WO2017221621A1 - 塗布器及び塗布装置 - Google Patents

塗布器及び塗布装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2017221621A1
WO2017221621A1 PCT/JP2017/019354 JP2017019354W WO2017221621A1 WO 2017221621 A1 WO2017221621 A1 WO 2017221621A1 JP 2017019354 W JP2017019354 W JP 2017019354W WO 2017221621 A1 WO2017221621 A1 WO 2017221621A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
manifold
axis direction
applicator
channel
cross
Prior art date
Application number
PCT/JP2017/019354
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
展雄 堀内
禎彦 伊藤
聖 谷野
西野　聡
Original Assignee
東レエンジニアリング株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 東レエンジニアリング株式会社 filed Critical 東レエンジニアリング株式会社
Priority to CN201780037579.0A priority Critical patent/CN109311047A/zh
Priority to KR1020187032894A priority patent/KR20190019054A/ko
Publication of WO2017221621A1 publication Critical patent/WO2017221621A1/ja

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0254—Coating heads with slot-shaped outlet
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00

Definitions

  • the present invention relates to an applicator that discharges an application liquid and an applicator provided with the applicator.
  • a coating apparatus described in Patent Document 1 As an apparatus for applying a coating liquid to a member to be coated such as a glass substrate or a film, for example, a coating apparatus described in Patent Document 1 is known, and this coating apparatus is formed with a slit for discharging the coating liquid.
  • the applicator is equipped.
  • the applicator includes a liquid feeding means for sending a coating liquid to the applicator, and a moving means for relatively moving the applicator and the member to be coated.
  • the applicator is configured to be long in one direction (hereinafter referred to as the Y-axis direction), and the slit is also formed to be long along the Y-axis direction.
  • the applicator is further provided with a supply port through which the coating solution is supplied from the liquid feeding means, and a manifold (cavity) that is connected to the supply port and is long in the Y-axis direction.
  • the downstream side) is a discharge port facing the member to be coated, and the other end side (upstream side) of the slit is connected to the manifold.
  • the supply port is connected to the manifold at the central portion in the Y-axis direction, and the coating solution supplied from the supply port to the manifold is widened (dispersed) toward both sides in the Y-axis direction and is temporarily stored in the manifold. After passing (after becoming full), it passes through the slit and is discharged from the discharge port to the member to be coated. This discharge operation is performed while the applicator and the member to be coated are relatively moved by the moving means, whereby a coating film can be formed on the member to be coated.
  • the supply port is connected to the manifold and the central portion in the Y-axis direction. For this reason, especially when the manifold becomes longer in the Y-axis direction, the coating liquid flowing into the manifold from the supply port may not be sufficiently widened to both ends in the Y-axis direction. In this case, the coating liquid tends to stay at both ends of the manifold in the Y-axis direction, resulting in poor liquid replacement at the manifold end. If the liquid displaceability in the applicator is poor, the coating liquid may be denatured, such as increasing the viscosity or deteriorating, which may adversely affect the coating film formed on the coated member. There is.
  • an object of the present invention is to improve the liquid replacement property at the end of the manifold of the applicator and prevent the film thickness accuracy of the coating film formed on the member to be coated from being lowered.
  • the applicator of the present invention includes a supply port to which a coating solution is supplied, a slit that is formed in one direction and discharges the coating solution, an upstream manifold that is connected to the supply port, and a downstream manifold that is connected to the slit.
  • a supply port to which a coating solution is supplied
  • a slit that is formed in one direction and discharges the coating solution
  • an upstream manifold that is connected to the supply port
  • a downstream manifold that is connected to the slit.
  • the cross-sectional area in the cross section orthogonal to the one direction of the upstream manifold is smaller at the end in the one direction than the central portion in the one direction, and the upstream manifold In the throttle channel connecting between the upstream manifold and the manifold adjacent to the upstream manifold, the channel length at the end portion is the flow length at the central portion. It has a length or more.
  • the manifold has multiple stages, so that the coating liquid supplied from the supply port to the upstream manifold is widened (dispersed) in the upstream manifold. After passing through the throttle channel, it is further widened (dispersed) in the adjacent manifold, and is temporarily stored in this manifold. And a coating liquid is finally discharged from a slit. For this reason, the discharge state (flow rate) of the coating liquid discharged from the slit can be made as uniform as possible over the entire length in one direction, and the film thickness formed on the coated member can be made uniform. Become.
  • the channel length at the end is equal to or longer than the channel length at the center, the ease of flow at the end and the center is the same or the center at the end for the passing coating liquid. It becomes difficult to flow compared with. For this reason, it becomes difficult for the coating liquid that has passed through the throttle channel to flow in a direction that impedes widening in the manifold. That is, the widening effect in the manifold can be maintained.
  • the flow path length is a length in a direction from the upstream manifold to the adjacent manifold.
  • the direction is The vertical direction.
  • the height of the upper end of the upstream manifold is constant along the one direction, and the height direction dimension of the upstream manifold is constant over the entire length in the one direction. Is preferred.
  • a cross-sectional area in a cross section orthogonal to the one direction is smaller at an end portion in the one direction than a central portion in the one direction.
  • the channel length at the end of each throttle channel is It is preferable that the length is longer than the flow path length in the central portion.
  • the coating liquid that has passed through each of the plurality of throttle channels becomes difficult to flow in a direction that inhibits widening in the manifold.
  • the flow length at the end is the same as the flow length at the central portion. Good.
  • the coating apparatus of the present invention relates the applicator for discharging the coating liquid to the member to be coated, the liquid feeding means for sending the coating liquid to the applicator, the applicator and the member to be coated And moving means for moving to.
  • this coating apparatus it is possible to improve the liquid replacement property in the manifold of the coating device and to prevent the film thickness accuracy of the coating film formed on the coated member from being lowered.
  • FIG. 1 It is a schematic block diagram which shows one Embodiment of a coating device. It is sectional drawing at the time of seeing an applicator from the front. It is sectional drawing of A3 arrow of the applicator shown in FIG. It is sectional drawing of A4 arrow of the applicator shown in FIG. It is a figure which shows the modification of an applicator, and is sectional drawing of a center part. It is a figure which shows the modification of an applicator, and is sectional drawing of an edge part. It is sectional drawing at the time of seeing the applicator of another form from the front. It is sectional drawing of A8 arrow of the applicator shown in FIG. It is sectional drawing of A9 arrow of the applicator shown in FIG.
  • the coating apparatus of the present invention is an apparatus for coating a coating solution on a member to be coated such as a glass substrate or a film.
  • the member to be coated is a rectangular substrate W
  • the coating apparatus 1 applies the coating liquid on the upper surface (surface to be coated).
  • the coating apparatus 1 relatively applies the applicator 10 that discharges the coating liquid to the substrate W, the liquid feeding means 30 that sends the coating liquid to the applicator 10, and the applicator 10 and the substrate W.
  • Moving means 40 for moving for moving.
  • the coating apparatus 1 further includes a stage 5 on which the substrate W is placed and held.
  • the applicator 10 is long in one direction, and the substrate W is placed on the stage 5 so that the one direction and the width direction of the substrate W are parallel to each other.
  • the longitudinal direction (the one direction) of the applicator 10 is defined as the “Y-axis direction”.
  • the length of the applicator 10 is larger than the dimension of the substrate W in the Y-axis direction, and there are various types depending on the size of the substrate W.
  • this invention is especially suitable for the long thing that the length of the Y-axis direction of the applicator 10 (slit 15 mentioned later) exceeds 1000 millimeters.
  • the moving means 40 linearly reciprocates the applicator 10 with respect to the stage 5 in a fixed state.
  • the reciprocating direction is a direction orthogonal to the Y-axis direction and parallel to the upper surface (surface to be coated) of the substrate W. This direction is defined as “X-axis direction”.
  • the X-axis direction and the Y-axis direction are horizontal directions.
  • the moving means 40 has a gantry 41 that can move in the X-axis direction with respect to the stage 5, and the applicator 10 is mounted on the gantry 41.
  • the moving means 40 also includes an actuator that moves the applicator 10 in the vertical direction.
  • the actuator can change the height position of the applicator 10 (a discharge port 16 to be described later) with respect to the substrate W.
  • the direction of the height is a direction orthogonal to the X-axis direction and the Y-axis direction, and this direction is defined as a “Z-axis direction”.
  • the liquid feeding means 30 includes a tank 31 for storing the coating liquid, and a pump 32 for feeding the coating liquid in the tank 31 to the applicator 10.
  • the coating apparatus 1 includes a control device 7 that controls each operation of the liquid feeding unit 30 and the moving unit 40. Under the control of the control device 7, an application operation for discharging the application liquid from the applicator 10 to the substrate W is performed.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view of the applicator 10 viewed from the front (along the X-axis direction).
  • FIG. 3 is a cross-sectional view of the applicator 10 shown in FIG.
  • the applicator 10 includes a supply port 11 to which the coating liquid is supplied from the liquid feeding means 30 (see FIG. 1), a slit 15 that is formed in the Y-axis direction and discharges the coating liquid to the substrate W, and a supply port. 11, a first manifold (upstream side manifold) 12 connected to 11, a second manifold (downstream side manifold) 14 connected to the slit 15, and a throttle channel 13 long in the Y-axis direction connecting between the adjacent manifolds 12, 14. Have.
  • the lower end of the slit 15 is opposed to the substrate W and becomes a discharge port 16 elongated in the Y-axis direction.
  • the supply port 11 is connected to the first manifold 12 at the center in the Y-axis direction (see FIG. 2), and the coating liquid supplied from the supply port 11 to the first manifold 12 is in the Y-axis direction. Is expanded (dispersed) toward the opposite ends of the first manifold 12 and once accumulated in the first manifold 12 (after being filled), it passes through the throttle channel 13.
  • the coating liquid supplied from the throttle channel 13 to the second manifold 14 is further widened (dispersed) toward both sides in the Y-axis direction, and once accumulated in the second manifold 14 (becomes full). After that, it passes through the slit 15 and is discharged from the discharge port 16 to the substrate W.
  • the liquid feeding means 30 supplies the coating liquid to the applicator 10 so that the coating liquid is discharged from the discharge port 16.
  • the supply of the coating liquid by the liquid feeding means 30 is performed while the applicator 10 and the substrate W are relatively moved by the moving means 40, whereby a coating film made of the coating liquid can be formed on the substrate W.
  • the applicator 10 is configured to be long in the Y-axis direction, and each of the first manifold 12 and the second manifold 14 is also formed to be long in the Y-axis direction.
  • the supply port 11 is open at the center of the first manifold 12 and the Y-axis direction, so that the supply port 11 and the first manifold 12 are connected.
  • the applicator 10 (see FIG. 3) is configured by combining two divided bodies 10a and 10b.
  • a concave portion 10c-1 that is long in the Y-axis direction is formed in one divided body 10a, and a concave portion 10d-1 that is long in the Y-axis direction is formed in the other divided body 10b, and these concave portions 10c-1 and 10d-1
  • One first manifold 12 is configured.
  • a concave portion 10c-2 that is long in the Y-axis direction is formed in one divided body 10a
  • a concave portion 10d-2 that is long in the Y-axis direction is formed in the other divided body 10b, and these concave portions 10c-2 and 10d ⁇ are formed.
  • 2 constitutes one second manifold 14.
  • the throttle channel 13 is a channel connecting between the adjacent first manifold 12 and the second manifold 14, and is long in the Y-axis direction and narrower than the manifolds 12 and 14 in the X-axis direction. is doing.
