CN109311047A - 涂布器和涂布装置 - Google Patents

Abstract

提供涂布器，其具有：提供口，其提供涂布液；缝，其喷出涂布液，形成为在一个方向上较长；多个歧管，它们至少包含与所述提供口连接的上游侧歧管以及与所述缝连接的下游侧歧管，形成为在所述一个方向上较长；以及节流流路，其在所述一个方向上较长，将相邻的所述歧管之间连接起来，所述提供口与所述上游侧歧管在所述一个方向的中央连接，关于所述上游侧歧管的与所述一个方向垂直的截面上的截面积，所述一个方向的端部处的该截面积小于该一个方向的中央部处的该截面积，在将所述上游侧歧管与该上游侧歧管的相邻的所述歧管之间连接起来的所述节流流路中，所述端部处的流路长度大于等于所述中央部处的流路长度。

Description

涂布器和涂布装置

技术领域

本发明涉及喷出涂布液的涂布器和具有该涂布器的涂布装置。

背景技术

作为用于对玻璃基板或膜等被涂布部件涂布涂布液的装置，例如已知有专利文献1所述的涂布装置，该涂布装置具备涂布器，该涂布器形成有喷出涂布液的缝。该涂布装置除了所述涂布器之外，还具有：送液单元，其对该涂布器输送涂布液；以及移动单元，其使涂布器与被涂布部件相对地移动。

涂布器构成为在一个方向(以下称为Y轴方向)上较长，缝也形成为沿着Y轴方向较长。在该涂布器中还设置有：提供口，其从所述送液单元提供涂布液；以及在Y轴方向上较长的歧管(腔室)，其与该提供口连接，缝的一端侧(下游侧)作为与被涂布部件对置的喷出口，缝的另一端侧(上游侧)与歧管连接。

所述提供口与歧管在Y轴方向的中央部连接，从该提供口被提供至歧管的涂布液朝向Y轴方向的两侧扩宽(分散)，在歧管内临时贮存之后(成为充满状态之后)通过缝，并从喷出口对被涂布部件喷出。一边通过所述移动单元使涂布器与被涂布部件相对地移动一边进行该喷出的动作，由此，能够在被涂布部件上形成涂膜。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-246464号公报

发明内容

发明所要解决的课题

如上所述，提供口与歧管在Y轴方向的中央部连接。因此，特别是当歧管在Y轴方向上变长时，有时从提供口流入至歧管的涂布液无法充分扩宽至Y轴方向的两个端部。在该情况下，容易在歧管的Y轴方向的两个端部滞留涂布液，歧管端部的液置换性变差。当在涂布器内液置换性较差时，涂布液有可能产生粘性变高或劣化等变性，由于该原因，有时给形成于被涂布部件的涂膜带来不良影响。

因此，考虑通过改变歧管的形状而提高液置换性。但是，当改变歧管的形状时，预想到涂布液在歧管中的流动的情况会因此而发生变化。当涂布液在歧管中的流动的情况发生变化时，担心该变化会给缝中的涂布液流动带来影响，从而使形成于被涂布部件的涂膜的膜厚精度降低。例如，当为了使歧管的Y轴方向的两个端部的液置换性优化而采用用于提高该两个端部的流速的结构时，会产生如下的问题：歧管内的流速发生变化，从而对从缝喷出的涂布液的流量带来影响，所形成的膜厚的均匀性受损。

因此，本发明的目的在于，使涂布器的歧管的端部的液置换性优化，并且防止形成于被涂布部件的涂膜的膜厚精度降低。

用于解决课题的手段

本发明的涂布器具有：提供口，其提供涂布液；缝，其喷出涂布液，形成为在一个方向上较长；多个歧管，它们至少包含与所述提供口连接的上游侧歧管以及与所述缝连接的下游侧歧管，形成为在所述一个方向上较长；以及节流流路，其在所述一个方向上较长，将相邻的所述歧管之间连接起来，所述提供口与所述上游侧歧管在所述一个方向的中央连接，关于所述上游侧歧管的与所述一个方向垂直的截面上的截面积，所述一个方向的端部处的该截面积小于该一个方向的中央部处的该截面积，在将所述上游侧歧管与该上游侧歧管的相邻的所述歧管之间连接起来的所述节流流路中，所述端部处的流路长度大于等于所述中央部处的流路长度。

根据该涂布器，上游侧歧管的截面积在端部变小，因此在歧管内的涂液的扩宽性会降低，但截面积在歧管端部较小，因此即使流动的涂布液为少量的流量，也可确保流速，即能够使涂液置换性优化。在一般的歧管为一级的涂布器中，当在歧管内的涂布液的扩宽性降低时，产生如下的问题：从缝喷出的涂布液的流量在中央与端部不同，形成于被涂布部件的膜厚的均匀性受损，但根据该涂布器，歧管为多级，因此从提供口提供至上游侧歧管的涂布液在上游侧歧管中扩宽(分散)，通过节流流路进而在该上游侧歧管的相邻的歧管中扩宽(分散)，临时贮存于该歧管中。并且，涂布液最终从缝喷出。因此，能够使从缝喷出的涂布液的喷出状态(流量)在一个方向全长范围内尽可能地一样，能够使形成于被涂布部件的膜厚均匀。

另外，在节流流路中，端部的流路长度大于等于中央部的流路长度，因此对于通过的涂布液而言，流动容易性在端部与中央部相同或者与中央部相比在端部不容易流动。因此，通过该节流流路的涂布液在歧管中不容易向阻碍扩宽的方向流动。即，能够维持歧管中的扩宽的作用。

