CN105413957A - 涂布器、涂布装置和涂布方法 - Google Patents

Abstract

涂布器、涂布装置和涂布方法。提供一种涂布器，能够迅速地将积存在涂布器内的气泡排出到外部。本发明的涂布器具有：第1供给口(31)，其供给涂布液；第1歧管(11)，其与第1供给口(31)连接；喷出缝(22)，其喷出涂布液；第2歧管(12)，其与喷出缝(22)连接；以及连结节流流路(21)，其连结第1歧管(11)和第2歧管(12)，第1歧管(11)连接有将积存在第1歧管(11)内的气泡排出到外部的第1排出口(41)，第2歧管(12)连接有供给涂布液的第2供给口(32)和将积存在第2歧管(12)内的气泡排出到外部的第2排出口(42)。

Description

涂布器、涂布装置和涂布方法

技术领域

本发明涉及用于从喷出缝喷出涂布液而在被涂布部件上形成涂布膜的涂布器、利用该涂布器在被涂布部件上形成涂布膜的涂布装置、以及利用该涂布器在被涂布部件上形成涂布膜的涂布方法。

背景技术

作为在玻璃基板或胶片等被涂布部件上涂布涂布液而形成涂布膜的装置公知具有涂布器的涂布装置，其中该涂布器具有用于喷出涂布液的喷出缝。涂布器具有：供给涂布液的供给口；与供给口连接且在宽度方向上扩宽涂布液的歧管；以及喷出涂布液的喷出缝。从供给口流入歧管的涂布液在歧管的宽度方向上扩宽，成为在歧管内暂时积存的状态，然后通过喷出缝喷出到被涂布部件。由此，由于涂布液遍及喷出缝的整个宽度均匀地喷出，因此能够形成均匀的膜厚的涂布膜。

通常，由于供给口设置在歧管的中央部，因此从供给口流入歧管的涂布液在歧管的宽度方向上未被完全地扩宽，喷出缝的中央部的喷出量相比端部会增加，其结果为，存在如下问题：会形成宽度方向的中央部的膜厚变厚的涂布膜。

为了解决该问题，提出了如下的涂布器：在涂布器中设置上下2段歧管，并通过连结缝将这些歧管之间连接(专利文献1等)。根据该涂布器，在上段歧管中沿宽度方向扩宽的涂布液进一步在下段歧管中沿宽度方向扩宽，由此从喷出缝喷出的涂布液遍及喷出缝的整个宽度更均匀化。由此，能够形成宽度方向的膜厚均匀的涂布膜。

但是，在对涂布器填充涂布液时，有时在涂布器内的歧管中残留有气泡(空气)。并且，在涂布过程中，有时溶解在涂布液中的气泡在涂布器内发泡，或者当对用于向涂布器供给涂布液的阀进行开闭时会混入气泡，或者从喷出缝的末端吸入气泡。

这样，当在涂布器内存在气泡时，在涂布开始时，涂布压力的传播产生延迟，从而涂布开始部分的膜厚变薄，或者将气泡喷出到被涂布部件，由此产生如下问题：在涂布膜中产生针孔状的涂布缺陷，或者混入到喷出缝的气泡截断涂布液的流动，而在涂布膜上产生纵向条痕等涂布缺陷。

为了解决这种问题，在歧管中设置用于排出气泡的排出口，定期地将积存在涂布器内的歧管中的气泡排出到外部(专利文献2等)。

专利文献1：日本特开2013-176736号公报

专利文献2：日本特开2006-212592号公报

发明内容

认为能够通过如下这样的机构将积存在涂布器内的歧管中的气泡从排出口排出到外部。

当从设置于歧管的中央部的供给口对歧管内供给涂布液时，涂布液沿着宽度方向在歧管内流动。此时，积存在歧管中的气泡因涂布液的流动而被挤出到设置于歧管的宽度方向两端部的排出口。由此，将积存在歧管中的气泡从排出口排出到外部。

在为了形成宽度方向的膜厚均匀的涂布膜而使歧管采用上下2段的结构的涂布器中，涂布液的供给口设置于上段歧管。因此，从设置于上段歧管的供给口进行涂布液向涂布器的供给。

供给到上段歧管的涂布液沿着宽度方向在歧管内流动，从而积存在歧管中的气泡被挤出到设置于宽度方向两端部的排出口，并通过排出口排出到外部。

涂布液通过连结缝从上段歧管流入下段歧管，积存在下段歧管中的气泡被该流入的涂布液挤出而排出到外部。

然而，由于流入下段歧管的涂布液是从连结缝的整个宽度供给的，因此沿着歧管的宽度方向的流动变弱。因此，将积存在下段歧管中的气泡排出会花费时间，其结果为，存在涂布器整体的气泡的排出时间变长这样的问题。