  • the slit 15 for discharging the coating liquid is also long in the Y-axis direction and narrower than the manifolds 12 and 14 in the X-axis direction.
  • the first manifold 12, the throttle channel 13, the second manifold 14 and the slit 15 have the same length in the Y-axis direction (see FIG. 2).
  • FIG. 3 is a cross-sectional view of the applicator 10 at the central portion C in the Y-axis direction
  • FIG. 4 is a cross-sectional view of the applicator 10 shown in FIG. That is, FIG. 4 is a cross-sectional view of the applicator 10 at the end E in the Y-axis direction.
  • the cross-sectional area of the first manifold 12 in the cross section perpendicular to the Y-axis direction is the end E in the Y-axis direction (see FIG. 3) rather than the center C in the Y-axis direction (see FIG. 3). 4) is smaller.
  • the cross-sectional area S1e of the end E located at each of both ends in the Y-axis direction shown in FIG. 4 is smaller than the cross-sectional area S1c of the center C shown in FIG. 3 (S1e ⁇ S1c ).
  • the dimension H1 in the height direction of the first manifold 12 (that is, the dimension H1 in the Z-axis direction) is constant over the entire length in the Y-axis direction.
  • the height of the upper end 50 of the first manifold 12 is constant (horizontal) along the Y-axis direction, and the height of the lower end 51 is also constant (horizontal) along the Y-axis direction.
  • the lower end 51 is a boundary line (ridge line) between the first manifold 12 and the first throttle channel 13.
  • the straight line that forms the upper end 50 of the first manifold 12 and the straight line that forms the lower end 51 are parallel to each other.
  • the dimension (depth dimension) D1e in the X-axis direction at the end E of the first manifold 12 is: It is smaller than the dimension (depth dimension) D1c in the X-axis direction at the central portion C of the first manifold 12 (D1e ⁇ D1c).
  • the dimensions of the first manifold 12 in the X-axis direction are gradually decreased from the central portion C toward the end portions E on both sides.
  • the cross-sectional area of the first manifold 12 is configured to change gradually from the central portion C toward the end portions E on both sides.
  • the second manifold 14 has the same shape as the first manifold 12.
  • the cross-sectional area of the second manifold 14 in the cross section orthogonal to the Y-axis direction is smaller at the end E (see FIG. 4) in the Y-axis direction than at the center C (see FIG. 3) in the Y-axis direction. ing. That is, with respect to the second manifold 14, the cross-sectional area S2e of the end portion E located on both sides in the Y-axis direction shown in FIG. 4 is smaller than the cross-sectional area S2c of the central portion C (S2e ⁇ S2c).
  • the height dimension H2 of the second manifold 14 (that is, the dimension H2 in the Z-axis direction) is constant over the entire length in the Y-axis direction. Therefore, in order to satisfy S2e ⁇ S2c with respect to the cross-sectional area of the second manifold 14, as shown in FIGS. 3 and 4, the dimension (depth dimension) D2e in the X-axis direction at the end E of the second manifold 14 is: It is smaller than the dimension (depth dimension) D2c in the X-axis direction at the central portion C of the second manifold 14 (D2e ⁇ D2c).
  • the dimensions of the second manifold 14 in the X-axis direction are gradually reduced from the central portion C toward the end portions E on both sides.
  • the cross-sectional area of the second manifold 14 is configured to change so as to gradually decrease from the central portion C toward the end portions E on both sides.
  • the throttle channel 13 is a channel that connects between the first manifold 12 and the adjacent second manifold 14.
  • the throttle channel 13 has a channel length L 1 e at the end E.
  • the channel length of the throttle channel 13 is constant over the entire length in the Y-axis direction.
  • the flow path length (L1e, L1c) is a length from the upstream first manifold 12 to the second manifold 14, that is, a length in the Z-axis direction.
  • the Z-axis direction is the vertical direction.
  • the size of the throttle channel 13 in the X-axis direction is constant along the Y-axis direction.
  • the flow path length of the slit 15 is constant over the entire length in the Y-axis direction.
  • the dimension of the slit 15 in the X-axis direction is constant along the Y-axis direction.
  • the height of the upper end 52 of the second manifold 14 is constant (horizontal) along the Y-axis direction, and the height of the lower end 53 is also constant (horizontal) along the Y-axis direction.
  • the upper end 52 is a boundary line between the first throttle channel 13 and the second manifold 14, and the lower end 53 is a boundary line (ridge line) between the second manifold 14 and the slit 15.
  • the boundary line that becomes the upper end 52 and the boundary line that becomes the lower end 53 are parallel to each other.
  • the cross-sectional area of the first manifold 12 in the cross section perpendicular to the Y axis direction is higher than the center portion C in the Y axis direction. Is smaller (S1e ⁇ S1c). According to this applicator 10, since the cross-sectional area is small at each end E on both sides of the first manifold 12, a flow rate is ensured even with a small amount of flowing coating liquid, and the liquid replaceability at each end E on both sides is improved. It becomes possible to make it.
  • the spreadability of the coating liquid in the manifold decreases, and the coating liquid discharged from the slits
  • the flow rate differs between the center and the end, and the uniformity of the film thickness formed on the member to be coated may be impaired.
  • the supply port 11 The coating liquid supplied to the first manifold 12 is widened (dispersed) at both ends in the Y-axis direction in the first manifold 12 as shown by an arrow f1 in FIG.
  • the adjacent second manifold 14 After passing through the throttle channel 13, the adjacent second manifold 14 is widened (dispersed) on both sides in the Y-axis direction as indicated by an arrow f 2 in FIG. one Discharged from the slit 15 from accumulated. Therefore, the discharge state (flow rate) of the coating liquid discharged from the slit 15 can be made as uniform as possible over the entire length in the Y-axis direction as shown by the arrow f3 in FIG. It is possible to prevent the film thickness accuracy of the coating film from being lowered.
  • the flow path length of the throttle channel 13 is constant along the Y-axis direction, and the dimension of the throttle channel 13 in the X-axis direction is constant along the Y-axis direction. For this reason, in the throttle channel 13, the ease of flow at the end E and the center C is the same for the coating liquid passing in the Z-axis direction.
  • the coating liquid that has passed through the throttle channel 13 does not easily flow in the direction of inhibiting the widening in the second manifold 14, and the widening action in the second manifold 14 (the Y-axis direction as indicated by the arrow f2 in FIG. 2).
  • the action of allowing the coating liquid to flow toward both sides) can be maintained.
  • the channel length L1e at the end E only needs to be greater than or equal to the channel length L1c at the center C (L1e ⁇ L1c).
  • the coating liquid that has passed through the throttle channel 13 is less likely to flow in the direction that impedes widening in the second manifold 14. The mechanism is as follows.
  • the component flowing toward the central portion C becomes strong, and the action of widening the coating liquid is reduced.
  • the coating liquid passing through the slit 15 is reduced at the end E as compared with the central portion C, and the coating film formed on the substrate W may not be constant in the Y-axis direction.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view of another form of applicator 110 viewed from the front (along the X-axis direction). 8 is a cross-sectional view taken along arrow A8 of the applicator 110 shown in FIG. 9 is a cross-sectional view taken along arrow A9 of the applicator 110 shown in FIG. That is, FIG.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view of the applicator 110 at the center C in the Y-axis direction
  • FIG. 9 is a cross-sectional view of the applicator 110 at the end E in the Y-axis direction.
  • the applicator 110 includes a supply port 111 to which the coating liquid is supplied from the liquid feeding means 30 (see FIG. 1), a slit 117 that is formed long in the Y-axis direction and discharges the coating liquid to the substrate W, and three Manifolds 112, 114 and 116 are provided.
  • a manifold connected to the supply port 111 is the first manifold 112
  • a manifold adjacent to the downstream side is the second manifold 114
  • a manifold adjacent to the downstream side and connected to the slit 117 is the third manifold 116.
  • a first throttle channel 113 is provided between the first manifold 112 and the second manifold 114
  • a second throttle channel 115 is provided between the second manifold 114 and the third manifold 116.
  • the applicator 110 has three-stage manifolds 112, 114, and 116 and two-stage throttle channels 113 and 115.
  • the applicator 110 is configured to be long in the Y-axis direction, and each of the manifolds 112, 114, and 116 is also formed to be long in the Y-axis direction.
  • the supply port 111 is open at the center of the first manifold 112 and the Y-axis direction, so that the supply port 111 and the first manifold 112 are connected.
  • the first throttle channel 113 is a channel connecting between the adjacent first manifold 112 and the second manifold 114, and is long in the Y-axis direction and narrower than the manifolds 112 and 114 in the X-axis direction. have.
  • the second throttle channel 115 is a channel connecting between the adjacent second manifold 114 and the third manifold 116 and is long in the Y-axis direction and narrower than the manifolds 114 and 116 in the X-axis direction. have.
  • the slit 117 for discharging the coating liquid is also long in the Y-axis direction and narrower than the manifolds 112, 114, and 116 in the X-axis direction.
  • the manifolds 112, 114, 116, the throttle channels 113, 115, and the slit 117 have the same length in the Y-axis direction (see FIG. 7).
  • the cross-sectional area in the cross section perpendicular to the Y-axis direction of the first manifold 112 is the end E in the Y-axis direction (see FIG. 8) rather than the center C in the Y-axis direction (see FIG. 8). 9) is smaller. That is, with respect to the first manifold 112, the cross-sectional area S1e of the end E located on both sides in the Y-axis direction is smaller than the cross-sectional area S1c of the central part C (S1e ⁇ S1c).
  • the dimension H1 in the height direction of the first manifold 112 (that is, the dimension H1 in the Z-axis direction) is constant over the entire length in the Y-axis direction.
  • the height of the upper end 150 of the first manifold 112 is constant (horizontal) along the Y-axis direction
  • the height of the lower end 151 is also constant (horizontal) along the Y-axis direction.
  • the lower end 151 is a boundary line (ridge line) between the first manifold 112 and the first throttle channel 113.
  • the straight line that forms the upper end 150 of the first manifold 112 and the straight line that forms the lower end 151 are parallel to each other.
  • the dimension (depth dimension) D1e in the X-axis direction at the end E of the first manifold 112 is the first manifold 112. Is smaller than the dimension (depth dimension) D1c in the X-axis direction at the center C (D1e ⁇ D1c).
  • the dimensions of the first manifold 112 in the X-axis direction are gradually decreased from the central portion C toward the end portions E on both sides.
  • the cross-sectional area of the first manifold 112 is configured to gradually decrease from the central portion C toward the end portions E on both sides.
  • each of the second manifold 114 and the third manifold 116 has the same shape as the first manifold 112. That is, the cross-sectional area in the cross section orthogonal to the Y-axis direction of the second manifold 114 (third manifold 116) is Y-axis direction end E (see FIG. 9) rather than the central portion C (see FIG. 8) in the Y-axis direction. ) Is smaller. That is, with respect to the second manifold 114 (third manifold 116), the cross-sectional area S2e (S3e) of the end E located on both sides in the Y-axis direction is smaller than the cross-sectional area S2c (S3c) of the central part C. (S2e ⁇ S2c, S3e ⁇ S3c).
  • the height dimension H2 of the second manifold 114 (that is, the dimension H2 in the Z-axis direction) is constant over the entire length in the Y-axis direction. Therefore, in order to satisfy S2e ⁇ S2c with respect to the cross-sectional area of the second manifold 114, as shown in FIGS. 8 and 9, the dimension (depth dimension) D2e in the X-axis direction at the end E of the second manifold 114 is It is smaller than the dimension (depth dimension) D2c in the X-axis direction at the central portion C of the second manifold 114 (D2e ⁇ D2c).
  • the dimension of the second manifold 114 is gradually decreased from the center C toward the ends E on both sides so that the dimension in the X-axis direction gradually decreases.
  • the cross-sectional area of the second manifold 114 is configured to change gradually from the central portion C toward the end portions E on both sides.
  • the height dimension H3 of the third manifold 116 (that is, the dimension H3 in the Z-axis direction) is constant over the entire length in the Y-axis direction. Yes. Therefore, in order to satisfy S3e ⁇ S3c with respect to the cross-sectional area of the third manifold 116, as shown in FIGS. 8 and 9, the dimension (depth dimension) D3e in the X-axis direction at the end E of the third manifold 116 is It is smaller than the dimension (depth dimension) D3c in the X-axis direction at the center C of the third manifold 116 (D3e ⁇ D3c).
