TW201801801A - 塗布器及塗布裝置 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種即便優化塗布器之歧管之端部處之液體置換性，亦不會降低形成於被塗布構件之塗膜之膜厚精度的塗布器。 本發明之塗布器10具有：供給口11，其被供給塗布液；狹縫15，其於一方向上較長地形成，且噴出塗布液；第一歧管12，其與供給口11相連；第二歧管14，其與狹縫15相連；及節流流路13，其連接該等歧管12、14之間，且於一方向上較長。供給口11與第一歧管12於中央相連。第一歧管之與一方向正交之剖面之截面面積係於一方向之端部E較於中央部C變小。於連接第一歧管12與第二歧管14之間之節流流路13中，端部E處之流路長度L1e為中央部C處之流路長度L1c以上。

Description

塗布器及塗布裝置

本發明關於一種噴出塗布液之塗布器、及具備該塗布器之塗布裝置。

作為用於向玻璃基板或膜等被塗布構件塗布塗布液之裝置，例如已知有專利文獻1所記載之塗布裝置，該塗布裝置具備形成有噴出塗布液之狹縫之塗布器。該塗布裝置除上述塗布器以外，具備向該塗布器輸送塗布液之送液機構、及使塗布器與被塗布構件相對移動之移動機構。 塗布器於一方向(以下稱為Y軸方向)上較長地構成，狹縫亦沿Y軸方向較長地形成。於該塗布器，進而設置有被自上述送液機構供給塗布液之供給口、及與該供給口相連之於Y軸方向上較長之歧管(模穴)，且狹縫之一端側(下游側)為與被塗布構件對向之噴出口，狹縫之另一端側(上游側)與歧管相連。 上述供給口與歧管於Y軸方向之中央部相連，自該供給口向歧管供給之塗布液朝向Y軸方向之兩側擴寬(分散)，於歧管內暫時積存之後(成為充滿狀態之後)通過狹縫，自噴出口對被塗布構件噴出。該噴出之動作係一面藉由上述移動機構使塗布器與被塗布構件相對移動、一面進行，藉此，能夠在被塗布構件形成塗膜。 [先前技術文獻] [專利文獻] [專利文獻1]日本專利特開2008-246464號公報

[發明所欲解決之問題] 如上所述，供給口與歧管及Y軸方向之中央部相連。因此，若歧管於Y軸方向上變得特別長，則存在自供給口流入歧管之塗布液未充分地擴寬至Y軸方向之兩端部之情形。於此情形時，在歧管之Y軸方向之兩端部，塗布液常常滯留，而使歧管端部處之液體置換性變差。若在塗布器內液體置換性較差，則存在黏性變高或劣化等塗布液改性之虞，由此有對形成於被塗布構件之塗膜產生不良影響之情形。 對此，可考慮藉由改變歧管之形狀而提高液體置換性。然而，若改變歧管之形狀，則可預測由此引起歧管中之塗布液之流動情況發生變化。若歧管中之塗布液之流動情況發生變化，則有該變化對狹縫中之塗布液之流動產生影響而降低形成於被塗布構件之塗膜之膜厚精度之虞。例如，若為了優化歧管之Y軸方向之兩端部處之液體置換性而設為用於提高該兩端部處之流速之構成，則產生由於歧管內之流速發生變化而對自狹縫噴出之塗布液之流量產生影響，從而使所形成之膜厚之均勻性受損之問題。 對此，本發明之目的在於，優化塗布器之歧管之端部處之液體置換性，並且防止形成於被塗布構件之塗膜之膜厚精度降低。 [解決問題之技術手段] 本發明之塗布器具有：供給口，其被供給塗布液；狹縫，其於一方向上較長地形成，且噴出塗布液；複數個歧管，其至少包含與上述供給口相連之上游側歧管及與上述狹縫相連之下游側歧管，且於上述一方向上較長地形成；及節流流路，其連接相鄰之上述歧管之間，且於上述一方向上較長；且上述供給口係與上述上游側歧管於上述一方向之中央相連；上述上游側歧管之與上述一方向正交之剖面之截面面積於上述一方向之端部較於該一方向之中央部變小；且於連接上述上游側歧管與該上游側歧管之鄰近之上述歧管之間的上述節流流路中，上述端部處之流路長度為上述中央部處之流路長度以上。 根據該塗布器，上游側歧管之截面面積於端部變小，因此於歧管內之塗液之擴寬性降低，但由於在歧管端部，截面面積較小，故流動之塗布液即便為少量之流量，流速亦得以確保，即能夠優化塗液體置換性。一般之歧管於1段之塗布器中，若歧管內之塗布液之擴寬性降低，則自狹縫噴出之塗布液之流量於中央與端部不同，而產生形成於被塗布構件之膜厚之均勻性受損之問題，但根據該塗布器，由於歧管為多段，故而自供給口向上游側歧管供給之塗布液於上游側歧管中擴寬(分散)，且通過節流流路，進而於其鄰近之歧管中擴寬(分散)，並暫時積存於該歧管。繼而，塗布液最終自狹縫噴出。因此，能夠使自狹縫噴出之塗布液之噴出狀態(流量)遍及一方向全長而儘可能一樣，從而能夠使形成於被塗布構件之膜厚均勻。 再者，於節流流路中，端部處之流路長度為中央部處之流路長度以上，故對通過之塗布液而言，於端部與中央部流動難易度相同、或於端部比於中央部難以流動。因此，通過該節流流路之塗布液於歧管中難以向妨礙擴寬之方向流動。即，能夠維持歧管中之擴寬之作用。 再者，上述流路長度為自上游側歧管向其鄰近之歧管之方向的長度，例如，於將上游側歧管配置於上、將其鄰近之歧管配置於下之塗布器之情形時，上述方向為上下方向。 又，於上述節流流路之上述端部處之流路長度與上述中央部處之流路長度相同之情形時，於節流流路中，對通過之塗布液而言，於端部與中央部流動難易度相同。因此，能夠維持歧管中之擴寬之作用。 又，於此情形時，較佳為上述上游側歧管之上端之高度沿上述一方向固定，且該上游側歧管之高度方向之尺寸遍及上述一方向之全長而固定。 於此情形時，於上游側歧管及其鄰近之歧管中，藉由塗布液向兩側擴散之作用(擴寬作用)，使有混入該等歧管之虞之氣泡容易聚集於兩端部。因此，藉由在該等歧管之各自之兩端部設置用於排出空氣之排氣孔，而容易地將空氣排出至塗布器外。 又，較佳為於上述複數個歧管之各者中，與上述一方向正交之剖面之截面面積係於上述一方向之端部較於上述一方向之中央部變小。 於此情形時，能夠於複數個歧管之各者中優化端部處之液體置換性。 又，於上述歧管設置有三個以上，且以較該歧管之數量少一個之數量設置有上述節流流路之情形時，較佳為於該節流流路之各者中，上述端部處之流路長度為上述中央部處之流路長度以上。 於此情形時，通過複數個節流流路之各者之塗布液於歧管中難以向妨礙擴寬之方向流動。再者，對通過節流流路之塗布液而言，為了使於端部與中央部流動難易度相同，只要使上述端部處之流路長度與上述中央部處之流路長度相同即可。 又，本發明之塗布裝置具備：上述塗布器，其對被塗布構件噴出塗布液；送液機構，其向上述塗布器輸送塗布液；及移動機構，其使上述塗布器與上述被塗布構件相對移動。 根據該塗布裝置，能夠優化塗布器之歧管處之液體置換性，並且防止形成於被塗布構件之塗膜之膜厚精度降低。 [發明之效果] 根據本發明，能夠優化塗布器所具有之歧管之端部處之液體置換性，並且防止形成於被塗布構件之塗膜之膜厚精度降低，從而能夠使用該被塗布構件獲得高品質之製品。