本发明是鉴于上述课题而完成的，其主要目的在于提供一种涂布器，虽然是具有多个歧管的涂布器，也能够迅速地将积存在涂布器内的气泡排出到外部。

本发明的涂布器具有：第1供给口，其供给涂布液；第1歧管，其与第1供给口连接；喷出缝，其喷出涂布液；第2歧管，其与喷出缝连接；以及连结节流流路，其连结第1歧管和第2歧管，涂布器的特征在于，第1歧管连接有将积存在该第1歧管内的气泡排出到外部的第1排出口，第2歧管连接有供给涂布液的第2供给口和将积存在第2歧管内的气泡排出到外部的第2排出口。

本发明的涂布装置的特征在于，具有：保持单元，其保持被涂布部件；上述涂布器，其向被涂布部件喷出涂布液；积液部，其积存涂布液；送液单元，其将该积液部的涂布液输送给涂布器；以及驱动单元，其使保持单元上的被涂布部件与涂布器中的至少一方相对于另一方相对移动。

本发明的涂布方法是从上述涂布器喷出涂布液而在被涂布部件上形成涂布膜的涂布方法，其特征在于，涂布方法包含如下的工序：第1工序，将积存在设置于涂布器内的所有的歧管内的气泡排出到外部；以及第2工序，在第1工序之后，从涂布器的喷出缝喷出涂布液而在被涂布部件上形成涂布膜，在第1工序中，积存在第1歧管内的气泡借助从第1供给口朝向第1排出口流动的涂布液而从第1排出口排出到外部，积存在第2歧管内的气泡借助从第2供给口朝向第2排出口流动的涂布液而从第2排出口排出到外部，在第2工序中，停止从设置于第2歧管的第2供给口进行的涂布液的供给。

根据本发明，能够提供一种涂布器，虽然是具有多个歧管的涂布器，也能够将积存在涂布器内的各个歧管中的气泡可靠且迅速地排出到外部，由此形成均匀且不存在涂布缺陷的涂布膜。

附图说明

图1的(a)、(b)是示意性示出本发明的一实施方式的涂布器的结构的图。

图2的(a)～(d)是示出最初填充涂布液时的、排出气泡的机构的纵剖视图。

图3是示出当在被涂布部件上形成涂布膜时，继续从第2供给口供给涂布液的情况的状态的图。

图4的(a)、(b)是示出本发明的另一实施方式的在被涂布部件上形成涂布膜的涂布方法的纵剖视图。

图5的(a)、(b)是示出本发明的另一实施方式的在被涂布部件上形成涂布膜的涂布装置的结构的图。

图6是示出本发明的另一实施方式的涂布器的结构的图。

图7的(a)、(b)是示出连结节流流路的变形例的图。

标号说明

1：涂布装置；2：载台；3：驱动装置；4：配管；5：泵；6：容器；10：涂布器；11：上段歧管(第1歧管)；12：下段歧管(第2歧管)；21：连结节流流路；22：喷出缝；31：第1供给口；32：第2供给口；33：第1供给阀；34：第2供给阀；35：配管；36、37：贯通孔；38：涂布液供给控制单元；41：第1排出口；42：第2排出口；43：第1排出阀；44：第2排出阀；45、46：贯通孔；47、48：配管；49：气泡排出控制单元；50：气泡；60：倾斜面。

具体实施方式

以下，根据附图对本发明的实施方式详细地进行说明。另外，本发明不限于以下的实施方式。并且，在不脱离实现本发明的效果范围的范围中，可以适当变更。

图1的(a)、(b)是示意性示出本发明的一实施方式的涂布器的结构的图，图1的(a)是横剖视图，图1的(b)是纵剖视图。

如图1的(a)、(b)所示，本实施方式中的涂布器10具有供给涂布液的第1供给口31和喷出涂布液的喷出缝22。本实施方式中的涂布器10具有上下2段歧管，第1歧管(以下，称为“上段歧管”)11经由贯通孔36与第1供给口31连接。并且，第2歧管(以下，称为“下段歧管”)12与喷出缝22连接，并通过连结节流流路21连结上段歧管11与下段歧管12。

