CN113926666B - 一种狭缝涂敷成膜方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种狭缝涂敷成膜方法，使用狭缝涂膜装置进行,所述的装置包括：基板承载平台（101）、基板（102）、分配刀头（104）、等离子清洗头（105）、高温风刀（106）、精密预计量泵（107）、储液罐（108）和保温管路（109）；所述的基板承载平台为具有加热功能的基板承载平台，所述的方法包括如下步骤：1）上料；2）加热；3）成膜。本发明具有如下技术效果：通过在涂敷之前对混合表面改质剂的UV胶溶液进行升温，使混合表面改质剂的UV胶溶液身自带部分热量，并通过基板和热风刀快速传输热量，使溶剂快速挥发，进而使液膜迅速失去流动性，达到避免液膜收缩的效果，提升薄膜均一性及质量。

Description

一种狭缝涂敷成膜方法
技术领域
本发明涉及一种狭缝涂敷成膜方法，涉及电子信息如平板显示及集成电路、光电行业如照明及光伏电池、柔性电子、智能玻璃等技术领域。
背景技术
涂液添加表面改质剂，可具有防污(疏水疏油)、润滑、防膜减性等功能。表面改质剂一般为有机氟类与有机硅类混合物，使用前，将表面改质剂添加至UV胶液中，并搅拌均匀。其作用机理如下：将油性纳米有机氟有机硅、UV反应基、光敏引发剂溶于溶剂中，形成混合表面改质剂的UV胶溶液，当此溶液涂敷成液膜后，随着溶剂挥发，材料开始分层，上层部分为纳米有机氟有机硅，下层部分为UV反应性基和光敏引发剂，待溶剂挥发完，上下两层贴合，使用UV光照射后，UV胶固化从而使功能纳米有机氟有机硅层与基板紧密粘合，从而形成牢固的特殊功能的表面层。
添加表面改质剂的UV胶成膜后，表面具有特殊纳米结构，从而实现疏水疏油等功能，以下简称纳米表面UV膜，该类型薄膜在电子信息、光电器件及集成电路中均有广泛的应用前景。
现有技术中，特殊功能纳米表面膜的形成方法主要是PVD沉积，不包含UV层，是纳米表面膜本身与基板结合，存在结合不强，纳米层易脱落现象，故出现了新型的纳米表面UV膜。
现有技术中，纳米表面UV膜涂敷方法很多，刮涂、旋涂、丝网印刷、辊涂、狭缝涂膜等均可涂敷。
但是根据液膜收缩机理，在涂膜过程中，随着溶剂丙酮挥发，表面改质剂会逐渐浮于表面，而底层则为UV胶，随着溶剂丙酮挥发完全表面纳米层则与UV层贴合，当紫外线照射该膜，UV层固化，形成牢固的膜层。但表面改质剂浮于表面一旦分子排列形成膜层，表面即分子组成由疏散的溶剂丙酮分子变更为结合紧密的有机氟有机硅分子，液体的界面张力随之增大，破坏了原有的平衡状态，接触角会增大，以适应界面张力的增大，即液膜开始自动收缩，无法均匀成膜。
因此，采用现有液膜涂敷方法涂敷纳米表面UV膜的材料时，均会出现以下问题：
当涂敷液膜厚度小于7um左右的膜层时，四周有轻微收缩，使液膜覆盖区域减少，并使液膜边界变为锯齿状，影响后续工序。
当因自身配方需要，涂敷的液膜厚度超过7um左右时，液膜会出现严重的收缩现象，直接大部分区域无液膜覆盖，而另一部分则覆盖区则厚度极大，直接使产品报废。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术的不足，提供一种适用于涂布纳米表面UV膜的狭缝涂敷成膜方法。
本发明的技术方案如下：
一种狭缝涂敷成膜方法，使用狭缝涂膜装置进行,所述的装置包括：基板承载平台(101)、基板(102)、分配刀头(104)、等离子清洗头(105)、高温风刀(106)、精密预计量泵(107)、储液罐(108)和保温管路(109)；
所述的基板承载平台为具有加热功能的基板承载平台；
所述的方法包括如下步骤：
1)上料
将混合表面改质剂的UV胶溶液加入储液罐(108)中，混合表面改质剂的UV胶溶液经保温管路(109)进入精密预计量泵(107)，精密预计量泵(107)提供动能后，经保温管路(109)流入具有分配刀头(104)，分配刀头(104)的腔体填满溶液；