以下，基於圖式對本發明之實施形態進行說明。 〔關於塗布裝置之整體構成〕 本發明之塗布裝置係例如用於在玻璃製之基板或膜等被塗布構件塗布塗布液之裝置。於圖1所示之形態中，被塗布構件為矩形之基板W，塗布裝置1於其上表面(被塗布面)塗布塗布液。為此，塗布裝置1具備：塗布器10，其對基板W噴出塗布液；送液機構30，其向該塗布器10輸送塗布液；移動機構40，其使塗布器10與基板W相對移動。 塗布裝置1進而具備載置且保持基板W之載台5。塗布器10於一方向上較長地構成，以該一方向與基板W之寬度方向平行之方式，將基板W載置於載台5上。再者，以下，將塗布器10之長度方向(上述一方向)定義為「Y軸方向」。塗布器10之長度大於基板W之Y軸方向之尺寸，且根據基板W之大小有各種各樣之長度。再者，本發明特佳為如塗布器10(下述之狹縫15)之Y軸方向之長度超過1000毫米之較長者。 於圖1所示之形態中，移動機構40使塗布器10相對於處於固定狀態之載台5直線性地往返移動。該往返移動之方向為與Y軸方向正交之方向，且為與基板W之上表面(被塗布面)平行之方向。將該方向定義為「X軸方向」。於本實施形態中，X軸方向及Y軸方向分別為水平方向。 為了實現塗布器10之X軸方向之移動，移動機構40具有可相對於載台5於X軸方向移動之支架41，於該支架41搭載有塗布器10。移動機構40亦具備未圖示之使塗布器10於上下方向移動之致動器，藉由該致動器，可變更塗布器10(下述之噴出口16)相對於基板W之高度位置。該高度之方向為與上述X軸方向及上述Y軸方向正交之方向，將該方向定義為「Z軸方向」。 送液機構30具備：槽31，其積存塗布液；及泵32，其將該槽31之塗布液輸送向塗布器10。又，塗布裝置1具備控制送液機構30及移動機構40之各動作的控制裝置7。藉由該控制裝置7之控制，進行自塗布器10向基板W噴出塗布液之塗布動作。 圖2係自正面(沿X軸方向)觀察塗布器10之情形之剖視圖。圖3係圖2所示之塗布器10之沿箭頭A3方向觀察之剖視圖。該塗布器10具有：供給口11，其被自送液機構30(參照圖1)供給塗布液；狹縫15，其於Y軸方向上較長地形成，且對基板W噴出塗布液；第一歧管(上游側歧管)12，其與供給口11相連；第二歧管(下游側歧管)14，其與狹縫15相連；及節流流路13，其連接該等相鄰之歧管12、14之間，且於Y軸方向上較長。狹縫15之下端成為與基板W對向且於Y軸方向上細長之噴出口16。 於該塗布器10中，供給口11與第一歧管12於Y軸方向之中央相連(參照圖2)，自該供給口11供給至第一歧管12之塗布液向Y軸方向之兩端擴寬(分散)，且於第一歧管12內暫時積存之後(成為充滿狀態之後)通過節流流路13。繼而，自節流流路13供給至第二歧管14之塗布液進而向Y軸方向之兩側擴寬(分散)，且於第二歧管14內暫時積存之後(成為充滿狀態之後)通過狹縫15，並自噴出口16對基板W噴出。藉由送液機構30(參照圖1)向塗布器10供給塗布液，而使塗布液自噴出口16噴出。利用送液機構30所進行之塗布液之供給係一面藉由移動機構40使塗布器10與基板W相對移動、一面進行，藉此，能夠於基板W形成由塗布液所形成之塗膜。 〔塗布器10之構成(其1)〕 如圖2所示般，如上所述，塗布器10於Y軸方向上較長地構成，且第一歧管12及第二歧管14亦分別於Y軸方向上較長地形成。並且，藉由供給口11與第一歧管12於Y軸方向之中央開口，而使供給口11與第一歧管12相連。 塗布器10(參照圖3)係藉由將兩個分割體10a、10b合在一起而構成。於一分割體10a形成有在Y軸方向上較長之凹部10c-1，於另一分割體10b形成有在Y軸方向上較長之凹部10d-1，且由該等凹部10c-1、10d-1構成一個第一歧管12。又，於一分割體10a形成有在Y軸方向上較長之凹部10c-2，於另一分割體10b形成有在Y軸方向上較長之凹部10d-2，且由該等凹部10c-2、10d-2構成一個第二歧管14。 節流流路13為連接相鄰之第一歧管12與第二歧管14之間之流路，具有於Y軸方向上較長、且於X軸方向上窄於歧管12、14之形狀。噴出塗布液之狹縫15亦具有於Y軸方向較長、且於X軸方向上窄於歧管12、14之形狀。於本實施形態中，第一歧管12、節流流路13、第二歧管14及狹縫15為於Y軸方向上相同之長度(參照圖2)。 圖3係塗布器10之於Y軸方向之中央部C處之剖視圖，相對於此，圖4係圖2所示之塗布器10之沿箭頭A4方向觀察之剖視圖。即，圖4係塗布器10之於Y軸方向之端部E處之剖視圖。如圖3及圖4所示般，第一歧管12之與Y軸方向正交之剖面之截面面積於Y軸方向之端部E(參照圖4)較於Y軸方向之中央部C(參照圖3)變小。即，關於第一歧管12，分別位於圖4所示之Y軸方向兩端之端部E之截面面積S1e較圖3所示之中央部C之截面面積S1c變小(S1e＜S1c)。 如圖2所示般，第一歧管12之高度方向之尺寸H1(即，Z軸方向之尺寸H1)遍及Y軸方向之全長而固定。再者，第一歧管12之上端50之高度沿Y軸方向固定(水平)，下端51之高度亦沿Y軸方向固定(水平)。下端51為第一歧管12與第一節流流路13之交界線(稜線)。並且，構成第一歧管12之上端50之直線與構成下端51之直線(上述交界線)平行。因此，關於第一歧管12之截面面積，為了滿足上述S1e＜S1c，如圖3及圖4所示般，第一歧管12之端部E處之X軸方向之尺寸(深度尺寸)D1e較第一歧管12之中央部C處之X軸方向之尺寸(深度尺寸)D1c變小(D1e＜D1c)。於本實施形態中，第一歧管12之X軸方向之尺寸以自中央部C向兩側之端部E之各者逐漸變小之方式變化。藉此，第一歧管12之截面面積為以自中央部C向兩側之端部E之各者逐漸變小之方式變化之構成。 於本實施形態中，第二歧管14亦為與第一歧管12相同之形狀。即，第二歧管14之與Y軸方向正交之剖面之截面面積係於Y軸方向之端部E(參照圖4)較於Y軸方向之中央部C(參照圖3)變小。