另外，所述流路长度是从上游侧歧管朝向该上游侧歧管的相邻的歧管的方向上的长度，例如在将上游侧歧管配置在上方、将该上游侧歧管的相邻的歧管配置在下方的涂布器的情况下，所述方向是上下方向。

另外，在所述节流流路的所述端部的流路长度与所述中央部的流路长度相同的情况下，在节流流路中，对于通过的涂布液而言，流动容易性在端部与中央部相同。因此，能够维持歧管中的扩宽的作用。

另外，在该情况下，优选所述上游侧歧管的上端的高度沿着所述一个方向是恒定的，并且该上游侧歧管的高度方向的尺寸在所述一个方向的全长范围内是恒定的。

在该情况下，在上游侧歧管和该上游侧歧管的相邻的歧管中，通过涂布液向两侧扩展的作用(扩宽作用)，容易使有可能混入这些歧管的气泡集中于两个端部。因此，在这些歧管的两个端部分别设置用于排出空气的排气孔，从而容易将空气排出至涂布器外。

另外，优选在所述多个歧管的各个中，关于与所述一个方向垂直的断面的截面积，所述一个方向的端部处的该截面积小于所述一个方向的中央部处的该截面积。

在该情况下，能够在多个歧管中分别使端部的液置换性优化。

另外，优选在所述歧管设置有三个以上、所述节流流路设置有比该歧管的数量少一个的数量的情况下，在该节流流路的各个中，所述端部处的流路长度大于等于所述中央部处的流路长度。

在该情况下，分别通过多个节流流路的涂布液在歧管中不容易向阻碍扩宽的方向流动。另外，为了对于通过节流流路的涂布液而言，使流动容易性在端部与中央部相同，使所述端部处的流路长度与所述中央部处的流路长度相同即可。

另外，本发明的涂布装置具有：所述涂布器，其对被涂布部件喷出涂布液；送液单元，其对所述涂布器输送涂布液；以及移动单元，其使所述涂布器与所述被涂布部件相对地移动。

根据该涂布装置，能够使涂布器的歧管中的液置换性优化，并且能够防止形成于被涂布部件的涂膜的膜厚精度降低。

发明效果

根据本发明，能够使涂布器所具有的歧管的端部中的液置换性优化，并且能够防止形成于被涂布部件的涂膜的膜厚精度降低，能够使用该被涂布部件得到高品质的制品。

附图说明

图1是示出涂布装置的一个实施方式的概略结构图。

图2是从正面观察涂布器的情况下的剖视图。

图3是图2所示的涂布器的A3向视的剖视图。

图4是图2所示的涂布器的A4向视的剖视图。

图5是示出涂布器的变形例的图，是中央部的剖视图。

图6是示出涂布器的变形例的图，是端部的剖视图。

图7是从正面观察其他方式的涂布器的情况下的剖视图。

图8是图7所示的涂布器的A8向视的剖视图。

图9是图7所示的涂布器的A9向视的剖视图。

图10是示出涂布器的变形例的图，是中央部的剖视图。

图11是示出涂布器的变形例的图，是端部的剖视图。

图12是从正面观察涂布器的情况下的剖视图。

图13是图12所示的涂布器的A12向视的剖视图。

图14是图12所示的涂布器的A14向视的剖视图。

图15是涂布装置的剖视图。

具体实施方式

以下，根据附图对本发明的实施方式进行说明。

[关于涂布装置的整体结构]

本发明的涂布装置例如是用于对玻璃制造的基板或膜等被涂布部件涂布涂布液的装置。在图1所示的方式中，被涂布部件为矩形的基板W，涂布装置1对矩形的基板W的上表面(被涂布面)涂布涂布液。为此，涂布装置1具有：涂布器10，其对基板W喷出涂布液；送液单元30，其对该涂布器10输送涂布液；以及移动单元40，其使涂布器10与基板W相对地移动。

涂布装置1还具有载置并保持基板W的载台5。涂布器10构成为在一个方向上较长，按照使该一个方向与基板W的宽度方向平行的方式将基板W载置于载台5上。另外，以下将涂布器10的长度方向(所述一个方向)定义为“Y轴方向”。涂布器10的长度比基板W的Y轴方向的尺寸大，根据基板W的尺寸而存在各种各样的涂布器10。另外，本发明特别优选涂布器10(后述的缝15)的Y轴方向的长度超过1000毫米那样的较长的涂布器10。

在图1所示的方式中，移动单元40使涂布器10相对于处于固定状态的载台5呈直线状地往复移动。该往复移动的方向是与Y轴方向垂直的方向，并且是与基板W的上表面(被涂布面)平行的方向。将该方向定义为“X轴方向”。在本实施方式中，X轴方向和Y轴方向分别是水平方向。

为了实现涂布器10的X轴方向的移动，移动单元40具有台架41，该台架41能够相对于载台5在X轴方向上移动，在该台架41上搭载有涂布器10。虽未进行图示，但移动单元40还具有致动器，该致动器使涂布器10在上下方向上移动，通过该致动器，能够变更涂布器10(后述的喷出口16)相对于基板W的高度位置。该高度的方向是与所述X轴方向和所述Y轴方向垂直的方向，将该方向定义为“Z轴方向”。

送液单元30具有：容器31，其贮存涂布液；以及泵32，其将该容器31的涂布液输送至涂布器10。另外，涂布装置1具有控制装置7，该控制装置7对送液单元30和移动单元40的各动作进行控制。通过该控制装置7的控制进行从涂布器10向基板W喷出涂布液的涂布动作。

