，其與上述吐出狹縫連接；及連結節流流路，其將上述第1歧管與上述第2歧管連結；且於上述第1歧管連接有將積存於該第1歧管內之氣泡排出至外部之第1排出口，於上述第2歧管連接有供給上述塗佈液之第2供給口、及將積存於上述第2歧管內之氣泡排出至外部之第2排出口。
2. 如請求項1之塗佈器，其中積存於上述第1歧管內之氣泡藉由自上述第1供給口朝向上述第1排出口流動之塗佈液而自上述第1排出口排出至外部，積存於上述第2歧管內之氣泡藉由自上述第2供給口朝向上述第2排出口流動之塗佈液而自上述第2排出口排出至外部。
3. 如請求項1或2之塗佈器，其中於積存於上述第1歧管內之氣泡自上述第1排出口排出至外部期間，上述第2供給口停止塗佈液之供給，且上述第2排出口停止氣泡之排出，於積存於上述第2歧管內之氣泡自上述第2排出口排出至外部期間，上述第1供給口停止塗佈液之供給，且上述第1排出口停止氣泡之排出。
4. 如請求項1或2之塗佈器，其中上述第2供給口於自上述吐出狹縫吐出塗佈液而於被塗佈構件上形成塗佈膜期間，停止塗佈液之供給。
5. 如請求項1之塗佈器，其中上述第2歧管包括於上述連結節流流路沿著上述塗佈液之吐出方向相互連結之複數個歧管，上述第2排出口分別設置於上述複數個歧管，上述第2供給口設置於上述複數個歧管中之至少1個以上之歧管。
6. 如請求項1之塗佈器，其中上述第2歧管包括於上述連結節流流路沿著上述塗佈液之吐出方向相互連結之2段之歧管，上述第2排出口分別設置於上述2段之歧管，上述第2供給口僅設置於上述2段之歧管中之上側之歧管，上述2段之歧管中之下側之歧管之上端以朝向上述第2排出口變高之方式傾斜。
7. 一種塗佈裝置，其特徵在於包括：保持器件，其保持被塗佈構件；塗佈器，其對於上述被塗佈構件吐出塗佈液；儲液部，其儲存塗佈液；送液器件，其將該儲液部之塗佈液輸送至上述塗佈器；及驅動器件，其使上述保持器件上之上述被塗佈構件與上述塗佈器之內之至少一者相對於另一者相對移動；且上述塗佈器為如請求項1、2、5、6中任一項之塗佈器。
8. 一種塗佈方法，其特徵在於：其係自如請求項1至6中任一項之塗佈器吐出塗佈液而於被塗佈構件上形成塗佈膜之塗佈方法；且包含：步驟(a)，其係將積存於設置於上述塗佈器內之所有歧管內之氣泡排出至外部；及步驟(b)，其係於上述步驟(a)之後，將塗佈液自上述塗佈器之吐出狹縫吐出而於上述被塗佈構件上形成塗佈膜；且於上述步驟(a)中，積存於第1歧管內之氣泡係藉由自第1供給口朝向第1排出口流動之塗佈液而自上述第1排出口排出至外部，積存於第2歧管內之氣泡係藉由自第2供給口朝向第2排出口流動之塗佈液而自上述第2排出口排出至外部，於上述步驟(b)中，停止自設置於上述第2歧管之第2供給口之塗佈液之供給。
9. 如請求項8之塗佈方法，其中上述第2歧管包括於連結節流流路沿著塗佈液之吐出方向相互連結之複數個歧管，上述第2排出口分別設置於上述複數個歧管，上述第2供給口設置於上述複數個歧管中之至少1個以上之歧管，積存於設置有上述第2供給口之上述歧管內之氣泡係藉由自第2供給口朝向第2排出口流動之塗佈液而自上述第2排出口排出至外部。