即，關於第二歧管14，圖4所示之位於Y軸方向兩側之各者之端部E之截面面積S2e較中央部C之截面面積S2c變小(S2e＜S2c)。 如圖2所示般，第二歧管14之高度方向之尺寸H2(即，Z軸方向之尺寸H2)遍及Y軸方向之全長而固定。因此，關於第二歧管14之截面面積，為了滿足上述S2e＜S2c，如圖3及圖4所示般，第二歧管14之端部E處之X軸方向之尺寸(深度尺寸)D2e較第二歧管14之中央部C處之X軸方向之尺寸(深度尺寸)D2c變小(D2e＜D2c)。於本實施形態中，第二歧管14之X軸方向之尺寸以自中央部C向兩側之端部E之各者逐漸變小之方式變化。藉此，第二歧管14之截面面積為以自中央部C向兩側之端部E之各者逐漸變小之方式變化之構成。 節流流路13為連接第一歧管12與其鄰近之第二歧管14之間之流路，於圖2中，在該節流流路13中，端部E處之流路長度L1e與中央部C處之流路長度L1c相同(L1e＝L1c)。於本實施形態中，節流流路13之流路長度遍及Y軸方向之全長而固定。再者，上述流路長度(L1e、L1c)為自上游側之第一歧管12向第二歧管14之方向、即Z軸方向之長度。於本實施形態之情形時，因將第一歧管12配置於上、第二歧管14配置於下，故該Z軸方向成為上下方向。又，如圖3及圖4所示般，節流流路13之X軸方向之尺寸(節流流路13之流路寬度)沿Y軸方向固定。 於圖2中，在狹縫15中，端部E處之流路長度Me與中央部C處之流路長度Mc相同(Me＝Mc)。於本實施形態中，狹縫15之流路長度遍及Y軸方向之全長而固定。又，如圖3及圖4所示般，狹縫15之X軸方向之尺寸(狹縫15之流路寬度)沿Y軸方向固定。 第二歧管14之上端52之高度沿Y軸方向固定(水平)，下端53之高度亦沿Y軸方向固定(水平)。再者，上端52成為第一節流流路13與第二歧管14之交界線，下端53成為第二歧管14與狹縫15之交界線(稜線)。並且，成為上端52之交界線與成為下端53之交界線平行。 如上所述般，於圖2～圖4所示之塗布器10中，第一歧管12之與Y軸方向正交之剖面之截面面積係於Y軸方向之端部E較於Y軸方向之中央部C變小(S1e＜S1c)。根據該塗布器10，由於在第一歧管12之兩側之端部E之各者截面面積較小，故流動之塗布液即便為少量，流速亦得以確保，而能夠優化兩側之端部E之各者之液體置換性。 於第一歧管12中，若於中央部C與端部E，截面面積(流路剖面)不同，則於歧管內之塗布液之擴寬性降低，自狹縫噴出之塗布液之流量於中央與於端部不同，而存在形成於被塗布構件之膜厚之均勻性受損之情形，但由於為具有二段之歧管12、14之構成，自供給口11供給至第一歧管12之塗布液如圖2之箭頭f1所示般，於第一歧管12中向Y軸方向之兩端擴寬(分散)，且暫時積存於該第一歧管12之後通過節流流路13，進而於其鄰近之第二歧管14中，如圖2之箭頭f2所示般向Y軸方向之兩側擴寬(分散)，塗布液暫時積存於該第二歧管14之後，自狹縫15噴出。因此，能夠使自狹縫15噴出之塗布液之噴出狀態(流量)如圖2之箭頭f3所示般，遍及Y軸方向全長而儘可能一樣，而能夠防止形成於基板W之塗膜之膜厚精度降低。 又，於該塗布器10之節流流路13中，端部E處之流路長度L1e與中央部C處之流路長度L1c相同(L1e＝L1c)。尤其是，節流流路13之流路長度沿Y軸方向固定，且節流流路13之X軸方向之尺寸沿Y軸方向固定。因此，於節流流路13中，對在Z軸方向上通過之塗布液而言，於端部E與中央部C流動難易度相同。因此，通過該節流流路13之塗布液於第二歧管14中難以向妨礙擴寬之方向流動，而能夠維持第二歧管14中之擴寬之作用(塗布液以朝向如圖2之箭頭f2所示般之Y軸方向兩側之方式流動之作用)。其結果為，能夠提高使自狹縫15噴出之塗布液之噴出狀態(流量)如圖2之箭頭f3所示般遍及Y軸方向全長而儘可能一樣之功能。 再者，雖未圖示，但於節流流路13中，端部E處之流路長度L1e只要為中央部C處之流路長度L1c以上即可(L1e≧L1c)，藉此，如上所述般之通過節流流路13之塗布液於第二歧管14中難以向妨礙擴寬之方向流動。其機制如下所述。 即，與L1e≧L1c之關係相反，如圖15所示般，於節流流路13中，在中央部C處之流路長度L1c較端部E處之流路長度L1e變大之情形時(L1c＞L1e)，在節流流路13內於Z軸方向流動時之塗布液之阻力於中央部C較於端部E變大。因此，於該節流流路13中，對在Z軸方向上通過之塗布液而言，於端部E較於中央部C變得容易流動。於是，自節流流路13向第二歧管14流出之塗布液於端部E較於中央部C變多，且於第二歧管14中，流入端部E之塗布液如箭頭f12所示般，向中央部C流動之成分變強，從而導致降低塗布液之擴寬之作用。於此情形時，通過狹縫15之塗布液於端部E比於中央部C減少，而有形成於基板W之塗膜於Y軸方向上不固定之虞。 然而，如上所述，只要使節流流路13之流路長度成為L1e≧L1c之關係，便能夠維持第二歧管14中之擴寬之作用。其結果為，能夠使自狹縫15噴出之塗布液之噴出狀態(流量)遍及Y軸方向全長而儘可能一樣，從而形成於Y軸方向均勻之塗膜。 〔塗布器10(其1)之變化例〕 於圖3及圖4所示之形態中，於構成塗布器10之分割體10a、10b之兩者形成有凹部(10c-1、10c-2及10d-1、10d-2)，但如圖5及圖6所示般，亦可僅於分割體10a、10b之任一者形成有凹部10d-1、10d-2，且由該凹部10d-1、10d-2構成第一歧管12及第二歧管14。對於其他構成，與圖2～圖4所示之形態之構成相同，此處省略說明。 〔塗布器110之構成(其2)〕 圖7係自正面(沿X軸方向)觀察其他形態之塗布器110之情形之剖視圖。圖8係圖7所示之塗布器110之沿箭頭A8方向觀察之剖視圖。圖9係圖7所示之塗布器110之沿箭頭A9方向觀察之剖視圖。即，圖8係塗布器110之於Y軸方向之中央部C處之剖視圖，圖9係塗布器110之於Y軸方向之端部E處之剖視圖。