  • the dimension in the X-axis direction of the third manifold 116 gradually decreases from the central portion C toward the end portions E on both sides.
  • the cross-sectional area of the third manifold 116 is configured to change gradually from the central portion C toward the end portions E on both sides.
  • the channel length of the first throttle channel 113 is constant over the entire length in the Y-axis direction.
  • the flow path length (L1e, L1c) is a length from the upstream first manifold 112 toward the adjacent second manifold 114, that is, a length in the Z-axis direction.
  • the dimension of the first throttle channel 113 in the X-axis direction (the channel width of the throttle channel 13) is constant along the Y-axis direction.
  • the channel length of the second throttle channel 115 is constant over the entire length in the Y-axis direction.
  • the flow path length (L2e, L2c) is a length from the second manifold 114 toward the adjacent third manifold 116, that is, a length in the Z-axis direction.
  • the dimension of the second throttle channel 115 in the X-axis direction (the channel width of the throttle channel 13) is constant along the Y-axis direction.
  • the flow path length of the slit 117 is constant over the entire length in the Y-axis direction.
  • the dimension of the slit 117 in the X-axis direction is constant along the Y-axis direction.
  • the height of the upper end 152 of the second manifold 114 is constant (horizontal) along the Y-axis direction, and the height of the lower end 153 is also constant (horizontal) along the Y-axis direction.
  • the upper end 152 is a boundary line (ridge line) between the first throttle channel 113 and the second manifold 114
  • the lower end 153 is a boundary line (ridge line) between the second manifold 114 and the second throttle channel 115.
  • the boundary line that becomes the upper end 152 and the boundary line that becomes the lower end 153 are parallel to each other.
  • the height of the upper end 154 of the third manifold 116 is constant (horizontal) along the Y-axis direction, and the height of the lower end 155 is also constant (horizontal) along the Y-axis direction.
  • the upper end 154 becomes a boundary line between the second throttle channel 115 and the third manifold 116, and the lower end 155 becomes a boundary line (ridge line) between the third manifold 116 and the slit 117.
  • the boundary line that becomes the upper end 154 and the boundary line that becomes the lower end 155 are parallel to each other.
  • the cross-sectional area of the first manifold 112 in the cross section perpendicular to the Y axis direction is higher than the center portion C in the Y axis direction. Is smaller (S1e ⁇ S1c). According to this applicator 110, since the cross-sectional area is small at each end E on both sides of the first manifold 112, the flow rate is secured even with a small amount of applied liquid flowing, and the liquid replaceability at each end E on both sides is improved. It becomes possible to make it.
  • the supply port is provided with the three-stage manifolds 112, 114, and 116.
  • the coating liquid supplied from 111 to the first manifold 112 is widened (dispersed) on both sides in the Y-axis direction in the first manifold 112 as indicated by an arrow f1 in FIG.
  • the adjacent second manifold 114 is widened (dispersed) on both sides in the Y-axis direction as shown by the arrow f2 in FIG. It is accumulated temporarily in the second manifold 114. Then, the coating liquid from the second manifold 114 passes through the second throttle channel 115 and further widens on both sides in the Y-axis direction in the adjacent third manifold 116 as indicated by an arrow f3 in FIG. (Dispersed) and the coating liquid is once stored in the third manifold 116 and then discharged from the slit 117.
  • the discharge state (flow rate) of the coating liquid discharged from the slit 117 can be made as uniform as possible over the entire length in the Y-axis direction as shown by the arrow f4 in FIG. It is possible to prevent the film thickness accuracy of the coating film from being lowered.
  • the channel length of the first throttle channel 113 is constant along the Y-axis direction, and the dimension of the first throttle channel 113 in the X-axis direction is constant along the Y-axis direction. For this reason, in the first throttle channel 113, the ease of flow at the end E and the center C is the same for the coating liquid passing in the Z-axis direction.
  • the coating liquid that has passed through the throttle channel 113 does not easily flow in the direction of inhibiting the widening in the second manifold 114, and the widening action in the second manifold 114 (the Y-axis direction as indicated by the arrow f2 in FIG. 7).
  • the action of allowing the coating liquid to flow toward both sides) can be maintained.
  • the third manifold 116 is provided on the downstream side of the second manifold 114, the coating liquid is also widened in the third manifold 116 as shown by the arrow f3 in FIG. As shown by an arrow f4 in FIG. 7, the function of making the discharge state (flow rate) of the coating liquid discharged from the slit 117 as uniform as possible over the entire length in the Y-axis direction can be enhanced.
  • the channel length of the second throttle channel 115 is constant along the Y-axis direction, and the dimension of the second throttle channel 115 in the X-axis direction is constant along the Y-axis direction. For this reason, in the second throttle channel 115, the ease of flow at the end E and the center C is the same for the coating liquid passing in the Z-axis direction.
  • the flow path length L1e in E is equal to or longer than the flow path length L1c in the central portion C (L1e ⁇ L1c). It becomes difficult for the two manifolds 114 to flow in the direction of inhibiting the widening.
  • the mechanism is the same as that described in the case of the applicator 10 (part 1), and is omitted here.
  • the channel length L2e at the end E may be equal to or longer than the channel length L2c at the center C (L2e ⁇ L2c).
  • FIG. 12 is a cross-sectional view of the applicator 110 viewed from the front (along the X-axis direction).
  • FIG. 13 is a cross-sectional view of the applicator 110 shown in FIG. 14 is a cross-sectional view of the applicator 110 shown in FIG. That is, FIG. 13 is a cross-sectional view of the applicator 110 at the central portion C in the Y-axis direction, and FIG. Similar to the applicator 110 shown in FIGS. 7 to 9, the applicator 110 has three-stage manifolds 112, 114, 116 and two-stage throttle channels 113, 115.
  • the cross-sectional area in the cross section orthogonal to the Y-axis direction of the first manifold 112 is the central portion C in the Y-axis direction (see FIG. 13), similarly to the applicator 110 shown in FIG.
  • the end E (see FIG. 14) in the Y-axis direction is smaller than that. That is, with respect to the first manifold 112, the cross-sectional area S1e of the end E located on both sides in the Y-axis direction is smaller than the cross-sectional area S1c of the central part C (S1e ⁇ S1c).
  • the dimension H in the height direction of the first manifold 112 changes according to the position in the Y-axis direction. Specifically, the dimension H in the height direction increases from the center C toward the ends E on both sides in the Y-axis direction.
  • the height of the upper end 150 of the first manifold 112 is constant (horizontal) along the Y-axis direction, but the height of the lower end 151 is reduced from the central portion C toward the end portions E on both sides.
  • the lower end 151 is a boundary line (ridge line) between the first manifold 112 and the first throttle channel 113.
  • the dimension (depth dimension) D1e in the X-axis direction at the end E of the first manifold 112 is: It is smaller than the dimension (depth dimension) D1c in the X-axis direction at the central portion C of the first manifold 112 at a rate of change larger than the rate of change in the dimension H (see FIG. 12) in the height direction.
  • the dimensions of the first manifold 112 in the X-axis direction and the Z-axis direction gradually change from the central portion C toward the respective end portions E on both sides.
  • the area is configured to gradually decrease from the central portion C toward the end portions E on both sides.
  • the edge part E (FIG. 14) of the Y-axis direction rather than the center part C (refer FIG. 13) of a Y-axis direction. (See) is smaller. That is, with respect to the second manifold 114 (third manifold 116), the cross-sectional area S2e (S3e) of the end E located on both sides in the Y-axis direction is smaller than the cross-sectional area S2c (S3c) of the central part C. (S2e ⁇ S2c, S3e ⁇ S3c).
  • the upper end (boundary line with the first throttle channel 113) 152 is also inclined so as to become lower from the center C toward the end E.
  • the channel length of the first throttle channel 113 is constant over the entire length in the Y-axis direction.
  • the channel length (L1e, L1c) is the length in the Z-axis direction.
  • the L2e L2c
  • the upper end (boundary line with the second throttle channel 115) 154 of the third manifold 116 is also inclined so as to become lower from the center C toward the end E.
  • the channel length of the second throttle channel 115 is constant over the entire length in the Y-axis direction.
  • the channel length (L2e, L2c) is the length in the Z-axis direction.
  • the flow path length of the slit 117 is constant over the entire length in the Y-axis direction.
  • the dimension of the slit 117 in the X-axis direction is constant along the Y-axis direction.
  • the discharge state (flow rate) of the coating liquid discharged from the slit 15 (117) can be made as uniform as possible over the entire length in the Y-axis direction, and the coating film formed on the substrate W It is possible to prevent a decrease in thickness accuracy.
  • the channel length L1e at the end E is equal to or greater than the channel length L1c (L1e ⁇ L1c) at the center (L1e ⁇ L1c).
  • Ease of flow is the same between the part E and the central part C, or at the end part E, it is less likely to flow than the central part C. For this reason, it becomes difficult for the coating liquid that has passed through the throttle channel 13 to flow in the direction of inhibiting the widening in the second manifold 14 (114). That is, the widening action in the second manifold 14 (114) can be maintained.
  • the function of making the discharge state (flow rate) of the coating liquid discharged from the slit 15 (117) as uniform as possible over the entire length in the Y-axis direction can be enhanced.
  • the cross-sectional area in the cross section perpendicular to the Y-axis direction is not only in the first manifold 12 (112) but also in each of the other manifolds 14 (114, 116) (that is, in all manifolds).
  • the end portion E in the Y-axis direction is smaller than the central portion C in the axial direction. For this reason, it becomes possible to improve the liquid replacement property at the end E in each of the plurality of manifolds.
  • three manifolds 112, 114, and 116 are provided, and two throttle channels 113 and 115 that are one less than the number of the manifolds 112, 114, and 116 are provided. Is provided.
  • the channel length at the end E is equal to or longer than the channel length at the central portion C. For this reason, it is difficult for the coating liquid that has passed through the first throttle channel 113 to flow in the direction of inhibiting the widening in the second manifold 114, and the coating liquid that has passed through the second throttle channel 115 does not flow. It becomes difficult to flow in the direction which inhibits widening.
  • each of the second manifold 114 and the third manifold 116 can be maintained.
  • the function of making the discharge state (flow rate) of the coating liquid discharged from the slit 117 as uniform as possible over the entire length in the Y-axis direction can be enhanced.
  • the height of the upper end 50 of the first manifold 12 (112) is constant (horizontal) along the Y-axis direction, and the first manifold 12 (112)
  • the dimension H1 in the height direction is constant over the entire length in the Y-axis direction.
  • the channel length L1e at the end E of the throttle channel 13 (113) is the same as the channel length L1c at the center C (the same over the entire length in the Y-axis direction). According to this configuration, the air bubbles mixed in the manifold 12 (112) can be easily collected at both ends E by the action (the widening action) in which the coating liquid spreads on both sides in the first manifold 12 (112).
  • the upper end 52 of the second manifold 14 (114) ( The height of 152) is constant (horizontal) along the Y-axis direction. Therefore, the air bubbles mixed in the manifold 14 (114) can be easily collected at both end portions E by the action of spreading the coating liquid to both sides (widening action) in the second manifold 14 (114).
  • all the manifolds have a shape in which the cross section is narrowed on the end portion E side in the Y-axis direction.
  • this shape may be adopted at least in the first manifold 12 (112).
  • the two manifolds (third manifolds) may have the same cross section (no change) along the Y-axis direction.
  • the moving unit 40 moves the applicator 10 relative to the substrate W.
  • the moving unit 40 moves the applicator 10 and the substrate W to the application surface of the substrate W. Any structure may be used as long as it is relatively moved in the parallel direction.
  • the stage 5 substrate W may be moved with respect to the applicator 10 in a fixed state.
  • the member to be coated is the single-wafer substrate W.
  • the member to be coated may be a continuous member (a member to be coated that is sent by roll-to-roll) instead of the single-wafer shape.
  • the stage 5 is omitted.
  • coating which the coating device 1 performs may be intermittent application