将积存在上段歧管11内的气泡排出到外部的第1排出口41经由贯通孔45与上段歧管11连接。并且，供给涂布液的第2供给口32经由贯通孔37与下段歧管12连接，将积存在下段歧管12内的气泡排出到外部的第2排出口42经由贯通孔46与下段歧管12连接。这里，第1供给口31和第2供给口32分别设置在上段歧管11和下段歧管12的宽度方向中央部。并且，第1排出口41和第2排出口42分别设置在上段歧管11和下段歧管12的宽度方向两端部。

第1供给口31和第2供给口32与配管35连接，该配管35与输送涂布液的泵(未图示)连接，在第1供给口31和第2供给口32分别与配管35连接的中途，作为涂布液供给控制单元38分别设置有第1供给阀33和第2供给阀34。并且，通过打开该第1供给阀33和第2供给阀34，分别通过第1供给口31和第2供给口32对上段歧管11和下段歧管12供给涂布液。

并且，第1排出口41和第2排出口42分别与配管47、48连接，在它们的中途，作为气泡排出控制单元49设置有第1排出阀43和第2排出阀44。并且，通过打开该第1排出阀43和第2排出阀44，能够将积存在上段歧管11和下段歧管12内的气泡排出到外部。

如图1的(b)所示，通过涂布液供给控制单元38和气泡排出控制单元49进行控制，使积存在上段歧管11内的气泡50因从第1供给口31朝向第1排出口41流动的涂布液而被挤出到上段歧管11的宽度方向两端部，并与从第1排出口41排出的涂布液一同排出到外部。

同样，通过涂布液供给控制单元38和气泡排出控制单元49进行控制，使积存在下段歧管12内的气泡50因从第2供给口32朝向第2排出口42流动的涂布液而被挤出到下段歧管12的宽度方向两端部，并与从第2排出口42排出的涂布液一同排出到外部。

这样，通过在下段歧管12中设置供给涂布液的第2供给口32，能够产生将积存在下段歧管12中的气泡挤出到宽度方向两端部这样的涂布液的流动。由此，能够可靠且迅速地排出积存在下段歧管12中的气泡。其结果为，能够缩短涂布器10整体的气泡排出所需要的时间。

图2的(a)～(d)是示出在本实施方式的涂布器10中，将最初填充涂布液时的气泡排出的机构的一例的纵剖视图。

图2的(a)示出对涂布器10填充涂布液前的空的状态。当打开与第1供给口31连接的第1供给阀33并从第1供给口31对上段歧管11供给涂布液时，涂布液如图2的(b)的箭头所示、从第1供给口31朝向第1排出口41流动，此外被上段歧管11扩宽后的涂布液依次通过连结节流流路21、下段歧管12、喷出缝22而从涂布器喷出。此时，在上段歧管11和下段歧管12中，气泡50因浮力而残留在各个歧管的上部。

接着，如图2的(c)所示，一边从第1供给口31供给涂布液，一边打开与第1排出口41连接的第1排出阀43，从而产生从第1供给口31朝向第1排出口41的涂布液的流动。通过该流动，上段歧管11内的气泡50被挤出到上段歧管11的宽度方向两端部，并与从第1排出口41排出的涂布液一同排出到外部。

接着，如图2的(d)所示，一边从第2供给口32供给涂布液，一边打开与第2排出口42连接的第2排出阀44，从而产生从第2供给口32朝向第2排出口42的涂布液的流动。通过该流动，下段歧管12内的气泡50被挤出到下段歧管12的宽度方向两端部，并与从第2排出口42排出的涂布液一同排出到外部。

另外，在通过泵以恒定的流速供给涂布液的情况下，当对上段歧管11和下段歧管12同时供给涂布液时，所供给的涂布液分散到2个歧管11、12。因此，与仅对上段歧管11或下段歧管12中的任意一方供给涂布液的情况相比，在宽度方向上通过各个歧管11、12的横截面的涂布液的流速降低。由此，对于难以受到因涂布液的流动而产生的挤出效果的较小的气泡而言，其排出可能会花费时间。