該塗布器110具有：供給口111，其被自送液機構30(參照圖1)供給塗布液；狹縫117，其於Y軸方向上較長地形成，且對基板W噴出塗布液；及三個歧管112、114、116。與供給口111相連之歧管為第一歧管112，於其下游側鄰近之歧管為第二歧管114，於其下游側鄰近且與狹縫117相連之歧管為第三歧管116。於第一歧管112與第二歧管114之間設置有第一節流流路113，於第二歧管114與第三歧管116之間設置有第二節流流路115。該塗布器110具有三段之歧管112、114、116及二段之節流流路113、115。 塗布器110於Y軸方向上較長地構成，歧管112、114、116亦分別於Y軸方向上較長地構成。藉由供給口111與第一歧管112於Y軸方向之中央開口，而使供給口111與第一歧管112相連。 第一節流流路113為連接相鄰之第一歧管112與第二歧管114之間之流路，具有於Y軸方向上較長、且於X軸方向上窄於歧管112、114之形狀。 第二節流流路115為連接相鄰之第二歧管114與第三歧管116之間之流路，具有於Y軸方向上較長、且於X軸方向上窄於歧管114、116之形狀。 噴出塗布液之狹縫117亦具有於Y軸方向上較長、且於X軸方向上窄於歧管112、114、116之形狀。於本實施形態中，歧管112、114、116、節流流路113、115及狹縫117為於Y軸方向上相同長度(參照圖7)。 如圖8及圖9所示般，第一歧管112之與Y軸方向正交之剖面之截面面積係於Y軸方向之端部E(參照圖9)較於Y軸方向之中央部C(參照圖8)變小。即，關於第一歧管112，位於Y軸方向兩側之各者之端部E之截面面積S1e較中央部C之截面面積S1c變小(S1e＜S1c)。 如圖7所示般，第一歧管112之高度方向之尺寸H1(即，Z軸方向之尺寸H1)遍及Y軸方向之全長而固定。再者，第一歧管112之上端150之高度沿Y軸方向固定(水平)，下端151之高度亦沿Y軸方向固定(水平)。下端151成為第一歧管112與第一節流流路113之交界線(稜線)。並且，第一歧管112之構成上端150之直線與構成下端151之直線(上述交界線)平行。因此，關於截面面積，為了滿足上述S1e＜S1c，如圖8及圖9所示般，第一歧管112之端部E處之X軸方向之尺寸(深度尺寸)D1e較第一歧管112之中央部C處之X軸方向之尺寸(深度尺寸)D1c變小(D1e＜D1c)。於本實施形態中，第一歧管112之X軸方向之尺寸以自中央部C向兩側之端部E之各者逐漸變小之方式變化。藉此，第一歧管112之截面面積為以自中央部C向兩側之端部E之各者逐漸變小之方式變化之構成。 於本實施形態中，第二歧管114及第三歧管116分別亦為與第一歧管112相同之形狀。即，第二歧管114(第三歧管116)之與Y軸方向正交之剖面之截面面積於Y軸方向之端部E(參照圖9)較於Y軸方向之中央部C(參照圖8)變小。即，關於第二歧管114(第三歧管116)，位於Y軸方向兩側之各者之端部E之截面面積S2e(S3e)較中央部C之截面面積S2c(S3c)變小(S2e＜S2c，S3e＜S3c)。 如圖7所示般，第二歧管114之高度方向之尺寸H2(即，Z軸方向之尺寸H2)遍及Y軸方向之全長而固定。因此，關於第二歧管114之截面面積，為了滿足上述S2e＜S2c，如圖8及圖9所示般，第二歧管114之端部E處之X軸方向之尺寸(深度尺寸)D2e較第二歧管114之中央部C處之X軸方向之尺寸(深度尺寸)D2c變小(D2e＜D2c)。於本實施形態中，第二歧管114之X軸方向之尺寸以自中央部C向兩側之端部E之各者逐漸變小之方式變化。藉此，第二歧管114之截面面積為以自中央部C向兩側之端部E之各者逐漸變小之方式變化之構成。 又，如圖7所示般，與第二歧管114同樣地，第三歧管116之高度方向之尺寸H3(即，Z軸方向之尺寸H3)遍及Y軸方向之全長而固定。因此，關於第三歧管116之截面面積，為了滿足上述S3e＜S3c，如圖8及圖9所示般，第三歧管116之端部E處之X軸方向之尺寸(深度尺寸)D3e較第三歧管116之中央部C處之X軸方向之尺寸(深度尺寸)D3c變小(D3e＜D3c)。於本實施形態中，第三歧管116之X軸方向之尺寸以自中央部C向兩側之端部E之各者逐漸變小之方式變化。藉此，第三歧管116之截面面積為以自中央部C向兩側之端部E之各者逐漸變小之方式變化之構成。 於圖7中，在第一節流流路113中，端部E處之流路長度L1e與中央部C處之流路長度L1c相同(L1e＝L1c)。於本實施形態中，第一節流流路113之流路長度遍及Y軸方向之全長而固定。再者，上述流路長度(L1e、L1c)為自上游側之第一歧管112向其鄰近之第二歧管114之方向、即Z軸方向之長度。又，第一節流流路113之X軸方向之尺寸(節流流路13之流路寬度)沿Y軸方向固定。 又，於第二節流流路115中，端部E處之流路長度L2e與中央部C處之流路長度L2c相同(L2e＝L2c)。於本實施形態中，第二節流流路115之流路長度遍及Y軸方向之全長而固定。再者，上述流路長度(L2e、L2c)為自第二歧管114向其鄰近之第三歧管116之方向、即Z軸方向之長度。又，第二節流流路115之X軸方向之尺寸(節流流路13之流路寬度)沿Y軸方向固定。 於狹縫117中，端部E處之流路長度Me與中央部C處之流路長度Mc相同(Me＝Mc)。於本實施形態中，狹縫117之流路長度遍及Y軸方向之全長而固定。又，狹縫117之X軸方向之尺寸(狹縫15之流路寬度)沿Y軸方向固定。 第二歧管114之上端152之高度沿Y軸方向固定(水平)，下端153之高度亦沿Y軸方向固定(水平)。上端152成為第一節流流路113與第二歧管114之交界線(稜線)，下端153成為第二歧管114與第二節流流路115之交界線(稜線)。成為上端152之交界線與成為下端153之交界線平行。 