CN104661759A - 涂布装置以及涂布方法 - Google Patents

Abstract

即使在向基板涂布粘度比较高的涂布液的情况下，也能够在基板上高精度并且高速地形成涂膜。具体而言，涂布装置(1)具有：容器(9)，其积存涂布液；以及喷嘴(3)，其形成有缝(21)，该缝(21)喷出从该容器(9)供给的涂布液，该涂布装置(1)通过从缝(21)喷出涂布液从而向基板涂布涂布液。涂布装置(1)具有：升温部(30)，其使从容器(9)供给的涂布液升温；以及均温部(40)，其在从缝(21)喷出由该升温部升温后的涂布液之前，使该涂布液的温度均匀化。

Description

涂布装置以及涂布方法

技术领域

本发明涉及通过从形成于喷嘴的缝喷出涂布液从而向基板涂布涂布液的涂布装置以及涂布方法。

背景技术

作为向玻璃基板和胶片等基板涂布涂布液的装置，公知有如下的涂布装置(例如，参照专利文献1)，该涂布装置具有喷嘴，该喷嘴形成有喷出涂布液的缝。该涂布装置具有：积存涂布液的容器；以及用于将该容器内的涂布液供给到喷嘴的缝的泵。

缝沿着基板的宽度方向形成为较长，例如，通过一边使喷嘴相对于载置于载台上的基板水平移动，一边从缝喷出涂布液，从而能够在基板的表面上形成涂布液的薄膜(涂膜)。

在使用这样的涂布装置开始向基板涂布粘度比较高的涂布液的情况下，因从泵到喷嘴的树脂制配管以及喷嘴内的缝的阻力，导致相对于泵的动作开始，涂布液的流动和涂布液从缝的喷出动作产生延迟，因该延迟而导致在涂布开始时涂膜厚度降低而给涂布品质带来影响。

并且，若为了高速地涂布粘度比较高的涂布液，而提高涂布液从泵的供给速度，则在喷嘴内的缝处阻力增大，内压增高。因该内压的增高，而导致作为细长的直线形状的缝向细长的鼓状变形，从缝的长边方向(宽度方向)中央部喷出的涂布液所形成的膜厚变得比端部的膜厚厚，成为膜厚在宽度方向上不同的结果，从而膜厚的精度会大幅度地降低。此外，为了利用粘度高的涂布液与粘度低的涂布液分别形成相同厚度的涂膜，也存在如下原理性问题：如果不使粘度高的涂布液比粘度低的涂布液的涂布速度(喷嘴的移动速度)低，则无法形成这样的涂膜。

因此，认为在向基板涂布粘度比较高的涂布液的情况下，若以涂布品质的确保为第1优先，则需要降低涂布液的供给速度，并降低喷嘴的移动速度。若降低涂布液的供给速度(涂布液的流速)，则能够减小流路的阻力，能够抑制上述这样的延迟的产生和宽度方向的膜厚精度的降低。

并且，作为其他的方法，通过不降低涂布液的供给速度而增大到喷嘴为止的配管直径，进而增大缝的间隙量(平行的缝隙的宽度)，由此，能够减小流路的阻力，抑制因上述这样的延迟的产生和缝的变形而导致的宽度方向的膜厚精度的降低。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000－157906号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，如上所述，在延迟涂布液的供给速度，并延迟喷嘴的移动速度的情况下，涂布时间会增加，生产率会降低。

并且，如上所述，若增大到喷嘴为止的配管直径，例如，在需要将配管弯曲成U字形的情况下，需要将其曲率半径设定为较大，并且，需要将用于配管的接头等也增大，会使从泵到喷嘴的设备大型化。并且，若为了减小流路阻力而过度增大喷嘴的缝的间隙量，则会无法从缝均匀地喷出涂布液，在基板上形成的涂膜的宽度方向的膜厚精度降低，显著降低涂布品质。