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)
  • Nozzles (AREA)

Abstract

塗布液が供給される供給口と、一方向に長く形成され塗布液を吐出するスリットと、前記供給口と繋がる上流側マニホールド、及び、前記スリットと繋がる下流側マニホールドを少なくとも含み、前記一方向に長く形成されている複数のマニホールドと、隣り合う前記マニホールド間を繋ぐ前記一方向に長い絞り流路と、を有し、前記供給口は前記上流側マニホールドと前記一方向の中央において繋がっており、前記上流側マニホールドの前記一方向に直交する断面における断面積は、当該一方向の中央部よりも前記一方向の端部の方で小さくなっており、前記上流側マニホールドと当該上流側マニホールドの隣りの前記マニホールドとの間を繋ぐ前記絞り流路では、前記端部における流路長が、前記中央部における流路長以上となっている、塗布器。

Description

塗布器及び塗布装置
　塗布液を吐出する塗布器、及び、この塗布器を備えている塗布装置に関する。
　ガラス基板やフィルム等の被塗布部材に塗布液を塗布するための装置として、例えば、特許文献１に記載の塗布装置が知られており、この塗布装置は、塗布液を吐出するスリットが形成されている塗布器を備えている。この塗布装置は、前記塗布器の他に、この塗布器に塗布液を送る送液手段と、塗布器と被塗布部材とを相対的に移動させる移動手段とを備えている。
　塗布器は一方向（以下、Ｙ軸方向という）に長く構成されており、スリットもＹ軸方向に沿って長く形成されている。この塗布器には、更に、前記送液手段から塗布液が供給される供給口と、この供給口と繋がっているＹ軸方向に長いマニホールド（キャビティ）とが設けられおり、スリットの一端側（下流側）が被塗布部材と対向する吐出口となっており、スリットの他端側（上流側）がマニホールドと繋がっている。
　前記供給口はマニホールドとＹ軸方向の中央部で繋がっており、この供給口からマニホールドに供給された塗布液は、Ｙ軸方向の両側に向かって拡幅（分散）され、マニホールド内で一旦溜められてから（充満状態となってから）スリットを通過し、吐出口から被塗布部材に対して吐出される。この吐出の動作は、前記移動手段によって塗布器と被塗布部材とを相対的に移動させながら行われ、これにより、被塗布部材に塗膜を形成することが可能となる。
特開２００８－２４６４６４号公報
　前記のとおり供給口はマニホールドとＹ軸方向の中央部と繋がっている。このため、特にマニホールドがＹ軸方向に長くなると、供給口からマニホールドに流入した塗布液は、Ｙ軸方向の両端部まで充分に拡幅されない場合がある。この場合、マニホールドのＹ軸方向の両端部では塗布液が滞留しがちとなり、マニホールド端部における液置換性が悪くなる。塗布器内において液置換性が悪いと、粘性が高くなったり劣化したりする等、塗布液が変性するおそれがあり、これが原因となって被塗布部材に形成される塗膜に悪影響を及ぼすことがある。
　そこで、マニホールドの形状を変えることによって液置換性を向上させることが考えられる。しかし、マニホールドの形状を変えると、それに起因してマニホールドにおける塗布液の流れの様子が変化することが予想される。マニホールドにおける塗布液の流れの様子が変化すると、この変化がスリットにおける塗布液の流れに影響を与え、被塗布部材に形成される塗膜の膜厚精度を低下させるおそれがある。例えば、マニホールドのＹ軸方向の両端部における液置換性を良化させるために、その両端部における流速を高めるための構成にすると、マニホールド内の流速が変化することにより、スリットから吐出される塗布液の流量に影響し、形成される膜厚の均一性が損なわれるという問題が生じる。
　そこで、本発明の目的は、塗布器のマニホールドの端部における液置換性を良化させると共に、被塗布部材に形成される塗膜の膜厚精度が低下するのを防ぐことにある。
　本発明の塗布器は、塗布液が供給される供給口と、一方向に長く形成され塗布液を吐出するスリットと、前記供給口と繋がる上流側マニホールド、及び、前記スリットと繋がる下流側マニホールドを少なくとも含み、前記一方向に長く形成されている複数のマニホールドと、隣り合う前記マニホールド間を繋ぐ前記一方向に長い絞り流路と、を有し、前記供給口は前記上流側マニホールドと前記一方向の中央において繋がっており、前記上流側マニホールドの前記一方向に直交する断面における断面積は、当該一方向の中央部よりも前記一方向の端部の方で小さくなっており、前記上流側マニホールドと当該上流側マニホールドの隣りの前記マニホールドとの間を繋ぐ前記絞り流路では、前記端部における流路長が、前記中央部における流路長以上となっている。
　この塗布器によれば、上流側マニホールドの断面積が端部で小さくなっていることから、マニホールド内での塗液の拡幅性が低下してしまうが、マニホールド端部においては断面積が小さいため、流れる塗布液が少量の流量でも流速は確保される、すなわち塗液置換性を良化させることが可能である。一般のマニホールドが１段の塗布器では、マニホールド内での塗布液の拡幅性が低下すると、スリットから吐出される塗布液の流量が中央と端部で異なり、被塗布部材に形成される膜厚の均一性が損なわれるという問題が生じるが、この塗布器によれば、マニホールドが多段となることから、供給口から上流側マニホールドに供給された塗布液は、上流側マニホールドにおいて拡幅（分散）され、絞り流路を通過して更に、その隣りのマニホールドにおいて拡幅（分散）され、このマニホールドに一旦溜められる。そして、塗布液は最終的にスリットより吐出される。このため、スリットから吐出される塗布液の吐出状態（流量）を一方向全長にわたって可及的に一様とすることができ、被塗布部材に形成される膜厚を均一にすることが可能となる。
　なお、絞り流路では、端部における流路長が中央部における流路長以上となっているので、通過する塗布液にとって端部と中央部とで流れやすさは同じ又は端部では中央部と比べて流れにくくなる。このため、この絞り流路を通過した塗布液はマニホールドにおいて拡幅を阻害する方向に流れ難くなる。つまり、マニホールドにおける拡幅の作用を維持することができる。
　なお、前記流路長は、上流側マニホールドからその隣りのマニホールドへ向かう方向の長さであり、例えば、上流側マニホールドを上、その隣りのマニホールドを下に配置した塗布器の場合、前記方向は上下方向となる。
　また、前記絞り流路の前記端部における流路長が、前記中央部における流路長と同じである場合、絞り流路では、通過する塗布液にとって端部と中央部とで流れやすさは同じになる。このため、マニホールドにおける拡幅の作用を維持することができる。
　また、この場合において、前記上流側マニホールドの上端の高さは前記一方向に沿って一定であり、かつ、当該上流側マニホールドの高さ方向の寸法は、前記一方向の全長にわたって一定であるのが好ましい。
　この場合、上流側マニホールド及びその隣りのマニホールドにおいて塗布液が両側へ広がる作用（拡幅作用）によって、これらマニホールドに混入するおそれのある気泡を両端部に集め易くなる。このため、これらマニホールドそれぞれの両端部にエアを排出するためのエア抜き孔を設けることで、エアを塗布器外へ排出し易くなる。
　また、前記複数のマニホールドそれぞれにおいて、前記一方向に直交する断面における断面積は、前記一方向の中央部よりも前記一方向の端部の方で小さくなっているのが好ましい。
　この場合、複数のマニホールドそれぞれにおいて端部における液置換性を良化させることが可能となる。
　また、前記マニホールドは三つ以上設けられており、前記絞り流路が当該マニホールドの数よりも一つ少ない数について設けられている場合、当該絞り流路それぞれにおいて、前記端部における流路長は、前記中央部における流路長以上となっているのが好ましい。
　この場合、複数の絞り流路それぞれを通過した塗布液は、マニホールドにおいて拡幅を阻害する方向に流れ難くなる。なお、絞り流路を通過する塗布液にとって端部と中央部とで流れやすさを同じとするためには、前記端部における流路長を、前記中央部における流路長と同じとすればよい。
　また、本発明の塗布装置は、被塗布部材に対して塗布液を吐出する前記塗布器と、前記塗布器に塗布液を送る送液手段と、前記塗布器と前記被塗布部材とを相対的に移動させる移動手段とを備えている。
　この塗布装置によれば、塗布器のマニホールドにおける液置換性を良化させると共に、被塗布部材に形成される塗膜の膜厚精度が低下するのを防ぐことが可能となる。
　本発明によれば、塗布器が有するマニホールドの端部における液置換性を良化させると共に、被塗布部材に形成される塗膜の膜厚精度が低下するのを防ぐことができ、この被塗布部材を用いて高品質な製品を得ることが可能となる。
塗布装置の実施の一形態を示す概略構成図である。 塗布器を正面から見た場合の断面図である。 図２に示す塗布器のＡ３矢視の断面図である。 図２に示す塗布器のＡ４矢視の断面図である。 塗布器の変形例を示す図であり、中央部の断面図である。 塗布器の変形例を示す図であり、端部の断面図である。 他の形態の塗布器を正面から見た場合の断面図である。 図７に示す塗布器のＡ８矢視の断面図である。 図７に示す塗布器のＡ９矢視の断面図である。 塗布器の変形例を示す図であり、中央部の断面図である。 塗布器の変形例を示す図であり、端部の断面図である。 塗布器を正面から見た場合の断面図である。 図１２に示す塗布器のＡ１２矢視の断面図である。 図１２に示す塗布器のＡ１４矢視の断面図である。 塗布装置の断面図である。
　以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
〔塗布装置の全体構成について〕
　本発明の塗布装置は、例えばガラス製の基板やフィルム等の被塗布部材に塗布液を塗布するための装置である。図１に示す形態では、被塗布部材は矩形の基板Ｗであり、塗布装置１は、その上面（被塗布面）に塗布液を塗布する。このために、塗布装置１は、基板Ｗに対して塗布液を吐出する塗布器１０と、この塗布器１０に塗布液を送る送液手段３０と、塗布器１０と基板Ｗとを相対的に移動させる移動手段４０とを備えている。
　塗布装置１は、更に、基板Ｗを載せて保持するステージ５を備えている。塗布器１０は一方向に長く構成されており、この一方向と基板Ｗの幅方向とが平行となるようにして、基板Ｗはステージ５上に載せられる。なお、以下において、塗布器１０の長手方向（前記一方向）を「Ｙ軸方向」と定義する。塗布器１０の長さは、基板ＷのＹ軸方向の寸法よりも大きく、基板Ｗのサイズに応じて様々なものがある。なお、本発明は、塗布器１０（後述するスリット１５）のＹ軸方向の長さが１０００ミリメートルを超えるような長いものに特に好適である。
　図１に示す形態では、移動手段４０は固定状態にあるステージ５に対して塗布器１０を直線的に往復移動させる。この往復移動の方向は、Ｙ軸方向に直交する方向であって、かつ、基板Ｗの上面（被塗布面）に平行な方向である。この方向を「Ｘ軸方向」と定義する。本実施形態では、Ｘ軸方向及びＹ軸方向は、それぞれ水平方向である。
　塗布器１０のＸ軸方向の移動を実現するために、移動手段４０は、ステージ５に対してＸ軸方向に移動可能であるガントリ４１を有しており、このガントリ４１に塗布器１０が搭載されている。移動手段４０は、図示しないが、塗布器１０を上下方向に移動させるアクチュエータも備えており、このアクチュエータにより基板Ｗに対する塗布器１０（後述する吐出口１６）の高さ位置を変更することができる。この高さの方向は、前記Ｘ軸方向及び前記Ｙ軸方向と直交する方向であり、この方向を「Ｚ軸方向」と定義する。
　送液手段３０は、塗布液を溜めるタンク３１と、このタンク３１の塗布液を塗布器１０に送るポンプ３２とを備えている。また、塗布装置１は、送液手段３０及び移動手段４０の各動作を制御する制御装置７を備えている。この制御装置７の制御によって塗布器１０から基板Ｗへ塗布液を吐出させる塗布動作が行われる。