又，第三歧管116之上端154之高度沿Y軸方向固定(水平)，下端155之高度亦沿Y軸方向固定(水平)。上端154成為第二節流流路115與第三歧管116之交界線，下端155成為第三歧管116與狹縫117之交界線(稜線)。成為上端154之交界線與成為下端155之交界線平行。 如上所述般，於圖7～圖9所示之塗布器110中，第一歧管112之與Y軸方向正交之剖面之截面面積於Y軸方向之端部E較於Y軸方向之中央部C變小(S1e＜S1c)。根據該塗布器110，由於在第一歧管112之兩側之端部E之各者截面面積較小，故流動之塗布液即便為少量，流速亦得以確保，而能夠優化兩側之端部E之各者之液體置換性。 於第一歧管112中，若於中央部C與端部E截面面積(流路剖面)不同，則於歧管內之塗布液之擴寬性降低，自狹縫噴出之塗布液之流量於中央與端部不同，而存在形成於被塗布構件之膜厚之均勻性受損之情形，但由於為具有三段之歧管112、114、116之構成，故自供給口111供給至第一歧管112之塗布液如圖7之箭頭f1所示般，於第一歧管112中向Y軸方向之兩側擴寬(分散)，且暫時積存於該第一歧管12之後通過第一節流流路113，進而於其鄰近之第二歧管114中，如圖7之箭頭f2所示般，向Y軸方向之兩側擴寬(分散)，塗布液暫時積存於該第二歧管114。繼而，塗布液自該第二歧管114通過第二節流流路115，進而於其鄰近之第三歧管116中，如圖7之箭頭f3所示般，向Y軸方向之兩側擴寬(分散)，塗布液暫時積存於該第三歧管116之後自狹縫117噴出。因此，能夠使自狹縫117噴出之塗布液之噴出狀態(流量)如圖7之箭頭f4所示般，遍及Y軸方向全長而儘可能一樣，而能夠防止形成於基板W之塗膜之膜厚精度降低。 又，於該塗布器10之第一節流流路113中，端部E處之流路長度L1e與中央部C處之流路長度L1c相同(L1e＝L1c)。尤其是，第一節流流路113之流路長度沿Y軸方向固定，且第一節流流路113之X軸方向之尺寸沿Y軸方向固定。因此，於第一節流流路113中，對在Z軸方向上通過之塗布液而言，於端部E與中央部C流動難易度相同。因此，通過該節流流路113之塗布液於第二歧管114中難以向妨礙擴寬之方向流動，而能夠維持第二歧管114中之擴寬之作用(塗布液以朝向如圖7之箭頭f2所示般之Y軸方向兩側之方式流動之作用)。進而，由於在第二歧管114之下游側設置有第三歧管116，故如圖7之箭頭f3所示般，於該第三歧管116中亦進行塗布液之擴寬，其結果為，能夠提高使自狹縫117噴出之塗布液之噴出狀態(流量)如圖7之箭頭f4所示般遍及Y軸方向全長而儘可能一樣之功能。 又，於第二節流流路115中，端部E處之流路長度L2e與中央部C處之流路長度L2c相同(L2e＝L2c)。尤其是，第二節流流路115之流路長度沿Y軸方向固定，且第二節流流路115之X軸方向之尺寸沿Y軸方向固定。因此，於第二節流流路115中，對在Z軸方向通過之塗布液而言，於端部E與中央部C流動難易度相同。 再者，與圖2所示之上述塗布器10(其1)之情形同樣地，於該圖7所示之塗布器10(其2)之形態中，雖未圖示，但於第一節流流路113中，只要端部E處之流路長度L1e為中央部C處之流路長度L1c以上即可(L1e≧L1c)，藉此，如上述般之通過第一節流流路113之塗布液於第二歧管114中難以向妨礙擴寬之方向流動。其機制與於上述塗布器10(其1)之情形時所說明之機制相同，故而此處省略。又，於第二節流流路115中，端部E處之流路長度L2e亦可為中央部C處之流路長度L2c以上(L2e≧L2c)。 〔塗布器110(其2)之變化例1〕 雖然於圖8及圖9所示之形態中，於構成塗布器110之分割體110a、110b之兩者形成有凹部，但如圖10及圖11所示般，亦可僅於分割體110a、110b之任一者形成有凹部110d-1、110d-2、110d-3，且由該凹部110d-1、110d-2、110d-3構成第一歧管112、第二歧管114及第三歧管116。對於其他構成，與圖7～圖9所示之形態之構成相同，此處省略說明。 〔塗布器110(其2)之變化例2〕 圖12係自正面(沿X軸方向)觀察塗布器110之情形之剖視圖。圖13係圖12所示之塗布器110之沿A13箭頭方向觀察之剖視圖。圖14係圖12所示之塗布器110之沿箭頭A14方向觀察之剖視圖。即，圖13係塗布器110之於Y軸方向之中央部C處之剖視圖，圖14係塗布器110之於Y軸方向之端部E處之剖視圖。該塗布器110與自圖7至圖9所示之塗布器110同樣地，具有三段之歧管112、114、116及二段之節流流路113、115。 於圖12所示之塗布器110中，亦與圖7所示之塗布器110同樣地，第一歧管112之與Y軸方向正交之剖面之截面面積係於Y軸方向之端部E(參照圖14)較於Y軸方向之中央部C(參照圖13)變小。即，關於第一歧管112，位於Y軸方向兩側之各者之端部E之截面面積S1e較中央部C之截面面積S1c變小(S1e＜S1c)。 於圖12所示之形態中，第一歧管112之高度方向之尺寸H(即，Z軸方向之尺寸H)根據Y軸方向之位置而變化。具體而言，隨著自中央部C向Y軸方向之兩側之端部E之各者，高度方向之尺寸H變大。第一歧管112之上端150之高度沿Y軸方向固定(水平)，但下端151之高度自中央部C向兩側之端部E之各者變低。下端151成為第一歧管112與第一節流流路113之交界線(稜線)。因此，關於第一歧管112之截面面積，為了滿足上述S1e＜S1c，如圖13及圖14所示般，第一歧管112之端部E處之X軸方向之尺寸(深度尺寸)D1e相較於第一歧管112之中央部C處之X軸方向之尺寸(深度尺寸)D1c，以較高度方向之尺寸H(參照圖12)之變化之比率大的變化之比率變小。於本實施形態中，第一歧管112之X軸方向及Z軸方向各自之尺寸自中央部C向兩側之端部E之各者逐漸變化，藉此，第一歧管112之截面面積為以自中央部C向兩側之端部E之各者逐漸變小之方式變化之構成。 