以上的问题是因涂布液的粘度升高而产生的。因此，如果加热涂布液提高温度而降低粘度，则能够避免以上的问题。此外，通过降低粘度还能够产生如下效果：为了得到相同的膜厚，能够提高涂布速度。不过，若涂布液未被均匀加热，而因温度不匀导致存在粘度不匀，则涂布液无法从缝沿宽度方向均匀喷出，宽度方向的膜厚精度降低，涂布品质会受损。

因此，本发明的目的在于，即使在向基板涂布粘度比较高的涂布液的情况下，也能够在基板上高精度并且高速地形成涂布液的薄膜(涂膜)。

用于解决课题的手段

本发明提供了一种涂布装置，其具有：容器，其积存涂布液；以及喷嘴，其形成有缝，该缝喷出从该容器供给的涂布液，所述涂布装置通过从该缝喷出涂布液从而向基板涂布涂布液，其特征在于，所述涂布装置具有：升温部，其使从所述容器供给的所述涂布液升温；以及均温部，其在从所述缝喷出由所述升温部升温后的涂布液之前，使该涂布液的温度均匀化。

根据本发明，即使在向基板涂布粘度比较高的涂布液的情况下，也能够通过使从容器供给的涂布液升温，从而降低从缝喷出的涂布液的粘度，减小流动的涂布液的阻力。并且，在从缝喷出的涂布液中，在该缝的长边方向上产生温度差(温度不匀)的情况下，会因粘度不匀而导致产生膜厚不匀，但是，根据本发明，由于在从缝喷出升温后的涂布液前，能够通过使该涂布液的温度均匀化从而使粘度也为较低值且均匀化，因此，能够在基板上形成均匀厚度的涂膜。其结果为，能够在基板上高精度地形成涂膜。此外，也能够通过使粘度变低，从而更高速地进行涂布。

并且，所述均温部优选具有：加热机构；以及热传递用流路，该热传递用流路为供由所述升温部升温后的涂布液流过的流路，其与涂布液的流动方向正交的流路截面至少在一个方向上变窄，所述均温部使由所述加热机构产生的热量传递到流过所述热传递用流路的涂布液，使由所述升温部升温后的涂布液的温度均匀化。

在该情况下，由升温部升温后的涂布液流过流路截面变窄的热传递用流路，在流过该热传递用流路的涂布液中，将由加热机构产生的热量传递到流路截面变窄的一个方向，使涂布液的温度均匀化到涂布液内部。这样，在涂布液流过流路截面变窄的热传递用流路时，由于进行热传递，因此不仅在宽度方向上使涂布液的温度均匀化，而且容易使其均匀化到内部。

并且，优选所述热传递用流路是与所述缝不同的流路，在所述热传递用流路与所述缝之间设置积存涂布液的扩大空间流路。

在该情况下，能够将温度均匀化的涂布液暂时积存在扩大空间流路中，在保持温度的同时，能够更均匀地分配，并且，能够使该涂布液从扩大空间流路流向缝并喷出。因此，能够在基板上更高精度均匀地形成涂膜。

并且，优选在所述喷嘴内形成有作为第一缝的所述缝、与该第一缝连接的第一歧管、第二歧管以及连结该第一歧管与第二歧管的第二缝，所述第二缝作为所述热传递用流路形成在所述喷嘴内，所述加热机构对所述喷嘴进行加热。

在该情况下，成为在喷嘴中设置有均温部的结构，在喷嘴中使涂布液的温度均匀化，并从第一缝喷出温度均匀化的涂布液。

并且，本发明提供了一种涂布方法，该涂布方法是通过具有喷嘴的涂布装置进行的，该喷嘴形成有喷出从容器供给的涂布液的缝，该涂布方法通过从该缝喷出涂布液从而向基板涂布涂布液，其特征在于，使从所述容器供给的所述涂布液升温，在从所述缝喷出该升温后的涂布液之前，使该涂布液的温度均匀化。