因此，优选在积存在上段歧管11内的气泡从第1排出口41排出到外部的期间，对第2供给口32进行控制，关闭第2供给阀34而停止涂布液的供给，并且对第2排出口42进行控制，关闭第2排出阀44而停止气泡的排出。同样地，优选在积存在下段歧管12内的气泡从第2排出口42排出到外部的期间，对第1供给口41进行控制，关闭第1供给阀33而停止涂布液的供给，并且对第1排出口41进行控制，关闭第1排出阀43而停止气泡的排出。由此，能够提高在宽度方向上通过各个歧管的横截面的涂布液的流速，能够可靠且迅速进行气泡排出。

在本实施方式中，上段歧管11和下段歧管12的大小没有特别限制，只要根据涂布液的扩宽条件等适当地决定其大小即可，大小也可以彼此不同。并且，从第1供给口31供给的涂布液的流速、供给时间等供给条件以及从第2供给口32供给的涂布液的供给量、流速、供给时间等供给条件也没有特别限制，例如，只要根据上段歧管11和下段歧管12的容量、截面形状、气泡的混入量等适当决定泵的流速和供给时间即可。

在本实施方式中，设置与下段歧管12连接的第2供给口32是为了在将积存在下段歧管12内的气泡排出到外部时产生将该气泡挤出到宽度方向两端部这样的涂布液的流动。由此，能够使积存在下段歧管12内的气泡可靠且迅速地排出到外部。即，与下段歧管12连接的第2供给口32在将积存在下段歧管12内的气泡排出到外部时发挥功能。

另一方面，关于与上段歧管11连接的第1供给口31，还在积存在上段歧管11内的气泡的排出结束后、从喷出缝22喷出涂布液而在被涂布部件上形成涂布膜时，将其用作涂布液的供给部位。

图3是示出在被涂布部件上形成涂布膜时，不仅从第1供给口31还从第2供给口32进行涂布液的供给的情况的状态的图。

如图3所示，从第1供给口31供给的涂布液在上段歧管11中扩宽，进而通过连结节流流路21并在下段歧管12中再次扩宽，由此从喷出缝22以遍及整个宽度而均匀的喷出分布喷出。另一方面，由于从第2供给口32供给的涂布液未在上段歧管11中扩宽而仅在下段歧管12中扩宽，因此无法获得上述2阶段的扩宽效果，因此在喷出缝22的中央部喷出量增加，在喷出缝22的两端部喷出量降低。最终，由于从喷出缝22喷出的涂布液的喷出分布是来自第1供给口31的喷出分布与来自第2供给口32的喷出分布的总和，因此与喷出缝22的两端部相比，在喷出缝22的中央部，涂布液的喷出量增加。由此，所形成的涂布膜的中央部的膜厚变厚，涂布膜的均匀性降低。

因此，为了形成均匀的涂布膜，优选对与下段歧管12连接的第2供给口32进行控制，使得在被涂布部件上形成涂布膜的期间停止涂布液的供给。

图4的(a)、(b)是示出本发明的另一实施方式中的在被涂布部件上形成涂布膜的涂布方法的纵剖视图，图4的(a)是示出将积存在涂布器内的气泡排出到外部的工序的图，图4的(b)是示出从喷出缝22喷出涂布液而在被涂布部件上形成涂布膜的工序的图。

如图4的(a)所示，在将积存在涂布器内的气泡排出到外部的工序中，通过涂布液供给控制单元38进行控制，打开分别与第1供给口31和第2供给口32连接的第1供给阀33和第2供给阀34，分别从第1供给口31和第2供给口32对上段歧管11和下段歧管12供给涂布液。打开第1排出阀43，借助从第1供给口31朝向第1排出口41流动的涂布液，将积存在上段歧管11内的气泡50从第1排出口41排出到外部。并且，打开第2排出阀44，借助从第2供给口32朝向第2排出口42流动的涂布液，将积存在下段歧管12内的气泡从第2排出口42排出到外部。另外，如上所述，为了提高在宽度方向上通过歧管的横截面的涂布液的流速以便可靠且迅速地排出气泡，因此优选在将上段歧管11内的气泡排出到外部的期间对第2供给口32进行控制，关闭第2供给阀34而停止涂布液的供给，并且对第2排出口42进行控制，关闭第2排出阀44而停止气泡的排出。同样优选在将下段歧管12内的气泡排出到外部的期间对第1供给口31进行控制，关闭第1供给阀33而停止涂布液的供给，并且对第1排出口41进行控制，关闭第1排出阀43而停止气泡的排出。