图2是从正面(沿着X轴方向)观察涂布器10的情况下的剖视图。图3是图2所示的涂布器10的A3向视的剖视图。该涂布器10具有：提供口11，其从送液单元30(参照图1)提供涂布液；缝15，其形成为在Y轴方向上较长，对基板W喷出涂布液；第一歧管(上游侧歧管)12，其与提供口11连接；第二歧管(下游侧歧管)14，其与缝15连接；以及在Y轴方向上较长的节流流路13，其将这些相邻的歧管12、14之间连接起来。缝15的下端与基板W对置而成为在Y轴方向上细长的喷出口16。

在该涂布器10中，提供口11与第一歧管12在Y轴方向的中央连接(参照图2)，从该提供口11提供至第一歧管12的涂布液朝向Y轴方向的两端扩宽(分散)，在第一歧管12内临时贮存之后(成为充满状态之后)在节流流路13通过。并且，从节流流路13提供至第二歧管14的涂布液进一步朝向Y轴方向的两侧扩宽(分散)，在第二歧管14内临时贮存之后(成为充满状态之后)从缝15通过，从喷出口16对基板W喷出。送液单元30(参照图1)对涂布器10提供涂布液，从而涂布液从喷出口16喷出。一边通过移动单元40使涂布器10与基板W相对地移动一边进行送液单元30的涂布液提供，由此能够在基板W上通过涂布液形成涂膜。

[涂布器10的结构(其一)]

如图2所示，如上所述，涂布器10构成为在Y轴方向上较长，第一歧管12和第二歧管14也分别形成为在Y轴方向上较长。并且，提供口11与第一歧管12在Y轴方向的中央开口，从而将提供口11与第一歧管12连接。

涂布器10(参照图3)是通过使两个分割体10a、10b组合而构成的。在一方的分割体10a中形成有在Y轴方向上较长的凹部10c-1，在另一方的分割体10b中形成有在Y轴方向上较长的凹部10d-1，通过这些凹部10c-1、10d-1而构成一个第一歧管12。另外，在一方的分割体10a中形成有在Y轴方向上较长的凹部10c-2，在另一方的分割体10b中形成有在Y轴方向上较长的凹部10d-2，通过这些凹部10c-2、10d-2而构成一个第二歧管14。

节流流路13是将相邻的第一歧管12与第二歧管14之间连接起来的流路，其具有在Y轴方向上较长且在X轴方向上比歧管12、14窄的形状。喷出涂布液的缝15也具有在Y轴方向上较长且在X轴方向上比歧管12、14窄的形状。在本实施方式中，第一歧管12、节流流路13、第二歧管14以及缝15在Y轴方向上成为相同的长度(参照图2)。

图3是涂布器10的Y轴方向的中央部C处的剖视图，与此相对，图4是图2所示的涂布器10的A4向视的剖视图。即，图4是涂布器10的Y轴方向的端部E处的剖视图。如图3和图4所示，关于第一歧管12的与Y轴方向垂直的截面上的截面积，Y轴方向的端部E(参照图4)处的该截面积小于Y轴方向的中央部C(参照图3)处的该截面积。即，关于第一歧管12，分别位于图4所示的Y轴方向两端的端部E的截面积S1e小于图3所示的中央部C的截面积S1c(S1e＜S1c)。

如图2所示，第一歧管12的高度方向的尺寸H1(即，Z轴方向的尺寸H1)沿着Y轴方向的全长是恒定的。其中，第一歧管12的上端50的高度沿着Y轴方向是恒定(水平)的，下端51的高度也沿着Y轴方向是恒定(水平)的。下端51是第一歧管12与第一节流流路13的边界线(棱线)。并且，构成第一歧管12的上端50的直线与构成下端51的直线(所述边界线)平行。因此，关于第一歧管12的截面积，为了满足所述S1e＜S1c，如图3和图4所示，第一歧管12的端部E处的X轴方向的尺寸(深度尺寸)D1e小于第一歧管12的中央部C处的X轴方向的尺寸(深度尺寸)D1c(D1e＜D1c)。在本实施方式中，如下变化：第一歧管12的X轴方向的尺寸从中央部C分别朝向两侧的端部E慢慢变小。由此，构成为如下变化的结构：第一歧管12的截面积从中央部C分别朝向两侧的端部E慢慢变小。

在本实施方式中，关于第二歧管14，也成为与第一歧管12同样的形状。即，关于第二歧管14的与Y轴方向垂直的截面上的截面积，Y轴方向的端部E(参照图4)处的该截面积小于Y轴方向的中央部C(参照图3)处的该截面积。即，关于第二歧管14，分别位于图4所示的Y轴方向两侧的端部E的截面积S2e小于中央部C的截面积S2c(S2e＜S2c)。

如图2所示，第二歧管14的高度方向的尺寸H2(即，Z轴方向的尺寸H2)沿着Y轴方向的全长是恒定的。因此，关于第二歧管14的截面积，为了满足所述S2e＜S2c，如图3和图4所示，第二歧管14的端部E处的X轴方向的尺寸(深度尺寸)D2e小于第二歧管14的中央部C处的X轴方向的尺寸(深度尺寸)D2c(D2e＜D2c)。在本实施方式中，如下变化：第二歧管14的X轴方向的尺寸从中央部C分别朝向两侧的端部E慢慢变小。由此，构成为如下变化的结构：第二歧管14的截面积从中央部C分别朝向两侧的端部E慢慢变小。