　図２は、塗布器１０を正面から（Ｘ軸方向に沿って）見た場合の断面図である。図３は、図２に示す塗布器１０のＡ３矢視の断面図である。この塗布器１０は、送液手段３０（図１参照）から塗布液が供給される供給口１１と、Ｙ軸方向に長く形成され基板Ｗに対して塗布液を吐出するスリット１５と、供給口１１と繋がる第一マニホールド（上流側マニホールド）１２と、スリット１５と繋がる第二マニホールド（下流側マニホールド）１４と、これら隣り合うマニホールド１２，１４間を繋ぐＹ軸方向に長い絞り流路１３とを有している。スリット１５の下端が基板Ｗと対向しておりＹ軸方向に細長い吐出口１６となる。
　この塗布器１０において、供給口１１は第一マニホールド１２とＹ軸方向の中央において繋がっており（図２参照）、この供給口１１から第一マニホールド１２に供給された塗布液は、Ｙ軸方向の両端に向かって拡幅（分散）され、第一マニホールド１２内で一旦溜められてから（充満状態となってから）絞り流路１３を通過する。そして、絞り流路１３から第二マニホールド１４に供給された塗布液は、更にＹ軸方向の両側に向かって拡幅（分散）され、第二マニホールド１４内で一旦溜められてから（充満状態となってから）スリット１５を通過し、吐出口１６から基板Ｗに対して吐出される。送液手段３０（図１参照）が塗布器１０へ塗布液を供給することにより、塗布液が吐出口１６から吐出される。送液手段３０による塗布液の供給は、移動手段４０によって塗布器１０と基板Ｗとを相対的に移動させながら行われ、これにより、基板Ｗに塗布液による塗膜を形成することが可能となる。
〔塗布器１０の構成（その１）〕
　図２に示すように、前記のとおり、塗布器１０はＹ軸方向に長く構成されており、第一マニホールド１２及び第二マニホールド１４それぞれについても、Ｙ軸方向に長く形成されている。そして、供給口１１は、第一マニホールド１２とＹ軸方向の中央において開口することで、供給口１１と第一マニホールド１２とは繋がっている。
　塗布器１０（図３参照）は、二つの分割体１０ａ，１０ｂを合わせることで構成されている。一方の分割体１０ａにＹ軸方向に長い凹部１０ｃ－１が形成され、他方の分割体１０ｂにＹ軸方向に長い凹部１０ｄ－１が形成されており、これら凹部１０ｃ－１，１０ｄ－１によって一つの第一マニホールド１２が構成されている。また、一方の分割体１０ａにＹ軸方向に長い凹部１０ｃ－２が形成され、他方の分割体１０ｂにＹ軸方向に長い凹部１０ｄ－２が形成されており、これら凹部１０ｃ－２，１０ｄ－２によって一つの第二マニホールド１４が構成されている。
　絞り流路１３は、隣り合う第一マニホールド１２と第二マニホールド１４との間を繋ぐ流路であり、Ｙ軸方向に長く、かつ、Ｘ軸方向についてはマニホールド１２，１４よりも狭い形状を有している。塗布液を吐出するスリット１５についても、Ｙ軸方向に長く、かつ、Ｘ軸方向についてはマニホールド１２，１４よりも狭い形状を有している。本実施形態では、第一マニホールド１２、絞り流路１３、第二マニホールド１４及びスリット１５は、Ｙ軸方向に同じ長さとなっている（図２参照）。
　図３は、塗布器１０のＹ軸方向の中央部Ｃにおける断面図であるのに対して、図４は、図２に示す塗布器１０のＡ４矢視の断面図である。つまり、図４は塗布器１０のＹ軸方向の端部Ｅにおける断面図である。図３及び図４に示すように、第一マニホールド１２のＹ軸方向に直交する断面における断面積は、Ｙ軸方向の中央部Ｃ（図３参照）よりもＹ軸方向の端部Ｅ（図４参照）の方が小さくなっている。つまり、第一マニホールド１２に関して、図４に示すＹ軸方向両端それぞれに位置する端部Ｅの断面積Ｓ１ｅは、図３に示す中央部Ｃの断面積Ｓ１ｃよりも小さくなっている（Ｓ１ｅ＜Ｓ１ｃ）。
　図２に示すように、第一マニホールド１２の高さ方向の寸法Ｈ１（つまり、Ｚ軸方向の寸法Ｈ１）は、Ｙ軸方向の全長にわたって一定となっている。なお、第一マニホールド１２の上端５０の高さはＹ軸方向に沿って一定（水平）であり、下端５１の高さもＹ軸方向に沿って一定（水平）である。下端５１は、第一マニホールド１２と第一絞り流路１３との境界線（稜線）である。そして、第一マニホールド１２の上端５０を構成する直線と、下端５１を構成する直線（前記境界線）とは平行となっている。そこで、第一マニホールド１２の断面積に関して前記Ｓ１ｅ＜Ｓ１ｃを満たすために、図３及び図４に示すように、第一マニホールド１２の端部ＥにおけるＸ軸方向の寸法（奥行き寸法）Ｄ１ｅは、第一マニホールド１２の中央部ＣにおけるＸ軸方向の寸法（奥行き寸法）Ｄ１ｃよりも小さくなっている（Ｄ１ｅ＜Ｄ１ｃ）。本実施形態では、中央部Ｃから両側の端部Ｅそれぞれに向かって徐々に第一マニホールド１２のＸ軸方向の寸法が小さくなるように変化している。これにより、第一マニホールド１２の断面積は、中央部Ｃから両側の端部Ｅそれぞれに向かって徐々に小さくなるように変化する構成となっている。
　本実施形態では、第二マニホールド１４についても第一マニホールド１２と同様の形状となっている。すなわち、第二マニホールド１４のＹ軸方向に直交する断面における断面積は、Ｙ軸方向の中央部Ｃ（図３参照）よりもＹ軸方向の端部Ｅ（図４参照）の方が小さくなっている。つまり、第二マニホールド１４に関して、図４に示すＹ軸方向両側それぞれに位置する端部Ｅの断面積Ｓ２ｅは、中央部Ｃの断面積Ｓ２ｃよりも小さくなっている（Ｓ２ｅ＜Ｓ２ｃ）。
　図２に示すように、第二マニホールド１４の高さ方向の寸法Ｈ２（つまり、Ｚ軸方向の寸法Ｈ２）は、Ｙ軸方向の全長にわたって一定となっている。そこで、第二マニホールド１４の断面積に関して前記Ｓ２ｅ＜Ｓ２ｃを満たすために、図３及び図４に示すように、第二マニホールド１４の端部ＥにおけるＸ軸方向の寸法（奥行き寸法）Ｄ２ｅは、第二マニホールド１４の中央部ＣにおけるＸ軸方向の寸法（奥行き寸法）Ｄ２ｃよりも小さくなっている（Ｄ２ｅ＜Ｄ２ｃ）。本実施形態では、中央部Ｃから両側の端部Ｅそれぞれに向かって徐々に第二マニホールド１４のＸ軸方向の寸法が小さくなるように変化している。これにより、第二マニホールド１４の断面積は、中央部Ｃから両側の端部Ｅそれぞれに向かって徐々に小さくなるように変化する構成となっている。
　絞り流路１３は、第一マニホールド１２と、その隣りの第二マニホールドと１４との間を繋ぐ流路であり、図２において、この絞り流路１３では、端部Ｅにおける流路長Ｌ１ｅと、中央部Ｃにおける流路長Ｌ１ｃとが同じとなっている（Ｌ１ｅ＝Ｌ１ｃ）。本実施形態では、Ｙ軸方向の全長にわたって絞り流路１３の流路長は一定となっている。なお、前記流路長（Ｌ１ｅ、Ｌ１ｃ）は、上流側の第一マニホールド１２から第二マニホールド１４へ向かう方向、つまり、Ｚ軸方向の長さである。本実施形態の場合、第一マニホールド１２を上、第二マニホールド１４を下に配置していることから、このＺ軸方向は上下方向となる。また、図３及び図４に示すように、絞り流路１３のＸ軸方向の寸法（絞り流路１３の流路幅）は、Ｙ軸方向に沿って一定である。
　図２において、スリット１５では、端部Ｅにおける流路長Ｍｅと、中央部Ｃにおける流路長Ｍｃとが同じとなっている（Ｍｅ＝Ｍｃ）。本実施形態では、Ｙ軸方向の全長にわたってスリット１５の流路長は一定となっている。また、図３及び図４に示すように、スリット１５のＸ軸方向の寸法（スリット１５の流路幅）は、Ｙ軸方向に沿って一定である。
　第二マニホールド１４の上端５２の高さはＹ軸方向に沿って一定（水平）であり、下端５３の高さもＹ軸方向に沿って一定（水平）である。なお、上端５２は、第一絞り流路１３と第二マニホールド１４との境界線となり、下端５３は、第二マニホールド１４とスリット１５との境界線（稜線）となる。そして、上端５２となる境界線と下端５３となる境界線とは平行である。
　以上のように、図２～図４に示す塗布器１０では、第一マニホールド１２のＹ軸方向に直交する断面における断面積は、Ｙ軸方向の中央部ＣよりもＹ軸方向の端部Ｅの方で小さくなっている（Ｓ１ｅ＜Ｓ１ｃ）。この塗布器１０によれば、第一マニホールド１２の両側の端部Ｅそれぞれで断面積が小さいため、流れる塗布液が少量でも流速が確保され、両側の端部Ｅそれぞれにおける液置換性を良化させることが可能となる。
　第一マニホールド１２において、中央部Ｃと端部Ｅとで断面積（流路断面）が異なっていると、マニホールド内での塗布液の拡幅性が低下して、スリットから吐出される塗布液の流量が中央と端部で異なり、被塗布部材に形成される膜厚の均一性が損なわれる場合があるが、二段のマニホールド１２，１４を有する構成となっていることから、供給口１１から第一マニホールド１２に供給された塗布液は、図２の矢印ｆ１に示すように、第一マニホールド１２においてＹ軸方向の両端に拡幅（分散）され、この第一マニホールド１２に一旦溜められてから絞り流路１３を通過して更に、その隣りの第二マニホールド１４において、図２の矢印ｆ２に示すように、Ｙ軸方向の両側に拡幅（分散）され、塗布液はこの第二マニホールド１４に一旦溜められてからスリット１５より吐出される。このため、スリット１５から吐出される塗布液の吐出状態（流量）を、図２の矢印ｆ３に示すように、Ｙ軸方向全長にわたって可及的に一様とすることができ、基板Ｗに形成される塗膜の膜厚精度が低下するのを防ぐことが可能となる。
　また、この塗布器１０の絞り流路１３では、端部Ｅにおける流路長Ｌ１ｅが、中央部Ｃにおける流路長Ｌ１ｃと同じになっている（Ｌ１ｅ＝Ｌ１ｃ）。特に、絞り流路１３の流路長はＹ軸方向に沿って一定であり、絞り流路１３のＸ軸方向の寸法はＹ軸方向に沿って一定である。このため、絞り流路１３では、Ｚ軸方向に通過する塗布液にとって端部Ｅと中央部Ｃとで流れやすさは同じになる。このため、この絞り流路１３を通過した塗布液は第二マニホールド１４において拡幅を阻害する方向に流れ難くなり、第二マニホールド１４における拡幅の作用（図２の矢印ｆ２に示すようなＹ軸方向両側に塗布液が向かうように流す作用）を維持することができる。この結果、スリット１５から吐出される塗布液の吐出状態（流量）を、図２の矢印ｆ３に示すように、Ｙ軸方向全長にわたって可及的に一様とする機能を高めることができる。
　なお、図示しないが、絞り流路１３では、端部Ｅにおける流路長Ｌ１ｅが、中央部Ｃにおける流路長Ｌ１ｃ以上となっていればよく（Ｌ１ｅ≧Ｌ１ｃ）、これにより、前記のような、絞り流路１３を通過した塗布液が第二マニホールド１４において拡幅を阻害する方向に流れ難くなる。そのメカニズムは次のとおりである。
　すなわち、Ｌ１ｅ≧Ｌ１ｃの関係とは反対に、図１５に示すように、絞り流路１３において、中央部Ｃにおける流路長Ｌ１ｃが、端部Ｅにおける流路長Ｌ１ｅよりも大きくなっている場合（Ｌ１ｃ＞Ｌ１ｅ）、絞り流路１３内をＺ軸方向に流れる際の塗布液の抵抗は、端部Ｅと比較して中央部Ｃの方が大きくなる。このため、この絞り流路１３では、Ｚ軸方向に通過する塗布液にとって中央部Ｃよりも端部Ｅの方が流れ易くなる。すると、絞り流路１３から第二マニホールド１４に流出する塗布液は、中央部Ｃよりも端部Ｅにおいて多くなり、第二マニホールド１４において、端部Ｅに流れこんだ塗布液が、矢印ｆ１２に示すように、中央部Ｃに向かって流れる成分が強くなり、塗布液の拡幅の作用を低下させてしまう。この場合、スリット１５を通過する塗布液は、中央部Ｃと比べて端部Ｅにおいて減少し、基板Ｗに形成される塗膜がＹ軸方向に一定とならないおそれがある。
　しかし、前記のとおり絞り流路１３の流路長をＬ１ｅ≧Ｌ１ｃの関係とすれば、第二マニホールド１４における拡幅の作用を維持することができる。この結果、スリット１５から吐出される塗布液の吐出状態（流量）を、Ｙ軸方向全長にわたって可及的に一様として、Ｙ軸方向に均一の塗膜を形成することが可能となる。
〔塗布器１０（その１）の変形例〕
　図３及び図４に示す形態では、塗布器１０を構成する分割体１０ａ，１０ｂの双方に凹部（１０ｃ－１，１０ｃ－２及び１０ｄ－１，１０ｄ－２）が形成されているが、図５及び図６に示すように、分割体１０ａ，１０ｂのいずれか一方のみに凹部１０ｄ－１，１０ｄ－２が形成され、この凹部１０ｄ－１，１０ｄ－２によって第一マニホールド１２及び第二マニホールド１４が構成されていてもよい。その他の構成については、図２～図４に示す形態の構成と同じであり、ここでは説明を省略する。
〔塗布器１１０の構成（その２）〕