在将涂布器内的气泡排出到外部之后，停止涂布液的供给，且使涂布器在被涂布部件(未图示)上移动，然后如图4的(b)所示，从喷出缝22喷出涂布液而在被涂布部件上形成涂布膜。此时，利用涂布液供给控制单元38对第2供给口32进行控制，通过关闭与其连接的第2供给阀34而停止涂布液的供给。另一方面，从第1供给口31供给涂布液，在上段歧管11和下段歧管12中沿宽度方向扩宽的涂布液从喷出缝22喷出，从而在被涂布部件上形成均匀的涂布膜。

图5的(a)、(b)是示出本发明的另一实施方式中的在被涂布部件上形成涂布膜的涂布装置的结构的一例的图，图5的(a)是放大地示出涂布装置中的涂布器的部分的纵剖视图，图5的(b)是涂布装置的立体图。

如图5的(b)所示，本实施方式的涂布装置1具有：作为保持单元的载台2，其保持作为玻璃基板等单张基材的被涂布部件W；涂布器10，其对该载台2上的被涂布部件W喷出涂布液；作为积液部的容器6，其积存涂布液；作为送液单元的泵5，其将容器6内的涂布液输送给涂布器10；以及作为驱动单元的驱动单元3，其使涂布器10相对于载台2在X方向上相对移动。利用泵5通过配管4将容器6内的涂布液供给到涂布器10。

如图5的(a)所示，涂布器10具有：供给涂布液的第1供给口31；与第1供给口31连接的上段歧管11；喷出涂布液的喷出缝22；与喷出缝22连接的下段歧管12；以及连结上段歧管11和下段歧管12的连结节流流路21。将积存在上段歧管11内的气泡排出到外部的第1排出口41与上段歧管11连接。并且，供给涂布液的第2供给口32、以及将积存在下段歧管12内的气泡排出到外部的第2排出口42与下段歧管12连接。

在对被涂布部件W上形成涂布膜前，一边分别从第1供给口31和第2供给口32对上段歧管11和下段歧管12内供给涂布液，一边将积存在上段歧管11和下段歧管12内的气泡从第1排出口41和第2排出口42排出到外部。

在将涂布器10内的气泡排出到外部后，开始进行在被涂布部件W上形成涂布膜的工序。如图5的(a)所示，使喷出缝22的喷出口与被涂布部件W之间保持恒定的间隔，一边使涂布器10在X方向上移动，一边从喷出缝22喷出涂布液，从而在被涂布部件W上形成涂布膜M。

此时，如上所述，为了形成均匀的涂布膜，优选对与下段歧管12连接的第2供给口32进行控制，使得当在被涂布部件W上形成涂布膜M的期间停止涂布液的供给。

另外，在不夹杂排出涂布器10内的气泡的动作而在多个被涂布部件W上连续地形成涂布膜M的情况下，由于第2供给口32长时间停止涂布液的供给，因此填充到第2供给口32和与其连接的贯通孔37中的涂布液在直到进行下一气泡排出动作为止的期间会长时间滞留。由此，涂布液的成分有可能随时间经过而变质，或者包含在涂布液中的成分会固化。如果这样发生了劣化的涂布液在下一气泡排出动作时从第2供给口32供给到涂布器10的内部，涂布膜M的成分会变质，或者固化后的成分会堵塞喷出缝22的一部分，由此使涂布膜M产生纵向条痕等涂布缺陷，因此涂布膜M的品质有可能恶化。

因此，公知如下的工序：在形成涂布膜M之前，从喷出缝22喷出少量涂布液而将涂布器10的末端初始化，但在该初始化工序中，优选从第2供给口32实施涂布液向涂布器10的供给。由此，填充到第2供给口32和贯通孔37中的涂布液不会长时间滞留，能够防止涂布液的成分发生变质或固化从而维持涂布膜M的品质。

另外，只要填充到贯通孔37或第2供给口32中的涂布液不长时间滞留即可，初始化工序中的涂布液的供给也可以从第1供给口31和第2供给口32同时地实施。

根据本实施方式，在具有2段的歧管11、12的涂布器10中，通过在涂布器10的下段歧管12中设置供给涂布液的第2供给口32，从而能够将积存在涂布器10内的气泡可靠且迅速地排出到外部。由此，能够提供形成均匀且不存在涂布缺陷的涂布膜的涂布器。