节流流路13是将第一歧管12和相邻的第二歧管14之间连接起来的流路，在图2中，在该节流流路13中，端部E处的流路长度L1e与中央部C处的流路长度L1c相同(L1e＝L1c)。在本实施方式中，节流流路13的流路长度沿着Y轴方向的全长是恒定的。另外，所述流路长度(L1e、L1c)是从上游侧的第一歧管12朝向第二歧管14的方向即Z轴方向上的长度。在本实施方式的情况下，将第一歧管12配置于上方、将第二歧管14配置于下方，因此该Z轴方向是上下方向。另外，如图3和图4所示，节流流路13的X轴方向的尺寸(节流流路13的流路宽度)沿着Y轴方向是恒定的。

在图2中，在缝15中，端部E处的流路长度Me与中央部C处的流路长度Mc相同(Me＝Mc)。在本实施方式中，缝15的流路长度沿着Y轴方向的全长是恒定的。另外，如图3和图4所示，缝15的X轴方向的尺寸(缝15的流路宽度)沿着Y轴方向是恒定的。

第二歧管14的上端52的高度沿着Y轴方向是恒定(水平)的，下端53的高度也沿着Y轴方向是恒定(水平)的。另外，上端52作为第一节流流路13与第二歧管14的边界线，下端53作为第二歧管14与缝15的边界线(棱线)。并且，作为上端52的边界线与作为下端53的边界线平行。

如上所述，在图2～图4所示的涂布器10中，关于第一歧管12的与Y轴方向垂直的截面上的截面积，Y轴方向的端部E处的该截面积小于Y轴方向的中央部C处的该截面积(S1e＜S1c)。根据该涂布器10，截面积分别在第一歧管12的两侧的端部E较小，因此即使流动的涂布液为少量，也可确保流速，能够分别使两侧的端部E的液置换性优化。

在第一歧管12中，当截面积(流路截面)在中央部C与端部E不同时，有时在歧管内的涂布液的扩宽性降低，从缝喷出的涂布液的流量在中央与端部不同，形成于被涂布部件的膜厚的均匀性受损，但采用具有二级的歧管12、14的结构，因此从提供口11提供至第一歧管12的涂布液如图2的箭头f1所示那样在第一歧管12中向Y轴方向的两端扩宽(分散)，在该第一歧管12中临时贮存之后通过节流流路13，进而在与该第一歧管12相邻的第二歧管14中如图2的箭头f2所示那样向Y轴方向的两侧扩宽(分散)，涂布液在该第二歧管14中临时贮存之后从缝15喷出。因此，能够使从缝15喷出的涂布液的喷出状态(流量)如图2的箭头f3所示那样沿着Y轴方向全长尽可能一样，从而能够防止形成于基板W的涂膜的膜厚精度降低。

另外，在该涂布器10的节流流路13中，端部E处的流路长度L1e与中央部C处的流路长度L1c相同(L1e＝L1c)。特别是，节流流路13的流路长度沿着Y轴方向是恒定的，节流流路13的X轴方向的尺寸沿着Y轴方向是恒定的。因此，在节流流路13中，对于沿Z轴方向通过的涂布液而言，流动容易性在端部E与中央部C是相同的。因此，从该节流流路13通过的涂布液在第二歧管14中不容易向阻碍扩宽的方向流动，能够维持第二歧管14中的扩宽的作用(如图2的箭头f2所示那样使涂布液按照朝向Y轴方向两侧的方式流动的作用)。其结果是，能够提高使从缝15喷出的涂布液的喷出状态(流量)如图2的箭头f3所示那样沿着Y轴方向全长尽可能一样的功能。

另外，虽未进行图示，但在节流流路13中，只要端部E处的流路长度L1e大于等于中央部C处的流路长度L1c即可(L1e≥L1c)，由此，如上述那样从节流流路13通过的涂布液在第二歧管14中不容易向阻碍扩宽的方向流动。其机理如下。

即，在与L1e≥L1c的关系相反而如图15所示在节流流路13中使中央部C处的流路长度L1c大于端部E处的流路长度L1e的情况下(L1c＞L1e)，关于在节流流路13内沿Z轴方向流动时的涂布液的阻力，中央部C大于端部E。因此，在该节流流路13中，对于沿Z轴方向通过的涂布液而言，在端部E比在中央部C容易流动。于是，关于从节流流路13流出至第二歧管14的涂布液，与中央部C相比在端部E较多，在第二歧管14中，流入至端部E的涂布液如箭头f12所示那样朝向中央部C流动的成分变强，会降低涂布液的扩宽作用。在该情况下，关于从缝15通过的涂布液，与中央部C相比在端部E减少，形成于基板W的涂膜有可能在Y轴方向上变得不恒定。

但是，若如上所述使节流流路13的流路长度为L1e≥L1c的关系，则能够维持第二歧管14中的扩宽作用。其结果是，能够使从缝15喷出的涂布液的喷出状态(流量)沿着Y轴方向全长尽可能一样，能够在Y轴方向上形成均匀的涂膜。

[涂布器10(其一)的变形例]

在图3和图4所示的方式中，在构成涂布器10的分割体10a、10b这双方中形成有凹部(10c-1、10c-2以及10d-1、10d-2)，但也可以如图5和图6所示，仅在分割体10a、10b中的任意一方中形成有凹部10d-1、10d-2，通过该凹部10d-1、10d-2来构成第一歧管12和第二歧管14。至于其他结构与图2～图4所示的方式的结构相同，这里省略了说明。

[涂布器110的结构(其二)]