根据本发明，能够实现与所述涂布装置相同的作用效果。

发明效果

根据本发明，即使在向基板涂布粘度比较高的涂布液的情况下，也能够通过使从容器供给的涂布液升温，而降低从缝喷出的涂布液的粘度，减小流动的涂布液的阻力，并且，在从缝喷出该升温后的涂布液之前，能够通过使该涂布液的温度均匀化而使粘度也为较低值且均匀化，由此能够在基板上高速地形成均匀厚度的涂膜。其结果为，能够高精度、均匀地并且以基于高速涂布的高生产率在基板上形成涂膜。

附图说明

图1是示出本发明的涂布装置的一个实施方式的示意图。

图2是对喷嘴和液体供给部等的结构进行说明的示意性说明图，通过喷嘴的与长边方向正交的截面来示出喷嘴内部。

图3是喷嘴的与长边方向正交的截面图。

具体实施方式

下面，根据附图对本发明的实施方式进行说明。

(涂布装置的结构)

图1是示出本发明的涂布装置1的一个实施方式的示意图。该涂布装置1具有：载台2，其能够载置玻璃等基板W；喷嘴3，其内部形成有缝21；以及驱动装置4，其使喷嘴3独立自如地进行相对于载台2上的基板W的水平移动(X方向移动)与垂直移动(Z方向移动)。并且，该涂布装置1还具有送液机构作为液体供给部，该送液机构由积存涂布液的容器9和用于将容器9内的涂布液向喷嘴3供给的泵8等构成。在泵8与喷嘴3之间设置有构成涂布液的流路的树脂制的配管(管)17。

在本实施方式中，容器9内的涂布液为常温(设置有涂布装置1的室内的温度)。并且，通过该涂布装置1进行涂布的涂布液在常温下为粘度比较高的液体。作为涂布液例如采用平坦化膜用的聚酰亚胺溶液、形成等离子体显示背面板的间隔壁的含有玻璃粒子的间隔壁用分散液等。这里所说的比较高的粘度是指100mPas以上。

根据该涂布装置1，泵8向喷嘴3供给容器9内的涂布液，通过驱动装置4使喷嘴3垂直下降，在尖端部23与基板W之间的平行缝隙达到规定的值后，一边使喷嘴3水平移动，一边从缝21喷出涂布液，从而能够在基板W上形成涂布液的薄膜(涂膜)M，由此涂布涂布液。因此，喷嘴3的移动方向成为涂布方向(X方向)。

并且，该涂布装置1具有对涂布装置1的各部分的动作进行控制的控制装置5，控制装置5除了对上述的喷嘴3的移动进行控制以外，还对向基板W喷出涂布液的涂布动作进行控制。

图2是对喷嘴3和所述液体供给部等的结构进行说明的示意性说明图，在长边方向的中途切断喷嘴3，通过与该长边方向正交的截面示出喷嘴内部。另外，喷嘴3的长边方向与宽度方向一致。在喷嘴3的内部形成的所述缝21在该喷嘴3的宽度方向上较长，在作为喷嘴3的尖端(喷嘴3的下端)的尖端部23开口。缝21的间隙量B沿着喷嘴3的宽度方向是恒定的。另外，喷嘴3的宽度方向为与涂布方向(X方向)正交的水平方向(Y方向)，缝21的间隙量B是在X方向上测量缝21而得到的尺寸。喷嘴3整体为金属制，具有较高的热传导性。

在作为涂布液的流动方向的Z方向上进行观察，缝21为细长的形状，在宽度方向(Y方向)上较长，在涂布方向(X方向)上较窄。并且，缝21与在喷嘴3的内部形成的歧管11连接。歧管11也与缝21相同，在宽度方向上形成为较长。

涂布液通过该歧管11和缝21而从喷嘴3的尖端喷出。即，作为缝21的下端的开口部的尖端部23成为涂布液的喷出口。开口有缝21的喷嘴3的尖端部23是水平的，且遍及宽度方向的全长形成为直线状。