2)加热
将具有加热功能的基板承载平台(101)温度维持在50-70℃，从而使得基板(102)的温度也维持在50-70℃；
3)成膜
待升温完成，等离子清洗头(105)、分配刀头(104)、高温风刀(106)开始以固定的距离运动至基板(102)上方，基板(102)先经过等离子清洗头(105)等离子清洗，以便提供更清洁的基板表面，提升附着力，之后分配刀头(104)开始在基板(102)上涂敷胶液，由于基板(102)的加热，涂敷的液层迅速蒸发溶剂，失去流动性或流动性变为极差，从而形成均一的薄膜，此时使用较高功率的UV灯照射，即可迅速固化成干膜。
优选地，
所述的装置中，
分配刀头为具有加热功能的分配刀头；
高温风刀为具有加热功能的高温风刀；
储液罐为具有加热功能的储液罐；
所述的方法的步骤2)中，加热为梯度加热，具体加热方式如下：
将具有加热功能的储液罐的储存温度维持在25-40℃；
将具有加热功能的分配刀头温度维持在40-60℃；
将具有加热功能的高温风刀温度维持在50-120℃；
将具有加热功能的基板承载平台的温度维持在50-70℃,从而使得基板的温度也维持在50-70℃。
当涂敷较厚液膜时，可使用梯度加热的方式增大混合表面改质剂的UV胶溶液本身所带热量，同时加上等离子清洗基板，增大黏附力。
更优选地，
所述的步骤2)中，加热方式为梯度加热，具体加热方式如下：
具有加热功能的储液罐的储存温度为35℃；
具有加热功能的分配刀头温度为50℃；
具有加热功能的高温风刀温度为100℃；
具有加热功能的基板承载平台的温度为70℃，从而使得基板的温度也维持在70℃。
本发明具有如下技术效果：
发明人发现，液膜收缩的主要原因是溶剂挥发时，液体分层，表面层由溶剂分子变为有机氟有机硅大分子，界面张力变大所致。故在不改变现有材料配方的状态下，只需加快溶剂挥发速度，即可减轻液膜的收缩。
当涂敷较薄(5-20um)液膜时，由于膜层厚度较薄，挥发溶剂需要的热量较少，根据实验，基板承载平台的传热即可满足液膜溶剂挥发对热量的需求，由于药液的溶剂为丙酮，丙酮的沸点为56℃，UV胶、表面改质剂、丙酮三者的混合物沸点高于56℃，结合基板平台温度限制70℃，基板平台的温度范围可设置50-70℃。
故涂敷较薄的液膜时，药液罐、分配刀头、风刀加热功能可不开启，仅通过基板快速传输热量，使溶剂快速挥发，进而使液膜迅速失去流动性，达到避免液膜收缩的效果，提升薄膜均一性及质量。
当涂敷较厚≥20um液膜时，由于膜层厚度大，由单一基板平台提供的热量已不能快速满足挥发溶剂的需要，可通过使用高温风刀给液膜在上层提供热量，同时风刀的气流也可带走挥发的溶剂，减少液膜表面溶剂分子的浓度，增大挥发速度，由于使用风刀时，液膜已涂敷，风刀温度范围可有较大的选择，热风和液膜温差较大，故风刀温度可为50-120℃，但风刀气流量不能过大，否则会吹散液膜，使风刀能提供的热量较少，故同时需要药液涂敷至基板之前本身就具备一定的热量，但该部分热量不足以使药液出现局部沸腾，造成气泡的出现，故在出刀头药液的极限温度在丙酮沸点56℃附近。分配刀头内部有一较大的腔体，正常情况下，药液在其内部为层流流动，分配刀头内部药液传热有限，不能使药液由常温一次升温至56℃附近，当出液量较大时，如果在分配刀头内一次由常温升温至56℃附近，分配刀头腔体内液体会存在温度不均现象，故需要进入分配刀头的药液也具有一定的热量，即药液罐对药液加热，由于药液罐为储存药液的地方，药液温度过高，会带来溶剂挥发，使药液被破坏，故此药液罐温度维持25-40℃较为合适。即药液罐、分配刀头、基板承载平台、高温风刀形成一个温度梯度，依次使药液温度升高，从而达到保护药液，而又能使液膜快速挥发溶剂的目的。
发明人通过在涂敷之前对混合表面改质剂的UV胶溶液进行梯度升温，当分配刀头溶液覆盖至基板上时，基板对溶液加热，刀头和基板依次提供溶剂挥发所需要的热量，加快了溶剂挥发速度，使液体快速失去流动性，进而避免液膜的收缩。