图7是从正面(沿着X轴方向)观察其他方式的涂布器110的情况下的剖视图。

图8是图7所示的涂布器110的A8向视的剖视图。图9是图7所示的涂布器110的A9向视的剖视图。即，图8是涂布器110的Y轴方向的中央部C处的剖视图，图9是涂布器110的Y轴方向的端部E处的剖视图。该涂布器110具有：提供口111，其从送液单元30(参照图1)提供涂布液；缝117，其对基板W喷出涂布液，形成为在Y轴方向上较长；以及三个歧管112、114、116。与提供口111连接的歧管是第一歧管112，在该第一歧管112的下游侧相邻的歧管是第二歧管114，在该第二歧管114的下游侧相邻且与缝117连接的歧管是第三歧管116。在第一歧管112与第二歧管114之间设置有第一节流流路113，在第二歧管114与第三歧管116之间设置有第二节流流路115。该涂布器110具有三级的歧管112、114、116以及二级的节流流路113、115。

涂布器110构成为在Y轴方向上较长，歧管112、114、116也分别形成为在Y轴方向上较长。提供口111与第一歧管112在Y轴方向的中央开口，从而将提供口111与第一歧管112连接。

第一节流流路113是将相邻的第一歧管112与第二歧管114之间连接起来的流路，具有在Y轴方向上较长且在X轴方向上比歧管112、114窄的形状。

第二节流流路115是将相邻的第二歧管114与第三歧管116之间连接起来的流路，具有在Y轴方向上较长且在X轴方向上比歧管114、116窄的形状。

关于喷出涂布液的缝117，也具有在Y轴方向上较长且在X轴方向上比歧管112、114、116窄的形状。在本实施方式中，歧管112、114、116、节流流路113、115以及缝117成为在Y轴方向上相同的长度(参照图7)。

如图8和图9所示，关于第一歧管112的与Y轴方向垂直的截面上的截面积，Y轴方向的端部E(参照图9)处的该截面积小于Y轴方向的中央部C(参照图8)处的该截面积。即，关于第一歧管112，分别位于Y轴方向两侧的端部E处的截面积S1e小于中央部C处的截面积S1c(S1e＜S1c)。

如图7所示，第一歧管112的高度方向的尺寸H1(即，Z轴方向的尺寸H1)沿着Y轴方向的全长是恒定的。另外，第一歧管112的上端150的高度沿着Y轴方向是恒定(水平)的，下端151的高度也沿着Y轴方向是恒定(水平)的。下端151作为第一歧管112与第一节流流路113的边界线(棱线)。并且，构成第一歧管112的上端150的直线与构成下端151的直线(所述边界线)平行。因此，关于截面积，为了满足所述的S1e＜S1c，如图8和图9所示，第一歧管112的端部E处的X轴方向的尺寸(深度尺寸)D1e小于第一歧管112的中央部C处的X轴方向的尺寸(深度尺寸)D1c(D1e＜D1c)。在本实施方式中，如下变化：第一歧管112的X轴方向的尺寸从中央部C分别朝向两侧的端部E慢慢变小。由此，构成为如下变化：第一歧管112的截面积从中央部C分别朝向两侧的端部E慢慢变小。

在本实施方式中，第二歧管114和第三歧管116也分别成为与第一歧管112同样的形状。即，关于第二歧管114(第三歧管116)的与Y轴方向垂直的截面上的截面积，Y轴方向的端部E(参照图9)处的该截面积小于Y轴方向的中央部C(参照图8)处的该截面积。即，关于第二歧管114(第三歧管116)，分别位于Y轴方向两侧的端部E的截面积S2e(S3e)小于中央部C的截面积S2c(S3c)(S2e＜S2c、S3e＜S3c)。

如图7所示，第二歧管114的高度方向的尺寸H2(即，Z轴方向的尺寸H2)沿着Y轴方向的全长是恒定的。因此，关于第二歧管114的截面积，为了满足所述S2e＜S2c，如图8和图9所示，第二歧管114的端部E处的X轴方向的尺寸(深度尺寸)D2e小于第二歧管114的中央部C处的X轴方向的尺寸(深度尺寸)D2c(D2e＜D2c)。在本实施方式中，如下变化：第二歧管114的X轴方向的尺寸从中央部C分别朝向两侧的端部E慢慢变小。由此，构成为如下变化：第二歧管114的截面积从中央部C分别朝向两侧的端部E慢慢变小。

另外，如图7所示，与第二歧管114同样地，第三歧管116的高度方向的尺寸H3(即，Z轴方向的尺寸H3)沿着Y轴方向的全长是恒定的。因此，关于第三歧管116的截面积，为了满足所述S3e＜S3c，如图8和图9所示，第三歧管116的端部E处的X轴方向的尺寸(深度尺寸)D3e小于第三歧管116的中央部C处的X轴方向的尺寸(深度尺寸)D3c(D3e＜D3c)。在本实施方式中，如下变化：第三歧管116的X轴方向的尺寸从中央部C分别朝向两侧的端部E慢慢变小。由此，构成为如下变化：第三歧管116的截面积从中央部C分别朝向两侧的端部E慢慢变小。

在图7中，在第一节流流路113中，端部E处的流路长度L1e与中央部C处的流路长度L1c相同(L1e＝L1c)。在本实施方式中，第一节流流路113的流路长度沿着Y轴方向的全长是恒定的。另外，所述流路长度(L1e、L1c)是从上游侧的第一歧管112朝向相邻的第二歧管114的方向、即Z轴方向的长度。另外，第一节流流路113的X轴方向的尺寸(节流流路13的流路宽度)沿着Y轴方向是恒定的。