并且，在喷嘴3内，作为用于流过涂布液的流路10，除了所述歧管(第一歧管)11和缝(第一缝)21以外，在它们的上游侧(容器9侧)还形成有第二歧管12和第二缝22。即，在喷嘴3内形成的流路10具有：作为具有涂布液的喷出口的所述缝21的第一缝；与该第一缝21连接的第一歧管11；所述第二歧管12；以及连结该第一歧管11与第二歧管12的第二缝22。它们在喷嘴3内的形成位置从涂布液流动的上游侧起依次为第二歧管12、第二缝22、第一歧管11、第一缝21，通过该结构成为二级歧管/二级缝结构。

第二歧管12沿着喷嘴3的宽度方向形成为较长，如图3所示，由截面圆形的空间构成，在本实施方式中，使截面形状沿着喷嘴3的宽度方向相同。即，第二歧管12由圆柱形状的空间(孔)构成。

第二缝22分别朝第二歧管12与第一歧管11开口，构成为连结两者的流路。当在涂布液的流动方向即Z方向上观察第二缝22时，第二缝22为细长的形状，该细长的形状为与涂布液的流动方向正交的流路截面的形状。该流路截面在宽度方向(Y方向)上较长，在涂布方向(X方向)上较窄。并且，第二缝22具有与第二歧管12相同的宽度尺寸。由此，在第二缝22中从第二歧管12朝向第一歧管11沿Z方向输送涂布液。

如上所述，第一歧管11沿着喷嘴3的宽度方向形成为较长，在本实施方式中，使第一歧管11为与第二歧管12相同的形状和相同的大小。另外，如后所述，第一歧管11和第二歧管12具有扩宽涂布液的作用(在宽度方向上均匀地分配液体的作用)，但是，由于通过位于比第一歧管11靠上游的第二歧管12而大致达成涂布液的扩宽，因此，也可以构成为使第一歧管11的容积比第二歧管12的容积小。

并且，如上所述，第一缝21沿着喷嘴3的宽度方向形成为较长，在本实施方式中，第一缝21构成为与第二缝22相比，与涂布液的流动方向(Z方向)正交的流路截面形状相同、即具有相同的宽度尺寸。另外，第一缝21和第二缝22的流路截面越小，相对于涂布液流动的压力损失就越大，涂布液越变得难以流动。因此，为了不使总的压力损失增高而将涂布液均匀喷出，并且适当地得到后述的均温化的效果，也可以构成为使第一缝21的与涂布液的流动方向正交的流路截面比第二缝22的流路截面小，尤其在涂布方向(X方向)上变窄(缝21的间隙量B变小)。

并且，从泵8延伸的配管17与图3所示的设置于喷嘴3的供给口18流体连通，在喷嘴3内形成有从该供给口18向第二歧管12延伸的供给孔19。

并且，供给孔19在第二歧管12内开口，向第二歧管12供给涂布液。向第二歧管12供给的涂布液在此沿宽度方向被扩宽，然后，按照第二缝22、第一歧管11、第一缝21的顺序流动，并向基板W喷出。

如图2所示，本实施方式的涂布装置1具有：升温部30，其使从容器9通过泵8所供给的涂布液升温；以及均温部40，其使该涂布液的温度均匀化。在从第一缝21喷出由升温部30升温后的涂布液前，均温部40使该涂布液的温度均匀化。

升温部30具有一个或多个升温单元31，在本实施方式中，具有三个升温单元31。各个升温单元31具有如下等部分：流路32，其与所述配管17连接且供从配管17输送的涂布液流动；加热器，其对流过该流路32的涂布液进行加热；以及隔热材料，其覆盖加热器的整体或一部分。这些升温单元31以在流路32的长边方向上连续的方式设置，并且，以与喷嘴3相邻的方式设置。各升温单元31通过从外侧对流路32进行加热，而向流过该流路32的内部的涂布液传递热量，使其升温。

各升温单元31的加热器被控制装置5控制，升温部30使处于常温T0的涂布液升温到例如30～50℃的所需温度T1。所需温度T1由基板W以及涂布液的种类和粘度、涂布液的喷出量等涂布规格确定。此外，在本实施方式中，为了使涂布液的温度高效地升温到所需温度T1，可以追加不够的升温单元31，或者拆下过剩的升温单元31。即，采用能够改变升温单元31的数量的结构，以便升温部30具有为了使涂布液的温度升温到所需温度T1而需要的热量。并且，升温后的涂布液从与流路32连接的供给口18被输送到喷嘴3内部。