　図７は、他の形態の塗布器１１０を正面から（Ｘ軸方向に沿って）見た場合の断面図である。図８は、図７に示す塗布器１１０のＡ８矢視の断面図である。図９は、図７に示す塗布器１１０のＡ９矢視の断面図である。つまり、図８は塗布器１１０のＹ軸方向の中央部Ｃにおける断面図であり、図９は塗布器１１０のＹ軸方向の端部Ｅにおける断面図である。この塗布器１１０は、送液手段３０（図１参照）から塗布液が供給される供給口１１１と、Ｙ軸方向に長く形成され基板Ｗに対して塗布液を吐出するスリット１１７と、三つのマニホールド１１２，１１４，１１６を有している。供給口１１１と繋がるマニホールドが第一マニホールド１１２であり、その下流側に隣りのマニホールドが第二マニホールド１１４であり、その下流側に隣りであってスリット１１７と繋がるマニホールドが第三マニホールド１１６である。第一マニホールド１１２と第二マニホールド１１４との間に第一絞り流路１１３が設けられており、第二マニホールド１１４と第三マニホールド１１６との間に第二絞り流路１１５が設けられている。この塗布器１１０は、三段のマニホールド１１２，１１４，１１６と、二段の絞り流路１１３，１１５とを有する。
　塗布器１１０はＹ軸方向に長く構成されており、マニホールド１１２，１１４，１１６それぞれについても、Ｙ軸方向に長く形成されている。供給口１１１は、第一マニホールド１１２とＹ軸方向の中央において開口することで、供給口１１１と第一マニホールド１１２とは繋がっている。
　第一絞り流路１１３は、隣り合う第一マニホールド１１２と第二マニホールド１１４との間を繋ぐ流路であり、Ｙ軸方向に長く、かつ、Ｘ軸方向についてはマニホールド１１２，１１４よりも狭い形状を有している。
　第二絞り流路１１５は、隣り合う第二マニホールド１１４と第三マニホールド１１６との間を繋ぐ流路であり、Ｙ軸方向に長く、かつ、Ｘ軸方向についてはマニホールド１１４，１１６よりも狭い形状を有している。
　塗布液を吐出するスリット１１７についても、Ｙ軸方向に長く、かつ、Ｘ軸方向についてはマニホールド１１２，１１４，１１６よりも狭い形状を有している。本実施形態では、マニホールド１１２，１１４，１１６、絞り流路１１３，１１５及びスリット１１７は、Ｙ軸方向に同じ長さとなっている（図７参照）。
　図８及び図９に示すように、第一マニホールド１１２のＹ軸方向に直交する断面における断面積は、Ｙ軸方向の中央部Ｃ（図８参照）よりもＹ軸方向の端部Ｅ（図９参照）の方が小さくなっている。つまり、第一マニホールド１１２に関して、Ｙ軸方向両側それぞれに位置する端部Ｅの断面積Ｓ１ｅは、中央部Ｃの断面積Ｓ１ｃよりも小さくなっている（Ｓ１ｅ＜Ｓ１ｃ）。
　図７に示すように、第一マニホールド１１２の高さ方向の寸法Ｈ１（つまり、Ｚ軸方向の寸法Ｈ１）は、Ｙ軸方向の全長にわたって一定となっている。なお、第一マニホールド１１２の上端１５０の高さはＹ軸方向に沿って一定（水平）であり、下端１５１の高さもＹ軸方向に沿って一定（水平）である。下端１５１は、第一マニホールド１１２と第一絞り流路１１３との境界線（稜線）となる。そして、第一マニホールド１１２の上端１５０を構成する直線と、下端１５１を構成する直線（前記境界線）とは平行となっている。そこで、断面積に関して前記のＳ１ｅ＜Ｓ１ｃを満たすために、図８及び図９に示すように、第一マニホールド１１２の端部ＥにおけるＸ軸方向の寸法（奥行き寸法）Ｄ１ｅは、第一マニホールド１１２の中央部ＣにおけるＸ軸方向の寸法（奥行き寸法）Ｄ１ｃよりも小さくなっている（Ｄ１ｅ＜Ｄ１ｃ）。本実施形態では、中央部Ｃから両側の端部Ｅそれぞれに向かって徐々に第一マニホールド１１２のＸ軸方向の寸法が小さくなるように変化している。これにより、第一マニホールド１１２の断面積は、中央部Ｃから両側の端部Ｅそれぞれに向かって徐々に小さくなるように変化する構成となっている。
　本実施形態では、第二マニホールド１１４及び第三マニホールド１１６それぞれについても第一マニホールド１１２と同様の形状となっている。すなわち、第二マニホールド１１４（第三マニホールド１１６）のＹ軸方向に直交する断面における断面積は、Ｙ軸方向の中央部Ｃ（図８参照）よりもＹ軸方向の端部Ｅ（図９参照）の方が小さくなっている。つまり、第二マニホールド１１４（第三マニホールド１１６）に関して、Ｙ軸方向両側それぞれに位置する端部Ｅの断面積Ｓ２ｅ（Ｓ３ｅ）は、中央部Ｃの断面積Ｓ２ｃ（Ｓ３ｃ）よりも小さくなっている（Ｓ２ｅ＜Ｓ２ｃ、Ｓ３ｅ＜Ｓ３ｃ）。
　図７に示すように、第二マニホールド１１４の高さ方向の寸法Ｈ２（つまり、Ｚ軸方向の寸法Ｈ２）は、Ｙ軸方向の全長にわたって一定となっている。そこで、第二マニホールド１１４の断面積に関して前記Ｓ２ｅ＜Ｓ２ｃを満たすために、図８及び図９に示すように、第二マニホールド１１４の端部ＥにおけるＸ軸方向の寸法（奥行き寸法）Ｄ２ｅは、第二マニホールド１１４の中央部ＣにおけるＸ軸方向の寸法（奥行き寸法）Ｄ２ｃよりも小さくなっている（Ｄ２ｅ＜Ｄ２ｃ）。本実施形態では、中央部Ｃから両側の端部Ｅそれぞれに向かって徐々に第二マニホールド１１４のＸ軸方向の寸法が小さくなるように変化している。これにより、第二マニホールド１１４の断面積は、中央部Ｃから両側の端部Ｅそれぞれに向かって徐々に小さくなるように変化する構成となっている。
　また、図７に示すように、第二マニホールド１１４と同様に、第三マニホールド１１６の高さ方向の寸法Ｈ３（つまり、Ｚ軸方向の寸法Ｈ３）は、Ｙ軸方向の全長にわたって一定となっている。そこで、第三マニホールド１１６の断面積に関して前記Ｓ３ｅ＜Ｓ３ｃを満たすために、図８及び図９に示すように、第三マニホールド１１６の端部ＥにおけるＸ軸方向の寸法（奥行き寸法）Ｄ３ｅは、第三マニホールド１１６の中央部ＣにおけるＸ軸方向の寸法（奥行き寸法）Ｄ３ｃよりも小さくなっている（Ｄ３ｅ＜Ｄ３ｃ）。本実施形態では、中央部Ｃから両側の端部Ｅそれぞれに向かって徐々に第三マニホールド１１６のＸ軸方向の寸法が小さくなるように変化している。これにより、第三マニホールド１１６の断面積は、中央部Ｃから両側の端部Ｅそれぞれに向かって徐々に小さくなるように変化する構成となっている。
　図７において、第一絞り流路１１３では、端部Ｅにおける流路長Ｌ１ｅと、中央部Ｃにおける流路長Ｌ１ｃとが同じとなっている（Ｌ１ｅ＝Ｌ１ｃ）。本実施形態では、Ｙ軸方向の全長にわたって第一絞り流路１１３の流路長は一定となっている。なお、前記流路長（Ｌ１ｅ、Ｌ１ｃ）は、上流側の第一マニホールド１１２から、その隣りの第二マニホールド１１４へ向かう方向、つまり、Ｚ軸方向の長さである。また、第一絞り流路１１３のＸ軸方向の寸法（絞り流路１３の流路幅）は、Ｙ軸方向に沿って一定である。
　また、第二絞り流路１１５では、端部Ｅにおける流路長Ｌ２ｅと、中央部Ｃにおける流路長Ｌ２ｃとが同じとなっている（Ｌ２ｅ＝Ｌ２ｃ）。本実施形態では、Ｙ軸方向の全長にわたって第二絞り流路１１５の流路長は一定となっている。なお、前記流路長（Ｌ２ｅ、Ｌ２ｃ）は、第二マニホールド１１４から、その隣りの第三マニホールド１１６へ向かう方向、つまり、Ｚ軸方向の長さである。また、第二絞り流路１１５のＸ軸方向の寸法（絞り流路１３の流路幅）は、Ｙ軸方向に沿って一定である。
　スリット１１７では、端部Ｅにおける流路長Ｍｅと、中央部Ｃにおける流路長Ｍｃとが同じとなっている（Ｍｅ＝Ｍｃ）。本実施形態では、Ｙ軸方向の全長にわたってスリット１１７の流路長は一定となっている。また、スリット１１７のＸ軸方向の寸法（スリット１５の流路幅）は、Ｙ軸方向に沿って一定である。
　第二マニホールド１１４の上端１５２の高さはＹ軸方向に沿って一定（水平）であり、下端１５３の高さもＹ軸方向に沿って一定（水平）である。上端１５２は、第一絞り流路１１３と第二マニホールド１１４との境界線（稜線）となり、下端１５３は、第二マニホールド１１４と第二絞り流路１１５との境界線（稜線）となる。上端１５２となる境界線と、下端１５３となる境界線とは平行である。
　また、第三マニホールド１１６の上端１５４の高さはＹ軸方向に沿って一定（水平）であり、下端１５５の高さもＹ軸方向に沿って一定（水平）である。上端１５４は、第二絞り流路１１５と第三マニホールド１１６との境界線となり、下端１５５は、第三マニホールド１１６とスリット１１７との境界線（稜線）となる。上端１５４となる境界線と、下端１５５となる境界線とは平行である。
　以上のように、図７～図９に示す塗布器１１０では、第一マニホールド１１２のＹ軸方向に直交する断面における断面積は、Ｙ軸方向の中央部ＣよりもＹ軸方向の端部Ｅの方で小さくなっている（Ｓ１ｅ＜Ｓ１ｃ）。この塗布器１１０によれば、第一マニホールド１１２の両側の端部Ｅそれぞれで断面積が小さいため、流れる塗布液が少量でも流速が確保され、両側の端部Ｅそれぞれにおける液置換性を良化させることが可能となる。
　第一マニホールド１１２において、中央部Ｃと端部Ｅとで断面積（流路断面）が異なっていると、マニホールド内での塗布液の拡幅性が低下して、スリットから吐出される塗布液の流量が中央と端部で異なり、被塗布部材に形成される膜厚の均一性が損なわれる場合があるが、三段のマニホールド１１２，１１４，１１６を有する構成となっていることから、供給口１１１から第一マニホールド１１２に供給された塗布液は、図７の矢印ｆ１に示すように、第一マニホールド１１２においてＹ軸方向の両側に拡幅（分散）され、この第一マニホールド１２に一旦溜められてから第一絞り流路１１３を通過して更に、その隣りの第二マニホールド１１４において、図７の矢印ｆ２に示すように、Ｙ軸方向の両側に拡幅（分散）され、塗布液はこの第二マニホールド１１４に一旦溜められる。そして、この第二マニホールド１１４から塗布液は、第二絞り流路１１５を通過して更に、その隣りの第三マニホールド１１６において、図７の矢印ｆ３に示すように、Ｙ軸方向の両側に拡幅（分散）され、塗布液はこの第三マニホールド１１６に一旦溜められてからスリット１１７より吐出される。このため、スリット１１７から吐出される塗布液の吐出状態（流量）を、図７の矢印ｆ４に示すように、Ｙ軸方向全長にわたって可及的に一様とすることができ、基板Ｗに形成される塗膜の膜厚精度が低下するのを防ぐことが可能となる。
　また、この塗布器１０の第一絞り流路１１３では、端部Ｅにおける流路長Ｌ１ｅが、中央部Ｃにおける流路長Ｌ１ｃと同じになっている（Ｌ１ｅ＝Ｌ１ｃ）。特に、第一絞り流路１１３の流路長はＹ軸方向に沿って一定であり、第一絞り流路１１３のＸ軸方向の寸法はＹ軸方向に沿って一定である。このため、第一絞り流路１１３では、Ｚ軸方向に通過する塗布液にとって端部Ｅと中央部Ｃとで流れやすさは同じになる。このため、この絞り流路１１３を通過した塗布液は第二マニホールド１１４において拡幅を阻害する方向に流れ難くなり、第二マニホールド１１４における拡幅の作用（図７の矢印ｆ２に示すようなＹ軸方向両側に塗布液が向かうように流す作用）を維持することができる。更に、第二マニホールド１１４の下流側に第三マニホールド１１６が設けられていることから、図７の矢印ｆ３に示すように、この第三マニホールド１１６においても塗布液の拡幅が行われ、この結果、スリット１１７から吐出される塗布液の吐出状態（流量）を、図７の矢印ｆ４に示すように、Ｙ軸方向全長にわたって可及的に一様とする機能を高めることができる。
　また、第二絞り流路１１５では、端部Ｅにおける流路長Ｌ２ｅが、中央部Ｃにおける流路長Ｌ２ｃと同じになっている（Ｌ２ｅ＝Ｌ２ｃ）。特に、第二絞り流路１１５の流路長はＹ軸方向に沿って一定であり、第二絞り流路１１５のＸ軸方向の寸法はＹ軸方向に沿って一定である。このため、第二絞り流路１１５では、Ｚ軸方向に通過する塗布液にとって端部Ｅと中央部Ｃとで流れやすさは同じになる。
　なお、図２に示す前記塗布器１０（その１）の場合と同様に、この図７に示す塗布器１０（その２）の形態において、図示しないが、第一絞り流路１１３では、端部Ｅにおける流路長Ｌ１ｅが、中央部Ｃにおける流路長Ｌ１ｃ以上となっていればよく（Ｌ１ｅ≧Ｌ１ｃ）、これにより、前記のような、第一絞り流路１１３を通過した塗布液が第二マニホールド１１４において拡幅を阻害する方向に流れ難くなる。そのメカニズムは、前記の塗布器１０（その１）の場合において説明したメカニズムと同じであり、ここでは省略する。また、第二絞り流路１１５では、端部Ｅにおける流路長Ｌ２ｅが、中央部Ｃにおける流路長Ｌ２ｃ以上となっていてもよい（Ｌ２ｅ≧Ｌ２ｃ）。
〔塗布器１１０（その２）の変形例１〕