附图说明
图1为狭缝涂膜装置的结构图。
其中，101为基板承载平台、102为基板、103为涂层、104为分配刀头、105为等离子清洗头、106为高温风刀、107为精密预计量泵、108为储液罐、109为保温管路。
具体实施方式
本发明中使用的狭缝涂膜装置为现有产品，为美国nTact nRad狭缝式涂膜设备。
实施例1
本实施例的狭缝涂敷成膜方法，使用狭缝涂膜装置进行,所述的装置包括：基板承载平台(101)、基板(102)、分配刀头(104)、等离子清洗头(105)、高温风刀(106)、精密预计量泵(107)、储液罐(108)和保温管路(109)；所述的基板承载平台为具有加热功能的基板承载平台；
所述的方法包括如下步骤：
1)上料
将混合表面改质剂的UV胶溶液加入储液罐(108)中，混合表面改质剂的UV胶溶液经保温管路(109)进入精密预计量泵(107)，精密预计量泵(107)提供动能后，经保温管路(109)流入具有分配刀头(104)，分配刀头(104)的腔体填满溶液；
2)加热
将具有加热功能的基板承载平台(101)温度维持在70℃，从而使得基板(102)的温度也维持在70℃；
3)成膜
待升温完成，等离子清洗头(105)、分配刀头(104)、高温风刀(106)开始以固定的距离运动至基板(102)上方，基板(102)先经过等离子清洗头(105)等离子清洗，以便提供更清洁的基板表面，提升附着力，之后分配刀头(104)开始在基板(102)上涂敷胶液，由于基板(102)的加热，涂敷的液层迅速蒸发溶剂，失去流动性或流动性变为极差，从而形成均一的薄膜，此时使用较高功率的UV灯照射，迅速固化成干膜。
涂膜效果检测实验
实验仪器：美国nTact nRad狭缝式涂膜设备、filmetrics F20薄膜测量仪、卤素灯、热板
材料：0.7mm厚电子级玻璃、DIC UV反应型表面改质剂、UV胶、丙酮、酒精等
实验过程：
①配制含表面改质剂的UV胶水(参考文献：缪慧等，含氟超支化聚合物的UV耐指纹涂层研究[J]，涂料工业，2015，45(2),1-6)
②常温24℃，在玻璃表面涂敷含表面改质剂的UV胶水，表干，卤素灯照射成膜；
③采用本实施例的上述装置和方法，启用具有加热功能的基板承载平台，加热至70℃，在玻璃表面涂敷含表面改质剂的UV胶水，表干，卤素灯照射成膜
④使用filmetrics F20薄膜测量仪，分别测量两种工艺膜厚,结果如表1和表2所示。
表1
Figure BDA0002560022450000061
表2
Figure BDA0002560022450000062
表1为未启用热系统，常温24℃下涂敷成膜后，迅速在热板上80℃表干所得膜厚。
表2为启用热系统，关闭具有加热功能的储液罐108和具有加热功能的分配刀头104加热，高温风刀106与等离子清洗头105未启用，即溶液在涂敷至基板上之前温度一直处于常温24℃，但溶液涂敷至基板即快速加热，快速挥发溶剂，使其失去流动性。
表1与表2的数据对比，发现在启用热系统，将基板加热至65℃时，可有效抑制液膜因表层结构改变导致的液膜收缩现象，从而使狭缝涂布纳米表面UV膜成为现实，进而可替换现有的PVD或喷涂防指纹层的工艺，使工艺简单易操作，极大的提高了生产效率，降低投资成本。
实施例2
本实施例所用的装置，与实施例1基本相同，装置区别在于，本实施例中，
分配刀头为具有加热功能的分配刀头；
高温风刀为具有加热功能的高温风刀；
储液罐为具有加热功能的储液罐。
本实施例的方法，与实施例1也基本相同，方法区别在于，本实施例的方法的步骤2)中，加热为梯度加热，具体加热方式如下：
具有加热功能的储液罐的储存温度为35℃；
具有加热功能的分配刀头温度为50℃；
具有加热功能的高温风刀温度为100℃；
具有加热功能的基板承载平台的温度为70℃，从而使得基板的温度也维持在70℃。