並且，第二歧管114(第三歧管116)之與Y軸方向正交之剖面之截面面積亦於Y軸方向之端部E(參照圖14)較於Y軸方向之中央部C(參照圖13)變小。即，關於第二歧管114(第三歧管116)，位於Y軸方向兩側之各者之端部E之截面面積S2e(S3e)較中央部C之截面面積S2c(S3c)變小(S2e＜S2c，S3e＜S3c)。 如圖12所示般，於第一節流流路113中，端部E處之流路長度L1e與中央部C處之流路長度L1c相同(L1e＝L1c)。於本實施形態中，由於第一歧管112之下端151以隨著自中央部C向端部E變低之方式傾斜，故為了確保上述L1e＝L1c，第二歧管114之上端(與第一節流流路113之交界線)152亦以隨著自中央部C向端部E變低之方式傾斜。藉此，第一節流流路113之流路長度遍及Y軸方向之全長而固定。上述流路長度(L1e、L1c)為Z軸方向之長度。 又，於第二節流流路115中，端部E處之流路長度L2e與中央部C處之流路長度L2c相同(L2e＝L2c)。於本實施形態中，由於第二歧管114之下端(與第二節流流路115之交界線)153以隨著自中央部C向端部E變低之方式傾斜，故為了確保上述L2e＝L2c，第三歧管116之上端(與第二節流流路115之交界線)154亦以隨著自中央部C向端部E變低之方式傾斜。藉此，第二節流流路115之流路長度遍及Y軸方向之全長而固定。上述流路長度(L2e、L2c)為Z軸方向之長度。 於狹縫117中，端部E處之流路長度Me與中央部C處之流路長度Mc相同(Me＝Mc)。於本實施形態中，狹縫117之流路長度遍及Y軸方向之全長而固定。又，狹縫117之X軸方向之尺寸(狹縫15之流路寬度)沿Y軸方向固定。 〔關於各形態之塗布器10〕 如上所述，於上述各形態之塗布器10(110)中，與供給口11相連之位於最上游側之第一歧管12(112)之截面面積自中央部C向端部E變小。即，第一歧管12(112)具有自中央部C向兩側之端部E之各者縮窄之形狀。藉此，能夠優化第一歧管12(112)之端部E處之液體置換性。 若於第一歧管12(112)中在中央部C與端部E截面面積(流路剖面)不同，則於各者存在塗布液之流動情況不同之情形，但因歧管為多段，故能夠使自狹縫15(117)噴出之塗布液之噴出狀態(流量)遍及Y軸方向全長而儘可能一樣，而能夠防止形成於基板W之塗膜之膜厚精度降低。 進而，於節流流路13(第一節流流路113)中，端部E處之流路長度L1e為中央部處之流路長度L1c以上(L1e≧L1c)，故對通過之塗布液而言，於端部E與中央部C流動難易度相同，或於端部E比中央部C難以流動。因此，通過該節流流路13之塗布液於第二歧管14(114)中難以向妨礙擴寬之方向流動。即，能夠維持第二歧管14(114)中之擴寬之作用。其結果為，能夠提高使自狹縫15(117)噴出之塗布液之噴出狀態(流量)遍及Y軸方向全長而儘可能一樣之功能。 又，於上述各形態中，不僅第一歧管12(112)，於其他歧管14(114、116)之各者中(即，於全部歧管中)與Y軸方向正交之剖面之截面面積於Y軸方向之端部E較於Y軸方向之中央部C變小。因此，能夠於複數個歧管之各者中優化端部E處之液體置換性。 進而，於圖7及圖12所示之形態之情形時，設置有三個歧管112、114、116，且設置有較該等歧管112、114、116之數量少一個之兩個節流流路113、115。並且，於該等節流流路113、115之各者中，端部E處之流路長度為中央部C處之流路長度以上。因此，通過第一節流流路113之塗布液於第二歧管114中難以向妨礙擴寬之方向流動，又，通過第二節流流路115之塗布液於第三歧管116中難以向妨礙擴寬之方向流動。即，能夠維持第二歧管114及第三歧管116之各者中之擴寬之作用。其結果為，能夠提高使自狹縫117噴出之塗布液之噴出狀態(流量)遍及Y軸方向全長而儘可能一樣之功能。 又，於圖2及圖7所示之形態中，第一歧管12(112)之上端50之高度沿Y軸方向固定(水平)，且該第一歧管12(112)之高度方向之尺寸H1遍及Y軸方向之全長而固定。並且，節流流路13(113)之端部E處之流路長度L1e與中央部C處之流路長度L1c相同(遍及Y軸方向之全長而相同)。根據該構成，於第一歧管12(112)中，藉由塗布液向兩側擴散之作用(擴寬作用)，使混入該歧管12(112)之氣泡容易聚集於兩端部E。並且，如上所述，由於節流流路13(113)之端部E處之流路長度L1e與中央部C處之流路長度L1c相同，故第二歧管14(114)之上端52(152)之高度沿Y軸方向固定(水平)。因此，於第二歧管14(114)中，藉由塗布液向兩側擴散之作用(擴寬作用)，使混入該歧管14(114)之氣泡容易聚集於兩端部E。 因此，藉由在該等歧管12、14(112、114)之各者之兩端部E設置用於排出空氣之排氣孔，而容易地將空氣排出至塗布器10(110)之外。 〔附記〕 上述所揭示之實施形態之全部內容均為例示，而非對本發明之限制。即，本發明之塗布器及塗布裝置並不限定於圖示之形態，亦可為於本發明之範圍內之其他形態者。 例如，於上述各形態中，在全部歧管中均設為剖面於Y軸方向之端部E側縮窄之形狀，但該形狀只要至少在第一歧管12(112)中採用即可，在第二歧管(第三歧管)中，亦可設為沿Y軸方向剖面相同(不變化)。 又，於上述實施形態中，對移動機構40使塗布器10相對於基板W移動之情形進行了說明，但移動機構40只要為使塗布器10及基板W於與基板W之被塗布面平行之方向相對移動之構成即可，雖未圖示，但亦可為使載台5(基板W)相對於處於固定狀態之塗布器10移動之構成。 又，於上述實施形態中，將被塗布構件設為單片狀之基板W，但亦可不設為單片狀而設為連續之構件(利用捲對捲進行輸送之被塗布構件)。於此情形時，省略載台5。又，塗布裝置1所進行之塗布亦可為對被塗布構件形成複數個塗膜之間歇塗布。