均温部40具有：加热机构，其对喷嘴3进行加热；以及热传递用流路，其形成为涂布液在喷嘴3内部流动的流路的一部分。本实施方式所涉及的加热机构由多个加热器41(分割加热器)构成，热传递用流路由第二缝22构成。

各加热器41通过加热喷嘴3，从而向流过形成在喷嘴3内部的流路10的涂布液给予热量。各加热器41被控制装置5控制，均温部40具有如下功能：使由升温部30升温到所需温度T1的涂布液的温度遍及喷嘴3的宽度方向(Y方向)而实现均匀化(以下，也称为均温化)。

在均温部40中，为了使涂布液均温化，加热器41沿着喷嘴3的宽度方向(Y方向)并列地设置多个。并且，以从X方向两侧夹持喷嘴3的方式，将加热器41安装于喷嘴3。

另外，在喷嘴3的各部分，特别在位于第二缝22两侧的壁部14上设置有温度传感器(未图示)，根据该温度传感器的检测信号，控制装置5对各个加热器41进行控制，使两侧的壁部14沿着Y方向成为均匀的温度，此外还使喷嘴3整体成为均匀的温度。由此，能够将喷嘴3(壁部14)遍及宽度方向(Y方向)全长而维持在相同的温度。

根据该均温部40，通过借助加热器41将喷嘴3(壁部14)维持在均匀的温度，使流过作为热传递用流路的第二缝22的涂布液的温度接近喷嘴3(壁部14)的温度，从而能够将涂布液均温化。即，以使喷嘴3(壁部14)的温度与涂布液的温度为相同温度的方式进行热传递。

这样，第二缝22是供由升温部30升温后的涂布液流过的流路，且为与涂布液的流动方向(Z方向)正交的流路截面在作为一个方向的X方向上变窄的热传递用流路，使由加热器41产生的热量通过喷嘴3(两侧的壁部14)沿X方向传递给流过该第二缝22(热传递用流路)的涂布液，使由升温部30升温后的涂布液的温度均匀化到涂布液内部。

另外，“与涂布液的流动方向(Z方向)正交的流路截面在作为一个方向的X方向上变窄”是指流路的X方向的截面尺寸变小，再换言之，是指第2缝22的间隙量变小。

于是，如上所述，通过加热器41和控制装置5，使喷嘴3中的至少第二缝22的周围的壁部14在喷嘴3的宽度方向上成为均匀的温度，从该壁部14针对流过第二缝22(热传递用流路)的涂布液，在与涂布液的流动方向正交的流路截面变窄的X方向上进行热传递。由此，由于能够对X方向上变薄的涂布液进行热传递，因此，通过涂布液内的热传导在X方向上不会产生温度分布。即，直到涂布液的内部都实现均温化。

另外，在升温部30的流路32和第二歧管12这样的流路截面比较大的部分中，即使从流路截面外侧的壁面向涂布液进行热传递，也很难从位于流路截面内的涂布液的外侧部热传导到中央部，涂布液很难实现均温化。

与此相对，在第二缝22中，通过使间隙量减小，而能够使涂布液的温度均匀化到更内部。例如，能够使通过第二缝22的涂布液的温度在±0.2℃的范围内均匀化。

另外，第二歧管12位于第二缝22的上游侧，作为积存从供给孔19流入的涂布液而沿宽度方向将其扩宽的扩大空间流路存在，有助于沿宽度方向均匀地从第二缝22朝向第一歧管11输送涂布液。并且，该第二歧管12还起到维持由升温部30升温后的涂布液的温度的作用。

并且，关于流过第一缝21内的涂布液，由于也能够在喷嘴3内接受来自加热器41的热量，因此，与第二缝22相同地，也具有使涂布液均温化到内部的功能，但是，第一缝21和第一歧管11主要是为了发挥其他的功能而设置的。