本实施例的技术方案适用于涂敷较厚液膜，在涂敷之前对混合表面改质剂的UV胶溶液进行梯度升温，当分配刀头溶液覆盖至基板上时，基板对溶液加热，分配刀头和基板依次提供溶剂挥发所需要的热量，加快了溶剂挥发速度，使液体快速失去流动性，进而避免液膜的收缩。

Claims (2)

1.一种狭缝涂敷成膜方法，使用狭缝涂膜装置进行,所述的装置包括：基板承载平台（101）、基板（102）、分配刀头（104）、等离子清洗头（105）、高温风刀（106）、精密预计量泵（107）、储液罐（108）和保温管路（109）；
其特征在于，
所述的基板承载平台为具有加热功能的基板承载平台；
所述的方法包括如下步骤：
1）上料
将混合表面改质剂的UV胶溶液加入储液罐（108）中，混合表面改质剂的UV胶溶液经保温管路（109）进入精密预计量泵（107），精密预计量泵（107）提供动能后，经保温管路（109）流入具有分配刀头（104），分配刀头（104）的腔体填满溶液；
所述溶液的表面改质剂为有机氟有机硅大分子；
所述溶液的溶剂为丙酮；
2）加热
将具有加热功能的基板承载平台（101）温度维持在50-70℃，从而使得基板（102）的温度也维持在50-70℃；
3）成膜
待升温完成，等离子清洗头（105）、分配刀头（104）、高温风刀（106）开始以固定的距离运动至基板（102）上方，基板（102）先经过等离子清洗头（105）等离子清洗，以便提供更清洁的基板表面，提升附着力，之后分配刀头（104）开始在基板（102）上涂敷胶液，由于基板（102）的加热，涂敷的液层迅速蒸发溶剂，失去流动性或流动性变为极差，从而形成均一的薄膜，此时使用UV灯照射，即可迅速固化成干膜；
所述的装置中，
分配刀头为具有加热功能的分配刀头；
高温风刀为具有加热功能的高温风刀；
储液罐为具有加热功能的储液罐；
所述的方法的步骤2）中，加热为梯度加热，具体加热方式如下：
将具有加热功能的储液罐的储存温度维持在25-40℃；
将具有加热功能的分配刀头温度维持在40-60℃；
将具有加热功能的高温风刀温度维持在50-120℃；
将具有加热功能的基板承载平台的温度维持在50-70℃,从而使得基板的温度也维持在50-70℃；
当涂敷厚度≥20um的液膜时，使用梯度加热的方式增大混合表面改质剂的UV胶溶液本身所带热量，即储液罐、分配刀头、基板承载平台、高温风刀形成一个温度梯度，依次使UV胶溶液温度升高，同时加上等离子清洗基板，增大黏附力。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，
所述的步骤2）中，加热方式为梯度加热，具体加热方式如下：
具有加热功能的储液罐的储存温度为35℃；
具有加热功能的分配刀头温度为50℃；
具有加热功能的高温风刀温度为100℃；
具有加热功能的基板承载平台的温度为70℃，从而使得基板的温度也维持在70℃。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH11329938A (ja) * 1998-05-19 1999-11-30 Tokyo Electron Ltd 塗布装置および塗布方法
CN104661759A (zh) * 2012-09-24 2015-05-27 东丽工程株式会社 涂布装置以及涂布方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11329938A (ja) * 1998-05-19 1999-11-30 Tokyo Electron Ltd 塗布装置および塗布方法
CN104661759A (zh) * 2012-09-24 2015-05-27 东丽工程株式会社 涂布装置以及涂布方法

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