以上，通过优选的实施方式对本发明进行了说明，但这样的描述并不是限定事项，当然可以进行各种改变。

例如，在上述实施方式中，对具有2段的歧管11、12的涂布器进行了说明，但不限于此，下段歧管12也可以应用于具有彼此通过连结节流流路而连结的多个歧管的涂布器。在该情况下，需要对所有的构成下段歧管12的多个歧管设置第2排出口42，但不需要对所有的歧管设置第2供给口32，只要将其设置于这些多个歧管中的至少1个以上的歧管即可。由此，与不设置第2供给口32的情况相比，能够缩短涂布器整体的气泡排出所花费的时间。

并且，当对这些多个歧管设置第2供给口32的情况下，优选对气泡排出缓慢的歧管优先地设置第2供给口32。

图6是示意性示出本发明的另一实施方式中的涂布器的结构的图。

本实施方式的涂布器由上段歧管11和下段的2个歧管12这3段的歧管构成，其中，下段的2个歧管12具有2段的歧管12a、12b(以下，称为上侧歧管12a、下侧歧管12b)。通过连结节流流路21a连结上段歧管11与上侧歧管12a，通过连结节流流路21b连结上侧歧管12a与下侧歧管12b，下侧歧管12b与喷出缝22连接。

供给涂布液的第1供给口31和将积存在上段歧管11内的气泡50排出到外部的第1排出口41与上段歧管11连接。并且，供给涂布液的第2供给口32和将积存在上侧歧管12a内的气泡50排出到外部的第2排出口42a与上侧歧管12a连接。

另一方面，下侧歧管12b未与供给涂布液的第2供给口连接。取而代之，下侧歧管12b在其上表面侧具有随着趋向中央部而变高的倾斜面60，在倾斜面60的上端设置有将积存在下侧歧管12b内的气泡50排出到外部的第2排出口42b。

即，在本实施方式中，在下段歧管12中的气泡排出缓慢的上侧歧管12a中优先地设置第2供给口32。

通过这种结构，借助从第1供给口31和第2供给口32供给的涂布液的流动，积存在上段歧管11和第2歧管12中的上侧歧管12a内的气泡50被挤出到第1排出口41和第2排出口42a，因此能够迅速地将积存在第1歧管11和上侧歧管12a内的气泡50排出到外部。

另一方面，积存在第2歧管12中的下侧歧管12b内的气泡50因浮力而沿着倾斜面60聚集在设置于倾斜面60的上端的第2排出口42b，将聚集的气泡从第2排出口42b排出到外部，从而能够将积存在下侧歧管12b内的气泡50迅速地排出到外部。

由此，在利用多个歧管构成下段歧管12的涂布器中，能够缩短涂布器整体的气泡排出时间，并且由于不需要在所有的多个歧管中设置第2排出口42，因此能够使涂布器的结构简化。

另外，在本实施方式中，将第2排出口42b设置在下侧歧管12b的中央部，但不限于此，只要是倾斜面60的上端便可以设置在任意位置。

并且，当在下段歧管12具有多个歧管的涂布器中设置了第2供给口32的情况下，优选在从喷出缝22喷出涂布液而在被涂布部件上形成涂布膜的期间，停止来自第2供给口32的涂布液的供给。

并且，在上述实施方式中，对连接上段歧管11与下段歧管12的连结节流流路21是缝状的流路的情况进行了说明，但不限于此，只要是在涂布器10的宽度方向上较长、且在其垂直方向上变窄的流路即可。例如，也可以如图7的(a)、(b)所示，是呈锥状变窄的流路或者台阶式变窄的流路。

并且，在上述实施方式中，对从涂布器10是空的状态到最初对涂布器10内填充涂布液时的、将积存在涂布器10内的气泡排出到外部的机构进行了说明，但不限于此，即使在开始了涂布膜的形成之后，也可以定期地将积存在涂布器10内的气泡排出到外部。

并且，在上述实施方式中，将第2供给口32设置在下段歧管12的宽度方向中央部，将第2排出口42设置在下段歧管12的宽度方向两端部，但不限于此，只要以气泡借助涂布液的流动被朝向第2排出口42挤出的方式决定第2供给口32与第2排出口42的配置即可。例如也可以将第2供给口32设置在下段歧管12的宽度方向的一端，将第2排出口42设置在下段歧管12的宽度方向的另一端。