即，第一歧管11能够暂时积存通过第二缝22而实现均温化到涂布液的内部且粘度也达到均匀的涂布液，尤其通过第一缝21缩小流路，从而能够达到由涂布液充满第一歧管11内的状态。由此，能够使第一歧管11内的涂布液的压力(第一歧管11内的压力)均匀化，使从第一缝21喷出的涂布液的压力遍及喷嘴3的宽度方向全长而均匀化，提高宽度方向的喷出精度。

这样，第二缝22是热传递用流路，该热传递用流路与作为具有涂布液的喷出口的涂布液喷出用流路的第一缝21是在功能性上不同的流路。即，作为热传递用流路的第二缝22是发挥与涂布液喷出用的第一缝21不同作用的流路。并且，在第二缝22与第一缝之间，作为积存涂布液而在宽度方向上扩宽涂布液的扩大空间流路，夹设有所述第一歧管11。

根据以上的本实施方式的涂布装置1，即使在向基板W涂布粘度比较高的涂布液的情况下，也能够通过借助升温部30使从容器9供给的涂布液升温，从而降低从第一缝21喷出的涂布液的粘度，即使不增大配管17的截面积和缝21的间隙量B，也能够减小流过的涂布液的阻力。

并且，当从第一缝21喷出的涂布液在该第一缝21的长边方向上产生温度差(温度不匀)的情况下，由于产生粘度不匀，因此基板W上的涂膜的厚度会产生不匀，但是根据本发明，由于在从第一缝21喷出由升温部30升温后的涂布液前，通过均温部40使该涂布液的温度均匀化，因此，粘度为较低值且均匀，由此，能够在基板W上形成均匀厚度的涂膜。其结果为能够在基板W上高精度且均匀地形成涂膜。并且，通过提高涂布液的温度而降低粘度，从而能够更高速地进行涂布，其结果为能够在基板W上高精度、均匀地并且高速地形成涂膜。

尤其在本实施方式中，均温部40具有：加热器41；以及第二缝22(热传递用流路)，该第二缝22为供由升温部30升温后的涂布液流动的流路，且与涂布液的流动方向(Z方向)正交的流路截面在X方向上变窄，均温部40使由加热器41产生的热量传递到流过第二缝22的涂布液的内部，使由升温部30升温后的涂布液的温度均匀化到内部，由此，直到涂布液的内部都实现均匀的粘度。

这样，由于在涂布液流过与涂布液的流动方向正交的流路截面变窄的第二缝22时进行热传递，因此，能够使进行涂布之前的涂布液的温度均匀化，由此，能够使涂布液的粘度较低且直到内部实现均匀化。

并且，在喷嘴3中使涂布液的温度均匀化，由此，涂布液以低且均匀的粘度从第一缝21喷出，其结果为能够高速地形成涂膜。

并且，通过该涂布装置1向基板W涂布涂布液的涂布方法为如下方法：使从容器9供给的涂布液升温，在从第一缝21喷出该升温后的涂布液前，使该涂布液的温度均匀化。尤其在本实施方式中，将由加热器41产生的热量传递给流过作为热传递用流路的第二缝22的涂布液，使升温后的涂布液的温度与粘度均匀化。

并且，根据本实施方式的涂布装置1，通过借助升温部30使涂布液的温度高于常温，从而降低其粘度，能够实现涂布液从缝宽度小的第一缝21的低压喷出，能够以高涂布速度实现膜厚薄的涂布液的涂布。另外，为了提高涂布速度，只要一边提高喷嘴3的移动速度，一边提高涂布液从泵8的供给速度即可。

此外，根据该涂布装置1，由于没有在泵8、容器9、以及从泵8至升温部30的配管上设置加热器，因此与对包含容器9等在内的整体设置加热器的情况的设备相比，能够实现成本(初始成本和运转成本)降低化。