另外，在第二节流流路115中，端部E处的流路长度L2e与中央部C处的流路长度L2c相同(L2e＝L2c)。在本实施方式中，第二节流流路115的流路长度沿着Y轴方向的全长是恒定的。另外，所述流路长度(L2e、L2c)是从第二歧管114朝向该第二歧管114的相邻的第三歧管116的方向、即Z轴方向的长度。另外，第二节流流路115的X轴方向的尺寸(节流流路13的流路宽度)沿着Y轴方向是恒定的。

在缝117中，端部E处的流路长度Me与中央部C处的流路长度Mc相同(Me＝Mc)。在本实施方式中，缝117的流路长度沿着Y轴方向的全长是恒定的。另外，缝117的X轴方向的尺寸(缝15的流路宽度)沿着Y轴方向是恒定的。

第二歧管114的上端152的高度沿着Y轴方向是恒定(水平)的，下端153的高度也沿着Y轴方向是恒定(水平)的。上端152作为第一节流流路113与第二歧管114的边界线(棱线)，下端153作为第二歧管114与第二节流流路115的边界线(棱线)。作为上端152的边界线与作为下端153的边界线平行。

另外，第三歧管116的上端154的高度沿着Y轴方向是恒定(水平)的，下端155的高度也沿着Y轴方向是恒定(水平)的。上端154作为第二节流流路115与第三歧管116的边界线，下端155作为第三歧管116与缝117的边界线(棱线)。作为上端154的边界线与作为下端155的边界线平行。

如上所述，在图7～图9所示的涂布器110中，关于第一歧管112的与Y轴方向垂直的截面上的截面积，Y轴方向的端部E处的该截面积小于Y轴方向的中央部C处的该截面积(S1e＜S1c)。根据该涂布器110，截面积分别在第一歧管112的两侧的端部E较小，因此即使流动的涂布液为少量，也可确保流速，能够分别使两侧的端部E的液置换性优化。

在第一歧管112中，当截面积(流路截面)在中央部C与端部E不同时，有时在歧管内的涂布液的扩宽性降低，从缝喷出的涂布液的流量在中央与端部不同，形成于被涂布部件的膜厚的均匀性受损，但采用具有三级的歧管112、114、116的结构，因此从提供口111提供至第一歧管112的涂布液如图7的箭头f1所示那样在第一歧管112中向Y轴方向的两侧扩宽(分散)，在该第一歧管12中临时贮存之后通过第一节流流路113，进而在该第一歧管12的相邻的第二歧管114中，如图7的箭头f2所示那样向Y轴方向的两侧扩宽(分散)，涂布液临时贮存于该第二歧管114中。然后，涂布液从该第二歧管114通过第二节流流路115，进而在该第二节流流路115的相邻的第三歧管116中，如图7的箭头f3所示那样向Y轴方向的两侧扩宽(分散)，涂布液临时贮存于该第三歧管116中之后，从缝117喷出。因此，能够使从缝117喷出的涂布液的喷出状态(流量)如图7的箭头f4所示那样沿着Y轴方向全长尽可能一样，能够防止形成于基板W的涂膜的膜厚精度降低。

另外，在该涂布器10的第一节流流路113中，端部E处的流路长度L1e与中央部C处的流路长度L1c相同(L1e＝L1c)。特别是，第一节流流路113的流路长度沿着Y轴方向是恒定的，第一节流流路113的X轴方向的尺寸沿着Y轴方向是恒定的。因此，在第一节流流路113中，对于沿Z轴方向通过的涂布液而言，流动容易性在端部E与中央部C相同。因此，通过该节流流路113的涂布液在第二歧管114中不容易向阻碍扩宽的方向流动，能够维持第二歧管114中的扩宽的作用(如图7的箭头f2所示那样使涂布液按照朝向Y轴方向两侧的方式流动的作用)。另外，在第二歧管114的下游侧设置有第三歧管116，因此如图7的箭头f3所示那样在该第三歧管116中也进行涂布液的扩宽，其结果是，能够提高使从缝117喷出的涂布液的喷出状态(流量)如图7的箭头f4所示那样沿着Y轴方向全长尽可能一样的功能。

另外，在第二节流流路115中，端部E处的流路长度L2e与中央部C处的流路长度L2c相同(L2e＝L2c)。特别是，第二节流流路115的流路长度沿着Y轴方向是恒定的，第二节流流路115的X轴方向的尺寸沿着Y轴方向是恒定的。因此，在第二节流流路115中，对于沿Z轴方向通过的涂布液而言，流动容易性在端部E与中央部C相同。

另外，与图2所示的所述涂布器10(其一)的情况同样地，在该图7所示的涂布器10(其二)的方式中，虽未进行图示，但在第一节流流路113中，只要端部E处的流路长度L1e大于等于中央部C处的流路长度L1c即可(L1e≥L1c)，由此，如上所述通过第一节流流路113的涂布液在第二歧管114中不容易向阻碍扩宽的方向流动。其机理与在所述涂布器10(其一)的情况下所说明的机理相同，这里省略。另外，在第二节流流路115中，端部E处的流路长度L2e可以大于等于中央部C处的流路长度L2c(L2e≥L2c)。

[涂布器110(其二)的变形例1]

在图8和图9所示的方式中，在构成涂布器110的分割体110a、110b这双方中形成有凹部，但也可以如图10和图11所示，仅在分割体110a、110b中的任意一方中形成凹部110d-1、110d-2、110d-3，通过这些凹部110d-1、110d-2、110d-3来构成第一歧管112、第二歧管114和第三歧管116。至于其他结构与图7～图9所示的方式的结构相同，这里省略说明。