　図８及び図９に示す形態では、塗布器１１０を構成する分割体１１０ａ，１１０ｂの双方に凹部が形成されているが、図１０及び図１１に示すように、分割体１１０ａ，１１０ｂのいずれか一方のみに凹部１１０ｄ－１，１１０ｄ－２，１１０ｄ－３が形成され、この凹部１１０ｄ－１，１１０ｄ－２，１１０ｄ－３によって第一マニホールド１１２、第二マニホールド１１４及び第三マニホールド１１６が構成されていてもよい。その他の構成については、図７～図９に示す形態の構成と同じであり、ここでは説明を省略する。
〔塗布器１１０（その２）の変形例２〕
　図１２は、塗布器１１０を正面から（Ｘ軸方向に沿って）見た場合の断面図である。図１３は、図１２に示す塗布器１１０のＡ１３矢視の断面図である。図１４は、図１２に示す塗布器１１０のＡ１４矢視の断面図である。つまり、図１３は塗布器１１０のＹ軸方向の中央部Ｃにおける断面図であり、図１４は塗布器１１０のＹ軸方向の端部Ｅにおける断面図である。この塗布器１１０は、図７から図９に示す塗布器１１０と同様に、三段のマニホールド１１２，１１４，１１６と、二段の絞り流路１１３，１１５とを有している。
　図１２に示す塗布器１１０においても、図７に示す塗布器１１０と同様に、第一マニホールド１１２のＹ軸方向に直交する断面における断面積は、Ｙ軸方向の中央部Ｃ（図１３参照）よりもＹ軸方向の端部Ｅ（図１４参照）の方が小さくなっている。つまり、第一マニホールド１１２に関して、Ｙ軸方向両側それぞれに位置する端部Ｅの断面積Ｓ１ｅは、中央部Ｃの断面積Ｓ１ｃよりも小さくなっている（Ｓ１ｅ＜Ｓ１ｃ）。
　図１２に示す形態では、第一マニホールド１１２の高さ方向の寸法Ｈ（つまり、Ｚ軸方向の寸法Ｈ）は、Ｙ軸方向の位置に応じて変化している。具体的には、中央部ＣからＹ軸方向の両側の端部Ｅそれぞれに向かうにしたがって、高さ方向の寸法Ｈが大きくなっている。第一マニホールド１１２の上端１５０の高さはＹ軸方向に沿って一定（水平）であるが、下端１５１の高さが中央部Ｃから両側の端部Ｅそれぞれに向かって低くなっている。下端１５１は、第一マニホールド１１２と第一絞り流路１１３との境界線（稜線）となる。そこで、第一マニホールド１１２の断面積に関して前記Ｓ１ｅ＜Ｓ１ｃを満たすために、図１３及び図１４に示すように、第一マニホールド１１２の端部ＥにおけるＸ軸方向の寸法（奥行き寸法）Ｄ１ｅは、第一マニホールド１１２の中央部ＣにおけるＸ軸方向の寸法（奥行き寸法）Ｄ１ｃよりも、高さ方向の寸法Ｈ（図１２参照）の変化の割合よりも大きな変化の割合で、小さくなっている。本実施形態では、中央部Ｃから両側の端部Ｅそれぞれに向かって徐々に第一マニホールド１１２のＸ軸方向及びＺ軸方向それぞれの寸法が変化しており、これにより、第一マニホールド１１２の断面積は、中央部Ｃから両側の端部Ｅそれぞれに向かって徐々に小さくなるように変化する構成となっている。
　そして、第二マニホールド１１４（第三マニホールド１１６）のＹ軸方向に直交する断面における断面積についても、Ｙ軸方向の中央部Ｃ（図１３参照）よりもＹ軸方向の端部Ｅ（図１４参照）の方が小さくなっている。つまり、第二マニホールド１１４（第三マニホールド１１６）に関して、Ｙ軸方向両側それぞれに位置する端部Ｅの断面積Ｓ２ｅ（Ｓ３ｅ）は、中央部Ｃの断面積Ｓ２ｃ（Ｓ３ｃ）よりも小さくなっている（Ｓ２ｅ＜Ｓ２ｃ、Ｓ３ｅ＜Ｓ３ｃ）。
　図１２に示すように、第一絞り流路１１３では、端部Ｅにおける流路長Ｌ１ｅと、中央部Ｃにおける流路長Ｌ１ｃとが同じとなっている（Ｌ１ｅ＝Ｌ１ｃ）。本実施形態では、第一マニホールド１１２の下端１５１は、中央部Ｃから端部Ｅに向かうにしたがって低くなるように傾斜していることから、前記Ｌ１ｅ＝Ｌ１ｃを確保するために、第二マニホールド１１４の上端（第一絞り流路１１３との境界線）１５２についても、中央部Ｃから端部Ｅに向かうにしたがって低くなるように傾斜している。これにより、Ｙ軸方向の全長にわたって第一絞り流路１１３の流路長は一定となっている。前記流路長（Ｌ１ｅ、Ｌ１ｃ）は、Ｚ軸方向の長さである。
　また、第二絞り流路１１５では、端部Ｅにおける流路長Ｌ２ｅと、中央部Ｃにおける流路長Ｌ２ｃとが同じとなっている（Ｌ２ｅ＝Ｌ２ｃ）。本実施形態では、第二マニホールド１１４の下端（第二絞り流路１１５との境界線）１５３は、中央部Ｃから端部Ｅに向かうにしたがって低くなるように傾斜していることから、前記Ｌ２ｅ＝Ｌ２ｃを確保するために、第三マニホールド１１６の上端（第二絞り流路１１５との境界線）１５４についても、中央部Ｃから端部Ｅに向かうにしたがって低くなるように傾斜している。これにより、Ｙ軸方向の全長にわたって第二絞り流路１１５の流路長は一定となっている。前記流路長（Ｌ２ｅ、Ｌ２ｃ）は、Ｚ軸方向の長さである。
　スリット１１７では、端部Ｅにおける流路長Ｍｅと、中央部Ｃにおける流路長Ｍｃとが同じとなっている（Ｍｅ＝Ｍｃ）。本実施形態では、Ｙ軸方向の全長にわたってスリット１１７の流路長は一定となっている。また、スリット１１７のＸ軸方向の寸法（スリット１５の流路幅）は、Ｙ軸方向に沿って一定である。
〔各形態の塗布器１０に関して〕
　以上のように、前記各形態の塗布器１０（１１０）では、供給口１１と繋がる最も上流側に位置する第一マニホールド１２（１１２）の断面積が、中央部Ｃから端部Ｅに向かって小さくなっている。つまり、第一マニホールド１２（１１２）は中央部Ｃから両側の端部Ｅそれぞれに向かって絞られた形状を有している。これにより、第一マニホールド１２（１１２）の端部Ｅにおける液置換性を良化させることが可能となる。
　第一マニホールド１２（１１２）において中央部Ｃと端部Ｅとで断面積（流路断面）が異なっていると、それぞれにおいて塗布液の流れの様子が異なる場合があるが、マニホールドが多段となっていることから、スリット１５（１１７）から吐出される塗布液の吐出状態（流量）をＹ軸方向全長にわたって可及的に一様とすることができ、基板Ｗに形成される塗膜の膜厚精度が低下するのを防ぐことが可能となる。
　更に、絞り流路１３（第一絞り流路１１３）では、端部Ｅにおける流路長Ｌ１ｅが中央部における流路長Ｌ１ｃ以上（Ｌ１ｅ≧Ｌ１ｃ）となっているので、通過する塗布液にとって端部Ｅと中央部Ｃとで流れやすさは同じ、又は、端部Ｅでは中央部Ｃと比べて流れにくくなる。このため、この絞り流路１３を通過した塗布液は第二マニホールド１４（１１４）において拡幅を阻害する方向に流れ難くなる。つまり、第二マニホールド１４（１１４）における拡幅の作用を維持することができる。この結果、スリット１５（１１７）から吐出される塗布液の吐出状態（流量）をＹ軸方向全長にわたって可及的に一様とする機能を高めることができる。
　また、前記各形態において、第一マニホールド１２（１１２）のみならず、他のマニホールド１４（１１４，１１６）それぞれにおいて（つまり、すべてのマニホールドにおいて）Ｙ軸方向に直交する断面における断面積が、Ｙ軸方向の中央部ＣよりもＹ軸方向の端部Ｅの方で小さくなっている。このため、複数のマニホールドそれぞれにおいて端部Ｅにおける液置換性を良化させることが可能となる。
　更に、図７及び図１２に示す形態の場合、三つのマニホールド１１２，１１４，１１６が設けられており、これらマニホールド１１２，１１４，１１６の数よりも一つ少ない二つの絞り流路１１３，１１５が設けられている。そして、これら絞り流路１１３，１１５それぞれにおいて、端部Ｅにおける流路長が、中央部Ｃにおける流路長以上となっている。このため、第一絞り流路１１３を通過した塗布液は、第二マニホールド１１４において拡幅を阻害する方向に流れ難くなり、また、第二絞り流路１１５を通過した塗布液は、第三マニホールド１１６において拡幅を阻害する方向に流れ難くなる。つまり、第二マニホールド１１４及び第三マニホールド１１６それぞれにおける拡幅の作用を維持することができる。この結果、スリット１１７から吐出される塗布液の吐出状態（流量）をＹ軸方向全長にわたって可及的に一様とする機能を高めることができる。
　また、図２及び図７に示す形態では、第一マニホールド１２（１１２）の上端５０の高さがＹ軸方向に沿って一定（水平）であり、かつ、この第一マニホールド１２（１１２）の高さ方向の寸法Ｈ１は、Ｙ軸方向の全長にわたって一定となっている。そして、絞り流路１３（１１３）の端部Ｅにおける流路長Ｌ１ｅが、中央部Ｃにおける流路長Ｌ１ｃと同じである（Ｙ軸方向の全長にわたって同じである）。この構成によれば、第一マニホールド１２（１１２）において塗布液が両側へ広がる作用（拡幅作用）によって、このマニホールド１２（１１２）に混入している気泡を両端部Ｅに集め易くなる。そして、前記のとおり、絞り流路１３（１１３）の端部Ｅにおける流路長Ｌ１ｅが、中央部Ｃにおける流路長Ｌ１ｃと同じであることから、第二マニホールド１４（１１４）の上端５２（１５２）の高さがＹ軸方向に沿って一定（水平）となる。したがって、第二マニホールド１４（１１４）において塗布液が両側へ広がる作用（拡幅作用）によって、このマニホールド１４（１１４）に混入している気泡を両端部Ｅに集め易くなる。
　このため、これらマニホールド１２，１４（１１２，１１４）それぞれの両端部Ｅにエアを排出するためのエア抜き孔を設けることで、エアを塗布器１０（１１０）の外へ排出し易くなる。
〔付記〕
　以上のとおり開示した実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。つまり、本発明の塗布器及び塗布装置は、図示する形態に限らず本発明の範囲内において他の形態のものであってもよい。
　例えば、前記各形態では、すべてのマニホールドにおいて、Ｙ軸方向の端部Ｅ側で断面が絞られる形状としたが、この形状は少なくとも第一マニホールド１２（１１２）において採用されていればよく、第二マニホールド（第三マニホールド）では、Ｙ軸方向に沿って断面が同じ（変化しない）ようにしてもよい。
　また、前記実施形態では、移動手段４０が、基板Ｗに対して塗布器１０を移動させる場合について説明したが、移動手段４０は、塗布器１０と基板Ｗとを、基板Ｗの被塗布面に平行な方向に相対移動させる構成であればよく、図示しないが、固定状態にある塗布器１０に対してステージ５（基板Ｗ）を移動させる構成であってもよい。
　また、前記実施形態では、被塗布部材を枚葉状の基板Ｗとしたが、枚葉状ではなく連続した部材（ロールｔｏロールで送られる被塗布部材）としてもよい。この場合、ステージ５は省略される。また、塗布装置１が行う塗布は、被塗布部材に対して複数の塗膜を形成する間欠塗布であってもよい。
　１０：塗布器　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１１：供給口
　１２：第一マニホールド（上流側マニホールド）　　　１３：絞り流路
　１４：第二マニホールド（上流側マニホールド）　　　１５：スリット
　１６：吐出口　　　　　　　　　　　　　　　　　　　３０：送液手段
　４０：移動手段　　　　　　　　　　　　　　　　　　５０：上端
　５１：下端　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　５２：上端
　５３：下端　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１１１：供給口
　１１２：第一マニホールド（上流側マニホールド）　　１１３：絞り流路
　１１４：第二マニホールド　　　　　　　　　　　　　１１５：絞り流路
　１１６：第三マニホールド（下流側マニホールド）　　１１７：スリット
　１５０：上端　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１５１：下端
　１５２：上端　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１５３：下端
　１５４：上端　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１５５：下端
　Ｃ：中央部　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　Ｅ：端部
　Ｌ１ｃ：流路長　　　　　　　　　　　　　　　　　　Ｌ２ｃ：流路長
　Ｌ１ｅ：流路長　　　　　　　　　　　　　　　　　　Ｌ２ｅ：流路長
　Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３：高さ寸法　　　　　　　　　　　　Ｗ：基板（被塗布部材）