并且，在本实施方式中，均温部40所具有的加热机构由被分割成多个的分割加热器41构成，由于通过控制装置5单独控制各加热器41的输出，因此，即使在喷嘴3的宽度方向的各部分中散热特性不同的情况下，也能够将喷嘴3维持在均匀的温度。

并且，即使因借助升温部30提升涂布液的温度而产生溶解气体的发泡，也可以在喷嘴3内的流路10(第二歧管12)的上部设置排气孔(未图示)，从该排气孔排出在升温部30内产生的气泡。

本次公开的实施方式在所有的方面都只是例示而并不是限制本发明。本发明的权利范围并不限于上述的实施方式，还包含与权利要求书所描述的结构等同的范围内的所有的变更。

例如，在上述的实施方式中，对通过使喷嘴3相对于处于固定状态的载台2(参照图1)移动而进行涂布动作的情况进行了说明，但也可以与此相反而构成为如下的涂布装置：通过使载置基板W的载台2相对于处于固定状态的喷嘴3移动而进行涂布动作。

并且，在所述实施方式中，对在喷嘴3内形成了两级歧管结构、两级缝结构的情况进行了说明，但是歧管和缝只要是多级即可，也可以是三级以上。并且，最下游侧的第一歧管和最下游侧的第一缝主要具有稳定地喷出涂布液的功能，比它们靠上游侧(泵8侧)的歧管和缝具有均温化的功能。

并且，各歧管的与宽度方向正交的截面的形状除了圆形，也可以是半圆、多边形、组合1/4圆与直角三角形的形状等任意的形状。并且，歧管的与宽度方向正交的截面形状也可以沿着宽度方向改变。在该情况下，优选使宽度方向的中央部的截面积比两端部的截面积大。

并且，在所述实施方式中，关于均温部40，对在喷嘴3的侧面安装加热器41的情况进行了说明，但是，加热器41也可以安装在喷嘴3的上部等。

标号说明：

1：涂布装置；3：喷嘴；9：容器；11：第一歧管(扩大空间流路)；12：第二歧管；21：第一缝(缝)；22：第二缝(热传递用流路)；23：尖端部；30：升温部；40：均温部；41：加热器(加热机构)；W：基板。

Claims (5)

1.一种涂布装置，其具有：容器，其积存涂布液；以及喷嘴，其形成有缝，该缝喷出从所述容器供给的涂布液，所述涂布装置通过从该缝喷出涂布液从而向基板涂布涂布液，其特征在于，

所述涂布装置具有：

升温部，其使从所述容器供给的所述涂布液升温；以及

均温部，其在从所述缝喷出由所述升温部升温后的涂布液之前，使该涂布液的温度均匀化。

2.根据权利要求1所述的涂布装置，其中，

所述均温部具有：加热机构；以及热传递用流路，该热传递用流路是供由所述升温部升温后的涂布液流过的流路，其与涂布液的流动方向正交的流路截面至少在一个方向上变窄，所述均温部使由所述加热机构产生的热量传递到流过所述热传递用流路的涂布液，使由所述升温部升温后的涂布液的温度均匀化。

3.根据权利要求2所述的涂布装置，其中，

所述热传递用流路是与所述缝不同的流路，

在所述热传递用流路与所述缝之间，设置有积存涂布液的扩大空间流路。

4.根据权利要求2或3所述的涂布装置，其中，

在所述喷嘴内形成有作为第一缝的所述缝、与该第一缝连接的第一歧管、第二歧管以及连结该第一歧管与第二歧管的第二缝，

所述第二缝作为所述热传递用流路形成在所述喷嘴内，

所述加热机构对所述喷嘴进行加热。

5.一种涂布方法，该涂布方法是通过具有喷嘴的涂布装置进行的，该喷嘴形成有喷出从容器供给的涂布液的缝，所述涂布方法通过从该缝喷出涂布液从而向基板涂布涂布液，其特征在于，

使从所述容器供给的所述涂布液升温，

在从所述缝喷出该升温后的涂布液之前，使该涂布液的温度均匀化。