1‧‧‧塗布裝置
5‧‧‧載台
7‧‧‧控制裝置
10‧‧‧塗布器
10a‧‧‧分割體
10b‧‧‧分割體
10c-1‧‧‧凹部
10c-2‧‧‧凹部
10d-1‧‧‧凹部
10d-2‧‧‧凹部
10d-3‧‧‧凹部
11‧‧‧供給口
12‧‧‧第一歧管(上游側歧管)
13‧‧‧節流流路
14‧‧‧第二歧管(上游側歧管)
15‧‧‧狹縫
16‧‧‧噴出口
30‧‧‧送液機構
31‧‧‧槽
32‧‧‧泵
40‧‧‧移動機構
41‧‧‧支架
50‧‧‧上端
51‧‧‧下端
52‧‧‧上端
53‧‧‧下端
110‧‧‧塗布器
110a、110b‧‧‧分割體
110d-1、110d-2、110d-4‧‧‧凹部
111‧‧‧供給口
112‧‧‧第一歧管(上游側歧管)
113‧‧‧節流流路
114‧‧‧第二歧管
115‧‧‧節流流路
116‧‧‧第三歧管(下游側歧管)
117‧‧‧狹縫
150‧‧‧上端
151‧‧‧下端
152‧‧‧上端
153‧‧‧下端
154‧‧‧上端
155‧‧‧下端
A3‧‧‧箭頭
A4‧‧‧箭頭
A8‧‧‧箭頭
A9‧‧‧箭頭
A13‧‧‧箭頭
A14‧‧‧箭頭
C‧‧‧中央部
D1c‧‧‧X軸方向之尺寸
D1e‧‧‧X軸方向之尺寸
D2c‧‧‧X軸方向之尺寸
D2e‧‧‧X軸方向之尺寸
D3c‧‧‧X軸方向之尺寸
D3e‧‧‧X軸方向之尺寸
E‧‧‧端部
f1‧‧‧箭頭
f2‧‧‧箭頭
f3‧‧‧箭頭
f4‧‧‧箭頭
f12‧‧‧箭頭
H‧‧‧高度尺寸
H1‧‧‧高度尺寸
H2‧‧‧高度尺寸
H3‧‧‧高度尺寸
L1c‧‧‧流路長度
L1e‧‧‧流路長度
L2c‧‧‧流路長度
L2e‧‧‧流路長度
Mc‧‧‧流路長度
Me‧‧‧流路長度
S1c‧‧‧截面面積
S1e‧‧‧截面面積
S2c‧‧‧截面面積
S2e‧‧‧截面面積
S3c‧‧‧截面面積
S3e‧‧‧截面面積
W‧‧‧基板(被塗布構件)