[涂布器110(其二)的变形例2]

图12是从正面(沿着X轴方向)观察涂布器110的情况下的剖视图。图13是图12所示的涂布器110的A13向视的剖视图。图14是图12所示的涂布器110的A14向视的剖视图。即，图13是涂布器110的Y轴方向的中央部C处的剖视图，图14是涂布器110的Y轴方向的端部E处的剖视图。该涂布器110与图7至图9所示的涂布器110同样地，具有三级的歧管112、114、116和二级的节流流路113、115。

在图12所示的涂布器110中，也与图7所示的涂布器110同样地，关于第一歧管112的与Y轴方向垂直的截面上的截面积，Y轴方向的端部E(参照图14)处的该截面积小于Y轴方向的中央部C(参照图13)处的该截面积。即，关于第一歧管112，分别位于Y轴方向两侧的端部E的截面积S1e小于中央部C的截面积S1c(S1e＜S1c)。

在图12所示的方式中，第一歧管112的高度方向的尺寸H(即，Z轴方向的尺寸H)根据Y轴方向的位置而变化。具体而言，随着从中央部C分别朝向Y轴方向的两侧的端部E，高度方向的尺寸H变大。第一歧管112的上端150的高度沿着Y轴方向是恒定(水平)的，但下端151的高度从中央部C分别朝向两侧的端部E变低。下端151作为第一歧管112与第一节流流路113的边界线(棱线)。因此，关于第一歧管112的截面积，为了满足所述S1e＜S1c，如图13和图14所示，第一歧管112的端部E处的X轴方向的尺寸(深度尺寸)D1e与第一歧管112的中央部C处的X轴方向的尺寸(深度尺寸)D1c相比，按照比高度方向的尺寸H(参照图12)的变化比例大的变化比例变小。在本实施方式中，第一歧管112的X轴方向和Z轴方向的尺寸分别从中央部C分别朝向两侧的端部E慢慢变化，由此，构成为如下变化：第一歧管112的截面积从中央部C分别朝向两侧的端部E慢慢变小。

并且，关于第二歧管114(第三歧管116)的与Y轴方向垂直的截面上的截面积，也是Y轴方向的端部E(参照图14)处的该截面积小于Y轴方向的中央部C(参照图13)处的该截面积。即，关于第二歧管114(第三歧管116)，分别位于Y轴方向两侧的端部E的截面积S2e(S3e)小于中央部C的截面积S2c(S3c)(S2e＜S2c，S3e＜S3c)。

如图12所示，在第一节流流路113中，端部E处的流路长度L1e与中央部C处的流路长度L1c相同(L1e＝L1c)。在本实施方式中，第一歧管112的下端151按照随着从中央部C朝向端部E而变低的方式倾斜，因此为了确保所述L1e＝L1c，对于第二歧管114的上端(与第一节流流路113的边界线)152，也按照随着从中央部C朝向端部E而变低的方式倾斜。由此，第一节流流路113的流路长度沿着Y轴方向的全长是恒定的。所述流路长度(L1e、L1c)是Z轴方向的长度。

另外，在第二节流流路115中，端部E处的流路长度L2e与中央部C处的流路长度L2c相同(L2e＝L2c)。在本实施方式中，第二歧管114的下端(与第二节流流路115的边界线)153按照随着从中央部C朝向端部E而变低的方式倾斜，因此为了确保所述L2e＝L2c，关于第三歧管116的上端(与第二节流流路115的边界线)154，也按照随着从中央部C朝向端部E而变低的方式倾斜。由此，第二节流流路115的流路长度沿着Y轴方向的全长是恒定的。所述流路长度(L2e、L2c)是Z轴方向的长度。

在缝117中，端部E的流路长度Me与中央部C的流路长度Mc相同(Me＝Mc)。在本实施方式中，缝117的流路长度沿着Y轴方向的全长是恒定的。另外，缝117的X轴方向的尺寸(缝15的流路宽度)沿着Y轴方向是恒定的。

[关于各方式的涂布器10]

如上所述，在所述各方式的涂布器10(110)中，与提供口11连接的位于最上游侧的第一歧管12(112)的截面积从中央部C朝向端部E变小。即，第一歧管12(112)具有从中央部C分别朝向两侧的端部E收缩的形状。由此，能够使第一歧管12(112)的端部E处的液置换性优化。

在第一歧管12(112)中，当截面积(流路截面)在中央部C与端部E不同时，有时涂布液的流动的情况在中央部C与端部E不同，但歧管为多级，因此能够使从缝15(117)喷出的涂布液的喷出状态(流量)沿着Y轴方向全长尽可能地一样，能够防止形成于基板W的涂膜的膜厚精度降低。

另外，在节流流路13(第一节流流路113)中，端部E处的流路长度L1e大于等于中央部处的流路长度L1c(L1e≥L1c)，因此对于通过的涂布液而言，流动容易性在端部E与中央部C相同，或者与中央部C相比在端部E不容易流动。因此，通过该节流流路13的涂布液在第二歧管14(114)中不容易向阻碍扩宽的方向流动。即，能够维持第二歧管14(114)中的扩宽的作用。其结果是，能够提高使从缝15(117)喷出的涂布液的喷出状态(流量)沿着Y轴方向全长尽可能一样的功能。

另外，在所述各方式中，不仅第一歧管12(112)，而且在其他歧管14(114、116)中(即，在所有的歧管中)，与Y轴方向垂直的截面上的截面积也是Y轴方向的端部E比Y轴方向的中央部C小。因此，能够在多个歧管中分别使端部E的液置换性优化。