Claims (6)

  1. 　塗布液が供給される供給口と、
    　一方向に長く形成され塗布液を吐出するスリットと、
    　前記供給口と繋がる上流側マニホールド、及び、前記スリットと繋がる下流側マニホールドを少なくとも含み、前記一方向に長く形成されている複数のマニホールドと、
    　隣り合う前記マニホールド間を繋ぐ前記一方向に長い絞り流路と、
    　を有し、
    　前記供給口は前記上流側マニホールドと前記一方向の中央において繋がっており、
    　前記上流側マニホールドの前記一方向に直交する断面における断面積は、当該一方向の中央部よりも前記一方向の端部の方で小さくなっており、
    　前記上流側マニホールドと当該上流側マニホールドの隣りの前記マニホールドとの間を繋ぐ前記絞り流路では、前記端部における流路長が、前記中央部における流路長以上となっている、塗布器。
  2. 　前記絞り流路の前記端部における流路長は、前記中央部における流路長と同じである、請求項１に記載の塗布器。
  3. 　前記上流側マニホールドの上端の高さは前記一方向に沿って一定であり、かつ、当該上流側マニホールドの高さ方向の寸法は、前記一方向の全長にわたって一定である、請求項２に記載の塗布器。
  4. 　前記複数のマニホールドそれぞれにおいて、前記一方向に直交する断面における断面積は、前記一方向の中央部よりも前記一方向の端部の方で小さくなっている、請求項１～３のいずれか一項に記載の塗布器。
  5. 　前記マニホールドは三つ以上設けられており、前記絞り流路が当該マニホールドの数よりも一つ少ない数について設けられている場合、当該絞り流路それぞれにおいて、前記端部における流路長は、前記中央部における流路長以上となっている請求項１～４のいずれか一項に記載の塗布器。
  6. 　被塗布部材に対して塗布液を吐出する塗布器と、前記塗布器に塗布液を送る送液手段と、前記塗布器と前記被塗布部材とを相対的に移動させる移動手段と、を備え、
    　前記塗布器が、請求項１～５のいずれか一項に記載の塗布器である、塗布装置。
PCT/JP2017/019354 2016-06-22 2017-05-24 塗布器及び塗布装置 WO2017221621A1 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201780037579.0A CN109311047A (zh) 2016-06-22 2017-05-24 涂布器和涂布装置
KR1020187032894A KR20190019054A (ko) 2016-06-22 2017-05-24 도포기 및 도포 장치

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016123695A JP6655479B2 (ja) 2016-06-22 2016-06-22 塗布器及び塗布装置
JP2016-123695 2016-06-22

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2017221621A1 true WO2017221621A1 (ja) 2017-12-28

Family

ID=60784299

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2017/019354 WO2017221621A1 (ja) 2016-06-22 2017-05-24 塗布器及び塗布装置

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP6655479B2 (ja)
KR (1) KR20190019054A (ja)
CN (1) CN109311047A (ja)
TW (1) TW201801801A (ja)
WO (1) WO2017221621A1 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115106247B (zh) * 2021-03-23 2024-01-30 株式会社泰珂洛 涂布装置
CN113171889B (zh) * 2021-04-27 2022-07-12 常州瑞择微电子科技有限公司 水帘喷头

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000288453A (ja) * 1999-04-05 2000-10-17 Toppan Printing Co Ltd 塗布装置
JP2003024857A (ja) * 2001-07-18 2003-01-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd ノズル、塗布方法、及びスリット長調節方法
JP2003154302A (ja) * 2001-11-21 2003-05-27 Dainippon Printing Co Ltd 塗工装置
JP2007190456A (ja) * 2006-01-17 2007-08-02 Konica Minolta Medical & Graphic Inc 積層体の製造装置
JP2014061501A (ja) * 2012-09-24 2014-04-10 Toray Ind Inc 塗布装置及び塗布方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0550004A (ja) * 1991-08-24 1993-03-02 Hitachi Maxell Ltd 塗布液の塗布方法および塗布装置
JP3393566B2 (ja) * 1995-03-31 2003-04-07 花王株式会社 塗布方法
KR101304418B1 (ko) * 2006-02-03 2013-09-05 삼성디스플레이 주식회사 표시장치 제조용 슬릿 코터와 이를 이용한 표시장치의제조방법
JP5223223B2 (ja) 2007-03-30 2013-06-26 大日本印刷株式会社 ダイヘッド
DE102011082630A1 (de) * 2011-09-13 2013-03-14 Acino Ag Messergießer für hochviskose Beschichtungsmassen

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000288453A (ja) * 1999-04-05 2000-10-17 Toppan Printing Co Ltd 塗布装置
JP2003024857A (ja) * 2001-07-18 2003-01-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd ノズル、塗布方法、及びスリット長調節方法
JP2003154302A (ja) * 2001-11-21 2003-05-27 Dainippon Printing Co Ltd 塗工装置
JP2007190456A (ja) * 2006-01-17 2007-08-02 Konica Minolta Medical & Graphic Inc 積層体の製造装置
JP2014061501A (ja) * 2012-09-24 2014-04-10 Toray Ind Inc 塗布装置及び塗布方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN109311047A (zh) 2019-02-05
TW201801801A (zh) 2018-01-16
JP2017225930A (ja) 2017-12-28
JP6655479B2 (ja) 2020-02-26
KR20190019054A (ko) 2019-02-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101736798B1 (ko) 기판에 유체막을 도포하는 코팅 도구
JP6068271B2 (ja) 塗布器、及び塗布装置
JP6280383B2 (ja) 電池用極板の製造装置
WO2017221621A1 (ja) 塗布器及び塗布装置
US8627782B2 (en) Method for coating with coating liquid, coating apparatuses for use therein, and method for designing the same
KR20160115707A (ko) 슬릿 노즐, 도포 방법, 및 도포 장치
TWI664025B (zh) Applicator, coating device and coating method
WO2021181968A1 (ja) スリットダイ
JP6215098B2 (ja) 電池用極板の製造装置
JP2011036856A (ja) カーテン式塗布機
JP2016167402A (ja) 電池用極板の製造装置
JP2014160564A (ja) 電池用極板の製造装置及びその製造方法
CN106605320B (zh) 电池用极板的制造装置
CN110997159B (zh) 涂敷装置及涂敷方法
CN105983511A (zh) 涂布装置和涂布方法
JP6397683B2 (ja) 電池用極板の製造装置
CN110813633B (zh) 涂布工具
WO2012121026A1 (ja) 塗布装置及び塗布方法
JP5983477B2 (ja) 塗布工具
CN112295757A (zh) 涂布喷嘴及涂布装置
US8821148B2 (en) Sheet forming apparatus for use with doctor blade
JP2017104793A (ja) 塗布装置および塗布方法
JP5292192B2 (ja) インク吐出ヘッドおよびそれを備えるインク吐出装置
JP2016022440A (ja) 塗工装置及び塗工方法
JP2016038936A (ja) 電池用極板の製造装置

Legal Events

Date Code Title Description
ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20187032894

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 17815090

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 17815090

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1