圖1係表示塗布裝置之實施之一形態之概略構成圖。 圖2係自正面觀察塗布器之情形之剖視圖。 圖3係圖2所示之塗布器之沿箭頭A3方向觀察之剖視圖。 圖4係圖2所示之塗布器之沿箭頭A4方向觀察之剖視圖。 圖5係表示塗布器之變化例之圖，為中央部之剖視圖。 圖6係表示塗布器之變化例之圖，為端部之剖視圖。 圖7係自正面觀察其他形態之塗布器之情形之剖視圖。 圖8係圖7所示之塗布器之沿箭頭A8方向觀察之剖視圖。 圖9係圖7所示之塗布器之沿箭頭A9方向觀察之剖視圖。 圖10係表示塗布器之變化例之圖，為中央部之剖視圖。 圖11係表示塗布器之變化例之圖，為端部之剖視圖。 圖12係自正面觀察塗布器之情形之剖視圖。 圖13係圖12所示之塗布器之沿箭頭A12方向觀察之剖視圖。 圖14係圖12所示之塗布器之沿箭頭A14方向觀察之剖視圖。 圖15係塗布裝置之剖視圖。

10‧‧‧塗布器

11‧‧‧供給口

12‧‧‧第一歧管(上游側歧管)

13‧‧‧節流流路

14‧‧‧第二歧管(上游側歧管)

15‧‧‧狹縫

16‧‧‧噴出口

50‧‧‧上端

51‧‧‧下端

52‧‧‧上端

53‧‧‧下端

A3‧‧‧箭頭

A4‧‧‧箭頭

C‧‧‧中央部

E‧‧‧端部

f1‧‧‧箭頭

f2‧‧‧箭頭

f3‧‧‧箭頭

H1‧‧‧高度尺寸

H2‧‧‧高度尺寸

L1c‧‧‧流路長度

L1e‧‧‧流路長度

Mc‧‧‧流路長度

Me‧‧‧流路長度

W‧‧‧基板(被塗布構件)

Claims (6)

1. 一種塗布器，其具有： 供給口，其被供給塗布液； 狹縫，其於一方向上較長地形成，且噴出塗布液； 複數個歧管，其至少包含與上述供給口相連之上游側歧管及與上述狹縫相連之下游側歧管，且於上述一方向上較長地形成；及 節流流路，其連接相鄰之上述歧管之間，且於上述一方向上較長；且 上述供給口係與上述上游側歧管於上述一方向之中央相連； 上述上游側歧管之與上述一方向正交之剖面之截面面積係於上述一方向之端部較於該一方向之中央部變小；且 於連接上述上游側歧管與該上游側歧管之鄰近之上述歧管之間的上述節流流路中，上述端部處之流路長度為上述中央部處之流路長度以上。
2. 如請求項1之塗布器，其中上述節流流路之上述端部處之流路長度與上述中央部處之流路長度相同。
3. 如請求項2之塗布器，其中上述上游側歧管之上端之高度沿上述一方向固定，且該上游側歧管之高度方向之尺寸遍及上述一方向之全長而固定。
4. 如請求項1至3中任一項之塗布器，其中於上述複數個歧管之各者中，與上述一方向正交之剖面之截面面積係於上述一方向之端部較於上述一方向之中央部變小。
5. 如請求項1至4中任一項之塗布器，其中於上述歧管設置有三個以上，且以較該歧管之數量少一個之數量設置有上述節流流路之情形時，於該節流流路之各者中，上述端部處之流路長度為上述中央部處之流路長度以上。
6. 一種塗布裝置，其具備：塗布器，其對被塗布構件噴出塗布液；送液機構，其向上述塗布器輸送塗布液；及移動機構，其使上述塗布器與上述被塗布構件相對移動；且 上述塗布器為如請求項1至5中任一項之塗布器。