另外，在图7和图12所示的方式的情况下，设置有三个歧管112、114、116，设置有比这些歧管112、114、116的数量少一个的两个节流流路113、115。并且，在这些节流流路113、115中，分别使端部E处的流路长度大于等于中央部C处的流路长度。因此，通过第一节流流路113的涂布液在第二歧管114中不容易向阻碍扩宽的方向流动，另外，通过第二节流流路115的涂布液在第三歧管116中不容易向阻碍扩宽的方向流动。即，能够分别维持第二歧管114和第三歧管116中的扩宽的作用。其结果是，能够提高使从缝117喷出的涂布液的喷出状态(流量)沿着Y轴方向全长尽可能一样的功能。

另外，在图2和图7所示的方式中，第一歧管12(112)的上端50的高度沿着Y轴方向是恒定(水平)的，且该第一歧管12(112)的高度方向的尺寸H1沿着Y轴方向的全长是恒定的。并且，节流流路13(113)的端部E处的流路长度L1e与中央部C处的流路长度L1c相同(沿着Y轴方向的全长是相同的)。根据该结构，在第一歧管12(112)中通过涂布液向两侧扩展的作用(扩宽作用)，容易使混入该歧管12(112)的气泡集中于两个端部E。并且，如上所述，节流流路13(113)的端部E处的流路长度L1e与中央部C处的流路长度L1c相同，因此第二歧管14(114)的上端52(152)的高度沿着Y轴方向是恒定(水平)的。因此，在第二歧管14(114)中通过涂布液向两侧扩展的作用(扩宽作用)，容易使混入该歧管14(114)的气泡集中于两个端部E。

因此，通过在这些歧管12、14(112、114)的两个端部E分别设置用于排出空气的排气孔，从而容易将空气排出至涂布器10(110)外。

[附记]

如上所述公开的实施方式在所有的方面均为例示，并不是限制性的内容。即，本发明的涂布器和涂布装置不限于图示的方式，在本发明的范围内可以为其他方式。

例如，在所述各方式中，在所有的歧管中，采用使截面在Y轴方向的端部E侧收缩的形状，但该形状只要至少在第一歧管12(112)中采用即可，在第二歧管(第三歧管)中，截面也可以沿着Y轴方向是相同的(不变化)。

另外，在所述实施方式中，对移动单元40使涂布器10相对于基板W移动的情况进行了说明，但只要是移动单元40使涂布器10与基板W在与基板W的被涂布面平行的方向上相对移动的结构即可，虽未进行图示，但也可以是使载台5(基板W)相对于处于固定状态的涂布器10移动的结构。

另外，在所述实施方式中，使被涂布部件为单片状的基板W，但也可以不是单片状而是连续的部件(利用卷对卷输送的被涂布部件)。在该情况下，可省略载台5。另外，涂布装置1进行的涂布可以是对被涂布部件形成多个涂膜的间歇涂布。

标号说明

10：涂布器；11：提供口；12：第一歧管(上游侧歧管)；13：节流流路；14：第二歧管(上游侧歧管)；15：缝；16：喷出口；30：送液单元；40：移动单元；50：上端；51：下端；52：上端；53：下端；111：提供口；112：第一歧管(上游侧歧管)；113：节流流路；114：第二歧管；115：节流流路；116：第三歧管(下游侧歧管)；117：缝；150：上端；151：下端；152：上端；153：下端；154：上端；155：下端；C：中央部；E：端部；L1c：流路长度；L2c：流路长度；L1e：流路长度；L2e：流路长度；H1、H2、H3：高度尺寸；W：基板(被涂布部件)。

Claims (6)

1.一种涂布器，其具有：

提供口，其提供涂布液；

缝，其喷出涂布液，形成为在一个方向上较长；

多个歧管，它们至少包含与所述提供口连接的上游侧歧管以及与所述缝连接的下游侧歧管，形成为在所述一个方向上较长；以及

节流流路，其在所述一个方向上较长，将相邻的所述歧管之间连接起来，

所述提供口与所述上游侧歧管在所述一个方向的中央连接，

关于所述上游侧歧管的与所述一个方向垂直的截面上的截面积，所述一个方向的端部处的该截面积小于该一个方向的中央部处的该截面积，

在将所述上游侧歧管与该上游侧歧管的相邻的所述歧管之间连接起来的所述节流流路中，所述端部处的流路长度大于等于所述中央部处的流路长度。

2.根据权利要求1所述的涂布器，其中，

所述节流流路的所述端部处的流路长度与所述中央部处的流路长度相同。

3.根据权利要求2所述的涂布器，其中，

所述上游侧歧管的上端的高度沿着所述一个方向是恒定的，并且该上游侧歧管的高度方向的尺寸在所述一个方向的全长范围内是恒定的。

4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的涂布器，其中，

在所述多个歧管的各个中，关于与所述一个方向垂直的截面上的截面积，所述一个方向的端部处的该截面积小于所述一个方向的中央部处的该截面积。

5.根据权利要求1～4中的任意一项所述的涂布器，其中，

在所述歧管设置有大于等于三个、所述节流流路设置有比该歧管的数量少一个的数量的情况下，

在该节流流路的各个中，所述端部处的流路长度大于等于所述中央部处的流路长度。

6.一种涂布装置，其具有：

涂布器，其对被涂布部件喷出涂布液；

送液单元，其对所述涂布器输送涂布液；以及

移动单元，其使所述涂布器与所述被涂布部件相对地移动，

所述涂布器是权利要求1～5中的任意一项所述的涂布器。