并且，在上述实施方式中，对具有本发明的涂布器的涂布装置是在玻璃基板等单张基材上涂布涂布液的涂布装置的情况进行了说明，但不限于此，具有本发明的涂布器的涂布装置也可以是在胶片等连续基材上涂布涂布液的涂布装置。

Claims (9)

1.一种涂布器，其具有：

第1供给口，其供给涂布液；

第1歧管，其与所述第1供给口连接；

喷出缝，其喷出所述涂布液；

第2歧管，其与所述喷出缝连接；以及

连结节流流路，其连结所述第1歧管和所述第2歧管，

其特征在于，

所述第1歧管连接有将积存在该第1歧管内的气泡排出到外部的第1排出口，

所述第2歧管连接有供给所述涂布液的第2供给口和将积存在所述第2歧管内的气泡排出到外部的第2排出口。

2.根据权利要求1所述的涂布器，其特征在于，

积存在所述第1歧管内的气泡借助从所述第1供给口朝向所述第1排出口流动的涂布液而从所述第1排出口排出到外部，

积存在所述第2歧管内的气泡借助从所述第2供给口朝向所述第2排出口流动的涂布液而从所述第2排出口排出到外部。

3.根据权利要求1或2所述的涂布器，其特征在于，

在积存在所述第1歧管内的气泡从所述第1排出口排出到外部的期间，所述第2供给口停止涂布液的供给，并且所述第2排出口停止气泡的排出，

在积存在所述第2歧管内的气泡从所述第2排出口排出到外部的期间，所述第1供给口停止涂布液的供给，并且所述第1排出口停止气泡的排出。

4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的涂布器，其特征在于，

在从所述喷出缝喷出涂布液而在被涂布部件上形成涂布膜的期间，所述第2供给口停止涂布液的供给。

5.根据权利要求1所述的涂布器，其特征在于，

所述第2歧管由多个歧管构成，所述多个歧管彼此借助所述连结节流流路而沿着所述涂布液的喷出方向连结，

所述第2排出口分别设置于所述多个歧管，

所述第2供给口设置于所述多个歧管中的至少1个以上的歧管。

6.根据权利要求1所述的涂布器，其特征在于，

所述第2歧管由2段的歧管构成，所述2段的歧管彼此借助所述连结节流流路而沿着所述涂布液的喷出方向连结，

所述第2排出口分别设置于所述2段的歧管，

所述第2供给口仅设置于所述2段的歧管中的上侧的歧管，

所述2段的歧管中的下侧的歧管的上端以朝向所述第2排出口变高的方式倾斜。

7.一种涂布装置，其特征在于，

所述涂布装置具有：保持单元，其保持被涂布部件；涂布器，其向所述被涂布部件喷出涂布液；积液部，其积存涂布液；送液单元，其将该积液部的涂布液输送给所述涂布器；以及驱动单元，其使所述保持单元上的所述被涂布部件与所述涂布器中的至少一方相对于另一方相对移动，

所述涂布器是权利要求1～6中的任意一项所述的涂布器。

8.一种涂布方法，从权利要求1～6中的任意一项所述的涂布器喷出涂布液而在被涂布部件上形成涂布膜，其特征在于，

所述涂布方法包含如下的工序：

第1工序，将积存在设置于所述涂布器内的所有的歧管内的气泡排出到外部；以及

第2工序，在所述第1工序之后，从所述涂布器的喷出缝喷出涂布液而在所述被涂布部件上形成涂布膜，

在所述第1工序中，

积存在第1歧管内的气泡借助从第1供给口朝向第1排出口流动的涂布液而从所述第1排出口排出到外部，

积存在第2歧管内的气泡借助从第2供给口朝向第2排出口流动的涂布液而从所述第2排出口排出到外部，

在所述第2工序中，

停止从设置于所述第2歧管的第2供给口进行的涂布液的供给。

9.根据权利要求8所述的涂布方法，其特征在于，

所述第2歧管由多个歧管构成，所述多个歧管彼此借助连结节流流路而沿着涂布液的喷出方向连结，

所述第2排出口分别设置于所述多个歧管，

所述第2供给口设置于所述多个歧管中的至少1个以上的歧管，

积存在设置有所述第2供给口的所述歧管内的气泡借助从第2供给口朝向第2排出口流动的涂布液而从所述第2排出口排出到外部。